JP2020124784A - 金属板加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】切削ブレードに対する金属屑の付着を防止し、切削ブレードの寿命を延ばすことができる金属板加工方法を提供する。【解決手段】金属板10をチップに分割する金属板加工方法であって、金属板10に支持部材Tを配設する支持部材配設工程と、切削ブレード23を回転可能に備えた切削装置2のチャックテーブル34に金属板10の支持部材T側を保持する保持工程と、切削ブレード23を金属板10の分割予定ラインに位置付けて切削水Wを供給しながら個々のチップに分割する分割工程と、を少なくとも含み、該分割工程において使用する切削水Wには、少なくともウルトラファインバブルBが含まれる金属板加工方法が提供される。【選択図】図3
Description
本発明は、金属板をチップに分割する金属板加工方法に関する。
IC、LSI等の複数のデバイスが、分割予定ラインに区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される(例えば、特許文献1を参照)。
また、上記した切削装置を活用して、厚みが50μm程度の銅板等の金属板を、分割予定ラインに沿って、例えば10mm角の大きさのチップに分割する場合がある。しかし、切削ブレードで金属板を切削しようとすると、切削ブレードの側面に被加工物となる金属の微細な金属屑が付着して、短期間で切れ味が悪くなる、という問題がある。
切削ブレードは、ダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固定した電鋳砥石、又は、超鋼基板の外周部分に鋸刃を備えた超鋼カッターが用いられる。しかし、いずれの切削ブレードであっても、金属板に切削加工を施して切削しようとすると、上記したように、切削ブレード先端部の側面に微細な金属屑が付着して短期間で切れ味が悪くなり、付着した金属屑は容易に除去することができず、切削ブレードの寿命が短くなってしまう問題がある。
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、切削ブレードに対する金属屑の付着を抑制し、切削ブレードの寿命を延ばすことができる金属板加工方法を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、金属板をチップに分割する金属板加工方法であって、金属板に支持部材を配設する支持部材配設工程と、切削ブレードを回転可能に備えた切削装置のチャックテーブルに金属板の支持部材側を保持する保持工程と、切削ブレードを金属板の分割予定ラインに位置付けて切削水を供給しながら個々のチップに分割する分割工程と、を少なくとも含み、該分割工程において使用する切削水には、少なくともウルトラファインバブルが含まれる金属板加工方法が提供される。
該金属板は、銅板でもよく、該切削水には、界面活性剤を含んでいても良い。さらに、該切削ブレードは、超鋼カッターであってもよい。
本発明の金属板加工方法は、金属板をチップに分割する金属板加工方法であって、金属板に支持部材を配設する支持部材配設工程と、切削ブレードを回転可能に備えた切削装置のチャックテーブルに金属板の支持部材側を保持する保持工程と、切削ブレードを金属板の分割予定ラインに位置付けて切削水を供給しながら個々のチップに分割する分割工程と、を少なくとも含み、該分割工程において使用する切削水には、少なくともウルトラファインバブルが含まれるので、ウルトラファインバブルのキャビテーション効果によって、切削ブレードの表面に切削加工時に生じる金属屑が付着することが抑制され、切削ブレードの寿命が延びる。
以下、本発明に基づいて実施される金属板の加工方法に係る実施形態について添付図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態の金属板加工方法を実施するに際し、まず、被加工物である金属板に支持部材を配設する支持部材配設工程を実施する。より具体的には、図1に示すように、例えば一辺が8cm角、厚みが50μmの金属板である銅板10を用意する。
銅板10を用意したならば、図1に示すように、粘着性を有する支持部材としてのテープTに銅板10を貼着し、銅板10を収容可能な大きさの開口を有する環状のフレームFにテープTの外周を貼着して支持する(図1の下段を参照)。以上により、支持部材(テープT)を銅板10に配設する支持部材配設工程が完了する。なお、本発明は、上記した支持部材配設工程の具体例に限定されず、本発明を実施すべく構成された切削装置のチャックテーブルに保持させるための支持部材を金属板に配設する工程であればよく、支持部材の形態については特に限定されない。例えば、フレームFを使用せず、銅板10を支持すべく銅板と同一形状にカットされたテープTを銅板10の裏面側に貼着し、該テープT側を、円盤形状に形成された剛性を有する板状部材(サブストレート)に貼着して形成することもできる。
上記した支持部材配設工程を実施したならば、図2に示す切削装置2(一部のみを示している。)に搬送する。切削装置2には、少なくとも、銅板10を切削してチップに分割するための切削ブレード23を回転可能に備えた切削手段20と、銅板10を保持し、切削手段20に対して銅板10を相対的に移動させるチャックテーブル34を備えた保持手段30が備えられる。保持手段30は、チャックテーブル34の周囲をカバーするカバー部材32と、チャックテーブル34の周囲に均等な間隔をおいて複数配設され、銅板10を保持する際にフレームFを固定するクランプ38とを備える。チャックテーブル34の上面には、通気性を有する部材から構成される吸着チャック36が配設される。チャックテーブル34には、内部を通じて図示しない吸引手段が接続される。なお、図示は省略するが、切削装置2には、保持手段30を図中矢印Xで示すX軸方向に移動させる移動手段、切削手段20を図中矢印Yで示すY軸方向、及び矢印Zで示すZ軸方向に移動させる移動手段、保持手段20に配設されるチャックテーブル34を回転させる回転駆動手段、チャックテーブル34上を撮像する撮像手段、各作動部を制御する制御手段等が備えられる。
切削装置2に搬送された銅版10は、チャックテーブル34の上面に銅板10の支持部材であるテープT側が向けられて載置され、該吸引手段を作動して吸引されると共に、クランプ38によってフレームFが固定され保持される。以上により、保持工程が完了する。
該保持工程が完了したならば、切削ブレード23を銅板10の分割予定ラインに位置付けて切削水を供給しながら個々のチップに分割する分割工程を実施する。分割工程について、図3を参照しながら、より具体的に説明する。なお、図3は、チャックテーブル34に銅板10が保持された状態を示すものであるが、説明の都合上、クランプ38は省略されている。
図3に示すように、切削手段20は、スピンドルユニット21を備えている。スピンドルユニット21は、回転スピンドル22と、回転スピンドル22の先端部に固定され外周に切り刃を有する切削ブレード23と、切削ブレード23を保護するブレードカバー24とを備えている。切削ブレード23は、回転スピンドル22と共に矢印で示す方向に回転可能に構成されている。ブレードカバー24には、切削ブレード23によって被加工物が加工される切削位置に切削水を噴射する切削水噴射手段26と、ブレードカバー24の上面から切削水を導入して切削水噴射手段26に供給する切削水導入口25が配設されている。なお、切削ブレード23としては、例えば、超鋼基板の外周に鋸刃を備えた超鋼カッターであって、厚みが50μmのブレードが選択される。
本実施形態の切削装置2は、さらに、切削水供給手段40、及び界面活性剤供給手段50を備えている。切削水供給手段40には、分割工程を実施する際に切削水供給手段2から切削位置に向けて供給される切削水を送水する切削水圧送手段42と、切削水供給路46と、切削水供給路46に対する切削水の供給を調整するための切削水調整弁44が配設されている。
切削水圧送手段42は、切削水貯留タンクと、該切削水貯留タンクから送水する切削水圧送ポンプと、該切削水貯留タンクに貯留された切削水WにウルトラファインバブルBを発生させるUFB発生部とを備えている(いずれも図示は省略する。)。ウルトラファインバブルBを液中に発生させる手段は周知であり、詳細については省略するが、例えば、該切削水貯留タンクに貯留された切削水Wを、切削水圧送ポンプによって圧送し、該切削水Wが通過す通路を狭めて流速を高め、流速を早めることによって該通路から空気の負圧吸引を行って切削水W中に空気を導入して加圧溶解させた後に、該切削水Wを大気圧下に吐出することで、ウルトラファインバブルBを大量に含む切削水(W+B)を形成することができる。なお、ウルトラファインバブルBとは、短時間で消失するマイクロバブル(直径1μm以上)とは異なり、一旦生成されると液中にマイクロバブルに比して長時間維持される泡であり、一般的に直径が1μm未満の微細な泡として定義付けられる。なお、本実施形態のウルトラファインバブルBを含む切削水(W+B)は、例えば、直径が0.1μm〜0.01μmの泡を、1cm3当たり1億個程度含むように生成される。
界面活性剤供給手段50は、界面活性剤圧送手段52と、切削水供給路46に接続された界面活性剤供給路56と、界面活性剤供給路56を介して切削水供給路46に界面活性剤Cを導入する界面活性剤Cの導入量を調整するための界面活性剤調整弁54とを備えている。界面活性剤圧送手段52は、例えば、水に脂肪酸塩を溶かした界面活性剤Cを貯留する界面活性剤貯留タンク、及び該界面活性剤Cを圧送する界面活性剤圧送ポンプと(いずれも図示は省略する。)を有し、界面活性剤供給路56を介して、切削水供給路46に界面活性剤Cを導入する。
本実施形態の切削装置2は概ね上記したとおりの構成を備えており、該分割工程について、より具体的に説明する。
チャックテーブル34に保持された銅版10は、図示しない移動手段によって図示しない撮像手段の直下に位置付けられて、銅板10の位置、及び方向が調整され、切削手段20の切削ブレード23との位置合わせが行われる。これにより、切削手段20の切削ブレード23を、図示しない制御手段に予め記憶された分割予定ラインに位置付けて、銅板10を図中矢印Xで示すX軸方向に移動して、図3に示すように、切削溝100を形成する。この際、切削水供給手段40を作動して、ウルトラファインバブルBを含む切削水Wを、切削水供給路46を介して、ブレードカバー24の切削水導入口25から導入し、図4に示すように、切削水噴射手段26の開口部から切削位置に向けて噴射する。なお、本実施形態のウルトラファインバブルBは、直径が0.1μm〜0.01μm程度の泡であって、目視で確認することが困難な大きさであり、図に示すウルトラファインバブルBは、説明の都合上、実際よりも大きく記載している。
図に示すように、ウルトラファインバブルBを含む切削水Wを切削位置に供給することで、切削位置においてキャビテーション効果が生じ、切削ブレード23の側面に、銅板10が切削されることにより発生する金属屑が付着することが抑制され、切削ブレード23の寿命が延び、切れ味が長期間維持される。
図3に示すように、銅板10上に、切削溝100を形成したならば、切削手段20の切削ブレード23がY軸方向において10mm間隔で規定される分割予定ラインに位置付けられるように割り出し送りして、同様の切削加工を施し、一定の方向において10mm間隔で切削溝100を形成する。次いで、銅板10を90°回転して、該一定の方向に直交する方向にも、分割予定ラインに沿って、10mm間隔で切削溝100を形成する。以上のようにすることで、図3の下段に示すように、銅板10が、10mm角のチップに分割される。
本実施形態の切削装置2は、上記したように、界面活性剤供給手段50も備えている。界面活性剤供給手段50を作動して、界面活性剤調整弁54が開かれ、所望の量の界面活性剤Cを、切削水供給路46に導入する。切削水供給路46には、上記したウルトラファインバブルBを含む切削水Wが流れており、この切削水Wに界面活性剤を混入させることで、より一層、切削ブレード23の側面に、金属屑が付着し難くなり、切削ブレード23の寿命が延び、切れ味が長期間維持される。なお、界面活性剤Cの導入は常に実施することも可能であるが、間欠的に実施することもできる。間欠的に実施する場合は、例えば、一枚の銅板10を切削する過程において、最終の切削溝100を形成する時に導入する。それにより、次の銅板10の切削加工に入る前に、切削ブレード23の側面をより綺麗に洗浄することになる。
上記した実施形態では、被加工物となる金属板として銅板10に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、アルミニウム板、錫板等を被加工物として採用することができる。
また、上記した実施形態では、切削ブレード23として、超鋼カッターを採用したが、本発明はこれに限定されず、ダイヤモンド砥粒をニッケルメッキで固定した電鋳砥石からなるも切削ブレードであってもよい。
2:切削装置
10:銅板
20:切削手段
21:スピンドルユニット
22:回転スピンドル
23:切削ブレード
24:ブレードカバー
25:切削水導入口
26:切削水噴射手段
30:保持手段
34:チャックテーブル
40:切削水供給手段
42:切削水圧送手段
44:切削水調整弁
46:切削水供給路
50:界面活性剤供給手段
52:界面活性剤圧送手段
54:界面活性剤調整弁
F:フレーム
T:テープ
W:切削水
B:ウルトラファインバブル
C:界面活性剤
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F:フレーム
T:テープ
W:切削水
B:ウルトラファインバブル
C:界面活性剤
Claims (4)
- 金属板をチップに分割する金属板加工方法であって、
金属板に支持部材を配設する支持部材配設工程と、
切削ブレードを回転可能に備えた切削装置のチャックテーブルに金属板の支持部材側を保持する保持工程と、
切削ブレードを金属板の分割予定ラインに位置付けて切削水を供給しながら個々のチップに分割する分割工程と、を少なくとも含み、
該分割工程において使用する切削水には、少なくともウルトラファインバブルが含まれる金属板加工方法。 - 該金属板は、銅板である請求項1に記載の金属加工方法。
- 切削水には、さらに、界面活性剤が含まれる、請求項1、又は2に記載の金属加工方法。
- 該切削ブレードは、超鋼カッターである請求項1乃至3のいずれかに記載の金属加工方法。
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JP2010165811A (ja) * | 2009-01-15 | 2010-07-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の切削方法 |
JP2013111713A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 切削水の供給装置及び供給方法 |
WO2018168912A1 (ja) * | 2017-03-16 | 2018-09-20 | Idec株式会社 | 研削液生成装置、研削液生成方法、研削装置および研削液 |
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2019
- 2019-02-06 JP JP2019019398A patent/JP2020124784A/ja active Pending
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