JP6612372B2 - フランジ交換機構、切断装置、フランジ交換方法および切断品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、フランジ交換機構、切断装置、フランジ交換方法および切断品の製造方法に関する。

特開２０１０−０３６２９１号公報（特許文献１）には、固定フランジおよび着脱フランジを備える切断装置が記載されている。特許文献１に記載の切断装置では、切削ブレードの寿命を長くするために、切刃が切削により摩耗して突出量が十分でなくとなると、固定フランジおよび着脱フランジを小径の固定フランジおよび着脱フランジに交換することによって、摩耗した切刃を突出させて十分な突出量を確保する。

特開２０１０−０３６２９１号公報

しかしながら、特許文献１に記載の切断装置においては、内フランジおよび外フランジを自動的に着脱することは記載も示唆もされていない。そのため、当業者は、特許文献１の記載に基づいて、フランジを手動で交換することになり、フランジの自動交換を実現することができない。

ここで開示された実施形態によれば、ブレードを保持するフランジを交換可能なフランジ交換機構であって、第１外フランジを第１外フランジとは異なる径を有する第２外フランジに交換可能な外フランジ交換部と、第１内フランジを第１内フランジとは異なる径を有する第２内フランジに交換可能な内フランジ交換部とを備え、外フランジ交換部は、第１外フランジを吸着可能な第１外フランジ吸着部と、第２外フランジを吸着可能な第２外フランジ吸着部とを含み、第１外フランジ吸着部および第２外フランジ吸着部は、各々、ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、第１吸着部の内側に位置し、第１吸着部による吸着とは独立して外フランジを吸着するように構成される第２吸着部と、第２吸着部の内側に位置し、ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部と、を備えた、フランジ交換機構を提供することができる。

ここで開示された実施形態によれば、上記のフランジ交換機構と、ブレードと、スピンドル部とを備えた切断装置を提供することができる。

ここで開示された実施形態によれば、ブレードを保持するフランジを交換するフランジ交換方法であって、第１外フランジおよびブレードをスピンドル部から取り外す工程と、第１外フランジ、およびブレードを吸着ユニットにより保持してスピンドル部から収納部に移動させる工程と、第１内フランジをスピンドル部から取り外す工程と、第１内フランジとは異なる径を有する第２内フランジをスピンドル部に取付ける工程と、第１外フランジとは異なる径を有する第２外フランジをスピンドル部に取付ける工程とを備え、第１外フランジを取り外す工程および第２外フランジを取り付ける工程は、外フランジ交換部によって行われ、外フランジ交換部は、第１外フランジを吸着可能な第１外フランジ吸着部と、第２外フランジを吸着可能な第２外フランジ吸着部とを含み、第１外フランジ吸着部および第２外フランジ吸着部は、各々、ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、第１吸着部の内側に位置し、第１吸着部による吸着とは独立して外フランジを吸着するように構成される第２吸着部と、第２吸着部の内側に位置し、ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部と、を備えた、フランジ交換方法を提供することができる。

ここで開示された実施形態によれば、上記のフランジ交換方法を用いた切断品の製造方法であって、少なくとも第２外フランジをスピンドル部に取り付ける工程の後に、切断対象物をブレードにより切断する工程をさらに備えた、切断品の製造方法を提供することができる。

ここで開示された実施形態によれば、フランジの自動交換を実現可能にする。

実施形態の切断装置の模式的な平面図である。 実施形態のフランジ交換機構に用いられる吸着アームの例の模式的な側面図である。 図２に示す吸着アームの第１外フランジ吸着部を別の角度から見たときの模式的な斜視図である。 図２および図３に示される第１外フランジ吸着部の模式的な平面図である。 図２〜図４に示される第１外フランジ吸着部の模式的な断面図である。 図２に示される内フランジ交換部の模式的な断面図である。 実施形態のフランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態のフランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態のフランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態のフランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態のフランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 吸着ユニットが第１動作位置に位置している状態の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図である。 図１２に示される切断装置を別の角度から見たときの模式的な斜視図である。 吸着ユニットが第２動作位置に位置している状態の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図である。 吸着ユニットが第１動作位置に位置している状態の他の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図である。 図１５に示される切断装置を別の角度から見たときの模式的な斜視図である。 実施形態における第１スライド機構による吸着ユニットのＹ方向への移動の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における第１スライド機構による吸着ユニットのＹ方向への移動の他の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における第２スライド機構による吸着ユニットのＺ方向への移動の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における第２スライド機構による吸着ユニットのＺ方向への移動の他の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における第１回転機構による吸着ユニットのＸ−θ方向への回転の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における第１回転機構による吸着ユニットのＸ−θ方向への回転の他の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における第２回転機構による吸着ユニットのＹ−θ方向への回転の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における第２回転機構による吸着ユニットのＹ−θ方向への回転の他の一例を図解する模式的な斜視図である。 実施形態における収納部の模式的な正面図である。 実施形態における収納部の切断装置内での位置を示す模式的な斜視図である。 実施形態におけるブレード押さえ部材が下がっているときの図２５に示されるブレード用のマガジンの模式的な斜視図である。 実施形態におけるブレード押さえ部材が上がったときの図２５に示されるブレードマガジンの模式的な斜視図である。 図２５の収納部における部品の収納の態様を示す部分断面図である。 実施形態の第１内フランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態の第１内フランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態の第１内フランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態の第１内フランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態の第１内フランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態の第１内フランジ交換方法の工程の一部を図解する模式的な断面図である。 実施形態における検出部の模式的な平面図である。 実施形態における検出部によるブレードの摩耗および破損の少なくとも一方の検出方法の一例のフローチャートである。

以下、実施形態について説明する。なお、実施形態の説明に用いられる図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。

図１に、本発明の切断装置の一例である実施形態の切断装置の模式的な平面図を示す。図１に示されるように、実施形態の切断装置は、切断対象物を切断することによって複数の製品に個片化する装置である。実施形態の切断装置１１１は、基板供給モジュールＭＡと基板切断モジュールＭＢと検査モジュールＭＣとを、それぞれ構成要素として備えている。各構成要素（各モジュールＭＡ〜ＭＣ）は、それぞれ他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。

基板供給モジュールＭＡは、たとえば、切断対象物の一例に相当する封止済基板１１２を供給するように構成されている基板供給機構１１３と、切断装置１１１の動作や制御などを行なうように構成されている制御部ＣＴＬとを備えている。封止済基板１１２は、たとえば、プリント基板やリードフレームなどからなる基板（図示せず）と、基板が有する複数の領域に装着された複数の機能素子（半導体素子などのチップ）（図示せず）と、複数の領域が一括して覆われるようにして形成された封止樹脂（図示せず）とを備えている。封止済基板１１２は、最終的に切断されて個片化される切断対象物である。封止済基板１１２は、たとえば搬送機構（図示せず）などによって基板切断モジュールＭＢに搬送され得る。

基板切断モジュールＭＢは、たとえば、封止済基板１１２を設置するように構成されている切断用テーブル１１４と、切断用テーブル１１４をＹ方向に移動させるように構成されている移動機構１１５と、切断用テーブル１１４をθ方向に回転させるように構成されている回転機構１１６と、後述するスピンドル部２１と、後述する実施形態のフランジ交換機構１２０とを備えることができる。切断用テーブル１１４はたとえば切断用治具（図示せず）を備えていてもよく、切断用テーブル１１４が切断用治具を備える場合には切断用治具の上に封止済基板１１２が設置され得る。

図１において、実施形態の切断装置１１１は、説明の便宜の観点から、１個のスピンドル部２１を有するシングルスピンドル構成の切断装置として示されている。しかしながら、実施形態の切断装置１１１はシングルスピンドル構成の切断装置には限定されず、たとえば後述するようにスピンドル部を２個有するツインスピンドル構成の切断装置としてもよいことは言うまでもない。

スピンドル部２１は、たとえば、独立してＸ方向とＺ方向とに移動可能であるように構成されることができる。スピンドル部２１の回転軸の先端部には、たとえば円板状のブレード２２が取り付けられ得る。ブレード２２は、たとえば、回転軸の軸方向（Ｘ方向）に対して直交する面（Ｙ軸とＺ軸とを含む面）に平行に固定されることができる。また、スピンドル部２１は、たとえば、高速で回転するブレード２２によって発生する摩擦熱を抑えるために、切削水を噴射する切削水用ノズル（図示せず）を備えていてもよい。また、スピンドル部２１に対して切断用テーブル１１４を相対的に移動させながら封止済基板１１２を切断することができる。ブレード２２は、たとえば、Ｙ軸とＺ軸とを含む面内において回転することによって封止済基板１１２を切断するように構成することができる。

検査モジュールＭＣは、たとえば、検査用テーブル１１０と、トレイ１２２とを備えることができる。検査用テーブル１１０は、たとえば、封止済基板１１２を切断して個片化された複数の製品Ｐからなる集合体である切断済基板１２１を設置可能なように構成することができる。複数の製品Ｐは、たとえば、検査用のカメラ（図示せず）によって検査されて、良品と不良品とに選別されることができる。トレイ１２２は、たとえば、良品に選別された製品Ｐを収容可能なように構成することができる。

図２に、実施形態のフランジ交換機構に用いられる吸着アームの例の模式的な側面図を示す。フランジは切断装置のブレードを保持するもので、後述のとおり、外フランジと内フランジとを有する。図２（ａ）、図２（ｂ）に示すように、吸着アーム１は、第１外フランジ吸着部１３１と第２外フランジ吸着部１３２とから構成される外フランジ交換部１３０と、内フランジ交換部１４０とを備える。図２（ａ）に示すように、吸着アーム１は、外フランジ交換部１３０および内フランジ交換部１４０に接続されたアーム部３を備え、外フランジ交換部１３０および内フランジ交換部１４０は、アーム部３の端に取り付けられている。図２（ａ）、図２（ｂ）に示すように、吸着アーム１は、第１外フランジ吸着部１３１と第２外フランジ吸着部１３２と内フランジ交換部１４０とからなる三股構造を有する。三股構造は、図２（ａ）に示すものであってもよいし、図２（ｂ）に示すものであってもよい。また、別々のアーム部に第１外フランジ吸着部１３１、第２外フランジ吸着部１３２、および内フランジ交換部１４０が各々単体で接続された構造であってもよい。以下、図示および説明の便宜上、１つの吸着アームに１つのフランジ吸着部ないしフランジ交換部が接続されたフランジ交換機構を示して説明する。

図３に、第１外フランジ吸着部１３１の模式的な斜視図を示す。第１外フランジ吸着部１３１は、円筒状の第１吸着部４と、円筒状の第２吸着部５と、環状の脱着部材回転部６とから構成される吸着ユニット２を備えている。図３において、脱着部材回転部６、第２吸着部５および第１吸着部４は、吸着ユニット２の吸着側（遠位側）から吸着ユニット２のアーム部３側（近位側）にかけて、第１吸着部４、第２吸着部５および脱着部材回転部６の順にそれぞれの遠位側の表面が見えるように示されている。なお、吸着ユニット２の説明において、近位側はアーム部３側を意味し、遠位側は吸着ユニット２の吸着側を意味する。

図４に、図２および図３に示される第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２の模式的な平面図を示す。第１吸着部４の内側に第２吸着部５が位置しており、第２吸着部５の内側に脱着部材回転部６が位置している。第１吸着部４は、後述のブレードを吸着するように構成されている複数の第１吸着口４ｘと、複数の第１吸着口４ｘに通じる環状の第１吸着溝４ｙとを備えている。第２吸着部５は、後述のフランジまたはハブを吸着するように構成されている複数の第２吸着口５ｘと、複数の第２吸着口５ｘに通じる環状の第２吸着溝５ｙとを備えている。脱着部材回転部６は、互いに間隔を空けて環状に配置された複数の突出部６ａを備えている。脱着部材回転部６は回転可能に構成されており、たとえば図４の矢印の方向に回転可能であるが、脱着部材回転部６の回転方向は特に限定されないことは言うまでもない。脱着部材回転部６は、後述の第１の脱着部材２４を回転させるのに用いられる。

図５に、図２〜図４に示される第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２の模式的な断面図を示す。第１吸着部４は中空であり、第１吸着部４の中空の内側に中空の第２吸着部５が位置している。第１吸着部４の中空を取り囲む外壁には、第１吸着口４ｘを介して第１吸着溝４ｙに通じて、後述のブレードを吸引するように構成されているガス流路１４が設けられている。ガス流路１４は、第１吸着口４ｘに通じるガス流路４ｚに接続されている。第１吸着部４は、第１吸着部４の近位側の外壁の一部から内側に突出する突出部４ａを備えている。突出部４ａは、突出部４ａの近位側に、突出部近位面４ｂを備えている。第１吸着部４は、第１吸着部４の遠位側の表面として、第１吸着部遠位面４ｃを備えている。

第２吸着部５の中空を取り囲む外壁には、第２吸着口５ｘを介して第２吸着溝５ｙに通じて、フランジまたはハブを吸着するように構成されているガス流路１３が設けられている。ガス流路１３の一端には、ガス流路１３中のガスを吸引するように構成されているガス吸引口１２が取り付けられている。ガス流路１３の他端には、第２吸着口５ｘに通じるガス流路５ｚが接続されている。第２吸着部５は、第２吸着部５の近位側の端部に、内側に張り出した鉤状部５ａを備えている。鉤状部５ａは、遠位側の表面として鉤状部遠位面５ｂを備えるとともに、近位側の表面として鉤状部近位面５ｃを備えている。第２吸着部５は、第２吸着部５の遠位側の表面として、第２吸着部遠位面５ｄを備えている。

第２吸着部５も中空であり、第２吸着部５の中空の内側に脱着部材回転部６が位置している。脱着部材回転部６の突出部６ａは、脱着部材回転部６が遠位側に向かって部分的に突出した部材となっている。脱着部材回転部６の近位側には、回転可能な回転駆動部材９が取り付けられている。回転駆動部材９が軸１０を中心として回転することにより、脱着部材回転部６も回転することが可能となる。脱着部材回転部６の遠位側の一部は回転駆動部材９よりも外側に張り出している。脱着部材回転部６の外側に張り出した部分は、近位側の表面として回転部近位面６ｂを備えている。回転駆動部材９の近位側も部分的に外側に張り出している。回転駆動部材９の外側に張り出した部分は、遠位側の表面として近位側張出部遠位面９ａを備えている。

脱着部材回転部６、回転駆動部材９および軸１０の周りを取り囲むように筒状のスリーブ１５が位置している。スリーブ１５は、脱着部材回転部６を収容できるように構成されている収容部１５ａと、収容部１５ａを支持するように構成されている支持部１５ｂとを備えている。収容部１５ａは支持部１５ｂよりも外側に張り出している。収容部１５ａは、近位側の表面として、収容部近位面１５ｃを備えている。収容部近位面１５ｃは、鉤状部遠位面５ｂと向かい合っている。支持部１５ｂは、遠位側の表面として、支持部遠位面１５ｄを備えている。

スリーブ１５の近位側には、吸着ユニット２とアーム部３とを連結可能なように構成されている連結部１１が取り付けられている。連結部１１は、連結部１１の遠位側の突出部１１ａがスリーブ１５の近位側の中空に嵌め込まれることによって、スリーブ１５に取り付けられている。連結部１１は、鉤状部近位面５ｃと向かい合う連結部内側近位面１１ｂと、突出部近位面４ｂに向かい合う連結部外側近位面１１ｃとを備えている。連結部外側近位面１１ｃは、連結部内側近位面１１ｂよりも遠位かつ外側に位置している。

回転部近位面６ｂと近位側張出部遠位面９ａとの間で回転駆動部材９の周囲を取り囲むように第１バネ１６が位置している。第１バネ１６は、回転部近位面６ｂと近位側張出部遠位面９ａとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。

鉤状部近位面５ｃと連結部内側近位面１１ｂとの間で支持部１５ｂの周囲を取り囲むように第２バネ８が位置している。第２バネ８は、鉤状部近位面５ｃと連結部内側近位面１１ｂとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。

突出部近位面４ｂと連結部外側近位面１１ｃとの間で第２バネ８の周囲を取り囲むように第３バネ７が位置している。第３バネ７は、突出部近位面４ｂと連結部外側近位面１１ｃとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。

第２外フランジ吸着部１３２は、図３〜図５に示される第１外フランジ吸着部１３１と同様に、円筒状の第１吸着部と、円筒状の第２吸着部と、環状の脱着部材回転部とから構成される吸着ユニットを備えるため、構造の詳細な説明については繰り返さない。第２外フランジ吸着部１３２の吸着ユニットは、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２とは異なる径を有する。

図６に、図２に示す内フランジ交換部１４０の模式的な断面図を示す。内フランジ交換部１４０は、内フランジを脱着するための第１爪部１４１と、第２爪部１４２と、第１爪部１４１を回転可能に支持する支点１４３と、ねじりバネ１４４と、励磁コイル１４５と、楔状部材１４６とを有する。第２爪部１４２は、内フランジを固定する第２の脱着部材（ボルト）を脱着するとともに、内フランジをスピンドル部から取り外すための治具を固定するために用いられる。ねじりバネ１４４は、第１爪部１４１を楔状部材１４６に向けて押すような弾性力を与える。楔状部材１４６が矢印Ａの方向に動くと、第１爪部１４１はねじりバネ１４４の弾性力に逆らうように、支点１４３を中心に矢印Ｂの方向に回転する。図６において、上側と同様の第１爪部が下側にも設けられており、図示しない支点１４３と、ねじりバネ１４４と、楔状部材１４６を同様に備えている。下側の第１爪部１４１も上述した上側の第１爪部１４１と同様に動作する。このようにして複数の第１爪部１４１は、内フランジを挟むように保持する。なお、爪部は上側下側以外に設けてもよい。励磁コイル１４５により発生させた磁界により第２爪部１４２に磁力を発生させ、この磁力により上記治具が保持可能となる。

詳細は後述するが、第１の脱着部材２４および第２の脱着部材１５０は、いずれもスピンドル部２１に対して直接的または間接的に脱着可能なものである。第１の脱着部材２４は第１外フランジ２３ａを第１内フランジ２０ａに固定するのに用いられ、第２の脱着部材１５０は第１内フランジ２０ａをスピンドル部２１の回転軸に固定するのに用いられる。

以下、上述の吸着アームを備えた実施形態のフランジ交換機構を用いた実施形態のフランジ交換方法について説明する。本実施形態では、ブレード２２がハブを有しないハブレスブレードである場合について説明するが、本実施形態はハブレスブレードに限定されるものではなく、ブレード２２がハブを有するハブ付きブレードにも適用できることは言うまでもない。

まず、図７の模式的断面図に示すように、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２を第１外フランジ２３ａおよびブレード２２に近付ける。ここで、ブレード２２は、スピンドル部２１の第１内フランジ２０ａ（近位側フランジ）と第１外フランジ２３ａ（遠位側フランジ）との間に挟み込まれている。そして、たとえばナットなどの第１の脱着部材２４によって第１外フランジ２３ａが第１内フランジ２０ａに締め付けられ、これによりブレード２２は、スピンドル部２１の第１内フランジ２０ａと第１外フランジ２３ａとの間で固定されている。なお、第１内フランジ２０ａの近位側とはスピンドル部２１に対する近位側を意味し、第１外フランジ２３ａの遠位側とはスピンドル部２１に対する遠位側を意味する。脱着部材は、第１外フランジ２３ａを第１内フランジ２０ａに固定するものであれば特に限定されない。

次に、図８の模式的断面図に示すように、第１吸着部４の第１吸着部遠位面４ｃがブレード２２の近位側（アーム部３側）の表面に接触するまで、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル部２１側）に移動させる。

次に、図９の模式的断面図に示すように、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル部２１側）に移動させるように、アーム部３を遠位側（スピンドル部２１側）に移動させる。このとき、ブレード２２によって第１吸着部４は遠位側（スピンドル部２１側）から近位側（アーム部３側）に力を受けるが、第３バネ７が突出部近位面４ｂに接触して縮むため、第１吸着部４の移動は抑制され、ブレード２２に対する過度の荷重が抑制される。そして、第１吸着部４の移動が抑制された状態で第２吸着部５が遠位側（アーム部３側）に移動し、第２吸着部５の遠位側の第２吸着部遠位面５ｄが第１外フランジ２３ａと接触する。

第２吸着部５の第２吸着部遠位面５ｄが第１外フランジ２３ａと接触した後に、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａに嵌っていない場合には、第１バネ１６が縮んで、矢印３１の方向に脱着部材回転部６が近位側（アーム部３側）に移動する。このとき、第１外フランジ２３ａによって第２吸着部５は遠位側（スピンドル部２１側）から近位側（アーム部３側）に力を受けるが、第２バネ８が鉤状部近位面５ｃに接触して縮むため、第２吸着部５の移動は抑制される。

次に、図１０の模式的断面図に示すように、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａに嵌っていない場合には、脱着部材回転部６をたとえば矢印３２の方向に回転させる。脱着部材回転部６の回転により、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａの位置に到達したときに第１バネ１６が伸びて、突出部６ａが貫通孔２４ａに嵌まる。

次に、脱着部材回転部６が回転することによって脱着部材２４を回転させる。これにより、第１内フランジ２０ａに対する脱着部材２４による外フランジ２３の締め付けが解除される。その後、第１吸着部４がブレード２２を吸着し、第２吸着部５が遠位側フランジ２３ａを吸着する。その後、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２を近位側（アーム部３側）に移動させることによって、たとえば図１１の模式的断面図に示すように、スピンドル部２１から、脱着部材２４、第１外フランジ２３ａ、およびブレード２２を吸着ユニット２により保持した状態で取り外される。

その後、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２は、図１２および図１３の模式的斜視図に示されるブレード２２を脱着可能な第１動作位置から図１４の模式的斜視図に示される収納部５１から脱着部材２４、第１外フランジ２３ａ、およびブレード２２を取り出し及び収納可能な第２動作位置に移動させられる。なお、図１２および図１３は、吸着ユニット２が第１動作位置に位置している状態の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図を示しており、図１４は吸着ユニット２が第２動作位置に位置している状態の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図を示している。

図１２〜図１４に示される実施形態の切断装置は、スピンドル部２１と向かい合う位置に第２スピンドル部２５を備えている。たとえば図１５および図１６の模式的斜視図に示されるように、実施形態のフランジ交換機構は、スピンドル部２１におけるフランジの脱着を可能とするだけでなく、第２スピンドル部２５におけるフランジの脱着も可能とする。なお、図１５および図１６は、吸着ユニット２が第１動作位置に位置しているときの他の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図を示している。

図１２〜図１６の模式的斜視図に示されるように、実施形態のフランジ交換機構は、第１スライド機構４１と、第２スライド機構４２とを備える移動機構４０を備えている。第１スライド機構４１は、たとえば図１７および図１８の模式的斜視図に示すように、吸着ユニット２を矢印６１，６２で示されるＹ方向へのスライドによる移動を可能にしている。吸着ユニット２のＹ方向への移動は、たとえば、吸着ユニット２の第１動作位置への移動および第２動作位置への移動などに利用することができる。

第２スライド機構４２は、たとえば図１９および図２０の模式的斜視図に示すように、吸着ユニット２を矢印７１，７２で示されるＺ方向へのスライドによる移動を可能にしている。吸着ユニット２のＺ方向への移動は、たとえば、第１動作位置から第２動作位置への移動のための１つのステップおよび第２動作位置から第１動作位置への移動のための１つのステップなどに利用することができる。なお、図１９および図２０の矢印７１，７２で示されるＺ方向は図１７および図１８の矢印６１，６２で示されるＹ方向と交差している。

実施形態のフランジ交換機構は、図２１および図２２の模式的斜視図に示される第１回転機構４３と、図２３および図２４の模式的斜視図に示される第２回転機構４４とを備えている。

第１回転機構４３は、たとえば図２１および図２２に示されるように、吸着ユニット２を第１仮想面８２内において矢印８１で示されるＸ−θ方向に回転可能に構成されている。吸着ユニット２のＸ−θ方向における回転は、たとえば、第１動作位置から第２動作位置への移動のための１つのステップおよび第２動作位置から第１動作位置への移動のための１つのステップなどに利用することができる。

第２回転機構４４は、たとえば図２３および図２４に示されるように、吸着ユニット２を第２仮想面９３内において矢印９１，９２で示されるＹ−θ方向に回転可能に構成されている。吸着ユニット２のＹ−θ方向における回転は、たとえば、吸着ユニット２のスピンドル部２１から第２スピンドル部２５への移動および吸着ユニット２の第２スピンドル部２５からスピンドル部２１への移動などに利用することができる。なお、第２仮想面９３は、第１仮想面８２とは異なる仮想面であり、第１仮想面８２と第２仮想面９３とは互いに交差する。

図２５に、実施形態のフランジ交換機構の収納部５１の模式的な正面図を示す。収納部５１は、最上段から最下段にかけて順に、各々異なるブレードを収納するためのマガジン５３ａ〜５３ｃ、第１の脱着部材用のマガジン５３ｄ、第１外フランジ用のマガジン５３ｅ、第２外フランジ用のマガジン５３ｆ、第１内フランジ用のマガジン５３ｇ、第２内フランジ用のマガジン５３ｈ、第２の脱着部材用のマガジン５３ｉ、治具用のマガジン５３ｊを備えている。図２５では各マガジンが縦方向一列に並ぶ例を示しているが、収納部５１の各マガジンは、たとえば複数列に配置されてもよいし、横方向一列に配置されてもよい。また各マガジンの配置順は任意に変更可能である。また、収納部５１は、たとえば図２６に示されるように、吸着アーム１の移動範囲内に位置にする。２つのスピンドル部２１，２５は、矢印Ｃで示される間隔を空けて配置されている。吸着アーム１は、２つのスピンドル部２１，２５の間に配置されている。例えば、マガジン５３ａには使用前のブレード、マガジン５３ｂおよびマガジン５３ｃには使用済みのブレードが収納される。

図２７の模式的斜視図に示されるように、収納部５１は、また、第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂ、および第３のブレード押さえ部材５４ｃを備えている。第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂ、および第３のブレード押さえ部材５４ｃは、それぞれ、マガジン５３ａ、マガジン５３ｂ、およびマガジン５３ｃに収納されるブレードをそれぞれのブレード用のマガジンの周りで押さえるように構成されている。これにより、ブレード用のマガジンからのブレードの落下を抑制することができる。ブレードの収納および取出しを行なうときは、図２８の模式的斜視図に示すように、第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂおよび第３のブレード押さえ部材５４ｃの少なくとも１つが上に起き上がってブレードの押さえを解除する。

図２９に、実施形態のフランジ交換機構の収納部５１における部品の収納の態様を示す。図２９（ａ）に示されるように、外フランジ固定用の脱着部材２４は、タップ雄ねじ１８０に嵌るようにしてマガジン５３ｄに収納される。図２９（ｂ）に示されるように、第１外フランジ２３ａは、ボス（凸部）１８２に嵌るようにしてマガジン５３ｅに収納される。このボス１８２は、第１外フランジ２３ａの開口部に適合するように設けられている。この第１外フランジ２３ａの開口部は第１内フランジ２０ａが挿入されていた開口部である。第２外フランジも、第１外フランジ２３ａと同様にしてマガジン５３ｆに収納することができる。第１外フランジ２３ａおよび第２外フランジの開口部の径は同じにしても異ならせてもよい。外フランジの開口部の径を異ならせた場合には、内フランジの外径を外フランジの開口部の径に対応させて嵌る径に変更する。異なる径にすることにより、外フランジおよび内フランジの組み合わせの間違いを防止することができる。図２９（ｃ）に示されるように、第１内フランジ２０ａは、ボス（凸部）１８３に嵌るようにマガジン５３ｇに収納される。このボス１８３は、内フランジ固定用の第２の脱着部材１５０が挿入されていた第１内フランジ２０ａの開口部に適合するように設けられている。この第１内フランジ２０ａの開口部はスピンドル部２１の回転軸１７０に挿入されていた開口部である。第２内フランジ２０ｂも、第１内フランジ２０ａと同様にしてマガジン５３ｈに収納することができる。第１内フランジ２０ａおよび第２内フランジ２０ｂの径は同じにすることができる。図２９（ｄ）に示されるように、内フランジ固定用の脱着部材１５０は、脱着部材１５０の先端の一部をタップ雌ねじ１８４で抑えることによりマガジン５３ｉに収納される。図２９（ｅ）に示されるように、内フランジ交換治具１６０は、内フランジ交換治具１６０に設けられた凹部にタップ雄ねじ１８１を嵌め込むことでマガジン５３ｊに収納される。

実施形態のフランジ交換機構の第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２は、スピンドル部２１または第２スピンドル部２５から脱着部材２４、第１外フランジ２３ａ、およびブレード２２を上述のようにして取り外した後、吸着ユニット２に吸着された脱着部材２４、第１外フランジ２３ａ、およびブレード２２とともに図１４に示される第２動作位置に移動させられる。このとき、たとえば図２８の模式的斜視図に示すように、第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂおよび第３のブレード押さえ部材５４ｃの少なくとも１つが上に起き上がってブレードの押さえを解除する。

そして、ブレード２２を吸着したフランジ交換機構の第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２が、ブレード２２の中央の開口部をたとえばマガジン５３ｂに嵌め込む。その後、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２は、第１吸着部４によるブレード２２の吸着のみを停止し、当該ブレード用のマガジンから離れる。これにより、ブレード２２をマガジン５３ｂに収納することができる。

その後、第１外フランジ吸着部１３１の吸着ユニット２は、第１外フランジ２３ａをマガジン５３ｅに、脱着部材２４をマガジン５３ｄに収納する。

次に、図３０に示されるように、内フランジ交換部１４０を第１内フランジ２０ａに近付ける。第１内フランジ２０ａは、たとえばボルトなどの脱着部材１５０によってスピンドル部２１の回転軸１７０に固定されている。脱着部材は、第１内フランジ２０ａをスピンドル部２１の回転軸１７０に固定するものであれば特に限定されない。脱着部材１５０には内フランジ交換部１４０の第２爪部１４２の形状に対応する凹部が設けられており、内フランジ交換部１４０の第２爪部１４２を脱着部材１５０の凹部に嵌め込む。第２爪部１４２が脱着部材１５０の凹部に嵌っていない場合には、回転機構を有する内フランジ交換部１４０を回転させる。内フランジ交換部１４０の回転により、第２爪部１４２が脱着部材１５０の凹部の位置に到達したときに、第２爪部１４２が脱着部材１５０の凹部に嵌まる。

その後、図３１に示されるように、内フランジ交換部１４０をたとえば矢印１５２の方向に回転させ、第１内フランジ２０ａを固定している脱着部材１５０を取り外す。取り外した脱着部材１５０は、収納部５１に移動し、マガジン５３ｉに収納される。

なお、図３２に示されるように、内フランジを固定するための脱着部材１５０には、凹部ではなく切欠き部１５１が設けられていてもよい。この場合、内フランジ交換部１４０の第２爪部１４２を切欠き部１５１と対応するような形状とすることで、第２爪部１４２を切欠き部１５１に嵌め込んだ後、内フランジ交換部１４０を回転させて脱着部材１５０を第１内フランジ２０ａから取り外すことができる。

次に、内フランジ交換部１４０は、マガジン５３ｊから内フランジ交換用の治具１６０を取り出し、治具１６０を第２爪部１４２に固定した状態で、図３３に示されるように第１内フランジ２０ａに近付く。ここで、第１内フランジ２０ａの外面および治具１６０の内面には、互いに対応するねじ山およびねじ溝が形成されている。治具１６０を第１内フランジ２０ａに嵌め込み回転させることにより、図３４に示されるように、内フランジ交換用治具１６０の中央突起部１６１を、脱着部材１５０が取り外された結果露出した第１内フランジの内部の回転軸先端１７１と接触させる。さらに、治具１６０を回転させて、中央突起部１６１により回転軸先端１７１を押し出すようにして第１内フランジ２０ａを取り出す。

第２爪部１４２を含む部分は、脱着部材回転部６と同様に回転可能に構成されており、これにより治具１６０を回転させることができる。この部分の回転方向についても、脱着部材回転部６と同様に特に限定されない。

その後、内フランジ交換部１４０は、収納部５１に移動して、第２爪部１４２から治具１６０をマガジン５３ｊに収納する。次に、内フランジ交換部１４０は、第１爪部１４１でマガジン５３ｈから第１内フランジ２０ａと径の異なる第２内フランジ２０ｂを取り出す。第１爪部１４１は、第２内フランジ２０ｂの径方向に移動可能であるため、第１爪部１４１が第２内フランジ２０ｂに接触し、第２内フランジ２０ｂを掴む。その後、図３５に示されるように、内フランジ交換部１４０はスピンドル部２１に移動して、第２内フランジ２０ｂを回転軸１７０に嵌め込む。

次に、内フランジ交換部１４０は、収納部５１に移動し、第２爪部１４２を内フランジ固定用の脱着部材１５０の凹部に嵌め込むようにして、マガジン５３ｉから脱着部材１５０を取り出す。その後、内フランジ交換部１４０を矢印１５２とは逆方向に回転させることによって、脱着部材１５０で第２内フランジ２０ｂを固定する。

その後、第２外フランジ吸着部１３２が収納部５１に移動する。第２外フランジ吸着部１３２は、マガジン５３ｄに収納されている脱着部材２４を突出部６ａを用いて保持し、マガジン５３ｆに収納されている第２外フランジを第２吸着溝５ｙにより吸着する。さらに、ブレード２２を押さえているマガジン５３ｂのブレード押さえ部材５４ｂが上に起き上がってブレード２２の押さえを解除する。その後、第２外フランジ吸着部１３２をマガジン５３ｂに収納されたブレード２２に接近させて、ブレード２２の表面に第２外フランジ吸着部１３２の第１吸着部の第１吸着部遠位面を接触させる。そして、第１吸着部のガス流路を通じてガス吸引口から吸引することにより、第１吸着部遠位面にブレード２２を吸着させる。

なお、ここで第２外フランジ吸着部１３２に吸着されるブレードは、第１外フランジ吸着部１３１から取り外されたブレード２２と径の異なる他のブレードであってもよい。この他のブレードはマガジン５３ａまたはマガジン５３ｃに収納されることができる。

その後、第２外フランジ吸着部１３２は、図１４に示される第２動作位置から、図１２および図１３に示される第１動作位置に移動させられる。そして、図１１に示されるように、第２外フランジ吸着部の遠位側への移動により、第２外フランジ吸着部をスピンドル部２１に接近させる。

次に、図１０に示すように、第２外フランジ吸着部をさらに遠位側（スピンドル部２１側）に移動させる。これにより、第２外フランジ２３ｂがスピンドル部２１の第２内フランジ２０ｂに接触し、第２内フランジ２０ｂと第２外フランジとの間にブレード２２を挟み込む。次に、脱着部材回転部６を矢印３２の方向とは逆方向に回転させることによって脱着部材２４を回転させ、脱着部材２４により第２外フランジを第２内フランジ２０ｂに締め付ける。これにより、第２内フランジ２０ｂと第２外フランジとの間にブレード２２を固定することができる。その後、第１吸着部４によるブレード２２の吸着を停止するとともに、第２吸着部５による第２外フランジの吸着を停止する。

次に、図７に示すように、第２外フランジ吸着部１３２の吸着ユニットを近位側（アーム部３側）に移動させ、第２外フランジ吸着部１３２の吸着ユニットをスピンドル部２１から引き離す。これにより、第２内フランジ２０ｂ、ブレード２２、および第２外フランジのスピンドル部２１への取り付けが完了する。

以上のように、実施形態においては、フランジの自動交換を実現することができる。
実施形態のフランジ交換機構によって、フランジ交換作業の自動化により、切断工程の生産性を向上させることができる。また、ブレードの寿命はブレードの摩耗量によって影響を受けるが、実施形態のフランジ交換機構によって、フランジを径のより小さいフランジに交換することにより、さらなるブレードの摩耗が許容されるため、同じ径のフランジのみを使用する場合と比べて摩耗したブレードの寿命を長くすることができる。

図３６に、実施形態のフランジ交換機構に用いられる検出部１００の模式的な平面図を示す。実施形態において、検出部１００は、レーザセンサ１０１と、モータとを備えている。検出部１００は、モータの駆動によって、レーザセンサ１０１の矢印１０２方向への移動が可能となるように構成されている。

図３７に、検出部１００によるブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方の検出方法の一例のフローチャートを示す。まず、ステップ１（Ｓ１）において、位置調整レーザ光遮光率Ａの測定が行なわれる。Ｓ１は、たとえば以下のように行なうことができる。

まず、レーザセンサ１０１の位置調整を行なう。ここで、レーザセンサ１０１は、たとえば、レーザ光の出射部（図示せず）とレーザ光の検知部（図示せず）との間に切断開始前のブレード２２の刃先が位置するように位置調整が行われる。次に、レーザセンサ１０１が位置調整された状態でレーザセンサ１０１の出射部からレーザ光を出射して検知部で検知する。その後、その状態でのレーザ光の遮光率（位置調整レーザ光遮光率Ａ）を測定する。位置調整レーザ光遮光率Ａは、上記のレーザセンサ１０１の位置調整後かつ切断開始前の状態でのレーザ光の出射量に対するレーザ光の検知部で検知されるレーザ光の検知量の割合である。切断開始前のブレード２２の刃先によってレーザ光の検知部への入射が遮られる傾向にあるため、位置調整レーザ光遮光率Ａは高くなり得る。

次に、ステップ２（Ｓ２）において、摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’の測定が行なわれる。Ｓ２は、たとえば以下のように行なうことができる。

まず、スピンドル部２１を回転させることによってブレード２２を回転させる。次に、回転したブレード２２によって切断対象物が切断される。次に、回転したブレード２２によって切断対象物を切断している状態でレーザセンサ１０１の出射部からレーザ光を出射して検知部で検知する。その後、その状態でのレーザ光の遮光率（摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’）を測定する。切断によってブレード２２が摩耗または破損した場合には切断開始前と比べてブレード２２の刃先によってレーザ光の検知部への入射が遮られにくくなるため、摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’は位置調整レーザ光遮光率Ａよりも低くなり得る。

次に、ステップ３（Ｓ３）において、Ｓ１で測定されたレーザ光の遮光率Ａと、Ｓ２で測定されたレーザ光の遮光率Ａ’との対比が行われる。このとき、レーザ光の遮光率Ａとレーザ光の遮光率Ａ’とが等しい場合には、ブレード２２の回転による切断対象物の切断は停止せず、再度Ｓ２に戻って摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’の測定が行なわれる。

一方、Ｓ３においてレーザ光の遮光率Ａとレーザ光の遮光率Ａ’とが等しくないと判断されると、ステップ４（Ｓ４）において、ブレード２２の回転を停止されて上述したブレード２２の自動交換が実施される。

上述のように、実施形態のフランジ交換機構がブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方が検出可能なように構成される検出部１００を備えている場合には、ブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方を検出した後にブレード２２の回転による切断が自動停止して、実施形態におけるブレード２２の自動交換を行なうことできる。これによりブレード２２の交換のさらなる自動化の実現が可能となる。

ここで、第１外フランジ２３ａおよび第１内フランジ２０ａと第２外フランジおよび第２内フランジ２０ｂとの径の大小関係と、それに関するフランジ交換及びブレード交換の一例について説明する。上述の説明において、第１外フランジ２３ａおよび第１内フランジ２０ａの径が第２外フランジおよび第２内フランジ２０ｂの径よりも大きな場合には、上述の検出部１００によりブレードの磨耗量が予め定めた値になったら、磨耗したブレードを交換することなくフランジを交換することにより、従来廃棄していたブレードを使用可能とする。上述の説明において、第１外フランジ２３ａおよび第１内フランジ２０ａの径が第２外フランジおよび第２内フランジ２０ｂの径よりも小さい場合には、上述の検出部１００によりブレードの磨耗量が予め定めた値になったら、使用済みの摩耗したブレードを使用前のブレードに交換すると共にフランジを交換する。この一連の動作を繰り返すことにより、自動的にフランジ交換およびブレード交換を繰り返して行うことができる。

以上のように実施形態について説明を行なったが、上述の各実施形態の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。

今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

ここで開示された実施形態は、フランジ交換機構、切断装置およびフランジ交換方法に利用できる可能性がある。

１ 吸着アーム、２ 吸着ユニット、３ アーム部、４ 第１吸着部、４ａ 突出部、４ｂ 突出部近位面、４ｃ 第１吸着部遠位面、４ｘ 第１吸着口、４ｙ 第１吸着溝、４ｚ ガス流路、５ 第２吸着部、５ａ 鉤状部、５ｂ 鉤状部遠位面、５ｃ 鉤状部近位面、５ｄ 第２吸着部遠位面、５ｘ 第２吸着口、５ｙ 第２吸着溝、５ｚ ガス流路、６ 脱着部材回転部、６ａ 突出部、６ｂ 回転部近位面、７ 第３バネ、８ 第２バネ、９ 回転駆動部材、９ａ 近位側張出部遠位面、１０ 軸、１１ 連結部、１１ａ 突出部、１１ｂ 連結部内側近位面、１１ｃ 連結部外側近位面、１２ ガス吸引口、１３ ガス流路、１５ スリーブ、１５ａ 収容部、１５ｂ 支持部、１５ｃ 収容部近位面、１５ｄ 支持部遠位面、１６ 第１バネ、２０ａ 第１内フランジ、２０ｂ 第２内フランジ、２１ スピンドル部、２２ ブレード、２３ａ 第１外フランジ、２４ 第１の脱着部材、２４ａ 貫通孔、２５ 第２スピンドル部、３１，３２ 矢印、４０ 移動機構、４１ 第１スライド機構、４２ 第２スライド機構、４３ 第１回転機構、４４ 第２回転機構、５１ 収納部、５３ａ マガジン、５３ｂ マガジン、５３ｃ マガジン、５３ｄ マガジン、５３ｅ マガジン、５３ｆ マガジン、５３ｇ マガジン、５３ｈ マガジン、５３ｉ マガジン、５３ｊ マガジン、５４ａ 第１のブレード押さえ部材、５４ｂ 第２のブレード押さえ部材、５４ｃ 第３のブレード押さえ部材、６１，６２，７１，７２ 矢印、８１ 矢印、８２ 第１仮想面、９１，９２ 矢印、９３ 第２仮想面、１００ 検出部、１０１ レーザセンサ、１０２ 矢印、１１０ 検査用テーブル、１１１ 切断装置、１１２ 封止済基板、１１３ 基板供給機構、１１４ 切断用テーブル、１１５ 移動機構、１１６ 回転機構、１２０ フランジ交換機構、１２１ 切断済基板、１２２ トレイ、１３０ 外フランジ交換部、１３１ 第１外フランジ吸着部、１３２ 第２外フランジ吸着部、１４０ 内フランジ交換部、１４１ 第１爪部、１４２ 第２爪部、１４３ 支点、１４４ ねじりバネ、１４５ 励磁コイル、１４６ 楔状部材、１５０ 第２の脱着部材、１５１ 切欠き部、１５２ 矢印、１６０ 治具、１６１ 中央突起部、１７０ 回転軸、１７１ 回転軸先端部、１８０，１８１ タップ雄ねじ、１８２，１８３ ボス（凸部）、１８４ タップ雌ねじ

Claims (13)

1. ブレードを保持するフランジを交換可能なフランジ交換機構であって、
   第１外フランジを前記第１外フランジとは異なる径を有する第２外フランジに交換可能な外フランジ交換部と、
   第１内フランジを前記第１内フランジとは異なる径を有する第２内フランジに交換可能な内フランジ交換部とを備え、
   前記外フランジ交換部は、前記第１外フランジを吸着可能な第１外フランジ吸着部と、前記第２外フランジを吸着可能な第２外フランジ吸着部とを含み、
   前記第１外フランジ吸着部および前記第２外フランジ吸着部は、各々、
   前記ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、
   前記第１吸着部の内側に位置し、前記第１吸着部による吸着とは独立して前記外フランジを吸着するように構成される第２吸着部と、
   前記第２吸着部の内側に位置し、前記ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部と、を備えた、フランジ交換機構。
2. 少なくとも前記第１内フランジおよび前記第２内フランジを収納可能な収納部と、
   前記内フランジ交換部を移動させることが可能な内フランジ移動機構とをさらに備え、 前記内フランジ移動機構は、前記第１内フランジおよび前記第２内フランジをスピンドル部に対して脱着可能な第１動作位置と、前記第１内フランジおよび前記第２内フランジを前記収納部に対して収納ないし取出し可能な第２動作位置との間で前記内フランジ交換部を移動可能に構成された、請求項１に記載のフランジ交換機構。
3. 前記移動機構は、前記内フランジ交換部を第１方向に移動可能に構成される第１スライド機構と、前記内フランジ交換部を前記第１方向と交差する第２方向に移動可能に構成される第２スライド機構と、前記内フランジ交換部を回転可能に構成される回転機構と、を備えた、請求項２に記載のフランジ交換機構。
4. 少なくとも前記第１外フランジおよび前記第２外フランジを収納可能な収納部と、
   前記外フランジ交換部を移動させることが可能な外フランジ移動機構とをさらに備え、 前記外フランジ移動機構は、前記第１外フランジおよび前記第２外フランジを前記第１内フランジに対して脱着可能な第１動作位置と、前記第１外フランジおよび前記第２外フランジを前記収納部に対して収納ないし取出し可能な第２動作位置との間で前記外フランジ交換部を移動可能に構成される、請求項１または請求項２に記載のフランジ交換機構。
5. 前記移動機構は、前記外フランジ交換部を第１方向に移動可能に構成される第１スライド機構と、前記外フランジ交換部を前記第１方向と交差する第２方向に移動可能に構成される第２スライド機構と、前記外フランジ交換部を回転可能に構成される回転機構と、を備えた、請求項４に記載のフランジ交換機構。
6. 前記回転機構は、前記内フランジ交換部および前記外フランジ交換部を第１仮想面において回転可能に構成される第１回転機構と、前記内フランジ交換部および前記外フランジ交換部を前記第１仮想面とは異なる第２仮想面において回転可能に構成される第２回転機構と、を備えた、請求項３または請求項５に記載のフランジ交換機構。
7. アーム部をさらに備え、
   前記アーム部は、前記外フランジ交換部と前記内フランジ交換部とに接続されている、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のフランジ交換機構。
8. 前記ブレードの摩耗および破損の少なくとも一方を検出可能な検出部をさらに備えた、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のフランジ交換機構。
9. 請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のフランジ交換機構と、前記ブレードと、スピンドル部とを備えた、切断装置。
10. ブレードを保持するフランジを交換するフランジ交換方法であって、
    第１外フランジおよび前記ブレードをスピンドル部から取り外す工程と、
    前記第１外フランジ、および前記ブレードを吸着ユニットにより保持して前記スピンドル部から収納部に移動させる工程と、
    第１内フランジを前記スピンドル部から取り外す工程と、
    前記第１内フランジとは異なる径を有する第２内フランジを前記スピンドル部に取付ける工程と、
    前記第１外フランジとは異なる径を有する第２外フランジを前記スピンドル部に取付ける工程とを備え、
    前記第１外フランジを取り外す工程および前記第２外フランジを取り付ける工程は、外フランジ交換部によって行われ、
    前記外フランジ交換部は、前記第１外フランジを吸着可能な第１外フランジ吸着部と、前記第２外フランジを吸着可能な第２外フランジ吸着部とを含み、
    前記第１外フランジ吸着部および前記第２外フランジ吸着部は、各々、
    前記ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、
    前記第１吸着部の内側に位置し、前記第１吸着部による吸着とは独立して前記外フランジを吸着するように構成される第２吸着部と、
    前記第２吸着部の内側に位置し、前記ブレードをスピンドル部に脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部と、を備えた、フランジ交換方法。
11. 前記ブレードを径の異なる他のブレードに交換する工程をさらに備えた、請求項１０に記載のフランジ交換方法。
12. 前記ブレードの摩耗および破損の少なくとも一方を検出する工程をさらに備えた、請求項１０または請求項１１に記載のフランジ交換方法。
13. 請求項１０から請求項１２のいずれか１項に記載のフランジ交換方法を用いた切断品の製造方法であって、
    少なくとも前記第２外フランジを前記スピンドル部に取り付ける工程の後に、切断対象物をブレードにより切断する工程をさらに備えた、切断品の製造方法。