KR102491628B1 - 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 블레이드 교환 기구에 대한 물, 물방울, 미스트 등의 부착을 억제하거나 방지할 수 있는 방수 커버의 제공을 목적으로 한다. 본 발명의 블레이드 교환 장치는, 블레이드 교환 기구 및 방수 커버(1000)를 가지며, 방수 커버(1000)가 상기 블레이드 교환 기구의 적어도 일부를 덮는 커버 본체(1002)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법{BLADE REPLACEMENT APPARATUS, CUTTING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF CUT PRODUCT}

본 발명은, 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법에 관한 것이다.

절단 대상물을 절단하기 위한 절단 장치에서, 절단 대상물을 절단하는 블레이드(칼날)를 교환하기 위한 블레이드 교환 기구가 마련될 수 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는, 블레이드(22)를 흡착하도록 구성되는 제1 흡착부(4), 상기 제1 흡착부의 내측에 위치하며, 상기 제1 흡착부에 의한 흡착과는 독립적으로 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되는 제2 흡착부(5) 및 상기 제2 흡착부의 내측에 위치하며, 상기 블레이드(22)를 스핀들(21)에 탈착 가능하게 하는 탈착 부재(24)를 회전시킬 수 있도록 구성되는 탈착 부재 회전부(6)를 구비하는 블레이드 교환 기구가 기재되어 있다.

일본 특허 공개 제2019-005857호 공보

절단 장치에서는, 특허문헌 1에도 기재되어 있는 바와 같이, 고속으로 회전하는 블레이드에 의해 발생하는 마찰열을 억제하기 위하여, 절단 대상물 및 블레이드에 물(절삭수 또는 냉각수라고도 하는 경우가 있다.)을 뿌리면서 절단을 하는 경우가 있다. 또한, 절단 잔여물 등을 세정하기 위해 세정수를 분사하는 경우가 있다. 이때, 절삭수 또는 세정수 등의 물로부터, 물방울, 미스트(미세한 물방울) 등이 발생할 수 있다. 그리하여, 블레이드 교환 기구에, 물, 물방울, 미스트 등이 부착되면, 블레이드 교환 기구의 동작 불량 등이 일어날 우려가 있다.

따라서, 본 발명은, 블레이드 교환 기구에 대한, 물, 물방울, 미스트 등의 부착을 억제하거나 방지할 수 있는 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법의 제공을 목적으로 한다.

이 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 블레이드 교환 장치는 블레이드 교환 기구 및 방수 커버를 가지며, 상기 방수 커버가 상기 블레이드 교환 기구의 적어도 일부를 덮는 커버 본체를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 절단 장치는,

본 발명의 블레이드 교환 장치 및 스핀들부를 포함하고,

상기 스핀들부는 절단 대상물을 절단하는 블레이드를 회전시키며,

상기 블레이드를 상기 블레이드 교환 장치에 의해 교환할 수 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 절단품의 제조 방법은,

절단 대상물을 절단하여 제조되는 절단품의 제조 방법으로서,

본 발명의 절단 장치에 의해 상기 절단 대상물을 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 블레이드 교환 기구에 대한, 물, 물방울, 미스트 등의 부착을 억제하거나 방지할 수 있는 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1은 방수 커버의 일례를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 방수 커버의 사시도이다.
도 3은 도 1의 방수 커버의 정면도이다.
도 4는 도 1의 방수 커버의 좌측면도이다.
도 5는 도 1의 방수 커버의 저면 부재를 나타내는 도면 및 그 일부의 확대도이다.
도 6은 블레이드 교환 기구의 일례를 나타낸 정면도이다.
도 7은 도 6의 블레이드 교환 기구를 도 1의 방수 커버로 덮은 블레이드 교환 장치를 나타내는 정면도이다.
도 8은 실시예의 절단 장치를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 9는 실시예의 블레이드 교환 기구에 이용되는 흡착 아암의 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 10은 도 9에 나타내는 흡착 아암을 다른 각도에서 본 경우를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 11은 도 9 및 도 10에 나타낸 흡착 유닛을 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 12는 도 9 내지 도 11에 나타낸 흡착 유닛을 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 13은 실시예의 블레이드 교환 방법의 일부 공정을 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 14는 실시예의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 15는 실시예의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 16은 실시예의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 17은 실시예의 블레이드 교환 방법의 공정의 일부를 모식적으로 나타낸 단면도이다.
도 18은 흡착 유닛이 제1 동작 위치에 위치하고 있는 상태에서의 일 실시예의 절단 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 19는 도 18에 나타낸 절단 장치를 다른 각도에서 본 경우를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 20은 흡착 유닛이 제2 동작 위치에 위치하고 있는 상태에서의 일 실시예의 절단 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 21은 흡착 유닛이 제1 동작 위치에 위치하고 있는 상태에서의 다른 일 실시예의 절단 장치를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 22는 도 21에 나타낸 절단 장치를 다른 각도에서 본 경우를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 23은 실시예에서 제1 슬라이딩 기구에 의해 흡착 유닛이 Y방향으로 이동하는 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 24는 실시예에서 제1 슬라이딩 기구에 의해 흡착 유닛이 Y방향으로 이동하는 다른 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 25는 실시예에서 제2 슬라이딩 기구에 의해 흡착 유닛이 Z방향으로 이동하는 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 26은 실시예에서 제2 슬라이딩 기구에 의해 흡착 유닛이 Z방향으로 이동하는 다른 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 27은 실시예에서 제1 회전 기구에 의해 흡착 유닛이 X-θ방향으로 회전하는 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 28은 실시예에서 제1 회전 기구에 의해 흡착 유닛이 X-θ방향으로 회전하는 다른 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 29는 실시예에서 제2 회전 기구에 의해 흡착 유닛이 Y－θ방향으로 회전하는 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 30은 실시예에서 제2 회전 기구에 의한 흡착 유닛이 Y-θ방향으로 회전하는 다른 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 31은 실시예에서 수납부를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 32는 실시예에서 블레이드 가압 부재가 올려졌을 때 도 31에 나타낸 수납부를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 33은 실시예에서 검출부를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
도 34는 실시예에서 검출부에 의한 블레이드의 마모 및 파손 중 적어도 하나의 검출 방법의 일례를 나타낸 흐름도이다.

다음으로, 본 발명에 대해 예를 들어 더욱 상세히 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 설명에 의해 한정되지 않는다.

본 발명의 블레이드 교환 장치에서 상기 방수 커버(이하, 「본 발명의 방수 커버」라고 하는 경우가 있다.)는, 예를 들면 개폐문을 더 포함하고 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 장치는, 예를 들면, 상기 커버 본체 내에 기체를 공급하는 기체 공급부를 더 포함하고 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 장치는, 예를 들면, 상기 커버 본체 내의 기체를 배기하는 배기구를 더 가지고 있을 수 있다.

본 발명의 방수 커버는, 예를 들면, 그 측면 및 저면의 적어도 하나에서, 블레이드에 의한 절단 대상물과 대향하는 쪽의 적어도 일부가 하방을 향해 상기 절단 대상물과 반대쪽으로 기울어져 있을 수 있다.

본 발명의 방수 커버는, 예를 들면, 상기 블레이드 교환 기구와 함께 이동할 수 있는 이동부를 포함하고 있을 수 있다. 이 경우, 본 발명의 방수 커버는, 예를 들면, 상기 이동부에 더해, 이동하지 않는 고정부를 더 포함하고 있을 수 있고, 포함하지 않을 수도 있다. 예를 들면, 본 발명의 방수 커버의 일부가 상기 이동부이고, 일부가 상기 고정부일 수 있으며, 본 발명의 방수 커버의 전체가 상기 이동부일 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 장치는, 예를 들면,

상기 방수 커버가 상기 이동부를 포함하는 방수 커버이며,

상기 블레이드 교환 기구는 상기 이동부를 이동시키는 이동 기구를 포함하고 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 장치는, 예를 들면, 교환용 블레이드를 수납할 수 있는 수납부를 더 포함하고 있을 수 있다.

본 발명의 절단 장치는, 예를 들면, 블레이드를 더 포함하고 있을 수 있다.

본 발명의 절단품의 제조 방법은, 예를 들면, 상기 절단 대상물을 절단하는 블레이드를 교환하는 공정을 더 포함하고 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 장치에서 이용하는 상기 블레이드 교환 기구(이하, 「본 발명의 블레이드 교환 기구」라고 하는 경우가 있다.)는, 예를 들면, 블레이드를 흡착하도록 구성되는 제1 흡착부, 상기 제1 흡착부의 내측에 위치하며, 상기 제1 흡착부에 의한 흡착과는 독립적으로 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되는 제2 흡착부 및 상기 제2 흡착부의 내측에 위치하고, 상기 블레이드를 스핀들부에 탈착 가능하게 하는 탈착 부재를 회전시킬 수 있도록 구성되는 탈착 부재 회전부를 구비하는 블레이드 교환 기구일 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 기구에서, 예를 들면, 상기 탈착 부재는 너트일 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 기구는, 예를 들면, 아암부를 더 구비하고, 상기 아암부는 상기 제1 흡착부, 상기 제2 흡착부 및 상기 탈착 부재 회전부를 포함하는 흡착 유닛에 장착되어 있는 형태일 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 기구는, 예를 들면, 교환용 블레이드를 수납할 수 있는 수납부를 더 구비하고 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 기구는, 예를 들면, 이동 기구를 더 구비하고, 상기 이동 기구는 상기 블레이드를 탈착할 수 있는 제1 동작 위치와 상기 교환용 블레이드를 상기 수납부로부터 꺼낼 수 있는 제2 동작 위치 사이에 상기 흡착 유닛을 이동시킬 수 있도록 구성되어 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 기구에서, 예를 들면, 상기 이동 기구는, 상기 흡착 유닛을 제1 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 제1 슬라이딩 기구, 상기 흡착 유닛을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되는 제2 슬라이딩 기구 및 상기 흡착 유닛을 회전시킬 수 있도록 구성되는 회전 기구를 구비하고 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 기구에서, 예를 들면, 상기 회전 기구는, 상기 흡착 유닛을 제1 가상면에서 회전시킬 수 있도록 구성되는 제1 회전 기구 및 상기 흡착 유닛을 상기 제1 가상면과는 다른 제2 가상면에서 회전시킬 수 있도록 구성되는 제2 회전 기구를 구비하고 있을 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 기구는, 예를 들면, 상기 블레이드의 마모 및 파손 중 적어도 하나를 검출할 수 있도록 구성되는 검출부를 더 구비하고 있을 수 있다.

본 발명의 절단 장치는, 예를 들면, 본 발명의 블레이드 교환 기구 및 상기 스핀들부를 구비하는 절단 장치일 수 있다. 또한, 본 발명의 절단 장치는, 예를 들면, 상기 블레이드를 더 구비하고 있을 수 있다.

본 발명의 절단 장치에서, 블레이드를 교환하는 방법(이하, 「본 발명의 블레이드 교환 방법」이라고 하는 경우가 있다.)은, 예를 들면, 블레이드를 흡착하도록 구성되는 제1 흡착부, 상기 제1 흡착부의 내측에 위치하며, 상기 제1 흡착부에 의한 흡착과는 독립적으로 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되는 제2 흡착부 및 상기 제2 흡착부의 내측에 위치하며, 상기 블레이드를 스핀들부에 탈착할 수 있는 탈착 부재를 회전 가능하게 구성되는 탈착 부재 회전부를 구비하는 블레이드 교환 기구를 이용하는 블레이드 교환 방법으로서, 상기 블레이드를 상기 제1 흡착부에 의해 흡착함과 함께 상기 제1 흡착부에 의한 흡착과는 독립적으로 상기 제2 흡착부에 의해 상기 플랜지 또는 상기 허브를 흡착한 상태에서 상기 탈착 부재 회전부에 의해 상기 탈착 부재를 회전시켜 상기 탈착 부재를 상기 스핀들부로부터 분리하는 공정, 상기 제1 흡착부, 상기 제2 흡착부 및 상기 탈착 부재 회전부를 포함하는 흡착 유닛을 수납부에 이동시키는 공정, 상기 제1 흡착부에 의한 흡착을 해제하여 상기 블레이드를 상기 수납부에 수납하는 공정, 상기 수납부에 수납되어 있는 교환용 블레이드를 상기 제1 흡착부에 의해 흡착하는 공정, 상기 흡착 유닛을 이동시켜 상기 교환용 블레이드를 상기 스핀들부에 삽입하는 공정 및 상기 탈착 부재 회전부에 의해 상기 탈착 부재를 회전시켜 상기 교환용 블레이드를 상기 스핀들부에 고정하는 공정을 구비하는, 블레이드 교환 방법일 수 있다.

본 발명의 블레이드 교환 방법은, 예를 들면, 상기 블레이드의 마모 및 파손 중 적어도 하나를 검출하는 공정을 더 구비하고 있을 수 있다.

본 발명에서, 절단 대상물은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 수지 성형품, 전자 부품 등의 기판일 수 있다. 상기 기판(인터포저라고도 한다.)으로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 리드 프레임, 프린트 배선 기판, 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 기판, 유리 에폭시제 기판, 세라믹제 기판, 수지제 기판, 금속제 기판 등일 수 있다. 상기 기판은, 예를 들면, 그 한쪽 면 또는 양면에 칩이 실장된 실장 기판일 수 있다. 상기 칩의 실장 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 와이어 본딩, 플립칩 본딩 등을 들 수 있다. 본 발명에서는, 예를 들면, 상기 실장 기판을 수지 밀봉함으로써, 상기 칩이 수지 밀봉된 전자 부품을 제조할 수 있다. 또한, 상기 기판의 용도는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 휴대 통신 단말용 고주파 모듈 기판, 전력 제어용 모듈 기판, 기기 제어용 기판 등을 들 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 도면에 기초하여 설명한다. 각 도면은 설명의 편의상 적절하게 생략 및 과장 등을 하여 모식적으로 나타내었다.

실시예 1

본 실시예에서는, 본 발명의 방수 커버의 일례와 그것을 이용한 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법의 일례에 대해 설명한다.

도 1 내지 도 4에, 본 발명의 방수 커버의 일례를 나타낸다. 도 1의 (a)~(e)는 이 방수 커버를 각 방향으로부터 바라본 도면이다. 도 1의 (a)는 상면도이다. 도 1의 (b)는 정면도이다. 도 1의 (c)는 저면도이다. 도 1의 (d)는 좌측면도이다. 도 1의 (d2)는, 도 1의 (d)에서 방수 커버 본체의 일부를 떼어낸 상태의 도면이다. 도 1의 (e)는 우측면도이다. 도 2는 도 1과 동일한 방수 커버의 사시도이다. 도 3은 도 1의 (b)와 마찬가지로, 도 1의 방수 커버의 정면도이다. 도 4에서, 도 4의 (d) 및 도 4의 (d2)는 각각, 도 1의 (d) 및 도 1의 (d2)와 마찬가지로 도 1의 방수 커버의 좌측면도이다. 도시한 바와 같이, 이 방수 커버(1000)는, 블레이드 홀더(1001), 커버 본체(1002), 커버 본체(1002)의 개폐문(1003), 배기통(1004), 상부 상판(1005), 하부 상판(1006), 저판(1002B) 및 기체 공급부(1007)를 포함한다. 커버 본체(1002)는, 후술하는 바와 같이 그 내부에 블레이드 교환 기구의 일부 또는 전부를 수용하여 덮을 수 있다. 개폐문(1003)은 커버 본체(1002)의 일측면에 장착되며, 개폐 가능하다. 예를 들면, 커버 본체(1002) 내로 블레이드 교환 기구를 넣고 뺄 때, 개폐문(1003)을 개폐할 수 있다. 개폐문(1003)은, 예를 들면, 개폐 기구(도시 생략)에 의해 개폐 가능하다. 상기 개폐 기구로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 에어 실린더 등을 들 수 있다. 하부 상판(1006)은 커버 본체(1002)의 상단에 장착되고, 상부 상판(1005)은 하부 상판(1006)의 상면에 장착되어 있다. 상부 상판(1005) 및 하부 상판(1006)은 각각 커버 본체(1002)의 개폐문(1003) 쪽으로 돌출되어 있다. 기체 공급부(1007)는 커버 본체(1002) 내에 마련되며, 커버 본체(1002) 내에 기체(예를 들면, 공기)를 공급할 수 있다. 배기통(1004)은 상부 상판(1005)의 상방으로 돌출되도록 마련되어 있다. 배기통(1004)은 상부 상판(1005)의 홀부(도시 생략)를 통하여 커버 본체(1002) 내부와 연통되어 있다. 배기통(1004)은 그 상단에, 커버 본체(1002) 내의 기체를 배기하는 배기구를 갖는다. 블레이드 홀더(1001)는, 하부 상판(1006)에서 커버 본체(1002)로부터 돌출된 단부의 하면에서, 하방으로 돌출하도록 장착되어 있다. 블레이드 홀더(1001)의 하단에는, 후술하는 바와 같이 블레이드 매거진(블레이드의 수납부)을 장착할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 방수 커버(1000)에 블레이드 홀더(1001)가 장착되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 블레이드 홀더가 방수 커버에 장착되지 않고, 방수 커버와 별도의 부재일 수 있다. 또한, 개폐문(1003) 및 배기통(1004)은 각각 있어도 되고 없어도 되지만, 있는 것이 편리성의 관점에서 바람직하다. 상부 상판(1005) 및 하부 상판(1006)은 있어도 되고 없어도 된다. 또한, 배기통(1004), 상부 상판(1005) 및 하부 상판(1006)은, 각각 도 1과 같이 방수 커버(1000)의 일부를 구성하고 있을 수 있으며, 방수 커버와 별도의 부재일 수도 있다. 예를 들면, 방수 커버(1000)가 커버 본체(1002)만으로 이루어져 있을 수 있을 수 있으며, 커버 본체(1002) 및 개폐문(1003)만으로 이루어져 있을 수도 있다.

절단 대상물의 절단시에는, 후술하는 바와 같이 블레이드 교환 기구를 커버 본체(1002) 내에 수납하고 개폐문(1003)을 닫은 상태에서, 기체 공급부(1007)에 의해 커버 내에 기체를 공급할 수 있다. 그리고, 배기통(1004)의 배기구로부터 기체와 함께 물방울이나 미스트 등을 외부로 배출할 수 있다.

또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 방수 커버(1000)의 커버 본체(1002)에서 저면(저판(1002B)의 하면)의 동일 도면 좌측에는, 경사면(1002a)이 마련되어 있다. 또한, 커버 본체(1002)에서, 도 4 좌측의 측면 일부에는 도시한 바와 같이 경사면(1002b)이 마련되어 있다. 경사면(1002a) 및 경사면(1002b)은 모두 하방을 향해 도면 우측으로 기울어져 있다. 도 4에서, 동일 도면 좌측에 절단 대상물이 배치되고 블레이드에 의해 절단된다. 그리고, 경사면(1002a) 및 경사면(1002b)은 모두 하방을 향해 도면 우측, 즉 상기 절단 대상물과 반대쪽으로 기울어져 있다. 이 경사에 대해 다시 말하면, 측면에서 보았을 때 커버 본체(1002)의 폭이 하방을 향해 좁아지도록 기울어져 있다고도 표현할 수 있다. 블레이드에 의해 절단 대상물이 절단되어 만들어진 제품이 아닌 부분인 잔여 조각 등이 방수 커버에 충돌하여 반사되면, 반사되 상기 잔여 조각 등이 제조 목적으로 하는 절단품에 충돌하여 손상 등의 불량이 생길 우려가 있다. 이에 대해, 경사면(1002a) 또는 경사면(1002b)과 같이 하방을 향해 상기 절단 대상물과 반대쪽으로 기울어져 있는 경사면을 마련함으로써, 상기 잔여 조각 등이 곧장 반사되어 절단품에 충돌하는 현상을 억제하거나 방지할 수 있다. 이에 따라, 상술한 손상 등의 불량의 문제를 억제하거나 방지할 수 있다.

또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 커버 본체(1002) 저면의 저판(1002B)에는 배수용 구멍(1002Ba)이 마련되어 있어, 물이 커버 본체(1002) 내부로 유입되어도 배출할 수 있는 구성으로 되어 있다. 한편, 도 5의 좌측 도면은 저판(1002B)의 사시도이며, 그 도면 중의 영역 α는 배수용 구멍(1002Ba)이 마련된 영역이다. 도 5의 우측 도면은 좌측의 도면 영역 α의 확대도이다.

도 6의 측면도에 블레이드 교환 기구의 일례를 나타낸다. 도시한 바와 같이, 이 블레이드 교환 기구는, 흡착 유닛(2), 아암부(3) 및 수납부(51)를 가지며, 제1 슬라이딩 기구(41) 및 제2 슬라이딩 기구(42)를 구비하는 이동 기구(40)를 구비하고 있다. 제1 슬라이딩 기구(41)는, 예를 들면, 후술하는 실시예 2에서 나타내는 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 Y방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 한다. 흡착 유닛(2)의 Y방향으로의 이동은, 예를 들면, 흡착 유닛(2)의 제1 동작 위치로의 이동 및 제2 동작 위치로의 이동 등에 이용할 수 있다. 수납부(51)는 블레이드 매거진을 구비하고 있으며, 절단 대상물을 절단하는 블레이드를 수납할 수 있다. 또한, 제1 슬라이딩 기구(41)의 상면의 일단에는 제1 슬라이딩 기구 장착부(201)가 마련되고, 타단에는 제1 슬라이딩 기구 장착부(202)가 마련되어 있다. 제1 슬라이딩 기구 장착부(201, 202)는 각각 원통 형상이다. 제1 슬라이딩 기구 장착부(201, 202)의 상부에는 상부 상판(1005)이 장착된다. 방수 커버(1000)는 제1 슬라이딩 기구(41)에 장착된다. 또한, 이 블레이드 교환 기구는 이동 기구(도시 생략)를 포함하고, 그 이동 기구에 의해 블레이드 교환 기구를 방수 커버와 함께 이동시킬 수 있다. 한편, 블레이드 교환 기구의 구성 및 동작 등에 대하여, 보다 자세하게는 후술하는 실시예 2에서 설명한다.

도 7의 측면도에 본 실시예의 블레이드 교환 장치를 나타낸다. 도시한 바와 같이, 이 블레이드 교환 장치는, 도 6의 블레이드 교환 기구에 도 1 내지 도 4의 방수 커버(1000)가 장착된 장치이다. 도시한 바와 같이, 제1 슬라이딩 기구 장착부(201, 202)에 의해 제1 슬라이딩 기구(41)가 방수 커버(1000)의 상부 상판(1005)에 장착되고, 제1 슬라이딩 기구(41)에 방수 커버(1000)가 장착됨으로써, 블레이드 교환 기구에 방수 커버(1000)가 장착되어 있다. 블레이드 교환 기구의 흡착 유닛(2) 및 아암부(3)는 커버 본체(1002)에 의해 덮여 있다. 도 7은 개폐문(1003)이 열린 상태이지만, 사용시(절단 대상물의 절단시)에는 개폐문(1003)을 닫을 수 있다. 이에 따라, 흡착 유닛(2) 및 아암부(3)에 대한 절삭수, 물방울, 미스트 등의 부착을 억제하거나 방지할 수 있다. 또한, 도 6에 나타낸 바와 같이, 절단 대상물의 절단시에는 블레이드 교환 기구의 흡착 유닛(2)이 개폐문(1003)과는 반대 방향을 향하도록 방수 커버(1000)에 수납된다. 이와 같이 수납함으로써, 블레이드를 흡착하는 부분인 흡착 유닛(2)에, 절삭수, 물방울, 미스트 등이 부착되는 것을 저감시킬 수 있다. 흡착 유닛(2) 및 아암부(3)에 대한 절삭수, 물방울, 미스트 등의 부착을 저감시킴으로써, 블레이드 교환 기구의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감시킬 수 있다. 블레이드 홀더(1001)에는 수납부(51)가 장착되어 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 블레이드 교환 기구의 이동 기구(도시 생략)에 의해 블레이드 교환 기구를 방수 커버(1000)와 함께 이동시킬 수 있다. 동일 도면의 방수 커버(1000)는 전체가 이동 가능한 「이동부」이지만, 상술한 바와 같이, 본 발명의 방수 커버는 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 상술한 바와 같이, 본 발명의 방수 커버의 일부가 이동 가능한 이동부이고, 일부가 이동하지 않는 고정부일 수도 있다.

실시예 2

본 실시예에서는, 본 발명의 블레이드 교환 기구, 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법의 다른 일례에 대해 설명한다. 한편, 본 실시예에서는 특히, 블레이드 교환 기구에 대하여 실시예 1보다 구체적이고 상세히 설명한다. 본 실시예에서는 설명의 간략화를 위하여, 방수 커버 및 블레이드 교환 기구의 제1 슬라이딩 기구 장착부에 대해서는 도시 및 설명을 생략하였다. 그러나, 실제로는 방수 커버를 이용하여 블레이드 교환 기구의 적어도 일부를 덮도록 한다. 본 실시예에서 이용하는 방수 커버는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 실시예 1에서 설명한 방수 커버(1000)와 동일할 수 있다. 또한, 본 실시예에서 이용하는 블레이드 교환 장치는, 방수 커버 및 블레이드 교환 기구를 포함한다. 본 실시예에서 이용하는 블레이드 교환 장치의 구성은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 실시예 1의 도 7과 마찬가지로, 블레이드 교환 기구의 일부를 방수 커버(1000)로 덮은 구성일 수 있다.

도 8에 본 실시예의 절단 장치의 모식적인 평면도를 나타낸다. 본 실시예의 절단 장치는 본 발명의 절단 장치의 일례이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 절단 장치는 절단 대상물을 절단함에 따라 복수의 제품을 개별화하는 장치이다. 본 실시예의 절단 장치(111)는, 기판 공급 모듈(A), 기판 절단 모듈(B) 및 검사 모듈(C)을 각각 구성 요소로서 구비하고 있다. 각 구성 요소(각 모듈 A~C)는 각각 다른 구성 요소에 대하여 착탈 가능함과 함께 교환 가능하다.

기판 공급 모듈(A)은, 예를 들면, 절단 대상물의 일례에 상당하는 밀봉후 기판(112)을 공급하도록 구성되어 있는 기판 공급 기구(113) 및 절단 장치(111)의 동작이나 제어 등을 행하도록 구성되어 있는 제어부(CTL)를 구비하고 있다. 밀봉후 기판(112)은, 예를 들면, 프린트 배선 기판이나 리드 프레임 등으로 이루어지는 기판(도시 생략), 기판이 가지는 복수의 영역에 장착된 복수의 기능 소자(반도체 소자 등의 칩)(도시 생략) 및 복수의 영역이 일괄적으로 덮이도록 형성된 밀봉 수지(도시 생략)를 구비하고 있다. 보다 구체적으로는, BGA(Ball　grid　array) 패키지 기판, LGA(Land　Grid　Array) 패키지 기판, CSP(Chip　size　package) 패키지 기판, LED(Light　emitting　diode) 패키지 기판 등을 들 수 있다. 밀봉후 기판(112)은 최종적으로 절단되어 개별화되는 절단 대상물이다. 밀봉후 기판(112)은, 예를 들면, 반송 기구(도시 생략) 등에 의해 기판 절단 모듈(B)에 반송될 수 있다.

기판 절단 모듈(B)는, 예를 들면, 밀봉후 기판(112)을 설치하도록 구성되어 있는 절단용 테이블(114), 절단용 테이블(114)을 Y방향으로 이동시키도록 구성되어 있는 이동 기구(115), 절단용 테이블(114)을 θ방향으로 회전시키도록 구성되어 있는 회전 기구(116), 후술하는 스핀들부(21) 및 후술하는 본 실시예의 블레이드 교환 기구(120)를 구비할 수 있다. 절단용 테이블(114)은, 예를 들면, 절단용 지그(도시 생략)를 구비하고 있을 수 있으며, 절단용 테이블(114)이 절단용 지그를 구비하는 경우에는 절단용 지그 위에 밀봉후 기판(112)이 설치될 수 있다.

도 8에서, 본 실시예의 절단 장치(111)는, 설명의 편의상 하나의 스핀들부(21)를 가지는 싱글 스핀들 구성의 절단 장치로서 나타내져 있다. 그러나, 본 실시예의 절단 장치(111)는 싱글 스핀들 구성의 절단 장치에 한정되지 않으며, 예를 들면, 후술하는 바와 같이 스핀들부를 2개 가지는 트윈 스핀들 구성의 절단 장치로 할 수 있음은 물론이다.

스핀들부(21)는, 예를 들면, 독립적으로 X방향과 Z방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 스핀들부(21)의 회전축의 선단부에는, 예를 들면, 원판상의 블레이드(22)가 장착되어 있다. 블레이드(22)는, 예를 들면, 회전축의 축 방향(X방향)에 대하여 직교하는 면(Y축과 Z축을 포함하는 면)에 평행하게 고정될 수 있다. 또한, 스핀들부(21)는, 예를 들면, 고속으로 회전하는 블레이드(22)에 의해 발생하는 마찰열을 억제하기 위하여, 절삭수를 분사하는 절삭수용 노즐(도시 생략)을 구비하고 있을 수 있다. 또한, 스핀들부(21)에 대해서 절단용 테이블(114)을 상대적으로 이동시키면서 밀봉후 기판(112)을 절단할 수 있다. 블레이드(22)는, 예를 들면, Y축과 Z축을 포함하는 면 내에서 회전함으로써 밀봉후 기판(112)을 절단하도록 구성할 수 있다.

검사 모듈(C)은, 예를 들면, 검사용 테이블(110) 및 트레이(122)를 구비할 수 있다. 검사용 테이블(110)은, 예를 들면, 밀봉후 기판(112)을 절단하고 개별화된 복수의 제품(P)으로 이루어지는 집합체인 절단후 기판(121)을 설치 가능하게 구성할 수 있다. 복수의 제품(P)은, 예를 들면, 검사용 카메라(도시 생략)에 의해 검사되어, 양품과 불량품으로 선별될 수 있다. 트레이(122)는, 예를 들면, 양품으로 선별된 제품(P)을 수용 가능하게 구성할 수 있다.

도 9는 본 실시예의 블레이드 교환 기구에 이용되는 흡착 아암의 일례를 모식적으로 나타낸 사시도이다. 흡착 아암(1)은 흡착 유닛(2) 및 흡착 유닛(2)에 장착된 아암부(3)를 구비하고 있다. 흡착 유닛(2)은 아암부(3)의 일단에 장착되어 있다.

도 10는 도 9에 나타내는 흡착 아암(1)을 다른 각도에서 본 경우를 모식적으로 나타낸 사시도이다. 흡착 유닛(2)은 원통형의 제1 흡착부(4), 원통형의 제2 흡착부(5) 및 링 형의 탈착 부재 회전부(6)를 구비하고 있다. 도 9와 도 10에서, 탈착 부재 회전부(6), 제2 흡착부(5) 및 제1 흡착부(4)는 흡착 유닛(2)의 흡착측(원위측)으로부터 흡착 유닛(2)의 아암부(3)측(근위측)에 걸쳐, 제1 흡착부(4), 제2 흡착부(5) 및 탈착 부재 회전부(6) 순으로 각각의 원위측의 표면이 보이도록 나타나 있다. 한편, 흡착 유닛(2)의 설명에서, 근위측은 아암부(3)측을 의미하고, 원위측은 흡착 유닛(2)의 흡착측을 의미한다.

도 11은 도 9 및 도 10에 나타내는 흡착 유닛(2)을 모식적으로 나타낸 평면도이다. 제1 흡착부(4)의 내측에 제2 흡착부(5)가 위치하고 있으며, 제2 흡착부(5)의 내측에 탈착 부재 회전부(6)가 위치하고 있다. 제1 흡착부(4)는 후술하는 블레이드를 흡착하도록 구성되어 있는 복수의 제1 흡착구(4x) 및 복수의 제1 흡착구(4x)를 지나는 링 형의 제1 흡착홈(4y)을 구비하고 있다. 제2 흡착부(5)는 후술하는 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되어 있는 복수의 제2 흡착구(5x) 및 복수의 제2 흡착구(5x)를 지나는 링 형의 제2 흡착홈(5y)을 구비하고 있다. 탈착 부재 회전부(6)는 서로 간격을 두고 링 형으로 배치된 복수의 돌출부(6a)를 구비하고 있다. 탈착 부재 회전부(6)는 회전 가능하게 구성되어 있으며, 예를 들면 도 11의 화살표 방향으로 회전 가능하지만, 탈착 부재 회전부(6)의 회전 방향은 특별히 한정되지 않음은 물론이다.

도 12는 도 9 내지 도 11에 나타내는 흡착 유닛(2)을 모식적으로 나타낸 단면도이다. 제1 흡착부(4)는 중공을 가지며, 제1 흡착부(4)의 중공의 내측에 중공을 가지는 제2 흡착부(5)가 위치하고 있다. 제1 흡착부(4)의 중공을 둘러싸는 외벽에는, 제1 흡착구(4x)를 지나 제1 흡착홈(4y)을 통하여, 후술하는 블레이드를 흡인하도록 구성된 가스 유로(14)가 마련되어 있다. 가스 유로(14)는 제1 흡착구(4x)와 통하는 가스 유로(4z)에 접속되어 있다. 제1 흡착부(4)는 제1 흡착부(4)에 근위측의 외벽의 일부에서 내측으로 돌출하는 돌출부(4a)를 구비하고 있다. 돌출부(4a)는 돌출부(4a)의 근위측에 돌출부 근위면(4b)을 구비하고 있다. 제1 흡착부(4)는 제1 흡착부(4)로부터 원위측의 표면으로서 제1 흡착부 원위면(4c)을 구비하고 있다.

제2 흡착부(5)의 중공을 둘러싸는 외벽에는 제2 흡착구(5x)를 개재하여 제2 흡착홈(5y)을 통해 플랜지 또는 허브를 흡착하도록 구성되어 있는 가스 유로(13)가 마련되어 있다. 가스 유로(13)의 일단에는 가스 유로(13) 중의 가스를 흡인하도록 구성되어 있는 가스 흡인구(12)가 장착되어 있다. 가스 유로(13)의 타단에는 제2 흡착구(5x)와 통하는 가스 유로(5z)가 접속되어 있다. 제2 흡착부(5)는 제2 흡착부(5)에 근위측의 단부에 내측으로 돌출된 후크 형상부(5a)를 구비하고 있다. 후크 형상부(5a)는 원위측의 표면으로서 후크 형상부 원위면(5b)을 구비함과 함께, 근위측의 표면으로서 후크 형상 근위면(5c)을 구비하고 있다. 제2 흡착부(5)는 제2 흡착부(5)의 원위측의 표면으로서 제2 흡착부 원위면(5d)을 구비하고 있다.

제2 흡착부(5)도 중공을 가지며, 제2 흡착부(5)의 중공의 내측에 탈착 부재 회전부(6)가 위치하고 있다. 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)는 탈착 부재 회전부(6)가 원위측을 향해 부분적으로 돌출된 부재로 이루어져 있다. 탈착 부재 회전부(6)에 근위측에는 회전 가능한 회전 구동 부재(9)가 장착되어 있다. 회전 구동 부재(9)가 축(10)을 중심으로 회전함으로써 탈착 부재 회전부(6)도 회전할 수 있게 된다. 탈착 부재 회전부(6)의 원위측의 일부는 회전 구동 부재(9)보다 외측으로 돌출되어 있다. 탈착 부재 회전부(6)의 외측으로 돌출된 부분은, 근위측의 표면으로서 회전부 근위면(6b)을 구비하고 있다. 회전 구동 부재(9)의 근위측도 부분적으로 외측으로 돌출되어 있다. 회전 구동 부재(9)의 외측으로 돌출된 부분은 원위측의 표면으로서 근위측 돌출부 원위면(9a)을 구비하고 있다.

탈착 부재 회전부(6), 회전 구동 부재(9) 및 축(10)의 주위를 둘러싸도록 통 형상의 슬리브(15)가 위치하고 있다. 슬리브(15)는, 탈착 부재 회전부(6)를 수용할 수 있도록 구성되어 있는 수용부(15a) 및 수용부(15a)를 지지하도록 구성되어 있는 지지부(15b)를 구비하고 있다. 수용부(15a)는 지지부(15b)보다 외측으로 돌출되어 있다. 수용부(15a)는 근위측의 표면으로서 수용부 근위면(15c)을 구비하고 있다. 수용부 근위면(15c)은 후크 형상부 원위면(5b)과 서로 마주 보고 있다. 지지부(15b)는 원위측의 표면으로서 지지부 원위면(15d)를 구비하고 있다.

슬리브(15)의 근위측에는 흡착 유닛(2)과 아암부(3)를 연결 가능하게 구성되어 있는 연결부(11)가 장착되어 있다. 연결부(11)는 연결부(11)의 원위측의 돌출부(11a)가 슬리브(15)의 근위측의 중공에 삽입됨으로써 슬리브(15)에 장착되어 있다. 연결부(11)는 후크 형상부 근위면(5c)과 마주보는 연결부 내측 근위면(11b) 및 돌출부 근위면(4b)를 향하는 연결부 외측 근위면(11c)을 구비하고 있다. 연결부 외측 근위면(11c)은 연결부 내측 근위면(11b)보다 근위측이면서 외측에 위치하고 있다.

회전부 근위면(6b)과 근위측 돌출부 원위면(9a) 사이에 회전 구동 부재(9)의 주위를 둘러싸도록 제1 스프링(16)이 위치하고 있다. 제1 스프링(16)은 회전부 근위면(6b)과 근위측 돌출부 원위면(9a) 사이의 거리가 변화함에 따라 신축 가능하다.

후크 형상부 근위면(5c)과 연결부 내측 근위면(11b) 사이에 지지부(15b)의 주위를 둘러싸도록 제2 스프링(8)이 위치하고 있다. 제2 스프링(8)은 후크 형상부 근위면(5c)과 연결부 내측 근위면(11b) 사이의 거리가 변화함에 따라 신축 가능하다.

돌출부 근위면(4b)과 연결부 외측 근위면(11c) 사이에 제2 스프링(8)의 주위를 둘러싸도록 제3 스프링(7)이 위치하고 있다. 제3 스프링(7)은 돌출부 근위면(4b)과 연결부 외측 근위면(11c) 사이의 거리가 변화함에 따라 신축 가능하다.

이하, 상술한 흡착 아암을 구비한 본 실시예의 블레이드 교환 기구를 이용한 본 실시예의 블레이드 교환 방법에 대해 설명한다. 본 실시예에서는 블레이드(22)가 허브를 가지지 않는 허브리스 블레이드인 경우에 대해 설명하지만, 본 실시예는 허브리스 블레이드에 한정되는 것은 아니며, 블레이드(22)가 허브를 가지는 허브 부착 블레이드에도 적용할 수 있음은 물론이다.

우선, 도 13의 모식적 단면도에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 사용후 블레이드(22)에 근접시킨다. 여기서, 교환의 대상이 되는 사용후 블레이드(22)는 스핀들부(21)의 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23) 사이에 삽입되어 있다. 그리고, 예를 들면, 너트 등의 탈착 부재(24)에 의해 원위측 플랜지(23)가 근위측 플랜지(20)에 체결되고, 이에 따라 블레이드(22)는 스핀들부(21)의 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23) 사이에 고정되어 있다. 한편, 근위측 플랜지(20)의 근위측이란, 스핀들부(21)에 대한 근위측을 의미하고, 원위측 플랜지(23)의 원위측이란, 스핀들부(21)에 대한 원위측을 의미한다.

다음으로, 도 14의 모식적인 단면도에 나타낸 바와 같이, 제1 흡착부(4)의 제1 흡착부 원위면(4c)이 블레이드(22)의 근위측(아암부(3)쪽)의 표면에 접촉할 때까지 흡착 유닛(2)을 더욱 원위측(스핀들부(21)쪽)으로 이동시킨다.

다음으로, 도 15의 모식적인 단면도에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 더욱 원위측(스핀들부(21)쪽)으로 이동시키도록, 아암부(3)를 원위측(스핀들부(21)쪽)으로 이동시킨다. 이때, 블레이드(22)에 의해 제1 흡착부(4)는 원위측(스핀들부(21)쪽)으로부터 근위측(아암부(3)쪽)으로 힘을 받지만, 제3 스프링(7)이 돌출부 근위면(4b)에 접촉하여 수축하기 때문에 제1 흡착부(4)의 이동은 억제되고 블레이드(22)에 대한 과도한 하중이 억제된다. 그리고, 제1 흡착부(4)의 이동이 억제된 상태에서 제2 흡착부(5)가 원위측(스핀들부(21)쪽)으로 이동하고, 제2 흡착부(5) 원위측의 제2 흡착부 원위면(5d)이 원위측 플랜지(23)와 접촉한다.

제2 흡착부(5)의 제2 흡착부 원위면(5d)이 원위측 플랜지(23)와 접촉한 후, 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)가 탈착 부재(24)의 관통공(24a)에 삽입되지 않은 경우에는, 제1 스프링(16)이 수축하여 화살표(31) 방향으로 탈착 부재 회전부(6)가 근위측(아암부(3)측)으로 이동한다. 이때, 원위측 플랜지(23)에 의해 제2 흡착부(5)는 원위측(스핀들부(21)쪽)으로부터 근위측(아암부(3)쪽)으로 힘을 받지만, 제2 스프링(8)이 후크 형상부 근위면(5c)에 접촉하여 수축하기 때문에, 제2 흡착부(5)의 이동은 억제된다.

다음으로, 도 16의 모식적 단면도에 나타내 바와 같이, 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)가 탈착 부재(24)의 관통공(24a)에 삽입되지 않은 경우에는, 탈착 부재 회전부(6)를, 예를 들면 화살표(32) 방향으로 회전시킨다. 탈착 부재 회전부(6)의 회전에 의해 탈착 부재 회전부(6)의 돌출부(6a)가 탈착 부재(24)의 관통공(24a)의 위치에 도달했을 때 제1 스프링(16)이 신장하여, 돌출부(6a)가 관통공(24a)에 삽입된다.

다음으로, 탈착 부재 회전부(6)가 회전함에 따라 탈착 부재(24)를 회전시킨다. 이에 따라, 근위측 플랜지(20)에 대한 탈착 부재(24)에 의한 원위측 플랜지(23)의 억압이 해제된다. 그 후, 제1 흡착부(4)가 블레이드(22)를 흡착하고, 제2 흡착부(5)가 원위측 플랜지(23)를 흡착한다. 그 후, 흡착 유닛(2)을 근위측(아암부(3)쪽)으로 이동시킴에 따라, 예를 들면 도 17의 모식적 단면도에 나타낸 바와 같이, 스핀들부(21)로부터 탈착 부재(24)와 함께 블레이드(22) 및 원위측 플랜지(23)가 분리된다.

그 후, 흡착 유닛(2)은, 도 18 및 도 19의 모식적 사시도에 나타나는 블레이드(22)를 탈착할 수 있는 제1 동작 위치로부터, 도 20의 모식적 사시도에 나타나는 수납부(51)로부터 교환용 블레이드를 취출 및 수납할 수 있는 제2 동작 위치로 이동된다. 한편, 도 18 및 도 19는 흡착 유닛(2)이 제1 동작 위치에 위치하고 있는 상태의 일 실시예의 절단 장치의 모식적인 사시도를 나타내며, 도 20은 흡착 유닛(2)이 제2 동작 위치에 위치하고 있는 상태의 일 실시예의 절단 장치의 모식적인 사시도를 나타내고 있다.

도 18 내지 도 20에 나타내는 본 실시예의 절단 장치는, 스핀들부(21)와 서로 마주 보는 위치에 제2 스핀들부(25)를 구비하고 있다. 예를 들면, 도 21 및 도 22의 모식적 사시도에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 블레이드 교환 기구의 흡착 유닛(2)은 스핀들부(21)에서 블레이드(22)의 탈착을 가능하게 할 뿐 아니라, 제2 스핀들부(25)에서의 블레이드(22)의 탈착도 가능하게 한다. 한편, 도 21 및 도 22는 흡착 유닛(2)이 제1 동작 위치에 위치하고 있을 때의 다른 일 실시예의 절단 장치의 모식적인 사시도를 나타내고 있다.

도 18 내지 도 22의 모식적 사시도에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 블레이드 교환 기구는 제1 슬라이딩 기구(41) 및 제2 슬라이딩 기구(42)를 구비하는 이동 기구(40)를 구비하고 있다. 제1 슬라이딩 기구(41)는, 예를 들면, 도 23 및 도 24의 모식적 사시도에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 화살표(61, 62)로 나타내는 Y방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 한다. 흡착 유닛(2)의 Y방향으로의 이동은, 예를 들면, 흡착 유닛(2)의 제1 동작 위치로의 이동 및 제2 동작 위치로의 이동 등에 이용할 수 있다.

제2 슬라이딩 기구(42)는, 예를 들면, 도 25 및 도 26의 모식적 사시도에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 화살표(71, 72)로 나타내는 Z방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 한다. 흡착 유닛(2)의 Z방향으로의 이동은, 예를 들면, 제1 동작 위치로부터 제2 동작 위치로의 이동을 위한 하나의 스텝 및 제2 동작 위치로부터 제1 동작 위치로의 이동을 위한 하나의 스텝 등에 이용할 수 있다. 한편, 도 25 및 도 26의 화살표 71, 72로 나타낸 Z방향은 도 23 및 도 24의 화살표 61, 62로 나타낸 Y방향과 교차하고 있다.

본 실시예의 블레이드 교환 기구는, 도 27 및 도 28의 모식적 사시도에 나타낸 제1 회전 기구(43)와 도 29 및 도 30의 모식적 사시도에 나타낸 제2 회전 기구(44)를 구비하고 있다.

제1 회전 기구(43)는, 예를 들면 도 27 및 도 28에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 제1 가상면(82) 내에서 화살표(81)로 나타낸 X-θ방향으로 회전 가능하게 구성되어 있다. 흡착 유닛(2)의 X-θ방향으로의 회전은, 예를 들면, 제1 동작 위치로부터 제2 동작 위치로의 이동을 위한 하나의 스텝 및 제2 동작 위치로부터 제1 동작 위치로의 이동을 위한 하나의 스텝 등에 이용할 수 있다.

제2 회전 기구(44)는, 예를 들면 도 29 및 도 30에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 제2 가상면(93) 내에서 화살표(91, 92)로 나타낸 Y-θ방향으로 회전 가능하게 구성되어 있다. 흡착 유닛(2)의 Y-θ방향으로의 회전은, 예를 들면, 흡착 유닛(2)의 스핀들부(21)로부터 제2 스핀들부(25)로의 이동 및 흡착 유닛(2)의 제2 스핀들부(25)로부터 스핀들부(21)로의 이동 등에 이용할 수 있다. 한편, 제2 가상면(93)은 제1 가상면(82)과는 다른 가상면이며, 제1 가상면(82)과 제2 가상면(93)은 서로 교차한다.

도 31에, 본 실시예의 블레이드 교환 기구의 수납부(51)의 모식적인 사시도를 나타낸다. 수납부(51)는 최상단으로부터 최하단에 걸쳐 순서대로, 제1 블레이드 매거진(53a), 제2 블레이드 매거진(53b) 및 제3 블레이드 매거진(53c)을 구비하고 있다. 수납부(51)는 또한, 제1 블레이드 가압 부재(54a), 제2 블레이드 가압 부재(54b) 및 제3 블레이드 가압 부재(54c)를 구비하고 있다. 제1 블레이드 가압 부재(54a), 제2 블레이드 가압 부재(54b) 및 제3 블레이드 가압 부재(54c)는 각각, 제1 블레이드 매거진(53a), 제2 블레이드 매거진(53b) 및 제3 블레이드 매거진(53c)에 수납되는 블레이드를 각각의 블레이드 매거진의 주변에서 누르도록 구성되어 있다. 이에 따라, 블레이드 매거진으로부터의 블레이드의 낙하를 억제할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는, 수납부(51)에 구비되어 있는 블레이드 매거진이 3개이지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 수납부(51)에 구비되어 있는 블레이드 매거진의 수는 하나일 수 있으며 2개일 수도 있고, 4개 이상의 임의의 수일 수 있다. 단, 블레이드 매거진의 수가 복수인 것이 편리성의 관점에서 바람직하다.

본 실시예의 블레이드 교환 기구의 흡착 유닛(2)은, 스핀들부(21) 또는 제2 스핀들부(25)로부터 사용이 끝난 블레이드를 위에서 설명한 바와 같이 분리한 후, 흡착 유닛(2)에 흡착된 사용후 블레이드와 함께 도 20에 나타나는 제2 동작 위치로 이동된다. 이때, 예를 들면, 도 32의 모식적 사시도에 나타낸 바와 같이, 제1의 블레이드 가압 부재(54a), 제2 블레이드 가압 부재(54b) 및 제3 블레이드 가압 부재(54c) 중 적어도 하나가 위로 올려져 블레이드의 가압을 해제한다.

그리고, 사용이 끝난 블레이드를 흡착한 흡착 유닛(2)이, 블레이드가 수용되지 않은 빈 블레이드 매거진에 접근하여, 사용후 블레이드의 중앙의 개구부를 빈 블레이드 매거진에 삽입한다. 그 후, 흡착 유닛(2)은 제1 흡착부(4)에 의한 사용이 끝난 블레이드의 흡착만을 정지하고, 해당 블레이드 매거진으로부터 멀어진다. 이에 따라, 사용이 끝난 블레이드를 빈 블레이드 매거진에 수납할 수 있다.

그 후, 흡착 유닛(2)은 교환용 블레이드가 수납되어 있는 다른 블레이드 매거진으로 이동한다. 그리고, 교환용 블레이드를 누르고 있는 블레이드 가압 부재가 위로 올려져 교환용 블레이드의 가압을 해제한다. 그 후, 흡착 유닛(2)을 교환용 블레이드에 접근시키고, 교환용 블레이드의 표면에 흡착 유닛(2)의 제1 흡착부(4)의 제1 흡착부 원위면(4c)을 접촉시킨다. 그리고, 제1 흡착부(4)의 가스 유로(14)를 통하여 가스 흡인구(12)로부터 흡인함으로써, 제1 흡착부 원위면(4c)과 교환용 블레이드를 흡착시킨다.

교환용 블레이드를 흡착한 흡착 유닛(2)은, 도 20에 나타낸 제2 동작 위치로부터 도 18 및 도 19에 나타낸 제1 동작 위치로 이동된다. 그리고, 도 17에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)의 원위측으로의 이동에 의해 흡착 유닛(2)을 스핀들부(21)에 접근시킨다.

다음으로, 도 16에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 원위측(스핀들부(21)쪽)으로 더 이동시킨다. 이에 따라, 원위측 플랜지(23)가 스핀들부(21)의 근위측 플랜지(20)에 접촉되고, 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23) 사이에 교환용 블레이드(22)를 끼운다. 다음으로, 탈착 부재 회전부(6)를 화살표(32) 방향과는 반대 방향으로 회전시킴으로써 탈착 부재(24)를 회전시키고, 탈착 부재(24)에 의해 원위측 플랜지(23)를 근위측 플랜지(20)에 체결한다. 이에 따라, 근위측 플랜지(20)와 원위측 플랜지(23) 사이에 교환용 블레이드(22)를 고정할 수 있다. 그 후, 제1 흡착부(4)에 의한 교환용 블레이드(22)의 흡착을 정지함과 함께, 제2 흡착부(5)에 의한 원위측 플랜지(23)의 흡착을 정지한다.

다음으로, 도 13에 나타낸 바와 같이, 흡착 유닛(2)을 근위측(아암부(3)쪽)으로 이동시켜, 흡착 유닛(2)을 스핀들부(21)로부터 이격시킨다. 이에 따라, 교환용 블레이드(22)의 스핀들(21)에 대한 장착이 완료된다.

이상과 같이, 본 실시예에서는 블레이드(22)의 자동 교환을 실현할 수 있다.

도 33에 본 실시예의 블레이드 교환 기구에 이용되는 검출부(100)의 모식적인 평면도를 나타낸다. 본 실시예에서, 검출부(100)는 레이저 센서(101)와 모터(103)를 구비하고 있다. 검출부(100)는 모터(103)의 구동에 의해 레이저 센서(101)의 화살표(102) 방향으로의 이동이 가능해지도록 구성되어 있다.

도 34는 검출부(100)에 의한 블레이드(22)의 마모 및 파손 중 적어도 하나의 검출 방법의 일례를 나타낸 흐름도이다. 우선, 스텝 1(S1)에서, 위치 조정 레이저광 차광률(A)의 측정이 이루어진다. S1는, 예를 들면 이하와 같이 행할 수 있다.

우선, 레이저 센서(101)의 위치 조정을 행한다. 여기서, 레이저 센서(101)는, 예를 들면, 레이저광의 출사부(도시 생략)와 레이저광의 검지부(도시 생략)의 사이에 절단 개시전의 블레이드(22)의 칼끝이 위치하도록 위치 조정을 한다. 다음으로, 레이저 센서(101)가 위치 조정된 상태에서 레이저 센서(101)의 출사부로부터 레이저광을 출사하여 검지부에서 검지한다. 그 후, 그 상태에서의 레이저광의 차광률(위치 조정 레이저광 차광률(A))을 측정한다. 위치 조정 레이저광 차광률(A)은 상기의 레이저 센서(101)의 위치 조정 후, 절단 개시전 상태에서의 레이저광의 출사량에 대한 레이저광의 검지부에서 검지되는 레이저광 검지량의 비율이다. 절단 개시전의 블레이드(22)의 칼끝에 의해 레이저광의 검지부로의 입사가 차단되는 경향이 있기 때문에, 위치 조정 레이저광 차광률(A)은 높아질 수 있다.

다음으로, 스텝 2(S2)에서 마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A')의 측정이 이루어진다. S2는, 예를 들면 이하와 같이 행할 수 있다.

우선, 스핀들부(21)를 회전시킴으로서 블레이드(22)를 회전시킨다. 다음으로, 회전된 블레이드(22)에 의해 절단 대상물이 절단된다. 다음으로, 회전된 블레이드(22)에 의해 절단 대상물이 절단되어 있는 상태에서 레이저 센서(101)의 출사부로부터 레이저광을 출사하여 검지부에서 검지한다. 그 후, 그 상태에서의 레이저광의 차광률(마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A＇))을 측정한다. 절단에 의해 블레이드(22)가 마모 또는 파손된 경우에는 절단 개시전과 비교하여 블레이드(22)의 칼끝에 의해 레이저광의 검지부로 입사가 차단되기 어려워지기 때문에, 마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A＇)는 위치 조정 레이저광 차광률(A)보다 낮아질 수 있다.

다음으로, 스텝 3(S3)에서, S1에서 측정된 레이저광의 차광률(A)과 S2에서 측정된 레이저광의 차광률(A＇)를 대비한다. 이때, 레이저광의 차광률(A)과 레이저광의 차광률(A＇)이 동일한 경우에는, 블레이드(22)의 회전에 의한 절단 대상물의 절단을 정지하지 않고, 다시 S2로 돌아와 마모 또는 파손 검출 레이저광 차광률(A＇)의 측정이 이루어진다.

한편, S3에서 레이저광의 차광률(A)과 레이저광의 차광률(A＇)가 동일하지 않다고 판단되면, 스텝 4(S4)에서 블레이드(22)의 회전이 정지되고 상술한 블레이드(22)의 자동 교환이 실시된다.

위에서 설명한 바와 같이, 본 실시예의 블레이드 교환 기구가 블레이드(22)의 마모 및 파손 중 적어도 하나를 검출할 수 있도록 구성되는 검출부(100)를 구비하고 있는 경우에는, 블레이드(22)의 마모 및 파손 중 적어도 하나를 검출한 후에 블레이드(22)의 회전에 의한 절단이 자동 정지되고, 본 실시예에서의 블레이드(22)의 자동 교환을 행할 수 있다. 이에 따라, 블레이드(22)의 교환의 자동화 실현이 더욱 가능해진다.

이상과 같이 각 실시예에 대해 설명을 하였지만, 상술한 각 실시예의 구성을 적절하게 조합하는 것도 가능하다.

또한, 본 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위내에서 필요에 따라 임의적으로 적절히 조합, 변경 또는 선택하여 채용할 수 있다.

본 출원은, 2019년 10월 24일에 출원된 일본 특허 출원 제2019-193762를 기초로 하는 우선권을 주장하며, 그 개시된 내용은 모두 본 출원에 원용된다.

1: 흡착 아암 2: 흡착 유닛
3: 아암부 4: 제1 흡착부
4a: 돌출부 4b: 돌출부 근위면
4c: 제1 흡착부 원위면 4x: 제1 흡착구
4y: 제1 흡착홈 4z: 가스 유로
5: 제2 흡착부 5a: 후크 형상부
5b: 후크 형상부 원위면 5c: 후크 형상부 근위면
5d: 제2 흡착부 원위면 5x: 제2 흡착구
5y: 제2 흡착홈 5z: 가스 유로
6: 탈착 부재 회전부 6a: 돌출부
6b: 회전부 근위면 7: 제3 스프링
8: 제2 스프링 9: 회전 구동 부재
9a: 근위측 돌출부 원위면 10: 축
11: 연결부 11a: 돌출부
11b: 연결부 내측 근위면 11c: 연결부 외측 근위면
12: 가스 흡인구 13: 가스 유로
15: 슬리브 15a: 수용부
15b: 지지부 15c: 수용부 근위면
15d: 지지부 원위면 16: 제1 스프링
20: 근위측 플랜지 21: 스핀들부
22: 블레이드 23: 원위측 플랜지
24: 탈착 부재 24a: 관통공
25: 제2 스핀들부 31, 32: 화살표
40: 이동 기구 41: 제1 슬라이딩 기구
42: 제2 슬라이딩 기구 43: 제1 회전 기구
44: 제2 회전 기구 51: 수납부
53a: 제1 블레이드 매거진 53b: 제2 블레이드 매거진
53c: 제3 블레이드 매거진 54a: 제1 블레이드 가압 부재
54b: 제2 블레이드 가압 부재 54c: 제3 블레이드 가압 부재
61, 62, 71, 72: 화살표 81: 화살표
82: 제1 가상면 91, 92: 화살표
93: 제2 가상면 100: 검출부
101: 레이저 센서 102: 화살표
103: 모터 110: 검사용 테이블
111: 절단 장치 112: 밀봉후 기판
113: 기판 공급 기구 114: 절단용 테이블
115: 이동 기구 116: 회전 기구
120: 블레이드 교환 기구 121: 절단후 기판
122: 트레이 201, 202: 제1 슬라이딩 기구 장착부
1000: 방수 커버 1001:　블레이드 홀더
1002: 커버 본체 1002a, 1002b: 경사면
1002B: 저판 1002Ba: 배수용 구멍
1003: 개폐문 1004: 배기통
1005: 상부 상판 1006: 하부 상판
1007: 기체 공급부
α: 배수용 구멍(1002Ba)이 마런된 영역

Claims (10)

1. 블레이드 교환 기구 및 방수 커버를 가지며,
   상기 방수 커버가 상기 블레이드 교환 기구의 전부를 덮는 커버 본체 및 상기 커버 본체에 대하여 상기 블레이드 교환 기구를 넣고 뺄 때 개폐되는 개폐문을 포함하고,
   상기 블레이드 교환 기구가 블레이드를 흡착하는 흡착 유닛을 포함하고,
   상기 커버 본체 내에 기체를 공급하는 기체 공급부를 더 포함하고,
   상기 블레이드 교환 기구를 상기 커버 본체 내에 수납했을 때, 상기 개폐문을 닫은 상태로 하고, 상기 흡착 유닛을 상기 개폐문과는 반대 방향을 향하는 상태로 하는 것을 특징으로 하는 블레이드 교환 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 커버 본체 내의 기체를 배기하는 배기구를 더 가지는 블레이드 교환 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 방수 커버의 측면 및 저면의 적어도 하나에서, 블레이드에 의해 절단 되는 절단 대상물과 대향하는 쪽의 적어도 일부가 하방을 향해 상기 절단 대상물과 반대쪽으로 기울어져 있는, 블레이드 교환 장치.
4. 제1항에 있어서,
   교환용 블레이드를 수납할 수 있는 수납부를 더 포함하는, 블레이드 교환 장치.
5. 스핀들부; 및
   제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 블레이드 교환 장치를 포함하고,
   상기 스핀들부는 절단 대상물을 절단하는 블레이드를 회전시키며,
   상기 블레이드를 상기 블레이드 교환 장치에 의해 교환할 수 있는 것을 특징으로 하는, 절단 장치.
6. 절단 대상물을 절단하여 제조되는 절단품의 제조 방법으로서,
   제5항에 기재된 절단 장치에 의해 상기 절단 대상물을 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는, 제조 방법.
   
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