KR102056185B1 - 블레이드 자동 교환 로봇의 암 - Google Patents

Abstract

블레이드 자동 교환 로봇의 암이 개시되며, 상기 블레이드 자동 교환 로봇의 암은, 모터와 연결되는 회전축; 블레이드를 흡착 지지 가능하고, 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 일 방향으로 연장 배치되는 블레이드 홀더; 상기 회전축과 상기 블레이드 홀더 사이에 개재되는 제1 탄성부재; 플렌지를 흡착 지지 가능하고, 상기 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 상기 일 방향으로 연장되어 상기 제1 관통구에 삽입되는 플렌지 홀더; 상기 회전축과 상기 플렌지 홀더 사이에 개재되는 제2 탄성부재; 및 플렌지 너트를 지지 가능하고, 상기 제2 관통구 내에서 상기 회전축으로부터 상기 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버 구조체를 포함하되, 상기 블레이드 홀더는 상기 플렌지 홀더와 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체보다 상기 일 방향으로 돌출되게 배치되고, 상기 플렌지 홀더는 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체보다 상기 일 방향으로 돌출되게 배치되며, 상기 제1 관통구 및 상기 제2 관통구의 내경은 커팅 어셈블리의 블레이드 장착부의 너트 장착부의 외경보다 크며, 상기 플렌지 홀더 및 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는, 상기 제1 탄성부재의 압축시 상기 블레이드 홀더에 대하여 상기 일 방향으로 이동 가능하게 구비되고, 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는, 상기 제2 탄성부재의 압축시 상기 플렌지 홀더에 대하여 상기 일 방향으로 이동 가능하게 구비된다.

Description

블레이드 자동 교환 로봇의 암{ARM OF AUTOMATIC EXCHANGE ROBOT FOR BLADE}

본원은 블레이드 자동 교환 로봇의 암에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자들에 대해 증착, 식각, 이온주입, 평탄화 등과 같은 일련의 제조 공정들이 반복적으로 수행됨으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있다. 반도체 소자들이 형성된 웨이퍼는 다이싱 공정을 통해 복수의 반도체 칩들로 개별화될 수 있으며, 개별화된 반도체 칩들은 칩 본딩 공정을 통해 인쇄회로기판 또는 리드 프레임과 같은 기판 상에 본딩될 수 있다.

또 다른 예로서, 반도체의 고집적화가 진행되고 있고, 이러한 추세에 부응하여 반도체 패키지도 내부의 선로를 외부에 연결하기 위한 리드프레임 대신에 솔더 볼 타입의 패지지나 MLF(micro leaded frame) 타입의 패키지가 사용되고 있다. 이와 같이 제조되는 솔더 볼 타입의 패키지 또는 MLF 타입의 패키지는 직사각형 형태의 매트릭스 형태로 띠모양을 이루므로 스트립(strip)이라고 불린다. 이와 같이 스트립 형태로 제조되는 패키지들은 그 활용을 위해 절단장치에 의해 절단되어 개별적으로 분리될 필요가 있다.

이를 위하여, 종래의 기술로서 공개특허공보 제2007-0042336호에 단일 블레이드를 이용한 이중 소잉 장치 및 방법이 개시된 바 있다. 그런데 개시된 장치에 의하면 블레이드의 교체가 인력에 의해 수동으로 이루어지는 것인바, 불편함이 야기되고 사용성이 확보되지 않으며, 무엇보다도 공정 수율(throughput)이 저하되는 측면이 있었다.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 블레이드의 교체가 자동으로 이루어질 수 있는 반도체 패키지 커팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 블레이드를 자동으로 교체하는 블레이드 자동 교환 로봇의 암을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드의 교체를 자동으로 수행함으로써, 공정 수율을 효과적으로 향상시키는 것을 목적으로 한다.

다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 1 측면에 따른 반도체 패키지 커팅 장치는, 블레이드 자동 교환 로봇; 및 블레이드 장착부를 포함하는 커팅 어셈블리를 포함하되, 상기 블레이드 자동 교환 로봇은, 상기 블레이드 장착부로부터 블레이드를 수거하거나, 상기 블레이드 장착부에 블레이드를 장착시킬 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치에 있어서, 상기 블레이드 장착부는, 블레이드를 회전하는 모터와 연결되는 스핀들축; 상기 스핀들축의 외면으로부터 외측 방향으로 돌출되어 상기 스핀들축의 둘레를 따라 형성되며 일면에 블레이드가 안착 가능한 블레이드 안착부; 상기 스핀들축의 외면 중 상기 블레이드 안착부보다 더 일 방향을 향하는 부분으로부터 외측 방향으로 돌출되어 상기 스핀들축의 둘레를 따라 형성되며 일면에 플렌지가 안착 가능한 플렌지 안착부; 및 상기 스핀들축의 일단부의 외면에 나사산이 형성되어 플렌지 너트가 나사 결합 가능한 너트 장착부를 포함할 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치에 있어서, 상기 블레이드 자동 교환 로봇은, 블레이드, 플렌지 및 플렌지 너트를 파지 가능한 암을 포함하고, 상기 암은, 모터와 연결되는 회전축; 블레이드를 흡착 지지 가능하고, 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 일 방향으로 연장 배치되는 블레이드 홀더; 플렌지를 흡착 지지 가능하고, 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 일 방향으로 연장되어 상기 제1 관통구에 삽입되는 플렌지 홀더; 플렌지 너트를 지지 가능하고, 상기 회전축으로부터 일 방향으로 연장되어 상기 제2 관통구에 삽입되는 플렌지 너트 드라이버 구조체를 포함하되, 상기 플렌지 홀더 및 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는 상기 블레이드 홀더에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하고, 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는 상기 플렌지 홀더에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치에 있어서, 상기 커팅 어셈블리는, 개구부를 갖는 ㄷ자형 센서를 더 포함하고, 상기 센서는, 상기 개구부 내에 블레이드의 둘레 부분이 위치하도록 배치되어 블레이드의 상태를 센싱 가능하며, 블레이드에 대해 외측 방향으로 이동되어 블레이드로부터 제거 가능하다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치에 있어서, 상기 ㄷ자형 센서는, 상기 개구부를 사이에 두고 배치되는 발광부와 수광부를 포함하되, 상기 발광부가 조사한 광량 중 상기 수광부가 수신한 광량의 비율에 따라 블레이드의 불량 유무가 결정될 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치에 있어서, 상기 커팅 어셈블리는 각각의 상기 블레이드 장착부가 서로 대향하도록 한 쌍으로 구비될 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치에 있어서, 상기 암은, 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체가 파지한 플렌지가 상기 너트 장착부와 나사 결합되도록 상기 회전축을 회전시키되, 한 쌍의 상기 커팅 어셈블리 각각에 대한 회전축의 회전 방향은 서로 반대일 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치는, 블레이드가 보관되는 블레이드 보관부를 더 포함하고, 상기 블레이드 보관부는, 블레이드의 관통공을 통과하며 블레이드를 거치하는 거치부; 상기 거치부에 거치되는 블레이드가 상기 거치부의 양쪽 끝단 중 하나를 통해 이탈되지 않도록, 블레이드의 관통공의 직경보다 큰 폭을 가지고 상기 거치부의 양쪽 끝단 중 하나에 형성되는 걸림부; 및 상기 거치부에 거치되는 블레이드가 상기 거치부의 양쪽 끝단 중 다른 하나로부터 이탈되지 않도록 상기 거치부의 양쪽 끝단 중 다른 하나에 구비되는 클램프를 포함하되, 상기 클램프부는, 상기 거치부로부터의 상기 블레이드의 이탈이 가능하도록, 상기 거치부로부터 이격 가능하다.

또한, 상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제 2 측면에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암은, 모터와 연결되는 회전축; 블레이드를 흡착 지지 가능하고, 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 일 방향으로 연장 배치되는 블레이드 홀더; 상기 회전축과 상기 블레이드 홀더 사이에 개재되는 제1 탄성부재; 플렌지를 흡착 지지 가능하고, 상기 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 상기 일 방향으로 연장되어 상기 제1 관통구에 삽입되는 플렌지 홀더; 상기 회전축과 상기 플렌지 홀더 사이에 개재되는 제2 탄성부재; 및 플렌지 너트를 지지 가능하고, 상기 제2 관통구 내에서 상기 회전축으로부터 상기 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버 구조체를 포함하되, 상기 블레이드 홀더는 상기 플렌지 홀더와 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체보다 상기 일 방향으로 돌출되게 배치되고, 상기 플렌지 홀더는 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체보다 상기 일 방향으로 돌출되게 배치되며, 상기 제1 관통구 및 상기 제2 관통구의 내경은 커팅 어셈블리의 블레이드 장착부의 너트 장착부의 외경보다 크며, 상기 플렌지 홀더 및 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는, 상기 제1 탄성부재의 압축시 상기 블레이드 홀더에 대하여 상기 일 방향으로 이동 가능하게 구비되고, 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는, 상기 제2 탄성부재의 압축시 상기 플렌지 홀더에 대하여 상기 일 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암에 있어서, 상기 블레이드 홀더의 상기 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 블레이드에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀이 형성되고, 상기 플렌지 홀더의 상기 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 플렌지에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀이 형성될 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암에 있어서, 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는, 상기 회전축으로부터 상기 제2 관통구 내로 돌출 연장되는 지지축; 및 상기 지지축의 일단부를 감싸며 상기 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버를 포함할 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암에 있어서, 상기 플렌지 너트 드라이버의 상기 일 방향을 향하는 일면에는, 상기 일 방향으로 돌출되어 플렌지 너트의 복수 개의 홈과 맞물리는 돌기 복수 개가 형성될 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암에 있어서, 상기 블레이드 장착부에 대한 블레이드의 장착시, 상기 회전축은, 상기 블레이드 홀더의 일면 상의 블레이드가 상기 블레이드 장착부의 블레이드 안착부에 안착되도록 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 이동되고, 상기 플렌지 홀더의 일면 상의 플렌지가 상기 블레이드 장착부의 플렌지 안착부에 안착되고, 상기 플렌지 너트 드라이버의 일면 상의 플렌지 너트가 상기 블레이드 장착부의 너트 장착 단부의 외면 상으로 진입하도록 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동되며, 상기 플렌지 너트가 상기 너트 장착 단부와 나사 결합하도록 회전되며 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암에 있어서, 상기 블레이드 장착부에 대한 블레이드의 수거시, 상기 회전축은, 상기 블레이드 홀더의 일면이 상기 블레이드 안착부 상의 블레이드에 접촉되고, 상기 플렌지 홀더의 일면이 상기 플렌지 안착부 상의 플렌지에 접촉되며, 상기 플렌지 너트 드라이버의 일면이 상기 너트 장착 단부에 나사 결합된 플렌지 너트에 접촉되도록 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 이동되고, 상기 플렌지 너트와 상기 너트 장착 단부의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 상기 블레이드 안착부로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동되며, 상기 플렌지 안착부 상의 플렌지, 상기 너트 장착 단부 상의 플렌지 너트 및 상기 블레이드 안착부 상의 블레이드가 제거되도록 상기 블레이드 안착부로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암은, 상기 모터의 회전력을 회전력을 제어하는 감속기를 더 포함할 수 있다.

또한 본원의 일 구현예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암은, 상기 회전축과 상기 제1 및 제2 탄성부재 사이에 개재되는 지지 구조체를 더 포함하되, 상기 지지 구조체의 최외측에는 상기 제1 탄성부재의 타단을 지지하는 최외측 지지턱이 형성되고, 상기 지지 구조체의 상기 최외측 지지턱보다 내측에 위치하는 부분에는 상기 제2 탄성부재의 타단을 지지하는 외측 지지턱이 형성될 수 있다.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 블레이드 자동 교환 로봇에 의해 커팅 어셈블리의 블레이드가 수거될 수 있고, 또한, 커팅 어셈블리에 블레이드가 장착될 수 있다. 이에 따라, 블레이드의 교환이 자동으로 이루어지는 반도체 패키지 커팅 장치가 구현될 수 있다.

또한, 전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 블레이드 장착부에 대한 블레이드 장착시, 블레이드 홀더에 블레이드가 흡착 지지되고 플렌지 홀더에 플렌지가 흡착 지지되며 플렌지 너트 드라이버 구조체에 플렌지 너트가 지지한 상태로 암은 블레이드 장착부에 접근하여, 블레이드 장착부의 블레이드 안착부에 블레이드를 안착시키고 플렌지 안착부에 플렌지를 안착시키며 플렌지 너트가 너트 장착 단부와 나사 결합되도록 이동 및 회전 구동할 수 있다. 또한, 블레이드 장착부의 블레이드를 수거할 때, 암은 블레이드 장착부에 접근하여 블레이드 홀더가 블레이드 안착부 상의 블레이드를 흡착하고 플렌지 홀더가 플렌지 안착부 상의 플렌지를 흡착하며 플렌지 너트 드라이버 구조체가 너트 장착 단부에 나사 결합된 플렌지 너트에 접촉하도록 이동한 후, 회전 구동하여 플렌지 너트와 너트 장착 단부의 나사 결합을 해제하고, 이후, 블레이드 장착부로부터 멀어지는 방향으로 이동하여 플렌지 너트, 플렌지, 블레이드를 수거할 수 있다.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 사시도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 주요 구성을 도시한 사시도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 커팅 어셈블리의 사시도이다.
도 4은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 장착부의 개략적인 단면도이다.
도 5는 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 커팅 어셈블리의 센서를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 6은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 사시도이다.
도 7은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 분해도이다.
도 8은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 단면도이다.
도 9는 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 10은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부의 정면도이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

본원은 반도체 패키지 커팅 장치 및 블레이드 자동 교환 로봇의 암에 관한 것이다.

먼저, 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치(이하 '본 장치'라 함)에 대해 설명한다.

본 장치는 대상체를 커팅할 수 있다. 예를 들어, 대상체는 반도체 칩 등과 같은 전자 소자의 칩, 전자 소자의 패키지일 수 있다. 다만, 본 장치가 커팅하는 대상체는 상술한 바에 한정되지 않으며, 본 장치는 다양한 물체를 커팅하는데 이용될 수 있다. 이하에서에서는 대상체를 반도체 패키지로 특정하여 본 장치에 대해 설명한다.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 사시도이고, 도 2는 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 주요 구성을 도시한 사시도이며, 도 3은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 커팅 어셈블리의 사시도이고, 도 4은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 장착부의 개략적인 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 장치는 블레이드 장착부(21)를 포함하는 커팅 어셈블리(2)를 포함한다. 예를 들어, 커팅 어셈블리(2)는 반도체 스트립으로부터 반도체 패키지를 커팅하여 복수의 반도체 패키지로 분할할 수 있다.

커팅 어셈블리(2)는 블레이드 장착부(21)를 포함할 수 있다. 블레이드 장착부(21)에는 블레이드(91)가 장착될 수 있고, 블레이드(91)에 의해 반도체 패키지가 커팅될 수 있다.

구체적으로, 도 4를 참조하면, 블레이드 장착부(21)는 모터와 연결되는 스핀들축(211)을 포함할 수 있다. 모터는 블레이드(91)를 회전시킬 수 있다. 블레이드(91)는 스핀들축(211)의 외면 상에 구비될 수 있고, 모터는 스핀들축(211)을 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 모터가 제공하는 회전력에 의해 블레이드(91)는 회전될 수 있다.

구체적으로, 도 4를 참조하면, 블레이드 장착부(21)는 스핀들축(211)의 외면으로부터 외측 방향으로 돌출되어 스핀들축(211)의 둘레를 따라 형성되며 일면에 블레이드(91)가 안착 가능한 블레이드 안착부(212)를 포함할 수 있다. 도 4에는 도시되지 않았지만, 블레이드(91)는 그의 타면이 블레이드 안착부(212)의 일면에 접촉되도록 블레이드 안착부(212)에 구비될 수 있다. 또한, 블레이드(91)의 둘레 부분은 블레이드 안착부(212)로부터 외측으로 돌출되도록 블레이드(91)는 블레이드 안착부(212)에 구비될 수 있다.

또한, 도 4를 참조하면, 블레이드 장착부(21)는 스핀들축(211)의 외면 중 블레이드 안착부(212)보다 더 일 방향을 향하는 부분(도 4를 기준으로 9시 방향)으로부터 외측 방향으로 돌출되어 스핀들축(211)의 둘레를 따라 형성되며 일면에 플렌지(92)가 안착 가능한 플렌지 안착부(213)를 포함할 수 있다.

또한, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 도 4를 참조하면, 블레이드 장착부(21)는 스핀들축(211)의 외면 중 플렌지 안착부(213)보다 더 일 방향을 향하는 부분 일단부의 외면에 나사산이 형성되어 플렌지 너트(93)가 나사 결합 가능한 너트 장착부(214)를 포함할 수 있다.

이와 같이, 블레이드(91)는 그의 일측에 구비되는 플렌지(92) 및 플렌지 너트(93)에 의해 스핀들축(211)의 둘레를 따라 장착될 수 있고, 스핀들축(211)이 모터에 의해 회전됨에 따라 블레이드(91)는 회전될 수 있다. 또한, 블레이드(91)는 회전됨으로써 블레이드(91)(특히 블레이드(91)의 둘레 부분)에 접촉되는 반도체 패키지를 절단할 수 있다.

도 5는 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 커팅 어셈블리의 센서를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.

도 3 및 도 5를 참조하면, 커팅 어셈블리(2)는 ㄷ자형 센서(22)를 포함할 수 있다. 도 3 및 도 5를 참조하면, 센서(22)는 개구부(221)를 가질 수 있다. 개구부(221) 내에는 블레이드(91)의 둘레 부분이 위치할 수 있다.

또한, 도 3 및 도 5를 참조하면, 센서(22)는 개구부(221)를 사이에 두고 배치되는 발광부(222)와 수광부(223)를 포함할 수 있다. 즉, 개구부(221) 내에 블레이드(91)의 둘레 부분이 위치하는 경우, 발광부(222)와 수광부(223) 사이에는 블레이드(91)의 둘레 부분이 위치할 수 있다.

센서(22)는 개구부(221) 내에 블레이드(91)의 둘레 부분이 위치하도록 배치되어 블레이드(91)의 상태를 센싱 가능하다. 예를 들어, 발광부(222)가 조사한 광량 중 수광부(223)가 수신한 광량의 비율에 따라 블레이드(91)의 불량 유무가 결정될 수 있다. 예를 들면, 수광부(223)가 수신한 광량의 비율이 클수록 블레이드(91)의 내구성이 낮거나, 블레이드(91)의 상태가 상태가 안좋을 수 있으며, 또는 블레이드(91)가 많이 사용된 것일 수 있다. 이는, 블레이드(91)가 많이 사용될 수록, 블레이드(91)가 일부 손상될 수 있고, 또는 블레이드(91)가 얇아질 수 있으며, 이에 따라, 블레이드(91)를 통과하는 광량이 커질 수 있기 때문이다.

또한, 본 장치에서, 센서(22)는, 커팅을 주로 하는 블레이드(91)의 둘레 부분에 대해 센싱을 하도록 구비되므로, 효율적 센싱이 이루어질 수 있을 것이다.

또한, 도 5를 참조하면, 센서(22)는 블레이드(91)에 대해 외측 방향으로 이동되어 블레이드(91)로부터 제거 가능하다. 예를 들어, 블레이드(91)의 교체시 센서(22)는 블레이드(91)에 대해 외측 방향(다시 말해, 스핀들 축(211)의 외측 방향)으로 이동되어 블레이드 장착부(21)로부터 블레이드(91)가 제거되거나 블레이드 장착부(21)에 블레이드가 장착되게 할 수 있다. 이를 위해, 센서(22)는 후술하는 블레이드 자동 교환 로봇(1)과 연동되어 구동될 수 있다. 예를 들어, 센서(22)는 블레이드 자동 교환 로봇(1)의 암(11)이 블레이드 장착부(21)로부터 블레이드(91)를 제거하거나 블레이드 장착부(21)에 블레이드(91)를 장착하기 위해 소정 거리 이내로 접근하면 스핀들 축(211)의 외측 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 블레이드 장착부(21)에 대한 블레이드(91)의 장착 및 수거가 완료되어 암(11)이 상기 소정 거리 이내에 위치하지 않게되면 센서(22)는 위치 복원될 수 있다. 또한, 도시하지 않았으나 제어부의 제어 신호에 의하여 블레이드 자동 교환 로봇(1)의 암(11)과 센서(22)의 동작이 연동하여 작동할 수 있다. 또한, 커팅 어셈블리(2)는 센서(22)의 내외측 방향으로의 이동을 위해 센서(22)를 내외측 방향으로 이동시키는 모터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 모터는 리니어 모터일 수 있다.

또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 장치는 블레이드 자동 교환 로봇(1)을 포함한다.

블레이드 자동 교환 로봇(1)은 블레이드 장착부(21)로부터 사용 후의 블레이드(91)를 수거하거나, 블레이드 장착부(21)에 사용 전의 블레이드(91)를 장착시킨다. 예를 들어, 블레이드 자동 교환 로봇(1)은 센서(22)가 블레이드(91)의 상태를 센싱하여 블레이드(91)가 새로 교체될 필요가 있다고 판단되는 경우, 블레이드 장착부(21)로부터 블레이드(사용 후의 블레이드)(91)를 수거하고 블레이드 장착부(21)에 블레이드(사용 전의 블레이드)(91)를 장착시킬 수 있다.

도 6은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 자동 교환 로봇의 암의 사시도이고, 도 7은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 암의 분해도이며, 도 8은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 암의 단면도이다.

도 1 및 도 2, 도 6을 참조하면, 블레이드 자동 교환 로봇(1)은, 암(11)을 포함할 수 있다. 암(11)은 블레이드(91), 플렌지(92) 및 플렌지 너트(93)를 파지할 수 있다. 또한, 암(11)은 블레이드(91), 플렌지(92) 및 플렌지 너트(93)를 블레이드 장착부(21)로부터 수거하거나, 블레이드(91), 플렌지(92) 및 플렌지 너트(93) 블레이드 장착부(21)에 장착시킬 수 있다.

구체적으로, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 암(11)은 모터와 연결되는 회전축(111)을 포함할 수 있다. 회전축(111)은 모터에 의해 회전될 수 있다.

또한, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 암(11)은 블레이드 홀더(112)를 포함할 수 있다. 도 8을 참조하면, 블레이드 홀더(112)는 회전축(111)으로부터 일 방향(도 8을 기준으로 3시 방향)으로 연장 배치될 수 있다. 또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 블레이드 홀더(112)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구(1121)를 가질 수 있다.

제1 관통구(1121)의 내경은 커팅 어셈블리(2)의 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외경보다 클 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 블레이드 홀더(112)는 후술하는 플렌지 홀더(113)와 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치될 수 있다.

또한, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 암(11)은 회전축(111)과 블레이드 홀더(112) 사이에 개재되는 제1 탄성부재(115)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 8을 참조하면, 블레이드 홀더(112)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태(블레이드(91)가 블레이드 장착부(21)의 블레이드 안착부(212)에 지지된 상태)에서 회전축(111)이 일 방향으로 이동되면 제1 탄성부재(115)는 탄성 압축될 수 있다.

이에 따라, 후술하는 플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는, 제1 탄성부재(115)의 압축시 블레이드 홀더(112)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 구체적으로, 블레이드 홀더(112)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(111)이 일 방향으로 이동되면, 제1 탄성부재(115)가 압축되면서 회전축(111)과 연결되는 플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 블레이드 홀더(112)의 제1 관통구(1121)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다.

또한, 도 6 내지 도 8을 참조하면, 암(11)은 블레이드 홀더(112)를 관통하며 후술하는 플렌지 홀더(113)에 체결되는 제1 체결 유닛(1124)를 포함할 수 있다. 또한, 블레이드 홀더(113)의 제1 체결 유닛(1124)이 관통하는 홀(1123)은 플렌지 홀더(113)의 블레이드 홀더(112)에 대한 상대적 일 방향 및 타 방향으로의 이동이 허용되도록 일 방향 및 타 방향으로 연장 형성되는 장공일 수 있다.

또한, 도 6 및 도 8을 참조하면, 블레이드 홀더(112)는 블레이드(91)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 도 7 및 도 8을 참조하면, 블레이드 홀더(112)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 블레이드(91)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(1122)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 진공 홀(1122)은 등간격으로 4개 형성될 수 있다. 진공 홀(1122)은 진공 펌프로부터 연결되는 진공 라인과 연결되어 블레이드(91)에 대한 흡착을 통해 블레이드(91)를 픽할 수 있고, 블레이드(91)에 대한 흡착을 해제함으로써 블레이드(91)를 플레이스 할 수 있다.

또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 암(11)은 플렌지 홀더(113)를 포함할 수 있다. 도 8을 참조하면, 플렌지 홀더(113)는 회전축(111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제1 관통구(1121)에 삽입될 수 있다. 또한, 플렌지 홀더(113)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구(1131)를 가질 수 있다.

제2 관통구(1131)의 내경은 커팅 어셈블리(2)의 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외경보다 클 수 있다. 즉, 제1 관통구(1121) 및 제2 관통구(1131)의 내경은 커팅 어셈블리(2)의 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외경보다 클 수 있다. 이에 따라, 너트 장착부(214)는 제1 관통구(1121) 및 제2 관통구(1131) 내로 인입 가능하다.

또한, 도 8을 참조하면, 플렌지 홀더(113)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치될 수 있다.

또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 암(11)은 회전축(111)과 플렌지 홀더(113) 사이에 개재되는 제2 탄성부재(116)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 도 8을 참조하면, 플렌지 홀더(113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서(플렌지(92)가 블레이드 장착부(21)의 플렌지 안착부(213)에 지지된 상태) 회전축(111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(116)는 탄성 압축될 수 있다.

이에 따라, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는, 제2 탄성부재(116)의 압축시 플렌지 홀더(113)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 구체적으로, 플렌지 홀더(113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(116)가 압축되면서 회전축(111)과 연결되는 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)가 제2 관통구(1131)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 플렌지 홀더(113)는 플렌지(92)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 도 7 및 도 8을 참조하면, 플렌지 홀더(113)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 플렌지(92)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(1132)이 형성될 수 있다. 또한, 도 8을 참조하면, 진공 홀(1132)은 진공 펌프로부터 연결되는 진공라인(1133)과 연결되어 플렌지(92)에 대한 흡착을 통해 플렌지(92)를 픽(pick)할 수 있고, 플렌지(92)에 대한 흡착을 해제하여 플렌지(92)를 플레이스 할 수 있다. 도 8을 참조하면, 진공라인(1133)은 제1 체결 유닛(1124)을 관통하며 플렌지 홀더(113)를 관통하며 진공 홀(1132)에 연장 형성될 수 있다.

또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 암(11)은 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)를 포함할 수 있다. 도 8을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 회전축(111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제2 관통구(1131)에 삽입될 수 있다. 예를 들어, 도 8을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는, 회전축(111)으로부터 일 방향으로 연장되는 지지축(1141)이 삽입되는 연결 유닛(1143) 및 연결 유닛(1143)의 일단부를 감싸며 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버(1142)를 포함할 수 있다.

또한, 도 8을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 플렌지 너트(93)를 지지 가능하다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일 방향을 향하는 일면에는 일 방향으로 돌출되어 플렌지 너트(93)의 복수 개의 홈(931)과 맞물리는 돌기(11421) 복수 개가 형성될 수 있다. 홈(931)과 돌기(11421)가 끼워맞춤(또는 삽입 결합)됨으로써, 플렌지 너트(93)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)에 픽될 수 있다.

또한, 플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 블레이드 홀더(112)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다. 또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 플렌지 홀더(113)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다.

상술한 바와 같이, 블레이드 홀더(112)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(111)이 일 방향으로 이동되면, 제1 탄성부재(115)가 압축되면서 회전축(111)과 연결되는 플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 블레이드 홀더(112)의 제1 관통구(1121)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 회전축(111)이 타 방향(예를 들어, 도 8 참조 9시 방향)으로 이동되면 제1 탄성부재(115)가 탄성복원되면서(펴지면서) 회전축(111)과 연결되는 플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 블레이드 홀더(112)의 제1 관통구(1121)의 길이 방향을 따라 타 방향으로 이동될 수 있다.

또한, 플렌지 홀더(113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(116)가 압축되면서 회전축(111)과 연결되는 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)가 제2 관통구(1131)의 길이 방향을 따라 일 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 회전축(111)이 타 방향(예를 들어, 도 8 참조 9시 방향)으로 이동되면 제2 탄성부재(116)가 탄성복원되면서(펴지면서) 회전축(111)과 연결되는 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 제2 관통구(1131)의 길이 방향을 따라 타 방향으로 이동될 수 있다.

또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(1142)에는 일 방향 및 타 방향(길이 방향)으로 제3 관통구(11422)가 형성될 수 있다. 또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 지지축(1141)으로부터 연장되어 일단부가 제3 관통구(11422)에 삽입되는 연결 유닛(1143)을 포함할 수 있다. 도 8을 참조하면, 연결 유닛(1143)의 타단부는 지지축(1141)을 감싸고, 연결 유닛(1143)의 일단부는 제3 관통구(11422)에 삽입될 수 있다. 또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 플렌지 너트 드라이버(1142)를 관통하며 연결 유닛(1143)에 체결되는 제2 체결 유닛(1144)을 포함할 수 있다. 플렌지 너트 드라이버(1142)의 제2 체결 유닛(1144)이 관통하는 홀(11423)은 플렌지 너트 드라이버(1142)의 연결 유닛(1143)에 대한 일 방향 및 타 방향으로의 이동이 허용되도록 일 방향 및 타 방향으로 연장 형성되는 장공일 수 있다.

또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 플렌지 너트 드라이버(1142)를 연결 유닛(1143)에 대해 탄성 구동시키는 제3 탄성 부재(1146)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 도 7 및 도 8을 참조하면, 연결 유닛(1143)의 타단부에는 외측으로 돌출 형성되어 제3 탄성 부재(1146)의 타단부가 지지되는 지지턱이 형성될 수 있고, 제3 탄성 부재(1146)은 일단은 플렌지 너트 드라이버(1142)의 타 방향을 향하는 면에 지지되고 타단은 연결 유닛(1143)에 형성되는 지지턱에 지지될 수 있다.

이에 따라, 도 8을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(1142)는 회전축의 일 방향으로의 이동이 시작되면, 소정 시간 후, 구체적으로, 제 3 탄성부재(1146)가 소정 압축되고, 제2 체결 유닛(1144)이 장공인 홀(11423)의 일단 끝까지 이동되면 회전축(111)의 이동과 연동되어 일 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 이동이 보다 스무스하게 이루어질 수 있다.

이하에서는 암(11)의 구동에 대해 보다 구체적으로 설명한다.

예를 들어, 블레이드 장착부(21)에 대한 블레이드(91)의 장착시, 회전축(111)은, 블레이드 홀더(112)의 일면 상의 블레이드(91)가 블레이드 장착부(21)의 블레이드 안착부(212)에 안착되도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리(제1 소정 거리) 이동될 수 있다. 참고로, 여기서 소정 거리는 블레이드 홀더(112)에 파지된 블레이드(91)가 블레이드 장착부(21)의 블레이드 안착부(212)와 대향하도록 블레이드 홀더(112)가 위치한 위치 지점으로부터 블레이드 홀더(112)에 파지된 플레이드(91)가 블레이드 안착부(212)에 안착될때까지 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(111)은, 플렌지 홀더(113)의 일면 상의 플렌지(92)가 블레이드 장착부(21)의 플렌지 안착부(213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면 상의 플렌지 너트(93)가 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외면 상으로 진입하도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리(제2 소정 거리) 추가 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드(91)가 블레이드 안착부(212)에 안착된 후부터, 플렌지 홀더(113)의 일면 상의 플렌지(92)가 블레이드 장착부(21)의 플렌지 안착부(213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면 상의 플렌지 너트(93)가 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외면 상으로 진입할 때까지 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 회전축(111)이 제2 소정 거리 이동 전에, 블레이드 홀더(112)는 그 전에 수행된 제1 소정 거리 이동에 따라 이미 블레이드(91)를 사이에 두고 블레이드 안착부(212)에 지지되어 추가 이동이 제한된 상태이기 때문에 회전축(111)의 제2 소정 거리 이동시, 제1 탄성부재(115)가 탄성압축되며 플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 블레이드 홀더(112)에 대하여 상대적으로 제2 소정 거리 이동될 수 있다. 이에 따라, 블레이드 홀더(112)의 블레이드(91)가 블레이드 안착부(212)에 안착되고 플렌지 홀더(113)의 플렌지(92)가 블렌지 안착부(213)에 안착되며 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)의 플렌지 너트(93)가 너트 장착부(214)에 진입한 상태가 구현될 수 있다. 또한, 회전축(111)은 플렌지 너트(93)가 너트 장착부(214)와 나사 결합하도록 회전되며 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리(제3 소정 거리) 추가 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214) 사이의 나사 결합이 완료되도록 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다. 회전축(111)의 제3 소정 거리 이동 전에, 블레이드 홀더(112)는 그 전에 수행된 제1 소정 거리 이동에 따라 이미 블레이드(91)를 사이에 두고 블레이드 안착부(212)에 지지되어 추가 이동이 제한된 상태이고, 플렌지 홀더(113)는 제2 소정 거리 이동에 따라 이미 플렌지(92)를 사이에 두고 플렌지 안착부(213)에 지지되어 추가 이동이 제한된 상태이기 때문에, 회전축(111)의 제3 소정 거리 이동시, 제2 탄성부재(116)가 탄성압축되며 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 플렌지 홀더(113)에 대하여 상대적으로 제3 소정 거리 이동될 수 있다. 이에 따라, 블레이드 홀더(112)의 블레이드(91)가 블레이드 안착부(212)에 안착되고 플렌지 홀더(113)의 플렌지(92)가 블렌지 안착부(213)에 안착되며 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)의 플렌지 너트(93)가 너트 장착부(214)에 나사 결합된 상태가 구현될 수 있다.

또한, 블레이드 장착부(212)에 대한 블레이드(91)의 수거시, 회전축(111)은, 블레이드 홀더(112)의 일면이 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)에 접촉되고, 플렌지 홀더(113)의 일면이 플렌지 안착부(212) 상의 플렌지(92)에 접촉되며, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면이 너트 장착부(214)에 나사 결합된 플렌지 너트(93)에 접촉되도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드 홀더(112)가 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)와 대향하도록 블레이드 홀더(112)가 위치한 위치 지점으로부터 플렌지 너트 드라이버(1142)의 돌기(11421)가 블레이드(91)의 홈(931)에 삽입될때까지 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(111)은, 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214)의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 블레이드 안착부(212)로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214) 사이의 나사 결합이 해제되도록 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다. 또한, 회전축(111)은 플렌지 안착부(212) 상의 플렌지(92), 너트 장착부(214) 상의 플렌지 너트(93) 및 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)가 제거되도록 블레이드 안착부(212)로부터 멀어지는 방향으로 소정거리 이동될 수 있다.

정리하면, 센서(22)가 블레이드(91)의 교체가 필요함을 판단하면, 제어부는 암(11)의 블레이드 교체를 위한 제어 신호를 생성할 수 있다. 제어 신호에 따라 암(11)은 블레이드 장착부(21)로 접근하여, 블레이드 장착부(21)로부터의 블레이드(91) 수거를 수행할 수 있다. 먼저, 회전축(111)은 블레이드 홀더(112)의 일면이 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)에 접촉되고, 플렌지 홀더(113)의 일면이 플렌지 안착부(212) 상의 플렌지(92)에 접촉되며, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면이 너트 장착부(214)에 나사 결합된 플렌지 너트(93)에 접촉되도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있고, 이 과정에서 블레이드 홀더(112)에는 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)가 파지될 수 있고, 플렌지 홀더(113)에는 플렌지 안착부(213) 상의 플렌지(92)가 파지될 수 있으며, 플렌지 너트 드라이버(1142)에는 플렌지 너트(93)가 파지될 수 있다. 그 후, 회전축(111)은 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214)의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 블레이드 안착부(212)로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있으며, 그 후, 회전축(111)은 플렌지 안착부(212) 상의 플렌지(92), 너트 장착부(214) 상의 플렌지 너트(93) 및 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)가 제거되도록 블레이드 안착부(212)로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있다. 이후, 회전축(111)(다시 말해, 암(11))은 후술하는 블레이드 보관부(3)로 이동되어 그의 블레이드 홀더(112)에 파지되어 있는 블레이드(91)를 블레이드 보관부(3)에 거치시킬 수 있다.

그 후, 암(11)은 그의 블레이드 홀더(112)로 블레이드 보관부(3)로부터 블레이드(91)(사용되지 않은 새 블레이드(91))를 파지할 수 있다. 이때, 암(11)의 플렌지 홀더(113)에는 블레이드 장착부(21)로부터 블레이드(91)를 수거할 때 블레이드 장착부(21)로부터 수거했던 플렌지(92) 및 플렌지 너트(93)가 파지된 상태일 수 있다. 암(11)은 블레이드 보관부(3)로부터 블레이드(91)를 파지한 후, 블레이드(91)가 수거되었던 블레이드 장착부(21)에 접근할 수 있고, 블레이드 홀더(112)의 일면 상의 블레이드(91)가 블레이드 장착부(21)의 블레이드 안착부(212)에 안착되도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 이후, 회전축(111)은 플렌지 홀더(113)의 일면 상의 플렌지(92)가 블레이드 장착부(21)의 플렌지 안착부(213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면 상의 플렌지 너트(93)가 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외면 상으로 진입하도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있으며, 이후, 회전축(111)은 플렌지 너트(93)가 너트 장착부(214)와 나사 결합하도록 회전되며 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있다. 이에 따라 블레이드(91), 플렌지(92), 플렌지 너트(93)가 블레이드 장착부(21)에 장착된 후, 암(11)은 블레이드 장착부(21)로부터 멀어질 수 있다.

또한, 블레이드 자동 교환 로봇(1)은 암(11)의 모터의 회전력 및 토크를 제어하는 감속기를 포함할 수 있다. 이에 따라, 모터의 회전력의 회전 속도가 제어될 수 있고(예를 들어, 보다 느리게 제어될 수 있음), 과도한 플렌지 너트(93)의 회전 및 압력으로 인해 블레이드(91)가 손상되는 것이 방지될 수 있다.

또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 암(11)은 회전축과 상기 제1 및 제2 탄성부재 사이에 개재되는 지지 구조체(117)를 더 포함하되, 지지 구조체(117)의 최외측에는 제1 탄성부재(115)의 타단을 지지하는 최외측 지지턱(1171)이 형성될 수 있다. 또한, 지지 구조체(117)의 최외측 지지턱(1171)보다 내측에 위치하는 부분에는 제2 탄성부재(116)의 타단을 지지하는 외측 지지턱(1172)이 형성될 수 있다. 또한, 도 7 및 도 8을 참조하면, 암(11)은 외부로 노출될 수 있는 연결유닛(1143)의 일부를 감싸는 커버(1145)를 포함할 수 있다.

또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 블레이드 자동 교환 로봇(1)은 암(11)을 X축 Y축 및 Z축으로 이동시킬 수 있고, 암(11)을 회전시킬 수 있다. 다시 말해, 블레이드 자동 교환 로봇(1)은 암(11)을 수평 방향으로의 이동, 수직 방향으로의 이동 및 회전 구동 시킬 수 있다. 이에 따라, 암(11)은 자유롭게 커팅 어셈블리(2)(특히 블레이드 장착부(21))와 블레이드 보관부(3)를 오가며 블레이드(91)를 교환하고 블레이드(91)를 보관시킬 수 있다.

또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 커팅 어셈블리(2)는 한 쌍으로 구비될 수 있다. 한 쌍의 커팅 어셈블리(2)는 각각의 블레이드 장착부(21)가 서로 대향하도록 구비될 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이, 암(11)은 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)가 파지한 플렌지 너트(93)가 너트 장착부(214)와 나사 결합되도록 회전축(111)을 회전시킬 수 있다. 이때, 커팅 어셈블리(2) 각각에 대한 회전축(111)의 회전 방향은 서로 반대일 수 있다. 이는, 커팅 어셈블리(2)가 서로 대향되며 배치되기 때문일 수 있다.

또한, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 장치는 블레이드 보관부(3)를 포함할 수 있다. 보관부(3)에는 사용 후 블레이드(91) 및 사용 전 블레이드(91)가 보관될 수 있다.

도 9는 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부를 설명하기 위한 사시도이고, 도 10은 본원의 일 실시예에 따른 반도체 패키지 커팅 장치의 블레이드 보관부의 정면도이다.

도 9 및 도 10을 참조하면, 블레이드 보관부(3)는 블레이드(91)의 관통공을 통과하며 블레이드(91)를 거치하는 거치부(31)를 포함할 수 있다.

또한, 도 9 및 도 10을 참조하면, 블레이드 보관부(3)는 거치부(31)에 거치되는 블레이드(91)가 거치부(31)의 양쪽 끝단 중 하나를 통해 이탈되지 않도록, 블레이드(91)의 관통공의 직경보다 큰 폭을 가지고 거치부(31)의 양쪽 끝단 중 하나에 형성되는 걸림부(32)를 포함할 수 있다.

또한, 도 9 및 도 10을 참조하면, 블레이드 보관부(3)는 거치부(31)에 거치되는 블레이드(91)가 거치부(31)의 양쪽 끝단 중 다른 하나로부터 이탈되지 않도록 거치부(31)의 양쪽 끝단 중 다른 하나에 구비되는 클램프(33)를 포함할 수 있다. 도 10을 참조하면, 클램프(33)는 거치부(31)로부터의 블레이드(91)의 이탈이 가능하도록 거치부(31)로부터 이격 가능하다. 예를 들어, 도 10을 참조하면 클램프(33)는 걸림부(32)로부터 멀어지는 방향 및 걸림부(32)를 향하는 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 도 9를 참조하면, 클램프(33)는 회전 가능하다. 이에 따라, 암(11)이 거치부(31)에 블레이드(91)가 보관해야 하거나, 거치부(31)로부터 블레이드(91)를 가져갈때, 클램프(33)는 걸림부(32)로부터 멀어지는 방향으로 이동되어 회전됨으로써, 거치부(31)로부터의 블레이드(91)의 이탈 및 거치부(31)에 대한 블레이드(91)의 거치를 허용할 수 있다. 이후 거치부는, 회전되어 걸림부(32)에 가까워지는 방향으로 이동됨으로써 거치부(31)로부터의 블레이드(91)의 이탈 및 거치부(31)에 대한 블레이드(91)의 거치를 차단할 수 있다.

또한, 거치부(31)의 단면은 원형 형상일 수 있다. 또한, 도 10을 참조하면, 거치부(31)의 클램프(33)를 향하는 부분은 클램프(33)를 향할수록 직경이 줄어들 수 있다. 이에 따라, 거치부(31)의 클램프(33)를 향하는 부분은 그 길이 방향(도 10 참조, 9시 3시 방향)을 따라 비스듬한 경사면(311)이 형성될 수 있다. 따라서, 거치부(31)로부터의 블레이드(91)의 이탈시 블레이드(91)가 보다 용이하게 거치부(31)로부터 빠질 수 있다.

또한, 도 9를 참조하면, 블레이드 보관부(3)는 복수 개 구비될 수 있다. 또한, 복수 개의 블레이드 보관부(3) 각각에 블레이드(91)가 보관될 수 있는데, 예를 들어, 첫 번째 블레이드 보관부(3)에는 사용되지 않은 새 블레이드(91)가 보관될 수 있다. 두 번째 블레이드 보관부(3)에는 사용된 블레이드(91)가 보관될 수 있다. 세 번째 블레이드 보관부(3)에는 사용 중인 블레이드(91)가 보관될 수 있다.

또한, 본 장치는 블레이드 보관부(3)에 구비되어 블레이드(91)의 보관 유무, 블레이드(91)의 보관량, 블레이드(91)의 보관 가능 유무 등 중 하나 이상을 체크하는 센서를 포함할 수 있다.

이하에서는, 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇의 암(이하 '본 암'이라 함)(11)에 대해 설명한다. 다만, 본 암은, 앞서 살핀 본 장치의 암(11)과 동일 한 구성일 수 있다. 이에 따라, 앞서 살핀 본 장치에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.

본 암(11)은 모터와 연결되는 회전축(111)을 포함한다. 회전축(111)은 모터에 의해 회전된다.

또한, 본 암(11)은 블레이드 홀더(112)를 포함한다. 블레이드 홀더(112)는 회전축(111)으로부터 일 방향으로 연장 배치된다. 또한, 블레이드 홀더(112)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구(1121)를 갖는다.

제1 관통구(1121)의 내경은 커팅 어셈블리(2)의 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외경보다 크다.

또한, 블레이드 홀더(112)는 후술하는 플렌지 홀더(113)와 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치된다.

또한, 본 암(11)은 회전축(111)과 블레이드 홀더(112) 사이에 개재되는 제1 탄성부재(115)를 포함한다.

이에 따라, 후술하는 플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는, 제1 탄성부재(115)의 압축시 블레이드 홀더(112)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비된다.

또한, 본 암(11)은 블레이드 홀더(112)를 관통하며 후술하는 플렌지 홀더(113)에 체결되는 제1 체결 유닛(1124)를 포함할 수 있다. 또한, 블레이드 홀더(113)의 제1 체결 유닛(1124)이 관통하는 홀(1123)은 플렌지 홀더(113)의 블레이드 홀더(112)에 대한 상대적 일 방향 및 타 방향으로의 이동이 허용되도록 일 방향 및 타 방향으로 연장 형성되는 장공일 수 있다.

또한, 블레이드 홀더(112)는 블레이드(91)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 블레이드 홀더(112)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 블레이드(91)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(1122)이 형성될 수 있다.

또한, 본 암(11)은 플렌지 홀더(113)를 포함한다. 플렌지 홀더(113)는 회전축(111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제1 관통구(1121)에 삽입된다. 또한, 플렌지 홀더(113)는 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구(1131)를 갖는다.

제2 관통구(1131)의 내경은 커팅 어셈블리(2)의 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외경보다 크다. 즉, 제1 관통구(1121) 및 제2 관통구(1131)의 내경은 커팅 어셈블리(2)의 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외경보다 클 수 있다. 이에 따라, 너트 장착부(214)는 제1 관통구(1121) 및 제2 관통구(1131) 내로 인입 가능하다.

또한, 플렌지 홀더(113)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)보다 일 방향으로 돌출되게 배치된다.

또한, 본 암(11)은 회전축(111)과 플렌지 홀더(113) 사이에 개재되는 제2 탄성부재(116)를 포함한다. 예를 들어, 플렌지 홀더(113)의 일 방향으로의 이동이 제한되는 상태에서 회전축(111)이 일 방향으로 이동되면 제2 탄성부재(116)는 탄성 압축될 수 있다.

이에 따라, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는, 제2 탄성부재(116)의 압축시 플렌지 홀더(113)에 대하여 일 방향으로 이동 가능하게 구비된다.

또한, 플렌지 홀더(113)는 플렌지(92)를 흡착 지지 가능하다. 예를 들어, 플렌지 홀더(113)의 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 플렌지(92)에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀(1132)이 형성될 수 있다.

또한, 본 암(11)은 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)를 포함한다. 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 회전축(111)으로부터 일 방향으로 연장되어 제2 관통구(1131)에 삽입된다. 예를 들어, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는, 회전축(111)으로부터 제2 관통구(1131) 내로 돌출 연장되는 지지축(1141) 및 지지축(1141)의 일단부를 감싸며 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버(1142)를 포함할 수 있다.

또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 플렌지 너트(93)를 지지 가능하다. 예를 들어, 도 7을 참조하면, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일 방향을 향하는 일면에는 일 방향으로 돌출되어 플렌지 너트(93)의 복수 개의 홈(931)과 맞물리는 돌기(11421) 복수 개가 형성될 수 있다. 홈(931)과 돌기(11421)가 끼워맞춤(또는 삽입 결합)됨으로써, 플렌지 너트(93)는 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)에 픽될 수 있다.

플렌지 홀더(113) 및 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 블레이드 홀더(112)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다. 또한, 플렌지 너트 드라이버 구조체(114)는 플렌지 홀더(113)에 대해 상대적으로 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하다.

또한, 블레이드 장착부(21)에 대한 블레이드(91)의 장착시, 회전축(111)은, 블레이드 홀더(112)의 일면 상의 블레이드(91)가 블레이드 장착부(21)의 블레이드 안착부(212)에 안착되도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 참고로, 여기서 소정 거리는 블레이드 홀더(112)에 파지된 블레이드(91)가 블레이드 장착부(21)의 블레이드 안착부(212)와 대향하도록 블레이드 홀더(112)가 위치한 위치 지점으로부터 블레이드 홀더(112)에 파지된 플레이드(91)가 블레이드 안착부(212)에 안착될때까지 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(111)은, 플렌지 홀더(113)의 일면 상의 플렌지(92)가 블레이드 장착부(21)의 플렌지 안착부(213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면 상의 플렌지 너트(93)가 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외면 상으로 진입하도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드(91)가 블레이드 안착부(212)에 안착된 후부터, 플렌지 홀더(113)의 일면 상의 플렌지(92)가 블레이드 장착부(21)의 플렌지 안착부(213)에 안착되고, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면 상의 플렌지 너트(93)가 블레이드 장착부(21)의 너트 장착부(214)의 외면 상으로 진입할 때까지 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(111)은 플렌지 너트(93)가 너트 장착부(214)와 나사 결합하도록 회전되며 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214) 사이의 나사 결합이 완료되도록 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다.

또한, 블레이드 장착부(212)에 대한 블레이드(91)의 수거시, 회전축(111)은, 블레이드 홀더(112)의 일면이 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)에 접촉되고, 플렌지 홀더(113)의 일면이 플렌지 안착부(212) 상의 플렌지(92)에 접촉되며, 플렌지 너트 드라이버(1142)의 일면이 너트 장착부(214)에 나사 결합된 플렌지 너트(93)에 접촉되도록 블레이드 안착부(212)를 향하는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 여기서 소정 거리는, 블레이드 홀더(112)가 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)와 대향하도록 블레이드 홀더(112)가 위치한 위치 지점으로부터 플렌지 너트 드라이버(1142)의 돌기(11421)가 블레이드(91)의 홈(931)에 삽입될때까지 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있다. 또한, 회전축(111)은, 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214)의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 블레이드 안착부(212)로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동될 수 있다. 소정 거리는 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214) 사이의 나사 결합이 해제되도록 회전축(111)이 이동한 거리를 의미할 수 있는데, 플렌지 너트(93)와 너트 장착부(214)의 나사결합량에 따라 결정될 수 있다. 또한, 회전축(111)은 플렌지 안착부(212) 상의 플렌지(92), 너트 장착부(214) 상의 플렌지 너트(93) 및 블레이드 안착부(212) 상의 블레이드(91)가 제거되도록 블레이드 안착부(212)로부터 멀어지는 방향으로 소정거리 이동될 수 있다.

또한, 본 암(11)은 모터의 회전력을 제어하는 감속기를 포함할 수 있다. 이에 따라, 모터의 회전력의 회전 속도가 제어될 수 있고(예를 들어, 보다 느리게 제어될 수 있음), 장비가 손상되는 것이 방지될 수 있다.

또한, 본 암(11)은 회전축과 상기 제1 및 제2 탄성부재 사이에 개재되는 지지 구조체(117)를 더 포함하되, 지지 구조체(117)의 최외측에는 제1 탄성부재(115)의 타단을 지지하는 최외측 지지턱(1171)이 형성될 수 있다. 또한, 지지 구조체(117)의 최외측 지지턱(1171)보다 내측에 위치하는 부분에는 제2 탄성부재(116)의 타단을 지지하는 외측 지지턱(1172)이 형성될 수 있다.

또한, 본원은 본 암(11)을 포함하는 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(1)을 제공할 수 있다. 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇은 본 암(11)을 X축 Y축 및 Z축으로 이동시킬 수 있고, 본 암(11)을 회전시킬 수 있다. 다시 말해, 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(1)은 본 암(11)을 수평 방향으로의 이동, 수직 방향으로의 이동 및 회전 구동 시킬 수 있다. 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(1)은 앞서 살핀 본 장치의 블레이드 자동 교환 로봇(1)과 동일할 수 있다. 이에 따라, 본원의 일 실시예에 따른 블레이드 자동 교환 로봇(1)에 대한 상세한 설명은 생략한다.

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1: 블레이드 자동 교환 로봇
11: 암
111: 회전축
112: 블레이드 홀더
1121: 제1 관통구
1122: 진공 홀
1123: 홀
1124: 제1 체결 유닛
113: 플렌지 홀더
1131: 제2 관통구
1132: 진공 홀
1133: 진공 라인
114: 플렌지 너트 드라이버 구조체
1141: 지지축
1142: 플렌지 너트 드라이버
11421: 돌기
11422: 제3 관통구
11423: 홀
1143: 연결 유닛
1144: 제2 체결 유닛
1145: 커버
1146: 제3 탄성부재
115: 제1 탄성부재
116: 제2 탄성부재
117: 지지 구조체
1171: 최외측 지지턱
1172: 외측 지지턱
2: 커팅 어셈블리
21: 블레이드 장착부
211: 스핀들축
212: 블레이드 안착부
213: 플렌지 안착부
214: 너트 장착부
22: 센서
221: 개구부
222: 발광부
223: 수광부
3: 블레이드 보관부
31: 거치부
32: 걸림부
33: 클램프
91: 블레이드
92: 플렌지
93: 플렌지 너트
931: 홈

Claims (8)

1. 블레이드 자동 교환 로봇의 암으로서,
   모터와 연결되는 회전축;
   블레이드를 흡착 지지 가능하고, 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제1 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 일 방향으로 연장 배치되는 블레이드 홀더;
   상기 회전축과 상기 블레이드 홀더 사이에 개재되는 제1 탄성부재;
   플렌지를 흡착 지지 가능하고, 상기 일 방향 및 타 방향으로 형성되는 제2 관통구를 가지며, 상기 회전축으로부터 상기 일 방향으로 연장되어 상기 제1 관통구에 삽입되는 플렌지 홀더;
   상기 회전축과 상기 플렌지 홀더 사이에 개재되는 제2 탄성부재; 및
   플렌지 너트를 지지 가능하고, 상기 제2 관통구 내에서 상기 회전축으로부터 상기 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버 구조체를 포함하되,
   상기 블레이드 홀더는 상기 플렌지 홀더와 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체보다 상기 일 방향으로 돌출되게 배치되고,
   상기 플렌지 홀더는 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체보다 상기 일 방향으로 돌출되게 배치되며,
   상기 제1 관통구 및 상기 제2 관통구의 내경은 커팅 어셈블리의 블레이드 장착부의 너트 장착부의 외경보다 크며,
   상기 플렌지 홀더 및 상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는, 상기 제1 탄성부재의 압축시 상기 블레이드 홀더에 대하여 상기 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하게 구비되고,
   상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는, 상기 제2 탄성부재의 압축시 상기 플렌지 홀더에 대하여 상기 일 방향 및 타 방향으로 이동 가능하게 구비되는 것인, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
2. 제1항에 있어서,
   상기 블레이드 홀더의 상기 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 블레이드에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀이 형성되고,
   상기 플렌지 홀더의 상기 일 방향을 향하는 일면에는, 둘레 방향을 따라 서로 이격 형성되어, 플렌지에 대한 진공압을 작용하는 복수 개의 진공 홀이 형성되는 것인, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
3. 제2항에 있어서,
   상기 플렌지 너트 드라이버 구조체는,
   상기 회전축으로부터 상기 제2 관통구 내로 돌출 연장되는 지지축; 및
   상기 지지축의 일단부를 감싸며 상기 일 방향으로 연장 배치되는 플렌지 너트 드라이버를 포함하는 것인, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
4. 제3항에 있어서,
   상기 플렌지 너트 드라이버의 상기 일 방향을 향하는 일면에는, 상기 일 방향으로 돌출되어 플렌지 너트의 복수 개의 홈과 맞물리는 돌기 복수 개가 형성되는 것인, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
5. 제4항에 있어서,
   상기 블레이드 장착부에 대한 블레이드의 장착시,
   상기 회전축은,
   상기 블레이드 홀더의 일면 상의 블레이드가 상기 블레이드 장착부의 블레이드 안착부에 안착되도록 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 이동되고,
   상기 플렌지 홀더의 일면 상의 플렌지가 상기 블레이드 장착부의 플렌지 안착부에 안착되고, 상기 플렌지 너트 드라이버의 일면 상의 플렌지 너트가 상기 블레이드 장착부의 너트 장착 단부의 외면 상으로 진입하도록 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동되며,
   상기 플렌지 너트가 상기 너트 장착 단부와 나사 결합하도록 회전되며 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 추가 이동되는 것인, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
6. 제4항에 있어서,
   상기 블레이드 장착부에 대한 블레이드의 수거시,
   상기 회전축은,
   상기 블레이드 홀더의 일면이 상기 블레이드 장착부의 블레이드 안착부 상의 블레이드에 접촉되고, 상기 플렌지 홀더의 일면이 상기 블레이드 장착부의 플렌지 안착부 상의 플렌지에 접촉되며, 상기 플렌지 너트 드라이버의 일면이 상기 너트 장착 단부에 나사 결합된 플렌지 너트에 접촉되도록 상기 블레이드 안착부를 향하는 방향으로 소정 거리 이동되고,
   상기 플렌지 너트와 상기 너트 장착 단부의 나사 결합이 해제되도록, 회전되며 상기 블레이드 안착부로부터 멀어지는 방향으로 소정 거리 이동되며,
   상기 플렌지 안착부 상의 플렌지, 상기 너트 장착 단부 상의 플렌지 너트 및 상기 블레이드 안착부 상의 블레이드가 제거되도록 상기 블레이드 안착부로부터 멀어지는 방향으로 이동되는 것인, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
7. 제6항에 있어서,
   상기 모터의 회전력을 회전력을 제어하는 감속기를 더 포함하는, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
8. 제1항에 있어서,
   상기 회전축과 상기 제1 및 제2 탄성부재 사이에 개재되는 지지 구조체를 더 포함하되,
   상기 지지 구조체의 최외측에는 상기 제1 탄성부재의 타단을 지지하는 최외측 지지턱이 형성되고,
   상기 지지 구조체의 상기 최외측 지지턱보다 내측에 위치하는 부분에는 상기 제2 탄성부재의 타단을 지지하는 외측 지지턱이 형성되는 것인, 블레이드 자동 교환 로봇의 암.
   

Images