JP6787972B2 - 主軸装置 - Google Patents

Description

本発明は、工具を用いて加工対象物を加工する旋盤機（工作機械）に用いられる主軸装置に関する。

主軸装置には、真空チャック機構を用いて主軸シャフトの一端側に加工対象物を保持させた状態で、その主軸シャフトを回転させながら加工対象物を加工するものがある。このような主軸装置として、下記の特許文献１のワーク保持装置が開示されている。

下記の特許文献１のワーク保持装置では、真空チャック機構が一端に設けられた回転軸の他端側に、エアー吸引回路と回転軸とを接続する回転継手が設けられている。この回転継手では、エアー吸引回路が駆動されて、外部から真空チャック機構を介して主軸シャフト内の流路にエアーが吸引された場合に、回転軸の外周面との間に非接触でシールする構造が設けられることで、物理的なシール部材を用いることが回避される。

特開２０１４−４２９４５号公報

ところで、外部から真空チャック機構を介して主軸シャフト内の流路に吸引されたエアーには、加工対象物の加工中に生じた切り屑などの塵芥が含まれる場合があり、この塵芥を除去するためのフィルタを主軸シャフト内に配置した主軸装置が知られている。

しかし、上記の特許文献１のワーク保持装置では、保守や点検の作業において、主軸シャフト内に配置したフィルタを取り出す場合、回転継手を分解する必要があり、その回転継手を分解するとシール部を経由することなく直接的に外部と軸受とが連通してしまう。このため、保守や点検の作業時には、軸受に対して塵芥が入らないように強く意識することが求められる。したがって、保守や点検の作業を簡易化することが求められる。

そこで、本発明は、保守や点検の作業を簡易化し得る主軸装置を提供することを目的とする。

本発明の態様は、主軸装置であって、主軸ハウジングと、前記主軸ハウジングの内部に設けられる軸受により回転可能に支持され、外部から吸引される空気を流すための吸引用流路が形成される主軸シャフトと、前記主軸シャフトの一端に対して前記主軸シャフトの回転に連動して回転可能に設けられ、前記吸引用流路と前記外部とを連通する連通路が形成される回転部材と、を備え、前記回転部材は、前記主軸シャフトの一端に固定され、前記主軸ハウジングにおける前記主軸シャフトの一端側の表面との間にシールガスを供給するための隙間が形成されるベース部と、前記ベース部に対して前記主軸シャフトの一端側とは逆側へ着脱可能に設けられる着脱部と、フィルタを収容可能に前記連通路上に設けられ、前記ベース部から前記着脱部が取り外されたときに、収容された前記フィルタを取り出し可能な収容空間と、を有する。

本発明では、ベース部と主軸ハウジングとの間の隙間にシールガスが供給された状態で、そのベース部から着脱部を取り外してフィルタの収容空間を露出させることができる。このため、ベース部と主軸ハウジングとの間の隙間から主軸ハウジング内部の軸受などに塵芥が流入することを防止しながら、フィルタの交換が可能となる。したがって、本発明によれば、保守や点検の作業を簡易化することができる。

本実施の形態の旋盤機を示す概略図である。 図１の主軸装置の断面を示す概略図である。 チャック部を示す斜視図である。 図２のチャック部を抜き出した図である。 変形例１のチャック部を図４と同じ視点で示す図である。 変形例２のチャック部を図４と同じ視点で示す図である。 変形例３の主軸装置の断面を示す概略図である。

本発明について、好適な実施の形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。

〔実施の形態〕
図１は、旋盤機１０の外観構成を示す概略図である。旋盤機１０は、工具を用いて加工対象物を加工するものであり、基礎ベッド１２、主軸支持部１４、テーブル支持部１６、テーブル１８および主軸装置２０を有する。

主軸支持部１４は、基礎ベッド１２上に設けられており、基礎ベッド１２に対して左右方向へ移動可能に主軸装置２０を支持するものである。なお、主軸装置２０における主軸シャフト２２が延びている方向（軸方向）を前後方向とし、当該主軸装置２０が載置される載置面Ｆに平行な面内で軸方向に対して直交する方向を左右方向とし、当該面および軸方向に対して直交する方向を上下方向とする。下方向は、重力が働く方向である。また、主軸装置２０においてチャック部３０が設けられる主軸シャフト２２の一端側を前側とし、当該主軸シャフト２２の他端側を後側とする。

主軸支持部１４は、基礎ベッド１２上に左右方向に沿って設けられる第１スライド部１４ａと、第１スライド部１４ａに沿って移動可能な主軸移動台１４ｂと、主軸移動台１４ｂを駆動する不図示の第１駆動機構とを有する。

第１駆動機構には、モータ、および、モータの回転力を直進運動に変換するボールねじなどの部材が含まれる。第１駆動機構によって主軸移動台１４ｂが第１スライド部１４ａに沿って移動することで、その主軸移動台１４ｂ上に設けられる主軸装置２０が基礎ベッド１２に対して左右方向へ移動する。

テーブル支持部１６は、基礎ベッド１２上に設けられており、基礎ベッド１２に対して前後方向へテーブル１８を移動可能に支持するものである。このテーブル支持部１６は、基礎ベッド１２上に前後方向に沿って設けられる第２スライド部１６ａと、第２スライド部１６ａに沿って移動可能なテーブル１８を駆動する不図示の第２駆動機構とを有する。

第２駆動機構には、モータ、および、モータの回転力を直進運動に変換するボールねじなどの部材が含まれる。第２駆動機構によってテーブル１８が第２スライド部１６ａを通じて基礎ベッド１２に対して前後方向へ移動する。テーブル１８は、上下方向の軸を回転軸として回転可能に設けられてもよい。

なお、本実施の形態では、主軸装置２０におけるチャック部３０に加工対象物が保持され、テーブル１８に工具が保持されるものとする。ただし、主軸装置２０におけるチャック部３０に工具が保持され、テーブル１８に加工対象物が保持されてもよい。

図２は、図１の主軸装置２０の断面を示す図である。本実施の形態の主軸装置２０は、加工対象物を回転可能に保持するものであり、加工対象物に対する加工をナノ単位で制御する場合などに使用される。この主軸装置２０は、主軸シャフト２２、主軸ハウジング２４、主軸取付台２６およびカバー部材２８を主な構成要素として備える。

主軸シャフト２２は、円筒状の部材である。この主軸シャフト２２には、外部から吸引される空気を流すための円筒状の吸引用流路２２Ｈが形成される。図２に示す例では、吸引用流路２２Ｈは、主軸シャフト２２の軸方向に沿って貫通しており、前側吸引用流路２２Ｈａと、前側吸引用流路２２Ｈａの直径よりも小さい直径となる後側吸引用流路２２Ｈｂとを有する。この主軸シャフト２２の一端側（前側）にはチャック部３０が設けられ、他端側（後側）にはモータ４０が設けられる。

チャック部３０は、主軸シャフト２２の回転に連動して主軸ハウジング２４の前側で回転する回転部材であり、主軸シャフト２２の一端に設けられる。このチャック部３０は、本実施の形態では加工対象物を着脱する。なお、図１では、チャック部３０が円盤状に形成されているが、他の形状であってもよい。

モータ４０は、主軸シャフト２２の駆動源であり、主軸ハウジング２４の後側に取り付けられるモータケース４０ａと、モータケース４０ａ内に設けられるロータ４０ｂおよびステータ４０ｃとを有する。ロータ４０ｂには主軸シャフト２２が固定される。したがって、ロータ４０ｂの回転に連動して主軸シャフト２２が回転する。

主軸ハウジング２４は、略円筒状のハウジング本体２４ａと、後側ハウジング蓋２４ｂとを有する。ハウジング本体２４ａには、ハウジング本体２４ａの外周面から外側に向かって突出する環状のフランジ部５０が設けられる。フランジ部５０は、ハウジング本体２４ａと一体に成形されていてもよく、ハウジング本体２４ａとは別体として所定の固定具によりハウジング本体２４ａに固定されていてもよい。

ハウジング本体２４ａの後側には、そのハウジング本体２４ａの後側の開口を覆うように後側ハウジング蓋２４ｂが着脱可能に取り付けられる。後側ハウジング蓋２４ｂの表面（後端面）側には、モータ４０のモータケース４０ａが固定される。

後側ハウジング蓋２４ｂとハウジング本体２４ａとには、前後方向に沿って貫通する略円筒状のシャフト配置空間が形成される。このシャフト配置空間に主軸シャフト２２が配置され、当該シャフト配置空間に配置された主軸シャフト２２は、軸受６０を介して回転可能に支持される。

軸受６０は、本実施の形態では、ラジアル軸受６０ａおよびスラスト軸受６０ｂを有する。スラスト軸受６０ｂは、主軸シャフト２２の左側と右側とにそれぞれ設けられ、ラジアル軸受６０ａは、スラスト軸受６０ｂよりも主軸シャフト２２の一端側において、当該主軸シャフト２２の前側と後側とにそれぞれ設けられる。なお、軸受６０は、静圧軸受であっても、転がり軸受であってもよい。ただし、上記のように加工対象物に対する加工をナノ単位で制御する場合には静圧軸受であることが好ましい。

主軸取付台２６は、主軸移動台１４ｂの載置面Ｆ（図１）上に載置される。この主軸取付台２６は、主軸シャフト２２の軸方向に沿って主軸ハウジング２４が挿通される挿通孔２６Ｈを有する。挿通孔２６Ｈに挿通された主軸ハウジング２４の前側は、ハウジング本体２４ａに設けられるフランジ部５０を介して主軸取付台２６の前側に固定され、当該主軸ハウジング２４の後側は、主軸取付台２６の後側に設けられる支持部材７０を介して支持される。

具体的には、フランジ部５０は、主軸取付台２６における前側（挿通孔２６Ｈの一方の開口側）に対してボルトなどの棒状締結部材で着脱可能に固定される。一方、支持部材７０は、主軸取付台２６における後側（挿通孔２６Ｈの他方の開口側）を基礎として主軸ハウジング２４を支持する。つまり、主軸ハウジング２４は、主軸取付台２６に対して、当該主軸ハウジング２４の前後から両持ちで保持される。

カバー部材２８は、フランジ部５０における前側の表面と、その表面から前側に延在するハウジング本体２４ａの外周面と、チャック部３０の外周面の一部とを覆うように設けられる。なお、カバー部材２８は、チャック部３０の外周面の一部を覆っているが、当該外周面の全体を覆っていてもよく、チャック部３０の外周面の少なくとも一部を覆っていればよい。

カバー部材２８には、シール部をシールするシールガスを流すためのガス用の流路２８ａが形成される。シール部は、チャック部３０とカバー部材２８との間およびチャック部３０とハウジング本体２４ａとの間の隙間である。シールガスは、所定圧にまで圧縮されていてもよい。具体的には、例えば、空気などが挙げられる。シール部にシールガスが供給されることで、加工対象物の加工時に生じる屑、あるいは、加工時に用いられるクーラントなどが隙間を介して主軸ハウジング２４の内部（シャフト配置空間）に入ることが抑制される。なお、シール部に流れたシールガスは主軸装置２０の前側などから外部に排出される。

また、カバー部材２８には、冷媒を流すための不図示の冷媒用の流路が形成されており、その冷媒用の流路を流れる冷媒によってカバー部材２８の温度が調整される。この冷媒は、例えば、水あるいは圧縮空気などとされる。

図３は、チャック部３０を示す斜視図である。チャック部３０は、ベース部８０と、そのベース部８０に対して着脱可能な着脱部８２とに分割される。ベース部８０は、主軸シャフト２２の一端に固定される（図２参照）。

ベース部８０の前面側の略中央には、フィルタ８４を収容可能な収容空間８６が形成され、当該収容空間８６の周囲には、シール部材８８が取り付けられる。つまり、ベース部８０と着脱部８２との間に収容空間８６およびシール部材８８が配置される。フィルタ８４は、外部から吸引された空気に含まれる塵芥を取り除くためのものであり、シール部材８８は、ベース部８０と着脱部８２との間の隙間から空気が外部に漏れることを抑制するためのものである。フィルタ８４およびシール部材８８は、保守点検時などで必要に応じて交換の対象となる。

着脱部８２は、ベース部８０の前側（主軸シャフト２２の一端側とは逆側）へ着脱可能に設けられる。すなわち、着脱部８２には、ベース部８０に対して着脱部８２を固定するボルトなどの棒状締結部材を挿通するための複数の固定用孔８２Ｈが、着脱部８２の外周に沿って間隔をあけて設けられる。

これら各々の固定用孔８２Ｈを通じて、着脱部８２の前面側からベース部８０に棒状締結部材が突き入れられることで、ベース部８０に対して着脱部８２が取り付けられる。ベース部８０に対して着脱部８２が取り付けられたときには、そのベース部８０と着脱部８２との間に配置される収容空間８６の開口が着脱部８２によって閉じられることで、当該収容空間８６は密閉された空間となる。

一方、ベース部８０から棒状締結部材が抜き取られることで、ベース部８０から着脱部８２が取り外される。ベース部８０から着脱部８２が取り外されたときには、そのベース部８０と着脱部８２との間に配置される収容空間８６の開口が開くことで収容空間８６が露出し、当該収容空間８６は開放された空間となる。

着脱部８２の前面は、加工対象物を吸着する対象となる吸着対象面であり、その吸着対象面には空気を吸引するための吸引口９０が形成される。吸引口９０は、本実施の形態では、前面中央に配置される円形口と、その円形口から前面の径方向に間隔をあけて配置される複数の環状口とを有する。なお、吸引口９０の形状および数は、加工対象物を吸着対象面に吸着可能であれば、特に限定されない。ただし、吸着対象面に対する加工対象物の吸着力を高めるなどの観点では、複数の吸引口９０が吸着対象面に形成されていることが好ましい。

図４は、図２のチャック部３０を抜き出した図である。チャック部３０には、主軸シャフト２２の吸引用流路２２Ｈと外部とを連通する連通路９２が形成され、この連通路９２上に収容空間８６が設けられる。つまり、収容空間８６は、主軸シャフト２２の吸引用流路２２Ｈと外部とを連通する連通路９２の一部である。連通路９２は、ベース側連通路９２ａおよび着脱側連通路９２ｂを有する。

ベース側連通路９２ａは、主軸シャフト２２に形成される吸引用流路２２Ｈと、ベース部８０に形成される収容空間８６とを連通する。図４に示す例では、ベース側連通路９２ａの一方の開口はベース部８０のうち吸引用流路２２Ｈに嵌入されている部分の先端に位置し、当該ベース側連通路９２ａの他方の開口は収容空間８６の底側を形成するベース部８０の隔壁に位置する。

着脱側連通路９２ｂは、着脱部８２の吸着対象面に形成される複数の吸引口９０の各々と、ベース部８０に形成される収容空間８６とを連通する。図４に示す例では、着脱側連通路９２ｂの一方の開口は各々の吸引口９０であり、当該着脱側連通路９２ｂの他方の開口は着脱部８２においてベース部８０に対向する壁面のうちベース部８０への取付時に収容空間８６を覆う領域内に位置する。

チャック部３０の外部の空気を吸引する場合、主軸シャフト２２の後方側に接続された不図示の真空ポンプが駆動される。この場合、チャック部３０の外部の空気は、各々の吸引口９０から、着脱側連通路９２ｂ、収容空間８６およびベース側連通路９２ａを順に通って吸引用流路２２Ｈに吸引されることで、着脱部８２の吸着対象面に加工対象物が密着した状態で保持される。

以上のように本実施の形態の主軸装置２０では、チャック部３０が、主軸シャフト２２の一端に固定されるベース部８０と、そのベース部８０に対して着脱可能に設けられる着脱部８２とに分割される。また主軸装置２０では、ベース部８０と着脱部８２との間にフィルタ８４の収容空間８６が配置され、ベース部８０とハウジング本体２４ａとの間の隙間にはシールガスが供給される。

このため、本実施の形態の主軸装置２０では、ベース部８０とハウジング本体２４ａとの間の隙間にシールガスが供給された状態で、そのベース部８０から着脱部８２を取り外してフィルタ８４の収容空間８６を露出させることができる。したがって、本実施の形態の主軸装置２０では、ベース部８０とハウジング本体２４ａとの間の隙間からハウジング本体２４ａの内部の軸受６０などに塵芥が流入することを防止しながら、フィルタ８４の交換が可能となる。

〔変形例〕
以上、本発明の一例として上記の実施の形態が説明されたが、本発明の技術的範囲は上記の実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記の実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることはもちろんである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。上記の実施の形態に変更または改良を加えた例を以下に記載する。

（変形例１）
図５は、変形例１のチャック部３０を図４と同じ視点で示す図である。なお、図５では、上記実施の形態において説明した構成と同様の構成については同一の符号が付されており、既に説明した上記実施の形態の構成については適宜省略する。

変形例１のチャック部３０では、着脱部８２の後面側に収容空間８６が形成される。このように収容空間８６が形成されていても、上記実施の形態と同様に、収容空間８６はベース部８０と着脱部８２との間に配置される。

すなわち、着脱部８２がベース部８０に取り付けられたときには、上記実施の形態と同様に、着脱部８２に形成される収容空間８６の開口はベース部８０によって閉じられる。これにより収容空間８６は、上記実施の形態と同様に、密閉された空間となる。

一方、ベース部８０から着脱部８２が取り外されたときには、上記実施の形態と同様に、着脱部８２に形成される収容空間８６の開口が開いて収容空間８６が露出する。これにより収容空間８６は、上記実施の形態と同様に、開放された空間となる。

したがって、変形例１のチャック部３０であっても、上記の実施の形態のように、ベース部８０とハウジング本体２４ａとの間の隙間からハウジング本体２４ａの内部の軸受６０などに塵芥が流入することを防止しながら、フィルタ８４の交換が可能となる。

（変形例２）
図６は、変形例２のチャック部３０を図４と同じ視点で示す図である。なお、図６では、上記実施の形態において説明した構成と同様の構成については同一の符号が付されており、既に説明した上記実施の形態の構成については適宜省略する。

変形例２のチャック部３０では、ベース部８０の前面側および着脱部８２の後面側の双方に収容空間８６が形成される。このように収容空間８６が形成されていても、上記実施の形態と同様に、収容空間８６はベース部８０と着脱部８２との間に配置される。

すなわち、着脱部８２がベース部８０に取り付けられたときには、当該ベース部８０の前面側と着脱部８２の後面側とが接触することで、ベース部８０側に形成される収容空間８６の開口と、着脱部８２側に形成される収容空間８６の開口とが閉じられる。これにより収容空間８６は、上記実施の形態と同様に、密閉された空間となる。

一方、ベース部８０から着脱部８２が取り外されたときには、当該ベース部８０の前面側が着脱部８２の後面側と切り離されることで、ベース部８０側に形成される収容空間８６の開口と、着脱部８２側に形成される収容空間８６の開口とがともに開く。これにより上記実施の形態と同様に、収容空間８６は露出し、開放された空間となる。

したがって、変形例２のチャック部３０であっても、上記の実施の形態のように、ベース部８０とハウジング本体２４ａとの間の隙間からハウジング本体２４ａの内部の軸受６０などに塵芥が流入することを防止しながら、フィルタ８４の交換が可能となる。

（変形例３）
図７は、変形例３の主軸装置２０の断面を示す概略図である。なお、図７では、上記実施の形態において説明した構成と同様の構成については同一の符号が付されており、既に説明した上記実施の形態の構成については適宜省略する。

変形例３の主軸装置２０では、カバー部材２８がない。また、変形例３の主軸装置２０では、主軸ハウジング２４のハウジング本体２４ａに、シール部をシールするシールガスを流すためのガス用の流路２４ｃが形成される。このシール部は、チャック部３０の後面と、ハウジング本体２４ａの前面との間の隙間である。

このように、変形例３の主軸装置２０では、カバー部材２８がなくても、ハウジング本体２４ａに形成された流路２４ｃを通じて、ベース部８０とハウジング本体２４ａとの間の隙間にはシールガスが供給される。

したがって、変形例３の主軸装置２０であっても、上記の実施の形態のように、ベース部８０とハウジング本体２４ａとの間の隙間からハウジング本体２４ａの内部の軸受６０などに塵芥が流入することを防止しながら、フィルタ８４の交換が可能となる。

（変形例４）
上記の実施の形態では、ベース部８０と着脱部８２との間にシール部材８８が配置された。しかし、シール部材８８がなくてもベース部８０と着脱部８２とが接触されることで外部に空気が漏れることを抑制することができるので、シール部材８８はなくてもよい。

（変形例５）
上記の実施の形態および上記変形例は、矛盾の生じない範囲で任意に組み合わされてもよい。

〔技術的思想〕
上記の実施の形態および変形例から把握し得る技術的思想について、以下に記載する。

主軸装置（２０）は、主軸ハウジング（２４）と、主軸シャフト（２２）と、回転部材（３０）とを備える。
主軸シャフト（２２）は、主軸ハウジング（２４）の内部に設けられる軸受（６０）により回転可能に支持され、外部から吸引される空気を流すための吸引用流路（２２Ｈ）が形成される。
回転部材（３０）は、主軸シャフト（２２）の一端に対して主軸シャフト（２２）の回転に連動して回転可能に設けられ、吸引用流路（２２Ｈ）と外部とを連通する連通路（９２）が形成される。
また、回転部材（３０）は、主軸シャフト（２２）の一端に固定され、主軸ハウジング（２４）における主軸シャフト（２２）の一端側の表面との間にシールガスを供給するための隙間が形成されるベース部（８０）と、ベース部（８０）に対して主軸シャフト（２２）の一端側とは逆側へ着脱可能に設けられる着脱部（８２）と、フィルタ（８４）を収容可能に連通路（９２）上に設けられ、ベース部（８０）から着脱部（８２）が取り外されたときに、収容されたフィルタ（８４）を取り出し可能な収容空間（８６）と、を有する。
この主軸装置（２０）によれば、ベース部（８０）と主軸ハウジング（２４）との間の隙間にシールガスが供給された状態で、そのベース部（８０）から着脱部（８２）を取り外してフィルタ（８４）の収容空間（８６）を露出させることができる。このため、ベース部（８０）と主軸ハウジング（２４）との間の隙間から主軸ハウジング（２４）内部の軸受（６０）などに塵芥が流入することを防止しながら、フィルタ（８４）の交換が可能となる。したがって、本発明によれば、保守や点検の作業を簡易化することができる。

収容空間（８６）は、ベース部（８０）と着脱部（８２）との間に設けられるようにしてもよい。
このようにすれば、ベース部（８０）と着脱部（８２）との間に設けられていない場合に比べてフィルタ（８４）を交換し易くできる。

収容空間（８６）は、ベース部（８０）から着脱部（８２）が取り外されたときに露出するようにしてもよい。
このようにすれば、ベース部（８０）から着脱部（８２）が取り外されたときに露出しない場合に比べてフィルタ（８４）を交換し易くできる。

連通路（９２）は、吸引用流路（２２Ｈ）と収容空間（８６）とを連通するベース側連通路（９２ａ）、および、着脱部（８２）におけるベース部（８０）とは逆の面に形成される複数の吸引口（９０）と収容空間（８６）とを連通する着脱側連通路（９２ｂ）を有し、収容空間（８６）は、ベース部（８０）の表面側に設けられるようにしてもよい。
このようにすれば、着脱側連通路（９２ｂ）の形成領域を損なうことなくフィルタ（８４）の収容空間（８６）を設けることができる。したがって、収容空間（８６）に起因して複数の吸引口（９０）の数を減らすことを抑制することができる。

主軸装置（２０）は、主軸ハウジング（２４）に取り付けられ、回転部材（３０）の外周面を覆うカバー部材（２８）を備え、カバー部材（２８）には、カバー部材（２８）の外周面側から隙間にシールガスを流すための流路（２８ａ）が形成されるようにしてもよい。
このようにすれば、シールガスの流出部位を主軸ハウジング（２４）から遠ざけ易い。また、主軸ハウジング（２４）に流路（２４ｃ）を形成する必要がないので、主軸ハウジング（２４）の強度を高め易くなる。

主軸ハウジング（２４）には、主軸ハウジング（２４）の外周面側からベース部（８０）が対向する主軸ハウジング（２４）の壁面側にシールガスを流すための流路（２４ｃ）が形成されるようにしてもよい。
このようにすれば、回転部材（３０）の外周面を覆うカバー部材（２８）を設けなくてもよくなるため、その分だけ小型化を図ることができる。

１０…旋盤機 ２０…主軸装置
２２…主軸シャフト ２４…主軸ハウジング
２６…主軸取付台 ２８…カバー部材
３０…チャック部 ４０…モータ
５０…フランジ部 ６０…軸受
７０…支持部材 ８０…ベース部
８２…着脱部 ８４…フィルタ
８６…収容空間 ８８…シール部材
９０…吸引口 ９２…連通路

Claims (4)

1. 主軸ハウジングと、
   前記主軸ハウジングの内部に設けられる軸受により回転可能に支持され、外部から吸引される空気を流すための吸引用流路が形成される主軸シャフトと、
   前記主軸シャフトの一端に対して前記主軸シャフトの回転に連動して回転可能に設けられ、前記吸引用流路と前記外部とを連通する連通路が形成される回転部材と、
   を備え、
   前記回転部材は、
   前記主軸シャフトの一端に固定され、前記主軸ハウジングにおける前記主軸シャフトの一端側の表面との間にシールガスを供給するための隙間が形成されるベース部と、前記ベース部に対して前記主軸シャフトの一端側とは逆側へ着脱可能に設けられる着脱部と、フィルタを収容可能に前記連通路上に設けられ、前記ベース部から前記着脱部が取り外されたときに、収容された前記フィルタを取り出し可能な収容空間と、
   を有する、主軸装置。
2. 請求項１に記載の主軸装置であって、
   前記収容空間は、前記ベース部と前記着脱部との間に配置される、主軸装置。
3. 請求項１または２に記載の主軸装置であって、
   前記収容空間は、前記ベース部から前記着脱部が取り外されたときに露出する、主軸装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の主軸装置であって、
   前記連通路は、前記吸引用流路と前記収容空間とを連通するベース側連通路、および、前記着脱部における前記ベース部とは逆の面に形成される複数の吸引口と前記収容空間とを連通する着脱側連通路を有し、
   前記収容空間は、前記ベース部の表面側に設けられる、主軸装置。

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