JP6976660B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
4 基台
4a 開口
6 X軸移動テーブル
8 防塵防滴カバー
10 保持テーブル
12 切削ユニット(加工ユニット)
14 支持構造
16 切削ユニット移動機構
18 Y軸ガイドレール
20 Y軸移動プレート
22 Y軸ボールネジ
24 Y軸パルスモータ
26 Z軸ガイドレール
28 Z軸移動プレート
30 Z軸ボールネジ
32 Z軸パルスモータ
34 切削ブレード
36 カメラ
38 加工領域
40 搬出入領域
40a 上方領域
40b ロード領域
40c アンロード領域
42 ロードテーブル
42a 保持面
44 アンロードテーブル
44a 保持面
44b 吸引路
44c 吸引源
46 ロードテーブル移動機構
48 アンロードテーブル移動機構
50 ガイドレール
52 搬送機構(載せ替え機構)
54 吸引部
56 ノズル
56a エアー
58 載置領域
60 収容容器
62 搬出ユニット
64 外的刺激付与ユニット
11 被加工物
11a チップ
13 テープ
Claims (3)
- 外的刺激を付与することで剥離可能なテープが下面に貼着された被加工物を加工する加工装置であって、
該テープを介して被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
被加工物の加工が実施される加工領域と、被加工物の搬出入が実施される搬出入領域と、の間で該保持テーブルを加工送り方向に沿って移動する加工送りユニットと、
該加工ユニットを該加工送り方向に垂直な割り出し送り方向へ移動する割り出し送りユニットと、
該搬出入領域と該割り出し送り方向に隣接する一方側の領域で加工前の被加工物を該テープを介して支持するロードテーブルと、
該搬出入領域と該割り出し送り方向に隣接する他方側の領域で加工後の被加工物を該テープを介して支持するアンロードテーブルと、
該保持テーブル及び該ロードテーブルの間と、該保持テーブル及び該アンロードテーブルの間と、で被加工物を搬送する搬送機構と、
該アンロードテーブルで支持された被加工物の下面に貼着されたテープに該外的刺激を付与する外的刺激付与ユニットと、を備えることを特徴とする加工装置。 - 該アンロードテーブルに隣接し、加工後の被加工物を収容する収容容器が載置される載置領域と、
該外的刺激付与ユニットにより該外的刺激が付与された該テープから被加工物を剥離し、該載置領域に載置された該収容容器に該アンロードテーブルから該被加工物を搬出する搬出ユニットと、を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。 - 該外的刺激は熱であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の加工装置。
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JP2018020170A JP6976660B2 (ja) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018020170A JP6976660B2 (ja) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | 加工装置 |
Publications (2)
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JP2019140172A JP2019140172A (ja) | 2019-08-22 |
JP6976660B2 true JP6976660B2 (ja) | 2021-12-08 |
Family
ID=67694386
Family Applications (1)
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JP2018020170A Active JP6976660B2 (ja) | 2018-02-07 | 2018-02-07 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Family Cites Families (7)
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JP2000232080A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割システム及びペレットの移し替え装置 |
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-
2018
- 2018-02-07 JP JP2018020170A patent/JP6976660B2/ja active Active
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