KR20190111764A

KR20190111764A - 연삭 장치

Info

Publication number: KR20190111764A
Application number: KR1020190027035A
Authority: KR
Inventors: 신지 요시다
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2018-03-23
Filing date: 2019-03-08
Publication date: 2019-10-02
Also published as: SG10201901935SA; US20190291239A1; TW201941292A; CN110293480A; JP2019169608A

Abstract

(과제) 연삭 후 웨이퍼에 십자 라인이 발견되면, 테이블 유지면의 십자 라인이 웨이퍼에 형성된 위치에 대응하는 부착물 부착 위치를, 오퍼레이터가 즉시 파악하여 부착물 제거할 수 있도록 하여, 이후의 웨이퍼 연삭에 있어서의 십자 크랙 발생을 방지한다.
(해결 수단) 유지면 (300a) 을 갖는 테이블 (30) 과, 테이블 (30) 을 회전시키는 수단 (37) 과, 유지된 웨이퍼 (W) 를 연삭하는 수단 (32) 과, 오퍼레이터에게 정보를 통지하는 수단 (17) 을 구비하고, 유지되고 연삭된 웨이퍼 (W) 의 피연삭면 (Wb) 을 조명 (400) 으로 비추어 피연삭면 (Wb) 을 촬상하는 수단 (40) 과, 촬상 화상 중의 십자 라인을 검출하는 수단 (91) 과, 검출된 십자 라인의 교점의 X 축 Y 축 좌표 위치를 기억하는 수단 (90) 과, 기억된 X 축 Y 축 좌표 위치에서 유지면 (300a) 을 비추는 스포트라이트 (41) 와, 통지 수단 (17) 에 십자 라인을 검출한 것을 통지시킴과 함께 장치의 연삭 동작을 정지시키는 제어 수단 (9) 을 구비하는 연삭 장치 (1).

Description

연삭 장치{GRINDING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 연삭하는 연삭 장치에 관한 것이다.

웨이퍼를 연삭하는 연삭 장치는, 유지 테이블의 포러스재로 이루어지는 유지면으로 유지한 웨이퍼를, 유지면에 평행하게 위치된 회전하는 연삭 지석의 연삭면으로 연삭하고 있다. 유지 테이블의 유지면과 웨이퍼의 하면 사이에 연삭 부스러기 또는 지립 등의 부착물이 끼인 상태에서 유지면으로 유지된 웨이퍼를 연삭 지석으로 연삭하면, 부착물의 바로 위의 웨이퍼의 피연삭면에 십자 형상의 크랙이 형성되어 버린다. 그리고, 웨이퍼에 십자 크랙을 형성시키지 않도록 하기 위해, 특허문헌 1 또는 2 에 기재되어 있는 세정 장치에 의해, 웨이퍼를 흡인 유지하기 전의 유지면을 세정하고 있다.

일본 특허공보 4079289호 일본 특허공보 5538971호

그러나, 상기 세정 장치를 사용하여 세정을 실시한 후의 유지면에 부착물이 남아 있으면, 십자 크랙이 형성되게 된다. 따라서, 웨이퍼를 유지 테이블의 유지면으로 흡인 유지하기 전에, 유지면의 부착물의 유무를 확인할 필요가 있다. 그래서, 유지면을 촬상 카메라로 촬상하지만, 형성된 촬상 화상으로부터, 오퍼레이터가 포러스 세라믹의 모양인지 부착물인지의 판단을 하는 것은 어렵다는 문제가 있다.

그래서, 연삭 장치에 있어서는, 연삭된 웨이퍼에 십자 크랙이 발견되면, 웨이퍼에 그 십자 크랙이 형성된 위치에 대응하는 유지 테이블의 유지면의 위치 (부착물이 유지면에 부착되어 있는 위치) 를, 오퍼레이터가 즉시 파악하여 부착물을 제거할 수 있도록 하여, 그 후의 웨이퍼 연삭에 있어서 웨이퍼에 십자 크랙이 발생하는 것을 방지한다는 과제가 있다.

본 발명에 의하면, 연삭 장치로서, 웨이퍼를 유지하는 유지면을 갖는 포러스판을 구비한 유지 테이블과, 그 유지 테이블의 중심을 축으로 유지 테이블을 회전시키는 유지 테이블 회전 수단과, 그 유지면으로 유지한 웨이퍼를 연삭 지석으로 연삭하는 연삭 수단과, 오퍼레이터에게 각종 정보를 통지하는 통지 수단과, 그 유지면으로 유지되고 그 연삭 지석으로 연삭된 웨이퍼의 피연삭면을 조명으로 비추어 피연삭면을 촬상하는 촬상 수단과, 그 촬상 수단이 촬상한 화상 중의 십자 라인을 검출하는 검출 수단과, 그 검출 수단이 검출한 십자 라인의 교점의 X 축 Y 축 좌표 위치를 기억하는 기억 수단과, 그 기억 수단이 기억하는 X 축 Y 축 좌표 위치에서 그 유지면을 비추는 스포트라이트와, 그 통지 수단에 그 검출 수단이 십자 라인을 검출한 것을 오퍼레이터에게 통지시킴과 함께 장치의 연삭 동작을 정지시키는 제어 수단을 구비한, 연삭 장치가 제공된다.

본 발명에 의하면, 연삭한 웨이퍼에 십자 크랙이 발생하면, 그 십자 크랙의 바로 아래의 유지면을 스포트라이트로 비출 수 있어, 웨이퍼를 유지면으로부터 떼어낸 후에, 오퍼레이터가 유지면 상의 연삭 부스러기나 지립 등이 부착되어 있는 위치를 즉시 파악하는 것이 가능해진다. 그리고, 비추어진 유지면의 그 지점에 있어서 오퍼레이터가 부착물 제거를 실시함으로써, 십자 크랙의 원인이 되는 부착물을 유지면으로부터 즉석에서 제거할 수 있다.

도 1 은, 연삭 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 유지 테이블, 세정 수단, 및 촬상 수단의 일례를 나타내는 단면도이다.
도 3 은, 유지면으로 유지되고 연삭 지석으로 연삭된 웨이퍼의 피연삭면을 조명으로 비추면서 촬상 수단으로 촬상하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 유지면으로 유지되고 연삭 지석으로 연삭된 웨이퍼의 피연삭면을 조명으로 비추면서 촬상 수단으로 촬상하고 있는 상태를 나타내는 평면도이다.
도 5 는, 검출 수단이 촬상 수단이 촬상한 화상 중의 십자 라인을 검출하는 경우를 설명하는 설명도이다.

도 1 에 나타내는 연삭 장치 (1) 는, 유지 테이블 (30) 에 의해 흡인 유지된 웨이퍼 (W) 에 연삭 가공을 실시하는 장치이다. 도 1 에 나타내는 웨이퍼 (W) 는, 예를 들어, 실리콘 모재로 이루어지는 원형판상의 반도체 웨이퍼이며, 도 1 에 있어서 하방을 향하고 있는 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 은, 복수의 디바이스가 형성되어 있고, 보호 테이프 (T) 가 첩착되어 보호되어 있다. 상방을 향하고 있는 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 은, 연삭 가공이 실시되는 피연삭면이 된다. 웨이퍼 (W) 의 외주연에는, 결정 방위를 나타내는 마크인 노치 (N) 가, 웨이퍼 (W) 의 중심을 향하여 직경 방향 내측으로 움푹 패인 상태로 형성되어 있다.

연삭 장치 (1) 의 베이스 (10) 의 전방측 (－X 방향측) 에는, 오퍼레이터가 연삭 장치 (1) 에 대해 가공 조건 등을 입력하기 위한 입력 수단 (19) 이 배치 형성되어 있다. 또, 베이스 (10) 상의 전방측에는, 연삭 전의 웨이퍼 (W) 를 수용하는 제 1 카세트 (331) 및 연삭이 완료된 웨이퍼 (W) 를 수용하는 제 2 카세트 (332) 가 배치 형성되어 있다. 제 1 카세트 (331) 와 제 2 카세트 (332) 사이에는, 제 1 카세트 (331) 로부터 연삭 전의 웨이퍼 (W) 를 반출함과 함께, 연삭이 완료된 웨이퍼 (W) 를 제 2 카세트 (332) 에 반입하는 다관절 아암을 구비하는 로봇 (330) 이 배치 형성되어 있다.

로봇 (330) 의 가동역에는, 가공 전의 웨이퍼 (W) 를 임시 거치하는 임시 거치 테이블 (333a) 이 형성되어 있고, 임시 거치 테이블 (333a) 에는 위치 맞춤 수단 (333b) 이 배치 형성되어 있다. 위치 맞춤 수단 (333b) 은, 제 1 카세트 (331) 로부터 반출되어 임시 거치 테이블 (333a) 에 재치된 웨이퍼 (W) 를, 축경하는 위치 맞춤 핀으로 소정의 위치에 위치 맞춤 (센터링) 한다.

임시 거치 테이블 (333a) 의 측방에는, 웨이퍼 (W) 의 노치 (N) 를 검출하는 검출부 (333c) 가 배치 형성되어 있다. 검출부 (333c) 는, 예를 들어, 광 반사형 또는 투과형의 광학 센서로 구성되어 있고, 센터링된 웨이퍼 (W) 를 유지한 임시 거치 테이블 (333a) 의 회전에 수반하여 웨이퍼 (W) 의 외주가 검출부 (333c) 의 검출 영역 (하방) 을 통과함으로써, 웨이퍼 (W) 의 외주연에 형성된 노치 (N) 를 검출할 수 있다. 또한, 검출부 (333c) 를 카메라 등으로 구성되는 것으로 하여, 카메라에 의해 촬상된 촬상화를 검출부 (333c) 가 화상 처리함으로써, 웨이퍼 (W) 의 외주연의 노치 (N) 를 검출하는 것으로 해도 된다.

로봇 (330) 의 가동역에는, 연삭이 완료된 웨이퍼 (W) 를 세정하는 세정 수단 (334) 이 배치 형성되어 있다. 세정 수단 (334) 은, 예를 들어, 매엽식의 스피너 세정 장치이다.

위치 맞춤 수단 (333b) 의 근방에는 제 1 반송 수단 (335) 이 배치 형성되고, 세정 수단 (334) 의 근방에는 제 2 반송 수단 (336) 이 배치 형성되어 있다. 제 1 반송 수단 (335) 은, 임시 거치 테이블 (333a) 에 재치되어 센터링된 연삭 전의 웨이퍼 (W) 를 도 1 에 나타내는 어느 유지 테이블 (30) 에 반송하고, 제 2 반송 수단 (336) 은, 어느 유지 테이블 (30) 에 유지된 연삭이 완료된 웨이퍼 (W) 를 세정 수단 (334) 에 반송한다.

베이스 (10) 상의 제 1 반송 수단 (335) 의 후방측에는, 턴테이블 (34) 이 배치 형성되어 있고, 턴테이블 (34) 의 상면에는, 예를 들어 4 개의 유지 테이블 (30) (2 개만 도시) 이 둘레 방향으로 등간격을 두고 배치 형성되어 있다. 턴테이블 (34) 은, 베이스 (10) 상에서 Z 축 방향의 축심 둘레로 자전 가능하게 되어 있다. 턴테이블 (34) 의 회전에 의해, 어느 유지 테이블 (30) 이 제 1 반송 수단 (335) 및 제 2 반송 수단 (336) 의 근방에 위치된다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 유지 테이블 (30) 은, 예를 들어, 그 외형이 원형상이고, 웨이퍼 (W) 를 흡착하는 포러스판 (300) 과, 포러스판 (300) 을 지지하는 프레임체 (301) 를 구비한다. 포러스판 (300) 은 진공 발생 장치 등의 흡인원 (39) 에 연통되고, 흡인원 (39) 이 흡인함으로써 만들어진 흡인력이, 포러스판 (300) 의 노출면인 유지면 (300a) 에 전달됨으로써, 유지 테이블 (30) 은 유지면 (300a) 상에서 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다. 유지면 (300a) 은, 그 회전 중심을 정점으로 하는 매우 완만한 경사를 구비하는 원뿔면에 형성되어 있다.

유지 테이블 (30) 의 하면측에는, 유지 테이블 회전 수단 (37) 이 접속되어 있고, 유지 테이블 (30) 은, 도 1 에 나타내는 턴테이블 (34) 상에 있어서 유지 테이블 회전 수단 (37) 에 의해 Z 축 방향의 축심 둘레로 회전 가능하게 되어 있다.

또, 유지 테이블 (30) 의 하방에는, 커플링 등을 통해 기울기 조절 기구 (38) 가 배치 형성되어 있다. 기울기 조절 기구 (38) 는, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 의 수평면에 대한 기울기를 조절할 수 있다.

유지 테이블 회전 수단 (37) 은, 예를 들어, 축 방향이 Z 축 방향이고 그 상단이 유지 테이블 (30) 의 프레임체 (301) 의 하면에 접속된 스핀들 (370) 과, 유지 테이블 (30) 의 중심을 축으로 유지 테이블 (30) 을 회전시키는 구동원이 되는 모터 (371) 를 구비한 풀리 기구이다. 모터 (371) 의 샤프트에는, 주동 풀리 (372) 가 장착되어 있고, 주동 풀리 (372) 에는 무단 벨트 (373) 가 권회되어 있다. 스핀들 (370) 에는 종동 풀리 (374) 가 장착되어 있고, 무단 벨트 (373) 는, 이 종동 풀리 (374) 에도 권회되어 있다. 모터 (371) 가 주동 풀리 (372) 를 회전 구동함으로써, 주동 풀리 (372) 의 회전에 수반하여 무단 벨트 (373) 가 회동하고, 무단 벨트 (373) 가 회동함으로써 종동 풀리 (374) 및 스핀들 (370) 이 회전한다.

예를 들어, 모터 (371) 에는, 모터 (371) 의 회전 각도, 즉, 유지 테이블 (30) 의 회전 각도를 검출하는 로터리 인코더 (379) 가 접속되어 있다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 베이스 (10) 상의 후방측 (＋X 방향측) 에는 칼럼 (11) 이 세워져 형성되어 있고, 칼럼 (11) 의 전면에는, 조연삭 수단 (31) 을 유지 테이블 (30) 에 의해 유지된 웨이퍼 (W) 에 대해 연삭 이송하는 조연삭 이송 수단 (35) 과, 마무리 연삭 수단 (32) 을 유지 테이블 (30) 에 의해 유지된 웨이퍼 (W) 에 대해 연삭 이송하는 마무리 연삭 이송 수단 (36) 이 나란히 배치 형성되어 있다.

조연삭 이송 수단 (35) 은, 연직 방향 (Z 축 방향) 의 축심을 갖는 도시되지 않은 볼 나사와, 볼 나사와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (351) 과, 볼 나사에 연결되고 볼 나사를 회동시키는 모터 (352) 와, 내부의 너트가 볼 나사에 나사 결합됨과 함께 측부가 가이드 레일 (351) 에 슬라이딩 접촉하는 승강부 (353) 로 구성되고, 모터 (352) 가 볼 나사를 회전시키는 것에 수반하여 조연삭 수단 (31) 을 지지하는 승강부 (353) 가 가이드 레일 (351) 에 가이드되어 승강한다.

마무리 연삭 이송 수단 (36) 은, 연직 방향의 축심을 갖는 도시되지 않은 볼 나사와, 볼 나사와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (361) 과, 볼 나사에 연결되고 볼 나사를 회동시키는 모터 (362) 와, 내부의 너트가 볼 나사에 나사 결합됨과 함께 측부가 가이드 레일 (361) 에 슬라이딩 접촉하는 승강부 (363) 로 구성되고, 모터 (362) 가 볼 나사를 회전시키는 것에 수반하여 마무리 연삭 수단 (32) 을 지지하는 승강부 (363) 가 가이드 레일 (361) 에 가이드되어 승강한다.

조연삭 수단 (31) 은, 축 방향이 연직 방향인 회전축 (310) 과, 회전축 (310) 을 회전 가능하게 지지하는 하우징 (311) 과, 회전축 (310) 을 회전 구동하는 모터 (312) 와, 회전축 (310) 의 하단에 장착된 마운트 (313) 와, 마운트 (313) 에 착탈 가능하게 접속된 연삭휠 (314) 을 구비한다. 연삭휠 (314) 의 바닥면에는, 대략 직방체 형상의 복수의 조연삭 지석 (314a) 이 환상으로 배치 형성되어 있다. 조연삭 지석 (314a) 은, 소정의 본드제로 다이아몬드 지립 등이 고착되어 성형되어 있다. 조연삭 지석 (314a) 은, 예를 들어, 지석 중에 함유되는 지립이 비교적 큰 지석이다.

예를 들어, 회전축 (310) 의 내부에는, 연삭수 공급원에 연통되고 연삭수의 통로가 되는 도시되지 않은 유로가, 회전축 (310) 의 축 방향으로 관통하여 형성되어 있고, 유로는 연삭휠 (314) 의 바닥면에 있어서 조연삭 지석 (314a) 을 향하여 연삭수를 분출할 수 있도록 개구되어 있다.

마무리 연삭 수단 (32) 은, 조연삭에 의해 박화된 웨이퍼 (W) 에 대해, 평탄성을 높이는 마무리 연삭을 실시할 수 있다. 즉, 마무리 연삭 수단 (32) 은, 마무리 연삭 지석 (324a) 을 구비하고 회전 가능하게 장착한 연삭휠 (314) 로, 조연삭 수단 (31) 이 연삭한 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 을 추가로 연삭한다. 마무리 연삭 지석 (324a) 중에 함유되는 지립은, 조연삭 지석 (314a) 에 함유되는 지립보다 입경이 작은 지립이다. 마무리 연삭 수단 (32) 의 마무리 연삭 지석 (324a) 이외의 구성에 대해서는, 조연삭 수단 (31) 의 구성과 동일하게 되어 있다.

유지 테이블 (30) 의 이동 경로의 상방에는, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 을 세정하는 세정 수단 (8) 이 배치 형성되어 있다. 이 세정 수단 (8) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 연직 방향의 축심을 갖는 회전축 (80) 과, 회전축 (80) 을 회전 가능하게 지지하는 하우징 (81) 과, 회전축 (80) 의 하단에 배치 형성된 세정 지석 (82) 과, 하우징 (81) 을 승강시키는 승강 수단 (83) 을 구비하고 있다. 그리고, 세정 수단 (8) 은, 도 1 에 나타내는 Y 축 이동 수단 (89) 에 의해 Y 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다.

도 1 에 나타내는 Y 축 이동 수단 (89) 은, 예를 들어, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (890) 와, 볼 나사 (890) 를 지지하는 브릿지부 (891) 와, 내부의 너트가 볼 나사 (890) 에 나사 결합되고 볼 나사 (890) 상을 Y 축 방향으로 왕복 이동하는 가동부 (892) 와, 볼 나사 (890) 의 일단에 연결되고 볼 나사 (890) 를 회동시키는 도시되지 않은 모터를 구비하고 있다. 가동부 (892) 의 전면에는 세정 수단 (8) 이 배치 형성되어 있다.

세정 지석 (82) 은, 예를 들어, 레진 본드 지석, 수지재 또는 세라믹스재를 원형판상으로 형성한 것이며, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 에 부착된 연삭 부스러기 등의 컨태미네이션을 깎아낸다. 또한, 세정 수단 (8) 은, 세정 지석 (82) 대신에 세정 브러쉬를 구비해도 된다.

승강 수단 (83) 은, 하우징 (81) 이 슬라이딩하는 레일 (830) 과, 예를 들어 하우징 (81) 의 내부에 형성되는 모터 등을 구비하고, 하우징 (81) 을 승강시킬 수 있다.

연삭 장치 (1) 는, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 으로 유지되고 마무리 연삭 지석 (324a) 으로 연삭된 웨이퍼 (W) 의 피연삭면 (Wb) 을 조명 (400) (도 2 참조) 으로 비추어 피연삭면 (Wb) 을 촬상하는 촬상 수단 (40) 과, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 을 비추는 스포트라이트 (41) 를 구비하고 있다.

촬상 수단 (40) 은, 예를 들어, 라인 센서 카메라이며, 세정 수단 (8) 의 하우징 (81) 의 측면에 배치 형성되어 있고, 세정 수단 (8) 과 함께 Y 축 방향 및 Z 축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 촬상 수단 (40) 은, 예를 들어, 외부광이 차광되는 직방체상의 케이싱 (401) 을 구비하고 있고, 케이싱 (401) 의 측면에는 웨이퍼 (W) 의 상방으로부터 웨이퍼 (W) 를 비추는 조명 (400) 이 장착되어 있다. 조명 (400) 은, 예를 들어, LED 또는 크세논 램프 등이며, 조명 (400) 이 만들어 내는 광은 도시되지 않은 광 파이버 등의 전송 광학계에 의해 케이싱 (401) 내부에 전파된다. 조명 (400) 이 발하는 광의 광량은, 도시되지 않은 조정기 등에 의해 조정할 수 있다.

촬상 수단 (40) 은, 케이싱 (401) 내에 배치 형성되고 조명 (400) 이 발하는 광을 하방을 향하게 하여 반사하여 방향 변환하는 하프 미러 (402) 와, 케이싱 (401) 내의 하프 미러 (402) 의 하측에 배치 형성되고 하프 미러 (402) 로 반사한 광이 입광되는 도시되지 않은 대물 렌즈와, 하프 미러 (402) 의 상측에 배치 형성되고 웨이퍼 (W) 로 반사되어 대물 렌즈가 포착한 반사광을 광전 변환하여 화상 정보로서 출력하는 촬상부 (403) 를 구비하고 있다.

촬상부 (403) 는, 예를 들어, CCD 등의 복수의 수광 소자가 X 축 방향으로 좌우 일렬로 나열되어 구성되어 있다. 촬상부 (403) 는, 그 길이 방향 (X 축 방향) 의 길이가, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 의 반경과 대략 동일한 길이로 되어 있고, 웨이퍼 (W) 의 반경 이상의 길이의 촬상 영역을 갖는다. 수광 소자의 각 화소가 반사광의 강도에 의해 전하는 데이터는, 예를 들어, 휘도값이 8 비트 계조, 즉, 0 ∼ 255 까지의 256 가지로 표현된다.

스포트라이트 (41) 는, 예를 들어, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 을 상방으로부터 스폿적으로 비출 수 있는 LED 라이트 등이며, 촬상 수단 (40) 의 근방, 즉, 본 실시형태에 있어서는 세정 수단 (8) 의 하우징 (81) 의 측면에 장착되어 있다. 또한, 스포트라이트 (41) 에 의한 스폿 광의 입사 각도는, 예를 들어, 도시되지 않은 조정 수단에 의해 조정 가능하게 되어 있어, 스폿 광 직경도 원하는 값으로 좁힐 수 있다. 또, 스포트라이트 (41) 의 배치 형성 지점도 도 1, 2 에 나타내는 예에 한정되는 것은 아니다.

도 1, 2 에 나타내는 바와 같이, 연삭 장치 (1) 는, CPU 및 메모리 등의 기억 수단 (90) 으로 구성되고 장치 전체의 제어를 실시하는 제어 수단 (9) 을 구비하고 있다. 제어 수단 (9) 은, 도시되지 않은 배선에 의해, 마무리 연삭 이송 수단 (36), Y 축 이동 수단 (89), 및 유지 테이블 회전 수단 (37) 등에 전기적으로 접속되어 있고, 제어 수단 (9) 의 제어하에서, 마무리 연삭 이송 수단 (36) 에 의한 마무리 연삭 수단 (32) 의 Z 축 방향으로의 이동 동작, Y 축 이동 수단 (89) 에 의한 촬상 수단 (40) 의 Y 축 방향에 있어서의 위치 부여 동작, 및 유지 테이블 회전 수단 (37) 에 의한 유지 테이블 (30) 의 회전 동작 등이 제어된다.

연삭 장치 (1) 는, 오퍼레이터에게 각종 정보를 통지하는 통지 수단 (17) 을 구비하고 있다. 통지 수단 (17) 은, 통지 정보를 도시되지 않은 모니터에 표시하거나, 알람으로부터 발보하거나 한다.

이하에, 도 1 에 나타내는 연삭 장치 (1) 에 의해 웨이퍼 (W) 를 연삭하는 경우의 연삭 장치 (1) 의 동작에 대해 설명한다.

먼저, 도 1 에 나타내는 턴테이블 (34) 이 자전함으로써, 웨이퍼 (W) 가 재치되어 있지 않은 상태의 유지 테이블 (30) 이 공전하여, 유지 테이블 (30) 이 제 1 반송 수단 (335) 의 근방까지 이동한다. 로봇 (330) 이 제 1 카세트 (331) 로부터 1 장의 웨이퍼 (W) 를 인출하고, 웨이퍼 (W) 를 임시 거치 테이블 (333a) 에 이동시킨다.

위치 맞춤 수단 (333b) 에 의해 웨이퍼 (W) 가 임시 거치 테이블 (333a) 상에서 센터링된 후, 웨이퍼 (W) 의 외주연에 형성된 노치 (N) 가 검출부 (333c) 에 의해 검출된다. 그리고, 웨이퍼 (W) 가 임시 거치 테이블 (333a) 에 의해 회전되고, 노치 (N) 가 둘레 방향에 있어서의 소정 위치에 위치된다. 이어서, 제 1 반송 수단 (335) 이, 센터링되어 노치 (N) 가 둘레 방향에 있어서의 소정 위치에 위치된 웨이퍼 (W) 를, 파악된 노치 (N) 의 둘레 방향 위치를 어긋나지 않도록 유지 테이블 (30) 상에 이동시킨다.

예를 들어, 유지 테이블 (30) 에는, 웨이퍼 (W) 가 재치되었을 때에 노치 (N) 와 위치 맞춤하기 위한 도시되지 않은 노치 ?춤부 (맞춤 마크) 가 형성되어 있어도 된다. 유지 테이블 (30) 에 있어서는, 웨이퍼 (W) 의 노치 (N) 와 유지 테이블 (30) 의 노치 맞춤부가 위치 맞춤된다. 즉, 제 1 반송 수단 (335) 이 웨이퍼 (W) 를 유지하였을 때의 노치 (N) 의 위치는, 임시 거치 테이블 (333a) 로부터 웨이퍼 (W) 를 유지하고 반출할 때에 정해져 있으므로, 유지 테이블 (30) 이 소정 각도 회전되어, 임시 거치 테이블 (333a) 이 유지하고 있던 웨이퍼 (W) 의 노치 (N) 의 위치와 유지 테이블 (30) 의 노치 맞춤부가 일치하도록 위치 맞춤이 된다. 그리고, 유지 테이블 (30) 의 중심과 웨이퍼 (W) 의 중심이 대략 합치하도록, 웨이퍼 (W) 가 이면 (Wb) 을 위를 향하게 한 상태에서 유지면 (300a) 상에 재치된다.

그리고, 흡인원 (39) (도 2 참조) 이 작동하여 만들어 내어진 흡인력이, 포러스판 (300) 의 유지면 (300a) 에 전달됨으로써, 유지 테이블 (30) 이 유지면 (300a) 상에서 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다. 또, 흡인 유지된 웨이퍼 (W) 의 노치 (N) 의 위치는, 제어 수단 (9) 에 의해 파악된 상태로 되어 있다.

또한, 유지 테이블 (30) 상에 흡인 유지된 웨이퍼 (W) 의 노치 (N) 의 위치는, 적어도 후술하는 제 2 반송 수단 (336) 에 의한 웨이퍼 (W) 의 유지 테이블 (30) 로부터의 반출시까지는, 항상 파악된 상태가 된다. 즉, 도 2 에 나타내는 유지 테이블 회전 수단 (37) 의 로터리 인코더 (379) 는, 유지 테이블 회전 수단 (37) 에 의한 유지 테이블 (30) 의 회전이 이루어지면, 인코더 신호 (모터 (371) 의 회전수) 를 제어 수단 (9) 에 대해 출력한다. 제어 수단 (9) 은, 수신한 인코더 신호에 의해, 유지 테이블 회전 수단 (37) 에 의한 유지 테이블 (30) 의 회전 속도를 피드백 제어하고, 또한, 회전하는 웨이퍼 (W) 의 노치 (N) 의 위치를 축차적으로 파악할 수 있다.

또한, 유지 테이블 (30) 상에 있어서의 웨이퍼 (W) 의 노치 (N) 의 위치의 파악은, 촬상 수단 (40) 을 사용한 웨이퍼 (W) 에 대한 에지 얼라인먼트가 실시되는 경우에는, 그 에지 얼라인먼트와 함께 이루어져도 된다. 에지 얼라인먼트에서는, 유지 테이블 (30) 이 회전하여, 유지 테이블 (30) 에 유지된 웨이퍼 (W) 의 외주연이 촬상 수단 (40) 으로 복수 지점 촬상된다. 그리고, 예를 들어 외주연의 이간된 3 점의 좌표가 검출되고, 그 3 점의 좌표에 기초하는 기하학적 연산 처리에 의해, 유지 테이블 (30) 상에 있어서의 웨이퍼 (W) 의 정확한 중심 좌표가 구해진다. 또, 형성된 촬상 화상으로부터 노치 (N) 의 좌표 위치가 파악된다.

유지 테이블 (30) 이 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한 후, 도 1 에 나타내는 턴테이블 (34) 이 ＋Z 방향에서 보았을 때 시계 방향으로 자전한다. 그리고, 웨이퍼 (W) 를 유지한 유지 테이블 (30) 이 공전하여, 조연삭 수단 (31) 의 조연삭 지석 (314a) 의 회전 중심이 웨이퍼 (W) 의 회전 중심에 대해 소정 거리만큼 수평 방향으로 어긋나고, 조연삭 지석 (314a) 의 회전 궤적이 웨이퍼 (W) 의 회전 중심을 통과하도록 웨이퍼 (W) 가 위치된다. 또, 완만한 원뿔면인 유지면 (300a) 이 조연삭 지석 (314a) 의 연삭면 (하면) 에 대해 평행이 되도록, 기울기 조절 기구 (38) (도 2 참조) 에 의해 유지 테이블 (30) 의 기울기가 조정되고, 유지면 (300a) 을 따라 흡인 유지되는 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 이, 조연삭 지석 (314a) 의 연삭면과 평행이 된다.

조연삭 수단 (31) 이 조연삭 이송 수단 (35) 에 의해 －Z 방향으로 이송되고, 회전하는 조연삭 지석 (314a) 이 유지 테이블 (30) 로 유지된 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 맞닿음으로써 조연삭이 실시된다. 또, 유지 테이블 회전 수단 (37) 이 유지 테이블 (30) 을 소정의 회전 속도로 회전시키는 것에 수반하여 유지면 (300a) 상의 웨이퍼 (W) 도 회전하므로, 조연삭 지석 (314a) 이 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 전체면의 조연삭 가공을 실시한다. 연삭 중에는, 조연삭 지석 (314a) 과 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 접촉 부위에 연삭수가 공급되어, 접촉 부위를 냉각·세정한다.

마무리 두께의 직전까지 웨이퍼 (W) 가 조연삭된 후, 조연삭 이송 수단 (35) 이 조연삭 수단 (31) 을 상승시켜 웨이퍼 (W) 로부터 이간시킨다.

이어서, 턴테이블 (34) 이 ＋Z 방향에서 보았을 때 시계 방향으로 회전하여, 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지하는 유지 테이블 (30) 이 마무리 연삭 수단 (32) 의 하방까지 이동한다. 마무리 연삭 지석 (324a) 과 웨이퍼 (W) 의 위치 맞춤이 실시된 후, 마무리 연삭 수단 (32) 이 마무리 연삭 이송 수단 (36) 에 의해 하방으로 이송되고, 회전하는 마무리 연삭 지석 (324a) 이 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 맞닿고, 또, 유지 테이블 (30) 이 회전하는 것에 수반하여, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 전체면이 마무리 연삭된다.

마무리 두께까지 연삭되어 이면 (Wb) 의 평탄성이 높아진 웨이퍼 (W) 로부터 마무리 연삭 수단 (32) 이 이간된 후, 턴테이블 (34) 이 ＋Z 방향에서 보았을 때 시계 방향으로 자전함으로써, 웨이퍼 (W) 가 제 2 반송 수단 (336) 의 근방까지 이동한다. 그리고, 제 2 반송 수단 (336) 이, 유지 테이블 (30) 상의 웨이퍼 (W) 를 세정 수단 (334) 에 반송한다. 세정 수단 (334) 에 있어서 웨이퍼 (W) 가 세정된 후, 로봇 (330) 이 웨이퍼 (W) 를 세정 수단 (334) 으로부터 반출하여, 제 2 카세트 (332) 에 웨이퍼 (W) 를 반입한다. 연삭 장치 (1) 에 있어서는, 이와 같은 일련의 연삭 동작이 반복 실시되어, 복수 장의 웨이퍼 (W) 가 연삭된다.

상기와 같이 하여, 웨이퍼 (W) 를 연삭하면, 도 1 에 나타내는 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 과 웨이퍼 (W) 에 첩착된 보호 테이프 (T) 사이에 연삭 부스러기나 탈립된 지립이 들어가, 그 연삭 부스러기나 지립이 유지면 (300a) 에 부착되는 경우가 있다. 이 상태에서 웨이퍼 (W) 를 연삭하면 웨이퍼 (W) 에 십자 형상의 크랙 (십자 라인) 이 발생한다. 또, 이 부착물이 유지면 (300a) 상에 남은 채의 상태에서 그 유지면 (300a) 에 다음 웨이퍼 (W) 가 흡인 유지되고, 다음 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 이 연삭되면, 다음 웨이퍼 (W) 에 십자 형상의 크랙이 발생한다.

그래서, 세정 수단 (8) 이 Y 축 이동 수단 (89) 에 의해 Y 축 방향으로 이동하여, 웨이퍼 (W) 가 반출된 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 의 상방에 세정 지석 (82) 을 위치시킨다. 그리고, 유지 테이블 회전 수단 (37) 이 유지 테이블 (30) 을 회전시킴과 함께, 승강 수단 (83) 이 회전하는 세정 지석 (82) 을 하강시켜, 유지면 (300a) 에 세정 지석 (82) 를 가압한다. 그렇게 하면, 유지면 (300a) 으로부터 상방으로 돌출된 연삭 부스러기 등이 깎아내어지고, 유지면 (300a) 이 세정된다.

예를 들어, 세정 수단 (8) 을 사용한 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 세정을 적절한 타이밍에 사이에 두면서, 웨이퍼 (W) 를 복수 장 연속해서 연삭해 나간 경우 등에 있어서, 세정 수단 (8) 에 의한 세정을 실시한 후의 유지면 (300a) 에 부착물이 남아 있는 경우가 있으며, 이 경우에는, 그 유지면 (300a) 으로 유지된 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 연삭에 의해 십자 라인이 형성되게 된다.

그 때문에, 웨이퍼 (W) 에 십자 라인이 형성되어 버리는 상태에서 복수 장의 웨이퍼 (W) 가 연삭되어 버리는 것을 방지할 필요가 있어, 본 발명에 관련된 연삭 장치 (1) 는 이하에 설명하는 동작을 실시한다.

예를 들어, 소정의 복수 장째의 웨이퍼 (W) 가 마무리 연삭에 의해 마무리 두께까지 연삭되고, 도 1 에 나타내는 마무리 연삭 수단 (32) 이 웨이퍼 (W) 로부터 이간된 후, 턴테이블 (34) 이 ＋Z 방향에서 보았을 때 시계 방향으로 자전하고, 또, Y 축 이동 수단 (89) 이 촬상 수단 (40) 을 Y 축 방향으로 이동시켜, 유지 테이블 (30) 에 흡인 유지되어 있는 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 을 촬상 수단 (40) 이 촬상할 수 있도록, 웨이퍼 (W) 와 촬상 수단 (40) 이 위치 맞춤된다. 즉, 도 3, 4 에 나타내는 바와 같이, 촬상부 (403) 가 웨이퍼 (W) 의 중심 (Wc) 상방으로부터 외주연 상방까지를 라인상으로 걸치도록 위치 맞춤이 이루어진다. 또한, 도 3, 4 에 있어서는, 촬상 수단 (40) 의 촬상부 (403) 이외의 구성은 생략하여 나타내고 있다.

이어서, 유지 테이블 회전 수단 (37) 이 제어 수단 (9) 의 제어하에서 소정 각도만큼 유지 테이블 (30) 을 회전시켜, 예를 들어, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼 (W) 의 중심 (Wc) 과 노치 (N) 를 통과하는 가상선 (L1) 이 X 축 방향에 대해 평행이 되고, 또한, 노치 (N) 가 ＋X 방향측의 위치 (촬상 개시 위치인 0 도 위치) 에 위치된다.

또, 촬상 수단 (40) 이 작동하여, 도시되지 않은 대물 렌즈의 핀트 맞춤이 도 2 에 나타내는 승강 수단 (83) 에 의한 촬상 수단 (40) 의 상하동에 의해 이루어진다. 대물 렌즈의 핀트가 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 맞은 시점에서, 승강 수단 (83) 이 촬상 수단 (40) 의 상하동을 정지한다.

이 상태에서, 도 3, 4 에 나타내는 바와 같이, 유지 테이블 회전 수단 (37) 이, 예를 들어, 유지 테이블 (30) 을 ＋Z 방향측에서 보았을 때 반시계 방향으로 소정의 회전 속도로 회전시킨다. 또, 촬상 수단 (40) 의 조명 (400) (도 2 참조) 이 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 하프 미러 (402) 를 통하여 광을 조사하고, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 으로부터의 반사광이 도시되지 않은 대물 렌즈로 포착되어 촬상부 (403) 의 수광 소자에 입사된다. 그리고, 촬상 수단 (40) 에 대해 상대적으로 회전하는 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 이, 촬상 수단 (40) 에 의해 웨이퍼 (W) 의 중심 (Wc) 으로부터 그 외주연까지 1 라인씩 연속적으로 촬상된다.

촬상부 (403) 가, 라인 단위의 촬상 화상을 도 1, 2 에 나타내는 제어 수단 (9) 에 축차적으로 송신한다. 그 라인 단위의 촬상 화상은, 제어 수단 (9) 의 기억 수단 (90) 에 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 전체가 찍힌 촬상 화상을 구성 가능하게 차례대로 기억된다. 또, 제어 수단 (9) 은, 유지 테이블 (30) 을 회전시키는 유지 테이블 회전 수단 (37) 의 로터리 인코더 (379) (도 2 참조) 로부터 수신한 인코더 신호에 의해, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 대한 1 라인을 나타내는 촬상 화상과, 그 1 라인을 나타내는 촬상 화상이 촬상되었을 때의 촬상 개시 위치 (0 도 위치) 로부터의 유지 테이블 (30) 의 회전 각도를 결합시켜 기억 수단 (90) 에 차례대로 기억한다.

그리고, 유지 테이블 회전 수단 (37) 이 유지 테이블 (30) 을 360 도 회전시켜 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 상방을 촬상 수단 (40) 이 모두 일주 통과하면 (노치 (N) 가 촬상 개시 위치로 돌아오면), 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 전체면이 찍힌 촬상 화상이 형성되고, 또, 유지 테이블 (30) 의 회전이 정지한다.

촬상부 (403) 의 각 수광 소자에 입사된 반사광의 광량 (수광량) 은, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 십자 라인이 있는 경우에 차이가 발생한다. 즉, 촬상부 (403) 의 각 수광 소자에 있어서, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 십자 라인이 있는 지점은 수광량이 증가하여 그 휘도값이 255 에 가까워져 백색에 가까워지고, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 십자 라인이 없는 영역은 수광량이 줄어 그 휘도값이 0 에 가까워져 흑색에 가까워진다. 따라서, 도 5 에 나타내는 소정의 해상도의 가상적인 출력 화면 상에 표시된 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 전체면이 찍힌 촬상 화상 (G) 에 있어서, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 십자 라인 (C) 은, 예를 들어 백색으로 나타나고, 그 주위의 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 은 회색으로 나타난다.

또한, 촬상 화상 (G) 에 대해 2 치화 처리가 실시되어, 십자 라인 (C) 과 그 주위가 보다 명확하게 구별 가능하게 되어도 된다.

도 1, 2 에 나타내는 바와 같이, 연삭 장치 (1) 는, 촬상 수단 (40) 이 촬상한 촬상 화상 (G) 안의 십자 라인 (C) 을 검출하는 검출 수단 (91) 을 구비하고 있고, 검출 수단 (91) 은, 예를 들어, 제어 수단 (9) 에 장착되어 있다. 검출 수단 (91) 은, 도 5 에 나타내는 촬상 화상 (G) 에 찍히는 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 중 (회색 영역 중) 의 백색의 화소의 Y 축 방향의 총합 및 백색의 화소의 X 축 방향의 총합을 카운트하여, 십자 라인 (C) 을 검출함과 함께 십자 라인 (C) 의 크기를 산출한다. 또, 십자 라인 (C) 의 교점의 화소가 특정된다.

다음으로, 검출된 십자 라인 (C) 의 교점의 화소의 X 축 Y 축 좌표 위치가, 검출 수단 (91) 에 의해 결정된다. 유지 테이블 (30) 의 회전 중심과 대략 합치하는 웨이퍼 (W) 의 중심 (Wc) 의 좌표 위치를, 예를 들어 원점 좌표 (0, 0) 로서 정하고, 원점 좌표 (0, 0) 와 특정된 십자 라인 (C) 의 교점을 나타내는 화소를 연결하는 가상선 (L2) 이 그어진다. 가상선 (L1) 과 가상선 (L2) 사이의 각도 (θ1) 는, 십자 라인 (C) 이 찍힌 라인 단위의 촬상 화상이 촬상되었을 때에 있어서의 촬상 개시 위치로부터 유지 테이블 (30) 이 회전한 각도와 동일하며, 기억 수단 (90) 에 기억되어 있는 이미 알려진 값이다.

또, 가상선 (L2) 의 길이가, 원점 좌표 (0, 0) 로부터 십자 라인 (C) 의 교점의 화소까지의 화소 카운트에 의해 산출된다 (예를 들어, 산출값을 r 로 한다). 그리고, 검출된 십자 라인 (C) 의 교점의 화소의 X 축 Y 축 좌표 위치 (x, y) 가, (rcosθ1, －rsinθ1) 이라고 결정된다. 그리고, 십자 라인 (C) 의 교점의 X 축 Y 축 좌표 위치인 (rcosθ1, －rsinθ1) 은, 기억 수단 (90) 에 기억된다.

또한, 검출된 십자 라인 (C) 의 교점의 화소의 X 축 Y 축 좌표 위치 (x, y) 의 결정은 상기 예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 십자 라인 (C) 의 교점의 화소로부터, 가상선 (L1) 에 직교하는 가상선 (L3) (도 5 에는 도시 생략) 이 그어지고, 가상선 (L1) 과 가상선 (L3) 의 교점의 X 축 좌표가, 원점 좌표 (0, 0) 로부터 가상선 (L1) 과 가상선 (L3) 의 교점까지의 화소 카운트에 의해 결정된다. 그리고, 가상선 (L1) 과 가상선 (L3) 의 교점으로부터 십자 라인 (C) 의 교점까지의 화소 카운트가 추가로 실시되어 십자 라인 (C) 의 교점 Y 축 좌표 위치가 결정되고, 십자 라인 (C) 의 교점의 화소의 X 축 Y 축 좌표 위치 (x, y) 가 최종적으로 결정되어도 된다.

기억 수단 (90) 에 십자 라인 (C) 의 교점의 X 축 Y 축 좌표 위치 (rcosθ1, －rsinθ1) 이 기억되면, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 그 기억된 X 축 Y 축 좌표 위치 (rcosθ1, －rsinθ1) 을 도 1, 2 에 나타내는 스포트라이트 (41) 가 비춘다. 즉, 제어 수단 (9) 에 의한 제어하에서, Y 축 이동 수단 (89) 에 의한 스포트라이트 (41) 의 Y 축 방향에 있어서의 이동, 승강 수단 (83) 에 의한 스포트라이트 (41) 의 Z 축 방향에 있어서의 이동, 또는/및 도시되지 않은 조정 수단에 의한 스포트라이트 (41) 가 조사하는 스폿 광의 입사 각도의 조정이 실시됨으로써, 스포트라이트 (41) 가 소정의 스폿 직경으로 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 그 기억된 X 축 Y 축 좌표 위치 (rcosθ1, －rsinθ1) 을 비춘다. 또한, 스포트라이트 (41) 의 스폿 광의 스폿 직경은, 예를 들어, 십자 라인 (C) 의 종횡 길이가 큰 직경이다.

앞서 설명한 바와 같이 검출 수단 (91) 이 십자 라인 (C) 을 검출하면, 제어 수단 (9) 으로부터 제어 신호가 통지 수단 (17) 에 송신되고, 통지 수단 (17) 은 웨이퍼 (W) 에 십자 라인 (C) 이 검출된 것을 오퍼레이터에게 통지한다. 또, 제어 수단 (9) 에 의한 제어하에서, 연삭 동작, 즉, 십자 라인 (C) 이 형성된 웨이퍼 (W) 를 유지하는 유지 테이블 (30) 이외의 유지 테이블 (30) 로의 웨이퍼 (W) 의 제 1 반송 수단 (335) 에 의한 반입, 다른 유지 테이블 (30) 에서 유지된 웨이퍼 (W) 에 대한 조연삭 가공 (마무리 연삭 가공), 십자 라인 (C) 이 형성된 웨이퍼 (W) 의 제 2 반송 수단 (336) 에 의한 유지 테이블 (30) 로부터 세정 수단 (334) 으로의 반송, 및 턴테이블 (34) 의 회전 등이 정지된다. 이로써, 오퍼레이터가 유지 테이블 (30) 로부터 십자 라인 (C) 이 형성된 웨이퍼 (W) 를 떼어내고, 그 후에, 유지 테이블 (30) 의 유지면 (300a) 의 부착물을 제거할 수 있는 상태로 연삭 장치 (1) 가 이루어진다.

또한, 십자 라인 (C) 이 웨이퍼 (W) 에 검출되지 않은 경우에는, 앞서 설명한 것과 마찬가지로, 턴테이블 (34) 의 회전에 의해 웨이퍼 (W) 가 제 2 반송 수단 (336) 의 근방까지 이동하고, 제 2 반송 수단 (336) 이 유지 테이블 (30) 상의 웨이퍼 (W) 를 세정 수단 (334) 에 반송한다.

상기와 같이 연삭 장치 (1) 의 연삭 동작이 정지한 후, 십자 라인 (C) 이 검출된 웨이퍼 (W) 는, 유지 테이블 (30) 에 의한 웨이퍼 (W) 의 흡인 유지가 해제되고 나서, 오퍼레이터에 의해 제품 웨이퍼에 적합하지 않은 웨이퍼로서 유지 테이블 (30) 로부터 반출된다. 그 때문에, 소정의 스폿 직경으로 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 의 그 기억된 X 축 Y 축 좌표 위치 (rcosθ1, －rsinθ1) 을 비추고 있는 스포트라이트 (41) (도 2 참조) 는, 십자 라인 (C) 이 웨이퍼 (W) 에 형성된 X 축 Y 축 좌표 위치 (rcosθ1, －rsinθ1) 의 바로 아래의 유지면 (300a) 을 스폿 광으로 비추게 된다. 즉, 웨이퍼 (W) 에 십자 라인 (C) 을 형성시키는 원인이 된 유지면 (300a) 상의 부착물이, 스포트라이트 (41) 에 의해 핀 포인트로 비춰진 상태가 된다.

오퍼레이터는, 유지면 (300a) 상의 연삭 부스러기나 지립 등의 부착물이 부착되어 있는 위치를, 스포트라이트 (41) 의 스폿 광에 의해 즉시 파악할 수 있다. 그 때문에, 오퍼레이터는, 예를 들어, 부착물 제거용의 공구 (예를 들어, 스크레이퍼 또는 세정 브러시 등) 를 사용하여 십자 라인 (C) 의 원인이 되는 부착물을 유지면 (300a) 으로부터 즉석에서 제거할 수 있다.

상기와 같은 오퍼레이터에 의한 유지면 (300a) 의 부착물의 제거가 실시된 후, 다시 연삭 장치 (1) 의 연삭 동작이 개시 가능해지도록 오퍼레이터에 의해 연삭 장치 (1) 가 세트됨으로써, 다음 웨이퍼 (W) 에 십자 라인 (C) 이 형성되는 경우가 없는 상태의 유지면 (300a) 이 된 유지 테이블 (30) 상에서 웨이퍼 (W) 가 유지되고, 상기 연삭이 실시된다.

또한, 본 발명에 관련된 연삭 장치 (1) 는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 또, 첨부 도면에 도시되어 있는 각 장치의 구성 등에 대해서도, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.

예를 들어, 스포트라이트 (41) 는, 오퍼레이터가 유지 테이블 (30) 로부터 십자 라인 (C) 이 검출된 웨이퍼 (W) 를 반출하고 나서, 기억 수단 (90) 에 기억되어 있는 십자 라인 (C) 의 교점의 X 축 Y 축 좌표 위치 (rcosθ1, －rsinθ1) 을 비추기 시작해도 된다.

1 : 연삭 장치
10 : 베이스
11 : 칼럼
17 : 통지 수단
30 : 유지 테이블
300 : 포러스판
300a : 유지면
301 : 프레임체
31 : 조연삭 수단
310 : 회전축
311 : 하우징
312 : 모터
314 : 연삭휠
314a : 조연삭 지석
32 : 마무리 연삭 수단
324a : 마무리 연삭 지석
330 : 로봇
331 : 제 1 카세트
332 : 제 2 카세트
333a : 임시 거치 테이블
333b : 위치 맞춤 수단
333c : 노치 검출부
334 : 세정 수단
335 : 제 1 반송 수단
336 : 제 2 반송 수단
34 : 턴테이블
35 : 조연삭 이송 수단
350 : 볼 나사
351 : 가이드 레일
352 : 모터
353 : 승강부
36 : 마무리 연삭 이송 수단
360 : 볼 나사
361 : 가이드 레일
362 : 모터
363 : 승강부
37 : 유지 테이블 회전 수단
370 : 스핀들
371 : 모터
372 : 주동 풀리
373 : 무단 벨트
374 : 종동 풀리
379 : 로터리 인코더
38 : 기울기 조절 기구
39 : 흡인원
8 : 세정 수단
80 : 회전축
81 : 하우징
82 : 세정 지석
83 : 승강 수단
89 : Y 축 이동 수단
40 : 촬상 수단
400 : 조명
401 : 케이싱
402 : 하프 미러
403 : 촬상부
41 : 스포트라이트
9 : 제어 수단
90 : 기억 수단
91 : 검출 수단
W : 웨이퍼
Wa : 웨이퍼의 표면
Wb : 웨이퍼의 피연삭면 (이면)
T : 보호 테이프
N : 노치
C : 십자 라인

Claims

연삭 장치로서,
웨이퍼를 유지하는 유지면을 갖는 포러스판을 구비한 유지 테이블과,
그 유지 테이블의 중심을 축으로 유지 테이블을 회전시키는 유지 테이블 회전 수단과,
그 유지면에서 유지한 웨이퍼를 연삭 지석으로 연삭하는 연삭 수단과,
오퍼레이터에게 각종 정보를 통지하는 통지 수단과,
그 유지면에서 유지되고 그 연삭 지석으로 연삭된 웨이퍼의 피연삭면을 조명으로 비추어 피연삭면을 촬상하는 촬상 수단과,
그 촬상 수단이 촬상한 화상 중의 십자 라인을 검출하는 검출 수단과,
그 검출 수단이 검출한 십자 라인의 교점의 X 축 Y 축 좌표 위치를 기억하는 기억 수단과,
그 기억 수단이 기억하는 X 축 Y 축 좌표 위치에서 그 유지면을 비추는 스포트라이트와,
그 통지 수단에 그 검출 수단이 십자 라인을 검출한 것을 오퍼레이터에게 통지시킴과 함께 장치의 연삭 동작을 정지시키는 제어 수단을 구비한, 연삭 장치.