DE102021201511A1 - Bearbeitungsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Eine Bearbeitungsvorrichtung umfasst einen Spanntisch zum Halten eines Werkstücks, das eine Markierung aufweist, die eine Kristallausrichtung wiedergibt, eine Bearbeitungseinheit, eine Kassettenbühne zum darauf Platzieren einer Kassette zum darin lagern mehrerer Werkstücke, einen Zwischenablagetisch, einen Schleudertisch, einen Roboter zum Zuführen eines Werkstücks, einen Bestimmungsabschnitt zum Bestimmen, ob ein Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und eine Steuerungseinheit zum Ausführen eines Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in einer vorbestimmten Richtung, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und zum Lagern des Werkstücks in der Kassette, und Ausführen eines Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in einer von der vorbestimmten Richtung abweichenden Richtung, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und zum Lagern des Werkstücks in der Kassette.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks, wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers, und insbesondere eine Bearbeitungsvorrichtung, die im Stande ist, zu bestimmen, ob ein durch sie bearbeitetes Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht.
  • BESCHREIBUNG DES IN BEZIEHUNG STEHENDEN STANDS DER TECHNIK
  • Zum Beispiel umfasst eine vollständig automatische Schleifvorrichtung zum Schleifen eines Werkstücks mit Schleifsteinen, um das Werkstück zu verdünnen (siehe zum Beispiel das offengelegte japanische Patent Nr. 2015-213995 ) eine Kassettenbühne zum darauf Platzieren einer Kassette, die darin mehrere Werkstücke auf jeweiligen Ablagen aufnimmt, einen Zwischenablagetisch zum zeitweiligen darauf Platzieren eines Werkstücks, einen Spanntisch mit einer Haltefläche zum daran Halten eines Werkstücks, eine Schleifeinheit zum Schleifen eines an dem Spanntisch gehaltenen Werkstücks mit Schleifsteinen, einen Schleudertisch zum Halten eines Werkstücks, das geschliffen worden ist, während es gereinigt wird, einen Roboter zum Zuführen eines Werkstücks von der Kassette zu dem Zwischenablagetisch oder Zuführen eines Werkstücks von dem Schleudertisch zu der Kassette, einen ersten Zuführmechanismus zum Zuführen eines Werkstücks von dem Zwischenablagetisch zu dem Spanntisch und einen zweiten Zuführmechanismus zum Zuführen eines Werkstücks von dem Spanntisch zu dem Schleudertisch.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Werkstücke weisen eine Ausrichtungsebene oder Ausrichtungskerbe auf, die auf ihre Kristallausrichtung hinweist. Werkstücke, die geschliffen worden sind, werden mit ihren Ausrichtungsebenen ausgerichtet unabhängig davon wieder in der Kassette gelagert, ob sie ordnungsgemäß geschliffen worden sind oder nicht. Folglich ist der Arbeiter, der sich mit der Schleifvorrichtung befasst, nicht im Stande, visuell zu überprüfen, ob ein in der Kassette wieder gelagertes Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht. Eine Lösung war es, Werkstückdaten über jedes der auf jeweiligen Ablagen in der Kassette platzierten Werkstücke, wie sie durch die Schleifvorrichtung erfasst worden sind, auf einem Anzeigebildschirm, wie zum Beispiel einem Touchpanel, von dieser anzuzeigen, sodass der Arbeiter einen Werkstückentfernungsvorgang ausführen kann, um ein nicht ordnungsgemäß bearbeitetes Werkstück von den in der Kassette gelagerten Werkstücken zu entfernen, während er sich auf die Werkstückdaten bezieht, die auf dem Anzeigebildschirm dargestellt werden und visuell die tatsächlichen Ablagen in der Kassette und die angezeigten Werkstückdaten vergleicht. Jedoch war ein solcher Werkstückentfernungsvorgang umständlich und zeitaufwendig.
  • Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, die dem Arbeiter ermöglicht, auf schnelle und einfache Weise durch Betrachten des Inneren der Kassette zu erkennen, ob bearbeitete Werkstücke, die auf jeweiligen Ablagen in einer Kassette platziert sind, ordnungsgemäß bearbeitet worden sind oder nicht.
  • In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt. Die Bearbeitungsvorrichtung umfasst einen Spanntisch zum daran Halten eines Werkstücks, das eine Markierung aufweist, die eine Kristallausrichtung wiedergibt, an dessen Haltefläche, eine Bearbeitungseinheit zum Schleifen des an dem Spanntisch gehaltenen Werkstücks mit Schleifsteinen oder Polieren des an dem Spanntisch gehaltenen Werkstücks mit einem Polierpad, eine Kassettenbühne zum darauf Platzieren einer Kassette zum darin Lagern mehrerer Werkstücke auf jeweiligen Ablagen, einen Zwischenablagetisch zum zeitweiligen darauf Platzieren eines Werkstücks, einen Schleudertisch zum daran Halten eines zu reinigenden Werkstücks, einen Roboter zum Zuführen eines Werkstücks von der auf der Kassettenbühne platzierten Kassette zu dem Zwischenablagetisch oder zum Zuführen eines auf dem Schleudertisch gehaltenen Werkstücks in die auf der Kassettenbühne platzierte Kassette, einen Bestimmungsabschnitt zum Bestimmen, ob ein Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und eine Steuerungseinheit zum Ausführen eines Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in einer vorbestimmten Richtung, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist und zum Lagern des Werkstücks in der Kassette, und zum Ausführen eines Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in einer von der vorbestimmten Richtung abweichenden Richtung, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und zum Lagern des Werkstücks in der Kassette.
  • Vorzugsweise weist die Bearbeitungsvorrichtung ferner eine Dickenmesseinheit zum Messen der Dicke des Werkstücks auf, in welcher der Bestimmungsabschnitt auf Grundlage der durch die Dickenmesseinheit gemessenen Dicke des Werkstücks bestimmt, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist.
  • Vorzugsweise weist der Bestimmungsabschnitt mehrere Bestimmungsabschnitte auf, weist die von der vorbestimmten Richtung abweichende Richtung abweichende Richtungen auf, die in Zusammenhang mit den jeweiligen Bestimmungsabschnitten als nicht miteinander übereinstimmend voreingestellt sind, bestimmen die Bestimmungsabschnitte in Übereinstimmung mit jeweils unterschiedlichen Bestimmungskriterien, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und wenn zumindest einer der Bestimmungsabschnitte bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, führt die Steuerungseinheit einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der Richtung aus, die in Übereinstimmung mit dem in Zusammenhang stehenden Bestimmungsabschnitt voreingestellt ist, der bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und lagert das Werkstück in der Kassette.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit dem Aspekt der vorliegenden Erfindung schließt den Bestimmungsabschnitt zum Bestimmen, ob ein Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und die Steuerungseinheit zum Ausführen des Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der vorbestimmten Richtung ein, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und zum Lagern des Werkstücks in der Kassette, und zum Ausführen des Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der von der vorbestimmten Richtung abweichenden Richtung, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und zum Lagern des Werkstücks in der Kassette. Daher kann der Arbeiter auf einfache Weise wissen, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, indem er die Ausrichtung der Markierung des in der Kassette gelagerten Werkstücks betrachtet. Der Arbeiter kann dann auf einfache Weise nur das Werkstück entfernen, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, ohne umständlich Werkstückdaten auf einem Anzeigebildschirm der Vorrichtung betrachten zu müssen. Folglich ist es dem Arbeiter möglich, die Kassette, von der Werkstücke entfernt worden sind, die nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden sind, bei einem nächsten Bearbeitungsschritt einer Vorrichtung zuzuführen.
  • In einem Fall, in dem die Bearbeitungsvorrichtung ferner die Dickenmesseinheit zum Messen der Dicke eines Werkstücks aufweist und der Bestimmungsabschnitt auf Grundlage der durch die Dickenmesseinheit gemessenen Dicke des Werkstücks bestimmt, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, kann die Steuerungseinheit auf einfache Weise den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der vorbestimmten Richtung oder den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der zu der vorbestimmten Richtung abweichenden Richtung ausführen.
  • Der Bestimmungsabschnitt kann mehrere Bestimmungsabschnitte aufweisen, die von der vorbestimmten Richtung abweichende Richtung kann abweichende Richtungen aufweisen, die in Zusammenhang mit den jeweiligen Bestimmungsabschnitten als nicht miteinander übereinstimmend voreingestellt sind, und die Bestimmungsabschnitte können in Übereinstimmung mit jeweils unterschiedlichen Bestimmungskriterien bestimmen, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist. Wenn in diesem Fall zumindest einer der Bestimmungsabschnitte bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, führt die Steuerungseinheit den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der Richtung aus, die im Zusammenhang mit dem Bestimmungsabschnitt voreingestellt ist, der bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und lagert das Werkstück in der Kassette. Daher kann der Arbeiter auf einfach Weise wissen, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, indem er die Ausrichtung der Markierung des in der Kassette gelagerten Werkstücks betrachtet und kann die Art einer Anomalie des Werkstücks erkennen, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist.
  • Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise ihrer Umsetzung werden durch ein Studium der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung selbst wird hierdurch am besten verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht, die mittels eines Beispiels eine Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht;
    • 2 ist eine perspektivische Ansicht, die mittels eines Beispiels eine zweite Kassette und eine zweite Kassettenbühne der Bearbeitungsvorrichtung veranschaulicht;
    • 3 ist eine perspektivische Ansicht, welche die Weise veranschaulicht, mit der ein geschliffenes Werkstück, das über Saugwirkung an einem Schleudertisch gehalten wird, durch eine Roboterhand entladen wird;
    • 4 ist eine perspektivische Ansicht, die ein in der zweiten Kassette gelagertes Werkstück veranschaulicht, nachdem eine Steuerungseinheit einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten einer Markierung an einem Werkstück in einer ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung ausgeführt hat;
    • 5 ist eine perspektivische Ansicht, die ein in der zweiten Kassette gelagertes Werkstück veranschaulicht, nachdem eine Steuerungseinheit einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten einer Markierung an einem Werkstück Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung ausgeführt hat; und
    • 6 ist eine perspektivische Ansicht, die ein in der zweiten Kassette gelagertes Werkstück veranschaulicht, nachdem eine Steuerungseinheit einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten einer Markierung an einem Werkstück in einer Bearbeitungsriss-Anomalierichtung etc. ausgeführt hat.
  • AUSFÜHRLICHE ERLÄUTERUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen wird nachfolgend eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • Eine in 1 veranschaulichte Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist eine Schleifvorrichtung zum Schleifen eines an einem Spanntisch 30 gehaltenen Werkstücks 80 mit einer Bearbeitungseinheit 16. Für den Zweck, einem Referenz-Ausrichtungsrahmen der Bearbeitungsvorrichtung 1 zuzuführen gibt es senkrecht zueinander festgelegte X-Achsenrichtungen, Y-Achsenrichtungen und Z-Achsenrichtungen, die in Bezug auf verschiedene Komponenten der Bearbeitungsvorrichtung 1 beschrieben und veranschaulicht werden. Die X-Achsenrichtungen schließen eine +X-Richtung und eine -X-Richtung als entgegengesetzte Richtungen ein, die Y-Achsenrichtungen schließen eine +Y-Richtung und eine -Y-Richtung als entgegengesetzte Richtungen ein, und die Z-Achsenrichtungen schließen eine +Z-Richtung und eine -Z-Richtung als entgegengesetzte Richtungen ein.
  • Es ist anzumerken, dass die Bearbeitungsvorrichtung 1 eine Basis 10 aufweist, über der sich ein vorderer Bereich in der -Y-Richtung als ein Lade-/Entladebereich 100 zum Laden eines Werkstücks 80 auf den Spanntisch 30 und Entladen eines Werkstücks 80 von dem Spanntisch 30 erstreckt, und über der sich ein hinterer Bereich in der +Y-Richtung als Bearbeitungsbereich 101 zum Ausführen eines Schleifvorgangs mit der Bearbeitungseinheit 16 an einem Werkstück 80 erstreckt, das an dem Spanntisch 30 gehalten wird.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung kann so angeordnet sein, dass sie als Bearbeitungseinheit zwei Schleifeinheiten einschließlich einer Grobschleifeinheit und einer Fertigschleifeinheit, und einen Drehtisch zum Positionieren des Spanntischs 30 mit dem daran gehaltenen Werkstück 80 unter jeweils einer der Schleifeinheiten aufweist. Alternativ kann die Bearbeitungsvorrichtung in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung so angeordnet sein, dass sie als Bearbeitungseinheit eine Poliereinheit zum Polieren eines Werkstücks mit einem Polierpad aufweist, um eine Zielfläche des Werkstücks 80 auf Hochglanz zu bearbeiten oder die Biegefestigkeit des Werkstücks 80 zu erhöhen.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 1 schließt eine Steuerungseinheit 9 zum Steuern ihrer Komponenten ein. Die Steuerungseinheit 9 schließt eine Central Processing Unit (CPU) zum Ausführen arithmetischer Verarbeitungsvorgänge in Übereinstimmung mit Steuerungsprogrammen und eine Speichereinrichtung, wie zum Beispiel einen Speicher, ein. Die Steuerungseinheit 9 ist mit den Komponenten der Bearbeitungseinheit 16 elektrisch verbunden, um die Komponenten zu steuern.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform schließt das in 1 veranschaulichte Werkstück 80 einen kreisförmigen Halbleiterwafer ein, der aus einem Basismaterial aus Silizium oder Ähnlichem hergestellt ist. Das Werkstück 80 weist eine Stirnseite 801 auf, die in 1 mit einer Vielzahl daran ausgebildeter Bauelemente nach unten gewandt ist. Die Stirnseite 801 wird durch ein daran angebrachtes nicht veranschaulichtes Schutzband geschützt. Das Werkstück 80 weist eine Rückseite 802 auf, die in 1 nach oben gewandt ist und eine zu schleifende Zielfläche ist. Es ist anzumerken, dass das Werkstück 80 anstelle von Silizium aus Galliumarsenid, Saphir, Galliumnitrid, Harz, Keramik, Siliziumcarbid oder Ähnlichem ausgebildet sein kann.
  • Das Werkstück 80 weist als Markierung, die dessen Kristallausrichtung anzeigt, eine Ausrichtungsebene auf, die in einem äußeren Umfangsabschnitt von dieser durch Entfernen eines Teils des äußeren Umfangsabschnitts ausgebildet ist, was eine bogenförmige Aussparung mit einer flachen Kante zurücklässt. Die Markierung 805 kann in Form einer Kerbe sein, welche die Kristallausrichtung anzeigt. Die Kerbe kann eine Aussparung sein, die in einer äußeren Umfangskante des Werkstücks 80 als Aussparung radial nach innen in Richtung des Mittelpunkts des Werkstücks 80 ausgebildet ist.
  • Eine erste Kassettenbühne 150 und eine zweite Kassettenbühne 151 zum jeweils darauf Platzieren von Kassetten, die jeweils mehrere Werkstücke 80 auf jeweiligen darin befindlichen Ablagen lagern, sind an einer vorderen Wand der Basis 10 angeordnet, die in die -Y-Richtung zeigt. Eine erste Kassette 21, in der mehrere zu bearbeitende Werkstücke 80 auf jeweiligen darin befindlichen Ablagen gelagert sind, wird auf der ersten Kassettenbühne 150 platziert. Eine zweite Kassette 22, in der mehrere Werkstücke 80, die bearbeitet worden sind, auf jeweiligen Ablagen darin gelagert sind, wird auf der zweiten Kassettenbühne 151 platziert.
  • Da die zweite Kassette 22 und die erste Kassette 21 im Verhältnis zueinander im Wesentlichen in ihrer Struktur identisch sind, wird hiernach die Struktur der zweiten Kassette 22 beschrieben, wogegen die Struktur der ersten Kassette 21 nachfolgend nicht beschrieben wird.
  • Zum Beispiel ist die zweite Kassette 22, welche die Ablagen zum darauf Lagern mehrerer Werkstücke 80, die bearbeitet, das heißt geschliffen, worden sind, auch als geschlossenes Einheitsgehäuse mit vorderer Öffnung (FOUP - Closed Front Opening Unified Pod) bekannt. Die zweite Kassette 22 schließt zumindest eine obere Platte 222, die an ihrer oberen Fläche einen Griff 228 unterstützt, der durch einen Arbeiter greifbar ist, zwei Seitenplatten 223 und 224, die sich in der -Z-Richtung von entgegengesetzten Seitenkanten der oberen Platte 222 aus nach unten erstrecken und in horizontaler Richtung einander zugewandt sind, eine hintere Platte 225, die mit jeweiligen hinteren Kanten der Seitenplatten 223 und 224 verbunden ist, mehrere einander in den X-Achsenrichtungen zugewandte Ablagen 226, die an inneren Seitenflächen der Seitenplatten 223 und 224 zum Lagern mehrerer Werkstücke 80 ausgebildet sind, und eine untere Platte bzw. Bodenplatte 227 ein, welche die jeweiligen unteren Enden der Seitenplatten 223 und 224 und die hintere Platte 225 verbindet.
  • Die Ablagen 226 zum Lagern der jeweiligen Werkstücke 80 sind mit vorbestimmten Abständen in den Z-Achsenrichtungen in vertikaler Richtung beabstandet und weisen mittige Zugangsöffnungen für einen in 1 veranschaulichten Roboter 14 auf, um durch diese in Richtung der Ablagen 226 einzutreten. Die Ablagen 226 unterstützen äußere Umfangsabschnitte der Werkstücke 80. Der Roboter 14 kann sich von den Zugangsöffnungen zu Positionen direkt unter den Werkstücken 80 bewegen, die in den Ablagen 226 gelagert sind. Es ist anzumerken, dass in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform die zweite Kassette 22 zum Schützen gegen einen Eintritt von Dreck und Staub geschlossen ist. Jedoch kann die zweite Kassette 22 eine offene Kassette sein.
  • Wie in 2 veranschaulicht, weist die zweite Kassette 22 eine vordere Öffnung 220 auf, die in der +Y-Richtung geöffnet ist. Die vordere Öffnung 220 wird durch jeweilige vordere Kanten der oberen Platte 222, der Seitenplatten 223 und 224 und der Bodenplatte 227 definiert. Werkstücke 80 können durch die vordere Öffnung 220 hindurch über den Roboter 14 in die zweite Kassette 22 geladen und aus dieser entladen werden, während er in die Zugangsöffnungen der Ablagen 226 eintritt. Wenn die zweite Kassette 22 selbst bei einem nächsten Bearbeitungsschritt von der Bearbeitungsvorrichtung 1 zu einer anderen Vorrichtung gesendet wird, wird die vordere Öffnung 220 zum Beispiel durch einen nicht veranschaulichten Kassettendeckel geschlossen. Wenn Werkstücke 80 von der zweiten Kassette 22 zu entfernen sind, wird ein Öffnungs- /Schließgriff an dem Kassettendeckel durch einen nicht veranschaulichten Öffnungs-/Schließmechanismus oder Ähnliches der Bearbeitungsvorrichtung 1 gedreht, was den Kassettendeckel öffnet.
  • Vier Kassettenhalterungen 1511 zum dagegen vorbeugen, dass die zweite Kassette 22, die auf einer oberen Fläche der zweiten Kassettenbühne 151 platziert ist, horizontal parallel zu einer Ebene, die durch die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen definiert wird, versetzt wird, sind an der oberen Fläche der Kassettenbühne 151 mit jeweiligen vier Ecken der Bodenplatte 227 der zweiten Kassette 22 ausgerichtet angeordnet.
  • Wie in 1 veranschaulicht, schließt die Bearbeitungsvorrichtung 1 einen Zwischenablagetisch 11 zum zeitweiligen darauf Platzieren eines Werkstücks 80, einen Schleudertisch 120 zum Halten und Drehen eines Werkstücks 80, während es gereinigt wird, und den Roboter 14 zum Zuführen eines Werkstücks 80 von der auf der ersten Kassettenbühne 150 platzierten ersten Kassette 21 auf den Zwischenablagetisch 11 oder Zuführen eines Werkstücks 80 von dem Schleudertisch 120 in die zweite Kassette 22 ein, die auf der zweiten Kassettenbühne 151 platziert ist.
  • Wie in 1 veranschaulicht, ist der Roboter 14 hinter der Öffnung 210 der ersten Kassette 21 angeordnet, die in der +Y-Richtung offen ist. Der Roboter 14 ist zum Beispiel ein mehrgelenkiger Roboter und schließt eine Roboterhand 140 mit einer Saugfläche 1404 zum daran Halten eines Werkstücks 80 über Saugwirkung, einen Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 zum horizontalen Bewegen der Roboterhand 140, einen Vertikal-Handbewegungsmechanismus 144, wie zum Beispiel einen elektrischen Aktuator zum vertikalen Bewegen der Roboterhand 140 und einen Handumdrehmechanismus 146 zum vertikalen Umdrehen der Saugfläche 1404 der Roboterhand 140 ein.
  • Der Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 ist zum Beispiel eine Struktur zum Drehen eines Schwenkarms, der mit mehreren plattenförmigen Armelementen oder Ähnlichem ausgebildet ist und darin einen Seilmechanismus enthält, mit einem Schwenkmotor. Insbesondere kann der Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 die Roboterhand 140 in einer horizontalen Ebene, die durch die X-Achsen- und Y-Achsenrichtungen definiert ist, drehen, indem die plattenförmigen Armelemente in Bezug zueinander um Rotationsachsen, deren Achsen sich in den Z-Achsenrichtungen, das heißt vertikalen Richtung, erstrecken, gedreht werden. Darüber hinaus kann der Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 seine Form von einem Zustand, in dem sich die plattenförmigen Armelemente einander kreuzen, zu einem Zustand ändern, in dem die plattenförmigen Armelemente gerade zueinander ausgerichtet sind, etc., um dadurch die Roboterhand 140 dazu zu bringen, eine lineare Bewegung in der horizontalen Ebene auszuführen.
  • Der Vertikal-Handbewegungsmechanismus 144 ist mit einem unteren Abschnitt des Horizontal- Handbewegungsmechanismus 142 verbunden. Der Vertikal- Handbewegungsmechanismus 144 kann bei einem vertikalen Bewegen der Roboterhand 140 in den Z-Achsenrichtungen, um die Roboterhand 140 auf einer vorgegebenen Höhe zu positionieren, mit dem Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 zusammenwirken.
  • Ein Gehäuse 1463 ist über ein säulenförmiges Armgelenk 145 fest an einem der plattenförmigen Armelemente des Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 montiert. Der Handumdrehmechanismus 146 schließt eine Spindel 1462 mit einer Mittelachse ein, die sich in den Y-Achsenrichtungen erstreckt, welche senkrecht zu den Z-Achsenrichtungen in 1 sind. Die Spindel 1462 ist drehbar in dem Gehäuse 1463 unterstützt. Zum Beispiel nimmt das Gehäuse 1463 darin einen nicht veranschaulichten Umdrehmotor zum Drehen der Spindel 1462 um ihre Mittelachse auf.
  • Die Spindel 1462 weist einen distalen Endabschnitt auf, der von dem Gehäuse 1463 hervorsteht, und die Roboterhand 140 weist ein proximales Ende auf, das an einem Halter montiert ist, der an dem hervorstehenden distalen Endabschnitt der Spindel 1462 angeordnet ist. Wenn der nicht veranschaulichte Umdrehmotor erregt wird, wird die Spindel 1462 um einen vorbestimmten Winkel um ihre Mittelachse gedreht, was die Roboterhand 140, die durch den Halter mit der Spindel 1462 verbunden ist, dreht, um die Saugfläche 1404 der Roboterhand 140 umzudrehen, das heißt, die Saugfläche 1404 der Roboterhand 140 von oben nach unten bzw. umgekehrt umzudrehen.
  • Zum Beispiel weist die Roboterhand 140 eine Plattenform zum Halten eines Werkstücks 80 über eine Saugwirkung auf und weist von oben gesehen als Ganzes ein im Wesentlichen u-förmiges Profil auf. Die Roboterhand 140 schließt eine Basis 1406, die als eine an der Halterung montierte flache rechtwinklige Platte ausgebildet ist, und ein Saugelement 1400 ein, das einstückig mit der Basis 1406 ausgebildet ist. Das Saugelement 1400 weist eine darin definierte u-förmige Öffnung auf. Es ist anzumerken, dass die Roboterhand 140 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform nicht auf die veranschaulichte Form beschränkt ist, sondern von oben gesehen als Ganzes im Wesentlichen eine Reiskornform aufweisen kann.
  • Zum Beispiel weist die Roboterhand 140 eine in 1 veranschaulichte obere Fläche als Saugfläche 1404 zum daran Halten eines Werkstücks 80 über Saugwirkung auf. Es ist anzumerken, dass die Roboterhand 140 eine der Saugfläche 1404 gegenüberliegende untere Fläche aufweist, die auch eine Saugfläche sein kann. Die Saugfläche 1404 wurde zu einer glatten Fläche bearbeitet und kann Kanten aufweisen, die angefast sind, um gegen Schäden zu schützen, die einem Werkstück 80 bei einem Kontakt mit dem Werkstück 80 zugefügt werden können.
  • Mehrere Saugöffnungen öffnen sich in der Saugfläche 1404. Die Saugöffnungen schließen zum Beispiel drei oder vier Saugöffnungen ein, die in jedem von fünf Bereichen geöffnet sind, welche in im Wesentlichen gleich beabstandeten Abständen entlang eines äußeren Umfangsabschnitts der Saugfläche 1404 angeordnet sind. Jedoch sind die Saugöffnungen nicht auf diese Anzahl und Orte in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform beschränkt. Die Saugöffnungen können jeweilige elastisch verformbare Kautschuksaugnäpfe oder Ähnliches aufweisen, die darin angeordnet sind.
  • Harzrohre werden über Kupplungen oder Ähnliches mit jeweiligen Saugöffnungen in Fluidverbindung gehalten. Die Harzrohre sind ausreichend flexibel, um es der Roboterhand 140 zu ermöglichen, sich wie gewünscht zu drehen und zu bewegen. Die Harzrohre sind mit einer Saugquelle, wie zum Beispiel einem Vakuumgenerator oder ein Ausstoßmechanismus, verbunden.
  • Der Zwischenablagetisch 11 ist innerhalb des bewegbaren Bereichs des Roboters 14 angeordnet. Der Zwischenablagetisch 11 ist mit einer Positionierungseinheit 119 kombiniert.
  • Der Zwischenablagetisch 11 weist zum Beispiel eine Kreisform auf, die in ihrem Durchmesser kleiner ist als die Werkstücke 80 und weist eine flache obere Fläche auf, die als eine Zwischenablagefläche zum zeitweiligen darauf Platzieren eines Werkstücks 80 dient. Die Positionierungseinheit 119 schließt mehrere, zum Beispiel sechs, Positionierungsstifte ein, die mit einem ringförmigen Muster mit gleich beabstandeten Abständen um den Zwischenablagetisch 11 angeordnet sind. Die Positionierungsstifte sind radial nach innen zum Zwischenablagetisch 11 hin und radial nach außen von dem Zwischenablagetisch 11 weg bewegbar. Ein Werkstück 80, das zeitweilig auf den Zwischenablagetisch platziert wird, wird bei einer vorbestimmten Position auf dem Zwischenablagetisch 11 positioniert oder zentriert, wenn die Positionierungsstifte der Positionierungseinheit 119 in radialer Richtung zu einem Kontakt mit der äußeren Umfangskante des Werkstücks 80 bewegt werden.
  • Ein Zwischenablagetisch-Rotationsmechanismus 118, der einen elektrischen Motor 1181, eine Spindel 1182, etc. aufweist, ist mit einer unteren Fläche des Zwischenablagetischs 11 verbunden. Wenn der elektrische Motor 1181 erregt wird, wird der Zwischenablagetisch 11 durch die Spindel 1182 gedreht, deren Mittelachse, sich in den Z-Achsenrichtungen erstreckt. Der elektrische Motor 1181 ist zum Beispiel ein Servomotor, der mit einem Encoder 1183 in Beziehung steht, welcher mit der Steuerungseinheit 9 elektrisch verbunden ist, die als Funktion auch die eines Servoverstärkers aufweist. Wenn die Steuerungseinheit 9 von einer Ausgabeschnittstelle von ihr dem elektrischen Motor 1181 ein Betätigungssignal zuführt, wird der elektrische Motor 1181 erregt, was die Spindel 1182 um ihre Mittelachse dreht. Der Encoder 1883 erfasst eine Rotationsgeschwindigkeit des elektrischen Motors 1181 und folglich der Spindel 1182 und gibt die erfasste Rotationsgeschwindigkeit als ein Encodersignal an eine Eingabeschnittstelle der Steuerungseinheit 9 aus. Wenn die Steuerungseinheit 9 das Encodersignal empfängt, das die durch den Encoder 1183 erfasste Rotationsgeschwindigkeit wiedergibt, erkennt die Steuerungseinheit 9 eine Abfolge von Drehwinkeln des Zwischenablagetischs 11.
  • Ein Ladearm 131 einschließlich einem Saugpad oder Ähnlichem zum Halten eines Werkstücks 80 ist winkelbewegbar bei einer zu dem Zwischenablagetisch 11 benachbarten Position angeordnet. Der Ladearm 131 hält ein Werkstück 80, das an dem Zwischenablagetisch 11 zentriert worden ist, und führt das Werkstück 80 dem Spanntisch 30 zu, der in dem Bearbeitungsbereich 101 bei einer Ladeposition platziert ist. Ein Entladearm 132 einschließlich eines Saugpads oder Ähnlichem zum Halten eines bearbeiteten Werkstücks 80 ist winkelbewegbar neben dem Ladearm 131 angeordnet.
  • Eine Werkstück-für-Werkstück-Reinigungseinheit 12 zum Reinigen eines bearbeiteten Werkstücks 80, das durch den Entladearm 132 zugeführt worden ist, ist in dem bewegbaren Bereich des Entladearms 132 angeordnet. Die Reinigungseinheit 12 schließt den Schleudertisch 120, der einen kleineren Durchmesser als die Werkstücke 80 aufweist, und eine Reinigungsdüse 121 ein, die winkelbewegbar über einem an dem Schleudertisch 120 gehaltenen Werkstück 80 ist. Während das Werkstück 80 an dem Schleudertisch 120 gehalten und durch diesen gedreht wird, stößt die Reinigungsdüse 121 zu der Rückseite 802 des Werkstücks 80 ein Reinigungsfluid aus, um die Rückseite 802 zu reinigen.
  • Ein Schleudertisch-Rotationsmechanismus 126, der einen elektrischen Motor 123, eine Spindel 124, etc. einschließt, ist mit einer unteren Fläche des Schleudertischs 120 zum Rotieren des Schleudertischs 120 um dessen Mittelachse verbunden, die sich in den Z-Achsenrichtungen erstreckt. Der elektrische Motor 123 ist zum Beispiel ein Servomotor, der zu einem Encoder 125 gehört, welcher mit der Steuerungseinheit 9 elektrisch verbunden ist, die als Funktion auch die eines Servoverstärkers aufweist. Wenn die Steuerungseinheit 9 von der Ausgabeschnittstelle ein Betätigungssignal an den elektrischen Motor 123 ausgibt, wird der elektrische Motor 123 erregt, was die Spindel 124 um deren Mittelachse dreht. Der Encoder 125 erfasst eine Rotationsgeschwindigkeit des elektrischen Motors 123 und damit der Spindel 124 und gibt die erfasste Rotationsgeschwindigkeit als ein Encodersignal an die Eingabeschnittstelle der Steuerungseinheit 9 aus. Wenn die Steuerungseinheit 9 das Encodersignal empfängt, das die durch den Encoder 125 erfasste Rotationsgeschwindigkeit wiedergibt, erkennt die Steuerungseinheit 9 eine Abfolge von Drehwinkeln des Schleudertischs 120.
  • Eine Bildaufnahmeeinheit 127 ist über dem Schleudertisch 120 angeordnet. Die Bildaufnahmeeinheit 127 schließt eine nicht veranschaulichte Lichtaufbringeinheit zum Aufbringen von Licht auf die Rückseite 802, das heißt die zu schleifende Zielfläche, eines an dem Schleudertisch 120 gehaltenen Werkstücks 80, ein optisches System, wie zum Beispiel Linsen zum Aufnehmen von von dem Werkstück 80 reflektierten Licht und eine nicht veranschaulichte Kamera, wie zum Beispiel eine Bildaufnahmeeinrichtung, zum Ausgeben eines durch das optische System fokussierten Objektbilds ein.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform schließt der in 1 veranschaulichte Spanntisch 30 ein kreisförmiges Saugelement 300, das aus einem porösen Material oder Ähnlichem zum daran Anziehen eines Werkstücks 80 über eine Saugwirkung hergestellt ist, und einen Rahmen 301 ein, der das Saugelement 300 unterstützt. Das Saugelement 300 wird mit einer nicht veranschaulichten Saugquelle, wie zum Beispiel einem Vakuumgenerator, in Fluidverbindung gehalten. Wenn die Saugquelle betätigt wird, erzeugt sie einen Unterdruck, der eine Saugkraft zu einer Haltefläche 302 überträgt, die als eine exponierte obere Fläche des Saugelements 300 bereitgestellt wird, um den Spanntisch 30 in die Lage zu versetzen, das Werkstück 80 über Saugwirkung an der Haltefläche 302 zu halten. Zum Beispiel weist die Haltefläche 302 eine mit der Form des Werkstücks 80 identische Form auf, das die Markierung 805 als die Ausrichtungsebene aufweist, welche die Kristallausrichtung des Werkstücks 80 wiedergibt. Mit anderen Worten weist das kreisförmige Saugelement 300 einen äußeren Umfangsabschnitt auf, der teilweise in tangentialen Richtungen entfernt worden ist, was eine bogenförmige Aussparung mit einer flachen Kante zurücklässt. Auf die bogenförmige Aussparung mit der flachen Kante in dem Saugelement 300 wird auch als „Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteil“ Bezug genommen. Der Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteil wird verwendet, um diesen an der Markierung 805 eines Werkstücks 80 auszurichten, wenn das Werkstück 80 auf dem Spanntisch 30 platziert wird.
  • Der Spanntisch 30 wird im Randbereich durch eine Abdeckung 39 umgeben. Der Spanntisch 30 ist auf der Basis 10 in den Y-Achsenrichtungen durch einen Tischbewegungsmechanismus 17 hin- und herbewegbar, der in der Basis 10 unter der Abdeckung 39 und einer Balgabdeckung 390 angeordnet ist, die mit der Abdeckung 39 gekoppelt ist. Der Spanntisch 30 ist auch durch einen Spanntisch-Rotationsmechanismus 36 um eine Rotationsachse drehbar, die sich in den Z-Achsenrichtungen erstreckt.
  • Der Tischbewegungsmechanismus 17 schließt eine Kugelspindel 170, die eine sich in den Y-Achsenrichtungen erstreckende Mittelachse aufweist, ein Paar Führungsschienen 171, das sich parallel zu der Kugelspindel 170 erstreckt und auf jeder Seite der Kugelspindel 170 angeordnet ist, einen elektrischen Motor 172, der mit einem Ende der Kugelspindel 170 zum Drehen der Kugelspindel 170 um deren Mittelachse gekoppelt ist, und eine bewegbare Platte 173 ein, die eine nicht veranschaulichte innere Mutter, die mit der Kugelspindel 170 im Gewindeeingriff ist, und ein Paar Seitenabschnitte aufweist, die mit den Führungsschienen 171 in verschiebbarem Kontakt gehalten werden. Der Spanntisch 30 ist mit einer dazwischen angeordneten Tischbasis 35 an der bewegbaren Platte 173 montiert. Wenn der elektrische Motor 172 erregt wird, dreht er die Kugelspindel 170 um ihre Mittelachse, was die Mutter dazu veranlasst, die bewegbare Platte 173 linear in einer der Y-Achsenrichtungen zu bewegen, während sie entlang der Führungsschienen 171 geführt wird, was den Spanntisch 30, der an der bewegbaren Platte 173 montiert ist, über die Tischbasis 35 in die gleiche Y-Achsenrichtung bewegt.
  • Der Spanntisch 30 ist abnehmbar an der Tischbasis 35 gesichert. Der Spanntisch-Rotationsmechanismus 36 schließt einen elektrischen Motor 360, eine Spindel 361, etc. ein und ist mit einer unteren Fläche der Tischbasis 35 verbunden. Der elektrische Motor 360 ist zum Beispiel ein Servomotor, der mit einem Encoder 362 in Beziehung steht, welcher mit der Steuerungseinheit 9 elektrisch verbunden ist, die als Funktion auch eine Servoverstärkerfunktion aufweist. Wenn die Steuerungseinheit 9 von der Ausgabeschnittstelle dem elektrischen Motor 360 ein Betätigungssignal zuführt, wird der elektrische Motor 360 erregt, was die Spindel 361 um ihre Mittelachse dreht. Der Encoder 362 erfasst eine Rotationsgeschwindigkeit des elektrischen Motors 360 und folglich der Spindel 361 und gibt die erfasste Rotationsgeschwindigkeit als ein Encodersignal an die Eingabeschnittstelle der Steuerungseinheit 9 aus. Wenn die Steuerungseinheit 9 das Encodersignal empfängt, das die durch den Encoder 362 erfasste Rotationsgeschwindigkeit wiedergibt, erkennt die Steuerungseinheit 9 eine Abfolge von Rotationswinkeln des Zwischenablagetischs 11 und die Ausrichtung oder Position der bogenförmigen Aussparung mit der flachen Kante in dem Saugelement 300, die mit der Markierung 805 des Werkstücks 80 auf der Haltefläche 302 des Spanntischs 30 korrespondiert.
  • Eine Säule 18 ist in einem hinteren Abschnitt des Bearbeitungsbereichs 101 in der +Y-Richtung aufgestellt. Die Säule 18 unterstützt einen Schleifzuführmechanismus 19 an einer vorderen Fläche, die der -Y-Richtung zugewandt ist. Der Schleifzuführmechanismus 19 bewegt, das heißt führt zum Schleifen zu, die Bearbeitungseinheit 16 und den Spanntisch 30 relativ zueinander in den Z-Achsenrichtungen senkrecht zu der Haltefläche 302. Der Schleifzuführmechanismus 19 schließt eine Kugelspindel 190 mit einer Mittelachse, die sich in den Z-Achsenrichtungen erstreckt, ein Paar Führungsschienen 191, das sich parallel zu der Kugelspindel 190 erstreckt und von dem jeweils eine auf eine der Seiten der Kugelspindel 190 angeordnet ist, einen elektrischen Motor 192, der mit einem oberen Ende der Kugelspindel 190 zum Drehen der Kugelspindel 190 um deren Mittelachse gekoppelt ist, eine vertikal bewegbare Platte 193 mit einer nicht veranschaulichten inneren Mutter, die mit der Kugelspindel 190 im Gewindeeingriff ist, und einem Paar Seitenabschnitte, das mit den Führungsschienen 191 in verschiebbarem Kontakt gehalten wird, und einen Halter 194 ein, der mit der vertikal bewegbaren Platte 193 gekoppelt ist und die Bearbeitungseinheit 16 hält. Wenn der elektrische Motor 192 erregt wird, dreht er die Kugelspindel 190 um ihre Mittelachse, was die innere Mutter dazu bringt, die vertikal bewegbare Platte 193 in einer der Z-Achsenrichtungen zu bewegen, während sie entlang der Führungsschienen 191 bewegt wird, was die durch den Halter 194 gehaltene Bearbeitungseinheit 16 in der gleichen Z-Achsenrichtung bewegt, d. h. für eine Bearbeitung zuführt.
  • Die Bearbeitungseinheit 16, die ein an dem Spanntisch 30 gehaltenes Werkstück 80 schleift, schließt eine Welle bzw. Rotationsachse 160 mit einer sich in der Z-Achsenrichtung erstreckenden Mittelachse, ein Gehäuse 161, in dem die Rotationsachse 160 drehbar unterstützt ist, einen elektrischen Motor 162 zum Drehen der Rotationsachse 160 um ihre Mittelachse, eine ringförmige Halterung 163, die mit einem unteren Ende der Rotationsachse 160 verbunden ist, und ein Schleifrad 164 ein, das abnehmbar an einer unteren Fläche der ringförmigen Halterung 163 montiert ist.
  • Das Schleifrad 164 schließt eine Radbasis und mehrere Schleifsteine ein, die jeweils eine im Wesentlichen rechtwinklige quaderförmige Form aufweisen und in einer ringförmigen Reihe an einer unteren Fläche der Radbasis montiert sind. Die Schleifsteine sind zum Beispiel aus Schleifkörnern hergestellt, die durch ein Bindemittel oder Ähnliches stark zusammengehalten werden.
  • Die Rotationsachse 160 weist einen nicht veranschaulichten Fluidkanal auf, der in den Z-Achsenrichtungen als ein Durchgang für ein Schleiffluid axial durch diese hindurch definiert ist. Der Fluidkanal erstreckt sich auch durch die ringförmige Halterung 163 und ist bei der unteren Fläche der Radbasis zum Ausstoßen des Schleiffluids von einer nicht veranschaulichten Schleiffluidquelle in Richtung der Schleifsteine offen.
  • Eine Kontaktdickenmesseinheit 38 zum Messen der Dicke eines Werkstücks 80, das während eines Kontakts damit geschliffen wird, ist bei einer Position nahe dem Schleifrad 164 angeordnet, das zu einer Höhe oder vertikalen Position abgesenkt worden ist, bei der das Schleifrad 164 das Werkstück 80 schleift. Die Dickenmesseinheit 38 schließt zum Beispiel ein Paar Dickenmesseinrichtungen oder Höhenmesseinrichtungen, und zwar eine erste Dickenmesseinrichtung, das heißt eine erste Höhenmesseinrichtung 381, zum Messen der vertikalen Position der Haltefläche 302 des Spanntischs 30 und eine zweite Dickenmesseinrichtung, das heißt eine zweite Höhenmesseinrichtung, 382 zum Messen der vertikalen Position der Rückseite 802 des an dem Spanntisch 30 gehaltenen Werkstücks 80 ein.
  • Die erste Dickenmesseinrichtung 381 und die zweite Dickenmesseinrichtung 382 weisen jeweils einen Kontaktabschnitt auf, der vertikal bewegbar in einem Kontakt mit einer zu messenden Fläche ist. Insbesondere sind die erste Dickenmesseinrichtung 381 und die zweite Dickenmesseinrichtung 382 vertikal bewegbar unterstützt und können gegen die jeweiligen zu messenden Flächen unter einer angemessenen Kraft gehalten werden. Die erste Dickenmesseinrichtung 381 misst oder erfasst die vertikale Position der Haltefläche 302, die als Referenzfläche dient, wogegen die zweite Dickenmesseinrichtung 382 die vertikale Position der Rückseite 802 des zu schleifenden Werkstücks 80, die nach oben gewandt ist, misst oder erfasst. Die Dickenmesseinheit 38 berechnet die Differenz zwischen den erfassten vertikalen Positionen, um dadurch fortlaufend die Dicke des Werkstücks 80 zu messen, während das Werkstück 80 geschliffen wird.
  • Es ist anzumerken, dass die Dickenmesseinheit 38 eine kontaktlose Dickenmesseinheit sein kann.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung schließt einen Bestimmungsabschnitt 90 zum Bestimmen, ob ein Werkzeug 80, das geschliffen worden ist, ein Werkstück ist, das ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, oder ein Werkstück ist, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, ein. In Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform gehört der Bestimmungsabschnitt 90 zu der Steuerungseinheit 9.
  • Der Bestimmungsabschnitt 90 schließt mehrere, zum Beispiel zwei, Bestimmungsabschnitte ein, die im Stande sind, in Übereinstimmung mit jeweiligen unterschiedlichen Bestimmungskriterien zu bestimmen, ob ein Werkstück 80, das geschliffen worden ist, ein Werkstück ist, das ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, oder ein Werkstück ist, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist. In Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform umfasst der Bestimmungsabschnitt 90 insbesondere einen ersten Bestimmungsabschnitt 901 zum Bestimmen, ob ein Werkstück 80 ein Werkstück ist, das ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, oder ein Werkstück ist, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, oder ein Werkstück ist, dessen Dicke vor einem Schleifen, das heißt eine Ladedicke, anormal ist und die nicht zu schleifen ist, auf Grundlage der Dicke des Werkstücks 80, die durch die Dickenmesseinheit 38 gemessen wird, und einen zweiten Bestimmungsabschnitt 902 zum Bestimmen, ob ein Werkstück 80 gerissen ist, an seinem äußeren Umfang abgeplatzt ist oder an seiner Fläche angebrannt ist oder nicht, über ein Bild, das durch die Bildaufnahmeeinheit 127 von der Rückseite 802 des Werkstücks 80 aufgenommen worden ist, das auf dem Schleudertisch 120 gereinigt worden ist, und zum Bestimmen, dass das Werkstück 80 ein Werkstück ist, das ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, wenn das Werkstück 80 nicht gerissen, abgeplatzt oder angebrannt ist, und dass das Werkstück 80 ein Werkstück ist, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, wenn das Werkstück 80 gerissen, abgeplatzt oder angebrannt ist.
  • Wenn der Bestimmungsabschnitt 90 bestimmt hat, dass das Werkstück 80 ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, führt die Steuerungseinheit 9 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 in einer vorbestimmten Richtung 99 aus, auf die hiernach als „ordnungsgemäße Bearbeitungsrichtung 99“ Bezug genommen wird, die in 4 veranschaulicht ist, und lagert das Werkstück 80, das bearbeitet worden ist, in der zweiten Kassette 22, und wenn der Bestimmungsabschnitt 90 bestimmt hat, dass das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, führt die Steuerungseinheit 9 einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 in einer zu der ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99 abweichenden Richtung aus und lagert das Werkstück 80, das bearbeitet worden ist oder das noch nicht bearbeitet worden ist, in der zweiten Kassette 22.
  • In Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform schließt der Bestimmungsabschnitt 90 den ersten Bestimmungsabschnitt 901 und den zweiten Bestimmungsabschnitt 902 ein, und in einem Fall, in dem der erste Bestimmungsabschnitt 901 und/oder der zweite Bestimmungsabschnitt 902, das heißt einer oder mehrere der mehreren Bestimmungsabschnitte, bestimmt, dass das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, führt die Steuerungseinheit 9 den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 in der Richtung aus, die in dem Bestimmungsabschnitt eingestellt ist, der bestimmt hat, dass das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und die sich von der ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99 unterscheidet, und lagert das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22. Zum Beispiel wird auf die abweichende Richtung, die in dem ersten Bestimmungsabschnitt 901 voreingestellt ist und in einem Fall angewandt wird, in dem das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, hiernach als „Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98“ (siehe 5) Bezug genommen. Auf die abweichende Richtung, die in dem zweiten Bestimmungsabschnitt 902 voreingestellt ist und in einem Fall angewandt wird, in dem das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, wird hiernach als „Bearbeitungsriss-Anomalierichtung, etc. 97“ Bezug genommen (siehe 6). Die Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98 und die Bearbeitungsriss-Anomalierichtung 97 sind als nicht übereinstimmend voreingestellt.
  • Es wird hiernach ein Betrieb der in 1 veranschaulichten Bearbeitungsvorrichtung 1 zum Schleifen eines Werkstücks 80, das an dem Spanntisch 30 gehalten wird, im Detail beschrieben.
  • (Schleifen des ersten Werkstücks 80)
  • Unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 wird zum Beispiel ein erstes Werkstück 80 von der ersten Kassette 21 entladen. Insbesondere bewegt der Vertikal-Handbewegungsmechanismus 144 die Roboterhand 140 des Roboters 14 in vertikaler Richtung, um die Roboterhand 140 auf einer Höhe oder vertikalen Position zu positionieren, die mit der Ablage 226 ausgerichtet ist, wie zum Beispiel mit der untersten Ablage 226 in 2, wo das erste Werkstück 80 in der ersten Kassette 21 gelagert ist.
  • In der ersten Kassette 21 ist die Stirnseite 801 des Werkstücks 80 zum Beispiel nach unten gewandt und die Rückseite 802 nach oben gewandt. Dann wird die Saugfläche 1404 der Roboterhand 140 auf einen nach oben gewandten Zustand, das heißt einen in die +Z-Richtung gerichteten Zustand, eingestellt.
  • Die Roboterhand 140 wird zum Beispiel gedreht, um durch die Öffnung 210 der ersten Kassette 21 in die erste Kassette 21 zu einer darin vorbestimmten Position einzutreten und wird bei der vorbestimmten Position in einer horizontalen Ebene positioniert, wo der Mittelpunkt der Roboterhand 140 und der Mittelpunkt des Werkstücks 80 im Wesentlichen zueinander ausgerichtet sind. Dann wird die Roboterhand 140 angehoben, um deren Saugfläche 1404 mit der Stirnseite 801 des Werkstücks 80 in Kontakt zu bringen und zu verursachen, dass die Saugfläche 1404 das Werkstück 80 über Saugwirkung hält. Die Roboterhand 140 hört damit auf, angehoben zu werden, wenn das durch die Roboterhand 140 angehobene Werkstück 80 bei dessen äußerer Umfangskante geringfügig von der Ablage 226 beabstandet ist.
  • Die Roboterhand 140, welche das Werkstück 80 unter Saugwirkung gehalten hat, wird in der +Y-Richtung bewegt und entlädt das Werkstück 80 aus der ersten Kassette 21. Es ist anzumerken, dass die Roboterhand 140 die Saugfläche 1404 von oben gegen das Werkstück 80 zum Anliegen bringen kann, um das Werkstück 80 unter Saugwirkung zu halten.
  • Der in 1 veranschaulichte Roboter 14 bewegt dann das Werkstück 80 über den Zwischenablagetisch 11 und platziert das Werkstück 80 mit der Stirnseite 801 nach unten gewandt auf dem Zwischenablagetisch 11. Insbesondere wird die Roboterhand 140 abgesenkt, um das Werkstück 80 auf dem Zwischenablagetisch zu platzieren, sodass der Zwischenablagetisch 11 in die u-förmige Öffnung in dem Saugelement 1400 der Roboterhand 140 eintritt.
  • Dann werden die Positionierungsstifte der Positionierungseinheit 119 radial nach innen bewegt, während sie in einer kreisförmigen Reihe gehalten werden, und drücken die äußere Umfangskante des Werkstücks 80 gezielt, was die Position des Werkstücks 80 korrigiert. Zum Beispiel hören die in 6 veranschaulichten sechs Positionierungsstifte damit auf, sich zu bewegen, wenn sie alle die äußere Umfangskante des Werkstücks 80 berühren. Als Ergebnis wird der Mittelpunkt des Werkstücks 80 an dem Mittelpunkt des Zwischenablagetischs 11 ausgerichtet, sodass die Steuerungseinheit 9 die mittige Position des ersten Werkstücks 80 erkennen kann. Danach wird das Werkstück 80 über Saugwirkung an dem Zwischenablagetisch 11 gehalten.
  • Da das Werkstück 80 die bogenförmige Aussparung als die Markierung 805 aufweist, welche die Ausrichtungsebene wiedergibt, wird einer der in 1 veranschaulichten sechs Positionierungsstifte, der bei der Markierung 805 positioniert ist, zum Beispiel beim mittigen Ausrichten des Werkstücks 80 um einen eine größere Strecke als die anderen Positionierungsstifte radial nach innen bewegt. Folglich ermöglicht es die abweichende Strecke, um die einer der sechs Positionierungsstifte radial nach innen bewegt wird, dass die Steuerungseinheit 9 die Position der Markierung 805 des Werkstücks 80 erkennt, das auf dem Zwischenablagetisch 11 zentriert ist. Dann wird zum Beispiel der Zwischenablagetisch 11, der das Werkstück 80 über Saugwirkung hält, unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 um einen gewissen Winkel gedreht, um die Markierung 805 des Werkstücks 80 in einer vorbestimmten Richtung auszurichten. In Übereinstimmung mit einem alternativen Ansatz kann zum Beispiel eine Bildaufnahmeeinheit über dem Zwischenablagetisch 11 positioniert werden, und die Steuerungseinheit 9 kann ein Bild des Werkstücks 80, das durch die Bildaufnahmeeinheit aufgenommen wird, analysieren und den Mittelpunkt und die Markierung 805 des Werkstücks 80 an dem Zwischenablagetisch 11 aus dem Bild erkennen.
  • Als Nächstes hält der Ladearm 131 das Werkstück 80, das an dem Zwischenablagetisch 11 mittig ausgerichtet worden ist und dessen Markierung bei einer vorbestimmten Umfangsposition auf dem Spanntisch 30 platziert worden ist und bewegt dieses.
  • Wie oben beschrieben, weist die Haltefläche 302 des Spanntischs 30 den Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteil für deren Ausrichtung an der Markierung 805 des Werkstücks 80 auf, wenn das Werkstück 80 auf dem Spanntisch 30 platziert wird. Der Spanntisch 30 wird gedreht, um den Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteil in Ausrichtung mit der Markierung 805 des Werkstücks 80 an dem Spanntisch 30 in Bezug auf dessen Winkel zu positionieren. Insbesondere wurde die Position der Markierung 805 des Werkstücks 80 zu dem Zeitpunkt, zu dem der Ladearm 131 das Werkstück 80 hält, bereits durch die Steuerungseinheit 9 erkannt, wenn der Ladearm 131 von dem Zwischenablagetisch 11 zu dem Spanntisch 30 zuführt. Die Steuerungseinheit 9 steuert den Spanntisch-Rotationsmechanismus 36, um den Spanntisch 30 für ein Ausrichten des Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteils des Spanntischs 30 in seiner Position mit der Markierung 805 des Werkstücks 80 auszurichten, das von dem Zwischenablagetisch 11 durch den Ladearm 131 zu dem Spanntisch 30 zugeführt wird, um einen vorbestimmten Winkel zu drehen. Das Werkstück 80 wird dann mit der Rückseite 802 nach oben gewandt auf der Haltefläche 302 des Spanntischs 30 platziert, sodass der Mittelpunkt des Spanntischs 30 und der Mittelpunkt des Werkstücks 80 im Wesentlichen zueinander ausgerichtet sind.
  • Die Saugkraft, die erzeugt wird, wenn die mit dem Saugelement 300 in Fluidverbindung gehaltene Saugquelle betätigt wird, wird zu der Haltefläche 302 des Spanntischs 30 übertragen, was es dem Spanntisch 30 ermöglicht, das Werkstück 80 über Saugwirkung an der Haltefläche 302 zu halten. Ferner wurde die Umfangsposition der Markierung 805 des über Saugwirkung an der Haltefläche 302 gehaltenen Werkstücks 80 durch die Steuerungseinheit 9 erkannt. Da die Steuerungseinheit 9 den Spanntisch-Rotationsmechanismus 36 steuert, fährt die Steuerungseinheit 9 damit fort, die Umfangsposition der Markierung 805 des Werkstücks 80 zu jeglichem Zeitpunkt zu erkennen, nachdem damit begonnen worden ist, das Werkstück 80 zu schleifen, oder nachdem das Werkstück geschliffen worden ist.
  • Nachdem der Spanntisch 30 das Werkstück 80 unter Saugwirkung an der Haltefläche 302 gehalten hat, bewegt der Tischbewegungsmechanismus 17 den Spanntisch 30 in der +Y-Richtung. Der Spanntisch 30 mit dem daran gehaltenen Werkstück 80 wird bewegt, bis er zu einer Position gebracht wird, wo der Rotationsmittelpunkt des Schleifrads 164 der Bearbeitungseinheit 16 um einen vorbestimmten Weg von dem Rotationsmittelpunkt des Werkstücks 80 horizontal versetzt ist und die durch die Schleifsteine zu folgende Spur, während sie sich drehen, durch den Rotationsmittelpunkt des Werkstücks 80 verläuft.
  • Bevor ein Schleifvorgang zum Schleifen des Werkstücks 80 begonnen wird, misst die Dickenmesseinheit 38 zum Beispiel die Ladedicke des Werkstücks 80. Die Ladedicke bezieht sich auf die Dicke des Werkstücks 80 zu dem Zeitpunkt, zu dem das Werkstück 80 in den Bearbeitungsbereich 101 geladen wird, das heißt, bevor das Werkstück 80 bearbeitet wird. Eine Information der Ladedicke des Werkstücks 80, die durch die Dickenmesseinheit 38 gemessen wird, wird zu dem ersten Bestimmungsabschnitt 901 des Bestimmungsabschnitts 90 der Steuerungseinheit 9 gesendet. Die Steuerungseinheit 9 schließt ein Speichermedium ein, das einen voreingestellten zulässigen Bereich für die Ladedicke des Werkstücks 80 einschließt. Der erste Bestimmungsabschnitt 901 bestimmt mittels eines Vergleichs, ob die Ladedicke des ersten Werkstücks 80 in den zulässigen Bereich für die Ladedicke fällt oder nicht.
  • Zum Beispiel bestimmt der erste Bestimmungsabschnitt 901, dass die Ladedicke des ersten Werkstücks 80 in den zulässigen Bereich für die Ladedicke fällt. In diesem Fall wird mit dem Schleifvorgang zum Schleifen des Werkstücks 80 begonnen.
  • Die Bearbeitungseinheit 16 wird durch den Schleifzuführmechanismus 19 in der -Z-Richtung zugeführt, was die sich drehenden Schleifsteine mit der Rückseite 802 des an dem Spanntisch 30 gehaltenen Werkstücks 80 in Kontakt bringt, um dadurch die Rückseite 802 des Werkstücks 80 zu schleifen. Während der Spanntisch-Rotationsmechanismus 36 den Spanntisch 30 mit einer vorbestimmten Rotationsgeschwindigkeit dreht, dreht sich das Werkstück 80 an der Haltefläche 302 mit diesem mit, was die Schleifsteine dazu bringt, die Rückseite 802 des Werkstücks 80 als Ganzes zu schleifen. Während das Werkstück 80 geschliffen wird, wird das Schleiffluid durch den Fluidkanal zu einem Kontaktbereich zugeführt, wo die Schleifsteine und die Rückseite 802 des Werkstücks 80 einander berühren, was den Kontaktbereich kühlt und reinigt.
  • Währen des Schleifvorgangs misst die Dickenmesseinheit 38 fortlaufend die Dicke des Werkstücks 80 und sendet eine Information der gemessenen Dicke zu dem ersten Bestimmungsabschnitt 901 des Bestimmungsabschnitts 90 der Steuerungseinheit 9. Zum Beispiel speichert das Speichermedium der Steuerungseinheit 9 auch eine fertiggestellte Dicke des Werkstücks 80 und einen zulässigen Bereich von mehreren ±µm, wie zum Beispiel für die fertiggestellte Dicke. Der erste Bestimmungsabschnitt 901 überwacht fortlaufend die Messungen von der Dickenmesseinheit 38, um zu bestimmen, ob die Dicke des ersten Werkstücks 80, während es geschliffen wird, in die fertiggestellte Dicke und den zulässigen Bereich von mehreren ±µm fällt oder nicht.
  • Zum Beispiel misst die Dickenmesseinheit 38 die Dicke des Werkstücks 80, und der erste Bestimmungsabschnitt 901 überwacht die Dicke des Werkstücks 80. Die Bearbeitungseinheit 16 wird angehoben und von dem Werkstück 80 beabstandet, das ordnungsgemäß zu der fertiggestellten Dicke geschliffen worden ist, nachdem der Spanntisch 30 mit dem daran unter Saugwirkung gehaltenen Werkstück 80 über einen vorbestimmten Winkel unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 gedreht worden ist, um die Markierung 805 des Werkstücks 80 zu einer vorbestimmten Richtung auszurichten. Dann bewegt der Tischbewegungsmechanismus 17 den Spanntisch 30 in der -Y-Richtung zu einer Position nahe dem Entladearm 132.
  • Mit der Markierung 805 bei einer vorbestimmten Umfangsposition positioniert, hält und führt der Entladearm 132 als Nächstes das Werkstück 80 von dem Spanntisch 30 zu dem Schleudertisch 120. Das Werkstück 80 wird mit der Rückseite 802 nach oben gewandt auf dem Schleudertisch 120 platziert, dessen Durchmesser kleiner ist als der des Werkstücks 80, woraufhin das Werkstück 80 über Saugwirkung an dem Schleudertisch 120 gehalten wird. Der Mittelpunkt des Werkstücks 80 und der Mittelpunkt des Schleudertischs 120 sind im Wesentlichen zueinander ausgerichtet. Dann wird die Reinigungsdüse 121 um einen vorbestimmten Winkel über dem Werkstück 80 und hin- und herbewegt, während das Reinigungsfluid zu der Rückseite 802 des Werkstücks 80 ausgestoßen wird. Gleichzeitig dreht der Schleudertisch-Rotationsmechanismus 126 den Schleudertisch 120 mit einer vorbestimmten Rotationsgeschwindigkeit, was zulässt, das Reinigungsfluid der gesamten Rückseite 802 des Werkstücks 80 zuzuführen, um dadurch die Rückseite 802 zu reinigen.
  • Der mit dem elektrischen Motor 123 des Schleudertisch-Rotationsmechanismus 126 zusammenhängende Encoder 125 gibt an die Steuerungseinheit 9 ein Encodersignal aus, während sich der Schleudertisch 120 dreht. Die Steuerungseinheit 9 erkennt fortlaufend die Winkelposition der Markierung 805 des sich drehenden Werkstücks 80 auf Grundlage des empfangenen Encodersignals.
  • Nachdem das Werkstück 80 über einen vorbestimmten Zeitraum gereinigt worden ist, hört der Schleudertisch 120 damit auf, sich zu drehen, und die Reinigungsdüse 121 bringt zum Beispiel Luft auf das Werkstück 80 auf, was das Werkstück 80 trocknet. Dann nimmt die Bildaufnahmeeinheit 127 ein Bild der Rückseite 802 des Werkstücks 80 auf. Das aufgenommene Bild wird von der Bildaufnahmeeinheit 127 zu dem zweiten Bestimmungsabschnitt 902 des Bestimmungsabschnitts 90 der Steuerungseinheit 9 gesendet. Der zweite Bestimmungsabschnitt 902 analysiert das aufgenommene Bild während er einen Binarisierungsvorgang, einen Kantenverarbeitungsvorgang, etc. an dem aufgenommenen Bild auf einem virtuellen Ausgabebildschirm ausführt, und bestimmt aus dem aufgenommenen Bild, ob das Werkstück 80 gerissen, an dessen äußerem Umfang abgeplatzt, wellig oder an dessen Oberfläche angebrannt ist oder nicht. Zum Beispiel bestimmt der zweite Bestimmungsabschnitt 902, dass das erste Werkstück 80, das geschliffen worden ist, nicht gerissen, abgeplatzt, wellig oder angebrannt ist.
  • Folglich wurde durch den ersten Bestimmungsabschnitt 901 bestimmt, dass das erste Werkstück 80 ordnungsgemäß zu der fertiggestellten Dicke geschliffen worden ist, und es wurde durch den zweiten Bestimmungsabschnitt 902 auch bestimmt, dass es frei von einem Schleifversagen ist, das heißt, nicht gerissen, abgeplatzt, wellig oder angebrannt ist. In einem Fall, in dem der Bestimmungsabschnitt 90 folglich bestimmt, dass das Werkstück 80 ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, führt die Steuerungseinheit 9 den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 in der ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99 (siehe 4) aus und lagert das ordnungsgemäß bearbeitete Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22 ein.
  • Insbesondere wird die in 1 veranschaulichte Roboterhand 140 des Roboters 14 durch den Vertikal-Handbewegungsmechanismus 144 in den Z-Achsenrichtungen zu einer vorbestimmten vertikalen Position bewegt, wo die Saugfläche 1404, die nach oben gewandt ist, die Stirnseite 801 des Werkstücks 80 auf dem Schleudertisch 120 über Saugwirkung halten kann. Zudem wird die Roboterhand 140 durch den Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 gedreht, bis die u-förmige Öffnung in dem Saugelement 1400 der Roboterhand 140 in den X-Achsenrichtungen dem Schleudertisch 120 direkt gegenüberliegend positioniert ist. Mit anderen Worten weist die Roboterhand 140, wie in 3 veranschaulicht, ihren distalen Endabschnitt in der -X-Richtung ausgerichtet auf.
  • Der Schleudertisch 120 mit dem daran unter Saugwirkung gehaltenen Werkstück 80 wird unter der Steuerung der in 1 veranschaulichten Steuerungseinheit 9 um einen vorbestimmten Winkel gedreht, um die Markierung 805 des Werkstücks 80, wie in 3 veranschaulicht, der u-förmigen Öffnung in dem Saugelement 1400 der Roboterhand 140 in der +X-Richtung direkt gegenüberliegend auszurichten.
  • Der Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 bewegt die Roboterhand 140 linear in der -X-Richtung, um den Schleudertisch 120 dazu zu bringen, in die u-förmige Öffnung in dem Saugelement 1400 einzutreten. Die Roboterhand 140 wird dann zum Beispiel in einer horizontalen Ebene bei einer vorbestimmten Position platziert, wo der Mittelpunkt der Roboterhand 140 und der Mittelpunkt des Werkstücks 80 im Wesentlichen zueinander ausgerichtet sind. Dann wird die Roboterhand 140 angehoben, um die Saugfläche 1404 mit der Stirnseite 801 des Werkstücks 80 in Kontakt zu bringen, woraufhin die Saugfläche 1404 das Werkstück 80 unter Saugwirkung hält. Die Markierung 805 des Werkstücks 80 ist in Richtung der Basis 1406 der Roboterhand 140 ausgerichtet.
  • Dann wird die Roboterhand 140, die das Werkstück 80 über Saugwirkung hält, durch den Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 gedreht, bis die Roboterhand 140 in den Y-Achsenrichtungen der vorderen Öffnung 220 der zweiten Kassette 22 direkt gegenüberliegend positioniert ist. Mit anderen Worten wird die Markierung 805 des durch die Roboterhand 140 unter Saugwirkung gehaltenen Werkstücks 80 in der +Y-Richtung ausgerichtet.
  • Darüber hinaus wird die Roboterhand 140 zu der vertikalen Position der Ablage 226, zum Beispiel der untersten Ablage 226 in 2, abgesenkt, wo das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22 gelagert werden soll. Die Roboterhand 140 wird linear in der -Y-Richtung zu einer vorbestimmten Position in der zweiten Kassette 22 bewegt. Dann gibt die Roboterhand 140 das Werkstück 80 frei, das mit der Rückseite 802 nach oben gewandt auf der Ablage 226 in der zweiten Kassette 22 platziert ist. Danach wird die unter dem Werkstück 80 positionierte Roboterhand 140 aus der zweiten Kassette 22 herausgezogen.
  • Folglich wird das erste Werkstück 80, wie in 4 veranschaulicht, auf der Ablage 226 mit der Markierung 805 in der ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99 ausgerichtet, das heißt in der +Y-Richtung in Richtung der vorderen Öffnung 220 der zweiten Kassette 22 ausgerichtet, in der zweiten Kassette 22 gelagert.
  • (Schleifen des zweiten Werkstücks 80)
  • Während beispielsweise das erste Werkstück 80 durch das Schleifrad 164 wie oben beschrieben geschliffen wird, entlädt der in 1 veranschaulichte Roboter 14 ein zu schleifendes zweites Werkstück 80 als Nächstes aus der ersten Kassette 21 auf die gleiche Weise wie beim Entladen des ersten Werkstücks 80. Dann bewegt der in 1 veranschaulichte Roboter 14 das zweite Werkstück 80 über den Zwischenablagetisch 11. Wie mit dem ersten Werkstück 80 wird das zweite Werkstück 80 auf dem Zwischenablagetisch 11 zentriert, und die Umfangsposition der Markierung 805 des zweiten Werkstücks 80 wird durch die Steuerungseinheit 9 erkannt.
  • Nachdem das geschliffene erste Werkstück 80 durch den Entladearm 132 von dem Spanntisch 30 entladen worden ist, was den Spanntisch 30 unbesetzt macht, hält der Ladearm 131 das zweite Werkstück 80, das auf dem Zwischenablagetisch 11 zentriert worden ist und dessen Markierung 805 zu der Umfangsposition über dem Spanntisch 30 gebracht worden ist, und bewegt dieses. Das zweite Werkstück 80 wird dann an dem Spanntisch 30 über Saugwirkung gehalten, während der Mittelpunkt des zweiten Werkstücks 80 und der Mittelpunkt des Spanntischs 30 zueinander ausgerichtet werden und während auch der Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteil des Spanntischs 30 und die Markierung 805 des zweiten Werkstücks 80 zueinander ausgerichtet werden.
  • Nachdem der Spanntisch 30 das Werkstück 80 über Saugwirkung daran gehalten hat, bewegt der Tischbewegungsmechanismus 17 den Spanntisch 30 in der +Y-Richtung. Das Werkstück 80 und das Schleifrad 164 der Bearbeitungseinheit 16 sind dann in Bezug aufeinander positioniert.
  • Bevor ein Schleifvorgang zum Schleifen des zweiten Werkstücks 80 gestartet wird, misst die Dickenmesseinheit 38 die Ladedicke des Werkstücks 80. Eine Information der Ladedicke wird an den ersten Bestimmungsabschnitt 901 gesendet. Der erste Bestimmungsabschnitt 901 bestimmt mittels eines Vergleichs, ob die Ladedicke des zweiten Werkstücks 80 in den zulässigen Bereich für die Ladedicke fällt oder nicht. Zum Beispiel bestimmt der erste Bestimmungsabschnitt 901, dass die Ladedicke des zweiten Werkstücks 80 nicht in den zulässigen Bereich fällt. Es ist anzumerken, dass die Ladedicke des zweiten Werkstücks 80 in einem Fall nicht in den zulässigen Bereich fällt, in dem die Ladedicke des zweiten Werkstücks 80 größer als der zulässige Bereich für die Ladedicke ist, das heißt in einem Fall, in dem das Werkstück 80 zu dick ist, oder in einem Fall, wenn die Ladedicke des zweiten Werkstücks 80 kleiner ist als der zulässige Bereich für die Ladedicke, das heißt in einem Fall, in dem das Werkstück 80 zu dünn ist.
  • In diesem Fall steuert der erste Bestimmungsabschnitt 901 einen Lautsprecher der Bearbeitungsvorrichtung 1, um ein Warngeräusch auszugeben, oder steuert eine Anzeigeeinrichtung, wie zum Beispiel einen Anzeigemonitor oder ein Touchpanel der Bearbeitungsvorrichtung 1, um eine Fehlermeldung anzuzeigen, die den Arbeiter, der die Bearbeitungsvorrichtung 1 betätigt, auf das bestimmte Ergebnis hinweist, dass die Bearbeitungsvorrichtung 1 keinen Schleifvorgang an dem zweiten Werkstück ausführen wird, da die Ladedicke des zweiten Werkstücks 80 größer ist als der zulässige Bereich für die Ladedicke, das heißt, das Werkstück 80 ist zu dick, oder die Ladedicke des zweiten Werkstücks 80 kleiner ist als der zulässige Bereich für die Ladedicke, das heißt, das Werkstück ist zu dünn.
  • Darüber hinaus wird das zweite Werkstück 80 nicht geschliffen, sondern unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 in der zweiten Kassette 22 gelagert. Insbesondere bewegt der Tischbewegungsmechanismus 17 den Spanntisch 30 zu einer Position nahe dem Entladearm 132. Der Entladearm 132 hält dann das Werkstück 80 und bewegt dieses, dessen Markierung 805 von dem Spanntisch 30 zu dem Schleudertisch 120 bei der Umfangsposition platziert worden ist.
  • Die Roboterhand 140 wird zu einer vorbestimmten Höhe oder vertikalen Position gebracht, um die Stirnseite 801 des Werkstücks 80 über Saugwirkung mit der Rückseite 802 nach oben gewandt an dem Schleudertisch 120 zu halten. Zudem wird die Roboterhand 140 durch den Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 gedreht, bis die u-förmige Öffnung in dem Saugelement 1400 der Roboterhand 140 in der -X-Richtung ausgerichtet ist und in den X-Achsenrichtungen dem Schleudertisch 120 direkt gegenüberliegend positioniert ist.
  • Der Schleudertisch 120 mit dem daran unter Saugwirkung gehaltenen Werkstück 80 wird unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 um einen vorbestimmten Winkel gedreht, bis die Markierung 805 des Werkstücks 80 von der +Z-Richtung aus gesehen im Uhrzeigersinn bei einem Winkel in Bezug auf die u-förmige Öffnung in der Roboterhand 140 von zum Beispiel 45° ausgerichtet ist.
  • Die in 1 veranschaulichte Roboterhand 140 wird durch den Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 linear in der -X-Richtung bewegt und hält dann das Werkstück 80 unter Saugwirkung, sodass der Mittelpunkt der Roboterhand 140 und der Mittelpunkt des Werkstücks 80 im Wesentlichen zueinander ausgerichtet sind. Die Markierung 805 des Werkstücks 80 wurde von der +Z-Richtung aus gesehen im Uhrzeigersinn mit 45° relativ zu der Basis 1406 der Roboterhand 140 winklig beabstandet.
  • Die durch den Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 gedrehte Roboterhand 140 wird in den Y-Achsenrichtungen direkt gegenüberliegend zu der vorderen Öffnung 220 der zweiten Kassette 22 positioniert. Darüber hinaus wird die Roboterhand 140 zu der vertikalen Position der Ablage 226, zum Beispiel der nächsten Ablage 226 in 2, die höher ist als die unterste Ablage 226, angehoben oder abgesenkt, wo das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22 gelagert werden soll. Die Roboterhand 140 wird linear in der -Y-Richtung zu einer vorbestimmten Position in der zweiten Kassette 22 bewegt. Dann gibt die Roboterhand 140 das Werkstück 80 frei, das in der zweiten Kassette 22 mit der Rückseite 802 nach oben gewandt auf der Ablage 226 platziert ist. Danach wird die Roboterhand 140, die unter dem Werkstück 80 positioniert ist, aus der zweiten Kassette 22 zurückgezogen.
  • Wie in 5 veranschaulicht, wird das zweite Werkstück 80 daher auf der Ablage 226 in der zweiten Kassette 22 mit der Markierung 805 in der Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98 ausgerichtet gelagert, das heißt, von oben gesehen in der um 45° winklig im Uhrzeigersinn beabstandeten Richtung 98 in Bezug auf die in der +Y-Richtung ausgerichtete vordere Öffnung 220 der zweiten Kassette 22 ausgerichtet.
  • (Schleifen des dritten Werkstücks 80)
  • Während beispielsweise die Dicke des zweiten Werkstücks 80 wie oben beschrieben gemessen wird, entlädt der in 1 veranschaulichte Roboter 14 ein als nächstes zu schleifendes drittes Werkstück 80 auf die gleiche Weise aus der Kassette 21, wie das erste Werkstück 80 entladen worden ist.
  • Dann bewegt der in 1 veranschaulichte Roboter 14 das dritte Werkstück 80 über den Zwischenablagetisch 11. Wie bei dem ersten Werkstück 80 wird das dritte Werkstück 80 auf dem Zwischenablagetisch 11 zentriert, und die Umfangsposition der Markierung 805 des dritten Werkstücks 80 wird durch die Steuerungseinheit 9 erkannt.
  • Nachdem das zweite Werkstück 80 ungeschliffen durch den Entladearm 132 von dem Spanntisch 30 entladen worden ist, was den Spanntisch 30 unbelegt werden lässt, hält und bewegt der Ladearm 131 das dritte Werkstück 80, das auf dem Zwischenablagetisch 11 zentriert worden ist und dessen Markierung 805 zu der Umfangsposition über dem Spanntisch 30 gebracht worden ist. Das dritte Werkstück 80 wird dann über Saugwirkung an dem Spanntisch 30 gehalten, während der Mittelpunkt des dritten Werkstücks 80 und der Mittelpunkt des Spanntischs 30 zueinander ausgerichtet werden und während zudem der Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteil des Spanntischs 30 und die Markierung 805 des dritten Werkstücks 80 zueinander ausgerichtet werden.
  • Nachdem der Spanntisch 30 das Werkstück 80 an sich über Saugwirkung hält, bewegt der Tischbewegungsmechanismus 17 den Spanntisch 30 in der +Y-Richtung, und das Werkstück 80 und das Schleifrad 164 der Bearbeitungseinheit 16 werden dann in Bezug aufeinander positioniert. Bevor ein Schleifvorgang zum Schleifen des dritten Werkstücks 80 gestartet wird, misst die Dickenmesseinheit 38 darüber hinaus zum Beispiel die Ladedicke des Werkstücks 80. Der erste Bestimmungsabschnitt 901, der eine Information der gemessenen Ladedicke empfangen hat, bestimmt, dass die Ladedicke des dritten Werkstücks 80 in den zulässigen Bereich fällt. In diesem Fall wird mit dem Schleifvorgang zum Schleifen des dritten Werkstücks 80 begonnen.
  • Während des Schleifvorgangs zum Schleifen des dritten Werkstücks 80, der auf die gleiche Weise ausgeführt wird wie der Schleifvorgang zum Schleifen des ersten Werkstücks 80, misst die Dickenmesseinheit 38 fortlaufend die Dicke des Werkstücks 80 und sendet eine Information der gemessenen Dicke zu dem ersten Bestimmungsabschnitt 901 des Bestimmungsabschnitts 90. Der erste Bestimmungsabschnitt 901 überwacht fortlaufend die Messungen von der Dickenmesseinheit 38, um zu bestimmten, ob die Dicke des dritten Werkstücks 80, während es geschliffen wird, in die fertiggestellte Dicke und den zulässigen Bereich von mehreren ±µm fällt oder nicht.
  • Obwohl die Dickenmesseinheit 38 zum Beispiel die Dicke des Werkstücks 80 misst und der erste Bestimmungsabschnitt 901 die Dicke des Werkstücks 80 überwacht, kann aufgrund des Aufkommens an Bearbeitungsaufgaben der Steuerungseinheit 9 zum Beispiel eine Zeitverzögerung entstehen, bis die gemessene Dickeninformation des Werkstücks 80, die durch die Dickenmesseinheit 38 erhalten wird, zu dem ersten Bestimmungsabschnitt 901 gesendet wird. Die Zeitverzögerung kann eine Steuerung des Schleifzuführmechanismus 19 mit der Steuerungseinheit 9 verzögern, was dazu neigt, eine Verzögerung beim Anheben der Bearbeitungseinheit 16 von dem Werkstück 80 mit dem Schleifzuführmechanismus 19 zu verursachen. Als Ergebnis kann das geschliffene dritte Werkstück 80 dünner hergestellt werden als die Dicke, die durch Abziehen des zulässigen Bereichs von der vorbestimmten fertiggestellten Dicke berechnet wird. Es ist anzumerken, dass das Werkstück 80 auch aufgrund des Zustands der Schleifsteine, etc. dünner hergestellt werden kann als die Dicke, die durch Abziehen des zulässigen Bereichs von der vorbestimmten fertiggestellten Dicke berechnet wird.
  • Obwohl die Dickenmesseinheit 38 die Dicke des Werkstücks 80 misst und der erste Bestimmungsabschnitt 901 die Dicke des Werkstücks 80 überwacht, kann das Werkstück darüber hinaus zum Beispiel in einem Fall nicht ordnungsgemäß geschliffen werden, in dem die Rückseite 802 des Werkstücks 80 eine Anomalie aufweist, wie zum Beispiel eine Oberflächenverbrennung, oder in einem Fall, in dem die Schleifsteine der Bearbeitungseinheit während des Schleifens nicht scharf genug sind. Wenn die Bearbeitungseinheit 16 in diesem Fall unter der Steuerung des Schleifzuführmechanismus 19, der durch die Steuerungseinheit 9 gesteuert wird, von dem Werkstück 80 angehoben wird, kann das dritte Werkstück 80, das geschliffen worden ist, dicker hergestellt sein als die Dicke, die durch Aufaddieren des zulässigen Bereichs zu der vorbestimmten fertiggestellten Dicke berechnet wird.
  • In diesem Fall steuert der erste Bestimmungsabschnitt 901 den Lautsprecher der Bearbeitungsvorrichtung 1, um ein Warngeräusch auszugeben, oder steuert die Anzeigeeinrichtung, wie zum Beispiel ein Touchpanel der Bearbeitungsvorrichtung 1, um eine Fehlermeldung anzuzeigen, die den Arbeiter auf das bestimmte Ergebnis hinweist, dass die Dicke des dritten Werkstücks 80, das geschliffen worden ist, eine Dickenabweichung erfahren hat.
  • Zum Beispiel wird der Spanntisch 30 mit dem unter Saugwirkung daran gehaltenen Werkstück 80 unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 um einen vorbestimmten Winkel gedreht, um die Markierung 805 des geschliffenen dritten Werkstücks 80 zu einer vorbestimmten Richtung auszurichten. Dann wird der Spanntisch 30 in der -Y-Richtung bewegt und nahe des Entladearms 132 positioniert, was das Werkstück 80 von dem Spanntisch 30 dem Schleudertisch 120 zuführt.
  • Nachdem die Reinigungseinheit 12 das Werkstück 80 gereinigt und getrocknet hat, nimmt die Bildaufnahmeeinheit 127 ein Bild der Rückseite 802 des Werkstücks 80 auf. Der zweite Bestimmungsabschnitt 902 bestimmt aus dem aufgenommenen Bild, ob das Werkstück 80, gerissen an seinem äußeren Umfang abgeplatzt, wellig oder an seiner Oberfläche angebrannt ist oder nicht. Zum Beispiel bestimmt der zweite Bestimmungsabschnitt 902, dass das dritte Werkstück 80, das geschliffen worden ist, nicht gerissen, abgeplatzt, wellig oder angebrannt ist.
  • Die Steuerungseinheit 9 führt einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 des geschliffenen dritten Werkstücks 80, für das der erste Bestimmungsabschnitt 901 des Bestimmungsabschnitts 90 bestimmt hat, dass es eine anormale Dicke aufweist, in der Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98 (siehe 5) und lagert das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22. Insbesondere führt die Steuerungseinheit 9 den gleichen Steuerungsvorgang wie den oben beschriebenen Steuerungsvorgang zum Lagern des zweiten Werkstücks 80 in der zweiten Kassette 22 aus, was das dritte Werkstück 80 auf der Ablage 226 der zweiten Kassette 22 mit der Markierung 805 in der Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98 ausgerichtet, der zweiten Kassette 22 lagert, das heißt, in der von oben im Uhrzeigersinn gesehenen winklig beabstandeten Richtung von 45° in Bezug auf die in der +Y-Richtung ausgerichtete vordere Öffnung 220.
  • (Schleifen des vierten Werkstücks 80)
  • Während zum Beispiel das dritte Werkstück 80 wie oben beschrieben durch das Schleifrad 164 geschliffen wird, entlädt der Roboter 14 ein als nächstes zu schleifendes viertes Werkstück 80 auf die gleiche Weise, wie das erste Werkstück 80 entladen worden ist, aus der in 1 veranschaulichten ersten Kassette 21. Das durch den Roboter 14 zugeführte vierte Werkstück wird, wie das erste Werkstück 80, dann auf dem Zwischenablagetisch 11 zentriert, und die Umfangsposition der Markierung 805 wird durch die Steuerungseinheit 9 erkannt.
  • Nachdem das dritte Werkstück 80 durch den Entladearm 132 von dem Spanntisch 30 entladen worden ist, wird das vierte Werkstück 80, mit der Markierung 805 in der Umfangsposition zentriert platziert, durch den Ladearm 131 auf den Spanntisch 30 bewegt. Das vierte Werkstück 80 wird dann über Saugwirkung an dem Spanntisch 30 gehalten, während der Mittelpunkt des vierten Werkstücks 80 mittig mit dem Spanntisch 30 ausgerichtet wird und während zudem der Ausrichtungsebenen-Ausrichtungsteil des Spanntischs 30 und die Markierung 805 des vierten Werkstücks 80 zueinander ausgerichtet werden.
  • Nachdem der Spanntisch 30 das Werkstück 80 über Saugwirkung daran gehalten hat, positioniert der Tischbewegungsmechanismus 17 das Werkstück 80 und das Schleifrad 164 der Bearbeitungseinheit 16 relativ zueinander. Bevor ein Schleifvorgang zum Schleifen des vierten Werkstücks 80 begonnen wird, misst die Dickenmesseinheit 38 darüber hinaus die Ladedicke des Werkstücks 80. Der erste Bestimmungsabschnitt 901, der eine Information der gemessenen Ladedicke empfangen hat, bestimmt, dass die Ladedicke des vierten Werkstücks 80 in den zulässigen Bereich fällt.
  • Während des Schleifvorgangs zum Schleifen des vierten Werkstücks 80, der auf die gleiche Weise ausgeführt wird wie der Schleifvorgang zum Schleifen des ersten Werkstücks 80, misst die Dickenmesseinheit 38 fortlaufend die Dicke des Werkstücks 80 und sendet eine Information der gemessenen Dicke an den ersten Bestimmungsabschnitt 901. Der erste Bestimmungsabschnitt 901 überwacht fortlaufend die Messungen von der Dickenmesseinheit 38, um zu bestimmen, ob die Dicke des vierten Werkstücks 80, während es geschliffen wird, in die fertiggestellte Dicke und den zulässigen Bereich von mehreren ±µm fällt oder nicht.
  • Nachdem die Bearbeitungseinheit 16 verlassen worden und von dem Werkstück 80 beabstandet ist, das ordnungsgemäß zu der fertiggestellten Dicke geschliffen worden ist, während die Dickenmesseinheit 38 die Dicke des Werkstücks 80 misst und der erste Bestimmungsabschnitt 901 die Dicke des Werkstücks 80 überwacht, wird der Spanntisch 30, der das Werkstück 80 über Saugwirkung daran gehalten hat, um einen vorbestimmten Winkel unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 gedreht, um die Markierung 805 des Werkstücks 80 zu einer vorbestimmten Richtung auszurichten. Dann bewegt der Tischbewegungsmechanismus 17 den Spanntisch 30 in der -Y-Richtung zu einer Position nahe dem Entladearm 132.
  • Dann hält und bewegt der Entladearm 132 das Werkstück 80, dessen Markierung 805 bei einer vorbestimmten Umfangsposition platziert worden ist, von dem Spanntisch 30 zu dem Schleudertisch 120. Nachdem die Reinigungseinheit 12 das vierte Werkstück gereinigt und getrocknet hat, nimmt die Bildaufnahmeeinheit 127 ein Bild der Rückseite 802 des Werkstücks 80 auf. Der zweite Bestimmungsabschnitt 902 bestimmt aus dem aufgenommenen Bild, ob das Werkstück 80 gerissen, an seinem äußeren Umfang abgeplatzt, wellig oder an seiner Fläche angebrannt ist oder nicht. Zum Beispiel bestimmt der zweite Bestimmungsabschnitt 902, dass das vierte Werkstück 80 einen Riss 808 aufweist (siehe 6). In diesem Fall gibt der zweite Bestimmungsabschnitt 902 ein Alarmgeräusch aus oder zeigt eine Fehlermeldung an, die den Arbeiter auf das bestimmte Ergebnis hinweist, dass das geschliffene vierte Werkstück 80 eine Bearbeitungsanomalie aufweist.
  • Dann führt die Steuerungseinheit 9 einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 des geschliffenen vierten Werkstücks 80 in der Richtung der Bearbeitungsriss-Anomalierichtung 97 (siehe 6) aus, für das durch den zweiten Bestimmungsabschnitt 902 bestimmt worden ist, dass es den Riss 808 aufweist, und lagert das vierte Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22 ein.
  • Insbesondere wird die Roboterhand 140 zu einer vorbestimmten Höhe oder vertikalen Position gebracht, um die Stirnseite 801 des Werkstücks 80, die nach unten gewandt ist, über Saugwirkung an dem Schleudertisch 120 zu halten. Zudem wird die Roboterhand 140 gedreht, bis die u-förmige Öffnung der Roboterhand 140 in der -X-Richtung ausgerichtet und in den X-Achsenrichtungen dem Schleudertisch 120 direkt gegenüberliegend positioniert ist.
  • Der Schleudertisch 120 wird unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 zum Beispiel um einen vorbestimmten Winkel gedreht, bis die Markierung 805 des Werkstücks 80 von der +Z-Richtung aus gesehen in einem Winkel von 45° gegen den Uhrzeigersinn in Bezug auf die u-förmige Öffnung in der Roboterhand 150 ausgerichtet ist.
  • Der Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 bewegt die Roboterhand 140 linear in der -X-Richtung, bis der Mittelpunkt der Roboterhand 140 und der Mittelpunkt des Werkstücks 80 im Wesentlichen zueinander ausgerichtet sind, woraufhin die Roboterhand 140 das Werkstück 80 unter Saugwirkung hält. Die Markierung 805 des Werkstücks 80 ist von der +Z-Richtung aus gesehen gegen den Uhrzeigersinn in Bezug auf die Basis 1406 der Roboterhand 140 in einem Winkel von 45° ausgerichtet.
  • Dann wird die Roboterhand 140 durch den Horizontal-Handbewegungsmechanismus 142 unter der Steuerung der Steuerungseinheit 9 gedreht, bis die Roboterhand 140 in den Y-Achsenrichtungen direkt gegenüberliegend zu der vorderen Öffnung 220 der zweiten Kassette 22 positioniert ist. Darüber hinaus wird die Roboterhand 140 zu der vertikalen Position der Ablage 226 angehoben oder abgesenkt, wo das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22 gelagert werden soll. Des Weiteren wird die Roboterhand 140 linear in der -Y-Richtung zu einer vorbestimmten Position in der zweiten Kassette 22 bewegt. Dann gibt die Roboterhand 140 das Werkstück 80 frei, das in der zweiten Kassette 22 mit der Rückseite 802 nach oben gewandt auf der Ablage 226 platziert ist. Danach wird die Roboterhand 140 aus der zweiten Kassette 22 herausgezogen.
  • Daher wird das vierte Werkstück 80, wie in 6 veranschaulicht, auf der Ablage 226 in der zweiten Kassette 22 gelagert, während die Markierung 805 in der Bearbeitungsriss-Anomalierichtung etc. 97 ausgerichtet ist, das heißt, in der von oben gesehen gegen den Uhrzeigersinn winklig beabstandeten Richtung von 45° im Verhältnis zu der vorderen Öffnung 220 der zweiten Kassette 22, die in der +Y-Richtung ausgerichtet ist.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung umfasst den Bestimmungsabschnitt 90, der bestimmt, ob ein Werkstück 80 ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und die Steuerungseinheit 9, die einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 des Werkstücks 80 in einer vorbestimmten Richtung ausführt, das heißt, der in 4 veranschaulichten ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99, wenn der Bestimmungsabschnitt 90 bestimmt, dass das Werkstück 80 ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und lagert das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22 ein, und führt zum Beispiel einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 des Werkstücks 80 in einer von der ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99 abweichenden Richtung aus, das heißt der in 5 veranschaulichten Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98 oder die in 6 veranschaulichten Bearbeitungsriss-Anomalierichtung 97, wenn der Bestimmungsabschnitt 90 bestimmt, dass das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und lagert das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22 ein. Daher kann der Arbeiter auf einfache Weise durch Betrachten der Ausrichtung der Markierung 805 des in der zweiten Kassette gelagerten Werkstücks 80 feststellen, ob das Werkstück 80 ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, wie das erste Werkstück 80, oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, wie eines des zweiten bis vierten Werkstücks 80. Zum Beispiel kann der Arbeiter dann auf einfache Weise nur das Werkstück 80 entfernen, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, ohne umständlich Werkstückdaten auf einem Anzeigebildschirm der Vorrichtung zu vergleichen. Nachdem die zweite Kassette 22 aufgefüllt worden ist, ist es dementsprechend für den Arbeiter möglich, die zweite Kassette 22 von der die Werkstücke 80, die nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden sind, entfernt worden sind, in einem nächsten Bearbeitungsschritt einer Vorrichtung zuzuführen.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung schließt die Dickenmesseinheit 38 zum Messen der Dicke eines Werkstücks 80 ein, und der Bestimmungsabschnitt 90 bestimmt, ob das Werkstück 80 ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, auf der Grundlage der durch die Dickenmesseinheit 38 gemessenen Dicke des Werkstücks 80, sodass die Steuerungseinheit 9 auf einfache Weise den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 des Werkstücks 80 in die vorbestimmte Richtung 99, das heißt, die in 4 veranschaulichte ordnungsgemäße Bearbeitungsrichtung 99, oder den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 des Werkstücks 80 in der von der ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99 abweichenden Richtung 98, das heißt der in 5 veranschaulichten Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98, ausführen kann.
  • Der Bestimmungsabschnitt 90 schließt mehrere Bestimmungsabschnitte, das heißt den ersten Bestimmungsabschnitt 901 und den zweiten Bestimmungsabschnitt 902 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Ausführungsform, ein, die in Übereinstimmung mit jeweils unterschiedlichen Bestimmungskriterien bestimmen, ob das Werkstück 80 ein Werkstück ist, das ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, oder ein Werkstück ist, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und wenn zumindest einer des ersten Bestimmungsabschnitts 901 und des zweiten Bestimmungsabschnitts 902 bestimmt, dass das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, führt die Steuerungseinheit 9 den Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 in der Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98, die durch den ersten Bestimmungsabschnitt 901 voreingestellt ist, der bestimmt, dass das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, oder in der Bearbeitungsriss-Anomalierichtung etc. 97 aus, die durch den zweiten Bestimmungsabschnitt 902 voreingestellt ist, der bestimmt, dass das Werkstück 80 nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, da es nicht mit der Bearbeitungsdicken-Anomalierichtung 98 übereinstimmt, und lagert das Werkstück in der zweiten Kassette 22. Der Arbeiter kann auf einfache Weise wissen, ob das Werkstück 80 ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, indem er die Ausrichtung der Markierung 805 des in der zweiten Kassette 22 gelagerten Werkstücks 80 beobachtet und die Art einer Anomalie des Werkstücks 80, das nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, erkennen kann.
  • Die Bearbeitungsvorrichtung 1 in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ist nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt, sondern kann innerhalb des Schutzbereichs des technischen Gegenstands der Erfindung auf vielfältige unterschiedliche Arten in die Praxis umgesetzt werden. Die äußeren Profile, etc. der Komponenten der Bearbeitungsvorrichtung 1, die in den begleitenden Zeichnungen, veranschaulicht wird, sind nicht beschränkend, sondern können insoweit verändert und abgewandelt werden, wie die Vorteile der vorliegenden Erfindung zutreffen.
  • Zum Beispiel wird angenommen, dass, wenn das oben beschriebene vierte Werkstück 80 geschliffen wird, der erste Bestimmungsabschnitt 901 bestimmt, dass das geschliffene vierte Werkstück 80 eine Dickenanomalie aufweist, und der zweite Bestimmungsabschnitt 902 zudem bestimmt, dass das geschliffene vierte Werkstück 80 eine Bearbeitungsanomalie, wie zum Beispiel den Riss 808, aufweist. In dieser Situation kann die Steuerungseinheit 9 einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung 805 des Werkstücks 80 in einer Richtung ausführen, die für einen Fall definiert ist, in dem sowohl der erste Bestimmungsabschnitt 901 als auch der zweite Bestimmungsabschnitt 902 bestimmen, dass das geschliffene Werkstück 80 anormal ist und von der in 4 veranschaulichten ordnungsgemäßen Bearbeitungsrichtung 99 abweicht und lagert das Werkstück 80 in der zweiten Kassette 22. In diesem Fall wird das vierte Werkstück 80 zum Beispiel in der zweiten Kassette 22 mit der Markierung 805 der hinteren Platte 225 der in 1 veranschaulichten zweiten Kassette 22 zugewandt gelagert, das heißt mit der Markierung 805 der hinteren Seite der zweiten Kassette 22 zugewandt.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich durch die Erfindung einbezogen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2015213995 [0002]

Claims (4)

  1. Bearbeitungsvorrichtung, die aufweist: einen Spanntisch zum Halten eines Werkstücks an einer Haltefläche von diesem, das eine Markierung aufweist, die eine Kristallausrichtung wiedergibt; eine Bearbeitungseinheit zum Schleifen des an dem Spanntisch gehaltenen Werkstücks mit Schleifsteinen oder zum Polieren des an dem Spanntisch gehaltenen Werkstücks mit einem Polierpad; eine Kassettenbühne zum darauf Platzieren einer Kassette zum darin lagern mehrerer Werkstücke auf jeweiligen Ablagen; einen Zwischenablagetisch zum zeitweiligen darauf Platzieren eines Werkstücks; einen Schleudertisch zum darauf Halten eines zu reinigenden Werkstücks; einen Roboter zum Zuführen eines Werkstücks von der auf der Kassettenbühne platzierten Kassette zu dem Zwischenablagetisch oder zum Zuführen eines auf dem Schleudertisch gehaltenen Werkstücks in die auf der Kassettenbühne platzierte Kassette; einen Bestimmungsabschnitt zum Bestimmen, ob ein Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist; und eine Steuerungseinheit zum Ausführen eines Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in einer vorbestimmten Richtung, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und Lagern des Werkstücks in der Kassette, und zum Ausführen eines Steuerungsvorgangs zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in einer von der vorbestimmten Richtung abweichenden Richtung, wenn der Bestimmungsabschnitt bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und Lagern des Werkstücks in der Kassette.
  2. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, bei welcher der Bestimmungsabschnitt mehrere Bestimmungsabschnitte aufweist, die von der vorbestimmten Richtung abweichende Richtungen aufweist, die in Zusammenhang mit den jeweiligen Bestimmungsabschnitten als nicht übereinstimmend voreingestellt sind, die Bestimmungsabschnitte bestimmen in Übereinstimmung mit jeweils unterschiedlichen Bestimmungskriterien, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und wenn zumindest einer der Bestimmungsabschnitte bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, die Steuerungseinheit einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der Richtung ausführt, die im Zusammenhang mit dem Bestimmungsabschnitt, der bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, voreingestellt ist, und das Werkstück in der Kassette lagert.
  3. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, die ferner aufweist: eine Dickenmesseinheit zum Messen der Dicke des Werkstücks, wobei der Bestimmungsabschnitt auf Grundlage der durch die Dickenmesseinheit gemessenen Dicke des Werkstücks bestimmt, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist.
  4. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 3, bei welcher der Bestimmungsabschnitt mehrere Bestimmungsabschnitte aufweist, die von der vorbestimmten Richtung abweichende Richtung abweichende Richtungen aufweist, die im Zusammenhang mit den jeweiligen Bestimmungsabschnitten als nicht übereinstimmend voreingestellt sind, die Bestimmungsabschnitte in Übereinstimmung mit jeweils unterschiedlichen Bestimmungskriterien bestimmen, ob das Werkstück ordnungsgemäß bearbeitet worden ist oder nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und wenn zumindest einer der Bestimmungsabschnitte bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, die Steuerungseinheit einen Steuerungsvorgang zum Ausrichten der Markierung des Werkstücks in der Richtung ausführt, die im Zusammenhang mit dem Bestimmungsabschnitt voreingestellt ist, der bestimmt, dass das Werkstück nicht ordnungsgemäß bearbeitet worden ist, und das Werkstück in der Kassette lagert.
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