JP4615322B2 - 表示パネル用検査装置及びその検査方法 - Google Patents
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Description
120 第1画像撮像部
130 第2画像撮像部
140−1 器具駆動部
200 システム制御部
220 画質検査部
221 アクティブ領域決定部
223 無効不良除去部
225 有効不良検出部
230 外観検査部
231 基準データ保存部
233 外観不良検出部
250 出力部
260 制御部
Claims (24)
- 複数のステージを具備したターンテーブルと、
前記複数のステージのうち、第1位置のステージ上に表示パネルを装着して、前記表示パネルの固有番号を認識するローディング部と、
第2位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第1画像データを出力する第1画像撮像部と、
第3位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第2画像データを出力する第2画像撮像部と、
前記第1画像データに基づいて前記表示パネルの画質検査を行い、前記第2画像データに基づいて前記表示パネルの外観検査を行うシステム制御部と、
第4位置に移動された前記ステージ上の表示パネルを前記ステージから取り出すアンローディング部と、
を含む表示パネル用検査装置。 - 前記検査用表示パネルを格納するローディングカセットと、
前記ステージから取り出された表示パネルを格納するアンローディングカセットと、を更に含むことを特徴とする請求項1記載の表示パネル用検査装置。 - 前記第1画像撮像部は、
前記第2位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像する第1カメラと、
前記第1カメラにより撮像された画像を信号処理して第1画像データとして出力する第1信号処理部と、を含むことを特徴とする請求項1記載の表示パネル用検査装置。 - 前記第2画像撮像部は、
前記第3位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像する第2カメラと、
前記第2カメラにより撮像された画像を信号処理して前記第2画像データとして出力する第2信号処理部と、を含むことを特徴とする請求項1記載の表示パネル用検査装置。 - 前記ステージは、
前記表示パネルの背面から光を発散するバックライト部と、
前記バックライト部の上方に配置され、前記表示パネルを支持する支持部材と、
前記表示パネルの前面から光を発散するフロントライト部と、
前記表示パネルに電気的信号を印加する信号発生部と、を含むことを特徴とする請求項1記載の表示パネル用検査装置。 - 前記システム制御部は、前記ステージ上の表示パネルを電気的及び/又は光学的に駆動させるように前記ステージを制御するように構成されることを特徴とする請求項5記載の表示パネル用検査装置。
- 前記システム制御部は、
前記第1画像撮像部から提供された前記第1画像データに基づいて画質検査を行う画質検査部と、
前記第2画像撮像部から提供された前記第2画像データに基づいて外観検査を行う外観検査部と、
前記システム制御部の全般的な動作を制御し、前記画質検査部及び前記外観検査部を制御する制御部と、を含むことを特徴とする請求項1記載の表示パネル用検査装置。 - 前記画質検査部は、
前記第1画像データのX軸プロジェクション及びY軸プロジェクションを算出して、前記表示パネルのアクティブ領域を決定するアクティブ領域決定部と、
前記アクティブ領域に対応する前記第1画像データに存在する不良候補群のうち、無効不良を除去する無効不良除去部と、
前記無効不良除去部により無効不良が除去された前記第1画像データに存在する有効不良を検出する有効不良検出部と、を含むことを特徴とする請求項7記載の表示パネル用検査装置。 - 前記制御部は、前記アクティブ領域決定部から得られた前記表示パネルのアクティブ領域が、実際表示パネルのアクティブ領域と異なる場合、前記画質検査部及び前記外観検査部の動作を停止させるように制御するように構成されることを特徴とする請求項8記載の表示パネル用検査装置。
- 前記制御部は、前記有効不良検出部で前記第1画像データから前記有効不良が検出された場合、前記外観検査部の動作を停止させるように制御するように構成されることを特徴とする請求項8記載の表示パネル用検査装置。
- 前記外観検査部は、
正常的な外観を有する表示パネルの画像データである基準画像データが保存された基準データ保存部と、
前記基準画像データと前記第2画像データとを比較して、前記表示パネルの外観不良を検出する外観不良検出部と、を含むことを特徴とする請求項7記載の表示パネル用検査装置。 - 前記アクティブ領域決定部は、前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態で前記バックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第1画像に対応する前記第1画像データに基づいて、前記アクティブ領域を決定するように構成されることを特徴とする請求項8記載の表示パネル用検査装置。
- 前記無効不良除去部は、
前記表示パネルにテスト電圧が印加された状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第2画像に対応する第1画像データと、前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でフロントライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第3画像に対応する第1画像データとの間の差を算出することにより、前記第2画像に対応する第1画像データから前記表示パネルの無効不良を除去するように構成されることを特徴とする請求項8記載の表示パネル用検査装置。 - 前記有効不良検出部は、
前記無効不良除去部により前記無効不良が除去された前記第1画像データの任意の画素と前記任意の画素の周辺画素との間の明るさの差を用いて、前記任意の画素の画素特異性値を算出し、
前記画素特異性値を二値化して、不良画素を検出し、
前記不良画素を集合化して、有効不良を決定するように構成されることを特徴とする請求項8記載の表示パネル用検査装置。 - 前記任意の画素に対する画素特異性値(S(x,y))は、
- 前記外観不良検出部は、前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された画像に対応する第2画像データと前記基準画像データとの間の差に基づいて、外観不良を検出することを特徴とする請求項11記載の表示パネル用検査装置。
- (a)ターンテーブル上に設けられた複数のステージのうち、第1位置にあるステージの上に装着された表示パネルの固有番号を認識する段階と、
(b)前記第1位置から第2位置に前記ステージを移動させ、前記表示パネルに表示された画像に対応する第1画像データに基づいて、有効不良を検出する段階と、
(c)前記第2位置から第3位置に前記ステージを移動させ、前記表示パネルに表示された画像に対応する第2画像データと基準画像データとを用いて外観不良を検出する段階と、
(d)前記第3位置から第4位置に前記ステージを移動させ、前記表示パネルを取り出す段階と、を含む表示パネルの検査方法。 - 前記段階(b)は、
(b−1)前記第1画像データに基づいて、前記表示パネルのアクティブ領域を検出する段階と、
(b−2)前記アクティブ領域に対応する前記第1画像データに存在する不良候補群のうち、無効不良を除去する段階と、
(b−3)前記無効不良が除去された前記第1画像データに存在する前記有効不良を検出する段階と、を含むことを特徴とする請求項17記載の表示パネルの検査方法。 - 前記段階(b)は、
前記検出されたアクティブ領域と所定の実アクティブ領域とを比較する段階と、
前記検出されたアクティブ領域と前記実アクティブ領域とが異なる場合、前記表示パネルに対する検査を終了する段階と、を更に含むことを特徴とする請求項17記載の表示パネルの検査方法。 - 前記有効不良が検出された場合、前記表示パネルに対する検査を終了する段階を更に含むことを特徴とする請求項18記載の表示パネルの検査方法。
- 前記段階(b−1)は、
(b−11)前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第1画像を撮像する段階と、
(b−12)前記撮像された第1画像に対応する第1画像データを出力する段階と、
(b−13)前記第1画像に対応する第1画像データのX軸プロジェクション及びY軸プロジェクションを算出する段階と、
(b−14)前記X軸プロジェクション及びY軸プロジェクションに基づいて、前記表示パネルのアクティブ領域を検出する段階と、を含むことを特徴とする請求項18記載の表示パネルの検査方法。 - 前記段階(b−2)は、
(b−21)前記表示パネルにテスト電圧が印加された状態で前記バックライトにより前記表示パネルに表示された第2画像を撮像する段階と、
(b−22)前記撮像された第2画像を第1画像データとして出力する段階と、
(b−23)前記表示パネルへのテスト電圧が遮断された状態で、フロントライトにより前記表示パネルに表示された第3画像を撮像する段階と、
(b−24)前記撮像された第3画像を第1画像データとして出力する段階と、
(b−25)前記第2画像に対応する第1画像データと前記第3画像に対応する第1画像データとの間の差を算出して、前記無効不良を除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項21記載の表示パネルの検査方法。 - 前記段階(b−3)は、
(b−31)前記無効不良が除去された前記第1画像データの任意の画素と前記任意の画素の周辺画素との間の明るさの差を用いて、前記任意の画素の画素特異性値を算出する段階と、
(b−32)前記画素特異性値を二値化して、不良画素を検出する段階と、
(b−33)前記不良画素を集合化して、有効不良を決定する段階と、を含むことを特徴とする請求項18記載の表示パネルの検査方法。 - 前記段階(c)は、
(c−1)前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトにより前記表示パネルに表示された画像を撮像する段階と、
(c−2)前記撮像された画像を第2画像データとして出力する段階と、
(c−3)前記基準画像データと前記段階(c−2)において出力された第2画像データとの間の差に基づいて、外観不良を検出する段階と、を含むことを特徴とする請求項17記載の表示パネルの検査方法。
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---|---|---|---|
KR1020040091809A KR20060044032A (ko) | 2004-11-11 | 2004-11-11 | 표시패널용 검사 장치 및 이의 검사 방법 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101291794B1 (ko) * | 2006-03-17 | 2013-07-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널 제조 시스템 및 이에 의해 제조된액정표시패널 |
JP4842034B2 (ja) * | 2006-07-12 | 2011-12-21 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶パネルの検査方法および画像処理装置 |
JP4909672B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2012-04-04 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶パネル検査方法及び装置 |
CN100454006C (zh) * | 2006-09-07 | 2009-01-21 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于机器视觉的液晶显示器斑痕缺陷检测方法与系统 |
KR100805873B1 (ko) * | 2006-11-28 | 2008-02-20 | 세광테크 주식회사 | Lcd 패널의 자동 압흔검사장치 |
JP4982213B2 (ja) * | 2007-03-12 | 2012-07-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
KR101494466B1 (ko) * | 2007-12-14 | 2015-02-23 | 엘지전자 주식회사 | 이물질검출장치 및 이물질검출방법 |
CN101576594B (zh) * | 2008-05-06 | 2011-05-04 | 大元科技股份有限公司 | 自动光学检查设备及其光源模块 |
US8488001B2 (en) * | 2008-12-10 | 2013-07-16 | Honeywell International Inc. | Semi-automatic relative calibration method for master slave camera control |
US9930297B2 (en) * | 2010-04-30 | 2018-03-27 | Becton, Dickinson And Company | System and method for acquiring images of medication preparations |
US8520080B2 (en) | 2011-01-31 | 2013-08-27 | Hand Held Products, Inc. | Apparatus, system, and method of use of imaging assembly on mobile terminal |
US8502967B2 (en) * | 2011-02-01 | 2013-08-06 | Cooper S. K. Kuo | Apparatus for optical inspection |
KR20140007583A (ko) | 2012-07-09 | 2014-01-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시패널 검사 장치 및 그 방법 |
KR101474611B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2014-12-18 | 삼성전기주식회사 | 불량위치 분석 시스템 및 방법 |
CN103063405A (zh) * | 2012-12-18 | 2013-04-24 | 黄山市中显微电子有限公司 | 一种lcd产品响应速度测试仪器 |
JP6104016B2 (ja) * | 2013-04-01 | 2017-03-29 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶パネル検査装置 |
KR20150001094A (ko) | 2013-06-26 | 2015-01-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 검사 방법 |
KR101362330B1 (ko) * | 2013-08-21 | 2014-02-12 | 한동희 | 디스플레이용 패널의 검사장치 |
KR101362329B1 (ko) * | 2013-09-12 | 2014-02-12 | 한동희 | 디스플레이용 패널의 검사장치 |
KR20150066018A (ko) * | 2013-12-05 | 2015-06-16 | 주식회사 이엘피 | Amoled 패널 검사를 위한 표시 패널 검사 장치 및 그 방법 |
CN105701436A (zh) * | 2014-11-27 | 2016-06-22 | 英业达科技有限公司 | 检测显示模块间隙宽度的方法 |
CN105628710A (zh) * | 2014-11-28 | 2016-06-01 | 浙江金徕镀膜有限公司 | 物料检测系统及其检测方法 |
CN104460060B (zh) * | 2014-12-05 | 2018-02-06 | 深圳鼎晶光电有限公司 | 液晶显示模组光学检测设备及方法 |
CN104506855B (zh) * | 2015-01-09 | 2017-01-18 | 重庆卓美华视光电有限公司 | 裸眼3d模组校正装置及方法 |
CN106153296B (zh) * | 2015-04-28 | 2019-02-12 | 信泰光学(深圳)有限公司 | 亮度异常提醒保护装置与方法 |
CN104765173B (zh) * | 2015-04-29 | 2018-01-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种检测装置及其检测方法 |
CN105044127A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-11 | 深圳市星火辉煌系统工程有限公司 | 一种oled微型显示器缺陷检测装置及检测方法 |
CN105206233B (zh) * | 2015-09-11 | 2018-05-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种驱动模式切换方法及模块和显示装置 |
CN107655899A (zh) * | 2015-12-23 | 2018-02-02 | 苏州精濑光电有限公司 | 光学检测机 |
WO2017156046A1 (en) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | Hyla, Inc. | Screen damage detection for devices |
CN106442560A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-02-22 | 汕头大学 | 一种显示屏的定位测量与缺陷检测方法 |
CN110088828A (zh) * | 2016-10-26 | 2019-08-02 | 堺显示器制品株式会社 | 校正系统 |
CN107015385A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-08-04 | 惠科股份有限公司 | 一种显示面板的检测方法和检测装置 |
CN106842651A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-06-13 | 惠科股份有限公司 | 显示装置及显示面板的测试方法 |
CN207068439U (zh) * | 2017-08-16 | 2018-03-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 点灯机 |
CN107564446A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-01-09 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种面板点灯机、面板点灯测试系统及测试方法 |
KR102411607B1 (ko) | 2017-10-13 | 2022-06-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 패널의 검사 방법 |
CN108333805B (zh) * | 2018-02-26 | 2020-11-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 不良点坐标自动检测方法和装置、设备和存储介质 |
KR102667359B1 (ko) * | 2018-12-04 | 2024-05-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 검사 장치 및 이의 구동 방법 |
EP4032017A1 (en) | 2019-09-16 | 2022-07-27 | Assurant, Inc. | System, method, apparatus, and computer program product for utilizing machine learning to process an image of a mobile device to determine a mobile device integrity status |
CN110657948B (zh) * | 2019-09-26 | 2021-01-15 | 联想(北京)有限公司 | 用于测试电子设备的屏幕的方法、装置、测试设备和介质 |
CN110988558B (zh) * | 2019-12-20 | 2022-06-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种触摸屏测试系统及方法 |
US11580627B2 (en) | 2020-01-06 | 2023-02-14 | Assurant, Inc. | Systems and methods for automatically grading pre-owned electronic devices |
CN114923672B (zh) * | 2022-05-17 | 2023-10-17 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种液晶显示面板的光学性能检测方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002277412A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 検査画面の表示方法及び基板検査システム |
JP2003042900A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Seiko Epson Corp | 検査装置及び検査方法 |
JP2004286532A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Olympus Corp | 外観検査方法及びその装置 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01101646A (ja) * | 1987-10-15 | 1989-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | アクティブマトリクス液晶表示装置の製造方法 |
US5285150A (en) * | 1990-11-26 | 1994-02-08 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for testing LCD panel array |
US5235272A (en) * | 1991-06-17 | 1993-08-10 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for automatically inspecting and repairing an active matrix LCD panel |
US5184082A (en) * | 1991-09-18 | 1993-02-02 | Honeywell Inc. | Apparatus and method for testing an active matrix pixel display |
US5256578A (en) * | 1991-12-23 | 1993-10-26 | Motorola, Inc. | Integral semiconductor wafer map recording |
US5764209A (en) * | 1992-03-16 | 1998-06-09 | Photon Dynamics, Inc. | Flat panel display inspection system |
IL108974A (en) * | 1994-03-14 | 1999-11-30 | Orbotech Ltd | Device and method for testing a display panel |
JPH08292406A (ja) * | 1995-04-24 | 1996-11-05 | Advantest Corp | Lcdパネル検査装置 |
US5917935A (en) * | 1995-06-13 | 1999-06-29 | Photon Dynamics, Inc. | Mura detection apparatus and method |
JP3333686B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2002-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 表示画面検査方法 |
US5850205A (en) * | 1997-03-10 | 1998-12-15 | Northern Telecom Limited | Automatic contrast control for liquid crystal displays |
WO1998048403A1 (en) | 1997-04-23 | 1998-10-29 | Sarnoff Corporation | Active matrix light emitting diode pixel structure and method |
US6396505B1 (en) * | 1998-10-07 | 2002-05-28 | Microsoft Corporation | Methods and apparatus for detecting and reducing color errors in images |
JP4514871B2 (ja) | 1999-01-29 | 2010-07-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置および電子機器 |
JP4334045B2 (ja) | 1999-02-09 | 2009-09-16 | 三洋電機株式会社 | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP2000321545A (ja) | 1999-03-05 | 2000-11-24 | Ricoh Co Ltd | 液晶パネル検査装置 |
JP3711781B2 (ja) | 1999-03-12 | 2005-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びその製造方法 |
US6483937B1 (en) * | 1999-06-17 | 2002-11-19 | International Business Machines Corporation | Process for inspecting an object |
IL131282A (en) * | 1999-08-05 | 2009-02-11 | Orbotech Ltd | Apparatus and methods for inspection of objects |
US6716588B2 (en) * | 1999-12-09 | 2004-04-06 | Cellomics, Inc. | System for cell-based screening |
DE10025751A1 (de) * | 2000-05-24 | 2001-12-06 | Atg Test Systems Gmbh | Verfahren zum Untersuchen einer leiterplatte an einem vorbestimmten Bereich der Leiterplatte und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
KR100512716B1 (ko) * | 2001-05-04 | 2005-09-07 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이장치의 색상조정방법 |
JP2003061115A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-28 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 電子ディスプレイ画質検査装置 |
US6859677B2 (en) * | 2001-10-25 | 2005-02-22 | International Truck Intellectual Property Company, Llc | Assembly verification method and inspection system |
US6741377B2 (en) * | 2002-07-02 | 2004-05-25 | Iridigm Display Corporation | Device having a light-absorbing mask and a method for fabricating same |
JP4027284B2 (ja) * | 2002-07-26 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置の製造方法 |
JP4536514B2 (ja) * | 2002-09-20 | 2010-09-01 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | フレキシブルディスプレイにおけるルミネセンスおよび色の変化補正 |
KR100541449B1 (ko) * | 2003-07-23 | 2006-01-11 | 삼성전자주식회사 | 패널검사장치 |
KR100955486B1 (ko) * | 2004-01-30 | 2010-04-30 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이 패널의 검사장치 및 검사방법 |
US7122819B2 (en) * | 2004-05-06 | 2006-10-17 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for imager die package quality testing |
-
2004
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Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2002277412A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 検査画面の表示方法及び基板検査システム |
JP2003042900A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Seiko Epson Corp | 検査装置及び検査方法 |
JP2004286532A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Olympus Corp | 外観検査方法及びその装置 |
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