JP2006139237A - 表示パネル用検査装置及びその検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ビジュアル検査工程を自動化するための表示パネル用検査装置及びその検査方法が開示される。
【解決手段】 ローディング部は、複数のステージのうち、第１位置のステージ上に表示パネルを装着して、表示パネルの固有番号を認識する。第１画像撮像部は、第２位置に移動されたステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第１画像データを獲得する。第２画像撮像部は、第３位置に移動されたステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第２画像データを獲得する。システム制御部は、第１画像データに基づいて、表示パネルの有効不良を検出し、第２画像データに基づいて、表示パネルの外観不良を検出する。アンローディング部は、第４位置に移動されたステージ上の表示パネルをステージから取り出す。これによって、人力節減、原価節減、及び製品の信頼性向上を図ることができる。
【選択図】 図４

Description

本発明は表示パネル用検査装置及びその検査方法に関し、より詳細には、ビジュアル検査を自動化するための表示パネル用検査装置及びその検査方法に関する。

一般に、液晶表示パネルは、下部基板、前記下部基板と向かい合う上部基板、及び前記下部基板と前記上部基板との間に介在する液晶層で構成される。前記下部基板は、画素領域と前記画素領域を駆動するための駆動信号が印加される周辺領域を有する。

前記画素領域は、第１方向に延長されたデータライン、第２方向に延長され前記データラインと直交するスキャンライン、及び前記スキャンラインとデータラインに連結される画素電極を含み、前記周辺領域にはデータ信号を提供する駆動チップが実装される第１駆動チップパッドと、前記スキャン信号を提供する駆動チップが実装される第２駆動チップパッドを含む。

以上のように主基板（Ｍｏｔｈｅｒ Ｂｏａｒｄ）に多数の下部基板、即ち、表示セルが形成される。表示セル形成後、前記表示セルに形成された配線に対する電気的な動作状態を検査するアレイ検査工程が行われる。その後、液晶注入工程及び前記表示セル単位の切断工程の後、前記表示セル単位で電気的及び光学的な動作状態を検査するためのビジュアル検査工程が行われる。前記ビジュアル検査工程は、一般的に、手作業で、作業者の目で直接不良可否を検査することにより行われる。

最近、中・小型表示パネルの生産量の増加によって、前記手作業によるビジュアル検査工程は多くの問題点を発生させている。例えば、検査工程にかかる時間の遅延による生産性低下、人件費上昇、作業者変動による再教育、不良情報の手作業による管理、及び品質の不安定性等の問題点がある。

本発明の技術的課題は、このような従来の問題点を解決するためのものであって、本発明の目的は、ビジュアル検査を自動化するための表示パネル用検査装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、表示パネルの検査方法を提供することにある。

上述した目的を実現するため、本発明の表示パネル用検査装置は、ターンテーブル、ローディング部、第１画像撮像部、第２画像撮像部、システム制御部、及びアンローディング部を含む。前記ターンテーブルは、複数のステージを具備し、前記ローディング部は、前記複数のステージのうち、第１位置のステージ上に表示パネルを装着して、前記表示パネルの固有番号を認識する。前記第１画像撮像部は、第２位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第１画像データを獲得し出力する。前記第２画像撮像部は、第３位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第２画像データを獲得し出力する。前記システム制御部は、前記第１画像データに基づいて前記表示パネルの画質検査を行い、前記第２画像データに基づいて前記表示パネルの外観検査を行う。前記アンローディング部は、第４位置に移動された前記ステージ上の表示パネルを前記ステージから取り出す。

前記検査装置は、前記検査用表示パネルを格納するローディングカセット、及び前記ステージから取り出された表示パネルを格納するアンローディングカセットを更に含む。

前記第１画像撮像部及び第２画像撮像部は、前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像する第１カメラ及び第２カメラと、 前記第１カメラ及び第２カメラにより撮像された画像を前記第１画像データとして信号処理して出力する第１信号処理部及び第２信号処理部をそれぞれ含む。

前記ステージは、バックライト部、支持部材、フロントライト部、及び信号発生部を含む。前記バックライト部は、前記表示パネルの背面から光を発散し、前記支持部材は、前記バックライト部の上方に配置され、前記表示パネルを支持する。前記フロントライト部は、前記表示パネルの前面で光を発散し、前記信号発生部は、前記表示パネルに電気的信号を印加する。

前記システム制御部は、前記ステージ上の表示パネルを電気的及び／又は光学的に駆動させるように前記ステージを制御する。

前記システム制御部は、画質検査部、外観検査部、及び制御部を含む。前記画質検査部は、前記第１画像撮像部から提供された前記第１画像データに基づいて有効不良を検出する。前記外観検査部は、前記第２画像撮像部から提供された前記第２画像データに基づいて外観不良を検出する。

前記画質検査部は、アクティブ領域決定部、無効不良除去部、及び有効不良検出部を含む。前記アクティブ決定部は、前記第１画像データのＸ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクションを算出して、前記表示パネルのアクティブ領域を決定する。前記無効不良除去部は、前記アクティブ領域に対応する前記第１画像データに存在する不良候補群のうち、無効不良を第１画像データから除去する。前記有効不良検出部は、前記無効不良除去部により無効不良が除去された前記第１画像データに存在する有効不良を検出する。

好ましく、前記制御部は、前記アクティブ領域決定部から得られた前記表示パネルのアクティブ領域が、実際表示パネルのアクティブ領域と異なる場合、前記画質検査部及び前記外観検査部の動作を停止させるように制御する。又、前記制御部は、前記有効不良検出部で前記第１画像データから前記有効不良が検出される場合、前記外観検査部の動作を停止させるように制御する。

前記外観検査部は、基準データ保存部及び外観不良検出部を含む。前記基準データ保存部には、正常的な外観を有する表示パネルの画像データである基準画像データが保存され、前記外観不良検出部は、前記基準画像データと前記第２画像データとを比較して、前記表示パネルの外観不良を検出する。

前記アクティブ領域決定部は、前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態で前記バックライトにより前記表示パネルに表示された第１画像に対応する前記第１画像データに基づいて、前記アクティブ領域を決定する。

前記無効不良除去部は、表示パネルにテスト電圧が印加された状態でバックライトにより前記表示パネルに表示された第２画像に対応する第１画像データと、表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でフロントライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第３画像に対応する第１画像データとの間の差を算出することによって、上記第２画像に対応する第１画像データから前記表示パネルの無効不良を除去する。

前記有効不良検出部は、前記無効不良除去部により無効不良が除去された後の第１画像データの任意の画素と前記任意の画素の周辺画素との間の明るさの差を用いて、前記任意の画素の画素特異性値を算出し、前記画素特異性値を二値化して、不良画素を検出し、前記検出された不良画素を集合化して、有効不良を決定する。

好ましく、前記任意の画素に対する画素特異性値（Ｓ（ｘ,ｙ））は、

により算出される（ここで、Ｐ（ｘ，ｙ）は、マトリックス形態で構成される任意の座標（ｘ，ｙ）に位置した画素の明るさの値であり、ｋ，ｎは自然数である）。

前記外観不良検出部は、表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された画像に対応する第２画像データと基準画像データとの間の差に基づいて、外観不良を検出する。

上述した本発明の他の目的を実現するため、本発明の検査装置の検査方法は、（ａ）ターンテーブル上に設けられた複数のステージのうち、第１位置にあるステージ上に装着された前記表示パネルの固有番号を認識し、（ｂ）第２位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像に対応する第１画像データに基づいて、有効不良を検出し、（ｃ）第３位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像に対応する第２画像データと基準画像データとを用いて外観不良を検出し、（ｄ）第４位置に移動された前記ステージ上の表示パネルを前記ステージから取り出すことを含む。

前記段階（ｂ）は、（ｂ−１）前記第１画像データに基づいて、前記表示パネルのアクティブ領域を検出し、（ｂ−２）前記アクティブ領域に対応する前記第１画像データに存在する不良候補群のうち、無効不良を除去し、（ｂ−３）前記無効不良が除去された前記第１画像データに存在する有効不良を検出することを含む。

好ましく、前記段階（ｂ）は、前記検出されたアクティブ領域と所定の実アクティブ領域とを比較し、前記検出されたアクティブ領域と実アクティブ領域とが異なる場合、表示パネルに対するの検査を終了させる。前記段階（ｂ−３）で有効不良が検出された場合は、表示パネルに対する検査を終了させる。ここで、前記段階（ｂ−１）は、（ｂ−１１）表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第１画像を撮像し、（ｂ−１２）前記撮像された第１画像に対応する第１画像データを出力し、（ｂ−１３）前記第２画像に対応する第１画像データのＸ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクションを算出し、（ｂ−１４）前記Ｘ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクションに基づいて、前記表示パネルのアクティブ領域を検出することを含む。

又、前記段階（ｂ−２）は、（ｂ−２１）表示パネルにテスト電圧が印加された状態でバックライトにより前記表示パネルに表示された第２画像を撮像する段階と、（ｂ−２２）前記撮像された第２画像を第１画像データとして出力する段階と、（ｂ−２３）前記表示パネルへのテスト電圧が遮断された状態で、フロントライトにより前記表示パネルに表示された第３画像を撮像する段階と、（ｂ−２４）前記撮像された第３画像を第１画像データとして出力する段階と、（ｂ−２５）前記第２画像に対応する第１画像データと前記第３画像に対応する第１画像データとの間の差を算出して、前記無効不良を除去する段階と、を含む。

又、前記段階（ｂ−３）は、（ｂ−３１）前記無効不良が除去された前記第１画像データの任意の画素と前記任意の画素の周辺画素との間の明るさの差を用いて、前記任意の画素の画素特異性値を算出し、（ｂ−３２）前記画素特異性値を二値化して、不良画素を検出し、（ｂ−３３）前記不良画素を集合化して、有効不良を決定する。

一方、前記段階（ｃ）は、（ｃ−１）前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトにより前記表示パネルに表示された画像を撮像し、（ｃ−２）前記撮像された画像を第２画像データとして出力し、（ｃ−３）前記基準画像データと前記第２画像データとの間の差に基づいて、外観不良を検出する。

このような表示パネル用検査装置及びその検査方法によると、ビジュアル検査工程を自動化することにより、人力節減及び原価節減及び製品の信頼性向上等を図ることができる。

以下、添付図面を参照して、本発明をより詳細に説明する。

図１は、本発明の実施例に係る表示パネル用検査装置に対する概略的な斜視図である。

図１を参照すると、検査装置は、ＯＣＲ部１１０、第１画像撮像部１２０、第２画像撮像部１３０、器具部、及びシステム制御部２００を含む。

前記ＯＣＲ（ｏｐｔｉｃａｌ ｃｈａｒａｃｔｅｒ ｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎ）部１１０は、前記検査装置に載置された検査用表示パネル（以下、「表示パネル」という）の固有番号を認識する。前記認識された固有番号は、前記システム制御部２００に提供され、前記システム制御部２００は、前記固有番号に基づいて、以後進行される検査の結果データを管理する。

前記第１画像撮像部１２０は、前記表示パネルが電気的及び光学的に駆動されることにより表示する画像を撮像して、前記システム制御部２００に第１画像データとして提供する。

前記第２画像撮像部１３０は、前記表示パネルが光学的駆動により表示される画像を撮像して、撮像された画像の画像データを前記システム制御部２００に第２画像データとして提供する。

前記器具部は、ターンテーブル４１１、複数のステージ４１０、４２０、４３０、４４０、カメラ移動部材４１２、ローディングカセット４６１、アンローディングカセット４６２、カセット移送部材４６３、ローディングアーム部材４７１、アンローディングアーム部材４７２等を含み、前記器具部は、前記システム制御部２００の制御により検査工程の進行順序に従って駆動される。

前記ターンテーブル４１１には、前記表示パネルが装着される多数のステージ４１０、４２０、４３０、４４０が配置される。前記ターンテーブル４１１は、前記ステージに装着された前記表示パネルを検査進行順序に従って、配置された前記検査部（ＯＣＲ部１１０、第１画像撮像部１２０、第２画像撮像部１３０）の位置に移動させる。

前記カメラ移動部材４１２は、前記第１画像撮像部１２０及び第２画像撮像部１３０に設けられた第１カメラ及び第２カメラの位置を、前記表示パネルの大きさに対応して、上下方向（図１に示したＺ軸に沿う、＋Ｚ方向及び−Ｚ方向）に移動させる。即ち、前記表示パネルの大きさが小さい場合には、前記第１カメラ及び第２カメラを下（−Ｚ方向）に移動させ、前記表示パネルの大きさが大きい場合には、前記第１カメラ及び第２カメラを上（＋Ｚ方向）に移動させて、被写体との間に焦点距離を確保する。

前記ローディングカセット４６１には、検査のための表示パネルが格納される。図示されたように、実質的に検査が行われている間には、前記ローディングカセット４６１は、符号４６１ａで示すように＋Ｚ方向に立てられた状態にある。

前記アンローディングカセット４６２には、検査が完了した表示パネルが格納される。図示されたように、実質的に検査が進行される間には、前記アンローディングカセット４６２は＋Ｚ方向に立てられた状態４６２ａにあり、前記アンローディングカセット４６２に検査が完了された表示パネルが全部格納されると、−Ｘ方向に横になる。

前記カセット移送部材４６３は、前記ローディングカセット４６１ａが空いている状態になると、前記ローディングカセット４６１ａを取り出し位置に移送する。結果的に、前記ローディングカセット４６１ａは、前記アンローディングカセット４６２ａとして用いられ、検査が完了された表示パネルが格納される。

前記ローディングアーム部材４７１は、前記ローディングカセット４６１ａに格納された表示パネルを順次に取り出して、前記ビジュアル検査工程のスタート点であるＯＣＲ部１１０に対応するステージ４１０に移送する。

前記アンローディングアーム部材４７２は、前記ビジュアル検査工程の終了点である前記外観検査工程が完了する位置にあるステージ４４０に装着された表示パネルを取り出して、前記アンローディングカセット４６２ａに順次に格納する。

前記システム制御部２００は、前記検査装置の全般的な駆動を制御する。

具体的には、前記システム制御部２００は、前記第１画像撮像部１２０から提供された第１画像データに基づいて、前記表示パネルのドット（又は、画素）、ライン、及び光学フィルムによる不良等を検出する。前記システム制御部２００は、前記第２画像撮像部１３０から提供された第２画像データに基づいて、前記表示パネルの外観上の不良を検出する。

図２は、図１に図示された第１画像撮像部の動作を説明するための概念図である。

図２を参照すると、前記第１画像撮像部１２０は、第１カメラ１２１及び第１信号処理部１２３を含む。前記第１カメラ１２１は、前記表示パネル１０１が表示する画像を撮像する。前記第１信号処理部１２３は、第１カメラ１２１から出力される前記撮像された画像の画像信号をフレーム単位の画像データに信号処理して、これを第１画像データとして前記システム制御部２００に出力する。

前記第１画像撮像部１２０は、前記ターンテーブル４１１上の第２位置に位置したステージ４２０に装着された表示パネル１０１に表示された画像を撮像して、第１画像データを獲得する。前記表示パネル１０１に表示される画像は、前記システム制御部２００の制御によって表示パネルが電気的及び光学的に駆動されることにより表示パネル上に表示された画像、又は、光学的に駆動された画像である。

具体的に、前記ステージ４２０は、バックライト部４２１、拡散部材４２２、ジグ４２３、テスト信号発生部４２４、及びフロントライト部４２５を含む。前記バックライト部４２１は、前記表示パネル１０１の背面で光を出射し、前記拡散部材４２２は、前記バックライト部４２１から出射された光を拡散させる。前記ジグ４２３は、前記表示パネル１０１を支持し、前記拡散部材４２２により拡散された光を前記装着された表示パネル１０１の位置にのみ出射するように透過領域ＴＡと遮光領域ＣＡを有する。

前記テスト信号発生部４２３は、前記表示パネル１０１の電気的な動作状態を検査するためのテスト信号を発生する。前記テスト信号は、前記表示パネル１０１のデータラインに印加されるデータ信号及びスキャンラインに印加されるスキャン信号である。前記データ信号は、ブラック画像データ、ホワイト画像データ、レッド画像データ、グリーン画像データ、ブルー画像データ、及びグレイ画像データ等である。

前記フロントライト部４２５は、前記表示パネル１０１の前面で光を出射し、好ましくは、前記表示パネル１０１のエッジに沿って配置される。例えば、多数の発光ダイオードが前記表示パネル１０１のエッジに対応する四角形状の印刷回路基板に配置され、前記表示パネル１０１に対して所定の傾斜角を有する光を提供する。

以上のように、前記ステージ４２０は、液晶表示装置のバックライトアセンブリ及び駆動アセンブリに対応する機能を有しており、前記表示パネル１０１を電気的及び光学的に駆動させて、ドット（又は、画素）、ライン、及び光学フィルム等のような画質不良検査のための画像を表示させる。

図３は、図１に図示された第２画像撮像部の動作を説明するためのブロック図である。

図３を参照すると、前記第２画像撮像部１３０は、第２カメラ１３１及び第２信号処理部１３３を含む。前記第２カメラ１３１は、前記表示パネル１０１が表示する画像を撮像する。前記第２信号処理部１３３は、前記第２カメラ１３１により撮像された画像信号をフレーム単位の画像データに信号処理して、前記システム制御部２００に第２画像データとして出力する。

前記第２画像撮像部１３０は、前記ターンテーブル４１１上の第３位置に位置したステージ４３０に装着された表示パネル１０１に表示された画像を撮像して、第２画像データを獲得する。前記表示パネル１０１に表示された画像は、後述するように前記システム制御部２００の制御によって表示パネルが光学的に駆動されたことにより表示パネルに表示される画像である。

具体的に、前記ステージ４３０は、バックライト部４３１、拡散部材４３２、及びジグ４３３を含む。前記バックライト部４３１は、前記表示パネル１０１の背面から光を出射し、前記拡散部材４３２は、前記バックライト部４３１から出射された光を拡散させる。前記ジグ４３３は、前記表示パネル１０１を支持し、前記拡散された光を前記装着された表示パネル１０１の位置にのみ出射するように、透過領域ＴＡと遮光領域ＣＡを有する。

前記ステージ４３０は、液晶表示装置でバックライトアセンブリに対応する機能を有し、前記表示パネル１０１を光学的に駆動させて、外観上の不良検査のための画像を表示させる。図示していないが、前記ステージ４３０は、フロントライト部及びテスト信号発生部を含むことは当然である。

図４は、図２及び図３に図示されたシステム制御部を説明するためのブロック図である。

図４を参照すると、本発明によるシステム制御部２００は、画質検査部２２０、外観検査部２３０、保存部２４０、出力部２５０、及び制御部２６０を含む。

前記画質検査部２２０は、前記第１画像撮像部１２０から提供される第１画像データに基づいて表示パネルの画質不良データを検出する。前記画質不良データは、ドット（又は、画素）、ライン、及び光学フィルム等の有効不良と、前記有効不良の位置等に対するデータである。具体的に、前記画質検査部２２０は、アクティブ領域決定部２２１、無効不良除去部２２３、及び有効不良検出部２２５を含む。

前記アクティブ領域決定部２２１は、前記第１画像データのＸ軸プロジェクションと、Ｙ軸プロジェクションとを算出して、前記表示パネルのアクティブ領域、即ち、表示領域を決定する。前記無効不良除去部２２３は、アクティブ領域決定部２２１により決定されたアクティブ領域内で無効不良を検出して、不良候補群から除去する。前記無効不良とは、前記表示パネルに発生した不良ではなく、例えば、光学フィルム上のパーティクル及びスクラッチ等の不良のことである。このような無効不良を検出することにより、不必要なオーバーキル（ｏｖｅｒｋｉｌｌ）すなわち不必要に過剰な不良を検出することを防止する。

前記有効不良検出部２２５は、多様な画像処理アルゴリズムを適用して、前記アクティブ領域の実質的な有効不良を検出し、前記有効不良の発生した位置を検出する。例えば、ドット（又は、画素）及びライン等による有効不良を検出する。前記画像処理アルゴリズムは、ＰＳＭ（Ｐｉｘｅｌ Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ）アルゴリズム、二値化、及びブロブ解析アルゴリズム等である。前記ＰＳＭアルゴリズムでは、各画素と周辺画素との間の明るさの差を用いて、画素の特異性値（Ｓｉｎｇｕｌａｒｉｔｙ：Ｓ）を算出して、前記第１画像データがＰＳＭ画像データに変換される。前記二値化処理では、ＰＳＭ画像データを二値化して、不良画素が決定される。前記ブロブ解析アルゴリズムでは、前記決定された不良画素を集積化して、実質的な有効不良が決定される。

前記ＰＳＭアルゴリズムによる任意の画素に対する特異性値（Ｓ）は、次の数式２のように定義される。

ここで、Ｐ（ｘ,ｙ）は、マトリックス形態で構成される任意の座標（ｘ,ｙ）に位置した画素の明るさの値であり、ｋ,ｎは自然数である。また、Ｍａｘ、Ｍｉｎはそれぞれ、２つの値のうち、大きい値、小さい値を意味しており、例えば、Ｍａｘ［α，β］はα、βの２つの値のうち大きい方の値を示し、Ｍｉｎ［α，β］はα、βの２つの値のうち小さい方の値を示す。

前記数式２によって得られた画素の特異性値（Ｓ）に臨界値（Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）を適用して二値化（Ｂ）する。前記二値化（Ｂ）は、次の数式３のように定義される。

前記ＰＳＭアルゴリズムにより二値化された値に基づいて、ブロブ解析（Ｂｌｏｂ Ａｎａｌｙｓｉｓ）アルゴリズムにより、前記「１」を有する不良画素を一つの集合として管理する。

上述したようなＰＳＭアルゴリズム及びブロブ解析アルゴリズムを通じて、前記有効不良検出部２２５は、前記表示パネルのドット（又は、画素）、ライン、及び光学フィルム等による有効不良を検出する。有効不良検出部２２５は、更に、前記有効不良が発生した位置データも検出する。

前記外観検査部２３０は、前記第２画像撮像部１３０から提供された第２画像データに基づいて、前記表示パネルの外観不良情報データを検出する。具体的には、前記外観検査部２３０は、基準データ保存部２３１と外観不良検出部２３３とを含む。前記外観不良検出部２３３は、前記基準データ保存部２３１に保存された基準データと前記第２画像撮像部１３０から提供された第２画像データとを比較して、外観不良を検出する。

前記保存部２４０には、前記表示パネルの固有番号と、前記表示パネルの検査結果データとが保存される。即ち、前記保存部２４０には、前記表示パネルの固有番号と前記検査工程で検出された不良データが連係され保存される。これにより、前記制御部２６０による検査結果データに対する管理が容易になる。

前記出力部２５０はユーザインターフェースであって、例えば、表示装置である。即ち、出力部２５０は、検査結果情報及び検査過程における検査装置の現況を、ユーザに実時間で表示する。又、図示していないが、システム制御部２００にはキーボード及びマウス等の入力部が具備されており、検査装置に対する操作命令等を入力することができる。

前記制御部２６０は、全般的なシステム制御部２００の動作を制御し、前記検査装置の実行手順に対応して、器具駆動部１４０の動作を制御する。具体的には、前記器具駆動部１４０−１は、ターンテーブルを駆動するターンテーブル駆動部４１１−１と、カメラの位置を調整するカメラ駆動部４１２−１、ローディングカセット及びアンローディングカセットの位置を調整するカセット駆動部４６０−１、ＯＣＲ部１１０の位置を調整するＯＣＲ駆動部１１０−１、ローディングアーム及びアンローディングアーム部材の位置を調整するアーム部材駆動部４７０−１を含む。

図５乃至図７は、図４に図示されたアクティブ領域決定部の動作を説明するための概念図である。図５は、前記第１画像撮像部１２０から出力された第１画像データを示した図である。図２乃至図７を参照して説明する。

まず、前記システム制御部２００は、前記ステージ４２０の前記バックライト部４２１のみを駆動させる。前記第１カメラ１２１は、前記バックライト部４２１のみ点灯されたときに前記表示パネルに表示される画像を撮像する。前記第１信号処理部１２３は、撮像された画像を第１画像データに信号処理して、図５に図示された如き第１画像データを前記システム制御部２００に提供する。

図６は、図５に図示された第１画像データに対するＸ軸プロジェクションを示すグラフであり、図７は、図５に図示された第１画像データに対するＹ軸プロジェクションを示すグラフである。このグラフの縦軸に表されるプロファイルは、画素の明るさの値（Ｇｒａｙ Ｌｅｖｅｌ）であり、前記Ｘ軸プロジェクションは、Ｙ軸方向に配列された画素のプロファイル値を加算した値であり、前記Ｙ軸プロジェクションは、Ｘ軸方向に配列された画素のプロファイルを加算した値である。

図６を参照すると、前記Ｘ軸プロジェクションは、ステージ４２０の遮光領域ＣＡに対応してはゼロであり、透過領域ＴＡに対応してはプロジェクションが所定レベル（Ｇｒａｙ Ｌｅｖｅｌ）を有する。一方、図示されたように、前記遮光領域ＣＡと透過領域ＴＡとの境界面では、光が漏れる現象が発生して、前記プロジェクションが急に上昇する部分３１２が存在する。従って、アクティブ領域決定部２２１は、前記プロジェクションが前記所定レベルに維持される区間ＡＡ＿Ｘを前記表示パネルのアクティブ領域のＸ軸長さとして決定する。

図７を参照すると、前記Ｙプロジェクションでも、プロジェクションが所定レベルに維持される区間の両側にプロジェクションが上昇する部分３１１ａ、３１１ｂが存在する。前記部分３１１ａ、３１１ｂは、前記遮光領域ＣＡと透過領域ＴＡとの境界面に光が漏れる現象が発生する部分である。従って、アクティブ領域決定部２２１は、前記プロジェクションが所定レベルに維持される区間ＡＡ＿Ｙを前記表示パネルのアクティブ領域のＹ軸長さとして決定する。

前記制御部２６０は、前記アクティブ領域決定部２２１で決定された表示パネルのアクティブ領域のＸ軸長さＡＡ＿ＸとＹ軸長さＡＡ＿Ｙが、前記表示パネルに対応するモデルの大きさと合うかをチェックする。チェックの結果、モデルの大きさと異なる場合、前記制御部２６０は、異常有無を前記出力部２５０に出力して外部に表示させ、その表示パネルに対する画質検査及び外観検査工程をこれ以上行わないように制御する。

図８乃至図１１は、図４に図示された無効不良除去部の動作を説明するための概念図である。図２乃至図１１を参照して説明する。

図８は、バックライト部４２１を点灯し、テスト信号発生部４２４からテスト信号を表示パネルに印加した場合に、前記第１画像撮像部１２０により獲得された第１画像データＩＭ１を示した図である。図示されたように、第１画像データＩＭ１には、表示パネル１０１の実質的な有効不良（Ｔｒｕｅ Ｄｅｆｅｃｔ：ＴＤ）と光学フィルム及びパーティクル等による無効不良（Ｆａｌｓｅ Ｄｅｆｅｃｔ：ＦＤ）が全部存在する。

図９は、バックライト部４２１を消灯し、フロントライト部４２５を点灯した場合に、前記第１画像撮像部１２０により獲得された第１画像データＩＭ２を図示した図である。このとき、前記表示パネル１０１にはテスト電圧が印加されていない状態（無電界状態）なので、前記第１画像データＩＭ２には、実質的な表示パネル１０１による有効不良は存在しない。即ち、図１０に示すように、フロントライト部４２５が点灯することにより、前記光学フィルム１０２上のパーティクル１０４又はスクラッチ１０６等のような無効不良ＦＤが、前記第１画像撮像部１２０を通じて獲得される。即ち、図１１に図示された前記第１画像データＩＭ２には、無効不良ＦＤのみが存在する。

従って、図８に図示された第１画像データＩＭ１から図９に図示された第１画像データＩＭ２を除去することにより、図１１に図示されたような、前記有効不良ＴＤのみが存在する第１画像データＩＭ３が得られる。前記無効不良除去部２２３は、前記無効不良ＦＤが除去された有効不良ＴＤのみが存在する第１画像データＩＭ３を、前記有効不良検出部２２５に出力する。

図１２乃至図１５は、図４に図示された有効不良検出部の動作を説明するための概念図である。具体的には、図１２乃至図１４は、前記ＰＳＭアルゴリズムを説明するための概念図であり、図１５は、ブロブ解析アルゴリズムを説明するための概念図である。

図１２乃至図１３を参照すると、まず、数式２に基づいて、任意の画素Ｐ（ｘ,ｙ）に対する特異性値Ｓ（ｘ,ｙ）が算出される。

例えば、図１２に示した画素Ｐ（ｘ１,ｙ１）の特異性値Ｓ（ｘ１,ｙ１）は、次の式のように定義される。

前記数式４に示すように、任意の画素の明るさの値と周辺画素の明るさの値との間に差異が殆どない場合には、特異性値は「０」に近接する。即ち、特異性値（Ｓ）が「０」に近接する場合は、不良がない場合を示す。

また、周辺画素の明るさの値より相対的に明るい値を有する画素Ｐ（ｘ３,ｙ３）に対する特異性値Ｓ（ｘ３,ｙ３）は、次の式のように定義される。ここで、前記画素Ｐ（ｘ３,ｙ３）に対する前記周辺画素の明るさの値を「４００」と仮定する。

また、周辺画素の明るさの値より相対的に暗い値「０」を有する画素Ｐ（ｘ４,ｙ４）に対する特異性値Ｓ（ｘ４,ｙ４）は、次の式により定義される。ここで、前記画素Ｐ（ｘ４,ｙ４）に対する前記周辺画素の明るさの値は「３００」と仮定する。

前記数式５及び数式６に示すように、任意の画素が周辺画素の明るさの値と比較して大きいか、小さい場合、つまり任意の画素の明るさの値とその周辺画素の明るさの値との差異が大きい場合、前記特異性値は「０」に近接しない所定の値を有する。即ち、図１３に示すように、特異性値Ｓが０に近接しない所定の値を有する場合には、不良が存在する場合として判断される。

以上のように、前記有効不良検出部２２５は、前記無効不良除去部２２３から提供された無効不良が除去された画像データをＰＳＭ画像データに変換して、有効不良候補群を検出する。

図１４及び図１５を参照すると、前記ＰＳＭ画像データに対して数式３に基づいて二値化処理及びブロブ分析を行うことにより、前記有効不良候補群のうち、実質的な有効不良ＳＴＤが決定され、更に、決定された有効不良ＳＴＤの位置が検出される。

前記ＰＳＭ画像データに存在する有効不良群は、多数の明るさの値を有する不良画素で構成される。例えば、図１４に示すように、有効不良群が第１の明るさの値を有する第１画素Ｐ１と第２の明るさの値を有する第２画素Ｐ２で構成される場合、設定された臨界値によって前記第１画素Ｐ１及び第２画素Ｐ２の全てが実質的な有効不良ＳＴＤ−１として決定される。又は、前記第１画素Ｐ１及び第２画素Ｐ２のうち、いずれか一つのみが、実質的な有効不良ＳＴＤ−２として決定される。

例えば、臨界値ＴＨ１によって二値化された値が「１」である画素Ｐ１,Ｐ２は、一つの実質的な有効不良を構成する要素なので、ブロブ解析アルゴリズムを通じて一つの集合として、即ち、一つの有効不良ＳＴＤ−１として管理される。

前記有効不良ＳＴＤの大きさ及び位置座標は、図１５に示すように検出される。図１５に示す例では、前記有効不良ＳＴＤの大きさは「３９」、左側座標は「１３７８」、右側座標は「１３８６」、上側座標は「７２３」、下側座標は「７２７」、中央のＸ座標は「１３８２」、中央のＹ座標は「７２４９」等の値が検出される。

前記ブロブ解析アルゴリズムを通じて隣接した不良画素を一つの集合として管理することにより、ライン不良及び光学フィルムによる不良等を含む有効不良を検出することができる。前記表示パネルのライン不良は、横方向又は縦方向の直線形態の不良として検出され、光学フィルムによる不良は、ドット形態及び曲率を有する曲線形態の不良として検出される。

図１６乃至図１９は、ライン不良に対応する有効不良（ライン有効不良）を説明するための概念図である。

図１６は、前記ＰＳＭアルゴリズム、二値化処理、及びブロブ解析アルゴリズムを通じて得られたライン有効不良Ｌ−ＳＴＤを含む画像データである。図１７は、図１６に図示された画像データに対してＸ軸プロジェクションのグラフを示す図である。前記Ｘ軸プロジェクションによって、前記ライン有効不良Ｌ−ＳＴＤが発生したデータラインの位置が検出される。即ち、明るさが急に上昇したＸｎ地点のデータラインに不良が発生したことが検出される。

図１８は、図１６に図示された画像データに対してＹ軸プロジェクションのグラフを示す図であって、データライン不良の一例を図示したものである。図１８に示すように、Ｙ軸プロジェクションでＹ座標がＹｎより小さい地点における明るさの値は「０」に近接し、Ｙｎより大きい地点における明るさの値は一定の値を有する。このような場合は、前記Ｘｎ地点のデータラインのＹｎ地点部分にオープンが発生した場合である。

図１９は、データライン不良の他の例によるＹ軸プロジェクションを示す図である。図示されたように、この例では、Ｙ座標がＹｍである地点で明るさの最大値を有し、Ｙ座標が小さくなるほど、明るさの値が漸次小さくなる。これは、前記Ｘｎ地点のデータラインと前記Ｙｍ地点のゲートラインとの間にショートが発生した場合を示している。即ち、検出されたライン形態の有効不良Ｌ−ＳＴＤを通じて、表示パネル上の不良ラインの位置及び不良類型も検出することができる。

以上説明したように、前記画質検査部２２０では、第１画像撮像部１２０から提供された第１画像データに基づいて、ドット（又は、画素）不良、及びライン不良等による不良を含む有効不良が検出される。前記有効不良を検出する工程は、上述したように、（１）アクティブ領域を決定する工程、（２）無効不良を除去する工程、（３）ＰＳＭ／二値化／ブロブ解析等のアルゴリズムを通じて実質的な有効不良及び有効不良の位置を検出する工程、を含む。

このように、前記画質検査部２２０により検出された画質不良情報データは制御部２６０の制御によって前記保存部２４０に保存され、前記制御部２６０を通じて管理される。

図２０乃至図２２は、図４に図示された外観検査部の動作を説明するための概念図である。まず、図３及び図４を参照して説明する。

前記システム制御部２００は、前記ステージ４３０の前記バックライト部４３１のみを駆動させる。前記第２カメラ１３１は、前記バックライト部４３１のみが点灯された状態で、前記表示パネルに表示される画像を撮像する。前記第２信号処理部１３３は、撮像された画像を信号処置して、第２画像データとして前記システム制御部２００に提供する。

図２０は、前記第２画像撮像部で獲得した第２画像データを示した図であり、図２１は、正常的な外観を有する表示パネルの画像データを示す図でる。

前記第２画像撮像部１３０は、前記第２画像データＴＩＭを前記外観検査部２３０に提供する。前記外観不良検出部２３３は、前記基準データ保存部２３１に保存された基準画像データＲＩＭと前記第２画像データＴＩＭとを比較して、不良有無をチェックする。

即ち、不良の有無は、前記第２画像データＴＩＭと前記基準画像データＲＩＭとの間の差を算出することにより検出される。例えば図２０に示すように前記第２画像データに外観不良ＥＤが存在する場合には、図２２に図示されたように、第２画像データＴＩＭから基準画像データＲＩＭを減算した結果として得られた画像データにも外観不良ＥＤ′が存在する。

従って、前記制御部２６０は、前記外観検査部２３０により検出された外観不良情報データを前記保存部２４０に保存する。前記制御部２６０は、前記画質検査部２２０により検出された画質不良情報データと前記外観検査部２３０により検出された外観不良情報データとを管理する。

図２３乃至図２９は、本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するための流れ図である。前記検査装置の検査方法は、画質検査工程（段階Ｓ５００）と、外観検査工程（段階Ｓ６００）とに分けられる。

具体的に、図１乃至図４、及び図２３を参照すると、前記ローディングアーム部材４７１は、前記ローディングカセット４６１ａに格納された表示パネルが順番に、前記ＯＣＲ部１１０に対応するターンターブル４１１上の第１位置４１０に位置したステージに載置する（ステップＳ５１０）。前記ＯＣＲ部１１０は、装填された表示パネル１０１に表示された固有番号を認識して、それを制御部２６０に伝達する。前記制御部２６０は、伝達された前記固有番号に基づいて、この後に行われる、前記表示パネル１０１に対する検査データを管理する。

前記載置過程が完了されると、前記制御部２６０は、前記器具部及び第１画像撮像部１２０を制御して、第１画像データを獲得する（ステップＳ５２０）。

具体的には、図２４に示すフローチャートに基づいて、第１画像データが獲得される。図２４は、図２３に示したステップＳ５２０における第１画像データ獲得処理手順を示すフローチャートである。まず、前記制御部２６０は、ターンテーブル駆動部４１１−１を制御して、前記表示パネル１０１が載置されたステージを前記第１画像撮像部１２０が位置する第２位置４２０に移動させる（ステップＳ５２１）。前記制御部２６０は、前記ステージのバックライト部４２１を点灯させ、テスト信号発生部４２４をオフ（非駆動）にする。すなわち、前記表示パネル１０１を無電界状態で動作させる（ステップＳ５２２）。前記制御部２６０は、第１カメラ１２１を駆動させて、前記表示パネル１０１に表示された第１画像を撮像する（ステップＳ５２３）。第１画像の撮像後、バックライトは消灯される。撮像された第１画像は、第１信号処理部１２３によりで第１画像データに信号処理され、前記画質検査部２２０に出力される（ステップＳ５２４）。

図２３に戻り、前記第１画像撮像部１２０から出力された第１画像データＩＭは、前記画質検査部２２０のアクティブ領域決定部２１１に入力され、アクティブ領域決定部２２１によりアクティブ領域が検出される（ステップＳ５３０）。図２５は、ステップＳ５３０で行われるアクティブ領域を検出する手順を示すフローチャートである。具体的には、図２５に示すように、まず、前記第１画像データＩＭのＸ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクションが算出される（ステップＳ５３１）。そして、算出されたＸ軸プロジェクションと前記Ｙ軸プロジェクションとに基づいて、前記第１画像データＩＭのアクティブ領域ＡＡ_Ｘ、ＡＡ_Ｙが検出される（ステップＳ５３２）。

ここで、前記制御部２６０は、検出された第１画像データＩＭのアクティブ領域ＡＡ＿Ｘ、ＡＡ＿Ｙと、予め保存された前記表示パネル１０１のモデル情報とを比較して、誤謬有無をチェックする（ステップＳ５４０）。ステップＳ５４０におけるチェック結果、検出されたアクティブ領域がモデル情報と異なる場合、前記制御部２６０は、異常の有無を前記出力部２５０に出力して外部に表示し、もうこれ以上の画質検査及び外観検査工程が行われないようにする。

ステップＳ５４０におけるチェックの結果、前記検出されたアクティブ領域と前記モデル情報とが同じ場合、前記制御部２６０は、検出された表示パネル１０１のアクティブ領域に対する画質検査を継続する。

即ち、無効不良が除去される（ステップＳ５５０）。

図２６は、上記ステップＳ５５０において行われる無効不良除去処理手順を示すフローチャートである。図２６に示すように、前記制御部２６０は、バックライト部４２１を点灯させ、テスト信号発生部４２４を駆動させる（ステップＳ５５１）。そして、前記第１カメラ２１２を駆動させて、前記バックライト部４２１から発散された光のみで表示される前記表示パネル１０１の第２画像を撮像する（ステップS５５２）。前記撮像された第２画像は、前記第１信号処理部１２３で第１画像データＩＭ１に信号処理され出力される（ステップＳ５５３）。その後バックライト部４２１は消灯される。前記制御部２６０は、フロントライト部４２５を点灯させ、テスト信号発生部４２４をオフ（非駆動）にする（ステップＳ５５４）。そして、前記第１カメラ１２１を駆動させて、前記フロントライト部４２５から発散された光のみで前記表示パネル１０１上に現れる第３画像を撮像する（ステップＳ５５５）。前記撮像された第３画像は、前記第１信号処理部１２３で信号処理され第１画像データＩＭ２として出力される（ステップＳ５５６）。前記無効不良除去部２２３は、前記第２画像に対応する第１画像データＩＭ１から前記第３画像に対応する前記第２画像データＩＭ２を減算する（ステップＳ５５７）。即ち、第２画像に対応する第１画像データＩＭ１には、表示パネル１０１の実質的な画素及びライン等の不良による有効不良とパーティクル及びスクラッチ等による無効不良とが存在しており、前記第３画像に対応する第１画像データＩＭ２には、前記無効不良のみが存在する。そのため、前記第１画像データＩＭ１と前記第２画像データＩＭ２との差を算出することにより、前記無効不良が除去される。その後、無効不良除去部２２３から、前記無効不良が除去された第１画像データＩＭ３が出力される（段階Ｓ５５８）。

図２３に戻り、前記有効不良検出部２２５は、前記無効不良が除去された前記第１画像データＩＭ３を用いて、前記表示パネル１０１の実質的な不良、例えば、ドット（又は、画素）、ライン、及び光学フィルム等による有効不良及び前記有効不良の位置を検出する（ステップＳ５６０）。

図２７は、ステップＳ５６０で行われる有効不良検出処理手順を示すフローチャートである。具体的には、図２７に示すように、まず、前記第１画像データＩＭ３がＰＳＭアルゴリズムを用いて、ＰＳＭ画像データに変換される（ステップＳ５６１）。得られたＰＳＭ画像データは二値化処理され、この二値化処理されたデータに基づいて不良画素が検出される（ステップＳ５６２）。そして、ブロブ解析アルゴリズムを用いて、前記不良画素を集合として管理して、実質的な有効不良が決定される（ステップＳ５６３）。前記実質的な有効不良が決定されると、前記有効不良を分析することにより、その位置が検出される（段階Ｓ５６４）。この際、前記有効不良がライン不良である場合には、Ｘ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクション等に基づいて、ライン断線によるライン不良であるか、又はライン短絡によるライン不良であるかを検出することができる。

前記制御部２６０は、前記有効不良検出部２２５で有効不良が検出されたか否かをチェックする（ステップＳ５７０）。チェックの結果、有効不良が検出されたと判別された場合は、前記制御部２６０は、異常の有無を前記出力部２５０に出力して外部に表示し、この処理以後の検査工程である外観検査工程が行われないようにする。

一方、有効不良検出部２２５で有効不良が検出されなかったと判別された場合は、外観検査工程を行って、外観不良を検出する（ステップＳ６２０）。

図２８は、ステップＳ６２０で行われる外観不良検出処理手順を示すフローチャートである。同図に示すように、前記制御部２６０は、ターンテーブル駆動部４１１−１を制御して、前記表示パネル１０１が搭載されたステージを前記第２画像撮像部１３０が位置する第３位置４３０に移動させる（ステップＳ６１１）。この状態で、前記制御部２６０は、前記ステージのバックライト部４３１を点灯させる（ステップＳ６１２）。前記制御部２６０は、第２カメラ１３１を駆動させて、前記表示パネル１０１に表示された画像を撮像させる（段階Ｓ６１３）。撮像された画像信号は、第２信号処理部１３３で信号処理され、第２画像データＴＩＭとして前記外観検査部２３０に出力される（ステップＳ６１４）。

前記外観検査部２３０の外観不良検出部２３３では、外観不良検出処理が行われる。図２９は、外観不良検出処理手順を示すフローチャートである。外観不良検出部２３３では、入力された前記第２画像データＴＩＭと基準データ保存部２３１に予め保存された基準画像データＲＩＭとの間の差が算出される（ステップＳ６２１）。そして、この算出された差データに基づいて、前記第２画像データに外観不良が存在する場合には、外観不良が検出される（ステップＳ６２２）。

以上のように、画質検査工程及び外観検査工程が終了すると、前記制御部２６０は、ターンテーブル駆動部４１１−１を制御して、検査された表示パネルが載置されているステージを、前記表示パネル１０１を取り出すための第４位置４４０に移動させる。そして、制御部２６０は、アーム部材駆動部４７０−１を制御して、検査が完了した前記表示パネル１０１をアンローディングカセット４６２ａに格納するように、前記アンローディングアーム部材４７２を駆動する。従って、検査工程が完了した表示パネルは、前記アンローディングカセット４６２ａに格納され、前記アンローディングカセット４６２ａは、検査が完了した表示パネルが満たされると、−Ｘ軸方向に横にされる。

以上で説明したように、本発明によると、表示パネル用ビジュアル検査工程を自動化システムとすることにより、中・小型表示装置の使用増加による表示パネルの物量増加に適切に対応することができる。より具体的には、検査工程時間を短縮して、生産性を向上させることができ、人件費を低減させることができ、不良情報自動化管理することができ、品質の安定性を図ることができる。

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。

本発明の実施例による表示パネル用検査装置の概略的な外観斜視図である。 図１に図示された第１画像撮像部の動作を説明するためのブロック図である。 図１に図示された第２画像撮像部の動作を説明するためのブロック図である。 図２及び図３に図示されたシステム制御部を説明するためのブロック図である。 図４に図示されたアクティブ領域決定部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示されたアクティブ領域決定部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示されたアクティブ領域決定部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された無効不良除去部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された無効不良除去部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された無効不良除去部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された無効不良除去部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された有効不良検出部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された有効不良検出部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された有効不良検出部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された有効不良検出部の動作を説明するための概念図である。 ライン不良に対応する有効不良の検出処理を説明するための概念図である。 ライン不良に対応する有効不良の検出処理を説明するための概念図である。 ライン不良に対応する有効不良の検出処理を説明するための概念図である。 ライン不良に対応する有効不良の検出処理を説明するための概念図である。 図４に図示された外観検査部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された外観検査部の動作を説明するための概念図である。 図４に図示された外観検査部の動作を説明するための概念図である。 本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するフローチャートである。 本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するフローチャートである。 本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するフローチャートである。 本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するフローチャートである。 本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するフローチャートである。 本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するフローチャートである。 本発明の実施例による表示パネル用検査装置による検査方法を説明するフローチャートである。

符号の説明

１１０ ＯＣＲ部
１２０ 第１画像撮像部
１３０ 第２画像撮像部
１４０−１ 器具駆動部
２００ システム制御部
２２０ 画質検査部
２２１ アクティブ領域決定部
２２３ 無効不良除去部
２２５ 有効不良検出部
２３０ 外観検査部
２３１ 基準データ保存部
２３３ 外観不良検出部
２５０ 出力部
２６０ 制御部

Claims (24)

1. 複数のステージを具備したターンテーブルと、
   前記複数のステージのうち、第１位置のステージ上に表示パネルを装着して、前記表示パネルの固有番号を認識するローディング部と、
   第２位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第１画像データを出力する第１画像撮像部と、
   第３位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像して、第２画像データを出力する第２画像撮像部と、
   前記第１画像データに基づいて前記表示パネルの画質検査を行い、前記第２画像データに基づいて前記表示パネルの外観検査を行うシステム制御部と、
   第４位置に移動された前記ステージ上の表示パネルを前記ステージから取り出すアンローディング部と、
   を含む表示パネル用検査装置。
2. 前記検査用表示パネルを格納するローディングカセットと、
   前記ステージから取り出された表示パネルを格納するアンローディングカセットと、を更に含むことを特徴とする請求項１記載の表示パネル用検査装置。
3. 前記第１画像撮像部は、
   前記第２位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像する第１カメラと、
   前記第１カメラにより撮像された画像を信号処理して第１画像データとして出力する第１信号処理部と、を含むことを特徴とする請求項１記載の表示パネル用検査装置。
4. 前記第２画像撮像部は、
   前記第３位置に移動された前記ステージ上の表示パネルに表示された画像を撮像する第２カメラと、
   前記第２カメラにより撮像された画像を信号処理して前記第２画像データとして出力する第２信号処理部と、を含むことを特徴とする請求項１記載の表示パネル用検査装置。
5. 前記ステージは、
   前記表示パネルの背面から光を発散するバックライト部と、
   前記バックライト部の上方に配置され、前記表示パネルを支持する支持部材と、
   前記表示パネルの前面から光を発散するフロントライト部と、
   前記表示パネルに電気的信号を印加する信号発生部と、を含むことを特徴とする請求項１記載の表示パネル用検査装置。
6. 前記システム制御部は、前記ステージ上の表示パネルを電気的及び／又は光学的に駆動させるように前記ステージを制御するように構成されることを特徴とする請求項５記載の表示パネル用検査装置。
7. 前記システム制御部は、
   前記第１画像撮像部から提供された前記第１画像データに基づいて画質検査を行う画質検査部と、
   前記第２画像撮像部から提供された前記第２画像データに基づいて外観検査を行う外観検査部と、
   前記システム制御部の全般的な動作を制御し、前記画質検査部及び前記外観検査部を制御する制御部と、を含むことを特徴とする請求項１記載の表示パネル用検査装置。
8. 前記画質検査部は、
   前記第１画像データのＸ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクションを算出して、前記表示パネルのアクティブ領域を決定するアクティブ領域決定部と、
   前記アクティブ領域に対応する前記第１画像データに存在する不良候補群のうち、無効不良を除去する無効不良除去部と、
   前記無効不良除去部により無効不良が除去された前記第１画像データに存在する有効不良を検出する有効不良検出部と、を含むことを特徴とする請求項７記載の表示パネル用検査装置。
9. 前記制御部は、前記アクティブ領域決定部から得られた前記表示パネルのアクティブ領域が、実際表示パネルのアクティブ領域と異なる場合、前記画質検査部及び前記外観検査部の動作を停止させるように制御するように構成されることを特徴とする請求項８記載の表示パネル用検査装置。
10. 前記制御部は、前記有効不良検出部で前記第１画像データから前記有効不良が検出された場合、前記外観検査部の動作を停止させるように制御するように構成されることを特徴とする請求項８記載の表示パネル用検査装置。
11. 前記外観検査部は、
    正常的な外観を有する表示パネルの画像データである基準画像データが保存された基準データ保存部と、
    前記基準画像データと前記第２画像データとを比較して、前記表示パネルの外観不良を検出する外観不良検出部と、を含むことを特徴とする請求項７記載の表示パネル用検査装置。
12. 前記アクティブ領域決定部は、前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態で前記バックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第１画像に対応する前記第１画像データに基づいて、前記アクティブ領域を決定するように構成されることを特徴とする請求項８記載の表示パネル用検査装置。
13. 前記無効不良除去部は、
    前記表示パネルにテスト電圧が印加された状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第２画像に対応する第１画像データと、前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でフロントライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第３画像に対応する第１画像データとの間の差を算出することにより、前記第２画像に対応する第１画像データから前記表示パネルの無効不良を除去するように構成されることを特徴とする請求項８記載の表示パネル用検査装置。
14. 前記有効不良検出部は、
    前記無効不良除去部により前記無効不良が除去された前記第１画像データの任意の画素と前記任意の画素の周辺画素との間の明るさの差を用いて、前記任意の画素の画素特異性値を算出し、
    前記画素特異性値を二値化して、不良画素を検出し、
    前記不良画素を集合化して、有効不良を決定するように構成されることを特徴とする請求項８記載の表示パネル用検査装置。
15. 前記任意の画素に対する画素特異性値（Ｓ（ｘ,ｙ））は、
    （ここで、Ｐ（ｘ,ｙ）は、マトリックス形態で構成される任意の座標（ｘ,ｙ）に位置した画素の明るさの値であり、前記ｋ，ｎは自然数）により算出されることを特徴とする請求項１４記載の表示パネル用検査装置。
16. 前記外観不良検出部は、前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された画像に対応する第２画像データと前記基準画像データとの間の差に基づいて、外観不良を検出することを特徴とする請求項１１記載の表示パネル用検査装置。
17. （ａ）ターンテーブル上に設けられた複数のステージのうち、第１位置にあるステージの上に装着された表示パネルの固有番号を認識する段階と、
    （ｂ）前記第１位置から第２位置に前記ステージを移動させ、前記表示パネルに表示された画像に対応する第１画像データに基づいて、有効不良を検出する段階と、
    （ｃ）前記第２位置から第３位置に前記ステージを移動させ、前記表示パネルに表示された画像に対応する第２画像データと基準画像データとを用いて外観不良を検出する段階と、
    （ｄ）前記第３位置から第４位置に前記ステージを移動させ、前記表示パネルを取り出す段階と、を含む表示パネルの検査方法。
18. 前記段階（ｂ）は、
    （ｂ−１）前記第１画像データに基づいて、前記表示パネルのアクティブ領域を検出する段階と、
    （ｂ−２）前記アクティブ領域に対応する前記第１画像データに存在する不良候補群のうち、無効不良を除去する段階と、
    （ｂ−３）前記無効不良が除去された前記第１画像データに存在する前記有効不良を検出する段階と、を含むことを特徴とする請求項１７記載の表示パネルの検査方法。
19. 前記段階（ｂ）は、
    前記検出されたアクティブ領域と所定の実アクティブ領域とを比較する段階と、
    前記検出されたアクティブ領域と前記実アクティブ領域とが異なる場合、前記表示パネルに対する検査を終了する段階と、を更に含むことを特徴とする請求項１７記載の表示パネルの検査方法。
20. 前記有効不良が検出された場合、前記表示パネルに対する検査を終了する段階を更に含むことを特徴とする請求項１８記載の表示パネルの検査方法。
21. 前記段階（ｂ−１）は、
    （ｂ−１１）前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトを点灯させることにより前記表示パネルに表示された第１画像を撮像する段階と、
    （ｂ−１２）前記撮像された第１画像に対応する第１画像データを出力する段階と、
    （ｂ−１３）前記第１画像に対応する第１画像データのＸ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクションを算出する段階と、
    （ｂ−１４）前記Ｘ軸プロジェクション及びＹ軸プロジェクションに基づいて、前記表示パネルのアクティブ領域を検出する段階と、を含むことを特徴とする請求項１８記載の表示パネルの検査方法。
22. 前記段階（ｂ−２）は、
    （ｂ−２１）前記表示パネルにテスト電圧が印加された状態で前記バックライトにより前記表示パネルに表示された第２画像を撮像する段階と、
    （ｂ−２２）前記撮像された第２画像を第１画像データとして出力する段階と、
    （ｂ−２３）前記表示パネルへのテスト電圧が遮断された状態で、フロントライトにより前記表示パネルに表示された第３画像を撮像する段階と、
    （ｂ−２４）前記撮像された第３画像を第１画像データとして出力する段階と、
    （ｂ−２５）前記第２画像に対応する第１画像データと前記第３画像に対応する第１画像データとの間の差を算出して、前記無効不良を除去する段階と、
    を含むことを特徴とする請求項２１記載の表示パネルの検査方法。
23. 前記段階（ｂ−３）は、
    （ｂ−３１）前記無効不良が除去された前記第１画像データの任意の画素と前記任意の画素の周辺画素との間の明るさの差を用いて、前記任意の画素の画素特異性値を算出する段階と、
    （ｂ−３２）前記画素特異性値を二値化して、不良画素を検出する段階と、
    （ｂ−３３）前記不良画素を集合化して、有効不良を決定する段階と、を含むことを特徴とする請求項１８記載の表示パネルの検査方法。
24. 前記段階（ｃ）は、
    （ｃ−１）前記表示パネルにテスト電圧が印加されていない状態でバックライトにより前記表示パネルに表示された画像を撮像する段階と、
    （ｃ−２）前記撮像された画像を第２画像データとして出力する段階と、
    （ｃ−３）前記基準画像データと前記段階（ｃ−２）において出力された第２画像データとの間の差に基づいて、外観不良を検出する段階と、を含むことを特徴とする請求項１７記載の表示パネルの検査方法。