CN101576594B - 自动光学检查设备及其光源模块 - Google Patents
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Abstract
一种自动光学检查设备及其光源模块，包括：一载台、一侧向光源模块以及一影像撷取装置。该侧向光源模块设于该载台上方，包括一电路板、多个发光元件以及一反射件。所述发光元件沿一特定方向排列设置于该电路板上，该反射件沿该特定方向延伸，并于面向所述发光元件的一表面凹陷形成一剖面轮廓实质呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点沿该特定方向延伸所形成的焦线，所述发光元件实质地设置于其中的一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，朝该载台方向实质地于另一焦线上形成一侧向线状照明区。本发明所述的自动光学检查设备及其光源模块，可供影像撷取装置清晰地撷取物件表面的电路结构的影像。
Description
技术领域
本发明涉及一种检查设备，特别是涉及一种对一物件表面进行检查的自动光学检查(Automatic Optical Inspection，AOI)设备。
背景技术
如图1所示，一种常见的自动光学检查设备，以影像撷取装置21撷取基板10上受正向光源模块22照明的局部影像，并使基板10相对影像撷取装置21及正向光源模块22移动，使正向光源模块22扫描照明整片基板10，供影像撷取装置21完整撷取基板10上的影像信息。
为了加强影像撷取装置21对基板10上电路结构11的侧面形态所撷取的影像清晰度，常会外加至少一组提供电路结构11侧向照明的侧向光源模块23，以提高电路结构11侧面形态的影像清晰度。
然而，如图2所示，常用以提供侧向照明的侧向光源模块23，主要以多个沿一方向设置于电路板231上的发光二极管元件232所构成。但由于发光二极管元件232的光束具有发散性，若非将各个发光二极管元件232的光束聚焦于电路结构11，否则实际照射在电路结构11的侧面的光线有限，导致于影像撷取装置21所撷取的影像清晰度不佳。
尤其目前基板10多朝大型化发展，所需排列设置的发光二极管元件232多达数十个。要如何获得能有效地将所有发光二极管元件232的光束聚焦于电路结构11，且具有较低制作成本的侧向光源模块，是一待改进的课题。
此外，再参阅图1，现有的正向光源模块22是利用一般的凸透镜221将光线汇聚至分光镜222，再经由分光镜222使光线正向入射于电路结构11表面。由于凸透镜221尺寸受限于设备的结构空间，凸透镜221的面积及厚度都不宜过大，使得由光源223所发出的光线，可经由凸透镜221汇聚至分光镜222的光量也受限，而大幅减少实际到达电路结构11表面的光量，使得光损失率较高。所以，如何降低正向光源模块的光损失率，也为一待改进的课题。
发明内容
本发明的目的是在提供一种具有较佳的侧向照明亮度的自动光学检查设备。
本发明的另一目的，即在提供一种用于上述自动光学检查设备的侧向光源模块。
本发明的另一目的，在提供一种具有较佳的正向照明亮度的自动光学检查设备。
本发明的又一目的，即在提供一种用于上述自动光学检查设备的正向光源模块。
于是，本发明的一方向，提供一种自动光学检查设备，包括：一载台、一设于该载台上方的侧向光源模块及一影像撷取装置；该侧向光源模块，包括：一电路板，多个沿一特定方向排列设置于该电路板上的发光元件及一反射件。该反射件沿该特定方向延伸，并于面向所述发光元件的一表面凹陷形成一剖面轮廓实质呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点沿该特定方向延伸所形成的焦线，所述发光元件实质地设置于其中一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，朝该载台方向实质地于另一焦线上形成一侧向线状照明区。
前述自动光学检查设备也可配合使用一正向光源模块，该正向光源模块包括一光源、一设于该影像撷取装置及该载台之间的分光镜及一设于该光源与该分光镜之间的菲涅耳镜片(Fresnel Lens)；该光源的出光面是沿该特定方向呈长形，且发出的光经过该菲涅耳镜片汇聚于该分光镜，并经由该分光镜朝该载台方向形成一正向线状照明区。或者，前述自动光学检查设备也可配使用一正向光源模块，该正向光源模块包括一光源、一设于该影像撷取装置及该载台之间的分光镜及一设于该光源与该分光镜之间的菲涅耳镜片组。该光源的出光面是沿该特定方向呈长形。该菲涅耳镜片组具有二菲涅耳镜片，且各该菲涅耳镜片的聚光面分别朝向该光源及该分光镜。该光源发出的光经过该菲涅耳镜片组汇聚于该分光镜，并经由该分光镜朝该载台方向形成一正向线状照明区。
本发明所述的自动光学检查设备，该二菲涅耳镜片的焦距不相同。
本发明所述的自动光学检查设备，该光源是由多个沿长形区域排列的光纤所形成。
较佳地，定义一由该正向线状照明区往上延伸至该影像撷取装置的参考面，该侧向光源模块位于该参考面的一侧，且其所形成的该线状照明区也位于该参考面的同一侧并邻近该正向线状照明区。更佳地，前述自动光学检查设备还包括另一侧向光源模块，该二侧向光源模块以相对方向位于该参考面两侧，使该二侧向光源模块形成的线状照明区分别位于该参考面两侧并邻近该正向线状照明区。
本发明所述的自动光学检查设备，该载台可承载一物件沿一垂直该特定方向的移动方向移动。
本发明所述的自动光学检查设备，所述发光元件为发光二极管。
本发明所述的自动光学检查设备，该反射面上还形成一高反射率的镀层。
本发明的另一方向，提供一种自动光学检查设备，包括：一载台、一设于该载台上方的影像撷取装置及一设于该载台上方的正向光源模块。该正向光源模块包括：一出光面沿一特定方向呈长形的光源、一设于该影像撷取装置及该载台之间的分光镜及一设于该光源与该分光镜之间的菲涅耳镜片组。该菲涅耳镜片组具有二菲涅耳镜片，且各该菲涅耳镜片的聚光面分别朝向该光源及该分光镜。该光源发出的光经过该菲涅耳镜片组汇聚于该分光镜，并经由该分光镜朝该载台方向形成一正向线状照明区。
本发明所述的自动光学检查设备，该二菲涅耳镜片的焦距不相同。
本发明所述的自动光学检查设备，该光源发出的光为发散光。
本发明所述的自动光学检查设备，该光源是由多个沿长形区域排列的光纤所形成。
本发明的另一方向，提供一种适用于一自动光学检查设备的侧向光源模块，包括一电路板、多个发光元件以及一反射件。所述发光元件沿一特定方向排列设置于该电路板上，该反射件沿该特定方向延伸，并于面向所述发光元件的一表面凹陷形成一剖面轮廓实质呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点沿该特定方向延伸所形成的焦线，所述发光元件实质地设置于其中的一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，实质地于另一焦线上形成一侧向线状照明区。
本发明所述的侧向光源模块，所述发光元件为发光二极管。
本发明所述的侧向光源模块，该反射面上还形成一高反射率的镀层。
本发明的另一方向，提供一种适用于一自动光学检查设备的正向光源模块，包括：一出光面沿一特定方向呈长形的光源、一设于该影像撷取装置及该载台之间的分光镜及一设于该光源与该分光镜之间的菲涅耳镜片组。该菲涅耳镜片组具有二菲涅耳镜片，且各该菲涅耳镜片的聚光面分别朝向该光源及该分光镜。该光源发出的光经过该菲涅耳镜片组汇聚于该分光镜，并经由该分光镜形成一正向线状照明区。
本发明所述的正向光源模块，该二菲涅耳镜片的焦距不相同。
本发明所述的正向光源模块，该光源发出的光为发散光。
本发明所述的正向光源模块，该光源是由多个沿长形区域排列的光纤所形成。
本发明的另一方向，提供一种自动光学检查设备包括：一载台、一设于该载台上方的侧向光源模块以及一影像撷取装置。该侧向光源模块包括：多个呈环状排列的电路板、多个分别设置于各该电路板相背于其他电路板的外侧面上的发光元件及一反射件。该反射件沿所述电路板外围环状延伸，并于其面向所述发光元件的表面凹陷形成一剖面轮廓实质呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点环状延伸所形成的环状焦线，所述发光元件实质地设置于其中一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，朝该载台方向实质地于另一焦线上形成一侧向环状照明区。该影像撷取装置设于该侧向环状照明区上方。
本发明所述的自动光学检查设备，所述发光元件为发光二极管。
本发明所述的自动光学检查设备，该反射面上还形成一高反射率的镀层。
本发明的又一方向，提供一种适用于一自动光学检查设备的侧向光源模块，包括：多个呈环状排列的电路板、多个分别设置于各该电路板相背于其他电路板的外侧面上的发光元件及一反射件。该反射件沿所述电路板外围环状延伸，并于其面向所述发光元件的表面凹陷形成一剖面轮廓实质呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点环状延伸所形成的环状焦线，所述发光元件实质地设置于其中一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，实质地于另一焦线上形成一侧向环状照明区。
本发明所述的侧向光源模块，所述发光元件为发光二极管。
本发明所述的侧向光源模块，该反射面上还形成一高反射率的镀层。
本发明的有益效果在于：本发明的自动光学检查设备，可通过侧向光源模块具有形成椭圆弧形剖面轮廓的反射面的反射件，将发光元件所发出的光线于物件表面上聚焦形成一高亮度的线状或环状照明区，可供影像撷取装置清晰地撷取物件表面的电路结构的侧面影像。而且，可通过具有菲涅耳镜片的正向光源模块，可在极窄小空间中达到大量汇聚光线、改变光路的效果，不但能大幅降低光量损失，且能于物件的正向表面形成多角度的入射光，而能形成高亮度的正向线状的照明区，可供影像撷取装置清晰地撷取物件表面的电路结构的正面影像。而将所述正向光源模块与所述侧向光源模块一起使用，可具有更佳的照明效果。
附图说明
图1是一说明现有自动光学检查设备的示意图；
图2是一说明现有侧向光源模块的示意图；
图3是一说明本发明的自动光学检查设备的第一较佳实施例的示意图；
图4是一说明该第一较佳实施例的一侧向光源模块的立体图；
图5是一说明该侧向光源模块的一电路板及多个发光元件的立体图；
图6是一说明该侧向光源模块的示意图；
图7是一说明本发明的自动光学检查设备的第二较佳实施例的示意图；
图8是一说明该第二较佳实施例的一侧向光源模块的立体图；
图9是一说明本发明的自动光学检查设备的第三较佳实施例的示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
如图3与图4所示，本发明自动光学检查设备的第一较佳实施例，用以对一物件50表面的电路结构51进行检查，该自动光学检查设备包括一载台40、一影像撷取装置41、一正向光源模块42及二侧向光源模块43。该物件50可为印刷电路板或玻璃基板。
载台40用以承载物件50，并可承载物件50相对光源模块42、43及影像撷取装置41沿一移动方向(图3中朝左的箭头方向)移动。
影像撷取装置41设于载台40上方，可以是CCD或CMOS等装置，以实质垂直物件50表面的方式撷取物件50表面的影像。
正向光源模块42设于载台40上方。在本实施例中，正向光源模块42是使用一般的正向光源模块，包括一光源421、一凸透镜422及一分光镜423。光源421发出的光经过凸透镜422汇聚至分光镜423，利用分光镜423将光线反射以正向地投射于物件50表面上，形成一正向照明区(图中未标号)，以提供物件50表面正向光。正向光源模块42的型式不限，也可为其他现有的正向光源模块。
该二侧向光源模块43设于载台40上方，并沿物件50的移动方向相对地分设于该正向照明区延伸至影像撷取装置41的一参考面I两侧。参阅图4、图5与图6，各侧向光源模块43包括一电路板431、多个沿一特定方向排列设置于电路板431上的发光元件432以及一反射件433。该特定方向与物件50的移动方向垂直。
在本实施例中，电路板431为一长条状印刷电路板。发光元件432可为各种封装型式的发光二极管，可通过电路板431提供电源以发出光线。反射件433配合电路板431及所述发光元件432沿该特定方向延伸，并于面向所述发光元件432的表面凹陷形成一剖面轮廓呈椭圆弧形的反射面434。反射面434具有二分别由椭圆弧形的二焦点F1、F2沿该特定方向延伸所形成的焦线F1’、F2’(未图示)，所述发光元件432设置于其中的一焦线F1’上，使发出的光线可经由反射面434反射后，于另一焦线F2’上形成一沿该特定方向延伸的侧向线状照明区52。亦即，各侧向光源模块43可将光线以侧向(斜向)入射方式投射于物件50表面，而在物件50两侧表面上各形成一侧向线状照明区52。
再者，反射面434上还可形成一高反射率镀层，用以提高所述发光元件432所发出的光线的反射率。
参阅图7与图8，本发明自动光学检查设备的第二较佳实施例，与前述第一较佳实施例大致相同，也包括一载台40、一影像撷取装置41、一正向光源模块42，惟，与第一较佳实施例差异之处在于，本实施例包括一环状的侧向光源模块44。
载台40用以承载物件50，并可承载物件50相对光源模块42、侧向光源模块44及影像撷取装置41沿一移动方向(图7中朝左的箭头方向)移动。
影像撷取装置41设于载台40上方，可以是CCD或CMOS等装置，以实质垂直物件50表面的方式撷取物件50表面的影像。
正向光源模块42设于载台40上方。在本实施例中，正向光源模块42是使用一般的正向光源模块，包括一光源421、一凸透镜422及一分光镜423。光源421发出的光经过凸透镜422汇聚至分光镜423，利用分光镜423将光线反射以正向地投射于物件50表面上，提供物件50表面正向光。正向光源模块42的型式不限，也可为其他现有的正向光源模块。
侧向光源模块44设于载台40上方，包括多个呈环状排列的电路板441、多个分别一对一地设置于各电路板441相背于其他电路板441的外侧面上的发光元件442以及一反射件443。
各电路板441为一印刷电路板。
各发光元件442设置于对应的电路板441，并借电路板441提供电源以发出光线，可为各种封装型式的发光二极管。
反射件443沿所述电路板441外围环状延伸，于反射件443面向所述发光元件442的内表面凹陷形成一剖面轮廓呈椭圆弧形的反射面444，反射面444具有二分别由椭圆弧形的二焦点(图中未标号)环状延伸所形成的环状焦线，所述发光元件442面对反射面444地设置于其中一焦线上，使发出的光线经由反射面444反射后，朝载台方向于另一焦线上形成一侧向环状照明区(图中未标号)。亦即，侧向光源模块44可将光线以侧向(斜向)入射方式投射于物件50表面，而在物件50表面上形成一侧向环状照明区。
此外，还可调整反射件443的剖面轮廓或是调整反射件443的内径，使投射至反射件443所有的剖面轮廓上的光于物件50表面处的焦点重合，以于物件50表面上提供更高的照明亮度。
再者，反射面444上还可形成一高反射率镀层，用以提高发光元件442所发出的光线的反射率。
参阅图9，本发明自动光学检查设备的第三较佳实施例，包括一载台40、一影像撷取装置41、一正向光源模块6及二侧向光源模块43。
载台40可承载物件50沿一移动方向(即图9中朝左的箭头方向)移动。
影像撷取装置41设于载台40上方，可以是CCD或CMOS等装置，用以撷取物件50的电路结构51表面的影像。
正向光源模块6包括：一光源61、一设于影像撷取装置41及载台40之间的分光镜63及一设于光源61与分光镜63之间的菲涅耳镜片组62。在本实施例中，光源61是由多个沿一长形区域排列的光纤(图未示)所形成，该长形区域的长度方向是与该物件的移动方向垂直的一特定方向，亦即，光源61的出光面是沿该特定方向呈长形。而且，光源61发出的光可为多角度的发散光。
菲涅耳镜片组62具有二菲涅耳镜片621、622，且各菲涅耳镜片621、622的聚光面分别朝向光源61及分光镜63。在本实施例中，各菲涅耳镜片621、622与光源61相配合呈长形片状，且可具有不同的焦距，以调整与光源61及分光镜63的距离，借以达到设备空间的有效利用。其中菲涅耳镜片621可汇聚光源61发出的发散光，并将发散光转成平行光，以平行光入射菲涅耳镜片622，而由菲涅耳镜片622再将光线汇聚至分光镜63，并经由分光镜63朝载台40方向形成一正向线状照明区(图中未标号)。菲涅耳镜片组62具有体积小且制作成本低的优点，并能大角度的进光，而能在极窄小的空间内(约几毫米mm)，达到大量聚集光线、改变光路的效果，且可形成线状的照明区。因此，与一般正向光源模块的凸透镜相较，通过菲涅耳镜片组62不但能降低光的损失率，并能增加由多种不同角度入射物件50的正向表面的入射光，且可形成线状的照明区。亦即，通过菲涅耳镜片组62不但能于物件50表面形成正向线状照明区，且能使正向线状照明区具有较佳的亮度。
在本实施例中，正向光源模块6虽使用两个菲涅耳镜片621、622所组成的菲涅耳镜片组62，但是正向光源模块也可使用一菲涅耳镜片(设置方式可如图9所示的菲涅耳镜片622)，并配合可发出平行光的光源即可。
该二侧向光源模块43设于载台40上方，并沿物件50移动方向相对地分设于该正向线状照明区延伸至影像撷取装置41的一参考面I两侧。在本实施例中，该二侧向光源模块43与前述第一较佳实施例大致相同，包括一电路板431、多个沿该特定方向(同光源61的长度方向)排列设置于电路板431上的发光元件432以及一反射件433。各侧向光源模块43的元件说明请参阅前述第一较佳实施例，在此不再详述。该二侧向光源模块43形成的线状照明区分别位于参考面I两侧并邻近该正向线状照明区。
本实施例通过正向光源模块6及二侧向光源模块43，可于待测物件50的正向入射表面及侧向入射表面形成高亮度的线状照明区，特别适合应用于表面具有线状结构的待测物件。
归纳上述，本发明的侧向光源模块通过形成椭圆弧形剖面轮廓的反射面的反射件，将发光元件所发出的光线于物件表面上聚焦形成一高亮度的线状或环状照明区，可供影像撷取装置清晰地撷取物件表面的电路结构的侧面影像。再者，本发明还提供具有菲涅耳镜片的正向光源模块，可在极窄小空间中达到大量汇聚光线、改变光路的效果，不但能大幅降低光量损失，且能于物件的正向表面形成多角度的入射光，而能形成高亮度的正向线状的照明区，可供影像撷取装置清晰地撷取物件表面的电路结构的正面影像。而本发明的正向光源模块与本发明的侧向光源模块一起使用，可具有更佳的照明效果。
Claims (23)
1.一种自动光学检查设备，包括：一载台、一设于该载台上方的第一侧向光源模块及一影像撷取装置；其特征在于，该第一侧向光源模块包括：一电路板，多个沿一特定方向排列设置于该电路板上的发光元件及一反射件；该反射件沿该特定方向延伸，并于面向所述发光元件的一表面凹陷形成一剖面轮廓呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点沿该特定方向延伸所形成的焦线，所述发光元件设置于其中一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，朝该载台方向于另一焦线上形成一侧向线状照明区。
2.根据权利要求1所述的自动光学检查设备，其特征在于，该自动光学检查设备还包括一正向光源模块，该正向光源模块包括一光源、一设于该影像撷取装置及该载台之间的分光镜及一设于该光源与该分光镜之间的菲涅耳镜片；该光源的出光面是沿该特定方向呈长形，且发出的光经过该菲涅耳镜片汇聚于该分光镜，并经由该分光镜朝该载台方向形成一正向线状照明区。
3.根据权利要求1所述的自动光学检查设备，其特征在于，还包括一正向光源模块，该正向光源模块包括一光源、一设于该影像撷取装置及该载台之间的分光镜及一设于该光源与该分光镜之间的菲涅耳镜片组；该光源的出光面是沿该特定方向呈长形；该菲涅耳镜片组具有二菲涅耳镜片，且该二菲涅耳镜片的聚光面分别朝向该光源及该分光镜；该光源发出的光经过该菲涅耳镜片组汇聚于该分光镜，并经由该分光镜朝该载台方向形成一正向线状照明区。
4.根据权利要求3所述的自动光学检查设备，其特征在于，该二菲涅耳镜片的焦距不相同。
5.根据权利要求3所述的自动光学检查设备，其特征在于，该光源是由多个沿长形区域排列的光纤所形成。
6.根据权利要求2至5中任意一项所述的自动光学检查设备，其特征在于，定义一由该正向线状照明区往上延伸至该影像撷取装置的参考面，该第一侧向光源模块位于该参考面的一侧，且其所形成的该侧向线状照明区也位于该参考面的同一侧并相邻于该正向线状照明区。
7.根据权利要求6所述的自动光学检查设备，其特征在于，该自动光学检查设备还包括第二侧向光源模块，该第一侧向光源模块及该第二侧向光源模块以相对方向位于该参考面两侧，使该第一侧向光源模块及该第二侧向光源模块形成的侧向线状照明区分别位于该参考面两侧并相邻于该正向线状照明区。
8.根据权利要求1至5中任意一项所述的自动光学检查设备，其特征在于，该载台能够承载一物件沿一垂直该特定方向的移动方向移动。
9.根据权利要求1所述的自动光学检查设备，其特征在于，所述发光元件为发光二极管。
10.一种自动光学检查设备，包括：一载台、一设于该载台上方的正向光源模块及一影像撷取装置；其特征在于，该正向光源模块包括：一出光面沿一特定方向呈长形的光源、一设于该影像撷取装置及该载台之间的分光镜及一菲涅耳镜片组；该菲涅耳镜片组设于该光源与该分光镜之间，并具有二菲涅耳镜片，且该二菲涅耳镜片的聚光面分别朝向该光源及该分光镜；该光源发出的光经过该菲涅耳镜片组汇聚于该分光镜，并经由该分光镜朝该载台方向形成一正向线状照明区。
11.根据权利要求10所述的自动光学检查设备，其特征在于，该二菲涅耳镜片的焦距不相同。
12.根据权利要求10所述的自动光学检查设备，其特征在于，该光源发出的光为发散光。
13.根据权利要求12所述的自动光学检查设备，其特征在于，该光源是由多个沿长形区域排列的光纤所形成。
14.一种侧向光源模块，适用于一自动光学检查设备，其特征在于，该侧向光源模块包括：一电路板、多个沿一特定方向排列设置于该电路板上的发光元件及一反射件；该反射件沿该特定方向延伸，并于面向所述发光元件的一表面凹陷形成一剖面轮廓呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点沿该特定方向延伸所形成的焦线，所述发光元件设置于其中一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，于另一焦线上形成一侧向线状照明区。
15.根据权利要求14所述的侧向光源模块，其特征在于，所述发光元件为发光二极管。
16.一种正向光源模块，适用于一自动光学检查设备，其特征在于，该正向光源模块包括：一出光面沿一特定方向呈长形的光源、一分光镜及一菲涅耳镜片组；该菲涅耳镜片组设于该光源与该分光镜之间，并具有二菲涅耳镜片，且该二菲涅耳镜片的聚光面分别朝向该光源及该分光镜；该光源发出的光经过该菲涅耳镜片组汇聚于该分光镜，并经由该分光镜形成一正向线状照明区。
17.根据权利要求16所述的正向光源模块，其特征在于，该二菲涅耳镜片的焦距不相同。
18.根据权利要求16所述的正向光源模块，其特征在于，该光源发出的光为发散光。
19.根据权利要求18所述的正向光源模块，其特征在于，该光源是由多个沿长形区域排列的光纤所形成。
20.一种自动光学检查设备，包括：一载台、一设于该载台上方的侧向光源模块及一影像撷取装置；其特征在于，该侧向光源模块，包括：多个呈环状排列的电路板、多个分别设置于各该电路板相背于其他电路板的外侧面上的发光元件及一反射件；该反射件沿所述电路板外围环状延伸，并于该反射件面向所述发光元件的表面凹陷形成一剖面轮廓呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点环状延伸所形成的环状焦线，所述发光元件设置于其中一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，朝该载台方向于另一焦线上形成一侧向环状照明区。
21.根据权利要求20所述的自动光学检查设备，其特征在于，所述发光元件为发光二极管。
22.一种侧向光源模块，适用于一自动光学检查设备，其特征在于，该侧向光源模块包括：多个呈环状排列的电路板、多个分别设置于各该电路板相背于其他电路板的外侧面上的发光元件及一反射件；该反射件沿所述电路板外围环状延伸，并于该反射件面向所述发光元件的表面凹陷形成一剖面轮廓呈椭圆弧形的反射面，该反射面具有二分别由椭圆弧形的二焦点环状延伸所形成的环状焦线，所述发光元件设置于其中一焦线上，使发出的光线经由该反射面反射后，于另一焦线上形成一侧向环状照明区。
23.根据权利要求22所述的侧向光源模块，其特征在于，所述发光元件为发光二极管。
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