JPWO2009072483A1 - 観察装置および観察方法 - Google Patents
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Abstract
Description
10 ウェハ(被観察物)
20 ウェハ支持部(回転保持部)
30 撮像部
40 画像処理部
44 画像連結部
45 欠陥検出部
50 制御部(異常情報作成部)
51 インターフェース部(画像表示部)
A 部分画像
B 連結画像
C 欠陥マップ(異常情報)
Claims (8)
- 被観察物を部分的に撮像可能な撮像部を備え、前記撮像部の撮像領域を前記被観察物に対して相対移動させながら前記被観察物の部分を複数撮像して得られた、前記複数の前記撮像領域における前記被観察物の部分画像を用いて前記被観察物の表面観察を行う観察装置であって、
前記複数の前記部分画像をそれぞれ、前記相対移動に対応する方向の圧縮比が前記相対移動方向と垂直な方向よりも大きくなるように画像圧縮する処理を行うとともに、前記相対移動方向に並ぶように互いに連結して、前記被観察物の部分を前記相対移動方向へ連続的に視認できる連結画像にする画像連結部と、
前記画像連結部により連結された前記連結画像を表示する画像表示部とを有することを特徴とする観察装置。 - 前記画像表示部は、前記連結画像を複数の部分に分けて表示することを特徴とする請求項1に記載の観察装置。
- 前記被観察物を回転可能に保持する回転保持部を有しており、
前記回転保持部は、略円盤状に形成された前記被観察物の回転対称軸を回転軸として、前記撮像部の前記撮像領域に対する前記被観察物の外周端部の相対回転方向が前記相対移動方向となるように前記被観察物を回転駆動し、
前記撮像部は、前記回転軸と直交する方向から前記被観察物の外周端部または外周端部近傍を連続的に複数撮像し、
前記画像連結部は、前記連続的に複数撮像して得られた前記被観察物の外周端部または外周端部近傍に関する前記複数の前記部分画像をそれぞれ前記連結して、前記被観察物の外周端部または外周端部近傍を前記相対回転方向へ連続的に視認できる連結画像にすることを特徴とする請求項1もしくは請求項2に記載の観察装置。 - 前記画像表示部で表示される画像において所望の領域を選択する操作が行われる操作部と、
前記選択された領域に対応する前記部分画像を前記画像表示部に表示させる選択表示制御部とを有することを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の観察装置。 - 前記連結画像における前記相対移動方向に対する変化を示す異常情報を作成し、前記異常情報を前記連結画像と同期させて前記画像表示部に表示させる異常情報作成部を有することを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の観察装置。
- 前記画像表示部で表示される前記異常情報の所望の領域を選択する操作が行われる操作部と、
前記選択された領域に対応する前記部分画像を前記画像表示部に表示させる第2の選択表示制御部とを有することを特徴とする請求項5に記載の観察装置。 - 被観察物を部分的に撮像可能な撮像部により、前記撮像部の撮像領域を前記被観察物に対して相対移動させながら前記被観察物の部分を複数撮像して得られた、前記複数の前記撮像領域における前記被観察物の部分画像を用いて前記被観察物の表面観察を行う観察方法であって、
前記複数の前記部分画像をそれぞれ、前記相対移動に対応する方向の圧縮比が前記相対移動方向と垂直な方向よりも大きくなるように画像圧縮する処理を行うとともに、前記相対移動方向に並ぶように互いに連結して、前記被観察物の部分を前記相対移動方向へ連続的に視認できる連結画像にする画像連結処理と、
前記画像連結処理で連結した前記連結画像を表示する画像表示処理とを有することを特徴とする観察方法。 - 前記画像表示処理において、前記連結画像を複数の部分に分けて表示することを特徴とする請求項7に記載の観察方法。
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