JPH06109919A - Ｌｃｄ用カラーフィルタの欠陥修正法および欠陥修正装置 - Google Patents
Ｌｃｄ用カラーフィルタの欠陥修正法および欠陥修正装置Info
- Publication number
- JPH06109919A JPH06109919A JP26027892A JP26027892A JPH06109919A JP H06109919 A JPH06109919 A JP H06109919A JP 26027892 A JP26027892 A JP 26027892A JP 26027892 A JP26027892 A JP 26027892A JP H06109919 A JPH06109919 A JP H06109919A
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- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は比較的簡単な方法および装置を用
いてＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥を修正できるような
欠陥修正法および欠陥修正装置を提供することを主要な
特徴とする。 【構成】 ＸＹテーブル１上にワーク８を真空チャック
テーブル２によって固定し、ＣＣＤカメラ５により欠陥
位置を検出し、その欠陥位置にＹＡＧレーザ４からレー
ザ光を照射して欠陥箇所を除去し、その部分にディスペ
ンサ６で紫外線硬化樹脂を塗布し、裏面からＵＶランプ
７で光を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させて欠陥を修
正する。その後、ワーク８を洗浄するかあるいは溶剤滴
下用ディスペンサ９で溶剤を滴下し、不要な紫外線硬化
樹脂と溶剤をインク，溶剤吸引用バキューム１０で吸い
取る。
いてＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥を修正できるような
欠陥修正法および欠陥修正装置を提供することを主要な
特徴とする。 【構成】 ＸＹテーブル１上にワーク８を真空チャック
テーブル２によって固定し、ＣＣＤカメラ５により欠陥
位置を検出し、その欠陥位置にＹＡＧレーザ４からレー
ザ光を照射して欠陥箇所を除去し、その部分にディスペ
ンサ６で紫外線硬化樹脂を塗布し、裏面からＵＶランプ
７で光を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させて欠陥を修
正する。その後、ワーク８を洗浄するかあるいは溶剤滴
下用ディスペンサ９で溶剤を滴下し、不要な紫外線硬化
樹脂と溶剤をインク，溶剤吸引用バキューム１０で吸い
取る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＬＣＤ用カラーフィル
タの欠陥修正法および欠陥修正装置に関し、特に、液晶
カラーディスプレイの表面に設けられるカラーフィルタ
の欠陥を修正するような欠陥修正法および欠陥修正装置
に関する。
タの欠陥修正法および欠陥修正装置に関し、特に、液晶
カラーディスプレイの表面に設けられるカラーフィルタ
の欠陥を修正するような欠陥修正法および欠陥修正装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】液晶
ディスプレイ（ＬＣＤ）上にはカラーフィルタが載置さ
れるが、そのカラーフィルタ上に欠陥が生じると、その
欠陥を修正する必要がある。従来より、このような欠陥
を修正するために、欠陥箇所にＹＡＧレーザを照射して
欠陥箇所を焼き飛ばし、焼き飛ばしたことにより生じた
カラーフィルタの色抜け部にインクを塗布し、色抜け部
からの光の透過を防止するという方法により行なわれて
いた。しかし、インクの塗布を人が行なうために、労力
を要し、欠陥箇所が小さい場合には、インクの塗布厚さ
に制限があるため、インクの塗布に熟練を要するなどの
欠点があった。
ディスプレイ（ＬＣＤ）上にはカラーフィルタが載置さ
れるが、そのカラーフィルタ上に欠陥が生じると、その
欠陥を修正する必要がある。従来より、このような欠陥
を修正するために、欠陥箇所にＹＡＧレーザを照射して
欠陥箇所を焼き飛ばし、焼き飛ばしたことにより生じた
カラーフィルタの色抜け部にインクを塗布し、色抜け部
からの光の透過を防止するという方法により行なわれて
いた。しかし、インクの塗布を人が行なうために、労力
を要し、欠陥箇所が小さい場合には、インクの塗布厚さ
に制限があるため、インクの塗布に熟練を要するなどの
欠点があった。
【０００３】それゆえに、この発明の主たる目的は、比
較的簡単な方法および装置を用いて、ＬＣＤ用カラーフ
ィルタの欠陥を修正できるようなＬＣＤ用カラーフィル
タの欠陥修正法および欠陥修正装置を提供することであ
る。
較的簡単な方法および装置を用いて、ＬＣＤ用カラーフ
ィルタの欠陥を修正できるようなＬＣＤ用カラーフィル
タの欠陥修正法および欠陥修正装置を提供することであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
ＬＣＤ用カラーフィルタの色抜け欠陥を修正するための
修正法であって、カラーフィルタの欠陥箇所にカラー紫
外線硬化樹脂を塗布し、カラー紫外線硬化樹脂の塗布面
の反対の面から紫外線樹脂硬化用光を照射し、紫外線照
射時間に応じて樹脂の膜厚をコントロールするように構
成される。
ＬＣＤ用カラーフィルタの色抜け欠陥を修正するための
修正法であって、カラーフィルタの欠陥箇所にカラー紫
外線硬化樹脂を塗布し、カラー紫外線硬化樹脂の塗布面
の反対の面から紫外線樹脂硬化用光を照射し、紫外線照
射時間に応じて樹脂の膜厚をコントロールするように構
成される。
【０００５】より好ましくは、紫外線硬化樹脂が硬化し
た後、洗浄により余分な紫外線硬化樹脂を洗い流すか、
あるいは溶剤を滴下して余分な紫外線硬化樹脂を溶かし
ながら溶剤と共に余分な紫外線硬化樹脂を吸引する。
た後、洗浄により余分な紫外線硬化樹脂を洗い流すか、
あるいは溶剤を滴下して余分な紫外線硬化樹脂を溶かし
ながら溶剤と共に余分な紫外線硬化樹脂を吸引する。
【０００６】請求項４に係る発明は、ＬＣＤ用カラーフ
ィルタの色抜け欠陥を修正するための欠陥修正装置であ
って、ＬＣＤ用カラーフィルタが載置され、水平方向に
移動自在なテーブルと、テーブル上のＬＣＤ用カラーフ
ィルタの欠陥を除去するためのレーザ光を照射するレー
ザ光源と、レーザ光源からのレーザ光により欠陥の除去
されたＬＣＤ用カラーフィルタ上に紫外線硬化樹脂を滴
下するための樹脂滴下手段と、ＬＣＤ用カラーフィルタ
の下面から滴下された紫外線硬化樹脂に紫外線樹脂硬化
用光を照射するための光源とを備えて構成される。
ィルタの色抜け欠陥を修正するための欠陥修正装置であ
って、ＬＣＤ用カラーフィルタが載置され、水平方向に
移動自在なテーブルと、テーブル上のＬＣＤ用カラーフ
ィルタの欠陥を除去するためのレーザ光を照射するレー
ザ光源と、レーザ光源からのレーザ光により欠陥の除去
されたＬＣＤ用カラーフィルタ上に紫外線硬化樹脂を滴
下するための樹脂滴下手段と、ＬＣＤ用カラーフィルタ
の下面から滴下された紫外線硬化樹脂に紫外線樹脂硬化
用光を照射するための光源とを備えて構成される。
【０００７】より好ましくは、硬化した紫外線硬化樹脂
上に余分な紫外線硬化樹脂を溶かすための溶剤を滴下す
る溶剤滴下手段と、溶剤と共に溶けた紫外線硬化樹脂を
吸引するための吸引手段とを備えて構成される。
上に余分な紫外線硬化樹脂を溶かすための溶剤を滴下す
る溶剤滴下手段と、溶剤と共に溶けた紫外線硬化樹脂を
吸引するための吸引手段とを備えて構成される。
【０００８】
【作用】この発明に係るＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥
修正法および欠陥修正装置は、カラーフィルタの欠陥箇
所にカラー紫外線硬化樹脂を塗布し、カラー紫外線硬化
樹脂の塗布面の反対の面から紫外線樹脂硬化用光を照射
し、紫外線の照射時間に応じて樹脂の膜厚をコントロー
ルすることにより、比較的簡単な方法で欠陥を修正す
る。
修正法および欠陥修正装置は、カラーフィルタの欠陥箇
所にカラー紫外線硬化樹脂を塗布し、カラー紫外線硬化
樹脂の塗布面の反対の面から紫外線樹脂硬化用光を照射
し、紫外線の照射時間に応じて樹脂の膜厚をコントロー
ルすることにより、比較的簡単な方法で欠陥を修正す
る。
【０００９】
【実施例】図１はこの発明の方法を説明するための図で
ある。図１（ａ）に示すように、ＬＣＤのガラス２１上
にカラーフィルタ２２が設けられており、このカラーフ
ィルタ２２上に欠陥２３が生じているものとする。この
欠陥２３にＹＡＧレーザ光を照射し、欠陥２３を焼き切
る。このとき、図１（ｂ）に示すように、ＹＡＧレーザ
の照射により、欠陥２３の下のカラーフィルタ２２まで
焼き飛んでしまうことがある。このように、カラーフィ
ルタ２２の一部が飛んでしまうことにより、新たな欠
陥、すなわちカラーフィルタが取れてしまっているた
め、バックライトの光が素通りしてしまい、目で見たと
きによく目立ってしまうという色抜け欠陥が発生してし
まう。そこで、図１（ｃ）に示すように、カラーフィル
タ２２の焼き飛んだ部分の光の透過を防止するために、
色抜け箇所に黒いインクを塗布し、これにより色抜け箇
所からの光の透過を防止する。しかし、インクの塗布厚
には制限があり、この厚さを超えてしまうと欠陥となっ
てしまう。
ある。図１（ａ）に示すように、ＬＣＤのガラス２１上
にカラーフィルタ２２が設けられており、このカラーフ
ィルタ２２上に欠陥２３が生じているものとする。この
欠陥２３にＹＡＧレーザ光を照射し、欠陥２３を焼き切
る。このとき、図１（ｂ）に示すように、ＹＡＧレーザ
の照射により、欠陥２３の下のカラーフィルタ２２まで
焼き飛んでしまうことがある。このように、カラーフィ
ルタ２２の一部が飛んでしまうことにより、新たな欠
陥、すなわちカラーフィルタが取れてしまっているた
め、バックライトの光が素通りしてしまい、目で見たと
きによく目立ってしまうという色抜け欠陥が発生してし
まう。そこで、図１（ｃ）に示すように、カラーフィル
タ２２の焼き飛んだ部分の光の透過を防止するために、
色抜け箇所に黒いインクを塗布し、これにより色抜け箇
所からの光の透過を防止する。しかし、インクの塗布厚
には制限があり、この厚さを超えてしまうと欠陥となっ
てしまう。
【００１０】そこで、この発明では、インクとして、紫
外線硬化樹脂を採用し、図１（ｄ）に示すように、ガラ
ス２１側から紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、インク
の膜厚を紫外線照射時間により制御する。また、この紫
外線を裏面から照射することにより、色抜け部以外のカ
ラーフィルタ部が硬化用の紫外線をマスクする作用をな
し、色抜け箇所のみ硬化させることができる。そして、
図１（ｅ）に示すように、紫外線硬化樹脂が硬化した後
は、洗浄により余分な紫外線硬化樹脂を洗い流すことに
より、欠陥の修正を完了する。
外線硬化樹脂を採用し、図１（ｄ）に示すように、ガラ
ス２１側から紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、インク
の膜厚を紫外線照射時間により制御する。また、この紫
外線を裏面から照射することにより、色抜け部以外のカ
ラーフィルタ部が硬化用の紫外線をマスクする作用をな
し、色抜け箇所のみ硬化させることができる。そして、
図１（ｅ）に示すように、紫外線硬化樹脂が硬化した後
は、洗浄により余分な紫外線硬化樹脂を洗い流すことに
より、欠陥の修正を完了する。
【００１１】上述のごとく、この発明の方法によれば、
カラーフィルタ２２の色抜け欠陥の修正において、修正
用インクに紫外線硬化樹脂を用いることにより、インク
膜厚の制御が可能となるとともに、色抜け箇所のみ硬化
させることが可能となり、従来人手によって行なわれて
いたインクの塗布の自動化が可能となる。
カラーフィルタ２２の色抜け欠陥の修正において、修正
用インクに紫外線硬化樹脂を用いることにより、インク
膜厚の制御が可能となるとともに、色抜け箇所のみ硬化
させることが可能となり、従来人手によって行なわれて
いたインクの塗布の自動化が可能となる。
【００１２】図２はこの発明の方法を用いて欠陥を修正
する欠陥修正装置の外観図である。図２において、ＸＹ
テーブル１はＸ−Ｙ面の水平方向に移動自在に設けられ
ており、その上には真空チャックテーブル２が設けられ
ている。真空チャックテーブル２は欠陥修正対象物とし
てのワーク８をＸＹテーブル１上に固定する働きをす
る。さらに、Ｚ軸方向に上下するＺ軸テーブル３が設け
られ、このＺ軸テーブル３にはＹＡＧレーザ４とＣＣＤ
カメラ５とディスペンサ６とが取付けられている。ＹＡ
Ｇレーザ４はワーク８の欠陥箇所を焼き切るためのレー
ザ光を出射する。ＣＣＤカメラ５はワーク８の画像を取
り込む。ディスペンサ６は欠陥箇所修正用のインク（紫
外線硬化樹脂）を塗布する。なお、Ｚ軸テーブル３はＣ
ＣＤカメラ５で取り込む画像のフォーカシングや、欠陥
箇所を修正する際のＹＡＧレーザ光の焦点位置調整およ
びディスペンサ６の上下移動をする働きをする。さら
に、ＸＹテーブル１の下面にはＵＶランプ７が設けられ
ており、ディスペンサ６により塗布されたインクを固め
るための光を出射する。
する欠陥修正装置の外観図である。図２において、ＸＹ
テーブル１はＸ−Ｙ面の水平方向に移動自在に設けられ
ており、その上には真空チャックテーブル２が設けられ
ている。真空チャックテーブル２は欠陥修正対象物とし
てのワーク８をＸＹテーブル１上に固定する働きをす
る。さらに、Ｚ軸方向に上下するＺ軸テーブル３が設け
られ、このＺ軸テーブル３にはＹＡＧレーザ４とＣＣＤ
カメラ５とディスペンサ６とが取付けられている。ＹＡ
Ｇレーザ４はワーク８の欠陥箇所を焼き切るためのレー
ザ光を出射する。ＣＣＤカメラ５はワーク８の画像を取
り込む。ディスペンサ６は欠陥箇所修正用のインク（紫
外線硬化樹脂）を塗布する。なお、Ｚ軸テーブル３はＣ
ＣＤカメラ５で取り込む画像のフォーカシングや、欠陥
箇所を修正する際のＹＡＧレーザ光の焦点位置調整およ
びディスペンサ６の上下移動をする働きをする。さら
に、ＸＹテーブル１の下面にはＵＶランプ７が設けられ
ており、ディスペンサ６により塗布されたインクを固め
るための光を出射する。
【００１３】図２に示した欠陥検査装置において、ＸＹ
テーブル１を水平方向に移動させながら、ＣＣＤカメラ
５で欠陥箇所を探し出し、欠陥箇所を発見すると、ＹＡ
Ｇレーザ４からレーザ光を欠陥箇所に出射する。そし
て、その部分にディスペンサ６から欠陥修正用の紫外線
硬化樹脂を塗布し、ＵＶランプ７からワーク８に光を照
射して塗布されたインクを硬化させる。
テーブル１を水平方向に移動させながら、ＣＣＤカメラ
５で欠陥箇所を探し出し、欠陥箇所を発見すると、ＹＡ
Ｇレーザ４からレーザ光を欠陥箇所に出射する。そし
て、その部分にディスペンサ６から欠陥修正用の紫外線
硬化樹脂を塗布し、ＵＶランプ７からワーク８に光を照
射して塗布されたインクを硬化させる。
【００１４】図３はこの発明の他の方法を説明するため
の図である。図３において、（ａ），（ｂ）は前述の図
１（ａ），（ｂ）と同じである。前述の図１（ｃ）にお
いては、色抜け部に黒色のインクを塗布するようにした
が、図３（ｃ）においては、色抜け箇所と同色のインク
である紫外線硬化樹脂を塗布する。そして、図３（ｄ）
に示すように、裏面より紫外線を照射し、インクの膜厚
を紫外線照射時間により制御する。この場合において
も、紫外線を裏面から照射することにより、色抜け部以
外のカラーフィルタ部が硬化用紫外線のマスク的働きを
し、色抜け箇所のみ硬化させることができる。インクが
硬化した後は、図３（ｅ）に示すように、溶剤を滴下す
ることにより、余分な紫外線硬化樹脂を溶かしながら、
図３（ｆ）に示すように、余分な紫外線硬化樹脂を溶剤
と共に吸引して吸い取ってしまい、欠陥の修正を完了す
る。
の図である。図３において、（ａ），（ｂ）は前述の図
１（ａ），（ｂ）と同じである。前述の図１（ｃ）にお
いては、色抜け部に黒色のインクを塗布するようにした
が、図３（ｃ）においては、色抜け箇所と同色のインク
である紫外線硬化樹脂を塗布する。そして、図３（ｄ）
に示すように、裏面より紫外線を照射し、インクの膜厚
を紫外線照射時間により制御する。この場合において
も、紫外線を裏面から照射することにより、色抜け部以
外のカラーフィルタ部が硬化用紫外線のマスク的働きを
し、色抜け箇所のみ硬化させることができる。インクが
硬化した後は、図３（ｅ）に示すように、溶剤を滴下す
ることにより、余分な紫外線硬化樹脂を溶かしながら、
図３（ｆ）に示すように、余分な紫外線硬化樹脂を溶剤
と共に吸引して吸い取ってしまい、欠陥の修正を完了す
る。
【００１５】図４はこの発明の他の方法を実施するため
の欠陥修正装置の外観図である。この図４に示した欠陥
修正装置は、以下の点を除いて図２に示した欠陥修正装
置と同じである。すなわち、Ｚ軸テーブル３には修正イ
ンクを滴下するためのディスペンサ６の他に、溶剤を滴
下するための溶剤滴下用ディスペンサ９と、溶かした余
分な紫外線硬化樹脂と溶剤を吸引するためのインク，溶
剤吸引用バキューム１０とが設けられる。このように、
溶剤滴下用ディスペンサ９とインク，溶剤吸引用バキュ
ーム１０とを設けたことによって、紫外線硬化樹脂が硬
化した後、余分な紫外線硬化樹脂を溶かすための溶剤を
滴下し、滴下された溶剤により溶けた余分な紫外線硬化
樹脂と溶剤を吸い取ることができ、図３に示した方法を
実現することができる。
の欠陥修正装置の外観図である。この図４に示した欠陥
修正装置は、以下の点を除いて図２に示した欠陥修正装
置と同じである。すなわち、Ｚ軸テーブル３には修正イ
ンクを滴下するためのディスペンサ６の他に、溶剤を滴
下するための溶剤滴下用ディスペンサ９と、溶かした余
分な紫外線硬化樹脂と溶剤を吸引するためのインク，溶
剤吸引用バキューム１０とが設けられる。このように、
溶剤滴下用ディスペンサ９とインク，溶剤吸引用バキュ
ーム１０とを設けたことによって、紫外線硬化樹脂が硬
化した後、余分な紫外線硬化樹脂を溶かすための溶剤を
滴下し、滴下された溶剤により溶けた余分な紫外線硬化
樹脂と溶剤を吸い取ることができ、図３に示した方法を
実現することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、カラ
ーフィルタの欠陥箇所に紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外
線硬化樹脂の塗布面の反対の面から紫外線樹脂硬化用光
を照射し、紫外線の照射時間に応じて樹脂の膜厚をコン
トロールすることができるので、従来より人手によって
行なわれていたカラーフィルタ色抜け欠陥の修正を自動
化することが可能となる。しかも、紫外線硬化樹脂の膜
厚のコントロールが可能となり、良好な欠陥修正ができ
るとともに、欠陥箇所のみの修正が可能となり、欠陥箇
所以外への紫外線硬化樹脂による影響を削減することが
できる。
ーフィルタの欠陥箇所に紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外
線硬化樹脂の塗布面の反対の面から紫外線樹脂硬化用光
を照射し、紫外線の照射時間に応じて樹脂の膜厚をコン
トロールすることができるので、従来より人手によって
行なわれていたカラーフィルタ色抜け欠陥の修正を自動
化することが可能となる。しかも、紫外線硬化樹脂の膜
厚のコントロールが可能となり、良好な欠陥修正ができ
るとともに、欠陥箇所のみの修正が可能となり、欠陥箇
所以外への紫外線硬化樹脂による影響を削減することが
できる。
【図１】この発明の方法を説明するための図である。
【図２】図１に示した方法を実施するための欠陥修正装
置の外観図である。
置の外観図である。
【図３】この発明の他の方法を説明するための図であ
る。
る。
【図４】図３に示した方法を実施するための欠陥修正装
置の外観図である。
置の外観図である。
１ ＸＹテーブル ２ 真空チャックテーブル ３ Ｚ軸テーブル ４ ＹＡＧレーザ ５ ＣＣＤカメラ ６ ディスペンサ ７ ＵＶランプ ８ ワーク ９ 溶剤滴下用ディスペンサ １０ インク，溶剤吸引用バキューム
Claims (5)
- 【請求項１】 ＬＣＤ用カラーフィルタの色抜け欠陥を
修正するための修正法であって、 前記カラーフィルタの欠陥箇所にカラー紫外線硬化樹脂
を塗布し、前記カラー紫外線硬化樹脂の塗布面の反対の
面から紫外線樹脂硬化用光を照射し、紫外線照射時間に
応じて樹脂の膜厚をコントロールすることを特徴とす
る、ＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥修正法。 - 【請求項２】 さらに、前記紫外線硬化樹脂が硬化した
後、洗浄により余分な紫外線硬化樹脂を洗い流すことを
特徴とする、請求項１のＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥
修正法。 - 【請求項３】 さらに、前記紫外線硬化樹脂が硬化した
後、溶剤を滴下して余分な紫外線硬化樹脂を溶かしなが
ら溶剤と共に前記余分な紫外線硬化樹脂を吸引すること
を特徴とする、請求項１のＬＣＤ用カラーフィルタの欠
陥修正法。 - 【請求項４】 ＬＣＤ用カラーフィルタの色抜け欠陥を
修正するための欠陥修正装置であって、 前記ＬＣＤ用カラーフィルタが載置され、水平方向に移
動自在なテーブル、 前記テーブル上のＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥を除去
するためのレーザ光を照射するレーザ光源、 前記レーザ光源からのレーザ光により欠陥の除去された
ＬＣＤ用カラーフィルタ上に紫外線硬化樹脂を滴下する
ための樹脂滴下手段、および前記ＬＣＤ用カラーフィル
タの下面から前記滴下された紫外線硬化樹脂に紫外線樹
脂硬化用光を照射するための光源を備えた、ＬＣＤ用カ
ラーフィルタの欠陥修正装置。 - 【請求項５】 さらに、前記硬化した紫外線硬化樹脂上
に余分な紫外線硬化樹脂を溶かすための溶剤を滴下する
溶剤滴下手段、および前記溶剤と共に前記溶けた紫外線
硬化樹脂を吸引するための吸引手段を備えた、請求項４
のＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥修正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26027892A JPH06109919A (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Ｌｃｄ用カラーフィルタの欠陥修正法および欠陥修正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26027892A JPH06109919A (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Ｌｃｄ用カラーフィルタの欠陥修正法および欠陥修正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109919A true JPH06109919A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17345833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26027892A Withdrawn JPH06109919A (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | Ｌｃｄ用カラーフィルタの欠陥修正法および欠陥修正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06109919A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5783339A (en) * | 1994-10-13 | 1998-07-21 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Method for preparing a color filter |
| JP2001066418A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
| JP2002250810A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
| KR20030000411A (ko) * | 2001-06-25 | 2003-01-06 | 주식회사 에셀텍 | 엔디 야그 레이저를 이용한 티에프티-엘씨디 수리방법 |
| JP2006013343A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | V Technology Co Ltd | パターン修正装置 |
| WO2006025280A1 (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-09 | V Technology Co., Ltd. | ディスペンサ及び欠陥修正方法 |
| JP2006208716A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | V Technology Co Ltd | カラーフィルタ修正方法 |
| JP2006285130A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Olympus Corp | 欠陥修正装置 |
| US7530682B2 (en) | 2002-08-02 | 2009-05-12 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Correction ink for micro defect of color pattern, color filter, method for correcting micro defect of color pattern, and process for producing ink |
| CN103304148A (zh) * | 2012-03-06 | 2013-09-18 | Ntn株式会社 | 图案修正方法及图案修正装置 |
-
1992
- 1992-09-29 JP JP26027892A patent/JPH06109919A/ja not_active Withdrawn
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5783339A (en) * | 1994-10-13 | 1998-07-21 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Method for preparing a color filter |
| KR100695859B1 (ko) * | 1999-06-25 | 2007-03-20 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 컬러 필터의 결함 수정 방법 |
| JP2001066418A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
| JP4521741B2 (ja) * | 1999-06-25 | 2010-08-11 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
| JP2002250810A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法 |
| KR20030000411A (ko) * | 2001-06-25 | 2003-01-06 | 주식회사 에셀텍 | 엔디 야그 레이저를 이용한 티에프티-엘씨디 수리방법 |
| US7837316B2 (en) | 2002-08-02 | 2010-11-23 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Correction ink for micro defect of color pattern, color filter, method for correcting micro defect of color pattern, and process for producing ink |
| US7530682B2 (en) | 2002-08-02 | 2009-05-12 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Correction ink for micro defect of color pattern, color filter, method for correcting micro defect of color pattern, and process for producing ink |
| JP2006013343A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | V Technology Co Ltd | パターン修正装置 |
| JP2006068627A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | V Technology Co Ltd | ディスペンサ及び欠陥修正方法 |
| WO2006025280A1 (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-09 | V Technology Co., Ltd. | ディスペンサ及び欠陥修正方法 |
| JP2006208716A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | V Technology Co Ltd | カラーフィルタ修正方法 |
| JP4667886B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2011-04-13 | 株式会社ブイ・テクノロジー | カラーフィルタ修正方法 |
| JP2006285130A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Olympus Corp | 欠陥修正装置 |
| JP4729328B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2011-07-20 | オリンパス株式会社 | 欠陥修正装置 |
| CN103304148A (zh) * | 2012-03-06 | 2013-09-18 | Ntn株式会社 | 图案修正方法及图案修正装置 |
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