JPH09184910A

JPH09184910A - カラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置

Info

Publication number: JPH09184910A
Application number: JP34423295A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Ogawa; 伸一小川; Isamu Mizohata; 勇溝畑; Kazuya Otaki; 一也大滝
Original assignee: HOOYA KONTENIYUAMU KK; Sharp Corp
Current assignee: HOOYA KONTENIYUAMU KK; Sharp Corp
Priority date: 1995-12-28
Filing date: 1995-12-28
Publication date: 1997-07-15

Abstract

(57)【要約】【課題】欠陥部に所定の色度の着色層を形成するため
のカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置を
提供する。【解決手段】先ず、カラーフィルタ１の欠陥部５を含
む画素部３に、画素部３と同じ形状に整形されたレーザ
光６を照射し、欠陥部６を含む着色層３ａが除去された
除去部７を形成する。次に、除去部７およびその周辺部
に上記着色層３ａと同じ色相を有する感光性着色層８を
設けた後、除去部７に画素部３と同じ形状に整形された
紫外線９をカラーフィルタ１の表面側から照射し、除去
部７の感光性着色層８のみを露光する。これにより、紫
外線９の光量を感光性着色剤８に含有している着色剤を
完全に架橋できる程度の十分なものとすることができる
ので、修正画素１０は所定の色度を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶カラーディス
プレイに設けられるカラーフィルタの欠陥を修正する欠
陥修正方法および欠陥修正装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】フルカラーの液晶ディスプレイにはカラ
ーフィルタが設けられる。このカラーフィルタは液晶デ
ィスプレイの各画素に対応する画素部を有し、この画素
部には着色層が設けられる。カラーフィルタにおいて
は、上記着色層の形成不良に起因する白抜けまたは混色
等の欠陥を生じることがある。この欠陥は液晶ディスプ
レイの良好なフルカラー表示のために修正する必要があ
る。

【０００３】上記欠陥を修正する従来の方法として、特
開平３−２７４５０４号公報には図３に示すような欠陥
修正方法が開示されている。この欠陥修正方法は、カラ
ーフィルタ３０の画素３１に設けられている着色層３１
ａの欠陥部３２が図示しない検査装置により検出される
と（図３（ａ））、上記画素３１にレーザビーム３３を
照射して欠陥部３２を含む着色層３１ａをブラックマト
リクス３５近傍まで除去して、除去部３６とした後（図
３（ｂ））、この除去部３６にのみ着色剤３７を埋め込
み、欠陥部３２を修正するものである（図３（ｃ））。

【０００４】しかしながら、この欠陥修正方法では、以
下のような欠点がある。 (1) 除去部３６にのみに着色剤３７を埋め込む方法であ
るので、これを作業者の手作業で行う場合、除去部３６
が小さくなると熟練を要する。 (2) 上記埋め込みは、ディスペンサーまたは針を用いて
行われるが、ディスペンサーの径や針先の径を０．１ｍ
ｍ以下に設定することができない。また、着色剤３７の
特性が不均一になると、着色剤３７の塗布量を制御でき
ない。このため、除去部３６が小さくなると、着色層の
層厚を均一に形成することができない。

【０００５】そこで、このような問題を解決するものと
して特開平６−１０９９１９号公報には、図４に示すよ
うな欠陥修正方法が提案されている。この欠陥修正方法
では、カラーフィルタ４０の欠陥部４１が図示しない検
査装置により検出されると（図４（ａ））、先ず、この
欠陥部４１に図示しないＹＡＧ(Yttrium Aluminium Gar
net)レーザからレーザビーム４２を照射することによ
り、カラーフィルタ４０における欠陥部４１の領域を除
去して、除去部４３とする（図４（ｂ））。次に、除去
部４３に図示しないディスペンサを用いて着色剤を含有
している紫外線硬化樹脂４４を塗布する（図４
（ｃ））。その後、ガラス基板４５側、即ちカラーフィ
ルタ４０の裏面側から紫外線４６を照射し、紫外線硬化
樹脂４４を硬化させる（図４（ｄ））。続いて、余分な
紫外線硬化樹脂４４を洗浄して欠陥部４１を修正する
（図４（ｅ））。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記特開平
６−１０９９１９号公報の欠陥修正方法は、以下のよう
な問題点を有している。カラーフィルタ４０には、感光
剤としての紫外線吸収剤が添加されているが、この紫外
線吸収剤は完全に紫外線４６を吸収する訳ではない。こ
のため、除去部４３の紫外線硬化樹脂４４に含有されて
いる着色剤の架橋は不完全なものとなり、上記紫外線硬
化樹脂４４は所定の色度および膜厚を確保することがで
きない。

【０００７】本発明の目的は、欠陥部に所定の色度およ
び層厚の着色層が形成されたカラーフィルタを得るため
のカラーフィルタの欠陥修正方法および欠陥修正装置を
提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１の発明のカラーフィルタの欠陥修正方法
は、多数個並設された画素部を備えているカラーフィル
タの上記画素部が有する着色層の欠陥を修正するカラー
フィルタの欠陥修正方法において、上記画素部の形状に
整形されたレーザ光により、着色層に欠陥部を含み修正
を要する修正画素部の着色層を除去する工程と、着色層
が除去された修正画素部を含む領域に、除去された着色
層と同じ色相の感光性着色層を設ける工程と、上記修正
画素部の感光性着色層に対して、画素部の形状に整形さ
れた露光用光線を感光性着色層の表面側から照射し、こ
の感光性着色層を露光する工程と、露光することにより
感光された感光性着色層を現像する工程と、この現像工
程において感光されていない感光性着色層を洗い流す工
程とを含むことを特徴としている。

【０００９】上記方法によれば、修正画素部の欠陥部を
含む着色層は、レーザ光によって画素部と同じ形状に除
去される。そして、上記着色層が除去された修正画素部
を含む領域に感光性着色層が設けられた後、感光性着色
層を露光させるために感光性着色層の表面側から露光用
光線が照射される。

【００１０】この場合、上記露光用光線はレーザ光と同
じ形状、即ち画素部と同じ形状に整形されているととも
に、カラーフィルタの表面側から照射されているので、
修正画素部の感光性着色層だけを的確に露光することが
できる。そして、露光が終了した後、感光性着色層を現
像し、感光されていない感光性着色層を洗い流すと、修
正画素部のみに新たな着色層が形成される。

【００１１】本発明の方法では、上記のように、画素部
と同じ形状に整形されたレーザ光により欠陥部を含む着
色層を除去するので、この除去部は全て同じものとな
る。

【００１２】この結果、感光性着色層の層厚の設定が容
易になり、形成作業の効率が向上する。

【００１３】また、画素部と同じ形状に整形された露光
用光線により、感光性着色層を表面側から露光するの
で、修正画素部の感光性着色層のみを的確に露光するこ
とができる。これにより、感光性着色層に含有されてい
る着色剤の架橋を十分に行える程度の十分な光量の露光
用光線を照射することができる。

【００１４】この結果、着色層が除去された修正画素部
には所定の色度を有した新たな着色層を適切に設けるこ
とができる。

【００１５】請求項２の発明のカラーフィルタの欠陥修
正方法は、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正
方法において、上記感光性着色層が感光性着色剤をロー
ルコータを用いて塗布することにより設けられることを
特徴としている。

【００１６】上記方法によれば、感光性着色剤をロール
コータにより欠陥部を含む着色層が除去された箇所に塗
布し、感光性着色層を設けることができる。

【００１７】この結果、感光性着色層の形成作業には、
針やディスペンサを用いる必要がなくなるので、上記箇
所の形状、即ち上述した画素部が小さくなっても、感光
性着色層は所定の層厚を確保することができる。

【００１８】請求項３の発明のカラーフィルタの欠陥修
正方法は、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正
方法において、上記感光性着色層は感光性着色フィルム
を貼り付けることにより設けられることを特徴としてい
る。

【００１９】上記方法によれば、欠陥部を含む着色層が
除去された箇所に感光性着色フィルムを貼り付けるだけ
で、感光性着色層を設けることができる。

【００２０】この結果、感光性着色層の形成作業には、
針やディスペンサを用いる必要がなくなるので、上記箇
所の形状、即ち上述した画素部が小さくなっても、感光
性着色層は所定の層厚を確保することができるととも
に、請求項２の欠陥修正方法では必要であった感光性着
色剤の仮硬化が不要となるので、感光性着色層の形成作
業の効率が請求項２の欠陥修正方法よりも向上する。

【００２１】請求項４の発明のカラーフィルタの欠陥修
正装置は、多数個並設された画素部を備えているカラー
フィルタの上記画素部が有する着色層の欠陥を修正する
カラーフィルタの欠陥修正装置において、カラーフィル
タが載置されるステージと、このステージ上のカラーフ
ィルタを撮像し、着色層に欠陥部を含み修正を要する修
正画素部を検出するための欠陥検出手段と、この欠陥検
出手段を使用して検出された上記修正画素部の着色層を
除去するためのレーザ光を出射するレーザ光出射手段
と、着色層が除去された修正画素部を含む領域に設けら
れた感光性着色層を露光するための露光用光線を出射す
る露光用光線出射手段と、上記レーザ光出射手段から出
射されたレーザ光および上記露光用光線出射手段から出
射された露光用光線の形状を上記画素部の形状に整形す
る整形手段と、この整形手段により整形された光線をカ
ラーフィルタの上記修正画素部に収束させる光線収束手
段とを備えていることを特徴としている。

【００２２】上記構成によれば、例えばステージを移動
させつつ、欠陥検出手段を使用してカラーフィルタの修
正画素部の有無を調べる。修正画素部が検出されると、
修正画素部の欠陥部を含む着色層に対してレーザ光出射
手段からレーザ光が出射される。このレーザ光は、光線
収束手段を経て、上記着色層に照射され、この着色層は
画素部と同じ形状に除去される。

【００２３】次に、着色層が除去された修正画素部を含
む周辺部に感光性着色層が設けられると、露光用光線が
露光用光線出射手段から出射される。露光用光線も整形
手段を通過する際に、画素部と同じ形状に整形される。
そして、露光用光線は光線収束手段により画素部と同じ
形状になるように収束され、上記修正画素の感光性着色
層に照射される。このため、着色層が除去された修正画
素部の感光性着色層のみが露光される。

【００２４】本発明の装置では、上記のように、整形手
段によって画素部と同じ形状に整形されたレーザ光によ
り、欠陥部を含む着色層を除去するので、この除去部の
形状は全て同じものとなる。

【００２５】この結果、感光性着色層の層厚の設定が容
易になり、形成作業の効率が向上する。

【００２６】また、レーザ光と同様に整形手段によって
画素部と同じ形状に整形された露光用光線により、感光
性着色層を表面側から露光するので、修正画素部の感光
性着色層のみを的確に露光することができる。これによ
り、感光性着色層に含有されている着色剤の架橋を十分
に行える程度の十分な光量の露光用光線を照射すること
ができる。

【００２７】この結果、着色層が除去された修正画素部
には所定の色度を有した新たな着色層を適切に設けるこ
とができる。

【００２８】請求項５の発明のカラーフィルタの欠陥修
正装置は、請求項４に記載のカラーフィルタの欠陥修正
装置において、上記欠陥検出手段はカラーフィルタの画
像を拡大する拡大光学系部を備え、この拡大光学系部は
上記光線収束手段を兼ねていることを特徴としている。

【００２９】上記構成によれば、部品点数を削減するこ
とができるので、装置の製造コストを削減することがで
きる。

【００３０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１および
図２に基づいて以下に説明する。尚、図１は、本発明の
カラーフィルタの欠陥修正方法の概略を示す説明図であ
り、図２は、上記欠陥修正方法を用いて欠陥を修正する
欠陥修正装置の概略構成を示す説明図である。

【００３１】先ず、図１（ａ）に基づいてカラーフィル
タの構成を説明する。カラーフィルタ１は、例えばガラ
ス基板からなる透明基板２と、この透明基板２の一方の
面に設けられる画素部３と、ブラックマトリクス４とを
備えている。

【００３２】画素部３は液晶セルの各画素に対応してお
り、各画素部３はブラックマトリクス４によりその領域
が区切られている。画素部３は色要素である赤、緑、青
のいずれかの所定の色を有する染料、もしくは顔料を含
有したアクリル系樹脂あるいはポリエステル系樹脂から
なる着色層３ａを有している。また、ブラックマトリク
ス４は黒色着色剤を含有した樹脂のみからなるか、また
はＣｒ、Ａｌ、Ｃｕ等の金属膜からなる。そして、この
ようなカラーフィルタ１の画素部３に白抜けまたは混色
等の欠陥部５が生じたものとする。

【００３３】次に、上記欠陥修正装置の構成を図２に基
づいて説明する。この欠陥修正装置は、レーザ光出射手
段としてのレーザ光出射部１２、露光用光線出射手段と
しての紫外線光源１３、欠陥検出手段としての欠陥検出
部１４、整形手段としての整形部１５、光線収束手段お
よび拡大光学系部としての紫外線透過型顕微鏡１６、ハ
ーフミラー部１７、ステージ１８、透過照明部１９、お
よび筐体２０から構成されている。

【００３４】レーザ光出射部１２は、波長が３５５ｎｍ
または５３２ｎｍの図１（ｂ）に示すレーザ光６を出射
するものであり、ＹＡＧ(Yttrium Aluminium Garnet)レ
ーザヘッド２１とＹＡＧレーザ電源２２とを備えてい
る。ＹＡＧレーザヘッド２１はＹＡＧレーザ電源２２お
よびハーフミラー部１７に接続されており、レーザ光６
を発生させ、ステージ１８に向けて照射するものであ
る。尚、上記レーザ光６の径は後述するスリット１５ａ
の径よりも大きくなっている。また、レーザ光６は波長
が長い程、上述した着色層３ａをより深く除去すること
ができる。従って、レーザ光出射部１２では、波長を切
り換えることにより上記着色層３ａの除去深さを調整す
ることができる。紫外線光源１３は、図１（ｄ）に示す
露光用光線としての紫外線９をステージ１８に向けて出
射するものである。欠陥検出部１４は、ステージ１８上
に載置されたカラーフィルタ１の図１（ａ）に示した欠
陥部５を検出するためのものである。欠陥検出部１４
は、紫外線透過型顕微鏡１６、上記カラーフィルタ１を
撮像するＣＣＤカメラ２３、および撮像した映像を映し
出すモニタ２４を備えている。ＣＣＤカメラ２３は紫外
線透過型顕微鏡１６に取り付けられる。

【００３５】整形部１５は、ハーフミラー部１７と紫外
線透過型顕微鏡１６との間に取り付けられており、スリ
ット１５ａによりレーザ光６および紫外線９を図１
（ａ）に示した画素部３と同じ形状に整形するものであ
る。そして、レーザ光６および紫外線９が通過するスリ
ット１５ａは画素部３の形状に応じた矩形を有し、画素
部３の大きさに応じて開口部の大きさを変更することが
できる。

【００３６】紫外線透過型顕微鏡１６は、整形部１５の
下部に設けられており、カラーフィルタ１上に照射され
る紫外線９の形状をスリット１５ａを調節して、画素部
３と同じ形状になるように収束させるものである。一
方、レーザ光６も紫外線透過型顕微鏡１６により収束さ
れ、カラーフィルタ１上にスリット１５ａと同じ形状、
即ち画素部３と同じ形状にて照射される。

【００３７】また、紫外線透過型顕微鏡１６の対物レン
ズ１６ａは、レーザ光７および紫外線９を所定の形状に
集光し、決定するものである。形状を決定するために
は、ＣＣＤカメラ２３により観察して、対物レンズ１６
ａのレンズ倍率とスリット１５ａを調整する。上記レン
ズには、観察用および加工用のものと、紫外線集光用の
ものとがある。前者のレンズには５倍、１０倍、２０
倍、および５０倍のものが使用され、後者のレンズには
２０倍および５０倍のものが使用される。

【００３８】ステージ１８は、水平方向に移動自在に設
けられており、その上面にカラーフィルタ１が載置され
る。また、ステージ１８は紫外線透過型顕微鏡１６の下
方の筐体２０上に取り付けられている。上記筐体２０内
には透過照明部１９が設けられている。この透過照明部
１９はカラーフィルタ１を下から照射して、ＣＣＤカメ
ラ２３が上述した欠陥部５を検出し易いようにするもの
である。

【００３９】上記構成において、ステージ１８の下面側
から透過照明部１９がカラーフィルタ１を照射しつつ、
ステージ１８が水平方向に移動され、欠陥検出部１４を
使用してカラーフィルタ１における上記欠陥部５の有無
を調べる。欠陥部５が検出されると（図１（ａ））、レ
ーザ光出射部１２からレーザ光６が出射される。このレ
ーザ光６はハーフミラー部１７を通過して、整形部１５
に達する。整形部１５において、レーザ光６はスリット
１５ａを通過すると、画素部３と同じ形状に整形され
る。そして、整形されたレーザ光６は紫外線透過型顕微
鏡１６を通過して、欠陥部５を含む画素部３に照射され
る。これにより、欠陥部５を含む着色層３ａが除去さ
れ、除去部７が形成される（図１（ｂ））。

【００４０】上記のようにして、全ての欠陥部５を含む
画素部３が除去されると、別の塗布装置において、図１
（ｃ）に示すように、感光性着色剤（富士エレクトロニ
クス製、あるいは日立化成工業製）をカラーフィルタ１
の除去部７およびその周辺部にロールコータにて塗布し
て、感光性着色層８を形成する。上記感光性着色剤は、
除去した着色層３ａと同じ色相を有しているものが使用
される。また、除去部７の感光性着色層８は、紫外線９
による減少分を考慮に入れて、現像後画素部３と同じ層
厚になるように塗布される。そして、塗布作業が終了し
た後、感光性着色層８中の溶剤を揮発させ、感光性着色
層８を仮硬化させるため、カラーフィルタ１が加熱され
る。

【００４１】次に、感光性着色層８の塗布を終了したカ
ラーフィルタ１は、ステージ１８上に載置され、除去部
７の感光性着色層８に対して紫外線９がカラーフィルタ
１の表面側から照射される（図１（ｄ））。即ち、紫外
線９は紫外線出射部１３から出射され、ハーフミラー部
１７において反射されて整形部１５に達する。そして、
紫外線９は、スリット１５ａを通過する際に、スリット
１５ａによりレーザ光６と同じ形状、即ち画素部３と同
じ形状に整形される。紫外線９は紫外線収束部１６にて
収束されるため、除去部７の感光性着色層８には、画素
部３と同じ形状に整形された紫外線９が照射される。

【００４２】上記のようにして、全ての除去部７の感光
性着色層８の露光が終了すると、カラーフィルタ１を現
像液に浸漬し、露光することにより感光された感光性着
色層８を現像する。その後、カラーフィルタ１を洗浄
し、感光されていない感光性着色層８を除去する。これ
により、除去部７には、先に除去した着色層３ａと同じ
色度の着色層を有する修正画素１０が形成され（図１
（ｅ））、カラーフィルタ１の修正作業が完了する。

【００４３】上記のように、本発明の欠陥修正方法で
は、欠陥部５を含む着色層３ａの除去が、スリット１５
ａにより画素部３と同じ形状に整形されたレーザ光６に
より行われているので、除去部７の形状が全て同じもの
となる。これにより、感光性着色層８の膜厚の設定が容
易になり、塗布作業の効率が向上する。

【００４４】また、感光性着色層８を形成するために使
用される感光性着色剤はロールコータにより塗布するこ
とができるので、除去部７の形状、即ち画素部３が小さ
くなっても、上記修正画素１０は所定の層厚を確保する
ことができる。

【００４５】さらに、除去部７の感光性着色層８の露光
は、スリット１５ａにより画素部３と同じ形状に整形さ
れた紫外線９をカラーフィルタ１の表面側から照射する
ことにより行われているので、上記紫外線９を除去部７
の感光性着色層８のみに的確に照射することができる。
従って、紫外線９は、除去部７の感光性着色層８に含有
されている着色剤の架橋を完全なものとする程度の十分
な光量とすることができるので、修正画素１０は除去し
た着色層３ａと同じ色度を有するものとなる。

【００４６】そして、対物レンズ１６ａは、カラーフィ
ルタ１の画像を拡大するための欠陥検出部１４の光学系
を兼ねているので、部品点数を削減することができ、装
置のコストダウンを図ることができる。

【００４７】また、感光性着色剤を感光性着色フィルム
に置き換えて感光性着色層８としてもよい。この場合、
除去された着色層３ａと同じ色相を有した感光性着色フ
ィルムは、均一に加熱されたローラにより除去部７およ
びその周辺に熱圧着される。そして、上記感光性着色フ
ィルムは画素部３と同じ形状に整形された紫外線９によ
りカラーフィルタ１の表面側から露光される。続いて、
上述した現像および洗浄をカラーフィルタ１に施すと、
除去した着色層３ａと同じ色度を有する修正画素１０が
形成され、カラーフィルタ１の修正作業が完了する。

【００４８】

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明のカラー
フィルタの欠陥修正方法は、多数個並設された画素部を
備えているカラーフィルタの上記画素部が有する着色層
の欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正方法におい
て、上記画素部の形状に整形されたレーザ光により、着
色層に欠陥部を含み修正を要する修正画素部の着色層を
除去する工程と、着色層が除去された修正画素部を含む
領域に、除去された着色層と同じ色相の感光性着色層を
設ける工程と、上記修正画素部の感光性着色層に対し
て、画素部の形状に整形された露光用光線を感光性着色
層の表面側から照射し、この感光性着色層を露光する工
程と、露光することにより感光された感光性着色層を現
像する工程と、この現像工程において感光されていない
感光性着色層を洗い流す工程とを含むことを特徴として
いる。

【００４９】これにより、欠陥部を含む着色層が除去さ
れた箇所の形状は全て同じものとなり、感光性着色層の
層厚の設定が容易になり、形成作業の効率が向上すると
いう効果を奏する。また、上記着色層が除去された修正
画素部の感光性着色層のみを的確に露光することがで
き、十分な露光用光線を上記修正画素部に照射すること
ができるので、上記修正画素部には所定の色度を有した
新たな着色層を設けることができるという効果を併せて
奏する。

【００５０】請求項２の発明のカラーフィルタの欠陥修
正方法は、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正
方法において、上記感光性着色層が感光性着色剤を塗布
することにより設けられていることを特徴としている。

【００５１】これにより、感光性着色層の塗布作業に
は、針やディスペンサを用いる必要がなくなるので、上
記箇所の形状、即ち画素部が小さくなっても、感光性着
色層は所定の層厚を確保することができるという効果を
奏する。

【００５２】請求項３の発明のカラーフィルタの欠陥修
正方法は、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正
方法において、上記感光性着色層が感光性着色フィルム
を貼り付けることにより設けられていることを特徴とし
ている。

【００５３】これにより、感光性着色層の形成作業に
は、針やディスペンサを用いる必要がなくなるので、上
記箇所の形状、即ち上述した画素部が小さくなっても、
感光性着色層は所定の層厚を確保することができるとと
もに、請求項２の欠陥修正方法では必要であった感光性
着色剤の仮硬化が不要となるので、感光性着色層の形成
作業の効率が請求項２の欠陥修正方法よりも向上すると
いう効果を奏する。

【００５４】請求項４の発明のカラーフィルタの欠陥修
正装置は、多数個並設された画素部を備えているカラー
フィルタの上記画素部が有する着色層の欠陥を修正する
カラーフィルタの欠陥修正装置において、カラーフィル
タが載置されるステージと、このステージ上のカラーフ
ィルタを撮像し、着色層に欠陥部を含み修正を要する修
正画素部を検出するための欠陥検出手段と、この欠陥検
出手段を使用して検出された上記修正画素部の着色層を
除去するためのレーザ光を出射するレーザ光出射手段
と、着色層が除去された修正画素部を含む領域に設けら
れた感光性着色層を露光するための露光用光線を出射す
る露光用光線出射手段と、上記レーザ光出射手段から出
射されたレーザ光および上記露光用光線出射手段から出
射された露光用光線の形状を上記画素部の形状に整形す
る整形手段と、この整形手段により整形された光線をカ
ラーフィルタの上記修正画素部に収束させる光線収束手
段とを備えている構成である。

【００５５】これにより、整形手段により画素部と同じ
形状に整形されたレーザ光および露光用光線とが、それ
ぞれ修正画素部の欠陥部を含む着色層および修正画素部
の感光性着色層に照射されるので、着色層を除去した箇
所の形状が全て同一になるとともに、上記感光性着色層
だけを露光することができる。従って、感光性着色層の
層厚の設定が容易になり、形成作業の効率が向上すると
ともに、感光性着色層に含有されている着色剤の架橋を
十分に行える程度の十分な光量の露光用光線を照射する
ことができるという効果を奏する。

【００５６】請求項５の発明のカラーフィルタの欠陥修
正装置は、請求項４に記載のカラーフィルタの欠陥修正
装置において、上記欠陥修正手段はカラーフィルタの画
像を拡大する拡大光学系部を備え、この拡大光学系部は
上記光線収束手段を兼ねている構成である。

【００５７】これにより、部品点数を削減することがで
きるので、装置の製造コストを削減することができると
いう効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法の概略
を示す断面図である。

【図２】図１に示した方法を実施するための欠陥修正装
置の概略構成を示す説明図である。

【図３】従来のカラーフィルタの欠陥修正方法の概略を
示す断面図である。

【図４】従来の他のカラーフィルタの欠陥修正方法の概
略を示す断面図である。

【符号の説明】

１カラーフィルタ３画素部３ａ着色層５欠陥部６レーザ光８感光性着色層９紫外線（露光用光線）１２レーザ光出射部（レーザ光出射手段）１３紫外線光源（露光用光線出射手段）１４欠陥検出部（欠陥検出手段）１５整形部（整形手段）１６紫外線透過型顕微鏡（紫外線収束手段、拡大光
学系部）１８ステージ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大滝一也東京都新宿区坂町23番地２ホーヤ・コンテニュアム株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多数個並設された画素部を備えているカラ
ーフィルタの前記画素部が有する着色層の欠陥を修正す
るカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記画素部の形状に整形されたレーザ光により、着色層
に欠陥部を含み修正を要する修正画素部の着色層を除去
する工程と、着色層が除去された修正画素部を含む領域に、除去され
た着色層と同じ色相の感光性着色層を設ける工程と、前記修正画素部の感光性着色層に対して、画素部の形状
に整形された露光用光線を感光性着色層の表面側から照
射し、この感光性着色層を露光する工程と、露光することにより感光された感光性着色層を現像する
工程と、この現像工程において感光されていない感光性着色層を
洗い流す工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタ
の欠陥修正方法。
【請求項２】前記感光性着色層は感光性着色剤をロール
コータを用いて塗布することにより設けられることを特
徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方
法。
【請求項３】前記感光性着色層は感光性着色フィルムを
貼り付けることにより設けられることを特徴とする請求
項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項４】多数個並設された画素部を備えているカラ
ーフィルタの前記画素部が有する着色層の欠陥を修正す
るカラーフィルタの欠陥修正装置において、カラーフィルタが載置されるステージと、このステージ上のカラーフィルタを撮像し、着色層に欠
陥部を含み修正を要する修正画素部を検出するための欠
陥検出手段と、この欠陥検出手段を使用して検出された前記修正画素部
の着色層を除去するためのレーザ光を出射するレーザ光
出射手段と、着色層が除去された修正画素部を含む領域に設けられた
感光性着色層を露光するための露光用光線を出射する露
光用光線出射手段と、前記レーザ光出射手段から出射されたレーザ光および前
記露光用光線出射手段から出射された露光用光線の形状
を前記画素部の形状に整形する整形手段と、この整形手段により整形された光線をカラーフィルタの
前記修正画素部に収束させる光線収束手段とを備えてい
ることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項５】前記欠陥検出手段はカラーフィルタの画像
を拡大する拡大光学系部を備え、この拡大光学系部は前
記光線収束手段を兼ねていることを特徴とする請求項４
に記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。