JP4957442B2 - アレイ検査装置およびプローバフレームの傾斜補正方法 - Google Patents
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- 検査対象アレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うアレイ検査装置において、
検査対象アレイを載置し、Z軸方向を回転軸として回転自在とするθステージと、
前記θステージを上方に支持し、X軸方向およびY軸方向の2次元方向に移動自在とするXYステージと、
前記θステージ上に配置され、検査対象アレイ基板の電極と接触するプローバピンを有するプローバフレームと、
前記プローバフレームをZ軸方向に移動自在とし、プローバピンとθステージ上に載置した検査対象アレイ基板の電極に対して接触と分離を行う昇降機構と、
前記プローバフレームを前記θステージ上に保持する保持機構とを備え、
前記θステージは、保持機構によって検査対象アレイ基板とプローバフレームとの相互の位置関係を維持した状態でθ方向の位置合わせを行うことを特徴とする、アレイ検査装置。 - θステージの補正データを格納する記憶手段を有し、前記θステージは記憶手段から読み出した補正データに基づいてθ方向の位置合わせを行うことを特徴とする、請求項1に記載のアレイ検査装置。
- 前記記憶手段は、複数のプローバフレームの位置に応じた補正データを格納し、前記θステージは記憶手段から読み出した複数の補正データに基づいて、プローバフレームの各位置においてθ方向の位置合わせを行うことを特徴とする、請求項2に記載のアレイ検査装置。
- 検査対象アレイに電子線を走査して照射し、当該照射電子線によってアレイから放出される二次電子を検出することによりアレイ検査を行うアレイ検査において、
θステージ上に検査対象アレイを載置する工程と、
前記θステージをXYステージに対してZ軸方向を回転軸とする回転動作と、XYステージのX軸方向およびY軸方向の2次元方向の並進動作との少なくとも何れか一つの動作によって、検査対象アレイをプローバフレームに対して位置合わせする工程と、
前記プローバフレームをZ軸方向に移動させ、プローバフレームのプローバピンとθステージ上に載置した検査対象アレイ基板の電極を接触させる工程と、
前記プローバフレームをθステージ上に検査対象アレイと共に保持する工程と、
前記θステージの回転動作によって、プローバフレームをXYステージ上のXY方向に対して、プローバフレームと検査対象アレイとの相互の位置関係を維持した状態で位置合わせする工程と、
XYステージの並進動作によって、θステージ上のプローバフレームと検査対象アレイとを移動させて電子線を走査させることを特徴とするプローバフレームの傾斜補正方法。
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