JP2009150768A - プローブユニット及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易点灯検査用配線の省スペース化、メンテナンスの容易化及びコスト低減を図る。
【解決手段】プローブユニットは、プローブ組立体と外部装置とを電気的に接続する接続ケーブル部を備え、この接続ケーブル部は、FPCケーブルの各配線を前記プローブ組立体の各探針側に電気的に接続する短絡部とを備えている。この短絡部は、前記プローブ組立体の各探針側の各配線に個別に設けられたショートバンプと、一列に並んだ全ショートバンプに一度に接触する長尺のショートバーとを備えている。前記各ショートバンプは、赤緑青に対応してそれぞれ横一列に並べられると共に赤緑青の各列が互いにずれた位置に配設される。前記ショートバーが赤緑青に対応して3本設けられると共に、各ショートバーが全ショートバンプに一度に接触する長さに設定された。
【選択図】図1
【解決手段】プローブユニットは、プローブ組立体と外部装置とを電気的に接続する接続ケーブル部を備え、この接続ケーブル部は、FPCケーブルの各配線を前記プローブ組立体の各探針側に電気的に接続する短絡部とを備えている。この短絡部は、前記プローブ組立体の各探針側の各配線に個別に設けられたショートバンプと、一列に並んだ全ショートバンプに一度に接触する長尺のショートバーとを備えている。前記各ショートバンプは、赤緑青に対応してそれぞれ横一列に並べられると共に赤緑青の各列が互いにずれた位置に配設される。前記ショートバーが赤緑青に対応して3本設けられると共に、各ショートバーが全ショートバンプに一度に接触する長さに設定された。
【選択図】図1
Description
本発明は、LCDパネル等の検査対象板の簡易点灯検査に用いるプローブユニット及び検査装置に関するものである。
フラットパネルディスプレイ(FPD)、例えばLCDパネルの製造工程においては、そのLCDパネルの点灯検査が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合、検査装置の各プローブをLCDパネルの電極に押し当てた状態で、所定の電極に所定の電気信号を供給することにより行われる。
このような検査装置の一例を図2に示す。図示する検査装置1は主に、パネルセット部2と、測定部3とから構成されている。
パネルセット部2は、外部から挿入されたLCDパネル5を測定部3へ搬送し、検査終了後のLCDパネル5を外部へ搬送するための装置である。パネルセット部2は、開口部6の奥にパネルセットステージ7を有し、このパネルセットステージ7でLCDパネル5を支持して、測定部3へ搬送する。また、パネルセットステージ7は、測定部3で検査終了後のLCDパネル5を受け取って外部へ搬送する。
測定部3は、パネルセット部2から渡されたLCDパネル5を支持して試験するための装置である。測定部3は、チャックトップ8やプローバ9等を備えて構成されている。
チャックトップ8は、LCDパネル5を支持するための部材である。このチャックトップ8は、XYZθステージ(図示せず)に支持されて、XYZ軸方向への移動及び回転が制御されて、LCDパネル5の位置が調整される。プローバ9は主に、ベースプレート10、プローブユニット11を備えて構成されている。プローブユニット11は水平面に対して傾斜して設けられている。このプローブユニット11は、ベースプレート10の開口10Aに臨ませた状態でベースプレート10に支持されている。
プローブユニット11は、図3示すように、プローブベース12と、支持部13と、プローブ組立体14と、接続ケーブル部15とを備えて構成されている。
前記プローブベース12は、プローブ組立体14を支持した複数の支持部13を一体的に支持する板材である。このプローブベース12で、複数のプローブ組立体14が支持部13を介して、ワークテーブル16上のLCDパネル5に面した状態で支持されている。
前記支持部13は、その基端側が前記プローブベース12に支持された状態で、その先端側で前記プローブ組立体14を支持するための部材である。この支持部13は、図4,5に示すように、前記プローブベース12に直接取り付けられて全体を支持するサスペンションブロック18と、このサスペンションブロック18の先端部に支持されるスライドブロック19と、このスライドブロック19の内側面(図4中の下側面)に一体的に取り付けられたプローブプレート20とを備えて構成されている。
プローブ組立体14は、LCDパネル5の回路の電極に接触して、検査信号を伝えるための部材である。プローブ組立体14は、プローブプレート20の下側面に取り付けられている。このプローブ組立体14は、図6〜8に示すように、プローブブロック22と、プローブ23とを備えて構成されている。プローブブロック22はプローブプレート20の下側面に直接取り付けられている。このプローブブロック22の下側にプローブ23が取り付けられている。プローブ23は、LCDパネル5の回路の電極に直接接触する部材である。プローブ23は、その先端部と基端部とにそれぞれ探針23A,23Bを備え、先端部の探針23AがLCDパネル5の回路の電極に接触され、基端部の探針23Bが接続ケーブル部15の端子に接触される。
接続ケーブル部15は、前記プローブ23と外部装置 (図示せず)とを電気的に接続するための部材である。この接続ケーブル部15は具体的には、前記プローブ23の探針23Bとプローブベース12側の回路とに直接的に接続されて、このプローブベース12側の回路を介して外部装置と電気的に接続されている。即ち、この接続ケーブル部15は、前記プローブ組立体14のプローブ23と外部装置とを、プローブベース2のプリント基板16を介して電気的に接続している。この接続ケーブル部15は、FPCプレート27と、駆動用集積回路28と、FPCケーブル29とから構成されている。
前記FPCプレート27は、前記接続ケーブル部15を前記プローブ組立体14側に固定するための部材である。FPCプレート27は、プローブプレート20の下側に取り付けられている。
駆動用集積回路28は、検査に伴う処理を行う回路である。駆動用集積回路28は、FPCプレート27の下側に取り付けられている。駆動用集積回路28の一方はFPCケーブル29に接続されている。駆動用集積回路28の他方は各配線30を介して各端子に接続されている。そして、この端子がプローブ23の基端側の探針23Bに接続されている。
FPCケーブル29は、検査に伴う電気信号を伝えるためのケーブルである。FPCケーブル29は、その配線30の一方がFPCプレート27に固定されて駆動用集積回路28に電気的に接続された状態で、他方がプローブベース12の下側に設けられたプリント基板(図示せず)に接続されている。これにより、FPCケーブル29は、このプリント基板を介して外部装置と電気的に接続されている。
以上の検査装置1で行う点灯検査のなかには特許文献1のような簡易点灯検査がある。この簡易点灯検査では、LCDパネル5に、ショーティングバーとコンタクト専用パッド(いずれも図示せず)を備える必要があった。
ショーティングバーは、LCDパネル5の全画素のR同士、G同士及びB同士、ゲート同士をそれぞれショートさせてプローブの接触する端子数を減少させる配線である。コンタクト専用パッドは、前記ショーティングバーを信号発生器(図示せず)と接続するための専用パッドである。
簡易点灯検査での検査信号は、ゲート側に共通の1つの信号、データ側のRGBそれぞれに共通の3つの信号である。これらの信号が各端子にそれぞれ供給されて、簡易点灯検査が行われる。
しかし、このような簡易点灯検査においては、LCDパネル5のショーティングバーが破損していた場合、それに対応するLCDパネル5の画面が表示抜けしてしまう構造となっている。この場合、表示抜けが、LCDパネル5の画面の不良なのか、ショーティングバーの破損によるものなのかの判別が困難であった。特に、自動検査化においては、ショーティングバーの破損でも、LCDパネル5の画面の不良と判別されてしまう。
ショーティングバーの欠陥自体は、LCDパネル5の製品としての良否に関係がなく問題にならないものであるため、LCDパネル5の画面不良と判別するのを回避する必要がある。このため、OLBパッドへ直接コンタクトを行い、コンタクトユニット側で信号分離と同一信号の短絡を行い、ショーティングバーが破損していた場合でも、表示抜けとなることを防ぐという検査方式が考案されている。この場合は、コンタクト専用パッドは不要となる。
このような簡易点灯検査用の検査装置には、プローブブロック22の入力側接続FPC配線で、信号の分離、同一信号の短絡を行うようにしたものがある。
また、プローブブロック22の入力側接続FPCにバンプを形成して、Rのバンプ同士、Gのバンプ同士、Bのバンプ同士をそれぞれ接続するように、横一列に並列配線されたFPCを熱圧着して接続されたものがある。
特開平11−14556号公報
ところが、プローブブロック22の入力側接続FPC配線で、信号の分離、同一信号の短絡を行うようにした簡易点灯検査用の検査装置では、FPC配線の引き廻しにより、配線が複雑化、多層化すると共に、コストが嵩み、配線部分のスペースが嵩むという問題がある。
また、各バンプをFPCに熱圧着して接続した簡易点灯検査用の検査装置では、熱圧着による接続のため、修理、メンテナンスが困難である。また、熱圧着の構造上、熱の影響による隣接圧着箇所の剥がれ等の問題がある。さらに、各信号列の圧着箇所を離す必要があり、このため、広いスペースが必要になって、配線部分のスペースが嵩むという問題がある。
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、簡易点灯検査のための配線部分の省スペース化、メンテナンスの容易化及びコスト低減を図ったプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために本発明に係るプローブユニットは、簡易点灯検査のために検査対象板の回路の電極に接触するプローブ組立体と、当該プローブ組立体と外部装置とを電気的に接続する接続ケーブル部とを備え、前記接続ケーブル部が、電気信号を伝えるFPCケーブルと、当該FPCケーブルの各配線を前記プローブ組立体の各探針側に電気的に接続する短絡部とを備え、前記短絡部が、前記FPCケーブル側又は前記プローブ組立体の各探針側の各配線に個別に設けられたショートバンプと、一列に並んだ全ショートバンプに一度に接触する長尺のショートバーとを備え、前記各ショートバンプのうち、赤に対応するショートバンプ、緑に対応するショートバンプ及び青に対応するショートバンプがそれぞれ横一列に並べられると共に赤緑青の各列が互いにずれた位置に配設され、前記ショートバーが赤緑青に対応して3本設けられると共に、各ショートバーが、赤の列の全ショートバンプ、緑の列の全ショートバンプ及び青の列の全ショートバンプにそれぞれ一度に接触する長さに設定されたことを特徴とする。
本発明に係る検査装置は、検査対象板の検査に用いる検査装置であって、外部から挿入された検査対象板を検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象板を支持して試験する測定部とを備え、前記測定部のプローブユニットとして、上述したプローブユニットを用いたことを特徴とする。
以上のように、赤の列のショートバンプ、緑の列のショートバンプ及び青の列のショートバンプと、各列の全ショートバンプにそれぞれ一度に接触するショートバーとを備えたので、簡易点灯検査のための配線部分の省スペース化、メンテナンスの容易化及びコスト低減を図ることができる。
以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。
本実施形態のプローブユニット及び検査装置は、全体的には前記従来のプローブユニット及び検査装置とほぼ同様である。本実施形態に係るプローブユニット及び検査装置の特徴は、プローブベース12側の信号ケーブルの各配線をプローブ組立体の各探針側に電気的に接続する短絡部を設けた点にある。この短絡部において、入力される信号を種類別に分けて配列(千鳥配列等)されたバンプが形成され、これらに対して横一列方向に並列されたショートゴムを圧接して短絡させることで、信号分離と同一信号短絡を可能にしたものである。このプローブ組立体の部分以外の部分の構成は前記従来の検査装置と同様であるので、ここでは同一部材には同一符号を付して説明する。
本実施形態に係るプローブユニットは、従来のプローブユニット11と同様のプローブベース12と支持部13とを備えているが、他の部材は異なる。即ち、図1に示すプローブ組立体32及び接続ケーブル部33は従来のプローブユニット11と異なっている。
プローブ組立体32は、簡易点灯検査のためにLCDパネル5の回路の電極に接触して、検査信号を伝えるための部材である。プローブ組立体32は、プローブプレート20の下側面に取り付けられている。このプローブ組立体32は、前記従来のプローブユニット11と同様のプローブブロック35とプローブ36とを備えて構成されている。
接続ケーブル部33は、プローブベース12のプリント基板を介して前記プローブ組立体32と外部装置とを電気的に接続するための部材である。接続ケーブル部33は具体的には、FPCプレート38と、電気信号を伝えるプローブ側FPCケーブル39と、当該プローブ側FPCケーブル39の各配線39Aを前記プローブ組立体32の各探針36B側に電気的に接続する短絡部40とを備えて構成されている。
前記FPCプレート38は、プローブ側FPCケーブル39及び短絡部40を支持して、プローブ36と外部装置側とを接続するための部材である。FPCプレート38は、本体部38Aと、前方係止部38Bと、支持板部38Cとから構成されている。本体部38Aは、プローブブロック35の幅に合わせた長さの長方体状に形成されている。前方係止部38Bは、本体部38Aの前方に一体的に取り付けられて、プローブブロック35に係止してこのプローブブロック35と共に連続した構造体を構成している。支持板部38Cは、後述する各ショートバンプ43を一体的に支持する部分である。支持板部38Cは、本体部38Aの基端部に一体的に支持されている。FPCプレート38は、プローブプレート20の下側であって、プローブ組立体32の基端側に取り付けられている。
プローブ側FPCケーブル39は、FPCプレート38の支持板部38Cに取り付けられて、プローブ36と短絡部40との間で電気信号を伝えるための部材である。プローブ側FPCケーブル39は、支持板部38Cの下側面のプローブ36の探針36Bに面する位置から上側面まで沿わせて配設されている。そして、支持板部38Cの上側面に短絡部40が設けられている。
短絡部40は、LCDパネル5の回路の電極の数だけあるプローブ36に対して、3つの信号を振り分けるための装置である。具体的には、簡易点灯検査を行う際に、データ側に供給されるRGBそれぞれに共通の3つの検査信号を、前記電極の数だけあるプローブ36に対してそれぞれ選択的に振り分けるための装置である。
短絡部40は、図9〜12に示すように、下側受け部41と、上側受け部42とから構成されている。下側受け部41は、千鳥状に配列されたショートバンプ43によって構成されている。このショートバンプ43は、支持板部38Cの上側面に配設されたプローブ側FPCケーブル39の各配線39Aに、それぞれ個別に設けられている。各ショートバンプ43のうち、赤に対応するショートバンプ43R、緑に対応するショートバンプ43G及び青に対応するショートバンプ43Bがそれぞれ横一列に並べられると共に赤緑青の各列が互いにずれた位置に配設されている。ここでは千鳥状に配列されている。なお、各ショートバンプ43R、43G、43Bは、それぞれずれた位置で横一列に並べられていればよく、各列が一定間隔を空けた千鳥状に限らず、他の態様の配列でもよい。
上側受け部42は、信号ケーブル46と、コネクタ47と、ショートプレート48と、ショートバー49とから構成されている。
信号ケーブル46は、プローブベース12側の回路から延びたケーブルである。この信号ケーブル46には、データ側のRGBそれぞれに共通の3つの信号を伝える3つの配線(図示せず)が設けられている。コネクタ47は、信号ケーブル46の3つの配線と、3本のショートバー49をそれぞれ接続するための部材である。ショートプレート48は、ショートバー49を支持するための板材である。ショートプレート48は、三列に並んだ各ショートバンプ43R、43G、43Bを全部覆うことができる広さに形成されている。ショートプレート48は、プローブベース12の下側に、下側受け部41に臨ませた状態で取り付けられている。これにより、プローブ組立体32をプローブプレート20に取り付けると、下側受け部41と上側受け部42とが互いに接触し、プローブ組立体32をプローブプレート20から取り外すと、下側受け部41と上側受け部42とが互いに分離するようになっている。
ショートバー49は、一列に並んだ全ショートバンプ43に一度に接触して、共通の信号を伝えるための部材である。ショートバー49は、赤緑青(RGB)に対応して並列に3本配設されている。さらに、各ショートバー49は、それぞれ一列に並んだ各ショートバンプ43R、43G、43Bに一度に接触できる長さに設定されている。各ショートバー49は、具体的には、赤の列の全ショートバンプ43R、緑の列の全ショートバンプ43G及び青の列の全ショートバンプ43Bにそれぞれ一度に接触する長さに設定されている。ショートバー49は、横一列に並べられた全ショートバンプ43に一度に接触できる長さのショートゴムで構成されている。このショートゴムとしては具体的には加圧導電ゴムで構成されている。この加圧導電ゴムが全ショートバンプ43に弾性的にほぼ均等圧で接触して、一度に共通信号を伝えることができるようになっている。
以上のように構成されたプローブユニットでは、次のように作用する。
プローブユニットのプローブ組立体32と接続ケーブル部33とをプローブプレート20の下側面に取り付けて、プローブベース12に固定された支持部13側にプローブ組立体14を取り付けることで、短絡部40の下側受け部41と上側受け部42とが互いに接触して重なり合う。これにより、下側受け部41の各ショートバンプ43と、上側受け部42の各ショートバー49とが互いに接触する。このとき、3本のショートバー49は、赤に対応する全ショートバンプ43R、緑に対応する全ショートバンプ43G及び青に対応する全ショートバンプ43Bにそれぞれ弾性的にほぼ均等圧で接触する。これにより、データ側のRGBそれぞれに共通の3つの信号が、それぞれに対応したプローブ側FPCケーブル39の各配線39Aに伝わり、この各配線39Aを介して各プローブ36に伝わる。
プローブユニットのプローブ組立体32は、LCDパネル5に臨ませて配設され、各プローブ36の先端側の探針36Aが、LCDパネル5の表面に形成された回路の各電極に接触されて、RGBに対応した3つの共通信号が送信される。
この3つの共通信号は、短絡部40の各ショートバンプ43と、上側受け部42の各ショートバー49とで、RGBに対応してそれぞれ選択的に振り分けられる。
これにより、LCDパネル5のRGBの各素子に、簡易点灯検査用に検査信号が送信されて点灯検査が行われる。
メンテナンス時には、プローブ組立体32及び接続ケーブル部33をプローブプレート20の下側面から取り外すだけで、下側受け部41の各ショートバンプ43と、上側受け部42の各ショートバー49とは互いに分離してしまう。これにより、プローブ36等のメンテナンスを行う。
以上のように、短絡部40を設けて、この短絡部40の各ショートバンプ43に対して各ショートバー49を圧接するだけで、容易に、RGBの信号を分離し、同一信号を短絡することができるようになる。さらに、各機能を持ったパーツを容易に分離化することが可能となる。これにより、短絡部40の周囲を省スペース化することができる。
さらに、プローブ組立体32及び接続ケーブル部33をプローブプレート20に対して着脱するだけで、短絡部40の電気的接続と切り離しが容易に行えるようになり、着脱作業やメンテナンスの作業性が向上する。
さらに、短絡部40は主に、ショートバンプ43とショートバー49とから構成されているため、構造が簡単で、コスト低減を図ることができる。
[変形例]
前記実施形態に係るプローブユニットを備えた検査装置としては、前記従来の検査装置に限るものではなく、前記プローブユニットを備えることができるすべての検査装置に対して本願発明を適用することができる。
前記実施形態に係るプローブユニットを備えた検査装置としては、前記従来の検査装置に限るものではなく、前記プローブユニットを備えることができるすべての検査装置に対して本願発明を適用することができる。
前記実施形態では、FPCプレート38側にショートバンプ43、プローブベース12の回路側にショートバー49を設けたが、ショートバンプ43とショートバー49の位置を逆にしても良い。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。
5:LCDパネル、11:プローブユニット、12:プローブベース、13:支持部、20:プローブプレート、32:プローブ組立体、33:接続ケーブル部、35:プローブブロック、36:プローブ、36A:探針、36B:探針、38:FPCプレート、38A:本体部、38B:前方係止部、38C:支持板部、39:プローブ側FPCケーブル、39A:各配線、40:短絡部、41:下側受け部、42:上側受け部、43:ショートバンプ、43R:赤に対応するショートバンプ、43G:緑に対応するショートバンプ、43B:青に対応するショートバンプ、46:信号ケーブル、47:コネクタ、48:ショートプレート、49:ショートバー。
Claims (6)
- 簡易点灯検査のために検査対象板の回路の電極に接触するプローブ組立体と、当該プローブ組立体と外部装置とを電気的に接続する接続ケーブル部とを備え、
前記接続ケーブル部が、電気信号を伝えるFPCケーブルと、当該FPCケーブルの各配線を前記プローブ組立体の各探針側に電気的に接続する短絡部とを備え、
前記短絡部が、前記FPCケーブル側又は前記プローブ組立体の各探針側の各配線に個別に設けられたショートバンプと、一列に並んだ全ショートバンプに一度に接触する長尺のショートバーとを備え、
前記各ショートバンプのうち、赤に対応するショートバンプ、緑に対応するショートバンプ及び青に対応するショートバンプがそれぞれ横一列に並べられると共に赤緑青の各列が互いにずれた位置に配設され、
前記ショートバーが赤緑青に対応して3本設けられると共に、各ショートバーが、赤の列の全ショートバンプ、緑の列の全ショートバンプ及び青の列の全ショートバンプにそれぞれ一度に接触する長さに設定されたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1に記載のプローブユニットにおいて、
前記プローブ組立体の基端側にFPCプレートが設けられ、当該FPCプレートに、前記各ショートバンプ又は各ショートバーのいずれか一方を一体的に支持する支持板部が設けられ、
前記ショートバンプ又はショートバーのいずれか他方を一体的に支持するショートプレートが前記支持板部に面して設けられ、
前記支持板部に前記ショートプレートを押し当てて前記各ショートバンプと各ショートバーとを電気的に接続することを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1又は2に記載のプローブユニットにおいて、
前記各ショートバンプが千鳥配列されたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプローブユニットにおいて、
前記各ショートバーが、横一列に並べられた全ショートバンプに一度に接触できる長さのショートゴムで構成されたことを特徴とするプローブユニット。 - 請求項4に記載のプローブユニットにおいて、
前記ショートゴムが、加圧導電ゴムで構成されたことを特徴とするプローブユニット。 - 検査対象板の検査に用いる検査装置であって、
外部から挿入された検査対象板を検査終了後に外部へ搬出するパネルセット部と、当該パネルセット部から渡された検査対象板を支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットとして、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプローブユニットを用いたことを特徴とする検査装置。
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