KR100980666B1 - Lcd 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름 - Google Patents

Lcd 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름 Download PDF

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Abstract

본 발명은 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름에 관한 것으로서, 특히 RGB 출력 패턴의 수를 RGB 입력 패턴의 수와 대비하여 비례적으로 증대시키고, 쇼팅바와 비아홀을 통해 각각의 RGB 출력 패턴을 전기적으로 연결하고, RGB 출력 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 돌출시킨 후 RGB 출력 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성하며, 비아홀 내에 저항체를 각각 삽입하도록 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름에 관한 것이다.

Description

LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름{PROBE BLOCK CONTACTOR FILM FOR LCD LIGHT}
본 발명은 컨텍터 필름에 관한 것으로서, 상세하게는 RGB 출력 패턴의 수를 RGB 입력 패턴의 수와 대비하여 비례적으로 증대시키고, 쇼팅바와 비아홀을 통해 각각의 RGB 출력 패턴을 전기적으로 연결하되, 비아홀 내에 저항체를 각각 삽입하고, RGB 출력 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 돌출시킨 후 RGB 출력 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성하도록 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름에 관한 것이다.
LCD는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 박막트랜지스터 기판과 컬러필터층이 형성되어 있는 컬러필터 기판, 그리고 이들 사이에 액정층이 위치하고 있는 액정표시패널을 포함한다. 액정표시패널은 비발광소자이기 때문에 박막트랜지스터 기판의 후면에는 빛을 조사하기 위한 백라이트 유닛이 위치할 수 있다. 백라이트 유닛에서 조사된 빛은 액정층의 배열상태에 따라 투과량이 조절된다. 또한 액정표시패널의 각 화소를 구동하기 위해서, 구동회로와, 구동회로로부터 구동신호를 받아 표시영역내의 데이터 라인과 게이트 라인 등의 신호 라인에 전압을 인가하는 데이터 드라이버와 게이트 드라이버가 마련되어 있다.
액정표시패널의 제조 공정에는, 각 단계에서 제품의 불량여부를 검출하기 위한 다양한 검사가 요구된다. 이러한 검사는 어레이 테스트(array test), 비쥬얼 인스펙션(visual inspection, VI), 그로스 테스트(gross test, G/T), 파이널 테스트(final test) 등을 포함한다.
이중 비쥬얼 인스펙션은 액정표시패널의 완성 후 게이트 라인과 데이터 라인 등의 신호선을 연결하고 있는 쇼팅바(shorting bar)를 통해 검사신호를 인가하여 라인의 불량을 검출하는 테스트를 말한다. 비쥬얼 인스펙션에서의 검사신호 인가는 쇼팅바에 연결되어 있는 검사신호 금속 패드를 통해 이루어진다. 비쥬얼 인스펙션 테스트를 구체적으로 나누면, 쇼팅바에 의해 각각 게이트 라인과 데이터 라인에 입력되는 신호의 개수에 따라 1G1D, 1G2D, 2G2D 등으로 나누어진다. 1G2D를 예로 들면, 게이트 라인은 모두 동일한 단일의 신호를 받으며, 데이터 라인은 2그룹으로 나누어져 연결되어 2개의 신호를 받는 것이다. 이때 데이터 라인은 짝수번째와 홀수번째로, 즉 교호적으로 나누어지는 것이 바람직하다.
신호 라인에 단일의 검사신호를 인가하는 경우 인접한 신호 라인 또는 인접한 화소영역 간에 발생한 단락 불량 여부를 확인하지 못 할 수 있는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 홀수 번째 신호 라인 게이트 라인 및 데이터 라인과, 짝수번째 신호 라인인 게이트 라인 및 데이터 라인을 각각 교호적으로 나누어 다른 쇼팅바에 연결함으로써 라인간 반전구동이 가능하도록 구성한 2G2D방식은 1G1D에 비하여 인접한 신호 라인 또는 인접한 픽셀간의 단락(short) 불량도 구분할 수 있는 장점이 있다.
그러나, 쇼팅바를 통한 비쥬얼 인스펙션은 검사신호 금속 패드로부터 신호 라인까지의 길이가 서로 다르기 때문에 동시에 단일 신호를 인가하더라도 신호 라인의 길이 차이에 따른 검사 신호가 왜곡되는 문제점이 있으며 쇼팅바가 제거된 후에는 각 쇼팅바를 통한 단일 신호를 인가하여 불량 검출을 할 수 없는 문제점이 있다.
이와 달리 그로스 테스트는 쇼팅바가 제거된 후의 불량여부 검사방법으로서 기판에 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인 각각과 연결된 금속 패드들과 검사를 위한 프로브의 접속핀들을 각각 접속하고 프로브에 테스트 구동신호를 공급하여 액정표시패널의 신호라인들의 불량 또는 화소의 불량을 테스트한다. 다음으로, 그로스 테스트 후 양품으로 판정된 액정표시패널에는 테스트 화상 신호를 공급하여 화상 구동 테스트를 실시하여 최종적으로 양품으로 판정된 액정표시패널에 구동회로를 포함하는 TCP를 부착하는 공정으로 이송하게 된다.
이와 같이 그로스 테스트를 통해 액정표시패널을 검사하기 위한 일반적인 프로브 조립체는, 어셈블리 블록과, 어셈블리 블록의 저면에 체결 고정되는 기판 홀더와, 기판 홀더의 저면에 체결되는 니들 홀더와, 니들 홀더의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되고, 패턴이 형성되는 TCP 필름과, 니들 홀더의 일끝단 저면에 부착되는 프로브 블록으로 이루어진다.
한편, 이러한 프로브 블록은 통상 니들 또는 블레이드 타입의 프로브를 배열하고, 프로브와 드라이브 IC가 부착된 TCP(Tape Carrier Package)/COF(Chip On Film) 패키지를 접합시키는 구성이다.
상기 TCP/COF 패키지는 폴리 이미드 필름(Polyimide Film) 또는 도전성 이방 필름(Anisotropic Conductive Film)에 복수의 입력 단자가 배열되는 입력단와, 각각의 입력 단자와 구리 패턴으로 연결된 출력 단자를 구비하는 출력단 및 입력단과 출력단 사이에 드라이브 IC가 실장된 형태이다.
그러나, 이러한 종래의 TCP/COF 패키지는 LCD 검사 패턴과 1:1로 형성되어 있고, 이를 통해 드라이브 신호를 전달하는 데, 출력 금속 패턴의 저항값으로 인해 신호의 전달이 균일하지 못하여 LCD 외곽부와 중앙부의 점등 세기가 달라지는 문제점이 있다.
또한, 이러한 종래의 프로브 블록은 프로브를 일일이 수작업을 통해 배열하기 때문에 조립 시간 및 제조 단가가 상승되고, 프로브간의 폭을 일정하게 유지해야하기 때문에 미세 피치 구현이 어렵고, 프로브와 LCD의 접촉시 압력에 의해 프로브의 변형이 손쉽게 발생하고, 변형으로 인해 검사 반복 신뢰성이 낮아지며, 프로브가 니들 또는 블레이드 타입으로 형성되어 있기 때문에 배열 자유도가 낮아지는 문제점이 있다.
또, LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 프로브 또는 금속 패턴의 손상 또는 쇼트가 발생하게 되고, 이로 인해 과전류로 인해 프로브 및 패턴이 손상되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, RGB 출력 패턴의 수를 RGB 입력 패턴의 수와 대비하여 비례적으로 증대시키고, 쇼팅바와 비아홀을 통해 각각의 RGB 출력 패턴을 전기적으로 연결하되, 바이홀 내에 저항체를 삽입함으로써 저항 편차를 줄여 드라이브 신호가 균일하게 전달되도록 함으로써 LCD 외곽부와 중앙부의 점등 편차 발생을 미연에 방지하도록 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 RGB 출력 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 돌출시킨 후 RGB 출력 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성함으로써 미세 피치의 컨텍터 필름의 구현이 가능하고, RGB 출력 패턴과 범프의 접합력을 강화시키도록 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름을 제공하는데 다른 목적이 있다.
또한, 본 발명은 상호 이격된 범프를 형성하고, 절연층으로 보호함으로써 LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 RGB 출력 패턴의 손상 또는 인접 RGB 출력 패턴과 쇼트가 자주 발생하는 것을 차단하도록 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
또, 본 발명은 베이스 필름에 형성된 RGB 출력 패턴에 범프를 직접 적층하여 컨텍터 필름을 형성함으로써 LCD의 접촉 및 강한 외력에 프로브의 변형 및 위치 변형이 발생되는 것을 미연에 방지하여 검사 반복 신뢰성을 높이고, 범프의 배열 자유도가 높고, 고밀도 직접회로 검사가 가능하도록 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
또, 본 발명은 비아홀 내에 저항체를 각각 삽입하여 LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 RGB 출력 패턴의 손상 또는 쇼트가 발생할 시 높은 저항값에 과전류가 발생하여 패턴이 손상되는 것을 미연에 차단하도록 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
LCD의 점등 검사를 위한 프로브 블록의 컨텍터 필름에 있어서, 직사각형태의 베이스 필름과; 입력단과 출력단으로 이루어지고, 상기 출력단이 상기 베이스 필름 상에서 길이 방향으로 일정 길이만큼 상기 LCD의 패턴과 1:1 대응되어 형성되되, RGB 출력 패턴이 순차적으로 반복되고, 상기 RGB 출력 패턴의 양측에 구동 신호 출력 패턴이 형성되는 금속 패턴과; 상기 금속 패턴의 상면에 형성되는 절연층과; 상기 절연층을 관통하여 상기 금속 패턴의 RGB 출력 패턴 상에서 각각 형성되는 비아홀과; 상기 비아홀 내부에 충전되는 비아홀용 범프; 및 상기 비아홀의 상면에서 동일 패턴에 위치한 각각의 상기 비아홀용 범프를 전기적으로 상호 연결시키도록 상기 베이스 필름의 폭 방향으로 형성되는 쇼팅바로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 금속 패턴은 각각의 상기 RGB 출력 패턴 및 구동 신호 출력 패턴의 상면에 일정 패턴으로 적층되어 상기 절연층의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 범프가 더 구비된다.
여기에서 또한, 상기 범프는 원형 또는 다각형으로 형성되고, 상기 금속 패턴의 RGB 출력 패턴에 각각 복수개가 형성되되, 상호 이격되어 형성된다.
여기에서 또, 상기 금속 패턴의 상기 RGB 출력 패턴은 상기 쇼팅바와 교차되는 부분이 상호 분리되고, 상호 분리된 부분의 끝단에 상기 비아홀 및 비아홀용 범프가 각각 형성되어 상기 쇼팅바와 전기적으로 연결된다.
여기에서 또, 상기 비아홀용 범프중 어느 하나의 비아홀용 범프는 일정 크기의 저항값을 갖는 저항체이다.
여기에서 또, 상기 금속 패턴의 입력단은 상기 RGB 출력 패턴중 동일 패턴 N개와 전기적으로 연결되는 RGB 입력 패턴과; 상기 구동 신호 출력 패턴과 1:1 대응되는 구동 신호 입력 패턴으로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 금속 패턴의 상기 RGB 출력 패턴은 서로 다른 길이를 가지며 순차적으로 반복 형성되고, 각각의 끝단에 상기 비아홀과 상기 비아홀용 범프가 형성되어 상기 쇼팅바와 전기적으로 연결된다.
여기에서 또, 상기 금속 패턴의 입력단은 상기 RGB 출력 패턴중 최외곽의 상기 RGB 출력 패턴의 양측에 일단이 형성되고, 상기 비아홀 및 비아홀용 범프를 통해 상기 쇼팅바와 전기적으로 연결되는 RGB 입력 패턴과; 상기 구동 신호 출력 패턴과 1:1 대응되는 구동 신호 입력 패턴으로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 RGB 출력 패턴에 형성되는 상기 비아홀용 범프는 일정 크기의 저항값을 갖는 저항체이다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름에 따르면, RGB 출력 패턴의 수를 RGB 입력 패턴의 수와 대비하여 비례적으로 증대시키고, 쇼팅바와 비아홀을 통해 각각의 RGB 출력 패턴을 전기적으로 연결하되, 바이홀 내에 저항체를 삽입함으로써 저항 편차를 줄여 드라이브 신호가 균일하게 전달되도록 함으로써 LCD 외곽부와 중앙부의 점등 편차 발생을 미연에 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 RGB 출력 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 돌출시킨 후 RGB 출력 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성함으로써 미세 피치의 컨텍터 필름의 구현이 가능하고, RGB 출력 패턴과 범프의 접합력을 강화시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 상호 이격된 범프를 형성하고, 절연층으로 보호함으로써 LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 RGB 출력 패턴의 손상 또는 인접 RGB 출력 패턴과 쇼트가 자주 발생하는 것을 차단할 수 있다.
또, 본 발명에 따르면 베이스 필름에 형성된 RGB 출력 패턴에 범프를 직접 적층하여 컨텍터 필름을 형성함으로써 LCD의 접촉 및 강한 외력에 프로브의 변형 및 위치 변형이 발생되는 것을 미연에 방지하여 검사 반복 신뢰성을 높이고, 범프의 배열 자유도가 높고, 고밀도 직접회로 검사가 가능할 수 있다.
또, 본 발명에 따르면 비아홀 내에 저항체를 각각 삽입하여 LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 RGB 출력 패턴의 손상 또는 쇼트가 발생할 시 높은 저항값에 의해 과전류가 발생하여 패턴이 손상되는 것을 미연에 차단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 구성을 나타낸 평면도이다.
도 2는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 도 1의 B-B 단면도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시예들에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 제작 과정을 설명하기 위한 설명도이다.
도 5는 본 발명에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름을 회로적으로 나타낸 등가 회로도이다.
도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 구성을 나타낸 평면도이다.
도 7은 도 6의 C-C 단면도이다.
도 8은 도 6의 D-D 단면도이다.
도 9a 내지 도 9e는 본 발명의 실시예들에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 제작 과정을 설명하기 위한 설명도이다.
이하, 본 발명에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
《제 1실시예》
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 구성을 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A 단면도이며, 도 3은 도 1의 B-B 단면도이이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름(100)은, 베이스 필름(110)과, 금속 패턴(120)과, 절연층(130)과, 비아홀(140)과, 비아홀용 범프(150)와, 쇼팅바(160)로 이루어진다.
먼저, 베이스 필름(110)은 직사각 형태로 폴리 이미드 필름(Polyimide Film) 등의 재질로 이루어진다.
그리고, 금속 패턴(120)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)과 같은 도전성 금속 재질로 베이스 필름(110) 상에 적층되고, 입력단(121)과 출력단(123)으로 이루어지며, 출력단(123)이 베이스 필름(110) 상에서 길이 방향으로 일정 길이만큼 LCD의 패턴(미도시)과 1:1 대응되어 형성되되, RGB 출력 패턴(123a)이 순차적으로 반복되고, RGB 출력 패턴(123a)의 양단에 구동 신호 출력 패턴(123b)이 형성된다.
여기에서, 금속 패턴(120)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)과 같은 도전성 금속 재질로 형성되되, 금속 패턴과 동종 또는 이종 재질로 각각의 RGB 출력 패턴(123a) 및 구동 신호 출력 패턴(123b)의 상면에 일정 패턴으로 적층되어 절연층(130)의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 범프(125)가 더 구비된다. 이때, 범프(125)는 원형 또는 다각형으로 형성되고, 하나의 RGB 출력 패턴(123a) 또는 구동 신호 출력 패턴(123b)에 복수개가 형성되되, 상호 이격되어 형성된다.
여기에서 또한, 금속 패턴(120)의 RGB 출력 패턴(123a)은 하기에서 설명할 쇼팅바(160)와 교차되는 부분이 상호 분리되고, 상호 분리된 부분의 끝단에 하기에서 설명할 비아홀(140) 및 비아홀용 범프(150)가 각각 형성되어 쇼팅바(160)와 전기적으로 연결된다.
여기에서 또, 금속 패턴(120)의 입력단(121)은 RGB 출력 패턴(123a)중 동일 패턴 N개와 전기적으로 연결되어 상대적으로 넓은 면적으로 형성되는 RGB 입력 패턴(121a)과, 구동 신호 출력 패턴(123b)과 1:1 대응되되 상대적으로 넓은 면적으로 형성되는 구동 신호 입력 패턴(121b)으로 이루어진다. 이때, 구동 신호 입력 패턴(121b)에는 접촉을 위해 상대적으로 큰 면적의 패드가 형성될 수도 있다.
또한, 절연층(130)은 통상의 유, 무기계 절연 재질로 베이스 필름(110) 상인 금속 패턴(120)의 상면과 범프(125)의 일정 높이까지 적층된다. 이때, 일정 높이는 범프(125)가 외부로 돌출되어 LCD의 패턴과 원활하게 접촉될 수 있는 높이를 말한다.
여기에서, 절연층(130)은 RGB 입력 패턴(121a)의 전방에는 미형성되어 타단이 테스트 구동신호를 입력시키는 별도의 신호 발생장치(미도시)와 접촉되거나 드라이브 IC(미도시)가 실장될 수 있도록 한다.
또, 비아홀(140)은 절연층(130)을 관통하여 금속 패턴(120)의 RGB 출력 패턴(123a)중 상호 분리된 부분에 각각 형성되되, 동일 패턴에는 동일 위치에서, 인접 패턴에는 대각선 방향으로 형성된다.
한편, 비아홀용 범프(150)는 비아홀(140) 내부에서 비아홀(140)의 높이와 동일 높이로 적층된다.
여기에서, 비아홀용 범프(150)중 어느 하나의 비아홀용 범프(도면상 상부에 위치한 것)는 일정 크기의 저항값을 갖는 저항체로 형성되는데, 일정 크기(예를 들어, 100㏀)의 저항값을 갖도록 탄탈늄 질화물 또는 니켈크롬 합금으로 이루어지는 저항체이다. 이때, 저항값의 크기는 신호의 전달 과정에서 전류값에 따라 설정되어 저항체의 재질은 변경될 수 있다.
여기에서 또한, 비아홀용 범프(150)중 다른 하나의 비아홀용 범프(도면상 하부에 위치한 것)는 금속 패턴(120) 또는 쇼팅바(160)와 동일 재질로 형성된다.
그리고, 쇼팅바(160)는 구리(Cu), 니켈(Ni), 니켈-코발트d 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)과 같은 도전성 금속 재질로 비아홀(140)의 상면에서 동일 패턴에 위치한 각각의 비아홀용 범프(150)를 전기적으로 상호 연결시키도록 베이스 필름(110)의 폭 방향으로 형성된다.
이하, 본 발명의 제 1실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 제작 과정 및 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 제 1실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 제작 과정을 설명하기 위한 설명도이고, 도 5는 본 발명에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름을 회로적으로 나타낸 등가 회로도이다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이 베이스 필름(110) 상에 금속 패턴(120)을 통상의 방법으로 증착한다. 이때, 금속 패턴(120)의 RGB 출력 패턴(123a)은 하기에서 설명할 쇼팅바(160)와 교차되는 부분이 상호 분리시킨다.
그리고, 도 4b에 도시된 바와 같이 금속 패턴(120)이 형성된 베이스 필름(110)의 상면에 절연층(130)을 적층한다. 이때, 절연층(130)은 금속 패턴(120)을 모두 덮도록 형성될 수도 있고, 일부를 제외하고 형성될 수도 있다.
이러한 상태에서, 도 4c에 도시된 바와 같이 절연층(130)에 비아홀(140)을 형성한다. 이때, 비아홀(140)은 절연층(130)을 관통하여 금속 패턴(120)의 RGB 출력 패턴(123a) 상에서 각각 형성되되, 동일 패턴에는 동일 위치에서, 인접 패턴에는 대각선 방향으로 형성 즉, 각각의 R 출력 패턴에 횡방향으로 동일 위치에 배열되고, G 출력 패턴(또는 B 출력 패턴)에 횡방향으로 동일 위치에 배열되되, R 출력 패턴의 하단에 형성되며, B 출력 패턴(또는 G 출력 패턴)에 횡방향으로 동일 위치에 배열되되, G 출력 패턴(또는 B 출력 패턴)의 하단에 형성된다.
비아홀(140)의 형성이 완료되면, 도 4d에 도시된 바와 같이 비아홀(140) 내부에 비아홀(140)의 상면 높이와 동일 높이로 비아홀용 범프(150)를 증착한다.
그리고, 도 4e에 도시된 바와 같이 비아홀용 범프(150)의 상면에서 동일 패턴에 위치한 각각의 비아홀(140)을 전기적으로 상호 연결시키도록 베이스 필름(110)의 폭 방향으로 쇼팅바(160)를 증착시켜 본 발명의 제 1실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름(100)을 완성한다.
상기와 같이 제작된 본 발명의 제 1실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름에 의하면, 금속 패턴(120)의 입력단(121)중 RGB 입력 패턴(121a)으로 각각 해당 드라이브 신호를 입력하면, RGB 출력 패턴(123a)으로 드라이브 신호가 전달된 후 RGB 출력 패턴(123a)이 분리된 부분에서 비아홀용 범프(150)중 다른 하나의 비아홀용 범프(도면상 하부에 위치한 것)를 통해 쇼팅바(160)로 전달된다.
그리고, 다시 드라이브 신호는 쇼팅바(160)와 비아홀용 범프(150)중 어느 하나의 비아홀용 범프(도면상 하부에 위치한 것)를 통해 RGB 출력 패턴(123a)으로 출력된다.
그리하여, 균일하게 각각의 RGB 출력 패턴(123a)으로 전달할 수 있는 데, 비아홀용 범프(150)중 저항체의 총 저항값은 도 5와 같이 병렬 연결되어 있어 그 값이 매우 낮아 전류에 크게 영향을 미치지 않는다.
그러나, LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 RGB 출력 패턴(123a)의 손상 또는 쇼트가 발생할 시에는 저항값이 직렬 연결되면서 저항값이 커지기 때문에 과전류가 발생되는 것이 차단되어 패턴이 손상되는 것을 막을 수 있다.
한편, RGB 출력 패턴(123a)으로 전달된 드라이브 신호는 LCD의 패턴과 접촉되어 있는 범프(125)를 통해 LCD의 패턴으로 출력된다.
《제 2실시예》
도 6은 본 발명의 제 2실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 구성을 나타낸 평면도이고, 도 7은 도 6의 C-C 단면도이며, 도 8은 도 6의 D-D 단면도이다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 제 2실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름(200)은, 베이스 필름(210)과, 금속 패턴(220)과, 절연층(230)과, 비아홀(240)과, 비아홀용 범프(250)와, 쇼팅바(260)로 이루어진다.
먼저, 베이스 필름(210)은 직사각 형태로 폴리 이미드 필름(Polyimide Film) 등의 재질로 이루어진다.
그리고, 금속 패턴(220)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)과 같은 도전성 금속 재질로 베이스 필름(210) 상에 적층되고, 입력단(221)과 출력단(223)으로 이루어지며, 출력단(223)이 베이스 필름(210) 상에서 길이 방향으로 일정 길이만큼 LCD의 패턴(미도시)과 1:1 대응되어 형성되되, RGB 출력 패턴(223a)이 순차적으로 반복되고, RGB 출력 패턴(223a)의 양단에 구동 신호 출력 패턴(223b)이 형성된다.
여기에서, 금속 패턴(220)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)과 같은 도전성 금속 재질로 형성되되, 금속 패턴과 동종 또는 이종 재질로 각각의 RGB 출력 패턴(223a) 및 구동 신호 출력 패턴(223b)의 상면에 일정 패턴으로 적층되어 절연층(230)의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 범프(225)가 더 구비된다. 이때, 범프(225)는 원형 또는 다각형으로 형성되고, 하나의 RGB 출력 패턴(223a) 또는 구동 신호 출력 패턴(223b)에 복수개가 형성되되, 상호 이격되어 형성된다.
여기에서 또한, 금속 패턴(220)의 RGB 출력 패턴(223a)은 서로 다른 길이를 가지며 순차적으로 반복 형성되고, 각각의 끝단에 하기에서 설명할 비아홀(240) 및 비아홀용 범프(250)가 각각 형성되어 쇼팅바(260)와 전기적으로 연결된다.
여기에서 또, 금속 패턴(220)의 입력단(221)은 RGB 출력 패턴(223a)중 최외곽의 RGB 출력 패턴의 양측에 일단이 형성되고, 비아홀(240) 및 비아홀용 범프(250)를 통해 쇼팅바(260)와 전기적으로 연결되되, 상대적으로 넓은 면적으로 형성되는 RGB 입력 패턴(221a)과, 구동 신호 출력 패턴(223b)과 1:1 대응되되, 상대적으로 넓은 면적으로 형성되는 구동 신호 입력 패턴(221b)으로 이루어진다. 이때, 구동 신호 입력 패턴(221b)에는 접촉을 위해 상대적으로 큰 면적의 패드가 형성될 수도 있다.
또한, 절연층(230)은 통상의 유, 무기계 절연 재질로 베이스 필름(210) 상인 금속 패턴(220)의 상면과 범프(225)의 일정 높이까지 적층된다. 이때, 일정 높이는 범프(225)가 외부로 돌출되어 LCD의 패턴과 원활하게 접촉될 수 있는 높이를 말한다.
여기에서, 절연층(230)은 RGB 입력 패턴(221a)의 전방에는 미형성되어 타단이 테스트 구동신호를 입력시키는 별도의 신호 발생장치(미도시)와 접촉되거나 드라이브 IC(미도시)가 실장될 수 있도록 한다.
또, 비아홀(240)은 절연층(230)을 관통하여 금속 패턴(220)의 RGB 출력 패턴(223a)의 각각의 끝단에 형성되어 동일 패턴에는 동일 위치에서, 인접 패턴에는 대각선 방향으로 위치하도록 한다.
한편, 비아홀용 범프(250)는 비아홀(240) 내부에서 비아홀(240)의 높이와 동일 높이로 적층된다.
여기에서, 비아홀용 범프(250)중 RGB 입력 패턴(221a)에 형성된 비아홀용 범프는 금속 패턴(220) 또는 쇼팅바(260)와 동일 재질로 형성된다.
여기에서 또한, 비아홀용 범프(250)중 RGB 출력 패턴(223a)에 형성된 비아홀용 범프는 일정 크기의 저항값을 갖는 저항체로 형성되는데, 일정 크기(예를 들어, 100㏀)의 저항값을 갖도록 탄탈늄 질화물 또는 니켈크롬 합금으로 이루어지는 저항체이다. 이때, 저항값의 크기는 신호의 전달 과정에서 전류값에 따라 설정되어 저항체의 재질은 변경될 수 있다.
그리고, 쇼팅바(260)는 구리(Cu), 니켈(Ni), 니켈-코발트d 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)과 같은 도전성 금속 재질로 비아홀(240)의 상면에서 동일 패턴에 위치한 각각의 비아홀용 범프(250)를 전기적으로 상호 연결시키도록 베이스 필름(210)의 폭 방향으로 형성된다.
이하, 본 발명의 제 2실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 제작 과정 및 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 9a 내지 도 9e는 본 발명의 제 2실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름의 제작 과정을 설명하기 위한 설명도이다.
먼저, 도 9a에 도시된 바와 같이 베이스 필름(210) 상에 금속 패턴(220)을 통상의 방법으로 증착한다.
그리고, 도 9b에 도시된 바와 같이 금속 패턴(220)이 형성된 베이스 필름(210)의 상면에 절연층(230)을 적층한다. 이때, 절연층(230)은 금속 패턴(220)을 모두 덮도록 형성될 수도 있고, 일부를 제외하고 형성될 수도 있다.
이러한 상태에서, 도 9c에 도시된 바와 같이 절연층(230)에 비아홀(240)을 형성한다. 이때, 비아홀(240)은 절연층(230)을 관통하여 금속 패턴(220)의 RGB 입력 패턴(221a) 및 RGB 출력 패턴(223a) 상에서 각각 형성되되, 동일 패턴에는 동일 위치에서, 인접 패턴에는 대각선 방향으로 위치하게 된다.
비아홀(240)의 형성이 완료되면, 도 9d에 도시된 바와 같이 비아홀(240) 내부에 비아홀(240)의 상면 높이와 동일 높이로 비아홀용 범프(250)를 증착한다.
그리고, 도 9e에 도시된 바와 같이 비아홀(240)의 상면에서 동일 패턴에 위치한 각각의 비아홀용 범프(250)를 전기적으로 상호 연결시키도록 베이스 필름(210)의 폭 방향으로 쇼팅바(260)를 증착시켜 본 발명의 제 2실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름(200)을 완성한다.
상기와 같이 제작된 본 발명의 제 2실시예에 따른 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름에 의하면, 금속 패턴(220)의 입력단(221)중 RGB 입력 패턴(221a)으로 각각 해당 드라이브 신호를 입력하면, RGB 입력 패턴(221a)에 형성된 비아홀용 범프(250)를 통해 드라이브 신호가 쇼팅바(260)로 전달된다.
그리고, 다시 드라이브 신호는 쇼팅바(260)와 RGB 출력 패턴(223a)상에 형성된 비아홀용 범프(250)를 통해 RGB 출력 패턴(223a)으로 출력된다.
그리하여, 균일하게 각각의 RGB 출력 패턴(223a)으로 전달할 수 있는 데, 비아홀용 범프(250)중 저항체의 총 저항값은 도 5와 같이 병렬 연결되어 있어 그 값이 매우 낮아 전류에 크게 영향을 미치지 않는다.
그러나, LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 RGB 출력 패턴(223a)의 손상 또는 쇼트가 발생할 시에는 저항값이 직렬 연결되면서 저항값이 커지기 때문에 과전류가 발생되는 것이 차단되어 패턴이 손상되는 것을 막을 수 있다.
한편, RGB 출력 패턴(223a)으로 전달된 드라이브 신호는 LCD의 패턴과 접촉되어 있는 범프(225)를 통해 LCD의 패턴으로 출력된다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
110 : 베이스 필름 120 : 금속 패턴
121 : 입력단 121a : RGB 입력 패턴
121b : 구동 신호 입력 패턴 123 : 출력단
123a : RGB 출력 패턴 123b : 구동 신호 출력 패턴
125 : 범프 130 : 절연층
140 : 비아홀 150 : 비아홀용 범프
160 : 쇼팅바

Claims (9)

  1. LCD의 점등 검사를 위한 프로브 블록의 컨텍터 필름에 있어서,
    직사각형태의 베이스 필름과;
    입력단과 출력단으로 이루어지고, 상기 출력단이 상기 베이스 필름 상에서 길이 방향으로 일정 길이만큼 상기 LCD의 패턴과 1:1 대응되어 형성되되, RGB 출력 패턴이 순차적으로 반복되고, 상기 RGB 출력 패턴의 양측에 구동 신호 출력 패턴이 형성되는 금속 패턴과;
    상기 금속 패턴의 상면에 형성되는 절연층과;
    상기 절연층을 관통하여 상기 금속 패턴의 RGB 출력 패턴 상에서 각각 형성되는 비아홀과;
    상기 비아홀 내부에 충전되는 비아홀용 범프; 및
    상기 비아홀의 상면에서 동일 패턴에 위치한 각각의 상기 비아홀용 범프를 전기적으로 상호 연결시키도록 상기 베이스 필름의 폭 방향으로 형성되는 쇼팅바로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 패턴은,
    각각의 상기 RGB 출력 패턴 및 구동 신호 출력 패턴의 상면에 일정 패턴으로 적층되어 상기 절연층의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 범프가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 범프는,
    원형 또는 다각형으로 형성되고, 상기 금속 패턴의 RGB 출력 패턴에 각각 복수개가 형성되되, 상호 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 패턴의 상기 RGB 출력 패턴은,
    상기 쇼팅바와 교차되는 부분이 상호 분리되고, 상호 분리된 부분의 끝단에 상기 비아홀 및 비아홀용 범프가 각각 형성되어 상기 쇼팅바와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 비아홀용 범프중 어느 하나의 비아홀용 범프는,
    일정 크기의 저항값을 갖는 저항체인 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 금속 패턴의 입력단은,
    상기 RGB 출력 패턴중 동일 패턴 N개와 전기적으로 연결되는 RGB 입력 패턴과;
    상기 구동 신호 출력 패턴과 1:1 대응되는 구동 신호 입력 패턴으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 패턴의 상기 RGB 출력 패턴은,
    서로 다른 길이를 가지며 순차적으로 반복 형성되고, 각각의 끝단에 상기 비아홀과 상기 비아홀용 범프가 형성되어 상기 쇼팅바와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 금속 패턴의 입력단은,
    상기 RGB 출력 패턴중 최외곽의 상기 RGB 출력 패턴의 양측에 일단이 형성되고, 상기 비아홀 및 비아홀용 범프를 통해 상기 쇼팅바와 전기적으로 연결되는 RGB 입력 패턴과;
    상기 구동 신호 출력 패턴과 1:1 대응되는 구동 신호 입력 패턴으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 RGB 출력 패턴에 형성되는 상기 비아홀용 범프는,
    일정 크기의 저항값을 갖는 저항체인 것을 특징으로 하는 LCD 점등용 프로브 블록의 컨텍터 필름.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109461403A (zh) * 2018-11-05 2019-03-12 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种显示器件及其制备方法和显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1164389A (ja) 1997-08-26 1999-03-05 Tokyo Electron Ltd バンプ型コンタクタ及びバンプ型コンタクタ用接触子の製造方法
JP2000262279A (ja) 1999-03-15 2000-09-26 Forestry & Forest Products Research Inst Forestry Agency 針葉樹不定胚の培養方法
JP2009103714A (ja) 2009-02-06 2009-05-14 Yunikon Kk フラットディスプレイパネル検査用プローブ基板
JP2009150768A (ja) 2007-12-20 2009-07-09 Micronics Japan Co Ltd プローブユニット及び検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1164389A (ja) 1997-08-26 1999-03-05 Tokyo Electron Ltd バンプ型コンタクタ及びバンプ型コンタクタ用接触子の製造方法
JP2000262279A (ja) 1999-03-15 2000-09-26 Forestry & Forest Products Research Inst Forestry Agency 針葉樹不定胚の培養方法
JP2009150768A (ja) 2007-12-20 2009-07-09 Micronics Japan Co Ltd プローブユニット及び検査装置
JP2009103714A (ja) 2009-02-06 2009-05-14 Yunikon Kk フラットディスプレイパネル検査用プローブ基板

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109461403A (zh) * 2018-11-05 2019-03-12 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种显示器件及其制备方法和显示装置
CN109461403B (zh) * 2018-11-05 2022-01-11 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种显示器件及其制备方法和显示装置

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