KR100979478B1 - 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록 - Google Patents

멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록 Download PDF

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Abstract

본 발명은 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록에 관한 것으로서, 특히 베이스 필름과; 상기 베이스 필름의 상면에서 이의 길이 방향으로 형성되는 복수의 금속 패턴과; 각각의 상기 금속 패턴의 일끝단 상면에서 일정 패턴으로 적층되어 돌출 형성되는 복수의 범프와; 상기 베이스 필름 상인 상기 금속 패턴의 상면과 상기 범프의 일정 높이까지 적층되는 절연층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면 베이스 필름의 상면에 금속 패턴을 형성하고, 금속 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 돌출시킨 후 금속 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성함으로써 미세 피치의 프로브 컨텍터의 구현이 가능하고, 금속 패턴과 범프의 접합력을 강화시킬 수 있다.

Description

멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록{MEMS FILM TYPE PROBE CONTACTOR AND PROBE BLOCK HAVING THEREOF}
본 발명은 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록에 관한 것으로서, 상세하게는 베이스 필름의 상면에 금속 패턴을 형성하고, 금속 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 복수개 돌출시킨 후 금속 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성하도록 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록에 관한 것이다.
LCD는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 박막트랜지스터 기판과 컬러필터층이 형성되어 있는 컬러필터 기판, 그리고 이들 사이에 액정층이 위치하고 있는 액정표시패널을 포함한다. 액정표시패널은 비발광소자이기 때문에 박막트랜지스터 기판의 후면에는 빛을 조사하기 위한 백라이트 유닛이 위치할 수 있다. 백라이트 유닛에서 조사된 빛은 액정층의 배열상태에 따라 투과량이 조절된다. 또한 액정표시패널의 각 화소를 구동하기 위해서, 구동회로와, 구동회로로부터 구동신호를 받아 표시영역내의 데이터 라인과 게이트 라인 등의 신호 라인에 전압을 인가하는 데이터 드라이버와 게이트 드라이버가 마련되어 있다.
액정표시패널의 제조 공정에는, 각 단계에서 제품의 불량여부를 검출하기 위한 다양한 검사가 요구된다. 이러한 검사는 어레이 테스트(array test), 비쥬얼 인스펙션(visual inspection, VI), 그로스 테스트(gross test, G/T), 파이널 테스트(final test) 등을 포함한다.
이중 비쥬얼 인스펙션은 액정표시패널의 완성 후 게이트 라인과 데이터 라인 등의 신호선을 연결하고 있는 쇼팅바(shorting bar)를 통해 검사신호를 인가하여 라인의 불량을 검출하는 테스트를 말한다. 비쥬얼 인스펙션에서의 검사신호 인가는 쇼팅바에 연결되어 있는 검사신호 금속 패드를 통해 이루어진다. 비쥬얼 인스펙션 테스트를 구체적으로 나누면, 쇼팅바에 의해 각각 게이트 라인과 데이터 라인에 입력되는 신호의 개수에 따라 1G1D, 1G2D, 2G2D 등으로 나누어진다. 1G2D를 예로 들면, 게이트 라인은 모두 동일한 단일의 신호를 받으며, 데이터 라인은 2그룹으로 나누어져 연결되어 2개의 신호를 받는 것이다. 이때 데이터 라인은 짝수번째와 홀수번째로, 즉 교호적으로 나누어지는 것이 바람직하다.
신호 라인에 단일의 검사신호를 인가하는 경우 인접한 신호 라인 또는 인접한 화소영역 간에 발생한 단락 불량 여부를 확인하지 못 할 수 있는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 홀수 번째 신호 라인 게이트 라인 및 데이터 라인과, 짝수번째 신호 라인인 게이트 라인 및 데이터 라인을 각각 교호적으로 나누어 다른 쇼팅바에 연결함으로써 라인간 반전구동이 가능하도록 구성한 2G2D방식은 1G1D에 비하여 인접한 신호 라인 또는 인접한 픽셀간의 단락(short) 불량도 구분할 수 있는 장점이 있다.
그러나, 쇼팅바를 통한 비쥬얼 인스펙션은 검사신호 금속 패드로부터 신호 라인까지의 길이가 서로 다르기 때문에 동시에 단일 신호를 인가하더라도 신호 라인의 길이 차이에 따른 검사 신호가 왜곡되는 문제점이 있으며 쇼팅바가 제거된 후에는 각 쇼팅바를 통한 단일 신호를 인가하여 불량 검출을 할 수 없는 문제점이 있다.
이와 달리 그로스 테스트는 쇼팅바가 제거된 후의 불량여부 검사방법으로서 기판에 형성된 게이트 라인 및 데이터 라인 각각과 연결된 금속 패드들과 검사를 위한 프로브의 접속핀들을 각각 접속하고 프로브에 테스트 구동신호를 공급하여 액정표시패널의 신호라인들의 불량 또는 화소의 불량을 테스트한다. 다음으로, 그로스 테스트 후 양품으로 판정된 액정표시패널에는 테스트 화상 신호를 공급하여 화상 구동 테스트를 실시하여 최종적으로 양품으로 판정된 액정표시패널에 구동회로를 포함하는 TCP를 부착하는 공정으로 이송하게 된다.
이와 같이 그로스 테스트를 통해 액정표시패널을 검사하기 위한 일반적인 프로브 조립체는, 어셈블리 블록과, 어셈블리 블록의 저면에 체결 고정되는 기판 홀더와, 기판 홀더의 저면에 체결되는 니들 홀더와, 니들 홀더의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되고, 패턴이 형성되는 TCP 필름과, 니들 홀더의 일끝단 저면에 부착되는 프로브 블록으로 이루어진다.
한편, 이러한 프로브 블록은 통상 니들 또는 블레이드 타입의 프로브를 배열하고, 프로브와 드라이브 IC가 부착된 TCP(Tape Carrier Package)/COF(Chip On Film) 패키지를 접합시키는 구성이다.
상기 TCP/COF 패키지는 폴리 이미드 필름(Polyimide Film) 또는 도전성 이방 필름(Anisotropic Conductive Film)에 복수의 입력 단자가 배열되는 입력단와, 각각의 입력 단자와 구리 패턴으로 연결된 출력 단자를 구비하는 출력단 및 입력단과 출력단 사이에 드라이브 IC가 실장된 형태이다.
그러나, 이러한 종래의 프로브 블록은 프로브를 일일이 수작업을 통해 배열하기 때문에 조립 시간 및 제조 단가가 상승되고, 프로브간의 폭을 일정하게 유지해야하기 때문에 미세 피치 구현이 어려운 문제점이 있다.
또한, 프로브와 LCD의 접촉시 압력에 의해 프로브의 변형이 손쉽게 발생하고, 변형으로 인해 검사 반복 신뢰성이 낮아지는 문제점이 있다.
또, 프로브가 니들 또는 블레이드 타입으로 형성되어 있기 때문에 배열 자유도가 낮아지는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 베이스 필름의 상면에 금속 패턴을 형성하고, 금속 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 돌출시킨 후 금속 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성함으로써 미세 피치의 프로브 컨텍터의 구현이 가능하고, 금속 패턴과 범프의 접합력을 강화시키도록 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록을 제공하도록 하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 상호 이격된 범프를 형성하고, 절연층으로 보호함으로써 LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 금속 패턴의 손상 또는 인접 금속 패턴과 쇼트가 발생하는 것을 미연에 방지하도록 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록을 제공하도록 하는 데 다른 목적이 있다.
또, 본 발명은 베이스 필름에 형성된 금속 패턴에 범프를 직접 적층하여 프로브 컨텍터를 형성함으로써 LCD의 접촉 및 강한 외력에 프로브의 변형 및 위치 변형이 발생되는 것을 미연에 방지하여 검사 반복 신뢰성을 높이고, 범프의 배열 자유도가 높고, 고밀도 직접회로 검사가 가능하도록 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록을 제공하도록 하는 데 또 다른 목적이 있다.
또, 본 발명은 범프가 프로브 블록의 전면에서 육안으로 확인이 가능하도록 범프가 형성된 부분을 말은 상태에서 프로브 블록에 고정함으로써 얼라인을 용이하게 조정할 수 있도록 하는 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비한 프로브 블록을 제공하도록 하는 데 또 다른 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
베이스 필름과; 상기 베이스 필름의 상면에서 이의 길이 방향으로 형성되는 복수의 금속 패턴과; 각각의 상기 금속 패턴의 일끝단 상면에서 일정 패턴으로 적층되어 돌출 형성되는 복수의 범프와; 상기 베이스 필름 상인 상기 금속 패턴의 상면과 상기 범프의 일정 높이까지 적층되는 절연층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 범프는 원형 또는 다각형으로 형성된다.
여기에서 또한, 상기 범프는 하나의 금속 패턴에 복수개가 형성되되, 상호 이격되어 형성된다.
본 발명의 다른 특징은,
상면 중앙부에 고정 포켓이 함몰 형성되며, 상기 고정 포켓과 양측면과 연통되는 얼라인 조정 볼트홀이 형성되며, 전단부에 경사를 가지며 돌출 형성되는 결합 플레이트를 구비하는 메인 블록과; 상기 메인 블록의 고정 포켓에 수납되어 볼트로 고정되고, 상기 얼라인 조정 볼트홀에 삽입된 볼트에 의해 좌우로 얼라인이 조정되는 얼라인 블록과; 탄성을 갖는 재질로 판형태로 형성되어 상기 메인 블록의 결합 플레이트 저면에 결합되는 압착 플레이트와; 상기 압착 플레이트를 상기 메인 블록의 결합 플레이트에 고정시키는 커버; 및 베이스 필름 상의 일단에 LCD 패턴과 1:1 대응되는 금속 패턴이 적층되고, 상기 금속 패턴의 상면에 복수의 범프가 돌출 형성되며, 상기 금속 패턴의 상면과 상기 범프의 일정 높이까지 적층되는 절연층이 구비되어 배면 일단이 상기 압착 플레이트에 접착 고정되는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 메인 블록의 고정 포켓의 저면에는 제 1키홈이 형성되고, 상기 얼라인 블록의 저면에 상기 제 1키홈과 대응되는 제 2키홈이 형성되며, 상기 제 1키홈과 제 2키홈에 고정키가 압입되어 고정된다.
여기에서 또한, 상기 압착 플레이트는 전단에 경사면을 구비한다.
여기에서 또, 상기 압착 플레이트는 서로 다른 경도를 갖는 재질로 상호 접합하여 2층으로 형성되되, 상층이 실리콘, 우레탄과 같은 연질로 형성되고, 하층이 상기 상층보다 경질의 수지 재질로 형성된다.
여기에서 또, 상기 커버는 상기 메인 블록의 결합 플레이트와 상기 메인 블록의 저면에 결합되도록 삼각 형태로 형성되되, 저면 중앙부에 폭방향으로 절개홈이 형성된다.
여기에서 또, 상기 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터는 상기 범프가 전면으로 노출되도록 댐퍼에 일끝단이 말린 상태로 상기 압착 플레이트에 고정된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록에 따르면, 베이스 필름의 상면에 금속 패턴을 형성하고, 금속 패턴의 상면에 버튼 타입의 범프를 돌출시킨 후 금속 패턴의 상면과 범프의 일정 높이까지 절연층을 형성함으로써 미세 피치의 프로브 컨텍터의 구현이 가능하고, 금속 패턴과 범프의 접합력을 강화시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 상호 이격된 범프를 형성하고, 절연층으로 보호함으로써 LCD 검사 과정에서 유리 또는 금속 재질의 조각으로 인해 금속 패턴의 손상 또는 인접 금속 패턴과 쇼트가 발생하는 것을 미연에 방지할 수 있다.
또, 본 발명에 따르면 베이스 필름에 형성된 금속 패턴에 범프를 직접 적층하여 프로브 컨텍터를 형성함으로써 LCD의 접촉 및 강한 외력에 프로브의 변형 및 위치 변형이 발생되는 것을 미연에 방지하여 검사 반복 신뢰성을 높이고, 범프의 배열 자유도가 높고, 고밀도 직접회로 검사가 가능할 수 있다.
또, 본 발명에 따르면 범프가 프로브 블록의 전면에서 육안으로 확인이 가능하도록 범프가 형성된 부분을 말은 상태에서 프로브 블록에 고정함으로써 얼라인을 용이하게 조정할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 측단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 분해 사시도이다.
도 5는 도 3의 A-A 단면도이다.
도 6은 도 3의 B-B 단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터 및 이를 구비하는 프로브 블록의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 측단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 분해 사시도이며, 도 5는 도 3의 A-A 단면도이고, 도 6은 도 3의 B-B 단면도이다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)는 베이스 필름(11)과, 금속 패턴(13)과, 범프(15) 및 절연층(17)으로 이루어진다.
먼저, 베이스 필름(11)은 직사각 형태로 폴리 이미드 필름(Polyimide Film) 등의 재질로 형성된다.
그리고, 금속 패턴(13)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 니켈-코발트 합금(Ni-Co), 금(Au), 백금(Pt), 로듐(Rh)과 같은 도전성 금속 재질로 베이스 필름(11) 상에 적층 형성되는 데, 일단이 LCD의 패턴과 1:1 대응하는 형태로 배열되고, 타단이 테스트 구동신호를 입력시키는 별도의 신호 발생장치(미도시)와 1:1 대응형태로 배열되고, 패턴 끝단이 노출되어 단자를 형성한다.
또한, 범프(15)는 금속 패턴(13)과 동종 재질 또는 이종 재질의 도전성 금속 재질로 각각의 금속 패턴(13)의 일단 상면에서 일정 패턴으로 적층되어 돌출 형성된다. 여기에서, 범프(15)는 도 1에 도시된 바와 같이 원형으로 형성되거나 또는 삼각, 사각과 같은 다각형으로 형성될 수 있다. 여기에서 또한, 범프(15)는 하나의 금속 패턴(13)에 복수개가 형성되되, 상호 이격되어 형성되는 것이 바람직하다.
또, 절연층(17)은 통상의 유, 무기계 절연 재질로 베이스 필름(11) 상인 금속 패턴(13)의 상면과 범프(15)의 일정 높이까지 적층된다. 여기에서, 일정 높이는 범프(15)가 외부로 돌출되어 LCD의 패턴과 원활하게 접촉될 수 있는 높이를 말한다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록(100)은 메인 블록(110)과, 얼라인 블록(120)과, 압착 플레이트(130)와, 커버(140)와, 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)로 이루어진다.
먼저, 메인 블록(110)은 금속 재질로 사각형으로 형성되고, 상면 중앙부에 고정 포켓(111)이 함몰 형성되며, 고정 포켓(111)과 양측면과 연통되는 얼라인 조정 볼트홀(113)이 형성되며, 상기 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)를 육안으로 확인할 수 있도록 전단부에 경사를 가지며 돌출 형성되는 결합 플레이트(115)를 구비한다.
여기에서, 메인 블록(110)의 고정 포켓(111)의 저면에는 하기에서 설명할 얼라인 블록(120)을 고정키(150)로 고정시켜 일체화시키도록 제 1키홈(117)이 형성된다. 이때, 제 1키홈(117)은 고정키(150)가 압입되는 정도의 길이와 폭을 갖는 것이 바람직하다.
그리고, 얼라인 블록(120)은 금속 재질의 사각형으로 메인 블록(110)의 고정 포켓(111)에 수납되어 볼트(101)로 고정되고, 얼라인 조정 볼트홀(113)에 삽입된 무두 볼트(103)에 의해 좌우로 얼라인이 조정된다.
여기에서, 얼라인 블록(120)의 저면에 제 1키홈(117)과 대응되는 제 2키홈(121)이 형성된다. 이때, 얼라인 블록(120)의 길이는 메인 블록(110)의 고정 포켓(111)의 길이에 압입될 수 있는 길이를 가지며, 얼라인 블록(120)의 폭은 메인 블록(110)의 고정 포켓(111) 내에서 좌우로 이동 가능한 길이를 갖는 것이 바람직하다.
또한, 압착 플레이트(130)는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)를 압착하도록 탄성을 갖는 재질로 직사각의 판형태로 형성되어 메인 블록(110)의 결합 플레이트(115) 저면에 볼트(101)에 의해 결합된다.
여기에서, 압착 플레이트(130)는 전단이 상, 하방향으로 경사면(131, 133)을 구비하는 데, 상방향의 경사면(131)은 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)를 육안으로 확인할 수 있도록 메인 블록(110)의 결합 플레이트(115)의 경사도와 동일하게 형성되는 것이 바람직하고, 하방향의 경사면(133)은 프로브 컨텍터(10)가 접합시 수평을 유지할 수 있는 경사도를 갖는 것이 바람직하다.
여기에서 또한, 압착 플레이트(130)는 압착력을 극대화시키도록 서로 다른 경도를 갖는 재질로 상호 접합하여 2층으로 형성되되, 상층이 실리콘, 우레탄과 같은 연질로 형성되고, 하층이 폴리이미드, 아셀탈 수지와 같은 경질 재질로 형성된다.
또, 커버(140)는 금속 또는 합성 수지 재질로 메인 블록(110)의 결합 플레이트(115)와 메인 블록(110)의 저면에 각각 볼트(101)로 결합되어 압착 플레이트(130)를 메인 블록(110)의 결합 플레이트(115)에 고정시키도록 삼각 형태로 형성되되, 저면 중앙부에 탄성을 갖도록 폭방향으로 절개홈(141)이 형성된다.
한편, 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)는 상기에서 설명한 구성으로, 도 5에 도시된 바와 같이 범프(15)가 전면으로 노출되어 육안으로 얼라인 조정이 가능하도록 댐퍼(101)에 일끝단이 말린 상태로 압착 플레이트(130)에 접착 고정된다. 여기에서, 댐퍼(101)를 대신하여 양면 테이프를 통해 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)를 말린 상태로 접착하여 압착 플레이트(130)에 접착 고정시킬 수도 있다.
이하, 본 발명에 따른 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록의 조립 과정 및 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 압착 플레이트(130)의 저면에 커버(140)를 면접시킨 상태에서 볼트(101)를 이용하여 커버(140)와 압착 플레이트(130)를 메인 블록(110)의 결합 플레이트(115)에 고정시켜 가조립한다.
이러한 상태에서 프로브 컨텍터(10)가 접착된 압착 플레이트(130)의 하방향의 경사면(133)에 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터(10)의 범프(15)가 저면에 위치하도록 범프(15)가 형성된 배면을 접착제를 이용하여 접착시킨다. 이때, 금속 패턴(13) 상에 형성된 범프(15)가 전면으로 노출되어 육안으로 얼라인 조정이 가능하도록 댐퍼(101)에 일끝단이 말린 상태로 압착 플레이트(130)에 접착 고정된다.
그리고, 메인 블록(110)의 고정 포켓(111)에 형성된 제 1키홈(117)에 고정키(150)를 압입시킨 다음, 얼라인 블록(120)의 제 2키홈(121)을 고정키(150)와 맞춰 압입시킨다.
그런 다음, 커버(140)에 볼트(101)를 체결하여 커버(140)와 메인 블록(110)의 고정키(150)를 상호 고정시키고, 얼라인 블록(120)을 메인 블록(110)에 볼트(101)로 고정시킨다.
이러한 상태에서, 메인 블록(110)의 얼라인 조정 볼트홀(113)에 무두 볼트(103)를 체결한 후 무두 볼트(103)로 얼라인 블록(120)을 좌우로 미세 이동시키면서 고정키(150)와 커버(140)를 좌우로 이동시켜 압착 플레이트(130)를 좌우로 이동시킨다.
그러면, 압착 플레이트(130)에 접착 고정된 프로브 컨텍터(10)가 좌우로 미세하게 이동되고, 이로 인하여 프로브 컨텍터(10)의 범프(15)의 얼라인을 조정할 수 있다.
상기와 같이 프로브 블록(100)의 조립이 완료되면 프로브 블록(100)을 프로브 유니트(미도시)에 다수개를 결합한다.
이러한 상태에서, LCD를 검사하기 위하여 프로브 블록(100)이 LCD의 패턴과 접촉되는 데, 이때 압착 플레이트(130)가 프로브 컨텍터(10)에 압력을 가한다.
그러면, 프로브 컨텍터(10)가 압착 플레이트(130)의 압착력에 의해 LCD의 패턴과 완전 밀착시킨다.
이러한 상태에서, 테스트 구동 신호가 프로브 컨텍터(10)로 전달되면, 전달된 테스트 구동 신호가 금속 패턴(13)과 범프(15)를 통하여 LCD의 패턴으로 전달되어 검사를 수행하게 된다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
10 : 프로브 컨텍터 11 : 베이스 필름
13 : 금속 패턴 15 : 범프
17 : 절연층 100 : 프로브 블록
110 : 메인 블록 120 : 얼라인 블록
130 : 압착 플레이트 140 : 커버

Claims (9)

  1. 베이스 필름과;
    상기 베이스 필름의 상면에서 이의 길이 방향으로 형성되는 복수의 금속 패턴과;
    각각의 상기 금속 패턴의 일끝단 상면에서 일정 패턴으로 적층되어 돌출 형성되는 복수의 범프와;
    상기 베이스 필름 상인 상기 금속 패턴의 상면과 상기 범프의 일정 높이까지 적층되는 절연층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 범프는,
    원형 또는 다각형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 범프는,
    하나의 금속 패턴에 복수개가 형성되되, 상호 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터.
  4. 상면 중앙부에 고정 포켓이 함몰 형성되며, 상기 고정 포켓과 양측면과 연통되는 얼라인 조정 볼트홀이 형성되며, 전단부에 경사를 가지며 돌출 형성되는 결합 플레이트를 구비하는 메인 블록과;
    상기 메인 블록의 고정 포켓에 수납되어 볼트로 고정되고, 상기 얼라인 조정 볼트홀에 삽입된 볼트에 의해 좌우로 얼라인이 조정되는 얼라인 블록과;
    탄성을 갖는 재질로 판형태로 형성되어 상기 메인 블록의 결합 플레이트 저면에 결합되는 압착 플레이트와;
    상기 압착 플레이트를 상기 메인 블록의 결합 플레이트에 고정시키는 커버; 및
    베이스 필름 상의 일단에 LCD 패턴과 1:1 대응되는 금속 패턴이 적층되고, 상기 금속 패턴의 상면에 복수의 범프가 돌출 형성되며, 상기 금속 패턴의 상면과 상기 범프의 일정 높이까지 적층되는 절연층이 구비되어 배면 일단이 상기 압착 플레이트에 접착 고정되는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 메인 블록의 고정 포켓의 저면에는 제 1키홈이 형성되고,
    상기 얼라인 블록의 저면에 상기 제 1키홈과 대응되는 제 2키홈이 형성되며,
    상기 제 1키홈과 제 2키홈에 고정키가 압입되어 고정되는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 압착 플레이트는,
    전단에 경사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 압착 플레이트는,
    서로 다른 경도를 갖는 재질로 상호 접합하여 2층으로 형성되되, 상층이 실리콘, 우레탄과 같은 연질로 형성되고, 하층이 상기 상층보다 경질인 수지 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록.
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 커버는,
    상기 메인 블록의 결합 플레이트와 상기 메인 블록의 저면에 결합되도록 삼각 형태로 형성되되, 저면 중앙부에 폭방향으로 절개홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터는,
    상기 범프가 전면으로 노출되도록 댐퍼에 일끝단이 말린 상태로 상기 압착 플레이트에 고정되는 것을 특징으로 하는 멤스 필름 타입 프로브 컨텍터를 구비하는 프로브 블록.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101285166B1 (ko) 2013-01-30 2013-07-17 주식회사 프로이천 필름 타입 핀 보드
KR101338231B1 (ko) 2012-07-06 2013-12-06 (주) 루켄테크놀러지스 프로브 필름, 그를 포함하는 프로브 유닛 및 프로브 필름의 제조방법
KR101923594B1 (ko) * 2018-06-04 2018-11-29 주식회사 프로이천 패널 검사용 프로브 블록에 장착되는 프로브 필름

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008233460A (ja) 2007-03-20 2008-10-02 Seiko Epson Corp 検査用プローブ及びその製造方法
JP2009103714A (ja) 2009-02-06 2009-05-14 Yunikon Kk フラットディスプレイパネル検査用プローブ基板

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008233460A (ja) 2007-03-20 2008-10-02 Seiko Epson Corp 検査用プローブ及びその製造方法
JP2009103714A (ja) 2009-02-06 2009-05-14 Yunikon Kk フラットディスプレイパネル検査用プローブ基板

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101338231B1 (ko) 2012-07-06 2013-12-06 (주) 루켄테크놀러지스 프로브 필름, 그를 포함하는 프로브 유닛 및 프로브 필름의 제조방법
KR101285166B1 (ko) 2013-01-30 2013-07-17 주식회사 프로이천 필름 타입 핀 보드
KR101923594B1 (ko) * 2018-06-04 2018-11-29 주식회사 프로이천 패널 검사용 프로브 블록에 장착되는 프로브 필름

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