KR100599989B1 - 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 유닛의 검사부와 피검사소자의 검사단자가 과접촉되지 않도록 하여 프로브 유닛의 변형 및 고장을 방지하는 안전수단이 마련된 프로브 유닛 및 이를 이용한 프로브 장치에 관한 것으로서, 검사팁의 강도가 보강되도록 하여 변형을 최소화시키고, 피검사소자의 검사단자가 프로브 유닛의 검사팁에 과도하게 가압될 경우 프로브 장치의 작동이 자동으로 멈춰지도록 하여 장비의 손상을 최소화할 수 있는 프로브 유닛 및 이를 이용한 프로브 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 유닛은 피검사소자와 접촉하여 상기 피검사소자의 상태를 검사하기 위한 검사팁이 마련된 프로브 유닛에 있어서, 상기 프로브 유닛의 검사팁 주변에 장착되어 상기 검사팁과 피검사소자의 접촉시 상기 프로브 유닛과 피검사소자가 상기 검사팁의 허용변형량에 대응하는 거리를 유지하도록 하는 스토퍼를 포함한다.
프로브 유닛, 검사팁, 피검사소자, 스테이지, 리니어 가이드, 스토퍼

Description

프로브 유닛을 이용한 프로브 장치 { PROBE APPARATUS USING PROBE UNIT }
도 1은 일반적인 피검사소자인 LCD 패널이 도시된 평면도.
도 2는 종래 기술에 따른 프로브 장치의 프로브 유닛과 피검사소자의 접속관계가 도시된 사시도.
도 3은 종래 기술에 따른 프로브 유닛이 도시된 사시도.
도 4는 종래 기술에 따른 프로브 유닛이 도시된 분해사시도.
도 5a는 종래 기술에 따른 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 피검사소자의 검사단자에 접촉대기 중인 상태도.
도 5b는 종래 기술에 따른 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 피검사소자의 검사단자에 일부가 접촉된 상태도.
도 5c는 종래 기술에 따른 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 피검사소자의 검사단자에 접촉이 완료된 상태도.
도 5d는 종래 기술에 따른 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 피검사소자의 검사단자에 과도하게 접촉되어 검사팁이 파손된 상태도.
도 6은 본 발명에 따른 프로브 장치의 일부가 절개된 측면도.
도 7은 도 6의 A부분이 확대된 도.
도 8a는 본 발명에 의한 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 피검사소자의 검사단자에 접촉되는 접촉대기 중인 상태도.
도 8b는 본 발명에 의한 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 검사단자에 접촉되는 일부가 접촉된 상태도.
도 8c는 본 발명에 의한 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 검사단자에 접촉되는 완전히 접촉된 상태도.
도 8d는 본 발명에 의한 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 검사단자에 완전히 접촉된 후 작업 스테이지의 작동을 정지시킨 상태도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
50 : 피검사소자 61 : 베이스 유닛
62 : 고정 플레이트 64 : 작업 스테이지
70 : 프로브 유닛 72 : 검사팁
74 : 몸체부 75 : 리니어 가이드
76 : 검사부 77 : 가동부
78 : 고정부 79 : 프로브블록
80 : 스토퍼 82 : 가요성 회로기판
84 : 테이프 캐리어 패키지 블록 90 : 근접센서
91 : 삽입홈
본 발명은 피검사소자를 검사하는 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브 유닛의 검사팁과 LCD와 같은 피검사소자의 검사단자가 과접촉되지 않도록 하여 프로브 유닛의 변형 및 고장을 방지하는 안전수단이 마련된 프로브 유닛 및 이를 이용한 프로브 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 각종 정보를 사용자에게 표시할 때에는 표시장치가 사용되고 있으며, 최근들어 전자산업의 발달과 정보량의 증가로 인해 대화면 디스플레이 소자의 연구 개발이 활발히 진행되고 있으며, 전력소모가 작고 대화면의 구현이 가능한 PDP(plasma display panel), LCD(liquid crystal display) 또는 유기EL(organic electroluminescence) 등의 평면표시소자가 개발되었다. 통상의 소형 텔레비젼이나 노트북과 같은 영상 표시장치로 주로 사용되는 LCD와 같은 피검사소자의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 가장자리 부분에 검사신호가 인가되는 복수의 검사단자(12)가 형성된다. 상기한 피검사소자(10)는 제품에 장착되기 전에 상기 피검사소자(10)의 상태가 검사되도록 프로브 유닛을 상기 검사단자(12)에 접촉시켜 피검사소자(10)의 점등검사를 실시한다.
도 2는 종래 기술에 따른 프로브 장치의 프로브 유닛과 피검사소자의 접속관계가 도시된 사시도이고, 도 3 및 도 4는 종래 기술에 따른 프로브 유닛이 도시된 사시도 및 분해사시도이다. 종래의 프로브 장치는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 일측에 고정 플레이트(22)가 설치되고, 상기 고정 플레이트(22)의 일측에는 피검사소자(10)의 검사단자(12)와 접속되는 하나 이상의 검사팁(32)을 갖춘 프로브 유닛(30)이 설치된다.
상기 프로브 유닛(30)은 상기 고정 플레이트(22)의 일측에 장착되는 몸체부(34)와, 상기 몸체부(34)의 일측에 활주가능하게 장착된 검사부(36)를 포함한다. 상기 검사부(36)는 가동부(37)와 고정부(38)를 포함한다. 상기 몸체부(34)와 상기 가동부(37) 사이에는 리니어 가이드(35)가 설치되어 이동이 안내되고, 상기 고정부(38)의 하단에는 피검사소자(10)의 검사단자(12)와 접촉하는 검사팁(32)이 형성된 프로브블록(39)이 탈착가능하게 장착된다. 또한, 상기 고정부(38)에는 상기 프로브블록(39)의 검사팁(32)으로 검사신호가 공급될 수 있도록 가요성 회로기판(42)이 연결된다. 상기 가요성 회로기판(42)에는 상기 검사팁(32)으로 공급되는 검사신호를 제어하기 위한 집적회로(IC)가 실장된 테이프 캐리어 패키지(tape carrier package : TCP) 블록(44)이 형성된다. 상기 몸체부(34)와 가동부(37) 사이에는 이들을 완충시키는 스프링을 포함하는 탄성부재(37a)가 포함된다. 전술된 프로브 유닛(30)은 상기 피검사소자(10)의 검사단자(12)가 상기 프로브 유닛(30)의 검사팁(32)에 접촉될 경우에 상기 가동부(37)가 상기 리니어 가이드(35)에 안내되어 상기 몸체부(34) 측으로 활주되고, 동시에 상기 탄성부재(37a)가 상기 가동부(37)의 활주시 발생되는 충격을 완충시킨다.
전술된 바와 같이, 상기 프로브 유닛(30)의 니들형 검사팁(32)이 피검사소자(10)의 검사단자(12)에 접촉하는 상태를 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 즉, 상기 피검사소자(10)는 이동가능한 작업 스테이지(24)에 안착되고, 도 5a와 같이, 상기 작업 스테이지(24)의 이동에 의해 정확한 검사위치로 이동된다. 상기 작업 스테이지(24)에 의해 검사위치로 이동된 피검사소자(10)는, 도 5b와 같이, 상기 작업 스테이지(24)의 상승에 의해 상기 피검사소자(10)의 검사단자(12)가 상기 프로브 유닛(30)의 검사팁(32)과 접촉된다. 여기서, 상기 프로브 유닛(30)에 구비된 복수개의 검사팁(32) 사이에 높이의 차이가 발생하거나 상기 피검사소자(10)에 형성된 검사단자(12)의 패턴 자체의 두께 차이가 일정하지 않을 경우 일부의 검사팁(32)이 검사단자(12)에 접촉되지 못한다. 이를 방지하기 위해 상기 작업스테이지(24)를 소정 높이 상승시켜 피검사소자(10)의 검사단자(12)가, 도 5c와 같이, 상기 프로브유닛(30)의 검사팁(32)에 가압되게 한다. 즉, 상기 피검사소자(10)의 검사단자(12)가 상기 검사팁(32)에 가압되므로써, 상기 프로브 유닛(30)의 구비된 모든 검사팁(32)이 상기 피검사소자(32)의 검사단자(12)에 완전히 접촉되는 것이다. 이때, 상기 검사단자(12)가 상기 검사팁(32)에 가압되어도 상기 검사팁(32)이 손상되지 않는 한계를 '허용변형량'이라고 하며, 통상적으로 상기 허용변형량의 값(d)은 검사팁(32)에 따라 소정값으로 정해진다. 상기 프로브 유닛(30)의 검사팁(32)은 형상에 따라 니들형, 블레이드형, 멤스형 등으로 나뉜다. 전술된 프로브 유닛(30)의 검사팁(32)은 사용 목적에 따라 적절한 형태의 검사팁(32)으로 교체 사용될 수 있다.
한편, 상기 프로브 장치는 기구가 이상 작동하게 되거나, 검사팁(32)을 교체 사용할 경우 작업자가 검사팁(32)의 형태에 따라 위치설정값을 변경하지 않고 작동하게 되는 경우가 발생된다. 이와 같은 이유로 상기 프로브 유닛(30)의 허용변형량(d)이 잘못 설정되어 상기 피검사소자(10)의 검사단자(12)가, 도 5d에 도시된 바와 같이, 상기 프로브 유닛(30)의 검사팁(32)에 허용변형량(d)을 초과하여 접촉하게 되면 일부의 검사팁(32c)은 완전하게 접촉이 되나 다른 일부의 검사팁(32d, 32e)에는 변형이 발생되고 심지어 일부의 검사팁(32f)은 부러지게 되어 재사용이 불가능해진다. 이에 변형이 발생된 검사팁(32)을 교체 또는 수리하여 사용하므로 작업시간이 지체되고, 검사팁(32)의 교체 또는 수리로 인한 추가비용이 소요된다. 또한, 전술된 바와 같이 프로브 장치가 이상 작동하게 되면 프로브 유닛(30)의 기구부에 부하를 가중시키게 되고 이로 인해 장비의 변형 또는 고장의 원인이 된다.
본 발명의 목적은 전술된 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 프로브 유닛의 검사팁과 피검사소자의 검사단자의 접촉시 상기 프로브 유닛과 피검사소자의 과도한 접촉에 의해 검사팁에 변형이 발생되지 않도록 하고, 이와 같은 상기 프로브 유닛과 피검사소자의 과도한 접촉에 의해 장비의 손상이 발생되는 것을 최소화할 수 있는 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.
본 발명은 베이스 유닛과, 상기 베이스 유닛에 이동가능하게 장착되고 피검사소자가 안착되며 구동부를 포함하는 작업스테이지와, 상기 베이스 유닛에 설치된 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트에 장착되며 피검사소자와 접촉하여 상기 피검사소자의 상태를 검사하기 위한 검사팁이 장착된 프로브 유닛을 포함하여 구성되는 프로브 장치에 있어서, 상기 수평방향으로 배열되는 검사팁의 하부면에 대응되고, 상기 검사팁의 방향과 동일하게 수평방향으로 배열되되, 상기 검사팁의 양측단부는 자유단으로 구성하고 중간부분은 스토퍼에 고정하므로서 상기 검사팁의 일측단부가 피검사소자에 가압접촉 시에 중간부분에서는 탄성변형이 일어나지 않고 일측단부에서만 탄성변형이 일어나도록 구성된다.
또한 상기 프로브 유닛은 몸체부와, 상기 몸체부의 일측에 활주가능하게 장착되고 검사팁이 설치된 검사부와, 상기 몸체부와 검사부 사이에 배치된 탄성부재를 포함하며, 상기 몸체부와 검사부 사이에는 상기 검사부와 몸체부 사이의 거리를 감지하는 근접센서가 설치된다.
아울러 상기 몸체부와 검사부 사이에는 상기 탄성부재에 작용되는 하중을 감지하는 로드 셀이 설치되며, 상기 근접센서로부터 전기신호를 전달받아 피검사소자의 이동을 제한시키는 제어기를 포함하고, 상기 로드 셀로부터 전기신호를 전달받아 피검사소자의 이동을 제한시키는 제어기를 포함한다.
여기서, 상기 프로브 유닛은 몸체부와, 상기 몸체부의 일측에 활주가능하게 장착되고 검사팁이 설치된 검사부와, 상기 몸체부와 검사부 사이에 배치된 탄성부재를 포함할 수 있다. 또한, 상기 몸체부와 검사부 사이에는 상기 검사부와 몸체부 사이의 거리를 감지하는 근접센서가 설치되거나, 상기 탄성부재에 작용되는 압력변화로 상기 검사부와 몸체부 사이의 거리를 감지하는 로드셀이 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 프로브 유닛을 이용하는 프로브 장치는 상기 근접센서 또는 로드셀로부터 전기신호를 전달받아 피검사소자의 이동을 제한시키는 제어기를 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 6은 본 발명에 따른 프로브 장치의 일부가 절개된 측면도이다. 본 발명에 따른 프로브 장치는, 도 6에 도시된 바와 같이, 베이스 유닛(61)과, 상기 베이스 유닛(61)에 이동가능하게 장착되고 피검사소자(50)가 안착되는 작업 스테이지(64)와, 상기 베이스 유닛(61)에 설치된 고정 플레이트(62)와, 상기 고정 플레이트(62)에 장착된 프로브 유닛(70)을 포함한다. 상기 베이스 유닛(61)은 프레임으로 이루어져 상기 프로브 장치의 외관을 이루고, 내부에는 각종 장비들이 장착된다. 상기 작업 스테이지(64)는 구동부를 포함하고, 상기 구동부의 작동에 의해 피검사소자(50)가 검사위치로 이동된다. 상기 프로브 유닛(70)에는 상기 작업 스테이지(64)에 안착된 피검사소자(50)와 접촉하여 상기 피검사소자(50)의 상태를 검사하기 위한 검사팁(72)이 마련된다.
도 7은 도 6의 A부분이 확대된 도로서, 상기 프로브 유닛(70)은 상기 고정 플레이트(62)의 일측에 장착되는 몸체부(74)와, 상기 몸체부(74)에는 피검사소자(50)의 검사를 위한 검사부(76)가 설치된다. 상기 검사부(76)는 상기 몸체부(74)의 일측에 활주가능하게 장착된 가동부(77)와, 상기 가동부(77)의 하단에 결합된 고정부(78)로 이루어진다. 상기 고정부(78)에는 상기 프로브블록(79)의 검사팁(72)으로 검사신호가 공급될 수 있도록 가요성 회로기판(82)이 연결된다. 상기 가요성 회로기판(82)에는 상기 검사팁(72)으로 공급되는 검사신호를 제어하기 위한 집적회로(IC)가 실장된 테이프 캐리어 패키지(tape carrier package : TCP) 블록(84)이 형성된다. 상기 몸체부(74)와 상기 가동부(77) 사이에는 리니어 가이드(75)가 설치되어 이동이 안내되고, 상기 고정부(78)의 하단에는 피검사소자(50)의 검사단자(52)와 접촉하는 검사팁(72)이 형성된 프로브블록(79)이 탈착가능하게 장착된다.
또한, 상기 프로브블록(79)에는 상기 검사팁(72)의 중간부분(72c) 하부에 위치되는 스토퍼(80)가 설치된다. 상기 스토퍼(80)는 상기 검사팁(72)의 일측단부(72a)가 피검사소자(50)와 과도한 접촉에 의해 변형되는 것을 방지한다. 즉, 상기 스토퍼(80)는 상기 검사팁(72)의 일측단부(72a)와 피검사소자(50)의 접촉시 상기 검사부(76)와 피검사소자(50)가 상기 검사팁(72)의 허용변형량(d)에 대응하는 거리를 유지하도록 한다.
이에 따라 상기 검사팁(72)의 양측단부(72a,72b)는 자유단으로 구성하고 중간부분(72c)은 스토퍼(80)에 고정하므로서 상기 검사팁(72)의 일측단부(72a)가 피검사소자(50)에 가압접촉 시에 중간부분(72c)에서는 탄성변형이 일어나지 않고 일측단부(72a)에서만 탄성변형이 일어나도록 구성되는 것이다.
또한 상기 스토퍼(80)는 상기 프로브블록(79)의 선단에 볼트(80a)로서 고정되어 상기 검사부(76)와 연동된다. 또한, 상기 몸체부(74)와 가동부(77) 사이에는 이들을 완충시키는 스프링을 포함하는 탄성부재(77a)가 설치된다. 여기서, 상기 프로브 유닛(70)의 검사팁(72)은 사용 목적에 따라 멤스형, 니들형, 블레이드형의 검사팁(72)으로 교체 사용될 수 있다.
또한, 전술된 프로브 유닛(70)을 포함하는 프로브 장치에는 상기 프로브 유닛(70) 및 그의 검사팁(72)의 변형 및 손상을 차단하는 안전장치가 더 포함된다. 상기 안전장치는 상기 작업 스테이지(64)의 이상 작동으로 인해 상기 피검사소자(50)가 허용변형량(d)을 초과하여 상승될 경우 상기 스테이지(64)의 작동을 멈추도록 한다. 상기 안전장치는 상기 프로브 유닛(70)의 일측에 설치된 감지수단과, 상기 감지수단에 연결되어 상기 스테이지의 작동을 멈추게 하는 (도시되지 않은) 제어기를 포함한다. 상기 감지수단은 상기 몸체부(74)와 검사부(76) 사이에 설치된 근접센서(90)를 포함한다. 상기 근접센서(90)는 상기 몸체부(74)의 일측에 설치되어 상기 가동부(77)의 상단과의 거리를 감지한다. 상기 근접센서(90)에서 감지된 상기 몸체부(74)와 가동부(77) 사이의 거리는 전기신호로 변환되어 상기 작업 스테이지(64)의 작동을 제어하도록 상기 제어기로 전달된다. 이를 위해 상기 몸체부(74)의 상단에는 상기 근접센서(90)가 삽입 설치되는 삽입홈(91)이 형성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 프로브 장치의 작동을, 도 8a 내지 도8d를 참조하여 살펴보면 다음과 같다. 도 8a 내지 도 8d는 본 발명에 의한 프로브 유닛의 니들형 검사팁이 검사단자에 접촉되는 접촉대기 중인 상태, 일부가 접촉된 상태, 완전히 접촉된 상태, 과도하게 접촉된 상태, 완전히 접촉된 후 작업 스테이지의 작동을 정지시킨 상태를 나타낸 도면이다. 먼저, 작업자는, 도8a와 같이, 작업 스테이지(64)에 검사하고자 하는 피검사소자(50)를 안착시킨다. 다음으로 상기 피검사소자(50)가 프로브 유닛(70)의 검사팁(72)의 하측에 배치되도록 상기 작업 스테이지(64)를 구동시킨다. 상기 피검사소자(50)가 검사팁(72)의 하측에 배치되면, 도 8b와 같이, 상기 작업 스테이지(64)를 상승시켜 피검사소자(50)의 검사단자(52)를 상기 프로브 유닛(70)의 검사팁(72)에 접촉시킨다. 상기 프로브 유닛(70)의 검사팁(72)은 상기 프로브 유닛(70)의 몸체부(74)와 가동부(77) 사이에 배치된 탄성부재(77a)에 의해 접촉시 발생되는 충격이 완화된다. 한편, 상기 프로브 장치는 기구가 이상 작동하게 되거나, 검사팁(72)을 교체 사용할 경우 작업자가 검사팁(72)의 형태에 따라 위치설정값을 변경하지 않을 경우 상기 프로브 장치가 오작동되는 경우가 발생된다. 상기 프로브 유닛(70)에 구비된 복수개의 검사팁(72) 사이에 높이의 차이가 발생하거나 상기 피검사소자(50)에 형성된 검사단자(52)의 패턴 자체의 두께 차이가 일정하지 않을 경우 일부의 검사팁(72)이 상기 검사단자(52)에 접촉되지 못한다. 이와 같이 상기 검사팁(72)의 일부가 상기 검사단자(52)에 접촉되지 않는 것을 방지하기 위해 상기 작업 스테이지(64)를 상승시킨다. 이때, 상기 검사부(76)는 탄성부재(77a)에 의해 충격이 완충되는 동시에 상기 가동부(77)가 상기 리니어 가이드(75)에 활주되며 상승된다. 그리고, 상기 작업 스테이지(64)의 지속적인 상승에 의해, 도 8c와 같이, 상기 피검사소자(50)의 검사단자(52)가 상기 프로브 유닛(70)의 검사팁(72)에 완전히 접촉되도록 소정의 압력이 가해진다. 이때, 상기 스토퍼(80)가 상기 피검사소자(50)의 일측에 접촉되며 상기 프로브 유닛(70)의 검사팁(72)이 허용변형량(d)을 초과하지 않도록 상기 검사팁(72)과 피검사소자(50) 사이의 거리를 일정하게 유지시킨다.
한편, 상기 프로브 유닛의 몸체부(74)에 설치된 근접센서(90)는 상기 가동부(77)와 몸체부(74) 사이의 거리를 감지한다. 상기 근접센서(90)에서 감지된 거리 값은 (도시되지 않은) 제어기로 보내진다. 상기 제어기는 입력된 거리 값을 판독하여 상기 가동부(77)와 몸체부(74) 사이의 거리를 기준 설정값과 비교한다. 이때, 상기 프로브 장치의 오작동에 의해 피검사소자(50)가 장착된 작업 스테이지(64)가 과도하게 상승되어 상기 가동부(77)와 몸체부(74) 사이의 거리가 기준 설정값보다 가까워질 경우에는, 도 8d에 도시된 바와 같이, 상기 작업 스테이지(64)의 상승을 중단시켜 상기 프로브 유닛(70) 또는 상기 검사팁(72)의 파손 및 변형이 발생되지 않도록 한다.
전술된 바와 같이, 본 발명에 의한 프로브 유닛(80)은 상기 스토퍼(80)가 상기 프로브 유닛(80)과 피검사소자(50) 사이의 거리가 허용 변형량(d) 이내로 근접되는 것을 차단하여 상기 검사팁(72)의 변형을 방지한다. 또한, 상기 프로브 유닛(80)은 상기 근접센서(90)에 의해 상기 가동부(77)와 몸체부(74) 사이의 거리가 감지되도록 하고 있다. 이와 같이 구성된 프로브 유닛(70)을 포함하는 프로브 장치는 상기 근접센서(80)로부터 감지된 거리를 판단하여 상기 가동부(77)가 상기 몸체부(74)로 필요이상 근접되면 상기 작업 스테이지(64)의 작동을 중단시켜 상기 프로브 유닛(70) 또는 검사팁(72)이 변형되지 않도록 한다.
상기 감지수단의 다른 예로서, 상기 몸체부(74)와 가동부(77) 사이에 설치되어 상기 탄성부재(77a)에 작용되는 하중을 감지하는 (도시되지 않은) 로드 셀을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 로드 셀은 하중을 받으면 압축 또는 인장에 따라 전압이 변화되는 압전소자로서, 상기 로드 셀의 전압 변화량을 감지하여 상기 프로브 유닛의 검사팁(72)에 가해지는 압력을 측정할 수 있다. 즉, 상기 로드 셀은 상기 몸체부(74)와 가동부(77) 사이의 거리가 기준 설정값보다 가까워질 경우 상기 탄성부재(77a)에 작용되는 하중을 감지하고, 감지된 하중이 상기 검사팁(72)의 허용변형량에 대응하는 압력 이상으로 증가할 경우 상기 작업 스테이지(64)의 작동을 중단시켜 상기 검사팁(72) 및 프로브 유닛(70)의 손상을 방지한다.
이상과 같이 본 발명에 따른 프로브 유닛 및 이를 이용한 프로브 장치를 예시된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이상에서 설명된 실시예와 도면에 의해 한정되지 않으며, 특허청구범위 내에서 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자들에 의해 다양한 수정 및 변형될 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 프로브 유닛는 니들형 검사팁은 물론이고 블레이드형 검사팁과 멤스형 검사팁을 포함한고, 그 적용되는 검사팁의 형상에 따라 적절한 변형이 이루어진다.
전술된 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치는 검사팁과 피검사소자의 접촉시 상기 프로브 유닛과 피검사소자의 이격거리가 상기 검사팁의 허용변형량에 대응하는 거리 내에서 유지되도록 상기 프로브 장치의 스테이지의 과이동을 제어하는 안전수단이 설치되어 상기 프로브 유닛의 검사팁에 변형이 발생되지 않고, 상기 프로브 장치의 내구성이 향상됨은 물론이고 고장 발생이 저감된다. 또한, 상기 프로브 유닛의 검사팁이 교체로 인해 기준값이 오설정될 경우에도 상기 스테이지의 작동이 멈춰지므로 정확한 검사가 가능하므로 작업속도가 신속해지고, 생산성이 향상된다. 또한, 전술된 바와 같이, 상기 프로브 유닛의 검사팁에 변형이 방지되므로 프로브 유닛의 검사팁과 피검사소자의 검사단자의 접촉성이 향상되고 검사의 신뢰성이 향상된다. 또한, 기존의 프로브 장치에 간단하게 설치할 수 있으므로 추가적인 비용이 적게 소요된다.

Claims (6)

  1. 베이스 유닛과, 상기 베이스 유닛에 이동가능하게 장착되고 피검사소자가 안착되며 구동부를 포함하는 작업스테이지와, 상기 베이스 유닛에 설치된 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트에 장착되며 피검사소자와 접촉하여 상기 피검사소자의 상태를 검사하기 위한 검사팁이 장착된 프로브 유닛을 포함하여 구성되는 프로브 장치에 있어서,
    상기 수평방향으로 배열되는 검사팁의 하부면에 대응되고, 상기 검사팁의 방향과 동일하게 수평방향으로 배열되되, 상기 검사팁의 양측단부는 자유단으로 구성하고 중간부분은 스토퍼에 고정하므로서 상기 검사팁의 일측단부가 피검사소자에 가압접촉 시에 중간부분에서는 탄성변형이 일어나지 않고 일측단부에서만 탄성변형이 일어나도록 구성된 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 프로브 유닛은 몸체부와, 상기 몸체부의 일측에 활주가능하게 장착되고 검사팁이 설치된 검사부와, 상기 몸체부와 검사부 사이에 배치된 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 몸체부와 검사부 사이에는 상기 검사부와 몸체부 사이의 거리를 감지하는 근접센서가 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 몸체부와 검사부 사이에는 상기 탄성부재에 작용되는 하중을 감지하는 로드 셀이 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치.
  5. 청구항 3에 있어서, 상기 근접센서로부터 전기신호를 전달받아 피검사소자의 이동을 제한시키는 제어기를 포함하는 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치.
  6. 청구항 4에 있어서, 상기 로드 셀로부터 전기신호를 전달받아 피검사소자의 이동을 제한시키는 제어기를 포함하는 프로브 유닛을 이용한 프로브 장치.
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