TWI719474B - 基板搬送機器人及基板保持手的光軸偏差檢測方法 - Google Patents

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Abstract

本發明之基板保持手之光軸偏差檢測方法係取得理想光軸於水平之第1方向上延伸之手之基準回轉位置；進行第1搜尋處理，該第1搜尋處理係一面使手於以基準回轉位置為基準之既定之第1回轉位置向以回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由光電感測器檢測第1目標體，並求出此時之手的與第1方向正交之水平之第2方向之位置作為檢測位置；對第2目標體進行與第1搜尋處理相同之第2搜尋處理，基於藉由第1搜尋處理與第2搜尋處理求出之檢測位置之差，檢測光軸相對於理想光軸之傾斜。自回轉軸至第1目標體及第2目標體為止之第2方向之距離相等，於手上，光軸和第1目標之交叉位置與光軸和第2目標之交叉位置不同。

Description

基板搬送機器人及基板保持手的光軸偏差檢測方法
本發明係關於一種於基板搬送機器人中檢測設置於基板保持手之光電感測器之光軸之偏差之技術。
以往，已知於基板保持手之前端部具備透過型光電感測器之基板搬送機器人。該光電感測器例如用於藉由檢測收容於載體之各槽之基板之邊緣來檢測各槽有無基板。
透過型光電感測器具備投光器及受光器，該等精度良好地安裝於基板保持手。連結投光器與受光器之光軸相對於理想位置之位置偏差藉由專用計測裝置進行計測，且存儲於控制器，藉由控制器用於控制機器人。近年來，提出藉由機器人自身計測光電感測器之光軸相對於理想位置之位置偏差之方法。於專利文獻1、2中揭示有該種技術。
專利文獻1及專利文獻2中記載之校準方法係於基板之載置位置載置包括小圓板之示教夾具，藉由設置於手之光電感測器檢測小圓板之邊緣，推定示教夾具之位置，基於示教夾具之示教位置與推定位置之差，求出光軸相對於理想位置之手軸方向之位置偏差、或光軸相對於理想位置之手旋轉方向之位置偏差。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2005-118951號公報 專利文獻2：日本專利特開2008-114348號公報
[發明所欲解決之課題]
於專利文獻1及專利文獻2中記載之校準方法中，使手相對於小圓板之邊緣自不同之角度接近，藉由設置於手之光電感測器檢測小圓板之邊緣。因此，為了自檢測所得之位置求出光軸相對於理想位置之位置偏差，而需要複雜之運算。
本發明係鑒於以上情況而完成者，其目的在於提出一種與專利文獻1及專利文獻2中記載之方法相比，簡易且精確地求出光軸相對於理想位置之位置偏差之技術。 [解決課題之技術手段]
本發明之一態樣之基板保持手之光軸偏差檢測方法係於具備保持基板之手、包括上述手之回轉軸且使該手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器的基板搬送機器人中，檢測上述光電感測器之光軸相對於上述手上所規定之理想光軸之偏差之方法，且包括： 取得如上述理想光軸於水平之某第1方向上延伸之以上述回轉軸為回轉中心之上述手之基準回轉位置之動作； 進行一系列之第1搜尋處理之動作，該一系列之第1搜尋處理之動作係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第1回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第1目標體，求出檢測到上述第1目標體時之上述手之與上述第1方向正交之水平之第2方向之位置作為第1檢測位置； 進行一系列之第2搜尋處理之動作，該一系列之第2搜尋處理之動作係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第2回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第2目標體，求出檢測到上述第2目標體時之上述手之上述第2方向之位置作為第2檢測位置；及 基於上述第1檢測位置與上述第2檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之傾斜之動作；且 自上述回轉軸至上述第1目標體為止之上述第2方向之距離與自上述回轉軸至上述第2目標體為止之上述第2方向之距離相等， 上述手上之上述光軸和上述第1目標體之交叉位置與上述光軸和上述第2目標體之交叉位置不同。
本發明之又一態樣之基板保持手之光軸偏差檢測方法係於具備保持基板之手、使上述手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器之基板搬送機器人中，檢測上述光電感測器之光軸相對於上述手上所規定之理想光軸之偏差之方法，且包括： 使上述手藉由以上述理想光軸於水平之第1方向上延伸之姿勢向與上述第1方向正交之水平之第2方向進入而向既定之基板載置位置移動，自上述手向設置於該基板載置位置之基板載置部移載上述基板之動作； 將上述手中與保持於該手之上述基板之中心於垂直方向上重疊之位置規定為手中心，使上述手自上述基板載置位置向上述第2方向後退上述手中心與上述理想光軸之距離加上上述基板之半徑所得之距離，求出該手之上述第2方向之位置作為基準位置之動作； 一面使上述手向上述第2方向進退移動，一面藉由上述光電感測器搜尋上述基板之邊緣，求出上述搜尋中檢測到上述基板之邊緣時之上述手之上述第2方向之位置作為檢測位置之動作；及 基於上述基準位置與上述檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之位置偏差之動作。
本發明之又一態樣之基板搬送機器人具備： 機器人本體，其具有保持基板之手、包括上述手之回轉軸且使該手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器，且於上述手規定有理想光軸； 校準夾具，其具有第1目標體及第2目標體； 及控制器； 上述控制器包括： 機器人控制部，其以如下方式使上述機器人本體動作，即，取得如上述理想光軸於水平之某第1方向上延伸之以上述回轉軸為回轉中心之上述手之基準回轉位置；進行第1搜尋，該第1搜尋係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第1回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第1目標體；進行第2搜尋，該第2搜尋係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第2回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第2目標體；及 光軸傾斜檢測部，其求出於上述第1搜尋中檢測到上述第1目標體時之上述手之與上述第1方向正交之水平之第2方向之位置作為第1檢測位置，求出於上述第2搜尋中檢測到上述第2目標體時之上述手之上述第2方向之位置作為第2檢測位置，且基於上述第1檢測位置與上述第2檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之傾斜。 於上述中，自上述回轉軸至上述第1目標體為止之上述第2方向之距離與自上述回轉軸至上述第2目標體為止之上述第2方向之距離相等，且上述手上之上述光軸和上述第1目標體之交叉位置與上述光軸和上述第2目標體之交叉位置不同。
本發明之又一態樣之基板搬送機器人具備：機器人本體，其具有保持基板之手、使上述手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器；基板載置部，其設置於既定之基板載置位置；及控制器； 而且，上述控制器 於上述手規定理想光軸，將上述手中與保持於該手之上述基板之中心於垂直方向上重疊之位置規定為手中心；且包括： 機器人控制部，其以如下方式使上述機器人本體動作，即，使上述手以上述理想光軸於水平之第1方向上延伸之姿勢向與上述第1方向正交之水平之第2方向進入至上述基板載置位置，自上述手向上述基板載置部移載上述基板，使上述手朝向自上述基板載置位置向上述第2方向後退上述手中心與上述理想光軸之距離加上上述基板之半徑所得之距離之位置移動，一面使上述手向上述第2方向進退移動，一面藉由上述光電感測器進行上述基板之邊緣之搜尋；及 光軸位置偏差檢測部，其求出上述手位於上述後退之位置時之上述第2方向之位置作為基準位置，求出於上述搜尋中檢測到上述基板之邊緣時之上述手之上述第2方向之位置作為檢測位置，且基於上述基準位置與上述檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之位置偏差。 [發明之效果]
根據本發明，與習知相比，可簡易且精確地檢測基板保持手之光軸相對於理想位置之偏差。
其次，參照圖式對本發明之實施形態進行說明。
（基板搬送機器人1之概略構成） 圖1係本發明之一實施形態之基板搬送機器人1之概略側視圖。圖2係圖1所示之基板搬送機器人1之概略俯視圖。圖1及圖2所示之基板搬送機器人1具備機器人本體10、控制機器人本體10之動作之控制器15、及校準夾具9。基板搬送機器人1係對未圖示之基板載置部進行基板W之搬入（積載）及搬出者。基板搬送機器人1例如可配備於EFEM（Equipment Front End Module，設備前端模組）、選別機、基板處理系統等各種搬送基板W之系統。
（機器人本體10之構成） 機器人本體10具有基台11、支持於基台11之機械臂（以下稱為「臂12」）、與臂12之遠端部連接設置之基板保持手（以下稱為「手13」）、及設置於手13之透過型光電感測器4。再者，於本實施形態中，採用透過型光電感測器作為光電感測器4，但亦可取而代之地採用回歸反射型光電感測器。
本實施形態之臂12由水平方向上延伸之第1連桿21、及經由並進關節連接於第1連桿21之第2連桿22所構成。於第1連桿21設置有並進裝置63，且藉由並進裝置63之動作，第2連桿22相對於第1連桿21，與該第1連桿21之長度方向平行地並進移動。並進裝置63例如包括軌道&滑塊、齒條&小齒輪、滾珠螺桿、或汽缸等直動機構（省略圖示）、及作為驅動部之伺服馬達M3（參照圖3）。但，並進裝置63之構成不限於以上所述。
臂12之近端部可升降及回轉地支持於基台11。藉由升降裝置61之動作，與臂12之近端部連結之升降軸23進行伸縮，臂12相對於基台11升降移動。升降裝置61例如包括：使升降軸23自基台11伸縮之直動機構（省略圖示）、及作為驅動部之伺服馬達M1（參照圖3）。又，藉由回轉裝置62之動作，臂12相對於基台11以回轉軸R為中心回轉。臂12之回轉軸R實質上與升降軸23之軸心一致。回轉裝置62例如包括：使第1連桿21繞回轉軸R旋轉之齒輪機構（省略圖示）、及作為驅動部之伺服馬達M2（參照圖3）。但，升降裝置61及回轉裝置62之構成不限於以上所述。
手13具備：連結於臂12之遠端部之基底部31、及固定於基底部31之葉片32。葉片32係前端部2股(2分叉)地分開之呈Y字狀（或U字狀）之薄板構件。
葉片32之主面係水平，且支持基板W之複數個支持墊33設置於葉片32上。複數個支持墊33以與載置於葉片32之基板W之邊緣接觸之方式配置。進而，於手13中，於葉片32之基端側設置有推進器34。於該推進器34與配置於葉片32之前端部之支持墊33之間固持著載置於葉片32之基板W。
再者，本實施形態之手13係將基板W一面以水平之姿勢保持一面進行搬送，但手13亦可以垂直之姿勢保持基板W。又，本實施形態之手13之基板W之保持方式為邊緣固持式，但亦可代替邊緣固持式而採用吸附式、落入式、載置式等公知之基板W之保持方式。
於手13至少設置有1組光電感測器4。光電感測器4設置於葉片32之2股地分開之前端部之背面。參照圖1及圖4，光電感測器4包括設置於葉片32之2股地分開之前端部之一者之投光器41、及設置於另一者之受光器42。投光器41與受光器42於與葉片32之主面平行之方向（即水平方向）分離。
投光器41具備投射成為檢測媒體之光之光源。受光器42具備接收投光器41之投射光且轉換成電氣訊號之受光元件。投光器41與受光器42對向配置，自投光器41射出之光呈直線狀前進，入射至受光器42之受光器之入光窗。於圖4中，自投光器41射出之光之光軸43以鎖線表示。光電感測器4於檢測到物體通過光軸43上，且入射至受光器42之光量減少時，向控制器15輸出檢測訊號。
（校準夾具9之構成） 本實施形態之校準夾具9具備：2根目標體91、92、及使該等目標體91、92個別地移動之目標移動裝置93、94。為了於藉由光電感測器4檢測之高度上確保寬度，且進一步減小檢測位置誤差，目標體91、92較理想為呈現垂直方向上延伸之銷、軸、或柱狀。但，目標體91、92之形狀不限於此。
目標移動裝置93、94係使目標體91、92於可藉由光電感測器4檢測之區域（可檢測區域）與較其低且無法藉由光電感測器4檢測之區域（無法檢測區域）之間移動即可。目標移動裝置93、94例如包括：齒條與小齒輪等直動機構、及作為直動機構之驅動部之電動馬達。但，目標移動裝置93、94不限於此。目標移動裝置93、94係與控制器15可通訊地連接，且目標移動裝置93、94之動作由控制器15之夾具控制部152控制。
將俯視下2根目標體91、92所通過之直線規定為目標基準線A2（參照圖2）。2根目標體91、92之與目標基準線A2平行之相隔距離Δd為已知，且Δd短於光軸43之長度。
（控制器15之構成） 圖3係表示基板搬送機器人1之控制系統之構成之圖。圖3所示之控制器15具有：控制機器人本體10之動作之機器人控制部151、夾具控制部152、光軸傾斜檢測部153、光軸位置偏差檢測部154、及基準回轉位置取得部156之各功能部。又，控制器15具有存儲關於光軸43之偏差之資訊之光軸偏差存儲部155。
控制器15係所謂之電腦，例如具有：微控制器、CPU、MPU、PLC、DSP、ASIC或FPGA等運算處理裝置（處理器）、及ROM、RAM等存儲裝置（均未圖示）。於存儲裝置存儲有運算處理裝置所執行之程式、各種固定資料等。存儲於存儲裝置之程式中包含本實施形態之旋轉軸搜尋程式。又，於存儲裝置儲存有用以控制臂12之動作之示教資料、關於臂12或手13之形狀、尺寸之資料、關於保持於手13之基板W之形狀、尺寸之資料等。
於控制器15中，運算處理裝置讀出並執行存儲於存儲裝置之程式等軟體，藉此，進行用以實現上述功能部之處理。再者，控制器15可藉由單一之電腦之集中控制來執行各處理，亦可藉由複數個電腦之協動之分散控制來執行各處理。
於控制器15連接有臂12之升降裝置61之伺服馬達M1、回轉裝置62伺服馬達M2、及並進裝置63之伺服馬達M3。於各伺服馬達M1~3設置有檢測其輸出軸之旋轉角之位置檢測器E1~3，且各位置檢測器E1~3之檢測訊號向控制器15輸出。進而，於控制器15亦連接有手13之推進器34。而且，控制器15之機器人控制部151基於由藉由位置檢測器E1~3之各者檢測之旋轉位置確定之手13之姿勢（即，空間中之位置及姿勢）、及存儲於存儲部之示教資料，運算既定之控制時間後之目標姿勢，於既定之控制時間後，以手13成為目標姿勢之方式使各伺服馬達M1~3動作。
（光軸之偏差檢測方法） 以下，對藉由上述構成之基板搬送機器人1執行之設置於手13之光電感測器4之光軸偏差檢測方法進行說明。
如圖2所示，於手13規定有手軸A1及手中心C。手軸A1係與手13之長度方向平行地呈直線狀延伸之軸線，葉片32於俯視下以手軸A1為對稱軸形成線對稱。於本實施形態中，手軸A1係與臂12之伸縮方向平行，手13係與手軸A1平行地移動。手中心C係手13中與保持於該手13之基板W之中心重疊之垂線。
光電感測器4之投光器41與受光器42係精度良好地安裝於手13。即便如此，因投光器41與受光器42之安裝誤差或個體差，亦存在實際之光軸43自設計之理想光軸44偏離之情況。光軸43之偏差中包括光軸43相對於理想光軸44之傾斜、及光軸43相對於理想光軸44之手軸方向之位置偏差。因此，於本實施形態之基板搬送機器人1中，控制器15之光軸傾斜檢測部153檢測光軸43相對於理想光軸44之傾斜，控制器15之光軸位置偏差檢測部154檢測光軸43相對於理想光軸44之與手軸A1平行之方向之位置偏差，機器人控制部151加入該等光軸43之偏差，使機器人本體10動作。
（光軸43之傾斜之檢測方法） 首先，自檢測光軸43相對於理想光軸44之傾斜之方法進行說明。圖4係對光軸43之傾斜之檢測方法進行說明之圖。圖5係基板搬送機器人1所進行之光軸43之傾斜之檢測處理之流程圖。
如圖4所示，將某水平方向設為第1方向X，將與第1方向X正交之水平方向設為第2方向Y。校準夾具9以目標基準線A2與第1方向X平行之方式定位。亦即，自手13之回轉軸R至第1目標體91之第2方向Y之距離與自回轉軸R至第2目標體92之第2方向Y之距離相等。
如圖5所示，控制器15首先取得手13之基準回轉位置（步驟S1）。如圖4所示，位於既定之待機位置之手13位於理想光軸44之延伸方向為第1方向X且手軸A1之延伸方向為第2方向Y之基準回轉位置，且自目標體91、92向第2方向Y離開。再者，若已知校準夾具9與機器人本體10之位置關係，則手13之基準回轉位置為已知。基準回轉位置取得部156取得預先存儲之基準回轉位置或示教之基準回轉位置，機器人控制部151以手13成為基準回轉位置之方式使機器人本體10動作。
其次，控制器15進行第1搜尋處理（步驟S2）。於第1搜尋處理中，控制器15以使手13於基準回轉位置向以回轉軸R為中心之放射方向移動直至由光電感測器4檢測到第1目標體91之方式使機器人本體10動作。此處，手13向第2方向Y移動。控制器15於第1搜尋處理期間以第1目標體91位於可檢測區域，且第2目標體92位於無法檢測區域之方式使目標移動裝置93、94動作。
控制器15求出第1搜尋處理中檢測到第1目標體91時之手13之第2方向Y之位置，將其作為第1檢測位置存儲（步驟S3）。控制器15以手13移動至待機位置之方式使機器人本體10動作。
其次，控制器15進行第2搜尋處理（步驟S4）。於第2搜尋處理中，控制器15以使手13於基準回轉位置向以回轉軸R為中心之放射方向移動直至由光電感測器4檢測到第2目標體92之方式使機器人本體10動作。此處，手13向第2方向Y移動。控制器15於第2搜尋處理期間以第1目標體91位於無法檢測區域，且第2目標體92位於可檢測區域之方式使目標移動裝置93、94動作。
控制器15求出第2搜尋處理中檢測到第2目標體92時之手13之第2方向Y之位置，將其作為第2檢測位置存儲（步驟S5）。控制器15以手13移動至待機位置之方式使機器人本體10動作。
繼而，控制器15根據第1檢測位置與第2檢測位置求出光軸43相對於理想光軸44之傾斜角α（步驟S6）。於光軸43之傾斜角α、第1檢測位置與第2檢測位置之差ΔL（省略圖示）、及目標體91、92之相隔距離Δd之間，下式之關係成立。 tanα＝∆L/∆d 因此，控制器15求出第1檢測位置與第2檢測位置之差ΔL，利用上式，基於差ΔL與目標體91、92之相隔距離Δd，求出光軸43相對於理想光軸44之傾斜角α。此處，若傾斜角α實質上為0，則控制器15可判定為無光軸43之傾斜，若傾斜角α實質上不為0，則可判定為有光軸43之傾斜（即，檢測出光軸43之傾斜）。再者，「實質上為0」並不嚴格地限定於0，於自0至正側與負側之各者中亦可包含既定之調整範圍之值。控制器15將求出之傾斜角α存儲於光軸偏差存儲部155（步驟S7），結束處理。
（光軸43之位置偏差之檢測方法） 繼而，對檢測光軸43相對於理想光軸44之與手軸A1平行之方向之位置偏差之方法進行說明。圖6及圖7係對檢測光軸43之位置偏差之方法進行說明之圖。圖8係基板搬送機器人1所進行之光軸43之位置偏差之檢測處理之流程圖。
機器人本體10之手13保持基板W，以理想光軸44之延伸方向為第1方向X且手軸A1之延伸方向為第2方向Y之姿勢位於自任意之基板載置部向第2方向Y退避之位置。基板載置部例如為基板舟、基板載體、基板托盤、基板處理裝置之載置台、對準器等，只要能夠載置基板W則無論其態樣如何。
如圖8所示，控制器15首先以將基板W自手13向基板載置部移載之方式使機器人本體10動作（步驟S11）。此處，控制器15使臂12伸長，使手13向第2方向Y進入，藉此，使葉片32向基板載置部之上方移動，其次，使臂12下降，使葉片32向基板載置部之下方移動。藉此，基板W自手13移載至基板載置部。將基板W載置於基板載置部時之手13之第2方向Y之位置設為「基板載置位置」。
如圖6所示，自手中心C至理想光軸44為止之與手軸A1平行之方向之距離L1、及基板W之半徑øW均為已知之值，且預先存儲於控制器15。如圖6及圖7所示，控制器15以手13自基板載置位置向第2方向Y後退距離L1與半徑øW之和（L1+øW）之方式使機器人本體10動作（步驟S12）。控制器15存儲手13之第2方向Y之位置作為基準位置（步驟S13）。
繼而，控制器15開啟光電感測器4，以使手13自基準位置上升直至理想光軸44自基板W之下移動至基板W之上之方式使機器人本體10動作（步驟S14）。若未檢測到基板W（於步驟S15中為NO），則控制器15判定為光軸43自理想光軸44向手中心C側偏離（步驟S16）。若檢測到基板W（於步驟S15中為YES），則控制器15判定為光軸43與理想光軸44一致或向與手中心C相反側偏離（步驟S17）。
控制器15基於步驟S16、S17之判定結果，以一面使手13向第2方向Y進入或後退一面藉由光電感測器4搜尋基板W之邊緣之方式，使機器人本體10動作（步驟S18）。此處，於步驟S16中判定為光軸43自理想光軸44向手中心C側偏離之情形時，於搜尋基板W之邊緣時，於使光電感測器4開啟之狀態下，反覆進行臂12之微量之伸長、及臂12之升降。另一方面，於步驟S17中判定為光軸43與理想光軸44一致或向與手中心C相反側偏離之情形時，於搜尋基板W之邊緣時，於使光電感測器4開啟之狀態下，反覆進行臂12之微量之縮短、及臂12之升降。
控制器15將檢測到基板W之邊緣時之手13之第2方向Y之位置作為檢測位置存儲（步驟S19）。控制器15求出基準位置與檢測位置之差作為光軸43相對於理想光軸44之與手軸A1之平行之方向之位置偏差量（步驟S20）。此處，若位置偏差量實質上為0，則控制器15可判定為無光軸43之位置偏差，若位置偏差量實質上不為0，則可判定為有光軸43之位置偏差（即，檢測到光軸43之位置偏差）。控制器15將位置偏差量存儲於光軸偏差存儲部155（步驟S21），結束處理。
控制器15將存儲於光軸偏差存儲部155之光軸43之傾斜角α及光軸43之位置偏差量用於控制機器人本體10之動作。亦即，控制器15以校準光軸43之傾斜角α及光軸43之位置偏差量之方式，生成機器人本體10之動作指令。
如以上所說明，本實施形態之基板搬送機器人1具備：機器人本體10，其具有保持基板W之手13、包括手13之回轉軸R且使手13位移之臂12、及設置於手13之前端部之光電感測器4；校準夾具9，其具有第1目標體91及第2目標體92；及控制器15。本實施形態之校準夾具9更具有使第1目標體91自光電感測器4之可檢測範圍向無法檢測範圍移動之第1目標移動裝置93、及使第2目標體92自光電感測器4之可檢測範圍向無法檢測範圍移動之第2目標移動裝置94。第1目標體91與第2目標體92係於第1方向X上排列，且第1目標體91與第2目標體92位於與第2方向Y垂直之同一平面內。又，自回轉軸R至第1目標體91為止之第2方向Y之距離與自回轉軸R至第2目標體92為止之第2方向Y之距離相等。於手13規定有理想光軸44。
而且，上述控制器15包括機器人控制部151、夾具控制部152、及光軸傾斜檢測部153。機器人控制部151以如下方式使機器人本體10動作，即，取得如理想光軸44於水平之某第1方向X上延伸之以回轉軸R為回轉中心之手13之基準回轉位置；進行第1搜尋，該第1搜尋係一面使手13於以基準回轉位置為基準之既定之第1回轉位置（於本實施形態中為基準回轉位置）向以回轉軸R為中心之放射方向移動，一面藉由光電感測器4檢測第1目標體91；進行第2搜尋，該第2搜尋係一面使手13於以基準回轉位置為基準之既定之第2回轉位置（於本實施形態中為基準回轉位置）向以回轉軸R為中心之放射方向移動，一面藉由光電感測器4檢測第2目標體92。夾具控制部152以於第1搜尋期間，第1目標體91位於可檢測範圍且第2目標體92位於無法檢測範圍，於第2搜尋期間，第1目標體91位於無法檢測範圍且第2目標體92位於可檢測範圍之方式，使第1目標移動裝置93及第2目標移動裝置94動作。光軸傾斜檢測部153求出第1搜尋中檢測到第1目標體91時之手13之與第1方向X正交之水平之第2方向Y之位置作為第1檢測位置，求出第2搜尋中檢測到第2目標體92時之手13之第2方向Y之位置作為第2檢測位置，且基於第1檢測位置與第2檢測位置之差，檢測光軸43相對於理想光軸44之傾斜。於上述中，手13上之光軸43和第1目標體91之交叉位置與光軸43和第2目標體92之交叉位置不同。
同樣地，本實施形態之基板保持手之光軸偏差檢測方法包括：取得如理想光軸44於水平之某第1方向X上延伸之以回轉軸R為回轉中心之手13之基準回轉位置；進行一系列之第1搜尋處理，該一系列之第1搜尋處理係一面使手13於以基準回轉位置為基準之既定之第1回轉位置（於本實施形態中為基準回轉位置）向以回轉軸R為中心之放射方向移動，一面藉由光電感測器4檢測第1目標體91，求出檢測到第1目標體91時之手13之與第1方向X正交之水平之第2方向Y之位置作為第1檢測位置；進行一系列之第2搜尋處理，該一系列之第2搜尋處理係一面使手13於以基準回轉位置為基準之既定之第2回轉位置（於本實施形態中為基準回轉位置）向以回轉軸R為中心之放射方向移動，一面藉由光電感測器4檢測第2目標體92，求出檢測到第2目標體92時之手13之第2方向Y之位置作為第2檢測位置；及基於第1檢測位置與第2檢測位置之差，檢測光軸43相對於理想光軸44之傾斜。於該光軸偏差檢測方法中，自回轉軸R至第1目標體91為止之第2方向Y之距離與自回轉軸R至第2目標體92為止之第2方向Y之距離相等，且手13上之光軸43和第1目標體91之交叉位置與光軸43和第2目標體92之交叉位置不同。
根據上述基板搬送機器人1及光軸偏差檢測方法，能夠根據檢測到目標體91、92之2個位置（即，第1檢測位置與第2檢測位置）之差，以簡單之計算檢測光軸43之偏差（傾斜）。而且，於第1搜尋及第2搜尋兩者中，因一面使手13與光軸43一同向第2方向Y移動一面搜尋目標體91、92，故可排除因齒隙等導致之機器人本體10之動作誤差、或目標體91、92上之被檢測位置誤差。因此，能夠更確實地求出光軸43之偏差（傾斜）。
又，於上述實施形態之基板搬送機器人1中，控制器15之機器人控制部151以如下方式使機器人本體10動作，即，使手13以理想光軸44於第1方向X上延伸之姿勢向與第1方向X正交之水平之第2方向Y進入至基板載置位置，將基板W自手13向基板載置部移載，使手13朝向自基板載置位置向第2方向Y後退手中心C與理想光軸44之距離L1加上基板W之半徑øW所得之距離之位置移動，一面使手13向第2方向Y進退移動，一面藉由光電感測器4進行基板W之邊緣之搜尋。而且，控制器15包括光軸位置偏差檢測部154，該光軸位置偏差檢測部154係求出手13位於後退之位置時之第2方向Y之位置作為基準位置，求出搜尋中檢測到基板W之邊緣時之手13之第2方向Y之位置作為檢測位置（第3檢測位置），基於基準位置與檢測位置之差，檢測光軸43相對於理想光軸44之位置偏差。
同樣地，上述基板保持手之光軸偏差檢測方法包括：使手13藉由以理想光軸44於水平之第1方向X上延伸之姿勢向與第1方向X正交之水平之第2方向Y進入而向既定之基板載置位置移動，將基板W自手13向設置於基板載置位置之基板載置部移載；將手13中與保持於該手13之基板W之中心於垂直方向上重疊之位置規定為手中心C，使手13自基板載置位置向第2方向Y後退手中心C與理想光軸44之距離L1加上基板W之半徑øW所得之距離，求出該手13之第2方向Y之位置作為基準位置；一面使手13向第2方向Y進退移動，一面藉由光電感測器4搜尋基板W之邊緣，求出搜尋中檢測到基板W之邊緣時之手13之第2方向Y之位置作為檢測位置（第3檢測位置）；及基於基準位置與檢測位置之差，檢測光軸43相對於理想光軸44之位置偏差。
根據上述基板搬送機器人1及光軸偏差檢測方法，不使用特別之夾具便可檢測光軸43相對於理想光軸44之位置偏差。
（變形例1） 對上述實施形態之變形例1進行說明。變形例1之基板搬送機器人1A之機器人本體10A之構成與上述實施形態之機器人本體10不同，校準夾具9A之構成亦與上述實施形態之校準夾具9不同。圖9係表示變形例1之基板搬送機器人1A之俯視圖。圖10係表示圖9所示之基板搬送機器人1A之控制系統之構成之圖。於變形例1之說明中，對與上述實施形態相同或類似之構件於圖中附加相同之符號，省略說明。
圖9及圖10所示之機器人本體10A係與上述實施形態之機器人本體10相比，於代替基台11而具備台車11A之方面不同，其餘之構成實質上相同。台車11A具備由控制器15控制之移行裝置64，藉由移行裝置64之動作，台車11A於敷設於地面之軌道18上移行。移行裝置64例如包括於軌道18上滑動之滑塊、與設置於軌道18之齒條嚙合之小齒輪、及使小齒輪旋轉驅動之電動馬達（均省略圖示）。但，移行裝置64之構成不限於此。
與該機器人本體10A相關聯之校準夾具9A具備1根銷狀之目標體90。亦即，目標體90可認作上述實施形態之第1目標體91與第2目標體92一致者。再者，目標體90亦可不如目標體91、92般移動。
藉由變形例1之基板搬送機器人1A所進行之光軸43之位置偏差之檢測處理實質上與上述實施形態相同。藉由變形例1之基板搬送機器人1A所進行之光軸43之傾斜之檢測處理與上述實施形態略有不同。圖11係對變形例1之基板搬送機器人1A所進行之光軸43之傾斜之檢測處理進行說明之圖。
於開始檢測光軸43之傾斜時，如圖11所示，以台車11A之移行方向A4（即，軌道18之延伸方向）與第1方向X平行之方式，定位機器人本體10。機器人本體10之手13以理想光軸44之延伸方向為第1方向X且手軸A1之延伸方向為第2方向Y之姿勢，位於自目標體90向第2方向Y離開之既定之待機位置。
其次，藉由控制器15進行上述步驟S1至步驟S7（參照圖5）之處理。其中，步驟S4之第2搜尋處理之具體處理內容與步驟S6之求出光軸43之傾斜角α之具體處理內容不同於上述實施形態。
於第2搜尋處理（步驟S4）中，如圖11所示，控制器15使移行裝置64將台車11A向第1方向X移動既定之移行距離Δd'後，使機器人本體10搜尋與第1搜尋處理相同之目標體90。
又，於求出光軸43之傾斜角α之處理（步驟S6）中，控制器15代替目標體91、92之相隔距離Δd而使用移行距離Δd'。
如以上所說明，本變形例之基板搬送機器人1A具備：機器人本體10A，其具有保持基板W之手13、使手13位移之臂12、及設置於手13之前端部之透過型光電感測器4；目標體90；及控制器15。於手13規定有理想光軸44。該控制器15包括機器人控制部151及光軸傾斜檢測部153。機器人控制部151係與上述實施形態相同地以取得基準回轉位置，進行第1搜尋，且進行第2搜尋之方式，使機器人本體10動作。其中，第1回轉位置及第2回轉位置均為基準回轉位置，機器人控制部151以於第1搜尋後使手13向第1方向X位移後進行第2搜尋之方式，使機器人本體10動作。
又，本變形例之基板搬送機器人1A所進行之基板保持手之光軸偏差檢測方法與上述實施形態相同，且包括：取得基準回轉位置、進行一系列之第1搜尋處理、進行一系列之第2搜尋處理、及檢測光軸43相對於理想光軸44之傾斜。其中，第1回轉位置及第2回轉位置均為基準回轉位置，第1搜尋處理中之手13之軌跡與第2搜尋處理中之手13之軌跡於第1方向X上分離。
（變形例2） 對上述實施形態之變形例2進行說明。圖12係變形例2之基板搬送機器人1B之俯視圖。於變形例2之說明中，對與上述實施形態相同或類似之構件於圖中附加相同之符號，省略說明。
如圖12所示，於變形例2之基板搬送機器人1B中，機器人本體10之構成與上述實施形態之機器人本體10相同，光軸43之傾斜之檢測中使用之校準夾具9A之構成與上述實施形態之校準夾具9不同。變形例2之基板搬送機器人1B之校準夾具9A具有實質上與變形例1中使用之校準夾具9A相同之構成。
藉由變形例2之基板搬送機器人1B進行之光軸43之位置偏差之檢測處理實質上與上述實施形態相同。藉由變形例2之基板搬送機器人1B進行之光軸43之傾斜之檢測處理與上述實施形態略有不同。圖13係對利用變形例2之基板搬送機器人1B所進行之光軸43之傾斜之檢測處理進行說明之圖。
於控制器15所進行之光軸43之傾斜之檢測處理中，進行自上述步驟S1至步驟S7（參照圖5）之處理。其中，步驟S2之第1搜尋處理之具體處理內容、步驟S4之第2搜尋處理之具體處理內容、及步驟S6之求出光軸43之傾斜角α之具體處理內容不同於上述實施形態。
如圖13所示，將包括手13之回轉軸R及與其平行地延伸之目標體90之垂直之平面規定為基準垂直面A3。其次，將手軸A1存在於基準垂直面A3內之（即，於俯視下，手軸A1與基準垂直面A3重疊）手13之位置設為基準回轉位置。於位於基準回轉位置之手13中，理想光軸44與基準垂直面A3正交。
於第1搜尋處理（步驟S2）中，控制器15首先使臂12以回轉軸R為中心自基準回轉位置回轉微小角度（-β）（參照圖14）。如此，將手13設為基準垂直面A3與理想光軸44相交之第1回轉位置（-β）後，一面藉由使臂12伸縮而使手13向以回轉軸R為中心之放射方向移動，一面藉由光電感測器4進行目標體90之搜尋。再者，於手13位於第1檢測位置時，可使用自目標體90至回轉軸R為止之距離、回轉位置、及自回轉軸R至理想光軸44為止之距離，求出俯視下之手軸A1與目標體90之距離d5。
於第2搜尋處理（步驟S4）中，控制器15首先使臂12以回轉軸R為中心回轉既定之微小角度（+2β）（參照圖15）。以此方式，將手13設為與第1回轉位置（-β）相對基準垂直面A3面對稱之第2回轉位置（+β）後，一面藉由使臂12伸縮而使手13向以回轉軸R為中心之放射方向移動，一面藉由光電感測器4進行目標體90之搜尋。再者，於手13位於第2檢測位置時，可使用自目標體90至回轉軸R之距離、回轉位置、及自回轉軸R至理想光軸44之距離，求出俯視下之手軸A1與目標體90之距離d6。距離d5與距離d6理想上相同。
於求出光軸43之傾斜角α之處理（步驟S6）中，控制器15基於距離d5及距離d6之和、及第1檢測位置與第2檢測位置之差，求出光軸43相對於理想光軸44之傾斜角α。
如以上所說明，本變形例之基板搬送機器人1B具備：機器人本體10，其具有保持基板W之手13、使手13位移之臂12、及設置於手13之前端部之透過型光電感測器4；目標體90；及控制器15。控制器15包括機器人控制部151、及光軸傾斜檢測部153。機器人控制部151與上述實施形態相同地以取得基準回轉位置，進行第1搜尋，且進行第2搜尋之方式，使機器人本體10動作。其中，第1回轉位置係自基準回轉位置向回轉方向之一方向回轉既定角度之位置，第2回轉位置係自基準回轉位置向回轉方向之另一方向回轉既定角度之位置。
又，本變形例之基板搬送機器人1B所進行之基板保持手之光軸偏差檢測方法係與上述實施形態相同，且包括：取得基準回轉位置、進行一系列之第1搜尋處理、進行一系列之第2搜尋處理、及檢測光軸43相對於理想光軸44之傾斜。其中，第1回轉位置係自基準回轉位置向回轉方向之一方向回轉既定角度之位置，第2回轉位置係自基準回轉位置向回轉方向之另一方向回轉既定角度之位置。
（變形例3） 對上述實施形態之變形例3進行說明。於上述實施形態之基板搬送機器人1中，利用預先存儲或示教之基準回轉位置，但亦可對基板搬送機器人1自動示教基準回轉位置。因此，於本變形例之基板搬送機器人1C中，使用兼具作為用以定位基準回轉位置之定位用夾具之功能之校準夾具9C，自動示教基準回轉位置。於變形例3之說明中，對與上述實施形態相同或類似之構件於圖中附加相同之符號，省略說明。
圖16係表示校準夾具9C之構成之側視圖。圖16所示之校準夾具9C包括：上下之支持板98u、98b、垂直設置於上支持板98u之銷狀之目標體90、及第1及第2物體檢測感測器95、96。上下之支持板98u、98b之間以未圖示之支柱結合。
第1及第2物體檢測感測器95、96係檢測進入上支持板98u與下支持板98b之間之物體之非接觸式感測器。第1及第2物體檢測感測器95、96係與控制器15連接，於藉由該等物體檢測感測器95、96檢測到物體時，將其檢測訊號向控制器15發送。第1及第2物體檢測感測器95、96例如亦可為回歸反射型光電感測器。於此情形時，作為第1及第2物體檢測感測器95、96之投受光器設置於上支持板98u，反射自投受光器出射之光之反射器設置於下支持板98b。
於第1物體檢測感測器95之第1感測器軸95c與第2物體檢測感測器96之第2感測器軸96c之間配置有目標體90。於俯視下，第1物體檢測感測器95之第1感測器軸95c、目標體90、及第2物體檢測感測器96之第2感測器軸96c位於1條直線A6上（參照圖18）。第1物體檢測感測器95之第1感測器軸95c和目標體90之距離與第2物體檢測感測器96之第2感測器軸96c和目標體90之距離相等。又，第1物體檢測感測器95之第1感測器軸95c與第2物體檢測感測器96之第2感測器軸96c之相隔距離略微大於手13之與手軸A1正交之方向之尺寸（亦即，手13之寬度方向之尺寸）。
繼而，對使用上述構成之校準夾具9C對基板搬送機器人1C自動示教基準回轉位置之方法進行說明。再者，基準回轉位置之自動示教處理主要藉由控制器15之基準回轉位置取得部156進行。圖17係變形例3之基板搬送機器人1C之基準回轉位置之自動示教處理之流程圖。圖18~20係對變形例3之基板搬送機器人1C所進行之基準回轉位置之自動示教處理進行說明之圖。
首先，控制器15如圖18所示，使手13之前端部進入第1物體檢測感測器95之第1感測器軸95c與第2物體檢測感測器96之第2感測器軸96c之間（步驟S31）。此處，為了便於說明，將手13之2股地分開之前端部之一者稱為第1前端部，將另一者稱為第2前端部。於手13以連接第1前端部與第2前端部之方式規定有理想光軸44，於與手13之基板載置面平行之面內規定有與理想光軸44正交之手軸A1。
其次，控制器15如圖19所示，以使手13移動直至由第1物體檢測感測器95檢測到手13之第1前端部之方式，使機器人本體10動作（步驟S32）。控制器15求出第1物體檢測感測器95檢測到手13之第1前端部時之第1前端部之平面座標作為第1感測器座標，並將其存儲（步驟S33）。再者，控制器15可根據手13之位置、及已知之手13之形狀，求出機器人座標系中之手13之第1前端部之平面座標。
繼而，控制器15如圖20所示，以手13移動直至由第2物體檢測感測器96檢測到手13之第2前端部之方式，使機器人本體10動作（步驟S34）。控制器15求出第2物體檢測感測器96檢測到手13之第2前端部時之第2前端部之平面座標作為第2感測器座標，並將其存儲（步驟S35）。控制器15可根據手13之位置、及已知之手13之形狀，求出機器人座標系中之手13之第2前端部之平面座標。
控制器15求出第1感測器座標與第2感測器座標之中間位置作為目標座標（步驟S36）。將包含連接目標座標與回轉軸R之平面座標之直線之垂直面規定為基準垂直面A3。控制器15以手13回轉直至手軸A1位於基準垂直面A3內之位置之方式，使機器人本體10動作（步驟S37）。其次，控制器15取得手軸A1位於基準垂直面A3內時之手13之回轉位置作為基準回轉位置（步驟S38）。
如上所述，於對基板搬送機器人1C示教基準回轉位置後，如上述實施形態（或變形例1、2）般進行光軸偏差檢測處理。於該光軸偏差檢測處理中，將校準夾具9C之第1物體檢測感測器95及第2物體檢測感測器96關閉。
如以上所說明，於本變形例之基板保持手之光軸偏差檢測方法中，取得基準回轉位置包括：使手13之第1前端部及第2前端部進入第1感測器軸95c與第2感測器軸96c之間；使手13移動直至由第1物體檢測感測器95檢測到第1前端部，且求出第1物體檢測感測器95檢測到第1前端部時之第1前端部之平面座標作為第1感測器座標；使手移動直至由第2物體檢測感測器96檢測到第2前端部，且求出第2物體檢測感測器檢測到第2前端部時之第2前端部之平面座標作為第2感測器座標；使手13移動直至連接第1感測器座標與第2感測器座標之中間座標和回轉軸R之平面座標的直線與手軸A1進入同一垂直面A3內；及取得手13之回轉位置作為基準回轉位置。
同樣地，本變形例之基板搬送機器人1C具備：機器人本體10，其具有保持基板W之手13、使手13位移之臂12、及設置於手13之前端部之透過型光電感測器4；校準夾具9C；及控制器15。校準夾具9C具有第1物體檢測感測器95及第2物體檢測感測器96，第1物體檢測感測器95之第1感測器軸95c、目標體90（第1目標體91或第2目標體92）、及第2物體檢測感測器96之第2感測器軸96c於俯視下以此順序等間距排列於同一直線上。控制器15包括機器人控制部151及基準回轉位置取得部156。機器人控制部151以如下方式使機器人本體10動作，即，使手13之第1前端部及第2前端部進入第1感測器軸95c與第2感測器軸96c之間，使手13移動直至由第1物體檢測感測器95檢測到第1前端部，使手13移動直至由第2物體檢測感測器96檢測到第2前端部，使手13移動直至連接作為第1目標體或第2目標體之平面座標之目標座標與回轉軸R之平面座標之直線與手軸A1進入同一基準垂直面A3內。基準回轉位置取得部156將第1物體檢測感測器95檢測到手13之第1前端部時之第1前端部之平面座標作為第1感測器座標而求出，將第2物體檢測感測器檢測到手13之第2前端部時之第2前端部之平面座標作為第2感測器座標而求出，將第1感測器座標與第2感測器座標之中間座標作為目標座標而求出，將手軸A1位於基準垂直面A3內時之手13之回轉位置作為基準回轉位置而取得。
以上對本發明之適宜之實施形態（及變形例）進行了說明，但本發明亦可包含於不脫離本發明之思想之範圍內變更上述實施形態之具體結構及/或詳細功能者。
1、1A、1B、1C‧‧‧基板搬送機器人 4‧‧‧光電感測器 9、9A、9C‧‧‧校準夾具 10‧‧‧機器人本體 11‧‧‧基台 11A‧‧‧台車 12‧‧‧臂 13‧‧‧手（基板保持手） 15‧‧‧控制器 18‧‧‧軌道 21‧‧‧第1連桿 22‧‧‧第2連桿 23‧‧‧升降軸 31‧‧‧基底部 32‧‧‧葉片 33‧‧‧支持墊 34‧‧‧推進器 41‧‧‧投光器 42‧‧‧受光器 43‧‧‧光軸 44‧‧‧理想光軸 61‧‧‧升降裝置 62‧‧‧回轉裝置 63‧‧‧並進裝置 64‧‧‧移行裝置 90、91、92‧‧‧目標體 93、94‧‧‧目標移動裝置 95、96‧‧‧物體檢測感測器 98u、98b‧‧‧支持板 151‧‧‧機器人控制部 152‧‧‧夾具控制部 153‧‧‧光軸傾斜檢測部 154‧‧‧光軸位置偏差檢測部 155‧‧‧光軸偏差存儲部 156‧‧‧基準回轉位置取得部 A1‧‧‧手軸 A2‧‧‧目標基準線 R‧‧‧回轉軸 Δd‧‧‧距離 α‧‧‧傾斜角
圖1係本發明之一實施形態之基板搬送機器人之概略側視圖。 圖2係圖1所示之基板搬送機器人之概略俯視圖。 圖3係表示基板搬送機器人之控制系統之構成之圖。 圖4係對光軸之傾斜之檢測方法進行說明之圖。 圖5係光軸之傾斜之檢測處理之流程圖。 圖6係對光軸之位置偏差之檢測方法進行說明之圖。 圖7係對光軸之位置偏差之檢測方法進行說明之圖。 圖8係光軸之位置偏差之檢測處理之流程圖。 圖9係表示變形例1之基板搬送機器人之俯視圖。 圖10係表示圖9所示之基板搬送機器人之控制系統之構成之圖。 圖11係對變形例1之基板搬送機器人所進行之光軸之傾斜之檢測方法進行說明之圖。 圖12係表示變形例2之基板搬送機器人之俯視圖。 圖13係對變形例2之基板搬送機器人所進行之光軸之傾斜之檢測處理進行說明之圖。 圖14係對變形例2之基板搬送機器人所進行之光軸之傾斜之檢測處理進行說明之圖。 圖15係對變形例2之基板搬送機器人所進行之光軸之傾斜之檢測處理進行說明之圖。 圖16係表示具備作為定位用夾具之功能之校準夾具之構成之側視圖。 圖17係變形例3之基板搬送機器人之基準回轉位置之自動示教處理之流程圖。 圖18係對變形例3之基板搬送機器人所進行之基準回轉位置之自動示教處理進行說明之圖。 圖19係對變形例3之基板搬送機器人所進行之基準回轉位置之自動示教處理進行說明之圖。 圖20係對變形例3之基板搬送機器人所進行之基準回轉位置之自動示教處理進行說明之圖。
1‧‧‧基板搬送機器人
4‧‧‧光電感測器
10‧‧‧機器人本體
12‧‧‧臂
13‧‧‧手(基板保持手)
41‧‧‧投光器
42‧‧‧受光器
43‧‧‧光軸
44‧‧‧理想光軸
91、92‧‧‧目標體
A1‧‧‧手軸
A2‧‧‧目標基準線
Δd‧‧‧距離
R‧‧‧回轉軸
α‧‧‧傾斜角

Claims (16)

  1. 一種基板保持手之光軸偏差檢測方法，其係於具備保持基板之手、包括上述手之回轉軸且使該手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器的基板搬送機器人中，檢測上述光電感測器之光軸相對於上述手上規定之理想光軸之偏差之方法，且包括：取得如上述理想光軸於水平之某第1方向上延伸之以上述回轉軸為回轉中心之上述手之基準回轉位置之動作；進行一系列之第1搜尋處理之動作，該一系列之第1搜尋處理係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第1回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第1目標體，求出檢測到上述第1目標體時之上述手之與上述第1方向正交之水平之第2方向之位置作為第1檢測位置；進行一系列之第2搜尋處理之動作，該一系列之第2搜尋處理係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第2回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第2目標體，求出檢測到上述第2目標體時之上述手之上述第2方向之位置作為第2檢測位置；及基於上述第1檢測位置與上述第2檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之傾斜之動作；且自上述回轉軸至上述第1目標體為止之上述第2方向之距離與自上述回轉軸至上述第2目標體為止之上述第2方向之距離相等，上述手上之上述光軸和上述第1目標體之交叉位置與上述光軸和上述第2目標體之交叉位置不同。
  2. 如請求項1所述之基板保持手之光軸偏差檢測方法，其中上述第1目標體與上述第2目標體於上述第1方向上排列，且上述第1目標體與上述第2目 標體位於與上述第2方向垂直之同一平面內，上述第1回轉位置及上述第2回轉位置均為上述基準回轉位置。
  3. 如請求項1所述之基板保持手之光軸偏差檢測方法，其中上述第1目標體與上述第2目標體一致，上述第1回轉位置及上述第2回轉位置均為上述基準回轉位置，上述第1搜尋處理中之上述手之軌跡與上述第2搜尋處理中之上述手之軌跡於上述第1方向上分離。
  4. 如請求項1所述之基板保持手之光軸偏差檢測方法，其中上述第1目標體與上述第2目標體一致，上述第1回轉位置係自上述基準回轉位置向回轉方向之一方向回轉既定角度之位置，上述第2回轉位置係自上述基準回轉位置向上述回轉方向之另一方向回轉既定角度之位置。
  5. 如請求項1至4中任一項所述之基板保持手之光軸偏差檢測方法，其更包括：使上述手藉由於上述基準回轉位置向上述第2方向進入而向既定之基板載置位置移動，自上述手向設置於該基板載置位置之基板載置部移載上述基板；將上述手中與保持於該手之上述基板之中心於垂直方向上重疊之位置規定為手中心，使上述手自上述基板載置位置向上述第2方向後退上述手中心與上述理想光軸之距離加上上述基板之半徑所得之距離，求出該手之上述第2方向之位置作為基準位置；一面使上述手向上述第2方向進退移動，一面藉由上述光電感測器搜尋上述基板之邊緣，求出上述搜尋中檢測到上述基板之邊緣時之上述手之上述第2方向之位置作為第3檢測位置；及基於上述基準位置與上述第3檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想 光軸之位置偏差。
  6. 如請求項1至4中任一項所述之基板保持手之光軸偏差檢測方法，其中上述手具有分為第1前端部及第2前端部之2股之前端部，規定有連接該等前端部之上述理想光軸、及於與上述手之基板載置面平行之面內與上述理想光軸正交之手軸，第1物體檢測感測器之第1感測器軸、上述第1目標體或上述第2目標體、及第2物體檢測感測器之第2感測器軸於俯視下以此順序等間距排列於同一直線上；取得上述基準回轉位置之動作包括：使上述第1前端部及上述第2前端部進入上述第1感測器軸與上述第2感測器軸之間之動作；使上述手移動直至由上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部，求出上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部時之上述第1前端部之平面座標作為第1感測器座標之動作；使上述手移動直至由上述第2物體檢測感測器檢測到上述第2前端部，求出上述第2物體檢測感測器檢測到上述第2前端部時之上述第2前端部之平面座標作為第2感測器座標之動作；使上述手移動直至連接上述第1感測器座標和上述第2感測器座標之中間座標與上述回轉軸之平面座標的直線與上述手軸進入同一垂直面內之動作；及取得上述手之回轉位置作為上述基準回轉位置之動作。
  7. 如請求項5所述之基板保持手之光軸偏差檢測方法，其中上述手具有分為第1前端部及第2前端部之2股之前端部，且規定有連接該等前端部之上述理想光軸、及於與上述手之基板載置面平行之面內與上述理想光軸正交之手軸，第1物體檢測感測器之第1感測器軸、上述第1目標體或上述第2目標體、及第2物體檢測感測器之第2感測器軸於俯視下以此順序等間距排列於同一直線上， 取得上述基準回轉位置之動作包括：使上述第1前端部及上述第2前端部進入上述第1感測器軸與上述第2感測器軸之間之動作；使上述手移動直至由上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部，求出上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部時之上述第1前端部之平面座標作為第1感測器座標之動作；使上述手移動直至由上述第2物體檢測感測器檢測到上述第2前端部，求出上述第2物體檢測感測器檢測到上述第2前端部時之上述第2前端部之平面座標作為第2感測器座標之動作；使上述手移動，直至連接上述第1感測器座標和上述第2感測器座標之中間座標與上述回轉軸之平面座標的直線與上述手軸進入同一垂直面內之動作；及取得上述手之回轉位置作為上述基準回轉位置之動作。
  8. 一種基板保持手之光軸偏差檢測方法，其係於具備保持基板之手、使上述手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器的基板搬送機器人中，檢測上述光電感測器之光軸相對於上述手中規定之理想光軸之偏差之方法，且包括：使上述手藉由以上述理想光軸於水平之第1方向上延伸之姿勢向與上述第1方向正交之水平之第2方向進入而向既定之基板載置位置移動，自上述手向設置於該基板載置位置之基板載置部移載上述基板；將上述手中與保持於該手之上述基板之中心於垂直方向上重疊之位置規定為手中心，使上述手自上述基板載置位置向上述第2方向後退上述手中心與上述理想光軸之距離加上上述基板之半徑所得之距離，求出該手之上述第2方向之位置作為基準位置；一面使上述手向上述第2方向進退移動，一面藉由上述光電感測器搜尋上述 基板之邊緣，求出上述搜尋中檢測到上述基板之邊緣時之上述手之上述第2方向之位置作為檢測位置；及基於上述基準位置與上述檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之位置偏差。
  9. 一種基板搬送機器人，其具備：機器人本體，其具有保持基板之手、包括上述手之回轉軸且使該手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器，且於上述手規定有理想光軸；校準夾具，其具有第1目標體及第2目標體；及控制器；上述控制器包括：機器人控制部，其以如下方式使上述機器人本體動作，即，取得如上述理想光軸於水平之某第1方向上延伸之以上述回轉軸為回轉中心之上述手之基準回轉位置；進行第1搜尋，該第1搜尋係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第1回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第1目標體；進行第2搜尋，該第2搜尋係一面使上述手於以上述基準回轉位置為基準之既定之第2回轉位置向以上述回轉軸為中心之放射方向移動，一面藉由上述光電感測器檢測第2目標體；及光軸傾斜檢測部，其求出上述第1搜尋中檢測到上述第1目標體時之上述手之與上述第1方向正交之水平之第2方向之位置作為第1檢測位置，求出上述第2搜尋中檢測到上述第2目標體時之上述手之上述第2方向之位置作為第2檢測位置，且基於上述第1檢測位置與上述第2檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之傾斜；自上述回轉軸至上述第1目標體為止之上述第2方向之距離與自上述回轉軸至上述第2目標體為止之上述第2方向之距離相等，且 上述手上之上述光軸和上述第1目標體之交叉位置與上述光軸和上述第2目標體之交叉位置不同。
  10. 如請求項9所述之基板搬送機器人，其中上述校準夾具具有：於上述第1方向上排列之上述第1目標體及上述第2目標體、使上述第1目標體自上述光電感測器之可檢測範圍向無法檢測範圍移動之第1目標移動裝置、以及使上述第2目標體自上述光電感測器之可檢測範圍向無法檢測範圍移動之第2目標移動裝置；上述控制器更包括：夾具控制部，其以如下方式使上述第1目標移動裝置及上述第2目標移動裝置動作，即，於進行上述第1搜尋之期間，上述第1目標體位於可檢測範圍且上述第2目標體位於無法檢測範圍，於進行上述第2搜尋之期間，上述第1目標體位於無法檢測範圍且上述第2目標體位於可檢測範圍。
  11. 如請求項9所述之基板搬送機器人，其中上述第1目標體與上述第2目標體一致，上述第1回轉位置及上述第2回轉位置均為上述基準回轉位置，上述機器人控制部以於上述第1搜尋後使上述手向上述第1方向位移後進行上述第2搜尋之方式使上述機器人本體動作。
  12. 如請求項9所述之基板搬送機器人，其中上述第1目標體與上述第2目標體一致，上述第1回轉位置係自上述基準回轉位置向回轉方向之一方向回轉既定角度之位置，上述第2回轉位置係自上述基準回轉位置向上述回轉方向之另一方向回轉既定角度之位置。
  13. 如請求項9至12中任一項所述之基板搬送機器人，其中將上述手中與保持於該手之上述基板之中心於垂直方向上重疊之位置規定為手中心，上述控制器包括：上述機器人控制部，其以如下方式使上述機器人本體動作，即，使上述手以 上述理想光軸於上述第1方向上延伸之姿勢向上述第2方向進入至既定之基板載置位置，自上述手向設置於上述基板載置位置之基板載置部移載上述基板，使上述手朝向自上述基板載置位置向上述第2方向後退上述手中心與上述理想光軸之距離加上上述基板之半徑所得之距離之位置移動，一面使上述手向上述第2方向進退移動，一面藉由上述光電感測器進行上述基板之邊緣之搜尋；及光軸位置偏差檢測部，其求出上述手位於上述後退之位置時之上述第2方向之位置作為基準位置，求出上述搜尋中檢測到上述基板之邊緣時之上述手之上述第2方向之位置作為第3檢測位置，且基於上述基準位置與上述第3檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之位置偏差。
  14. 如請求項9至12中任一項所述之基板搬送機器人，其中上述手具有分為第1前端部及第2前端部之2股之前端部，且規定有連接該等前端部之上述理想光軸、及於與上述手之基板載置面平行之面內與上述理想光軸正交之手軸；上述校準夾具更具有第1物體檢測感測器及第2物體檢測感測器，且上述第1物體檢測感測器之第1感測器軸、上述第1目標體或上述第2目標體、及上述第2物體檢測感測器之第2感測器軸於俯視下以此順序等間距排列於同一直線上，上述控制器包括：上述機器人控制部，其以如下方式使上述機器人本體動作，即，使上述第1前端部及上述第2前端部進入上述第1感測器軸與上述第2感測器軸之間，使上述手移動直至由上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部，使上述手移動直至由上述第2物體檢測感測器檢測到上述第2前端部，使上述手移動直至連接作為上述第1目標體或上述第2目標體之平面座標之目標座標與上述回轉軸之平面座標的直線與上述手軸進入同一基準垂直面內；及基準回轉位置取得部，其求出上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部時之上述第1前端部之平面座標作為第1感測器座標，求出上述第2物體檢測感 測器檢測到上述第2前端部時之上述第2前端部之平面座標作為第2感測器座標，求出上述第1感測器座標與上述第2感測器座標之中間座標作為上述目標座標，取得上述手軸位於上述基準垂直面內時之上述手之回轉位置作為上述基準回轉位置。
  15. 如請求項13所述之基板搬送機器人，其中上述手具有分為第1前端部及第2前端部之2股之前端部，且規定有連接該等前端部之上述理想光軸、及於與上述手之基板載置面平行之面內與上述理想光軸正交之手軸；上述校準夾具更具有第1物體檢測感測器及第2物體檢測感測器，且上述第1物體檢測感測器之第1感測器軸、上述第1目標體或上述第2目標體、及上述第2物體檢測感測器之第2感測器軸於俯視下以此順序等間距排列於同一直線上，上述控制器包括：上述機器人控制部，其以如下方式使上述機器人本體動作，即，使上述第1前端部及上述第2前端部進入上述第1感測器軸與上述第2感測器軸之間，使上述手移動直至由上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部，使上述手移動直至由上述第2物體檢測感測器檢測到上述第2前端部，使上述手移動直至連接作為上述第1目標體或上述第2目標體之平面座標之目標座標與上述回轉軸之平面座標的直線與上述手軸進入同一基準垂直面內；及基準回轉位置取得部，其求出上述第1物體檢測感測器檢測到上述第1前端部時之上述第1前端部之平面座標作為第1感測器座標，求出上述第2物體檢測感測器檢測到上述第2前端部時之上述第2前端部之平面座標作為第2感測器座標，求出上述第1感測器座標與上述第2感測器座標之中間座標作為上述目標座標，取得上述手軸位於上述基準垂直面內時之上述手之回轉位置作為上述基準回轉位置。
  16. 一種基板搬送機器人，其具備：機器人本體，其具有保持基板之手、使上述手位移之機械臂、及設置於上述手之前端部之光電感測器；基板載置部，其設置於既定之基板載置位置；及控制器；上述控制器係於上述手規定理想光軸，將上述手中與保持於該手之上述基板之中心於垂直方向上重疊之位置規定為手中心，且包括：機器人控制部，其以如下方式使上述機器人本體動作，即，使上述手以上述理想光軸於水平之第1方向上延伸之姿勢向與上述第1方向正交之水平之第2方向進入至上述基板載置位置，自上述手向上述基板載置部移載上述基板，使上述手朝向自上述基板載置位置向上述第2方向後退上述手中心與上述理想光軸之距離加上上述基板之半徑所得之距離之位置移動，一面使上述手向上述第2方向進退移動，一面藉由上述光電感測器進行上述基板之邊緣之搜尋；及光軸位置偏差檢測部，其求出上述手位於上述後退之位置時之上述第2方向之位置作為基準位置，求出上述搜尋中檢測到上述基板之邊緣時之上述手之上述第2方向之位置作為檢測位置，且基於上述基準位置與上述檢測位置之差，檢測上述光軸相對於上述理想光軸之位置偏差。
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