CN103917466B - 装载工位 - Google Patents

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Abstract

基板加载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成保持受控制的环境；以及传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成在可与传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中一个或多个基板盒保持位置配置成实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以便改变基板加载工位的基板盒保持容量。

Description

装载工位
技术领域
公开的实施例的方面大体而言涉及半导体加工装备并且更特定而言，涉及半导体加工装备的装载和卸载。
背景技术
在某些情况下，半导体加工时间很长，有时要数小时。为了允许半导体加工装备在这些较长的加工时间不间断地操作，设置多个基板盒。一般而言，常规半导体加工装备容纳了装备前端模块(EFEM)，其中在线性地定位成一排的装载端口上放置多达四个盒。这些线性布置的盒由传送机器人接近，传送机器人大体上沿着线性引导轨道行进以允许传送机器人接近每个盒。这种EFEM配置可能不足以满足以很长的加工时间制造半导体产品使得半导体产品的制造具有成本效益的半导体制造商的需要。
将有利地提供一种用于半导体加工装备的装载和卸载工位，其能向半导体加工装备供应足量的盒使得以具有成本效益方式执行半导体产品的制造。
发明内容
根据本发明的优选实施例，提供了一种基板装载工位，包括：框架，其形成一种配置成用以保持受控制的环境的腔室；传送机器人，其连接到所述框架；以及一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于所述框架内的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成用以在可与所述传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置配置成实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以用于改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述框架内从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的框架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。
根据本发明的优选实施例，提供了一种基板加工工具，包括：基板加工部段；以及基板装载工位，其可连通地连接到所述基板加工部段，所述基板装载工位包括：框架，其形成腔室，传送机器人，其连接到所述框架；以及一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于所述框架内的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成用以在可与所述传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置配置成用以实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以用于改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述框架内从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的框架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。
根据本发明的优选实施例，提供了一种基板加工装置，包括：基板装载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成用以保持受控制的环境；以及基板盒保持架，所述基板盒保持架配置成用以保持一个或多个基板盒并置以由基板传送机器人从一个或多个基板盒传送基板，其中基板盒保持架限定具有可选的可互换性特点的基板盒数量保持容量使得基板盒保持工位的盒数量保持容量可以根据对于可选的可互换性特点的选择来在基板盒保持位置的第一最大数量与基板盒保持位置的第二最大数量之间进行可互换性地选择，其中对于所述基板盒保持位置的第一最大数量和所述基板盒保持位置的第二最大数量而言所述基板盒保持架是共同的。
附图说明
结合附图考虑，在以下描述中解释了公开的实施例的前述方面和其它特点，在附图中：
图1A至图1D为根据公开的实施例的方面的加工工具的示意图；
图2A至图2C为根据公开的实施例的方面的装载工位的一部分的示意图；
图3为根据公开的实施例的方面的装载工位的示意图；
图4A至图4B为根据公开的实施例的方面的装载工位的部分的示意图；以及
图5为根据公开的实施例的方面的装载工位的一部分的示意图。
具体实施方式
图1A至图1D示出了合并如在本文中进一步公开的公开实施例的方面的基板加工装置或工具的示意图。尽管将参考附图来描述公开的实施例的方面，但应了解公开的实施例的方面可以具有许多替代形式。此外，可使用任何合适大小、形状或类型的元件或材料。
参考图1A和图1B，示出了根据公开的实施例的方面的加工装置，诸如半导体工具工位1090。尽管在附图中示出了半导体工具，本文所描述的公开实施例的方面可以应用于采用机器人操纵器的任何工具工位或应用。在此示例中，工具被示出为组合工具（clustertoll），但公开的实施例的方面可以适用于任何合适工具工位，诸如，线性工具工位，诸如图1C和图1D中示出和在2006年5月26日提交的名称为“Linearly DistributedSemiconductor Workpiece Processing Tool”的美国专利申请No. 11/442,511（其公开以全文引用的方式并入到本文中）中描述的那种。工具工位1090通常包括大气前端1000、真空负载锁定装置1010和真空后端1020。在其它方面，工具工位可以具有任何合适配置。前端1000、负载锁定装置1010和后端1020中一个或多个的部件可以连接到控制器1091，控制器1091可以为任何合适控制架构诸如组合架构控制的部分。控制系统可以是闭环控制器，其具有主控制器，组合控制器和自主遥控器，诸如在2005年7月11日提交的、名称为“ScalableMotion Control System”的美国专利申请No. 11/178,615（其公开以全文引用的方式并入到本文中）中所公开的那些。在其它方面，可以利用任何合适控制器和/或控制系统。
在公开的实施例的方面，前端1000通常包括微环境1060，诸如包括一个或多个基板盒保持区1005（如将在下文中更详细地描述）的装备前端模块(EFEM)或装载工位。一个或多个基板保持区可以被配置成保持用于100 mm、150 mm、200 mm或450 mm直径晶片（在本文中通常被称作基板）或者具有任何合适形状（例如圆形、正方形、矩形等）的任何其它合适基板诸如用于平板显示器、发光二极管（LED）、有机发光二极管（OLED）、液晶显示器（LCD）或太阳能电池阵列的更大或更小晶片或平板的盒。公开的实施例的EFEM或装载工位1060的大小可以适合于任何所希望数量的装载工位（例如，装载端口）并且被配置成提供可选的装载工位容量（例如，被保持在装载工位1060中的基板盒的数量和/或大小是可选的）。装载工位1060和一个或多个基板盒保持区可以被配置成从顶置运输系统、自动引导车辆、人引导车辆、轨引导车辆接收基板盒或者通过任何其它合适运输方法诸如将盒手动装载到一个或多个基板盒保持区1005内。微环境1060通常包括任何合适的传送机器人1013，如将在下文中更详细地描述。微环境1060可以提供用来在多个装载端口模块之间进行基板传送的受控制的清洁区。
真空负载锁定装置1010可以位于微环境1060与后端1020之间并且连接到微环境1060和后端1020。负载锁定装置1010通常包括大气和真空槽阀。槽阀可以提供环境隔离，环境隔离用来在从大气前端装载基板之后对负载锁定装置抽真空并且当向锁定装置充入诸如氮气的惰性气体时维持在传送腔室中的真空。负载锁定装置1010也可包括对准器1011，用来使基板的基准与所希望的位置对准以进行加工。在其它方面，真空负载锁定装置可以位于加工装置的任何合适位置并且具有任何合适配置。
真空后端1020通常包括传送腔室1025，一个或多个加工工位1030和传送机器人1014。传送机器人1014将在下文中描述并且可以位于传送腔室1025内以在负载锁定装置1010与各个加工工位1030之间运输基板。加工工位1030可以对基板进行操作，通过各种淀积、蚀刻或其它类型的加工以在基板上形成电路或其它所需结构。典型加工包括（但不限于）使用真空的薄膜加工，诸如等离子体蚀刻或其它蚀刻加工，化学气相淀积（CVD）、金属有机化学气相淀积（MOCVD）、等离子体气相淀积（PVD）；注入，诸如离子注入；计量（metrology）；快速热处理（RTP）；干式剥离原子层淀积（ALD）；氧化/扩散；形成氮化物；真空光刻；外延（EPI）；引线接合器；以及，使用真空压力的蒸镀或其它薄膜加工。加工工位1030连接到传送腔室1025以允许基板从传送腔室1025传递到加工工位1030并且反之亦然。
现参考图1C，示出了线性基板加工系统2010的示意平面图，其中，工具接口部段2012（其可基本上类似于上文所描述的装载工位1060）安装到传送腔室模块3018使得接口部段2012大体上地面朝着（即，向内）但偏离于传送腔室模块3018的纵向轴线X，仅出于示例性目的。在其它方面，工具接口部段2012可以与传送腔室模块3018的纵向轴线X基本上对准。传送腔室模块3018可以通过向接口2050、2060、2070附连其它传送腔室模块3018A、3018I、3018J以在任何合适方向延长，如在先前以引用的方式并入的美国专利申请No. 11/442,511中所描述。每个传送腔室模块3018、3019A、3018I、3018J包括基板运输装置2080，如将在下文中更详细地描述，用来在整个加工系统2010上运输基板进出例如加工模块PM。可认识到每个腔室模块能够保持一种隔离的或受控制的气氛（例如，N2，清洁空气、真空）。
参考图1D，示出了例如可能沿着线性传送腔室416的纵向轴线X所截取的示例性加工工具410的示意立视图。在一方面，如图1D所示，工具接口部段12（其可以基本上类似于装载工位1060）可以代表性地连接到线性传送腔室416。在此方面，接口部段12可以限定工具线性传送腔室416的一端。如在图1D中可以看出，线性传送腔室416可以例如在与接口工位12相反的端部处具有另一工件进/出工位412。在一方面，工件进/出工位412也可以基本上类似于上文所描述的EFEM 1060。在其它方面，用来从传送腔室插入/移除工件的其它进/出工位可以诸如设置在线性传送腔室416的端部之间。在公开的实施例的一方面，接口部段12和进/出工位412可允许从工具装载和卸载工件。在其它方面，工件可以从一端装载到工具内并且从另一端移除。在一方面，线性传送腔室416可以具有一个或多个传送腔室模块18B、18i。每个腔室可能模块能够保持一种隔离或受控制的气氛（例如，N2、清洁空气、真空）。如之前所指出的那样，传送腔室模块18B、18i、负载锁定模块56A、56B和形成图1D所示的线性传送腔室416的工件工位的配置/布置只是示例性的，并且在其它方面，传送腔室可以具有安置于任何所希望的模块化布置中更多或更少的模块。在一方面，工位412可以是负载锁定装置。在其它方面，负载锁定模块可以位于端部进/出工位之间（类似于工位412）或者邻接的传送腔室模块（类似于模块18i）可以被配置为用以作为负载锁定装置而操作。如之前也指出的那样，传送腔室模块18B、18i具有位于其中的一个或多个相对应的运输装置26B、26i。相应传送腔室模块18B、18i的运输装置26B、26i可以合作以在传送腔室中提供线性分布的工件运输系统420。在一方面，运输装置26B可以具有如将在本文中进一步限定的一般SCARA臂配置（但在替代实施例中，运输臂可以具有任何其它所希望的布置），但在其它方面，运输装置可以具有任何合适的臂配置，诸如双对称配置、蛙跳式（leapfrog）配置、线性滑动配置等。如图1D所示，在一方面，运输装置26B的臂可以被布置成用以提供被称作快速交换布置的布置，允许运输装置从抓/放位置快速地交换晶片，如将在下文中进一步详细地描述。运输装置26B可以具有合适驱动部段，与常规驱动系统相比，其从简化的驱动系统向每个臂提供三个（3）自由度（例如，通过z轴线运动，围绕肩关节和肘关节的独立旋转）。在其它方面，驱动部段可以向臂提供多于三个或少于三个自由度。如在图1D中看出，在一方面，模块56A、56、30i可以填隙地位于传送腔室模块18B、18i之间并且可以限定合适加工模块、（多个）负载锁定装置、（多个）缓冲工位、（多个）计量工位或任何其它所希望的（多个）工位。例如，填隙模块，诸如负载锁定装置56A、56和工件工位30i可以各具有固定的工件支承件/搁架56S、56S1、56S2、30S1、30S2，其可与运输臂合作以实现运输装置或工件沿着传送腔室的线性轴线X穿过传送腔室长度。举例而言，（多个）工件可以由接口部段12装载到线性传送腔室416内。（多个）工件可以利用接口部段的运输臂15定位于负载锁定模块56A的（多个）支承件上。在负载锁定模块56A中的（多个）工件可以由模块18B中的运输装置26B在负载锁定模块56A与负载锁定模块56之间移动，并且以类似并且连续方式利用运输装置26i（在模块18i中）在负载锁定装置56与工件工位30i之间移动和利用模块18i中的运输装置26i在工位30i与工位412之间移动。这个过程可以总体上或部分地反向以使（多个）工件在相反方向上移动。因此，在一方面，工件可以沿着轴线X在任何方向上移动并且移动到沿着传送腔室的任何位置并且可以装载到与传送腔室连通的任何所希望的模块（加工或其它）内和从任何所希望的模块卸载。在其它方面，具有静态工件支承件或搁架的填隙传送腔室模块可能并不设置于传送腔室模块18B、18i之间。在公开的实施例的这些方面，邻接的传送腔室模块的运输臂可以从端部执行器或一个运输臂向另一运输臂的端部执行器直接传递工件（或者通过使用缓冲工位）以移动工件通过传送腔室。加工工位模块可以对基板进行操作，通过各种淀积、蚀刻或其它类型的加工来在基板上形成电路或其它所希望的结构。加工工位模块连接到传送腔室模块以允许基板从传送腔室传递到加工工位并且反之亦然。具有与图1D中所描绘的加工装置类似的一般特点的加工工具的合适示例在先前以全文引用的方式并入到本文中的美国专利申请序列号No. 11/442,511中描述。
现参考图2A、图2B、图2C、图3、图4A、图4B和图5，将更详细地描述装载工位1060。在一方面，装载工位1060可以包括合适大小的框架200使得装载工位具有基本上类似于或符合针对于例如二宽（two-wide）或二隔室（two-bay）EFEM（例如，具有两个并排装载端口的EFEM，其合适示例包括均购自Brooks Automation, Inc的JET™大气运输系统(其具有约1259 mm的长度、约765 mm的深度和约1865 mm的高度)和FabExpress™大气系统）的半导体装备和材料国际（SEMI）标准中所规定的EFEM尺寸的尺寸。另一二宽EFEM的合适示例包括购自Genmark Automation, Inc的MiniMax™装备前端模块，其具有约1143mm（45英寸）的长度、约851 mm（33.5英寸）的深度和约1832 mm（72.12英寸）的高度）。在其它方面，装载工位1060可以包括框架，框架具有根据针对四宽EFEM（例如，具有四个并排装载端口的EFEM）的SEMI标准或者关于能够保持任何合适数量的基板盒的装载端口尺寸的任何其它合适SEMI标准的任何合适尺寸。在其它方面，装载工位1060可以具有任何合适尺寸。框架200可以具有背侧200B，背侧200B被配置成以诸如上文所描述的任何合适方式与真空负载锁定装置1010密封地联接，并且可以形成适合于传送机器人1013操作的环境。在一方面，框架200可以形成具有受控制的内部环境或者任何其它合适“洁净室”环境的腔室。此处，框架200形成基本上多边形状，但在其它方面，框架可以形成任何合适形状。框架的侧部200S可以从背侧200B以任何合适角度延伸，诸如，基本上垂直于背侧200B。框架的前部200F可以包括成角度的壁，其中，成角度的壁被分成例如两个部分200F1、200F2。在其它方面，前壁200F可以是基本上与背侧200B的壁平行的基本上直壁。前壁200F可以包括一个或多个开口或孔口201（例如，装载/卸载孔口），开口或孔口201被配置成允许基板盒插入于框架200或从框架200移除以将基板盒自动或手动放置到装载工位1060的搁架400上（图4B和图5）。一个或多个孔口201可以各包括相应门202，门202可以以任何合适方式铰接到框架200使得当开门时，基板盒可以通过相应孔口201并且当关门时，孔口201基本上被密封使得维持了在框架内受控制的环境。
如上文所指出的那样，传送机器人1013可以位于装载工位1060内并且以任何合适方式连接到框架200。传送机器人1013在附图中被示出具有三连杆选择性顺应性关节型机器人臂(SCARA)配置（例如，包括上臂、前臂和端部执行器或基板保持架）。应了解，在其它方面，传送机器人1013可以具有任何合适配置，诸如四连杆SCARA臂、双对称臂、蛙腿/剪式臂或线性滑动臂。还应当指出的是虽然传送机器人1013被示出具有单个臂1013A，在其它方面，传送机器人可以具有多于一个臂以允许例如快速交换基板（例如，一个臂抓取基板，而另一个臂基本上同时或快速连续地放下基板）。可认识到，传送机器人可以包括具有对臂进行操作的任何合适数量的自由度的任何合适驱动系统。驱动系统可以至少部分地位于传送机器人1013的基座1013B内并且臂1013A可以旋转地安装到基座1013B上。基座1013B可以连接到框架200以便在X-Y平面内固定，但在一方面，传送机器人1013可以包括Z轴线驱动马达使得臂1013A可以在Z方向（例如，在基本上垂直于臂1013A的延伸和收回轴线的方向上）上升高或降低。在其它方面，传送机器人可以不包括Z轴线驱动装置，使得通过盒沿着Z轴线的移动来提供传送基板至盒和从盒传送基板所需的任何竖直或Z轴线运动。
基板盒保持区1005可以安置于框架内并且被配置成用以支持任何合适数量的基板盒。在一方面，基板盒保持区1005可以被配置成用以遵循例如框架200前壁200F的轮廓（或者前壁200F可以被配置成用以遵循基板盒保持区1005的布置），诸如图2A至图2C所示那样。在其它方面，基板保持区可以具有用来保持基板盒和允许传送机器人1013接近基板盒的任何合适布置。在一方面，基板盒保持区1005可以被布置成使得基板盒以一个或多个竖直堆叠层次L1、L2从传送机器人1013的旋转中心在径向布置。例如，基板盒保持区1005的竖直堆叠的层次L1、L2中的每一个可以包括第一基板盒保持部分1005A和第二基板盒保持部分1005B，第一基板盒保持部分1005A和第二基板盒保持部分1005B相对于彼此成角度以允许将基板盒在径向放置于基板盒保持区1005。应当认识到，虽然第一基板盒保持部分1005A和第二基板盒保持部分1005B被示出为单独的，在其它方面，第一基板盒保持部分1005A、第二基板盒保持部分1005B可以形成具有任何合适配置的单个支承件。
每个层次L1、L2的第一基板盒保持部分1005A、第二基板盒保持部分1005B中每一个可以包括相应搁架400或者被配置成对一个或多个基板盒进行支承的其它合适结构。在一方面，搁架400中每一个可以以任何合适方式联接到例如相应门202，使得在开门202时，搁架400在箭头499的方向上向基板盒装载位置枢转（参看图4D）并且当关门202时，搁架400在箭头498的方向上枢转使得门202密封了孔口201并且在搁架400上的一个或多个盒被放置就位从而允许传送机器人1013接近位于一个或多个基板盒内的基板。虽然指出了门202和搁架400在图4C和图4D中被示出具有基本上九十度位置关系，在其它方面，门202和它们的相应搁架400可以相对于彼此具有任何合适角度关系。应当指出的是，在公开的实施例的其它方面，搁架400可能并不联接到相应门202或者可以通过任何合适机构联接到门202使得门202和搁架400摆动不同弧度（例如，旋转不同的角度使得在打开时，搁架旋转的量小于门，或反之亦然）使得搁架400可以放置于用于向搁架400装载基板盒和从搁架400卸载基板盒的任何合适方位。
仍参考图2A至图2C和图4B，每个搁架可以被配置成可互换地支承不同大小的基板盒C1、C2、C3。仅出于例示目的，基板盒C1可以被配置成用以保持100 mm直径基板，基板盒C2可以被配置成用以保持150 mm直径基板并且基板盒C3可以被配置成用以保持200 mm基板。应了解在其它方面，每个搁架可以被配置成用以支承被配置成用以保持任何合适大小和/或形状基板的基板盒。同样，仅出于示例性目的，关于基板盒C1，每个搁架400可以被配置成用以保持大约四个基板盒C1使得装载工位1060的每个层次L1、L2保持总共大约16个基板盒中的大约8个基板盒。可认识到，可以存在多于两个或少于两个基板盒保持层次L1、L2使得多于或少于大约16个基板盒C1安置于装载工位1060内并且被定位成允许传送机器人1013接近基板盒C1中的每一个。同样是仅出于示例性目的，关于基板盒C2，每个搁架400可以被配置成用以保持大约三个基板盒C2使得装载工位1060的每个层次L1、L2保持总共大约12个基板盒中的约六个基板盒C2。应当认识到，可以存在多于或少于两个基板盒保持层次L1、L2使得多于或少于约12个基板盒C2安置于装载工位1060内并且被定位成允许传送机器人1013接近基板盒C1中的每一个。也同样仅出于示例性目的，关于基板盒C3，每个搁架400可以被配置成用以保持约两个基板盒C3使得装载工位1060的每个层次L1、L2保持总共约8个基板盒中的约4个基板盒C3。可认识到，可以存在多于或少于两个基板盒保持层次L1、L2使得多于或少于约8个基板盒C3安置于装载工位1060内并且被定位成允许传送机器人1013接近基板盒C3中的每一个。可认识到，根据公开的实施例的方面，装载工位1060可以被配置成用以保持任何合适数量的基板盒，每个基板盒能够保持任何合适大小的基板。
在一方面，搁架400中每一个可以被配置成用以支承基板使得盒全都支承于基本上平面表面上（例如，盒全都位于相同平面中）。在其它方面，搁架400可以被配置成用以支承基板盒使得至少一个盒支承于第一平面中并且至少另一盒支承在与第一平面以预定量竖直偏移的第二平面中。在基板盒支承表面中的这种竖直偏移可以对应于基板保持架之间的竖直偏移，其中传送机器人包括至少两个臂并且基板保持架在基本上平行但偏移的基板传送平面中定位成一个在另一个上方。这可以允许传送机器人的两个臂基本上同时延伸到不同盒用来抓放基板。在另外的方面，每个搁架400可以包括用来在基本上垂直于传送机器人1013的延伸和收回轴线的方向上升降一个或多个盒的一个或多个Z轴线驱动装置。这可以允许机器人抓放基板到盒内，基本上无需传送机器人臂的任何Z运动。在其它方面，传送机器人臂和盒二者都可以沿着Z轴线移动用来传送基板到盒和从盒传送基板。
搁架400的每个基板盒位置可以包括基板盒保持架401-404，基板盒保持架401-404被配置成用以牢固地保持相应基板盒C1-C3。基板盒保持架401-404可以是从相应搁架400可移除的模块。每个基板盒保持架401-404可以以任何合适方式安装到相应搁架400上，诸如通过任何合适可释放机械紧固件（例如，螺钉、螺栓、夹子、按扣等）。搁架可以具有位于用于不同大小的基板盒保持架401-404（对应于保持盒C1至C3）中每一个的预定位置的可释放的紧固件使得相同搁架400可以被配置成用以可互换地保持盒C1至C3中的任一个而无需对搁架400做出显著修改。仅出于示例性目的，为了将搁架400从保持基板盒C1转换为保持基板盒C3，用于盒C1的保持架401-404可以从搁架移除并且用于盒C3的保持架可以安装到相同搁架上以用于允许搁架保持所述盒C3。
在其它方面，每个搁架400可以是可互换的，其中可互换的搁架中每一个被配置成用以保持预定大小的基板盒。每个搁架可以任何合适方式可移除地联接到框架，例如通过任何合适可释放的机械紧固件（例如，螺钉、螺栓、夹子、按扣等）。此处，仅出于示例性目的，为了将基板盒保持区1005的第一基板盒保持部分1005A、第二基板盒保持部分1005B从保持基板盒C1转换为保持基板盒C3，用于第一基板盒保持部分1005A、第二基板盒保持部分1005B中每一个的整个搁架400可以可互换地移除并且安装成使得盒C1的搁架可以被移除并且盒C3的搁架可以安装到相应的第一基板盒保持部分1005A、第二基板盒保持部分1005B中。应当指出的是框架200的孔口201可以具有合适大小以允许以任何合适方式来互换搁架或保持架401-404使得搁架或保持架可以通过相应孔口来安装或移除，基本上无需拆卸框架200的任何部分。
应当指出的是公开的实施例的装载工位1060并不包括常规装载端口，基板载体（例如，FOUP、SMIF等)放置成与装载工位成接口连接。因此，传送机器人1013可以更靠近装载工位1060的前部放置（例如，更靠近前壁200F）以允许传送机器人到盒C1至C3内的更大的到达范围。可以使传送机器人1013的端部执行器的摇动偏移（pan offset）更大并且盒可以定位成它们安置在更靠近传送机器人的半径内，而同时仍被定向为或者与传送机器人1013的旋转中心在径向对准，使得传送机器人1013可以通过臂1013A的基本上仅径向延伸或收回而从每个盒移除基板或插入基板。
在公开的实施例的第一方面，提供一种基板装载工位。基板装载工位包括：框架，其形成被配置成用以保持受控制的环境的腔室；传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个被配置成在与传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中一个或多个基板盒保持位置被配置成用以实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以用于改变基板装载工位的基板盒保持容量。
根据公开的实施例的第一方面，基板盒保持位置中的每一个安置于框架内并且被配置成保持相应基板盒使得基板盒在径向朝向传送机器人的中心枢转轴线。
根据公开的实施例的第一方面，一个或多个基板盒保持架中的每一个被配置成用以保持其中具有第一大小基板的基板盒，并且其它基板盒保持架中的每一个被配置成用以保持其中具有第二大小基板的基板盒，其中第一大小基板具有不同于第二大小基板的大小。
根据公开的实施例的第一方面，基板装载工位包括基板盒保持位置的一个或多个层次。在另一方面，一个或多个层次为竖直堆叠的层次。在又一方面，传送机器人被配置成用以接近层次中每一个上的基板保持位置中的每一个。
根据公开的实施例的第一方面，框架包括与基板盒保持位置中每一个对应的一个或多个门，其中基板保持位置被配置成用以根据相应门的位置在装载位置与传送机器人接近位置之间移动。
根据公开的实施例的第一方面，基板装载工位的大小适于装配于针对于二宽装备前端模块的SEMI标准规定的空间维度内。
根据公开的实施例的第一方面，每个基板盒被配置成用以保持至少一个基板，至少一个基板用于发光二极管形成、有机发光二极管形成和液晶显示器形成中的至少一个。
根据公开的实施例的第二方面，一种基板加工工具包括：基板加工部段和可连通地连接到基板加工部段的基板装载工位。基板装载工位包括：框架，其形成腔室；传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个被配置成用以在可与传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中一个或多个基板盒保持位置被配置成用以实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以用于改变基板装载工位的基板盒保持容量。
根据公开的实施例的第二方面，其中每个基板盒保持架被配置成用以从自动化材料搬运系统接收基板保持盒。
根据公开的实施例的第二方面，一个或多个基板盒保持架中的每一个被配置成用以保持其中具有第一大小基板的基板盒，并且其它基板盒保持架中的每一个被配置成用以保持其中具有第二大小基板的基板盒，其中第一大小基板具有不同于第二大小基板的大小。
根据公开的实施例的第二方面，基板装载工位包括传送机器人并且一个或多个基板盒保持架中每一个和一个或多个其它盒保持架中每一个安置于框架内以便与传送机器人的径向延伸和收回轴线在径向对准。
根据公开的实施例的第二方面，基板装载工位包括了基板盒保持位置的一个或多个层次。在另一方面，一个或多个层次为竖直堆叠的层次。在又一方面，传送机器人被配置成用以接近层次中每一个上的基板保持位置中的每一个。
根据公开的实施例的第二方面，每个基板盒被配置成用以保持至少一个基板，至少一个基板用于发光二极管形成、有机发光二极管形成和液晶显示器形成中的至少一个。
在公开的实施例的第三方面，提供一种基板加工装置。基板加工装置包括：基板装载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室被配置成用以保持受控制的环境；以及，基板盒保持架。基板盒保持架被配置成用以保持一个或多个基板盒并置（in apposition）以在一个或多个基板盒与基板加工装置的传送机器人之间传送基板。基板盒保持架限定一种具有可选特点的基板盒保持容量使得基板保持工位的盒保持容量可以根据可选特点的选择来进行选择。
根据公开的实施例的第三方面，可选的特点包括一个或多个基板盒保持架模块，其被配置成用以可移除地附连到基板盒保持架，基板盒保持架模块中的至少一个配置成用以保持其中具有第一大小基板的基板盒，并且其它基板盒保持架模块中的至少一个配置成用以保持其中具有第二大小基板的基板盒，其中第一大小基板具有不同于第二大小基板的大小。
根据公开的实施例的第三方面，每个基板盒被配置成用以保持至少一个基板，至少一个基板用于发光二极管形成、有机发光二极管形成和液晶显示器形成中的至少一个。
应了解前文的描述仅说明了公开的实施例的方面。在不偏离公开的实施例的方面的情况下，可以设计出各种替代和修改。因此，公开的实施例的方面预期涵盖属于所附权利要求范围内的所有这样的替代、修改和变型。另外，在彼此不同的独立或附属权利要求中陈述不同特点的简单事实并不表示不能有利地使用这些特点的组合，这样的组合仍在本发明的方面范围内。

Claims (20)

1.一种基板装载工位，包括：
框架，其形成一种配置成用以保持受控制的环境的腔室，所述框架具有共同的搁架；
传送机器人，其连接到共同的框架；以及
安置于共同的搁架上的一个或多个基板盒保持位置，并且每个配置成用以保持安置于所述共同的搁架上的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置限定所述共同的搁架的可互换基板盒接口，其与彼此同时安置于共同的搁架上的其他不同的可互换基板盒接口可互换，可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口的每个对于所述共同的搁架是共同的，并且配置成用以在可与所述传送机器人连通的基板盒的预定位置可移除地接口连接并支承不同预定尺寸的不同相对应的基板盒保持架，以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置的可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口选择性地安置于所述一个或多个基板盒保持位置，以实现预定尺寸的一个或多个基板盒保持架与不同预定尺寸的其它基板盒保持架的可互换性并且改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述共同的搁架上从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的搁架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。
2.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述基板盒保持位置中的每一个安置于所述框架内并且配置成用以保持相应基板盒使得所述基板盒在径向朝向所述传送机器人的中心枢转轴线。
3.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述一个或多个基板盒保持架中的每一个配置成用以保持其中具有第一大小基板的基板盒；并且其它基板盒保持架中的每一个配置成用以保持其中具有第二大小基板的基板盒，其中所述第一大小基板具有不同于第二大小基板的大小。
4.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述基板装载工位包括基板盒保持位置的一个或多个层次。
5.根据权利要求4所述的基板装载工位，其特征在于，所述一个或多个层次为竖直堆叠的层次。
6.根据权利要求4所述的基板装载工位，其特征在于，所述传送机器人配置成用以接近所述层次中每一个上的所述基板盒保持位置中的每一个。
7.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述框架包括与所述基板盒保持位置中每一个对应的一个或多个门，其中所述基板盒保持位置配置成用以根据相应门的位置在装载位置与传送机器人接近位置之间移动。
8.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述基板装载工位的大小适于装配于针对于二宽装备前端模块的SEMI标准中所规定的空间维度内。
9.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，每个基板盒配置成用以保持至少一个基板，所述至少一个基板用于发光二极管形成、有机发光二极管形成和液晶显示器形成中的至少一个。
10.一种基板加工工具，包括：
基板加工部段；以及
基板装载工位，其可连通地连接到所述基板加工部段，所述基板装载工位包括：
框架，其形成腔室，所述框架具有共同的搁架，
传送机器人，其连接到所述共同的框架；以及
安置于共同的搁架上的一个或多个基板盒保持位置，并且每个配置成用以保持安置于所述共同的搁架上的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置限定所述共同的搁架的可互换基板盒接口，其与彼此同时安置于共同的搁架上的其他不同的可互换基板盒接口可互换，可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口的每个对于所述共同的搁架是共同的，并且配置成用以在可与所述传送机器人连通的基板盒的预定位置可移除地接口连接并支承不同预定尺寸的不同相对应的基板盒保持架，以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置的可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口选择性地安置于所述一个或多个基板盒保持位置，以实现预定尺寸的一个或多个基板盒保持架与不同预定尺寸的其它基板盒保持架的可互换性并且改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述共同的搁架上从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的搁架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。
11.根据权利要求10所述的基板加工工具，其特征在于，每个基板盒保持架配置成用以从自动化材料搬运系统接收基板保持盒。
12.根据权利要求10所述的基板加工工具，其特征在于，所述一个或多个基板盒保持架中的每一个配置成用以保持其中具有第一大小基板的基板盒；并且其它基板盒保持架中的每一个配置成用以保持其中具有第二大小基板的基板盒，其中所述第一大小基板具有不同于第二大小基板的大小。
13.根据权利要求10所述的基板加工工具，其特征在于，所述基板装载工位包括传送机器人并且所述一个或多个基板盒保持架中每一个和所述一个或多个其它盒保持架中每一个安置于所述框架内以便与所述传送机器人的径向延伸和收回轴线在径向对准。
14.根据权利要求10所述的基板加工工具，其特征在于，所述基板装载工位包括基板盒保持位置的一个或多个层次。
15.根据权利要求14所述的基板加工工具，其特征在于，所述一个或多个层次为竖直堆叠的层次。
16.根据权利要求14所述的基板加工工具，其特征在于，所述传送机器人配置成用以接近所述层次中每一个上的所述基板盒保持位置中的每一个。
17.根据权利要求10所述的基板加工工具，其特征在于，每个基板盒配置成用以保持至少一个基板，所述至少一个基板用于发光二极管形成、有机发光二极管形成和液晶显示器形成中的至少一个。
18.一种基板加工装置，包括：
基板装载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成用以保持受控制的环境；以及
共同的基板盒保持架搁架，所述共同的基板盒保持架搁架具有可选的可互换性基板盒接口，其与彼此共同设置在共同的基板盒保持架搁架上的至少另一个不同的可选的可互换性基板盒接口可选地可互换，可互换性基板盒接口和其他不同的可互换性基板盒接口的每个配置成用以与一个或多个基板盒接口连接并保持一个或多个基板盒就位以由基板传送机器人从一个或多个基板盒传送基板，其中共同的基板盒保持架搁架以在共同的基板盒保持架搁架上共同设置的可选的可互换性基板盒接口和其他不同的可选的可互换性基板盒接口限定基板盒数量保持容量，使得基板盒保持工位的盒数量保持容量可以根据对于可选的可互换性特点的选择来在基板盒保持位置的第一最大数量与基板盒保持位置的第二最大数量之间进行可互换性地选择，其中对于所述基板盒保持位置的第一最大数量和所述基板盒保持位置的第二最大数量而言所述共同的基板盒保持架搁架是共同的。
19.根据权利要求18所述的基板加工装置，其特征在于，所述可选的特点包括一个或多个基板盒保持架模块，其配置成用于可移除地附连到所述共同的基板盒保持架搁架，所述基板盒保持架模块中的至少一个配置成用以保持其中具有第一大小基板的基板盒并且所述其它基板盒保持架模块中的至少一个配置成用以保持其中具有第二大小基板的基板盒，其中所述第一大小基板具有不同于第二大小基板的大小。
20.根据权利要求18所述的基板加工装置，其特征在于，每个基板盒配置成保持至少一个基板，所述至少一个基板用于发光二极管形成、有机发光二极管形成和液晶显示器形成中的至少一个。
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