JP2013208705A - ロボットシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターンテーブル8の回転軸から離れた位置にある軸を中心にして回転させることができるように、ターンテーブル8上に軸回転可能に取り付けられているアーム4を有する、回転させることのできるターンテーブル8を含んでいるロボットシステム。アーム4の回転軸は、ターンテーブル8を基部上に支持する軸受よりも、ターンテーブル8の回転軸の近くに配置されている。アーム4は、ターンテーブル8の下方に位置する、アーム4の回転軸を横断する方向に伸張する部分を有している。ターンテーブル8は、基部の上に、共通平面に位置する部分を有する単一の軸受によって支持されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、その適用において、以下の説明で記述し又は図面で図解している詳細な構造及び部品の配置に限定されるものではない。本発明は、他の実施形態も可能であり、様々な方法で具体化し、又は実施することができる。例えば、本発明の例示的実施形態は、液体を取り扱う環境での使用に関して、以下に説明されている。しかしながら、本発明の態様は、どの様な適した用途のためのロボットシステムにおいても使用することができるものと理解されたい。
2 基部
3 垂直脚部
4 アーム
5 工具
6 継手
7 作業面
[実施形態1]
ロボットシステムにおいて、
基部(2)と、
第1軸(11)を中心にして前記基部に対して回転させることのできるターンテーブル(8)であって、前記第1軸から第1距離だけ間隔を空けた位置で前記基部と接触している軸受(9)を含んでいるターンテーブルと、
前記第1軸に概ね平行な第2軸(12)を中心にして回転させることのできる、前記ターンテーブルに軸回転可能に取り付けられているアーム(4)であって、前記第2軸は、前記第1軸から、前記第1距離より短い第2距離に配置されている、アームと、
前記アームによって支持されており、少なくとも1つの機能を実行するために配置されている工具と係合できるようになっている継手と、を備えているシステム。
[実施形態2]
ロボットシステムにおいて、
基部(2)と、
第1軸(11)を中心にして前記基部に対して回転させることのできるターンテーブル(8)であって、前記第1軸から第1距離だけ間隔を空けた位置で前記基部と接触している軸受(9)を含んでいるターンテーブルと、
前記第1軸から間隔を空け且つ前記第1軸に概ね平行に配置されている第2軸(12)を中心にして回転させることのできる、前記ターンテーブルに軸回転可能に取り付けられているアーム(4)であって、前記アームの少なくとも一部分は、使用中には前記軸受の下方に位置している、アームと、
前記アームによって支持されており、少なくとも1つの機能を実行するために配置されている工具と係合できるようになっている継手と、を備えているシステム。
[実施形態3]
前記第2軸は、前記第1軸から、前記第1軸と前記軸受の間の最小距離より短い距離だけ間隔を空けて配置されている、実施形態2に記載のシステム。
[実施形態4]
単一の軸受が、前記ターンテーブルを前記基部の上に、x方向、y方向及びz方向に、そして前記第1軸を中心に回転させることができるように支持している、実施形態1から3の何れかに記載のシステム。
[実施形態5]
前記アームの少なくとも一部分は、使用中には、前記ターンテーブルの下方に位置している、実施形態1から4の何れかに記載のシステム。
[実施形態6]
前記アームの一部分は、前記第2軸を横断する方向に伸張している、実施形態1から5の何れかに記載のシステム。
[実施形態7]
前記継手と係合されている工具(5)は、前記アームの下方に位置する工作物と係合するように配置されている、実施形態1から6の何れかに記載のシステム。
[実施形態8]
前記軸受は、前記基部と係合する環状部を含んでいる、実施形態1から7の何れかに記載のシステム。
[実施形態9]
前記アームは、前記第2軸に沿って動かすことができる、実施形態1から8の何れかに記載のシステム。
[実施形態10]
前記アームの一部分は、前記軸受の上方に伸張し、前記アームの別の部分は、前記軸受の下方に位置している、実施形態1から9の何れかに記載のシステム。
[実施形態11]
前記基部は、前記ターンテーブルを支持する上部(22)を含んでおり、少なくとも1つの脚部(3)が前記上部の下方に伸張しており、前記少なくとも1つの脚部は、少なくとも部分的には前記ターンテーブルの下方に位置している、実施形態1から10の何れかに記載のシステム。
[実施形態12]
前記上部は、前記軸受で前記ターンテーブルと係合している、実施形態11に記載のシステム。
[実施形態13]
前記アームの少なくとも一部分は、前記第2軸を横断する方向に前記少なくとも1つの脚部を越えた位置まで伸張させることができる、実施形態11又は12に記載のシステム。
[実施形態14]
前記基部は、上部(22)を含んでおり、複数の脚部(3)が、前記上部の下方に伸張し、前記ターンテーブルの下方に位置している作業領域(7)の上方に前記上部を支持しており、前記上部は、前記軸受で前記ターンテーブルと係合している、実施形態1から13の何れかに記載のシステム。
[実施形態15]
前記アームは、前記継手と係合している工具が前記作業領域に位置している工作物を操作することができるように、前記第2軸に沿って前記作業領域に向けて動かすことができる、実施形態14に記載のシステム。
[実施形態16]
前記継手(6)は、複数の工具(5)と取り外し可能に係合させることができるようになっており、前記複数の工具は、それぞれ、他の工具と比較して独自の機能を実行できるようになっている、実施形態1から15の何れかに記載のシステム。
[実施形態17]
前記ターンテーブルとアームを前記第1及び第2軸に対してそれぞれ動かすためのターンテーブルとアームの駆動装置(81、41、42)を更に備えている、実施形態1から16の何れかに記載のシステム。
本発明の上記及びこの他の態様は、以下の説明及び特許請求の範囲の内容から明白となるであろう。
Claims (17)
- ロボットシステムにおいて、
基部(2)と、
第1軸(11)を中心にして前記基部に対して回転させることのできるターンテーブル(8)であって、前記第1軸から第1距離だけ間隔を空けた位置で前記基部と接触している軸受(9)を含んでいるターンテーブルと、
前記第1軸に概ね平行な第2軸(12)を中心にして回転させることのできる、前記ターンテーブルに軸回転可能に取り付けられているアーム(4)であって、前記第2軸は、前記第1軸から、前記第1距離より短い第2距離に配置されている、アームと、
前記アームによって支持されており、少なくとも1つの機能を実行するために配置されている工具と係合できるようになっている継手と、を備えているシステム。 - ロボットシステムにおいて、
基部(2)と、
第1軸(11)を中心にして前記基部に対して回転させることのできるターンテーブル(8)であって、前記第1軸から第1距離だけ間隔を空けた位置で前記基部と接触している軸受(9)を含んでいるターンテーブルと、
前記第1軸から間隔を空け且つ前記第1軸に概ね平行に配置されている第2軸(12)を中心にして回転させることのできる、前記ターンテーブルに軸回転可能に取り付けられているアーム(4)であって、前記アームの少なくとも一部分は、使用中には前記軸受の下方に位置している、アームと、
前記アームによって支持されており、少なくとも1つの機能を実行するために配置されている工具と係合できるようになっている継手と、を備えているシステム。 - 前記第2軸は、前記第1軸から、前記第1軸と前記軸受の間の最小距離より短い距離だけ間隔を空けて配置されている、請求項2に記載のシステム。
- 単一の軸受が、前記ターンテーブルを前記基部の上に、x方向、y方向及びz方向に、そして前記第1軸を中心に回転させることができるように支持している、請求項1から3の何れかに記載のシステム。
- 前記アームの少なくとも一部分は、使用中には、前記ターンテーブルの下方に位置している、請求項1から4の何れかに記載のシステム。
- 前記アームの一部分は、前記第2軸を横断する方向に伸張している、請求項1から5の何れかに記載のシステム。
- 前記継手と係合されている工具(5)は、前記アームの下方に位置する工作物と係合するように配置されている、請求項1から6の何れかに記載のシステム。
- 前記軸受は、前記基部と係合する環状部を含んでいる、請求項1から7の何れかに記載のシステム。
- 前記アームは、前記第2軸に沿って動かすことができる、請求項1から8の何れかに記載のシステム。
- 前記アームの一部分は、前記軸受の上方に伸張し、前記アームの別の部分は、前記軸受の下方に位置している、請求項1から9の何れかに記載のシステム。
- 前記基部は、前記ターンテーブルを支持する上部(22)を含んでおり、少なくとも1つの脚部(3)が前記上部の下方に伸張しており、前記少なくとも1つの脚部は、少なくとも部分的には前記ターンテーブルの下方に位置している、請求項1から10の何れかに記載のシステム。
- 前記上部は、前記軸受で前記ターンテーブルと係合している、請求項11に記載のシステム。
- 前記アームの少なくとも一部分は、前記第2軸を横断する方向に前記少なくとも1つの脚部を越えた位置まで伸張させることができる、請求項11又は12に記載のシステム。
- 前記基部は、上部(22)を含んでおり、複数の脚部(3)が、前記上部の下方に伸張し、前記ターンテーブルの下方に位置している作業領域(7)の上方に前記上部を支持しており、前記上部は、前記軸受で前記ターンテーブルと係合している、請求項1から13の何れかに記載のシステム。
- 前記アームは、前記継手と係合している工具が前記作業領域に位置している工作物を操作することができるように、前記第2軸に沿って前記作業領域に向けて動かすことができる、請求項14に記載のシステム。
- 前記継手(6)は、複数の工具(5)と取り外し可能に係合させることができるようになっており、前記複数の工具は、それぞれ、他の工具と比較して独自の機能を実行できるようになっている、請求項1から15の何れかに記載のシステム。
- 前記ターンテーブルとアームを前記第1及び第2軸に対してそれぞれ動かすためのターンテーブルとアームの駆動装置(81、41、42)を更に備えている、請求項1から16の何れかに記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/339,036 US7374525B2 (en) | 2006-01-25 | 2006-01-25 | SCARA-type robotic system |
US11/339,036 | 2006-01-25 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008552361A Division JP2009524529A (ja) | 2006-01-25 | 2007-01-23 | ロボットシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013208705A true JP2013208705A (ja) | 2013-10-10 |
Family
ID=38042496
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008552361A Pending JP2009524529A (ja) | 2006-01-25 | 2007-01-23 | ロボットシステム |
JP2013115672A Pending JP2013208705A (ja) | 2006-01-25 | 2013-05-31 | ロボットシステム |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008552361A Pending JP2009524529A (ja) | 2006-01-25 | 2007-01-23 | ロボットシステム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7374525B2 (ja) |
EP (1) | EP1984151B1 (ja) |
JP (2) | JP2009524529A (ja) |
AT (1) | ATE449671T1 (ja) |
DE (1) | DE602007003446D1 (ja) |
DK (1) | DK1984151T3 (ja) |
WO (1) | WO2007087295A2 (ja) |
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- 2007-01-23 JP JP2008552361A patent/JP2009524529A/ja active Pending
- 2007-01-23 AT AT07716928T patent/ATE449671T1/de not_active IP Right Cessation
- 2007-01-23 DK DK07716928.2T patent/DK1984151T3/da active
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US7374525B2 (en) | 2008-05-20 |
EP1984151A2 (en) | 2008-10-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A02 | Decision of refusal |
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