JPH10291177A - 多関節ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動の発生を抑えてカセット等の配置の自由
度を大きくする。 【解決手段】 基台に対して回転可能な第１アーム３に
第２アーム４を回転可能に連結して第２アーム４の先端
にワークを保持可能なハンド部６を有する多関節ロボッ
ト１において、第２アーム４はハンド部６を常時一定方
向に向けながら伸縮する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを移動させ
る多関節ロボットに関する。さらに詳述すると、本発明
は、スカラ型の多関節ロボットのアームの構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】ウェハ等のワークをカセット間で移動さ
せるために多関節ロボットが使用される。多関節ロボッ
ト１００は、例えば図１１に示すように第１アーム１０
１と第２アーム１０２とハンド部１０３とを備えてい
る。２つのアーム１０１，１０２には図１２に示すよう
にプーリ１０４，１０５，１０６，１０７とベルト１０
８，１０９とが内蔵されている。そして、第１アーム１
０１の基台側のプーリ１０４とハンド側のプーリ１０５
との径の比は２：１としている。また、第２アーム１０
２の基台側のプーリ１０６とハンド側のプーリ１０７と
の径の比は１：２としている。したがって、第１アーム
の基台側のプーリとハンド側のプーリ及び第２アームの
基台側のプーリとハンド側のプーリとの回転角度比が
１：２：１となる。さらに、第１アーム１０１と第２ア
ーム１０２との長さは同じにしている。

【０００３】これにより、第１アーム１０１の基台側の
プーリ１０４を駆動モータにより回転させることによっ
て、第１アーム１０１及び第２アーム１０２の角度が変
化してハンド部１０３を一定方向に向かせながら直線上
を移動させることができる。ここで、例えばウェハをカ
セット間で移動させる多関節ロボット１００では、ハン
ド部１０３によりウェハを取り出したり載置する方向と
ハンド部１０３の直線移動の方向とを一致させる。これ
により、カセットからウェハを真っ直ぐに載置し若しく
は取り出すことができる。また、この多関節ロボット１
００は第１アーム１０１と第２アーム１０２とが曲折す
ることによりハンド部１０３を一定方向に向かせながら
直線上を移動させるものであり、モデルとして表すと図
１３に示すものとなる。

【０００４】また、他の多関節ロボット１００として
は、図１４，１５に示すように第１アーム１０１と第２
アーム１０２とハンド部１０３とを備え、基台１１０及
び第１アーム１０１の連結軸Ｊ１と第１アーム１０１及
び第２アーム１０２の連結軸Ｊ２と第２アーム１０２及
びハンド部１０３の連結軸Ｊ３とのそれぞれに駆動モー
タ等により別個の回転力を与えるものがある。これによ
り、第１アーム１０１と第２アーム１０２とハンド部１
０３との回転角度を別個に制御している。

【０００５】さらに、別の多関節ロボット１００として
は、図１６に示すように第１アーム１０１と第２アーム
１０２と第３アーム１１１とハンド部１０３とを備え、
基台及び第１アーム１０１の連結軸Ｊ１と第１アーム１
０１及び第２アーム１０２の連結軸Ｊ２と第２アーム１
０２及び第３アーム１１１の連結軸Ｊ３と第３アーム１
１１及びハンド部１０３の連結軸Ｊ４とのそれぞれに駆
動モータ等により別個に回転力を与えるものがある。こ
れにより、第１アーム１０１と第２アーム１０２と第３
アーム１１１とハンド部１０３との回転角度を別個に制
御している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た図１１〜１３に示すアーム１０１，１０２が全体とし
て伸縮する多関節ロボット１００では、アーム１０１，
１０２の伸縮方向が第１アーム１０１の回転中心（即ち
基台）から放射状になるので、図１７に示すようにカセ
ット１１２等のワーク保持装置を多関節ロボット１００
の周囲に放射状に向けて配置しなければならない。この
ため、カセット１１２の配置の自由度が小さくなってし
まうと共に、作業空間の縮小化が困難であった。

【０００７】また、図１４，１５に示す多関節ロボット
１００では、第１アーム１０１と第２アーム１０２とハ
ンド部１０３とが独立して回転するので図１８に示すよ
うにカセット１１２の配置の自由度は大きくなるもの
の、ウェハ１１３を基台上で直線運動により通過させよ
うとして第２アーム１０２が第１アーム１０１に重なっ
たときにアーム１０１，１０２はその機構上、特異点の
状態になってしまう。この特異点でアーム１０１，１０
２が余りに低速になると、第１アーム１０１を回転させ
るために特別大きな駆動力を必要としてしまうので好ま
しくない。このため、アーム１０１，１０２が特異点付
近で直線運動をする際に低速にならないように、アーム
１０１，１０２が特異点の近くにあるときはある程度の
速度を維持しながら直線移動させなければならない。と
ころが、ハンド部１０３が基台１１０の真上近傍を他の
部分での移動速度と同じ速度で通過するように設定する
と、そのときの第１アーム１０１の回転速度が極めて高
速になってしまう。これにより、アーム１０１，１０２
に振動が生じてしまい、ウェハ１１３の搬送が不安定に
なるおそれがある。

【０００８】ここで、ウェハ１１３の搬送が不安定にな
ることを避けるために、図１９に示すようにウェハ１１
３の搬送路と基台とが重ならないように多関節ロボット
１００とカセット１１２等を配置することができる。し
かし、このような配置ではカセット１１２等の配置に制
約を受けてしまい自由度を大きくできない。

【０００９】さらに、図１６に示す多関節ロボット１０
０では、３本のアーム１０１，１０２，１１１及びハン
ド部１０３を４本の連結軸Ｊ１〜Ｊ４を回転させて制御
しているので、剛性を大きくできないと共に図１１〜１
５に示す多関節ロボット１００と比べてもサーボ軸数が
多いことから共振点が低くなって共振を生じやすい。ま
た、可動部材が多く精度を高くできない。このため、ウ
ェハをカセットに出し入れする際にウェハをカセットに
ぶつけ易く、ウェハの角欠けを生ずることもある。さら
に、モータ等の数量が多いので高価になってしまう。

【００１０】そこで、本発明は、振動の発生を抑えてカ
セット等の配置の自由度を大きくできる多関節ロボット
を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに請求項１の発明は、基台に対して回転可能な第１ア
ームに第２アームを回転可能に連結して第２アームの先
端にワークを保持可能なハンド部を有する多関節ロボッ
トにおいて、第２アームはハンド部を常時一定方向に向
けながら伸縮するようにしている。

【００１２】したがって、ハンド部を直線運動させるに
は第２アームを伸縮させれば良いので、第１アームを回
転させる必要がなく、これら第１及び第２のアームが特
異点の状態になることはない。このため、第１アームが
特に高速回転になることはなく、アームの振動を防止す
ることができる。また、ハンド部を直線運動させる際
に、伸縮する第２アームの回転中心の位置を第１アーム
の回転によって変更することができるので、第２アーム
の伸縮の向きは放射状に限られない。したがって、カセ
ット等の配置の自由度を増大させることができる。

【００１３】さらに、請求項２の多関節ロボットでは、
ハンド部の一定方向は、ハンド部がワークを取り出した
り載置する方向であるようにしている。したがって、ハ
ンド部をワークのカセット等に向けて第２アームを伸縮
させて、ワークを取り出したり載置することができる。

【００１４】また、請求項３の多関節ロボットでは、第
２アームは第１アームに回転可能に連結した基台側アー
ムとハンド部に回転可能に連結したハンド側アームとの
２つのアームを回転可能に連結したものであり、基台側
アームの回転とハンド側アームの回転とハンド部の回転
との回転角度比は１：２：１であるようにしている。し
たがって、基台側アームの基台側の端部を回転させるこ
とによりハンド側アームが回転すると共にハンド部が直
線上を移動する。しかも、ハンド部は常に同じ方向を向
いたまま移動する。また、プーリとベルトとにより動力
伝達系を形成することができる。

【００１５】さらに、請求項４の多関節ロボットでは、
第１アームは回転テーブルであり、第２アームは回転テ
ーブルに上下動可能に設けたものであるようにしてい
る。したがって、第１アームは回転テーブルであるの
で、第１アームの重心を低くして回転の安定性を高くす
ることができる。また、第１アームと第２アームとの間
で上下動が行われるので、アームの全体として高い剛性
を得ることができるこれにより、多関節ロボット全体の
振動を抑制することができる。

【００１６】そして、請求項５の多関節ロボットでは、
基台に回転テーブルを回転可能に保持すると共に、回転
テーブルに、上下方向を長手方向とするガイド軸とガイ
ド軸に案内されて昇降可能な上下移動部と上下移動部を
昇降させる上下駆動手段を取り付け、上下移動部に第２
アームの基台側アームを回転可能に取り付けている。し
たがって、第２アームは回転テーブルに対して上下移動
部及びガイド軸によって上下動可能に支持されるので、
第２アームの昇降は安定したものとなる。これにより、
多関節ロボット全体の振動の発生を防止できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。この発明
に係る多関節ロボット１は、図１に示すように、基台２
に対して回転可能な第１アーム３に第２アーム４を回転
可能に連結して、第２アーム４の先端にウェハ５等のワ
ークを保持可能なハンド部６を有するスカラ型のものと
している。そして、第２アーム４は、ハンド部６を常時
一定方向に向けながら伸縮するようにしている。

【００１８】より具体的には、図２〜５に示すように、
第２アーム４は互いに回転可能に連結された同じ長さの
基台側アーム７とハンド側アーム８とを備えている。こ
れら基台側アーム７とハンド側アーム８とには、それぞ
れプーリ７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂとベルト７ｃ，８ｃと
が内蔵されている。そして、基台側アーム７の基台側プ
ーリ７ａとハンド側プーリ７ｂとの径の比は２：１とし
ている。また、ハンド側アーム８の基台側プーリ８ａと
ハンド側プーリ８ｂとの径の比は１：２としている。さ
らに、基台側アーム７とハンド側アーム８とは連結軸９
により連結している。ここで、基台側アーム７のハンド
側プーリ７ｂとハンド側アーム８とは連結軸９ａにより
連結している。また、基台側アーム７とハンド側アーム
８の基台側プーリ８ａとは連結軸９ｂにより連結してい
る。したがって、基台側アーム７の基台側プーリ７ａと
ハンド側プーリ７ｂ（即ち、ハンド側アーム８の基台側
プーリ８ａ）とハンド側アーム８のハンド側プーリ８ｂ
との回転角度比が１：２：１となる。

【００１９】また、ハンド側アーム８のハンド側プーリ
８ｂにはハンド部６が取り付けられている。ハンド部６
は例えば平行な２本の平行な支持フレーム６ａ，６ａを
備えている。したがって、基台側アーム７の基台側プー
リ７ａを回転させることにより、基台側アーム７とハン
ド側アーム８との角度が変化すると共に、ハンド部６が
基台側アーム７の基台側プーリ７ａとハンド側アーム８
のハンド側プーリ８ｂとを結んだ直線上を移動する。こ
のとき、ハンド部６は向きを一定にしながら移動する。

【００２０】ここで、ハンド部６の支持フレーム６ａ，
６ａの向きをハンド部６が移動する直線上に平行になる
ようにハンド部６の向きを設定している。これにより、
ハンド部６が直線運動するときに、支持フレーム６ａ，
６ａをウェハ５を保持するカセット１０に対して真っ直
ぐに向けながら移動できる。このため、例えば図６に示
すように、ハンド部６をカセット１０に向き合った位置
Ｐ１に位置させて、そこからカセット１０に向けて真っ
直ぐにハンド部６を移動させればカセット１０の位置Ｐ
０に位置させることができる。したがって、アーム３，
４の制御と別個にハンド部６をウェハ５に真っ直ぐに向
けるための制御を必要としないので、ハンド部６により
ウェハ５を載置したり取り出したりする際の位置制御を
簡易化することができる。

【００２１】一方、基台側アーム７の基台側の端部は第
１アーム３に対して昇降筒１１により昇降可能に取り付
けられている。本実施形態では第１アーム３はほぼ円筒
形状の回転テーブル３とされている。そして、昇降筒１
１は回転テーブル３上の中心からずれた位置に設けられ
ている。図３に示すように、この回転テーブル３は基台
２に対して図示しない軸受けにより回転可能に支持され
ている。基台２にはテーブル回転モータ１２が設置され
ている。テーブル回転モータ１２は回転テーブル３とタ
イミングベルト１３により連結されている。このため、
テーブル回転モータ１２の駆動により回転テーブル３が
回転する。

【００２２】また、回転テーブル３の内部には、第２ア
ーム昇降機構１４と第２アーム伸縮機構１５と第２アー
ム回転機構１６とが設けられている。第２アーム昇降機
構１４は、上下方向を長手方向とするガイド軸１７と、
ガイド軸１７に案内されて上下方向に移動可能な上下移
動部としてのスライド板１８と、上下駆動手段としての
スクリュー軸（図示せず）及び昇降モータ１９と、基台
側アーム７に固定されてスライド板１８と共に昇降する
円筒形状の昇降筒１１とを備えている。スクリュー軸
は、スライド板１８の一部に螺合して回転によりスライ
ド板１８を昇降させる。そして、スクリュー軸は昇降モ
ータ１９により回転される。したがって、昇降モータ１
９の駆動によりスクリュー軸が回転してスライド板１８
がガイド軸１７に沿って昇降すると昇降筒１１も昇降す
る。この昇降筒１１の昇降により第２アーム４が昇降す
る。

【００２３】第２アーム伸縮機構１５は、スライド板１
８上に設置されたアーム回転モータ２０と昇降筒１１及
びアーム伸縮モータ２０を連結するタイミングベルト２
１とを備えている。アーム伸縮モータ２０の駆動により
昇降筒１１が回転して基台側アーム７を回転すると共
に、基台側アーム７の回転に伴いタイミングベルト７ｃ
によりプーリ７ｂがハンド側アーム８を回転（基台側ア
ーム７の２倍の回転角）させる事により、第２アーム４
の曲折角度が変化して全体として伸縮する。

【００２４】第２アーム回転機構１６は、基台側アーム
７の基台側プーリ７ａに一体化されたプーリ軸２２と、
スライド板１８上に設置されたハンド側アーム回転モー
タ２３と、プーリ軸２２及びハンド側アーム回転モータ
２３を連結するタイミングベルト２４とを備えている。
アーム伸縮モータ２０の駆動により第２アーム４を回転
させ、アーム８を伸縮する方向と逆方向にモータ２３を
（具体的には、プーリ２１，２４を同方向に同移動角
に）駆動する事で第２アーム４が回転する。

【００２５】上述した多関節ロボット１により円形のウ
ェハ５をカセット１０から取り出して他のカセット１０
に載置する動作を説明する。

【００２６】ハンド部６をカセット１０の位置に移動さ
せるには、テーブル回転モータ１２の駆動により回転テ
ーブル３を回転させて第２アーム４及びハンド部６を全
体的に回転させる。そして、モータ２０，２３の駆動に
より昇降筒１１を回転させて第２アーム４の向きを定め
る。さらに、アーム伸縮モータ２０の駆動により基台側
アーム７とハンド側アーム８との角度を変更して第２ア
ーム４を伸縮させる。その一方、昇降モータ１９の駆動
により昇降筒１１を上下動させて第２アーム４及びハン
ド部６の上下位置を設定する。

【００２７】そして、第２アーム４を伸長させて、ハン
ド部６をカセット１０の内部に差し入れる。ここで、ウ
ェハ５を支持フレーム６ａ，６ａの先端に引っ掛けて、
第２アーム４を短縮することによりウェハ５を取り出
す。また、ウェハ５をハンド部６に載せた状態で第１ア
ーム３及び第２アーム４を移動させる。そして、ハンド
部６を他のカセット１０の位置に移動させて、第２アー
ム４を伸長させて内部に差し入れる。ウェハ５をトレイ
に載置したらハンド部６のみを引き抜く。これにより、
ウェハ５の移動が完了する。

【００２８】ここで、多関節ロボット１のハンド部６の
移動位置の制御はコンピュータにより行われる。コンピ
ュータはオペレータが入力したプログラムに基づいて多
関節ロボット１の制御を行う。例えば、図６に示すよう
にウェハ５を保持したハンド部６をＰ０（Ｘ０，Ｙ０）
のカセット位置に差し入れるためには、ハンド部６をＰ
０から真っ直ぐ距離Ｒだけ引き出した位置Ｐ１（Ｘ１，
Ｙ１）に一旦位置させて、それからＰ０に真っ直ぐ差し
入れる動作を行う。この場合、本実施形態では、オペレ
ータは図７，８に示すプログラムのような指示を与える
ことにより実行できるようにしている。図７のリスト中
の「ＰＵＬＬＭＯＶＥ（Ｒ）」はＰ１に対してハンド部
方向にＲだけ下がった位置への動作を実行させるコマン
ドであり、図８のリスト中の「ＰＵＬＬＰＯＩＮＴ（Ｐ
１，Ｒ）」はＰ１からＲだけ引き出した座標を演算する
コマンドである。

【００２９】すなわち、ハンド部６が一旦通過する位置
Ｐ１とそこからの移動距離Ｒのみを入力することにより
ハンド部６をＰ０に位置させる。これは、Ｐ１の位置が
定まればハンド部６の向きが一義的に決定され、その向
きに距離Ｒだけ移動させればそこがＰ０になるので、結
局Ｐ１及びＲの値が既知であればコンピュータによりＰ
０の位置を算出することができるからである。したがっ
て、従来の制御方法ではオペレータはＰ１とＰ０との座
標を入力してしたのでハンド部６の移動方向や移動距離
を直感的に認識できないが、本実施形態の制御方法によ
ればＰ１とＲとを入力すれば良いのでハンド部６の移動
方向や移動距離を直感的に認識できて操作し易くするこ
とができる。

【００３０】本実施形態の多関節ロボット１によれば、
ハンド部６を直線運動させるには第２アーム４を伸縮さ
せれば良く、回転テーブル３と第２アーム４とが特異点
の状態になることはない。このため、回転テーブル３が
特に高速回転になることはなく、アーム３，４の振動を
防止することができる。これにより、多関節ロボット１
の動作の安定性を向上させることができる。また、ハン
ド部６を直線運動させる際に、伸縮する第２アーム４の
回転中心の位置を回転テーブル３の回転によって変更す
ることができるので、第２アーム４の伸縮の向きは放射
状に限られない。したがって、多関節ロボット１とカセ
ット１０の配置の自由度を増大させることができる。こ
れにより、作業性を向上させることができる。

【００３１】また、本実施形態では第１アームを回転テ
ーブルとしているので、第１アームの回転の安定性を向
上させることができる。特に第１アームは他のアームよ
りも大きなモーメントが作用するので振動防止が困難で
あるが、本実施形態の回転テーブル３によれば支持軸受
けの直径を大きくすることができるため振動を有効に防
止することができる。したがって、アーム３，４の全体
としての振動を防止することができる。

【００３２】さらに、本実施形態の多関節ロボット１に
よれば、駆動モータを４つのみ使用している。これは、
従来の図１６に示す種類の多関節ロボット１００で使用
するモータ数（５個）よりも少ない。このため、この種
類の多関節ロボット１００よりも部品点数を減少させて
低価格の多関節ロボットを提供できる。また、この図１
６に示す多関節ロボット１００よりも可動部材が少ない
ので、剛性を高めて振動を減少させることもできる。

【００３３】しかも、本実施形態の多関節ロボット１に
よれば、第２アーム４の伸縮機構としてプーリ７ａ，７
ｂ，８ａ，８ｂとベルト７ｃ，８ｃとの組み合わせを使
用しているので、摩耗が少なくクリーンルームでも使用
することができる。このため、クリーンルーム内で行わ
れる半導体用のウェハの搬送に適したものとなる。ま
た、アームの本数が実質的に３本となるので、図５に示
すようにハンド部６の回転半径よりも狭い範囲に収容可
能な多関節ロボット１を提供することができる。

【００３４】但し、第２アーム４の伸縮機構としてはプ
ーリ７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂとベルト７ｃ，８ｃとの組
み合わせに限られない。例えば、第２アームをスライダ
及びボールねじにより直線方向に伸縮する２本のアーム
からなるものとすることができる。この場合も、カセッ
ト１０の配置の自由度を向上させ、基台２の近傍で直線
運動を行うことができるのは勿論である。

【００３５】なお、上述の実施形態は本発明の好適な実
施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能で
ある。例えば、本実施形態では１本の第１アーム３に１
本の第２アーム４を取り付けているが、複数本の第２ア
ーム４を取り付けることもできる。この場合、例えば図
９，１０に示すように２本の第２アーム４，４’の基台
側の端部に共通の昇降筒１１及びプーリ軸２２を取り付
けて２つの第２アーム４，４’が同じ挙動を行うように
することができる。これによれば、同じカセット１０の
上下のトレイに同時に複数のハンド部６，６’を差し入
れることができ、複数のウェハ５を出し入れしたり、ま
た一方のハンド部６はウェハ５を取り出し、他方のハン
ド部６’はウェハ５を載置するといったことができるよ
うになる。さらに、複数の第２アームに昇降筒及びプー
リ軸を別個に設けて別々に制御するようにすることがで
きる。この場合、異なるカセットに対して同時にウェハ
の出し入れができるようになる。

【００３６】また、上述した実施形態ではワークとして
ウェハを使用しているが、これに限られず例えば液晶ガ
ラス基板を使用することができる。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、請求項
１の発明は、基台に対して回転可能な第１アームに第２
アームを回転可能に連結して第２アームの先端にワーク
を保持可能なハンド部を有する多関節ロボットにおい
て、第２アームはハンド部を常時一定方向に向けながら
伸縮するようにしているので、ハンド部を直線運動させ
るには第２アームを伸縮させれば良く第１及び第２のア
ームが特異点の状態になることはない。このため、第１
アームが特に高速回転になることはなく、アームの振動
を防止することができる。これにより、多関節ロボット
の動作の安定性を向上させることができる。

【００３８】また、ハンド部を直線運動させる際に、伸
縮する第２アームの回転中心の位置を第１アームの回転
によって変更することができるので、第２アームの伸縮
の向きは放射状に限られない。したがって、多関節ロボ
ットとカセット等の配置の自由度を増大させることがで
きる。これにより、作業性を向上させることができる。

【００３９】さらに、請求項２の多関節ロボットでは、
ハンド部の一定方向は、ハンド部がワークを取り出した
り載置する方向であるようにしているので、ハンド部を
ワークのカセット等に向けて第２アームを伸縮させて、
ワークを取り出したり載置することができる。これによ
り、ハンド部がカセット等に向くようにハンド部の向き
を設定する必要がなくなるので、アームの制御を容易に
行うことができるようになる。

【００４０】また、請求項３の多関節ロボットでは、第
２アームは第１アームに回転可能に連結した基台側アー
ムとハンド部に回転可能に連結したハンド側アームとの
２つのアームを回転可能に連結したものであり、基台側
アームの回転とハンド側アームの回転とハンド部の回転
との回転角度比は１：２：１であるようにしているの
で、基台側アームの基台側の端部を回転させることによ
りハンド側アームが回転すると共にハンド部を直線上に
移動させることができる。しかも、ハンド部は常に同じ
方向を向いたまま移動することができる。また、プーリ
とベルトとにより動力伝達系を形成することができるの
で、摩耗が少ないことによりクリーンルームでの使用に
適した多関節ロボットとすることができる。

【００４１】さらに、請求項４の多関節ロボットでは、
第１アームは回転テーブルであり、第２アームは回転テ
ーブルに上下動可能に設けたものであるようにしている
ので、第１アームの重心を低くして回転の安定性を高く
することができる。また、第１アームと第２アームとの
間で上下動が行われるので、アームの全体として高い剛
性を得ることができる。これにより、多関節ロボット全
体の振動を抑制することができ、作業性を向上させるこ
とができる。

【００４２】そして、請求項５の多関節ロボットでは、
基台に回転テーブルを回転可能に保持すると共に、回転
テーブルに、上下方向を長手方向とするガイド軸とガイ
ド軸に案内されて昇降可能な上下移動部と上下移動部を
昇降させる上下駆動手段を取り付け、上下移動部に第２
アームの基台側アームを回転可能に取り付けているの
で、第２アームの昇降の安定性を向上させることができ
る。これにより、多関節ロボット全体の振動の発生を防
止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の多関節ロボットスケルトンモデルを示
す斜視図である。

【図２】図３に示す多関節ロボットのスケルトンモデル
を示す斜視図である。

【図３】多関節ロボットを示す縦断面図である。

【図４】多関節ロボットを示す斜視図である。

【図５】多関節ロボットを示す平面図である。

【図６】多関節ロボットの制御のための座標の指示方法
を示す平面図である。

【図７】座標指示のためのプログラムの例を示す図であ
る

【図８】座標指示のためのプログラムの他の例を示す図
である。

【図９】多関節ロボットの他の実施形態のスケルトンモ
デルを示す斜視図である。

【図１０】多関節ロボットの他の実施形態のより具体的
なスケルトンモデルを示す斜視図である。

【図１１】従来の多関節ロボットを示す斜視図である。

【図１２】図１１の多関節ロボットのスケルトンモデル
を示す斜視図である。

【図１３】図１１の多関節ロボットのスケルトンモデル
を示す斜視図である。

【図１４】従来の他の多関節ロボットのスケルトンモデ
ルを示す斜視図である。

【図１５】図１４の多関節ロボットを示す平面図であ
る。

【図１６】従来の別の多関節ロボットのスケルトンモデ
ルを示す斜視図である。

【図１７】図１１〜１３に示す多関節ロボットを使用す
る場合のカセットの配置例を示す平面図である。

【図１８】図１４，１５に示す多関節ロボットを使用す
る場合のカセットの配置例を示す平面図である。

【図１９】図１４，１５に示す多関節ロボットを使用す
る場合のカセットの他の配置例を示す平面図である。

【符号の説明】

１ 多関節ロボット ２ 基台 ３ 回転テーブル（第１アーム） ４ 第２アーム ５ ウェハ（ワーク） ６ ハンド部 ７ 基台側アーム ８ ハンド側アーム １７ ガイド軸 １８ スライド板（上下移動部） １９ 昇降モータ（上下駆動手段）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台に対して回転可能な第１アームに第
   ２アームを回転可能に連結して前記第２アームの先端に
   ワークを保持可能なハンド部を有する多関節ロボットに
   おいて、前記第２アームは前記ハンド部を常時一定方向
   に向けながら伸縮することを特徴とする多関節ロボッ
   ト。
2. 【請求項２】 前記ハンド部の一定方向は、前記ハンド
   部がワークを取り出したり載置する方向であることを特
   徴とする請求項１記載の多関節ロボット。
3. 【請求項３】 前記第２アームは前記第１アームに回転
   可能に連結した基台側アームと前記ハンド部に回転可能
   に連結したハンド側アームとの２つのアームを回転可能
   に連結したものであり、前記基台側アームの回転と前記
   ハンド側アームの回転と前記ハンド部の回転との回転角
   度比は１：２：１であることを特徴とする請求項１また
   は２記載の多関節ロボット。
4. 【請求項４】 前記第１アームは回転テーブルであり、
   前記第２アームは前記回転テーブルに上下動可能に設け
   たものであることを特徴とする請求項１から３までのい
   ずれか記載の多関節ロボット。
5. 【請求項５】 前記基台に前記回転テーブルを回転可能
   に保持すると共に、前記回転テーブルに、上下方向を長
   手方向とするガイド軸と前記ガイド軸に案内されて昇降
   可能な上下移動部と前記上下移動部を昇降させる上下駆
   動手段を取り付け、前記上下移動部に前記第２アームの
   前記基台側アームを回転可能に取り付けたことを特徴と
   する請求項４記載の多関節ロボット。