JP3117118B2 - 多自由度位置決め機構 - Google Patents

多自由度位置決め機構

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JP3117118B2
JP3117118B2 JP07195266A JP19526695A JP3117118B2 JP 3117118 B2 JP3117118 B2 JP 3117118B2 JP 07195266 A JP07195266 A JP 07195266A JP 19526695 A JP19526695 A JP 19526695A JP 3117118 B2 JP3117118 B2 JP 3117118B2
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A47FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47BTABLES; DESKS; OFFICE FURNITURE; CABINETS; DRAWERS; GENERAL DETAILS OF FURNITURE
    • A47B2200/00General construction of tables or desks
    • A47B2200/0035Tables or desks with features relating to adjustability or folding
    • A47B2200/005Leg adjustment
    • A47B2200/0056Leg adjustment with a motor, e.g. an electric motor

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は精密測定器具、精密加工
機械、精密組立て装置等に適用可能な多自由度位置決め
機構に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、工作機械や、ロボットのマニュピ
ュレータは、片持ち梁構造が最適という、規制概念のも
とに、構成されていた。ところが近年になって、そのよ
うな規制概念を打破するような構造のものが製品化され
始めている。かかる構造のものは、パラレルメカニズム
と称せられるもので、エンドエフェクタ(ここではテー
ブルと称することとする)とベースとの間に、複数のリ
ンクを並列的に連結した、構造を有している。また、こ
れらリンクは伸縮するものと、屈曲動作するものとがあ
る。かかる構造により、前記パラレルメカニズムは、従
前の片持ち梁構造に比較して、一般的に高精度、高剛
性、高速に対応することができるといわれている(日経
メカニカル参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、反面、
テーブルの位置及び姿勢制御の計算が複雑となり、ソフ
トウェアが煩雑化して高価となる上、リンクが伸縮する
ものにあっては、移動範囲が狭く、リンクが屈曲するも
のにあっては、精度上、力学上の問題がある。本発明は
かかる欠点を解消するために提案されたものであって、
機構の簡素化を図り、移動範囲が大きく、姿勢の制御も
容易な、多自由度位置決め機構を提供することを目的と
する。
【0004】
【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ために、本発明は、第1、第2の案内軸と、これら第
1、第2案内軸上に、それぞれ移動可能に装着した第
1、第2の移動部材とを有し、これら第1、第2移動部
材にそれぞれ駆動機構を連結して、第1、第2移動部材
を第1、第2案内軸上において個々に移動させる構成と
し、前記第1、第2移動部材に、それぞれ屈曲自在に連
結した等長の一組のリンクの端部を、第1、第2の連結
機構を介して、旋回可能に取り付ける一方、前記一組の
リンクの連結箇所にテーブルを旋回可能に取り付けて前
記テーブルを移動調節可能に支持する構成とし、前記第
2連結機構は、第2移動部材上面に設けたブラケットに
両端部を突出するように回動可能に軸部材を装着して、
この軸部材の一端部にリンクの端部を嵌入して回動可能
に軸止めし、この軸部材の軸周りの回動を阻止する回動
阻止機構を設けたことを特徴とする。また本発明は、第
1、第2の案内軸と、これら第1、第2案内軸上に、そ
れぞれ移動可能に装着した第1、第2の移動部材とを有
し、これら第1、第2移動部材にそれぞれ駆動機構を連
結して、第1、第2移動部材を第1、第2案内軸上にお
いて個々に移動させる構成とし、前記第1、第2移動部
材に、第1、第2連結機構を介して、互いに交叉して中
間点で回動自在に連結した、等長の一対のリンクの一端
部を連結し、これら一対のリンクの他端部に、屈曲自在
に連結した等長の一組のリンクの端部を、それぞれ回動
自在に連結し、これら一組のリンクの連結箇所にテーブ
ルを旋回可能に取り付けて前記テーブルを移動調節可能
に支持する構成とし、前記第2連結機構は、第2移動部
材上面に設けたブラケットに両端部を突出するように回
動可能に軸部材を装着して、この軸部材の一端部にリン
クの端部を嵌入して回動可能に軸止めし、この軸部材の
軸周りの回動を阻止する回動阻止機構を設けたことを特
徴とする。また本発明は、第1、第2、第3の案内軸
と、これら第1〜第3案内軸上にそれぞれ移動可能に装
着した第1、第2の移動部材とを有し、これら第1、第
2移動部材にそれぞれ駆動機構を連結して、第1、第2
移動部材を第1〜第3案内軸上において個々に移動させ
る構成とし、前記第1、第2移動部材に、それぞれ屈曲
自在に連結した等長の一組のリンクの端部を、第1、第
2の連結機構を介して旋回可能に取り付ける一方、これ
ら3組のリンクの連結箇所にテーブルを旋回可能に取り
付けて前記テーブルを移動調節可能に支持する構成と
し、前記第2連結機構は、第2移動部材上面に設けたブ
ラケットに両端部を突出するように回動可能に軸部材を
装着して、この軸部材の一端部にリンクの端部を嵌入し
て回動可能に軸止めし、この軸部材の軸周りの回動を阻
止する回動阻止機構を設けたことを特徴とする。さらに
本発明は、第1、第2、第3の案内軸と、これら第1〜
第3案内軸上にそれぞれ移動可能に装着した第1、第2
の移動部材とを有し、これら第1、第2移動部材にそれ
ぞれ駆動機構を連結して、第1、第2移動部材を第1〜
第3案内軸上において個々に移動させる構成とし、前記
第1、第2移動部材に、それぞれ第1、第2連結機構を
介して、互いに交叉して中間点で回動自在に連結した、
等長の一対のリンクの一端部を連結し、これら3組の一
対のリンクの他端部に、屈曲自在に連結した等長の一組
のリンクの端部を、それぞれ回動自在に連結し、これら
3組のリンクの連結箇所にテーブルを旋回可能に取り付
けて前記テーブルを移動調節可能に支持する構成とし、
前記第2連結機構は、第2移動部材上面に設けたブラケ
ットに両端部を突出するように回動可能に軸部材を装着
して、この軸部材の一端部にリンクの端部を嵌入して回
動可能に軸止めし、この軸部材の軸周りの回動を阻止す
る回動阻止機構を設けたことを特徴とする。
【0005】
【作用】一組のリンクの連結部分の位置は第1、第2案
内軸上の第1、第2移動部材の位置から容易に検出する
ことができるので、テーブルの位置、および姿勢の制御
を容易に実行することができる。また、一組のリンクと
テーブルが一直線をなす位置(死点)になったとき、こ
のリンクの案内軸周りの旋回を止め、他の一組のリンク
を操作することにより、死点から所望方向に進行させる
ことができる。従って、その分だけ、テーブルの移動範
囲が増すことになる。また、第1、第2、第3案内軸上
の移動部材に取り付けたリンクによって旋回自在にテー
ブルを支持した構成によると、一層、きめ細かなテーブ
ルの姿勢制御が可能となる。さらに、互いに交叉して中
間点で回動自在に連結した等長の一対のリンクと、屈曲
自在に連結した等長の一組のリンクとによってテーブル
を支持する構成によると、一層、テーブルの位置調節範
囲が拡大化する。
【0006】
【実施例】次に、本発明にかかる多自由度位置決め機構
について、添付の図面に基づいて、以下説明する。図
1、図2に多自由度位置決め機構1を示し、この多自由
度位置決め機構1は、互いに平行に配置した第1、第2
の案内軸2a、2bと、これら第1、第2案内軸2a、
2b上に摺動可能に装着した第1、第2の摺動部材3
a、3bと、これら第1、第2摺動部材3a、3bにそ
れぞれ駆動機構4を連結して、駆動機構4の選択的制御
動作によって、前記第1、第2の摺動部材3a、3bを
第1、第2案内軸2a、2b上において適宜摺動移動さ
せる構成としている。前記第1、第2案内軸2a、2b
双方の第1、第2摺動部材3a、3bには、それぞれ屈
曲自在に連結した等長の一組のリンク5a、5bの端部
が、第1、第2の連結機構6a、6bを介して、第1案
内軸2aを含む面方向と、この第1案内軸2aを含む面
に直交する面方向に回動自在に取付けられている。そし
て、かかる双方のリンク5a、5bの連結箇所に、第3
の連結機構(後述)を介して2軸方向に回動可能にテー
ブル7が取付け支持されている。
【0007】前記駆動機構4は、第1、第2案内軸2
a、2bの両側にそれぞれ平行に所定間隔の位置に配設
したねじ軸8と、これらねじ軸8の端部に取り付けたモ
ータ9とを有するものである。また、前記ねじ軸8に
は、モータ9によるねじ軸8の回動によってねじ軸8上
を移動するめねじ部材10が設けられている。かかるめ
ねじ部材10は、前記第1、第2摺動部材3a、3bの
側面にそれぞれ一体的に取り付けられている。
【0008】前記第1、第2連結機構6a、6bは、第
1、第2摺動部材3a、3b上面に取り付けたブラケッ
ト11a、11bに、軸部材12a、12bを頭部を突
出した状態で回動自在に軸止めすると共に、かかる軸部
材12a、12bの突出した頭部に前記リンク5a、5
bの端部を嵌入して回動自在に軸止めする構成としてい
る。また、前記第2連結機構6bには、軸部材12bの
軸周りの回動を阻止する回動阻止機構13が設けられて
いる。この回動阻止機構13は、ブラケット12bから
突出する軸部材12bの端部に取り付けたディスク14
と、このディスク14の両面から挾み込んでディスク1
4の回転を阻止することで、前記軸部材12bの回動を
阻止するクランプ15とから構成されている。
【0009】ここで、前述の多自由度位置決め機構1
を、図3に模式的に示す。第1、第2連結機構6a、6
bと、リンク5a、5bの連結箇所とテーブル7とを連
結する第3の連結機構16は、第1案内軸2aを含む面
方向と第1案内軸2aを含む面に直交する面方向に、す
なわち、自由度は2であり、図4のようなシンボルを用
いることとする。また、第1、第2案内軸2a、2b上
の第2摺動部材3bにおける第2連結機構6bには、回
動阻止機構13が設けられているので、図のようなシン
ボルを用いることとする。かかる回動阻止機構13にお
いて、クランプ15を作用させてディスク14を挾み付
けることにより、軸部材12bの軸周りの回動を阻止す
るようになっており、かかる状態をシンボルにおけるク
ランプ15に対応する箇所を黒く塗りつぶして示す(図
5参照)。なお、軸部材12bが回動自在な状態のとき
は、前記シンボルにおけるクランプ15は、線図のまま
で示してある。
【0010】以上のような構成により、駆動機構4にお
けるモータ9を選択的に、回転量、回転駆動方向を考慮
して、起動制御することにより、めねじ部材10を介し
て第1、第2摺動部材3a、3bを適宜第1、第2案内
軸2a、2b上を摺動させて、第1、第2摺動部材3
a、3b間の相対位置関係を変えることでリンク5a、
5bの端部を、第1、第2連結機構6a、6bを介し第
1、第2案内軸2a、2bを含む面方向と第1、第2案
内軸2a、2bを含む面に直交する面方向に自在に変位
させ、リンク5a、5bの連結箇所に第3連結機構16
を介してテーブル7を、第1、第2案内軸2a、2bを
含む面方向と第1、第2案内軸2a、2bを含む面に直
交する面方向に変位自在に支持する構成である。
【0011】次に、多自由度位置決め機構1の作用を説
明する。先ず、第1案内軸2aおよび第2案内軸2b上
の第1、第2摺動部材3a、3bの相対位置関係を変え
ずに、駆動機構4を起動して、めねじ部材10を介して
第1、第2摺動部材3a、3bを第1、第2案内軸2
a、2b上を移動させると、テーブル7は、当初の姿
勢、支持高さを保った状態で、第1、第2案内軸2a、
2bの軸方向(図1中、X方向)に移動する。また、双
方の第1、第2摺動部材3a、3bにおいて、それぞれ
同時に間隔を変えるべく駆動機構4を起動制御すれば、
テーブル7を水平状態で垂直昇降させ(図1中、Y方
向)、支持高さを調節することができる。
【0012】次に、第2案内軸2b上の第2摺動部材3
bにおける第2連結機構6bの回動阻止機構13を作動
させ、クランプ15を作用させてディスク14を挾み付
けて、軸部材12bの軸周りの回動を阻止し、第1案内
軸2a上の第1、第2摺動部材3a、3b間の間隔を拡
大するように駆動機構4を起動すると、リンク5a、5
bが展開していくので、第3連結機構16の位置が下降
し、これによって、テーブル7は、第2案内軸2b側の
リンク5a、5b連結箇所である、第3連結機構16を
中心に回転変位し、さらに第1、第2連結機構6a、6
bを介しリンク5a、5bが、第1案内軸2aを含む面
に直交する面方向に旋回していき、リンク5a、5bの
傾斜角度とテーブル7の傾斜角度がほぼ等しい位置ま
で、テーブル7が旋回する(図6参照)。
【0013】そして、今度は、第1案内軸2a上の第2
摺動部材3bにおける第2連結機構6bの回動阻止機構
13を作動させ、クランプ15を作用させてディスク1
4を挾み付けて、軸部材12bの軸周りの回動を阻止す
る一方、第2案内軸2b側の第2摺動部材3bにおける
第2連結機構6bの回動阻止機構13を解除して、軸部
材12bを軸周りに回動自在とし、第1案内軸2a上の
第1、第2摺動部材3a、3b間の間隔を縮小拡大する
ように駆動機構4を起動すると、テーブル7は、第1案
内軸2a側のリンク5a、5b連結箇所である、第3連
結機構16を中心に回転変位し、テーブル7をさらに、
所望位置に調節することができる(図7、図8参照)。
【0014】本発明は、図9に示す多自由度位置決め機
構20によっても、実施することができる。本実施例に
おいては、前述の多自由度位置決め機構1を構成する構
成要素と実質的に同様の構成体には、同符号を付して説
明を省略するものとする。すなわち、多自由度位置決め
機構20は、第1、第2案内軸2a、2b上に摺動可能
に装着した第1、第2の摺動部材3a、3bに、第1、
第2連結機構6a、6bを介して、互いにX状に交叉し
て中間点で回動自在に連結した、等長の一対のリンク2
1a、21bの一端部を連結し、これら一対のリンク2
1a、21bの他端部に、屈曲自在に連結した等長の一
組のリンク5a、5bの端部を、それぞれ回動自在に連
結し、これら双方のリンク5a、5bの連結箇所であ
る、2軸方向に回動可能な第3連結機構16を介し、テ
ーブル7を支持する構成としている。なお、前記第1、
第2摺動部材3a、3bに連結される駆動機構4、第
1、第2案内軸2a、2b上の第2摺動部材3bにおけ
る第2連結機構6bには、回動阻止機構13が設けられ
ている。
【0015】以上のような多自由度位置決め機構20に
よれば、駆動機構4を起動制御することにより、X状に
交叉した、一対のリンク21a、21bを回動させ、さ
らに、一組のリンク5a、5bを連動させて、テーブル
7を移動調節するようにしたので、一層、移動調節範囲
を拡大化することができ、広範囲な用途に適応させるこ
とができる。
【0016】本発明は、図10、図11に示すような多
自由度位置決め機構30によっても、実施することがで
きる。この多自由度位置決め機構30では、第1、第2
案内軸2a、2bに直交するように第3の案内軸31を
設け、この第3案内軸31上に、駆動機構(図示省略)
によりそれぞれ摺動する第4、第5の摺動部材31a、
31bを設ける構成とし、第1、第2案内軸2a、2b
上の第1、第2摺動部材3a、3bに、屈曲自在に連結
した等長の一組のリンク5a、5bを第1、第2連結機
構6a、6bを介して取り付けたと同様に、第4、第5
摺動部材31a、31bに自由度2の第4、第5の連結
機構32a、32bを介してリンク5a、5bを取り付
ける構成としている。そして、これら3組のリンク5
a、5bの連結箇所に自由度3の第6の連結機構33を
介してテーブル7を支持する構成としている。すなわ
ち、テーブル7は、第1、第2案内軸2a、2b上の第
1、第2摺動部材3a、3bに取り付けたリンク5a、
5bの連結箇所における第6連結機構33により、テー
ブル7の一端辺両端部を、第3案内軸31上の第4、第
5の摺動部材31a、31bに取り付けたリンク5a、
5bの連結箇所における第6連結機構33により、前記
テーブル7の一端辺に対向する他端辺の中央箇所を支持
する3点支持構造となっている。なお、第1、第2案内
軸2a、2b上の第2摺動部材3bにおいて、第2連結
機構6bに回動阻止機構13が設けられている。
【0017】かかる構造によると、第1、第2案内軸2
a、2b上の第1、第2摺動部材3a、3b並びに第3
案内軸31上の第4、第5摺動部材31a、31bの位
置から、テーブル7の支持箇所である前記第6連結機構
33の位置を求めることができるので、第1、第2摺動
部材3a、3b並びに第4、第5摺動部材31a、31
bを制御駆動すれば、テーブル7を所定の位置に移動調
節することができる。すなわち、多自由度位置決め機構
30では、テーブル7を水平状態で前後(X)左右
(Y)上下(Z)方向に移動調節することは勿論、図
中、Z軸周りに旋回させることが可能である。また、テ
ーブル7を水平状態(XY平面)から前後(X)左右
(Y)に傾斜させることができる。例えば、第3案内軸
31上の第4、第5摺動部材31a、31bを固定して
おき、第1案内軸2a上の第1、第2摺動部材3a、3
b間の間隔を拡大していくと、テーブル7とリンク5
a、5bとの連結箇所である第6連結機構33の位置が
下降し、テーブル7は、かかる第6連結機構33の位置
を最下点として変位する。ここで、第1案内軸2a上の
第2摺動部材3bにおける第2連結機構6bの回動阻止
機構13を作動してリンク5a、5bを第1案内軸2a
の軸周りの回動を阻止し、第2案内軸2b上の第1、第
2摺動部材3a、3bを移動させると、第2案内軸2b
上の第1、第2摺動部材3a、3b側のテーブル7とリ
ンク5a、5bとの連結箇所である第6連結機構33の
位置も下降し、テーブル7は、第1、第2案内軸2a、
2b上の第1、第2摺動部材3a、3b側のリンク5
a、5bのテーブル7との連結箇所である第6連結機構
33の端辺側を最下点として傾動する(図12参照)。
このように、テーブル7は、第1、第2案内軸2a、2
b上の第1、第2摺動部材3a、3bに取り付けたリン
ク5a、5bの連結箇所における第6連結機構33によ
り、テーブル7の一端辺両端部を、第3案内軸31上の
第4、第5摺動部材31a、31bに取り付けたリンク
5a、5bの連結箇所における第6連結機構33によ
り、前記テーブル7の一端辺に対向する他端辺の中央箇
所を支持する3点支持構造となっているので、前記第
1、第2摺動部材3a、3b、並びに第4、第5摺動部
材31a、31bを適宜、移動調整することにより、一
層、木目細かなテーブル7の位置決めが可能となる。
【0018】本発明は、図13に示す多自由度位置決め
機構40によっても、実施することができる。この多自
由度位置決め機構40では、図10に示す多自由度位置
決め機構30と同様、第1、第2案内軸2a、2b上に
第1、第2摺動部材3a、3bと、第3案内軸31上
に、第4、第5摺動部材31a、31bを有する構成と
しており、これら第1、第2摺動部材3a、3b、並び
に第4、第5摺動部材31a、31bに、第1、第2連
結機構6a、6b、第4、第5連結機構32a、32b
を介して互いにX状に交叉して中間点で回動自在に連結
した、等長の一対のリンク21a、21bの一端部を連
結し、これら一対のリンク21a、21bの他端部に、
屈曲自在に連結した等長の一組のリンク5a、5bの端
部を、それぞれ回動自在に連結し、これら双方のリンク
5a、5bの連結箇所である、自由度3の第6連結機構
33を介してテーブル7を支持する構成としている。
【0019】このような多自由度位置決め機構40によ
れば、駆動機構4を起動制御することにより、X状に交
叉した、一対のリンク21a、21bを回動させ、さら
に、一組のリンク5a、5bを連動させて、テーブル7
を移動調節するようにしたので、一層、移動調節範囲を
拡大化することができ、広範囲な用途に適応させること
ができる。
【0020】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、案内軸上
の移動部材の位置からテーブルの位置と姿勢を容易に導
き出すことができるので、姿勢制御が容易である。ま
た、機構が単純であり、テーブルの移動範囲を拡大化す
ることができ、広範囲な用途に適用可能である。
【0021】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる多自由度位置決め機構の一例を
示す模式的な一側面説明図である。
【図2】図1に示す多自由度位置決め機構の平面説明図
である。
【図3】図1に示す多自由度位置決め機構の連結機構の
機能を示す模式的な一側面説明図である。
【図4】本発明における多自由度位置決め機構において
適用される連結機構の自由度を、シンボル的に示した一
覧説明図である。
【図5】本発明における多自由度位置決め機構において
適用される回動阻止機構の作用状態を、シンボル的に示
した一覧説明図である。
【図6】図1に示す多自由度位置決め機構の、作用説明
に供する模式的な一側面説明図である。
【図7】図1に示す多自由度位置決め機構の、作用説明
に供する模式的な一側面説明図である。
【図8】図1に示す多自由度位置決め機構の、作用説明
に供する模式的な一側面説明図である。
【図9】本発明にかかる多自由度位置決め機構の他の実
施例を示す模式的な側面説明図である。
【図10】本発明にかかる多自由度位置決め機構の他の
実施例における機能構成を説明するための模式的な一側
面説明図である。
【図11】図10に示す多自由度位置決め機構の模式的
な平面説明図である。
【図12】図10に示す多自由度位置決め機構の、作用
説明に供する模式的な一側面説明図である。
【図13】本発明にかかる多自由度位置決め機構の他の
実施例を示す模式的な平面説明図である。
【図14】図13に示す、多自由度位置決め機構の模式
的な側面説明図である。
【図15】図13に示す、多自由度位置決め機構の模式
的な他の側面説明図である。
【符号の説明】
1、20、30 多自由度位置決め機構 2a 第1案内軸 2b 第2案内軸 3a 第1摺動部材 3b 第2摺動部材 4 駆動機構 5a、5b リンク 6a 第1連結機構 6b 第2連結機構 7 テーブル 8 ねじ軸 9 モータ 10 めねじ部材 11a、11b ブラケット 12a、12b 軸部材 13 回動阻止機構 14 ディスク 15 クランプ 16 第3連結機構 21a、21b リンク 31 第3案内軸 31a 第4摺動部材 31b 第5摺動部材 32a 第4連結機構 32b 第5連結機構 33 第6連結機構 40 多自由度位置決め機
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F16H 21/00 - 21/54 F16H 25/20 - 25/24

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1、第2の案内軸と、これら第1、
    第2案内軸上に、それぞれ移動可能に装着した第1、第
    2の移動部材とを有し、これら第1、第2移動部材にそ
    れぞれ駆動機構を連結して、第1、第2移動部材を第
    1、第2案内軸上において個々に移動させる構成とし、
    前記第1、第2移動部材に、それぞれ屈曲自在に連結し
    た等長の一組のリンクの端部を、第1、第2の連結機構
    を介して、旋回可能に取り付ける一方、前記一組のリン
    クの連結箇所にテーブルを旋回可能に取り付けて前記テ
    ーブルを移動調節可能に支持する構成とし、前記第2連
    結機構は、第2移動部材上面に設けたブラケットに両端
    部を突出するように回動可能に軸部材を装着して、この
    軸部材の一端部にリンクの端部を嵌入して回動可能に軸
    止めし、この軸部材の軸周りの回動を阻止する回動阻止
    機構を設けたことを特徴とする多自由度位置決め機構。
  2. 【請求項2】 第1、第2の案内軸と、これら第1、
    第2案内軸上に、それぞれ移動可能に装着した第1、第
    2の移動部材とを有し、これら第1、第2移動部材にそ
    れぞれ駆動機構を連結して、第1、第2移動部材を第
    1、第2案内軸上において個々に移動させる構成とし、
    前記第1、第2移動部材に、第1、第2連結機構を介し
    て、互いに交叉して中間点で回動自在に連結した、等長
    の一対のリンクの一端部を連結し、これら一対のリンク
    の他端部に、屈曲自在に連結した等長の一組のリンクの
    端部を、それぞれ回動自在に連結し、これら一組のリン
    クの連結箇所にテーブルを旋回可能に取り付けて前記テ
    ーブルを移動調節可能に支持する構成とし、前記第2連
    結機構は、第2移動部材上面に設けたブラケットに両端
    部を突出するように回動可能に軸部材を装着して、この
    軸部材の一端部にリンクの端部を嵌入して回動可能に軸
    止めし、この軸部材の軸周りの回動を阻止する回動阻止
    機構を設けたことを特徴とする多自由度位置決め機構。
  3. 【請求項3】 第1、第2、第3の案内軸と、これら
    第1〜第3案内軸上にそれぞれ移動可能に装着した
    1、第2の移動部材とを有し、これら第1、第2移動部
    材にそれぞれ駆動機構を連結して、第1、第2移動部材
    を第1〜第3案内軸上において個々に移動させる構成と
    し、前記第1、第2移動部材に、それぞれ屈曲自在に連
    結した等長の一組のリンクの端部を、第1、第2の連結
    機構を介して旋回可能に取り付ける一方、これら3組の
    リンクの連結箇所にテーブルを旋回可能に取り付けて前
    記テーブルを移動調節可能に支持する構成とし、前記第
    2連結機構は、第2移動部材上面に設けたブラケットに
    両端部を突出するように回動可能に軸部材を装着して、
    この軸部材の一端部にリンクの端部を嵌入して回動可能
    に軸止めし、この軸部材の軸周りの回動を阻止する回動
    阻止機構を設けたことを特徴とする多自由度位置決め機
    構。
  4. 【請求項4】 第1、第2、第3の案内軸と、これら
    第1〜第3案内軸上にそれぞれ移動可能に装着した第
    1、第2の移動部材とを有し、これら第1、第2移動部
    材にそれぞれ駆動機構を連結して、第1、第2移動部材
    を第1〜第3案内軸上において個々に移動させる構成と
    し、前記第1、第2移動部材に、それぞれ第1、第2連
    結機構を介して、互いに交叉して中間点で回動自在に連
    結した、等長の一対のリンクの一端部を連結し、これら
    3組の一対のリンクの他端部に、屈曲自在に連結した等
    長の一組のリンクの端部を、それぞれ回動自在に連結
    し、これら3組のリンクの連結箇所にテーブルを旋回可
    能に取り付けて前記テーブルを移動調節可能に支持する
    構成とし、前記第2連結機構は、第2移動部材上面に設
    けたブラケットに両端部を突出するように回動可能に軸
    部材を装着して、この軸部材の一端部にリンクの端部を
    嵌入して回動可能に軸止めし、この軸部材の軸周りの回
    動を阻止する回動阻止機構を設けたことを特徴とする多
    自由度位置決め機構。
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