JP2004304102A - 気密容器内の回転体に対する接続構造、回転駆動機構、及び搬送装置 - Google Patents
気密容器内の回転体に対する接続構造、回転駆動機構、及び搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004304102A JP2004304102A JP2003097794A JP2003097794A JP2004304102A JP 2004304102 A JP2004304102 A JP 2004304102A JP 2003097794 A JP2003097794 A JP 2003097794A JP 2003097794 A JP2003097794 A JP 2003097794A JP 2004304102 A JP2004304102 A JP 2004304102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating body
- airtight container
- space
- housing
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】真空容器の隔壁10Hに、真空容器の内部空間C1に連続する凹空間C2を有したハウジング20を設け、その凹空間に中空の回転体30を配置し、回転体の内部に、自身の外周側に回転体の内部空間A2を気密に画成する複数の有底円筒体40を配設し、各有底円筒体の内部に回転軸50を配設する。ハウジング20の外周に、回転体30に回転力を与える第1のステータコイル61を配設し、各有底円筒壁40の外周に、各回転軸50に回転力を与える第2のステータコイル63を配設する。真空容器の外部空間A1と回転体の内部空間A2とをベローズ70で連通し、ベローズの中に回転体の内部空間C2内のステータコイル63につながる電線102を通し、ベローズを回転体の回転に応じて伸縮自在となるように回転体の回転方向に沿って配設する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体デバイスの製造に関わる基板処理装置の真空容器内などに配置された回転体(搬送装置の旋回軸等)に対して、ケーブル(電線)等を真空雰囲気に触れないように外部から接続するための気密容器内の回転体に対する接続構造、同接続構造を備えた回転駆動装置、同回転駆動機構を含む基板等の搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造に利用される基板処理装置には、複数のチャンバ間で基板を搬送するための搬送装置が備わっている。この種の搬送装置として、例えばアーム式の搬送装置があるが、このアーム式の搬送装置は、真空雰囲気に維持される搬送室(気密容器)に装備され、真空雰囲気中でアームの伸縮と旋回を行うことで基板の搬送作業を行う。
【0003】
この種のアーム式の搬送装置は、一般的にアーム伸縮用の回転軸とアーム旋回用の回転軸とを有しており、アーム伸縮用の回転軸を2本、アーム旋回用の回転軸上に互いに平行に設けたものがある(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
図8、図9は従来の基板搬送装置の例を示す。図において、1、2は可動アームアッセンブリで、これらはアーム伸縮用の2本の回転軸3、4にそれぞれ取り付けられており、各回転軸3、4を回転することにより独立に伸縮動作する。また、5はアーム旋回用の旋回軸で、この旋回軸5を回転することにより、2つの可動アームアッセンブリ1、2を旋回させることができるようになっている。
【0005】
この場合、搬送作業に直接関与する可動アームアッセンブリ1、2は真空圧領域中に配されるものの、図示略の駆動モータなどの駆動機構は、パーティクルやガスの発生あるいは発熱の影響などを極力抑える目的から、真空圧領域の外の大気圧領域に配されている。その際、真空圧領域と大気圧領域とを遮断するためのシール手段として、固定部(ハウジング等)と可動部(回転軸等)の隙間に磁気シール(図示略)が設けられている。
【0006】
一方、磁気シール等のシール手段を用いない例として、隔壁により真空圧領域と大気圧領域とを完全に遮断し、隔壁の外側から磁力を及ぼすことで、隔壁の内側にある回転体を回転させる磁気カップリング式の回転駆動機構を採用した搬送装置が提案されている。その例として、真空圧領域と大気圧領域とを気密ハウジングによって完全に遮断し、ハウジングの外部に駆動コイル(ステータコイル)を配置し、ハウジングの壁を介して、ハウジングの内部に配置した回転軸のロータ磁石に駆動コイルの発生する磁力を作用させることで、回転軸に回転力を与えるものがある。特に、同軸構造に設けた2つの回転軸を、ハウジングの外側に設けた各駆動コイルでそれぞれ独立に回転駆動させるものもある(例えば、特許文献2参照)。
【0007】
【特許文献1】
特開平6−338554号公報(図7)
【特許文献2】
特許公報第2761438号
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、小径の回転軸とその周囲開口の隙間を磁気シールするような場合は特に問題とならないが、前記のアーム旋回用の軸のように径の大きな回転体(旋回軸)と周囲開口との隙間を磁気シールするような場合は、多量の磁性流体が必要となることから、真空雰囲気中に磁性流体の粒子が混入し、パーティクル発生の原因となる可能性がある。
【0009】
また、そのような問題を避けるために、前述のように隔壁で真空圧領域と大気圧領域を完全に遮断し、隔壁の外側から磁力を利用して隔壁の内側の回転体を回転させるようにすることが考えられる。しかし、この技術は、特許文献2に記載されるように、2本の回転軸が同軸に配置されている場合には有効であるが、大きな旋回軸の中に、軸位置が互いに異なる小さな回転軸が配置されているような軸配置の場合には採用が難しい。
【0010】
即ち、特許文献2の技術のように2軸が同軸の場合は、内側の軸を外側の軸から突出させた部分にロータ磁石を設けることで、軸方向に並べて各軸のロータ磁石を配置することができ、従って、隔壁の外側の各軸のロータ磁石に対応した位置に、それぞれロータ磁石の全周を均等に取り囲むように駆動コイルを配置することで、各駆動コイルの発生する磁力を各軸のロータ磁石に及ぼして回転軸を回転させることができる。しかし、隔壁の内側に配した回転体上に更に第2、第3の別の回転軸が2本あるような場合は、第1の回転軸である回転体の上に第2、第3の回転軸の駆動部を配置せざるを得ず、従って、回転体の内部に気密の空間を確保して第2、第3の回転軸用の駆動部を収容したとしても、回転体の内部にまで大気側から電線等を通す必要があり、この点で、電線等が真空雰囲気に曝される可能性があることから採用が難しかった。
【0011】
本発明は、上記事情を考慮し、電線等を真空雰囲気に曝さずに気密容器外から気密容器内の回転体にまで配設することのできる気密容器内の回転体に対する接続構造、同接続構造を備えた回転駆動装置、同回転駆動機構を含む基板等の搬送装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項1の発明は、気密容器の内部と外部を仕切る隔壁の一部に、該気密容器の内部空間に連続する凹空間を有したハウジングを設け、該ハウジングの凹空間の内部に中空の回転体を回転自在に配置し、前記気密容器の外部空間と前記回転体の内部空間とを、気密容器の内部空間に対して気密に保持された内部通路を有し長手方向に伸縮自在な可撓チューブで相互に接続し、該可撓チューブを、前記回転体の回転に応じて伸縮自在となるように回転体の回転方向に沿って配設したことを特徴とする。
【0013】
請求項2の発明は、請求項1記載の気密容器内の回転体に対する接続構造において、前記可撓チューブの内部通路に、前記気密容器の外部と回転体の内部とをつなぐ電線を通したことを特徴とする。
【0014】
請求項3の発明は、請求項1または2記載の気密容器内の回転体に対する接続構造において、前記気密容器の内部空間が真空圧空間であり、前記回転体の内部空間及び気密容器の外部空間が大気圧空間であることを特徴とする。
【0015】
請求項4の発明は、請求項1〜3の何れかに記載の気密容器内の回転体に対する接続構造において、前記ハウジングに、前記回転体に向かって突出し内部に気密容器の外部空間に通じる通路を有した固定側突出部を設けると共に、前記回転体に、前記ハウジングに向かって突出し内部に回転体の内部空間に通じる通路を有した可動側突出部を設け、前記固定側突出部と可動側突出部の各通路の前記凹空間に臨む開口を前記回転体の回転方向に対向配置し、両開口に前記可撓チューブの両端を接続したことを特徴とする。
【0016】
請求項5の発明は、請求項4記載の気密容器内の回転体に対する接続構造において、前記固定側突出部と可動側突出部の各通路の前記凹空間に臨む開口を、前記回転体の回転中心から略等しい距離の位置に配置し、前記可撓チューブを、前記回転体の回転中心を中心とする円周に沿って配設したことを特徴とする。
【0017】
請求項6の発明は、請求項5記載の気密容器内の回転体に対する接続構造において、前記回転体に、該回転体の回転中心を中心とする円周に沿った切欠部を設け、その切欠部内に前記可動側突出部を設けると共に、前記ハウジングに、前記切欠部に収容されるように前記固定側突出部を設け、前記可撓チューブを前記切欠部内に収容したことを特徴とする。
【0018】
請求項7の発明は、請求項5記載の気密容器内の回転体に対する接続構造において、前記ハウジングに、前記回転体の回転中心を中心とする円周に沿った切欠部を設け、その切欠部内に前記固定側突出部を設けると共に、前記回転体に、前記切欠部に収容されるように前記可動側突出部を設け、前記可撓チューブを前記切欠部内に収容したことを特徴とする。
【0019】
請求項8の発明は、請求項5記載の気密容器内の回転体に対する接続構造において、前記固定側突出部と可動側突出部を、前記回転体の回転軸線方向に互いに位置を異ならせて配置し、前記可撓チューブを、前記回転体の外周に巻き付くように螺旋状に配したことを特徴とする。
【0020】
請求項9の発明は、気密容器の内部と外部を仕切る隔壁の一部に、該気密容器の内部空間に連続する凹空間を有したハウジングを設け、該ハウジングの凹空間の内部に軸受を介して中空の回転体を回転自在に配置し、該回転体の内部に、自身の外周側に前記回転体の内部空間を気密に画成する複数の有底円筒体を前記回転体の回転軸線と平行に配設し、各有底円筒体の内部にそれぞれ軸受を介して回転軸を回転自在に配設し、前記ハウジングの外周部に、外部から給電されることで前記ハウジングの壁を介して前記回転体に回転力を与える第1の駆動部を配設し、前記各有底円筒壁の外周部に、外部から給電されることで前記有底円筒体の壁を介して前記各回転軸に回転力を与える第2の駆動部をそれぞれ配設し、前記気密容器の外部空間と前記回転体の内部空間とを、前記気密容器の内部空間に対して気密に保持された内部通路を有し長手方向に伸縮自在な可撓チューブで相互に連通し、該可撓チューブを、前記回転体の回転に応じて伸縮自在となるように回転体の回転方向に沿って配設し、前記可撓チューブの内部通路に、前記気密容器の外部と回転体の内部空間内に配設された前記第2の駆動部とをつなぐ電線を通したことを特徴とする。
【0021】
請求項10の発明は、請求項9記載の回転駆動機構を含む搬送装置において、前記有底円筒体の端部開口から突出した前記回転軸の先端に、該各回転軸の回転により伸縮動作する可動アームアッセンブリを取り付けることで、該各回転軸をアーム伸縮駆動用の駆動軸とし、前記回転体を、前記可動アームアッセンブリを旋回させるための旋回駆動用の駆動軸としたことを特徴とする。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は本発明の実施形態の回転駆動機構Mの縦断面図、図2は図1のII−II矢視図である。この回転駆動機構Mは、基板搬送装置の主要部をなすもので、本発明の実施形態の「気密容器内の回転体に対する連通構造」を含むものでもある。
【0023】
図1において、10Hは真空容器(気密容器)10の底部隔壁である。この底部隔壁10Hは、真空容器10の内部Cと外部Aを仕切るものであり、その一部に形成された開口10aの外側には、真空容器10の内部空間C1に連続する凹空間C2を有するハウジング20が固定されている。ここで、真空容器10の内部空間C1は真空圧空間、外部空間A1は大気圧空間である。
【0024】
ハウジング20は、上下端にフランジ21a、21bを有する円筒状のハウジング本体21と、このハウジング本体21の底面開口をOリング91を介して気密に閉鎖する底部カバー22とからなり、上端フランジ21aをOリング92を介して真空容器10の底部隔壁10Hにボルト止めすることにより、真空容器10の底部に気密に固定されている。
【0025】
ハウジング20の円柱状の凹空間C2の内部には、第1軸(旋回軸)としての中空の回転体30が同心状に配設されている。この回転体30は、円筒状のハウジング本体21の内周面に所定の隙間をもって外周面が対向する円筒壁31と、その上下の端面開口を塞ぐ上端壁32及び下端部カバー33とを有するもので、下端部カバー33は、Oリング93を介して円筒壁31の下端に気密に後付けされている。そして、この回転体30は、円筒壁31と円筒状ハウジング本体21の間に介在させた軸受81、82によって、鉛直な回転軸線L1の周りに回転自在に支持されている。
【0026】
回転体30の上端壁32には、回転体30の回転軸線L1を挟んだ点対称位置に2つの開口32aが設けられており、各開口32aから回転体30の内部に、それぞれ小径の有底円筒体40が挿入されている。回転体30の上側端壁32の各開口32aと各有底円筒体40の挿入部分との隙間は気密に封止され、それにより、有底円筒体40の外周側には、回転体30の内部空間A2が気密に画成されている。
【0027】
2つの有底円筒体40は、回転体30の回転軸線L1と平行に配されており、各有底円筒体40の内部の円柱状空間には、それぞれ軸受83、84を介して第2軸及び第3軸としての回転軸50が回転自在に配設されている。各回転軸50の上端は有底円筒体40の上端開口41より上に突出しており、各回転軸50の回転軸線L2、L3は、回転体30の回転軸線L1と平行に設定されている。
【0028】
また、第1軸としての回転体30を駆動するための手段として、円筒状のハウジング本体21の外周にステータコイル(第1の駆動部)61が設けられ、回転体30の円筒壁31の外周にロータ磁石62が設けられている。同様に、各回転軸50を駆動するための手段として、それぞれの有底円筒体40の外周にステータコイル(第2の駆動部)63が設けられ、各回転軸50の外周にロータ磁石64が設けられている。ここでは、各ステータコイル61、63の発生する磁界を円筒状のハウジング本体21及び有底円筒体40の壁を隔ててロータ磁石62、64に作用させるために、円筒状のハウジング本体21及び有底円筒体40は非磁性材料より構成されている。
【0029】
ステータコイル61、63とロータ磁石62、64のそれぞれの組は、DCブラシレスモータの一部を構成しており、これにより、円筒状のハウジング本体21の外周のステータコイル61によって回転磁界を発生させることで、回転体30を回転させることができ、有底円筒体40の外周のステータコイル63によって回転磁界を発生させることで、回転軸50を回転させることができるようになっている。また、図示しないが、回転体30や回転軸50の回転位置検出のための検出手段が必要箇所に設けられている。
【0030】
ところで、各ステータコイル61、63や前記検出手段には、真空容器10の外部から電線を接続しなくてはならない。この点、円筒状のハウジング本体21の外周のステータコイル61に関しては、該ステータコイル61が真空容器10の外部に配置されているので、電線101の配索に全く問題はないが、有底円筒体40の外周のステータコイル63に関しては、該ステータコイル63が回転体30の内部空間A2の中に配置されているので、真空領域(凹空間C2)を通過して、真空容器10の外部空間(大気圧空間)A1から回転体30の内部空間A2にまで電線102を配索しなくてはならない。前記検出手段に関する電線についても同様である。
【0031】
しかし、真空領域を通過する際に、電線102を真空雰囲気に露出させることは、パーティクル発生防止の点などからできない。そこで、本実施形態の回転駆動機構Mでは、次のような工夫が施されている。
【0032】
即ち、真空容器10の外部空間A1と回転体30の内部空間A2とを、真空容器10の内部空間C1に対して気密に保持された内部通路を有するベローズ(可撓チューブ)70で接続し、その内部通路を通して電線102を配索しているのである。
【0033】
この点について、図3、図4を用いて詳しく説明する。図3は図1のIII−III矢視部分の斜視図、図4は回転体30が回転した際の同部分の各状態を示す平面図である。
【0034】
ベローズ70は長手方向に伸縮自在のものであり、真空容器10の外部空間A1と回転体30の内部空間A2とを気密に連通している。ここでは、ベローズ70は、回転体30の回転に応じて伸縮するように、回転体30の回転方向に沿って配設されている。なお、ベローズ70は、径方向にはほとんど変形しない構造になっており、また、真空雰囲気を汚染しない材質(金属や樹脂)により製作されている。
【0035】
図3に示すように、ハウジング20の底部カバー22の内周には、回転体30の下端部カバー33の外周に向かって突出し内部に真空容器10の外部空間A1に通じる通路(図示略)を有した固定側突出部71が設けられている。また、回転体30の下端部カバー33の外周には、ハウジング20の底部カバー22の内周に向かって突出し内部に回転体30の内部空間A2に通じる通路(図示略)を有した可動側突出部72が設けられている。
【0036】
これら固定側突出部71と可動側突出部72の各通路の凹空間C2に臨む開口71a、72a(ベローズ70の接続により隠れているので符号のみ付す)は、回転体30の回転方向に対向する向きに配置されている。各開口71a、72aは、回転体30の回転中心(回転軸線L1)から略等しい距離の位置に配置されており、両開口71a、71bにベローズ70の両端が気密に接続され、それにより、ベローズ70が、回転体30の回転中心を中心とする円周に沿って配設されている。
【0037】
なお、図1に示すように、回転体30の下側端壁33には、回転体30の回転中心(回転軸線L1)を中心とする円周に沿った切欠部76が設けられており、可動側突出部72はその切欠部76内に設けられ、固定側突出部71はその切欠部76内に収容されるように設けられ、ベローズ70はその切欠部76内に収容されている。このようにすることで、固定側突出部71、可動側突出部72、ベローズ70の取り合い部分のコンパクト化が図られている。
【0038】
次に作用を述べる。
このように構成された回転駆動機構Mにおいては、ハウジング20の外部に配したステータコイル61に通電することで、回転体30を適当な角度範囲で旋回させることができる。また、有底円筒体40の外部に配したステータコイル63に通電することで、回転軸50を回転させることができる。
【0039】
図4(a)、(b)は90度の範囲で回転体30を回転させた場合を示しているが、このように回転体30を回転させた際にも、ベローズ70が回転体30の回転に追従して伸縮するので、回転体30の回転を妨げることなく、ベローズ70の内部通路の気密を安定して保つことができる。従って、回転体30の内部空間C2とベローズ70の内部通路とを完全に真空雰囲気から隔離した状態に保つことができ、ベローズ70に通した電線102を真空雰囲気に曝すことなく、回転体30の内部に引き入れることができる。また、回転体30及び有底円筒体40の壁を用いて、ステータコイル63を収容した回転体30の内部空間A2を完全に真空領域から遮断しているので、回転体30と真空容器10の開口10aとの隙間をシールする必要がなく、従来この部分に使用していた磁気シールを排除することができる。よって、磁気シールによる真空領域の汚染の可能性を無くすことができる。
【0040】
以上の構成の回転駆動機構Mは基板搬送装置の主要部をなすもので、有底円筒体40の上端開口41から突出した回転軸50の先端に、図8、図9に示すような可動アームアッセンブリを取り付けることで、搬送装置を構成することができる。その場合、回転軸50の回転により可動アームアッセンブリを伸縮動作させるので、各回転軸50がアーム伸縮駆動用の駆動軸として機能する。また、回転体30を回転させることで可動アームアッセンブリを旋回させることができるので、回転体30が可動アームアッセンブリの旋回軸として機能する。
【0041】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、図1に示した実施の形態では、回転体30の下端部カバー33側に切欠部76を形成して、ベローズ70をその切欠部76に収容していたが、ハウジング20の底板22に、回転体30の回転中心(回転軸線L1)を中心とする円周に沿った切欠部76を設け、固定側突出部71をその切欠部76内に設けると共に、可動側突出部72をその切欠部76内に収容されるように設け、ベローズ70を切欠部76内に収容してもよい。このようにしても、固定側突出部71、可動側突出部72、ベローズ70の取り合い部のコンパクト化を図ることができる。
【0042】
また、前記の実施形態では、回転体30の回転角度範囲が90度である場合を示したが、回転体30の回転角度範囲は90度未満あるいは90度以上であってもよい。また、360度に近い範囲またはそれぞれ以上の角度範囲で回転体30を回転させる場合には、突出部71、72やベローズ70が互いに干渉する可能性が出てくるので、図5の実施形態のようにする。
【0043】
即ち、固定側突出部71と可動側突出部72を、回転体30の回転軸線方向に互いに高さ位置を異ならせて配置し、ベローズ70を、回転体30の外周に巻き付けるように螺旋状に配設する。そうすることで、ベローズ70同士の干渉、及び、ベローズ70と突出部71、72との干渉、突出部71、72同士の干渉を避けながら、回転体30の回転に伴うベローズ70の伸縮動作の安定を保証することができる。
【0044】
その際、ベローズ70の長さ方向の中間位置を支えるための支持枠73を回転体30に取り付け、この支持枠73にベローズ70の中間部分を通すことで、両突出部71、72の中間の高さにベローズ70の中間点を保持し、ベローズ70の無用な弛み等を防止して、ベローズ70の伸縮の安定を図ることができる。この場合、図6に示すように、支持枠73は、一定高さの位置で回転体30の外周を転動可能なバンド74に取り付けておく。回転体30に対してバンド74を一定高さで回転可能に取り付けるには、例えば、バンド74の背面にベアリングを取り付け、そのベアリングを回転体30の外周の所定高さ位置に嵌合固定すればよい。
【0045】
そうすることで、回転体30の回転(矢印R1で示す回転)と独立して、バンド74を回転自在(矢印R2で示す方向に回転自在)とすることができ、ベローズ70の伸縮に合わせて支持枠73を追従移動させることができ、ベローズ70を安定支持することができるようになる。
【0046】
また、伸縮に伴ってベローズ70の傾斜角が変化する可能性があるので、ベローズ70にリング75を取り付け、リング75の胴部に突設した軸75aを、支持枠73の孔73aに嵌めておく。こうすることで、ベローズ70の中間支持部が矢印R3のように自由に揺動できるようになり、ベローズ70に無理な力が作用しなくなる。
【0047】
また、前記実施形態では、回転軸50の駆動を、有底円筒体40の周壁を介して、周壁の外側のステータコイル63から内側のロータ磁石64に磁力を及ぼすことで行う場合を示したが、図7の実施形態の回転駆動機構M2のように、直接モータ68、69を回転軸50に連結して駆動するようにしてもよい。
【0048】
その場合は、回転体30の内部空間A2にモータ68、69を配置し、回転体30の内部空間A2を真空領域から遮断するために、回転体30の上端壁に対する回転軸50の貫通部分に磁気シール200を設けて、回転体30の内部空間A2を密閉する。そして、回転体30の内部空間A2と真空容器10の外部空間A1とをベローズ70で連通し、ベローズ70の内部に電線102を配索する。
【0049】
この場合、回転軸50の貫通部に磁気シール200を使用するが、回転軸50の周囲の隙間は、回転体30の周囲の隙間に比べて格段に小さいので、真空雰囲気に対する磁気シール200の影響は無視することができる。
【0050】
なお、2本の回転軸50の軸間寸法の縮小を図る際に、回転軸50の駆動部分の径方向寸法によって制約が出るような場合は、例えば、図7に示すように、径方向の寸法の大きな部分(図示例の場合はモータ68、69)を、軸方向(図では高さ方向)に位置をずらして配置することにより、駆動部分の干渉を避けながら回転軸50の軸間寸法を縮小することができる。
【0051】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
(1)請求項1の発明によれば、気密容器の内外を仕切る隔壁の一部に、気密容器の内部空間に連続する凹空間を有したハウジングを設け、該ハウジングの凹空間の内部に中空の回転体を回転自在に配置し、気密容器の外部空間と回転体の内部空間とを、気密容器の内部空間に対して気密に保持された内部通路を有し長手方向に伸縮自在な可撓チューブで相互に接続し、該可撓チューブを、回転体の回転に応じて伸縮自在となるように回転体の回転方向に沿って配設したので、回転体の内部空間と可撓チューブの内部通路とを、完全に気密容器の内部空間から隔離した状態に保つことができる。従って、その可撓チューブの内部通路を通して、例えば電線を配線することにより、気密容器の内部空間の雰囲気に曝すことなく、電線を気密容器外から回転体の内部に引き込むことができる。また、その可撓チューブは、回転体の回転に追従して伸縮するので、回転体の回転を妨げることなく、チューブの内外の遮蔽状態を保持することができる。
【0052】
(2)請求項2の発明によれば、前記可撓チューブの内部通路に、前記気密容器の外部と回転体の内部とをつなぐ電線を通したので、電線を気密容器の内部空間の雰囲気に曝すことなく、気密容器外から回転体の内部に引き込むことができる。
【0053】
(3)請求項3の発明によれば、前記気密容器の内部空間が真空圧空間、回転体の内部空間及び気密容器の外部空間が大気圧空間となっているので、回転体の内部空間と可撓チューブの内部通路とを大気圧状態に維持し、気密容器の内部空間を真空圧状態に維持することができ、真空圧領域と大気圧領域を完全に遮断することができる。
【0054】
(4)請求項4の発明によれば、前記ハウジングに、前記回転体に向かって突出し内部に気密容器の外部空間に通じる通路を有した固定側突出部を設けると共に、回転体に、ハウジングに向かって突出し内部に回転体の内部空間に通じる通路を有した可動側突出部を設け、固定側突出部と可動側突出部の各通路の凹空間に臨む開口を回転体の回転方向に対向配置し、両開口に可撓チューブの両端を接続したので、可撓チューブを無理のない楽な形態で配設することができ、可撓チューブ内に電線を配設した場合にも、可撓チューブの伸縮による電線の挙動を安定化することができる。
【0055】
(5)請求項5の発明によれば、前記固定側突出部と可動側突出部の各通路の凹空間に臨む開口を、回転体の回転中心から略等しい距離の位置に配置し、可撓チューブを、回転体の回転中心を中心とする円周に沿って配設したので、可撓チューブを自然な形で配設することができ、可撓チューブに極力無理な応力が発生しないようにすることができる。
【0056】
(6)請求項6の発明によれば、前記回転体に、該回転体の回転中心を中心とする円周に沿った切欠部を設け、その切欠部内に可動側突出部を設けると共に、ハウジングに、切欠部に収容されるように固定側突出部を設け、可撓チューブを切欠部内に収容したので、可動側突出部と固定側突出部と可撓チューブの取り合い部分のコンパクト化を図ることができ、回転体とハウジングとの隙間を最小に抑えることができる。
【0057】
(7)請求項7の発明によれば、前記ハウジングに、前記回転体の回転中心を中心とする円周に沿った切欠部を設け、その切欠部内に固定側突出部を設けると共に、前記回転体に、前記切欠部に収容されるように前記可動側突出部を設け、前記可撓チューブを前記切欠部内に収容したので、可動側突出部と固定側突出部と可撓チューブの取り合い部分のコンパクト化を図ることができ、回転体とハウジングとの隙間を最小に抑えることができる。
【0058】
(8)請求項8の発明によれば、前記固定側突出部と可動側突出部を、前記回転体の回転軸線方向に互いに位置を異ならせて配置し、前記可撓チューブを、回転体の外周に巻き付くように螺旋状に配したので、回転体を360度以上の角度範囲で回転させる場合にも、気密容器の外部空間と回転体の内部空間とを可撓チューブによって気密に連通することができる。
【0059】
(9)請求項9の発明によれば、気密容器の内外を仕切る隔壁の一部に、気密容器の内部空間に連続する凹空間を有したハウジングを設け、ハウジングの凹空間の内部に軸受を介して中空の回転体を回転自在に配置し、回転体の内部に、自身の外周側に前記回転体の内部空間を気密に画成する複数の有底円筒体を前記回転体の回転軸線と平行に配設し、各有底円筒体の内部にそれぞれ軸受を介して回転軸を回転自在に配設し、前記ハウジングの外周部に、外部から給電されることで前記ハウジングの壁を介して前記回転体に回転力を与える第1の駆動部を配設し、前記各有底円筒壁の外周部に、外部から給電されることで前記有底円筒体の壁を介して前記各回転軸に回転力を与える第2の駆動部をそれぞれ配設し、前記気密容器の外部空間と前記回転体の内部空間とを、前記気密容器の内部空間に対して気密に保持された内部通路を有し長手方向に伸縮自在な可撓チューブで相互に連通し、該可撓チューブを、前記回転体の回転に応じて伸縮自在となるように回転体の回転方向に沿って配設し、前記可撓チューブの内部通路に、前記気密容器の外部と回転体の内部空間内に配設された前記第2の駆動部とをつなぐ電線を通したので、回転体の内部空間と可撓チューブの内部通路とを、完全に気密容器の内部空間から隔離した状態に保つことができ、その可撓チューブの内部通路に通した電線を気密容器の内部空間の雰囲気に曝すことなく、気密容器外から回転体の内部に引き込むことができる。また、その可撓チューブは、回転体の回転に追従して伸縮するので、回転体の回転を妨げることなく、チューブの内外の遮蔽状態を保持することができる。
【0060】
(10)請求項10の発明によれば、前記有底円筒体の端部開口から突出した前記回転軸の先端に、該各回転軸の回転により伸縮動作する可動アームアッセンブリを取り付けることで、該各回転軸をアーム伸縮駆動用の駆動軸とし、前記回転体を、前記可動アームアッセンブリを旋回させるための旋回駆動用の駆動軸としたので、基板処理装置の搬送装置として適用することにより、パーティクルの発生を極力防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の回転駆動機構の縦断面図である。
【図2】図1のII−II矢視図である。
【図3】図1のIII−III矢視部分の斜視図である。
【図4】(a)、(b)は、図3において回転体30が回転した際の同部分の各状態をそれぞれ示す平面図である。
【図5】本発明の他の実施形態の回転駆動機構の一部構成を示す概略斜視図である。
【図6】図5のVI矢視部の分解斜視図である。
【図7】本発明の更に他の実施形態の回転駆動機構の縦断面図である。
【図8】従来の基板搬送装置の概略構成を示す平面図である。
【図9】従来の基板搬送装置の概略構成を示す側面図である。
【符号の説明】
10 真空容器
10H 真空容器の隔壁
20 ハウジング
30 回転体
40 有底円筒体
50 回転軸
61 ステータコイル(第1の駆動部)
63 ステータコイル(第2の駆動部)
70 ベローズ(可撓チューブ)
71 固定側突出部
71a 開口
72 可動側突出部
72a 開口
76 切欠部
102 電線
A 真空容器の外部
A1 真空容器の外部空間(大気圧空間)
A2 回転体の内部空間(大気圧空間)
C 真空容器の内部
C1 真空容器の内部空間
C2 凹空間
L1,L2,L2 回転軸線
M,M2 回転駆動機構
Claims (10)
- 気密容器の内部と外部を仕切る隔壁の一部に、該気密容器の内部空間に連続する凹空間を有したハウジングを設け、該ハウジングの凹空間の内部に中空の回転体を回転自在に配置し、前記気密容器の外部空間と前記回転体の内部空間とを、気密容器の内部空間に対して気密に保持された内部通路を有し長手方向に伸縮自在な可撓チューブで相互に接続し、該可撓チューブを、前記回転体の回転に応じて伸縮自在となるように回転体の回転方向に沿って配設したことを特徴とする気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 前記可撓チューブの内部通路に、前記気密容器の外部と回転体の内部とをつなぐ電線を通したことを特徴とする請求項1記載の気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 前記気密容器の内部空間が真空圧空間であり、前記回転体の内部空間及び気密容器の外部空間が大気圧空間であることを特徴とする請求項1または2記載の気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 前記ハウジングに、前記回転体に向かって突出し内部に気密容器の外部空間に通じる通路を有した固定側突出部を設けると共に、前記回転体に、前記ハウジングに向かって突出し内部に回転体の内部空間に通じる通路を有した可動側突出部を設け、前記固定側突出部と可動側突出部の各通路の前記凹空間に臨む開口を前記回転体の回転方向に対向配置し、両開口に前記可撓チューブの両端を接続したことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 前記固定側突出部と可動側突出部の各通路の前記凹空間に臨む開口を、前記回転体の回転中心から略等しい距離の位置に配置し、前記可撓チューブを、前記回転体の回転中心を中心とする円周に沿って配設したことを特徴とする請求項4記載の気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 前記回転体に、該回転体の回転中心を中心とする円周に沿った切欠部を設け、その切欠部内に前記可動側突出部を設けると共に、前記ハウジングに、前記切欠部に収容されるように前記固定側突出部を設け、前記可撓チューブを前記切欠部内に収容したことを特徴とする請求項5記載の気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 前記ハウジングに、前記回転体の回転中心を中心とする円周に沿った切欠部を設け、その切欠部内に前記固定側突出部を設けると共に、前記回転体に、前記切欠部に収容されるように前記可動側突出部を設け、前記可撓チューブを前記切欠部内に収容したことを特徴とする請求項5記載の気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 前記固定側突出部と可動側突出部を、前記回転体の回転軸線方向に互いに位置を異ならせて配置し、前記可撓チューブを、前記回転体の外周に巻き付くように螺旋状に配したことを特徴とする請求項5記載の気密容器内の回転体に対する接続構造。
- 気密容器の内部と外部を仕切る隔壁の一部に、該気密容器の内部空間に連続する凹空間を有したハウジングを設け、該ハウジングの凹空間の内部に軸受を介して中空の回転体を回転自在に配置し、該回転体の内部に、自身の外周側に前記回転体の内部空間を気密に画成する複数の有底円筒体を前記回転体の回転軸線と平行に配設し、各有底円筒体の内部にそれぞれ軸受を介して回転軸を回転自在に配設し、前記ハウジングの外周部に、外部から給電されることで前記ハウジングの壁を介して前記回転体に回転力を与える第1の駆動部を配設し、前記各有底円筒壁の外周部に、外部から給電されることで前記有底円筒体の壁を介して前記各回転軸に回転力を与える第2の駆動部をそれぞれ配設し、前記気密容器の外部空間と前記回転体の内部空間とを、前記気密容器の内部空間に対して気密に保持された内部通路を有し長手方向に伸縮自在な可撓チューブで相互に連通し、該可撓チューブを、前記回転体の回転に応じて伸縮自在となるように回転体の回転方向に沿って配設し、前記可撓チューブの内部通路に、前記気密容器の外部と回転体の内部空間内に配設された前記第2の駆動部とをつなぐ電線を通したことを特徴とする回転駆動機構。
- 請求項9記載の回転駆動機構を含む搬送装置において、前記有底円筒体の端部開口から突出した前記回転軸の先端に、該各回転軸の回転により伸縮動作する可動アームアッセンブリを取り付けることで、該各回転軸をアーム伸縮駆動用の駆動軸とし、前記回転体を、前記可動アームアッセンブリを旋回させるための旋回駆動用の駆動軸としたことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003097794A JP2004304102A (ja) | 2003-04-01 | 2003-04-01 | 気密容器内の回転体に対する接続構造、回転駆動機構、及び搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003097794A JP2004304102A (ja) | 2003-04-01 | 2003-04-01 | 気密容器内の回転体に対する接続構造、回転駆動機構、及び搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004304102A true JP2004304102A (ja) | 2004-10-28 |
Family
ID=33409489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003097794A Pending JP2004304102A (ja) | 2003-04-01 | 2003-04-01 | 気密容器内の回転体に対する接続構造、回転駆動機構、及び搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004304102A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007190629A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Nidec Sankyo Corp | ロボット |
WO2007087295A2 (en) * | 2006-01-25 | 2007-08-02 | Protedyne Corporation | Scara-type robotic system |
-
2003
- 2003-04-01 JP JP2003097794A patent/JP2004304102A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007190629A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Nidec Sankyo Corp | ロボット |
JP4566917B2 (ja) * | 2006-01-17 | 2010-10-20 | 日本電産サンキョー株式会社 | ロボット |
CN101003132B (zh) * | 2006-01-17 | 2011-01-26 | 日本电产三协株式会社 | 机器人 |
WO2007087295A2 (en) * | 2006-01-25 | 2007-08-02 | Protedyne Corporation | Scara-type robotic system |
WO2007087295A3 (en) * | 2006-01-25 | 2007-09-27 | Protedyne Corp | Scara-type robotic system |
US7374525B2 (en) | 2006-01-25 | 2008-05-20 | Protedyne Corporation | SCARA-type robotic system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0600851B1 (en) | Robot apparatus | |
US7704036B2 (en) | Drive source and transportation robot | |
TWI609557B (zh) | 馬達模組、多軸馬達驅動組件、多軸機器人設備、及電子裝置製造系統與方法 | |
US7688017B2 (en) | Multi-axis vacuum motor assembly | |
CN101801817B (zh) | 具备集成到室壁上的电动机的基片加工装置 | |
KR102503399B1 (ko) | 씰링된 로봇 드라이브 | |
US6355999B1 (en) | Twin-shaft concentric motor | |
JP2011101912A (ja) | アーム機構およびそれを備えた真空ロボット | |
JP2001112223A (ja) | 真空モータ及び搬送装置 | |
JP4766274B2 (ja) | 基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 | |
JP2004304102A (ja) | 気密容器内の回転体に対する接続構造、回転駆動機構、及び搬送装置 | |
JP2001332599A (ja) | 搬送装置 | |
JP2001352708A (ja) | 真空アクチュエータおよび搬送装置 | |
JP5781389B2 (ja) | 真空メカニカルジョイント | |
JP2005180535A (ja) | バルブ、真空用バルブ及び真空容器 | |
JPH01224572A (ja) | 回転直線導入機 | |
JP3564038B2 (ja) | 軸封装置 | |
KR102552870B1 (ko) | 직접구동 모터 기반의 웨이퍼 이송 로봇 장치 | |
JP2568731Y2 (ja) | 真空チャンバの防塵装置 | |
JP2012016215A (ja) | アクチュエータ及び基板搬送ロボット | |
JP5563396B2 (ja) | アクチュエータ及び基板搬送ロボット | |
JPH04264748A (ja) | ウエハ移送ロボット | |
JP3672717B2 (ja) | 試料搬送装置 | |
JPH04264749A (ja) | ウエハ移送ロボット | |
JP6127563B2 (ja) | スピンドルシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20060313 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060313 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20060313 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090210 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090609 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |