JP2554052B2 - 清浄作業台 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造装置などの作業用機器を組込ん
で使用するのに適した清浄作業台に関する。

〔従来の技術〕

半導体素子の製造に当っては、特開昭54−57699号公
報に記載されているように、各工程ごとに専用の作業用
機器を用い、空気中のじん挨による製品の汚染を避ける
ため、これら作業用機器を清浄作業台に組込み、清浄作
業台によってつくられる局所的に無じん化された雰囲気
中で作業を行なうのが普通である。

従来の機器組込形清浄作業台は、第７図〜第９図に示
すように、内部に本体ケース11と両側支持枠12により三
方を囲まれ、前面が開放された作業空間７と、この作業
空間７の下方に作業用機器９の収納部８を有し、プレフ
ィルタ２、高性能フィルタ３および給気ファン４を内蔵
した給気浄化部１から、フィルタを通過した清浄空気５
を作業空間７に垂直に供給する構成となっている。

清浄作業台に組込まれる半導体製造装置などの作業用
機器９には、一般に排熱用の冷却ファン10が装備されて
いるが、冷却ファン10からの排気13は、本体ケース11の
開口部11aを通して、そのまま外部のクリーンルーム19
内に排出されていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このように構成された従来の機器組込形清浄作業台で
は、作業用機器９の稼動時に、機器内部から発生するじ
ん挨が冷却ファン10の排気に混じってクリーンルーム19
内に拡散され、クリーンルーム19の汚染を進行させる。
そればかりでなく、じん挨を含む排気13の一部は、作業
用機器９と本体ケース11との間の排気通路14から背板30
に沿って立ち上がり、作業空間７内にも拡散する可能性
がある。特に、作業用機器の大形化により作業空間７の
奥行を大きくした場合、高性能フィルタ３の寸法上の制
約などから、作業空間７の奥側の空気吹出口６と背板30
との間に、清浄空気が流れない負圧の部分（デッドスペ
ース）22ができるため、排気中のじん挨がこのデッドス
ペース22を通って作業空間７内に拡散する可能性はさら
に大きくなる。また、第８図に示すように、各工程ごと
に専用の複数台の作業用機器9a、9b、9cを１つの清浄作
業台に組込んだ場合には、各機器から発生するじん挨3
1、32、33が作業空間７内に拡散することにより、各工
程で扱う異種の物質による相互汚染が起こり、半導体素
子の製造などにおいては複雑な不良原因となる場合があ
る。

このように、従来の機器組込形清浄作業台は、組込機
器から発生するじん挨による清浄作業台内部の作業空間
および外部のクリーンルームの汚染防止について配慮さ
れていないため、半導体素子のパターン微細化などに伴
う作業環境の清浄度向上の要求に十分対応できなかっ
た。

本発明の目的は、組込機器から発生するじん挨による
内外の汚染を防止し、作業環境の一層の高清浄化を実現
できる清浄作業台システムを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的は、前面が開放された作業空間と、送風機
及びフィルタを有し前記作業空間外の空気を吸入浄化し
て前記作業空間内に供給する給気ユニットを有する清浄
作業台と、前記清浄作業台に収容され冷却ファンを具有
する作業用機器と、前記給気ユニットから独立して構成
され、送風機及びフィルタを有する排気ユニットとを備
えた清浄作業台システムにおいて、前記給気ユニット
は、前記作業空間の上方に配設されて前記フィルタから
下向きに前記作業空間内に清浄空気を供給すると共に、
前記作業空間内の背面近傍にあって、前記送風機の吸い
込み側に連通した開口部を有し、前記作業用機器は、前
記作業空間内の下方に配設され、前記冷却ファンは、前
記作業空間背面下方の排気通路に面して配設され、前記
排気ユニットは、前記作業空間の背面下方に配設され前
記作業空間に面した吸い込み口を有すると共に、前記冷
却ファンにより排出された空気を浄化して前記作業空間
外に排出し、前記作業空間背面の前記給気ユニットと前
記排気ユニットの間には、後方に向かって開閉自在な扉
を有することを特徴とする清浄作業台システムによって
達成される。

〔作用〕

上記構成によれば、作業用機器の内部から冷却ファン
の排気に混じって排出されたじん挨は排気浄化装置で捕
集されるため、外部のクリーンルームを汚染することが
ない。また、排気中のじん挨は作業空間へ拡散する前に
排気浄化装置に吸引されるので、作業空間を直接汚染す
ることも防止できる。

従来、作業空間で有機溶媒などを取扱う場合、作業空
間から有害ガスを排出するための排気装置を設けたクリ
ーンドラフトとよばれる清浄作業台があるが、本発明と
は目的、機能共に異なっている。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図〜第３図に示す。

プレフィルタ２、高性能フィルタ３および給気ファン
４を内蔵した給気浄化部１を本体ケース11の両側の支持
枠12で受け、フィルタ２、３を通過した清浄空気５を空
気吹出口６から、前面が開放された作業空間７内に垂直
方向に供給する。作業空間７の下方の機器収納部８に半
導体製造装置などの作業用機器９を組込み、機器に装備
された冷却ファン10からの排気13を後方の本体ケース11
との間に形成された排気通路14へ排出させる。本体ケー
ス11には、プレフィルタ16、高性能フィルタ17および給
気ファン18を内蔵した排気浄化装置15を組込み、そのプ
レフィルタ16が取付けられた排気取入口を排気通路14に
連通させて、作業用機器９の稼動時に冷却ファン10から
の排気13を排気浄化装置15の排気ファン18により吸引
し、フィルタ16、17により排気中のじん挨を除去して、
外部のクリーンルーム19内へ清浄空気20として排出させ
る。この排気浄化装置15を設けることにより、冷却ファ
ン10からの排気中に含まれるじん挨が作業空間７および
クリーンルーム19内に拡散することを防止している。排
気浄化装置15は、作業用機器９の下部裏面の保守点検を
考慮し、本体ケース11から分離可能なユニットとして構
成することが望ましい。

また、作業用機器９の後方からの保守点検を容易にす
るため、作業空間７の背面部にはケース、支柱などの障
害物をなくして、全面を後方に向って開放できるように
開閉自在な扉21を設け、常時はこの扉21を閉じて清浄空
気５を前方に差し向けるようにしている。扉21は透視で
きるものであった方が良い。背面部の支柱をなくしたこ
とにより、第２図に示すように各工程ごとに専用の複数
台の作業用機器9a、9b、9cを組込む場合、中央部に位置
する機器9bの後方からの保守点検も容易に行なえるよう
になる。

作業空間７の奥行が長く、空気吹出口６と背面部との
間に清浄空気が流れないデッドスペース22ができる場合
には、給気浄化部１にデッドスペース部22を給気ファン
４の吸込側に連通させる開口23を設けて、デッドスペー
ス22内の空気を吸引させることにより、デッドスペース
部22から清浄気流５へのじん挨の巻き込みを防止し、作
業空間７内の清浄度をさらに向上させることができる。

第３図に示すように、両側の支持枠12は手前側に透視
可能なスライド板24を有し、また上下部に開口25、26を
有している。上部の開口25は蝶番などで取付けられた回
転扉27により開閉され、作業用機器９へのウェハの供
給、取出などが容易に行なえるようにしている。下部の
開口26には着脱可能な側板28が取付けられ、この側板28
をはずすことにより、作業用機器９の側面からの保守点
検およびガス容器の交換などが容易にできるようにして
いる。

本発明の他の実施例を第４図、第５図、第６図に示
す。

排気浄化装置15をユニットとして構成することによ
り、第４図に示すように、作業用機器９の冷却ファン10
が機器側面に位置する場合には、排気浄化装置15を機器
収納部８の側端部に設置することが可能であり、また第
５図に示すように、冷却ファン10が作業用機器９の下部
などに位置し、機器収納部８内に排気浄化装置15を設置
できない場合には、外部に設置した排気浄化装置15と冷
却ファン10とを排気通路であるダクト29を介して接続す
ることもできる。

本発明は、第６図に示すように、給気浄化部１が作業
空間７の後方に位置する水平気流形清浄作業台にも適用
することができる。本例は、排気浄化装置15を作業用機
器９の前方に設置した例である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、清浄作業台に組込まれた作業用機器
から冷却ファンの排気に混じって排出されるじん挨を排
気浄化装置で捕集し、外部に排出させないため、外部の
クリーンルームを汚染することがなくなり、また排気中
のじん挨が作業空間に拡散する前に排気浄化装置に吸引
されるため、作業空間を直接汚染することも防止でき
る。その結果、従来の機器組立形清浄作業台では避けら
れなかった機器内部からの発じんの影響をなくし、作業
環境の一段の高清浄化を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す切断側面図、第２図は
同正面図、第３図は同要部分解斜視図、第４図は本発明
の第２の実施例を示す切断平面図、第５図は本発明の第
３の実施例を示す一部切断した正面図、第６図は本発明
の第４の実施例を示す切断側面図、第７図は従来例の切
断側面図、第８図は同正面図、第９図は同要部分解斜視
図である。 １……給気浄化部、７……作業空間 ８……機器収納部 ９、9a、9b、9c……作業用機器 10……冷却ファン、14、29……排気通路 15……排気浄化装置、16、17……排気フィルタ 18……排気ファン

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】前面が開放された作業空間と、送風機及び
   フィルタを有し前記作業空間外の空気を吸入浄化して前
   記作業空間内に供給する給気ユニットを有する清浄作業
   台と、前記清浄作業台に収容され冷却ファンを具有する
   作業用機器と、前記給気ユニットから独立して構成さ
   れ、送風機及びフィルタを有する排気ユニットとを備え
   た清浄作業台システムにおいて、 前記給気ユニットは、 前記作業空間の上方に配設されて前記フィルタから下向
   きに前記作業空間内に清浄空気を供給すると共に、前記
   作業空間内の背面近傍にあって、前記送風機の吸い込み
   側に連通した開口部を有し、 前記作業用機器は、 前記作業空間内の下方に配設され、 前記冷却ファンは、 前記作業空間背面下方の排気通路に面して配設され、 前記排気ユニットは、 前記作業空間の背面下方に配設され前記作業空間に面し
   た吸い込み口を有すると共に、前記冷却ファンにより排
   出された空気を浄化して前記作業空間外に排出し、 前記作業空間背面の前記給気ユニットと前記排気ユニッ
   トの間には、後方に向かって開閉自在な扉を有すること
   を特徴とする清浄作業台システム。