KR20170119017A - 댐퍼 구조체 및 이를 포함하는 수납 챔버 - Google Patents

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KR20170119017A
KR20170119017A KR1020160046180A KR20160046180A KR20170119017A KR 20170119017 A KR20170119017 A KR 20170119017A KR 1020160046180 A KR1020160046180 A KR 1020160046180A KR 20160046180 A KR20160046180 A KR 20160046180A KR 20170119017 A KR20170119017 A KR 20170119017A
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Abstract

댐퍼 구조체 및 수납 챔버가 제공된다. 댐퍼 구조체는 정면 및 배면을 관통하는 관통홀을 포함하는 바디부, 상기 바디부의 배면에 접하고 상기 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망, 상기 관통홀을 통해 상기 바디부의 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 관통홀 내에 배치되는 커버 부재를 포함하되, 상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측 면에 고정된다.

Description

댐퍼 구조체 및 이를 포함하는 수납 챔버{DAMPER STRUCTURE AND STORAGE CHAMBER INCLUDING THE SAME}
본 발명은 챔버의 내부와 외부의 기류간 상호작용을 조절하는 댐퍼 구조체에 관한 것이다.
반도체 또는 표시 장치의 제조 공정 중 제조 대상물이 이동되어야 하는 경우, 제조 대상물을 이동시키는 이동 장치에 의존한다. 반도체 또는 표시 장치는 제조 과정에서 압력의 변화나 외부 기류에 의한 오염에 매우 취약하기 때문에, 이동 장치는 별도의 챔버 내에 내장된다.
이러한 챔버의 내부 압력을 일정하게 유지시키고, 외부 기류에 의한 내부의 오염을 방지하기 위하여, 댐퍼가 요구된다. 그러나, 일반적인 댐퍼에 의할 경우, 내부 압력을 유지시키는 성능 및 외부 기류에 의한 내부 오염을 방지하는 성능이 제한적이어서, 이를 획기적으로 향상시킨 댐퍼가 요구된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여과된 외부 기류인 청정 기류를 내부로 공급할 수 있는 댐퍼 구조체 및 이를 포함하는 수납 챔버를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 내부 오염 기류의 외부로의 배출이 용이한 댐퍼 구조체 및 이를 포함하는 수납 챔버를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체는 정면 및 배면을 관통하는 관통홀을 포함하는 바디부, 상기 바디부의 배면에 접하고 상기 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망, 상기 관통홀을 통해 상기 바디부의 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 관통홀 내에 배치되는 커버 부재를 포함하되, 상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측 면에 고정된다.
또한, 상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 세로폭은 상기 관통홀의 세로폭보다 클 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 세로폭은, 상기 관통홀의 세로폭의 1.4배 이상 1.5배이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 가로폭은 상기 관통홀의 가로폭과 동일할 수 있다.
또한, 상기 커버 부재는 상기 관통홀의 내측 상면에 고정될 수 있다.
또한, 상기 관통홀의 단면 형상은, 직사각형일 수 있다.
또한, 상기 관통홀의 단면 형상은 사다리꼴 형상일 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 댐퍼 구조체는 정면 및 배면을 관통하는 제1 관통홀 및 제2 관통홀을 포함하는 바디부, 상기 바디부의 상기 배면에 접하고 상기 제1 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망, 상기 제1 관통홀을 통하여 상기 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 제1 관통홀 내에 배치되는 커버 부재, 상기 제2 관통홀에 삽입되는 필터를 포함하되, 상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측면에 고정되고, 상기 제1 관통홀의 가로폭은 상기 제2 관통홀의 가로폭보다 작을 수 있다.
또한, 상기 제1 관통홀의 개수는 상기 제2 관통홀의 개수보다 많을 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 세로폭은 상기 제1 관통홀의 세로폭의 1.4배 이상 1.5배 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재는 상기 제1 관통홀의 내측 상면에 고정될 수 있다.
또한, 상기 관통홀의 단면 형상은 직사각형일 수 있다.
또한, 상기 필터는 중성능(medium) 필터, 헤파(HEPA) 필터 및 울파(ULPA) 필터 중 어느 하나일 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 수납 챔버는 일면에 개구부를 포함하는 케이스, 상기 개구부를 커버하는 댐퍼 구조체를 포함하되, 상기 댐퍼 구조체는 정면 및 배면을 관통하는 제1 관통홀 및 제2 관통홀을 포함하는 바디부, 상기 바디부의 상기 배면에 접하고 상기 제1 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망, 상기 제1 관통홀을 통하여 상기 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 제1 관통홀 내에 배치되는 커버 부재, 상기 제2 관통홀에 삽입되는 필터를 포함하되, 상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측면에 고정되고, 상기 제1 관통홀의 세로폭은 상기 제2 관통홀의 세로폭보다 작다.
또한, 상기 케이스 내부는 양압 상태, 음압 상태 및 정압 상태 중 어느 하나의 상태를 갖되, 상기 케이스 내부가 상기 양압 상태인 경우 상기 제1 관통홀을 통하여 상기 케이스 내부의 유체가 상기 케이스 외부로 배출되고, 상기 케이스 내부가 상기 음압 상태인 경우 상기 제2 관통홀을 통하여 상기 케이스 외부의 유체가 상기 케이스 내부로 유입될 수 있다.
또한, 상기 케이스 내부가 상기 양압 상태인 경우 상기 커버 부재는 상기 격자망으로부터 이격되고, 상기 케이스 내부가 상기 음압 상태인 경우 상기 커버 부재는 상기 격자망과 접촉하여 상기 격자망을 커버할 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 가로폭은 상기 관통홀의 가로폭의 1.4배 이상 1.5배 이하일 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체는 정면 및 배면을 관통하는 관통홀을 포함하는 바디부, 상기 바디부의 배면에 접하고 상기 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망, 상기 관통홀을 통해 상기 바디부의 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 관통홀 내에 배치되는 커버 부재를 포함하되, 상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측 면에 고정된다.
또한, 상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 세로폭은 상기 관통홀의 세로폭보다 클 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 세로폭은, 상기 관통홀의 세로폭의 1.4배 이상 1.5배이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 가로폭은 상기 관통홀의 가로폭과 동일할 수 있다.
또한, 상기 커버 부재는 상기 관통홀의 내측 상면에 고정될 수 있다.
또한, 상기 관통홀의 단면 형상은, 직사각형일 수 있다.
또한, 상기 관통홀의 단면 형상은 사다리꼴 형상일 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 댐퍼 구조체는 정면 및 배면을 관통하는 제1 관통홀 및 제2 관통홀을 포함하는 바디부, 상기 바디부의 상기 배면에 접하고 상기 제1 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망, 상기 제1 관통홀을 통하여 상기 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 제1 관통홀 내에 배치되는 커버 부재, 상기 제2 관통홀에 삽입되는 필터를 포함하되, 상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측면에 고정되고, 상기 제1 관통홀의 가로폭은 상기 제2 관통홀의 가로폭보다 작을 수 있다.
또한, 상기 제1 관통홀의 개수는 상기 제2 관통홀의 개수보다 많을 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 세로폭은 상기 제1 관통홀의 세로폭의 1.4배 이상 1.5배 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재는 상기 제1 관통홀의 내측 상면에 고정될 수 있다.
또한, 상기 관통홀의 단면 형상은 직사각형일 수 있다.
또한, 상기 필터는 중성능(medium) 필터, 헤파(HEPA) 필터 및 울파(ULPA) 필터 중 어느 하나일 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 수납 챔버는 일면에 개구부를 포함하는 케이스, 상기 개구부를 커버하는 댐퍼 구조체를 포함하되, 상기 댐퍼 구조체는 정면 및 배면을 관통하는 제1 관통홀 및 제2 관통홀을 포함하는 바디부, 상기 바디부의 상기 배면에 접하고 상기 제1 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망, 상기 제1 관통홀을 통하여 상기 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 제1 관통홀 내에 배치되는 커버 부재, 상기 제2 관통홀에 삽입되는 필터를 포함하되, 상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측면에 고정되고, 상기 제1 관통홀의 세로폭은 상기 제2 관통홀의 세로폭보다 작다.
또한, 상기 케이스 내부는 양압 상태, 음압 상태 및 정압 상태 중 어느 하나의 상태를 갖되, 상기 케이스 내부가 상기 양압 상태인 경우 상기 제1 관통홀을 통하여 상기 케이스 내부의 유체가 상기 케이스 외부로 배출되고, 상기 케이스 내부가 상기 음압 상태인 경우 상기 제2 관통홀을 통하여 상기 케이스 외부의 유체가 상기 케이스 내부로 유입될 수 있다.
또한, 상기 케이스 내부가 상기 양압 상태인 경우 상기 커버 부재는 상기 격자망으로부터 이격되고, 상기 케이스 내부가 상기 음압 상태인 경우 상기 커버 부재는 상기 격자망과 접촉하여 상기 격자망을 커버할 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하일 수 있다.
또한, 상기 커버 부재의 가로폭은 상기 관통홀의 가로폭의 1.4배 이상 1.5배 이하일 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 우측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 배면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체가 설치된 챔버의 사시도이다.
도 6은 챔버 내부에 양압이 형성되는 경우 스테이지 및 유체의 흐름을 나타낸 개략도이다.
도 7은 챔버 내부에 음압이 형성되는 경우 스테이지 및 유체의 흐름을 나타낸 개략도이다.
도 8은 챔버 내부에 양압이 형성된 경우에 도 1의 A영역에 대응되는 영역을 확대하여 도시한 사시도이다.
도 9는 챔버 내부에 양압이 형성된 경우에 도 3의 B 영역을 확대하여 도시한 우측면도이다.
도 10은 챔버 내부에 음압이 형성된 경우에 도 1의 A영역에 대응되는 영역을 확대하여 도시한 사시도이다.
도 11는 챔버 내부에 음압이 형성된 경우에 도 3의 B 영역을 확대하여 도시한 우측면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체가 장착된 챔버 내부의 불순물의 직경별 분포율을 나타낸 그래프이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체가 장착된 챔버 내부 및 외부의 압력 차이를 나타낸 그래프이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 도 2의 B영역에 대응되는 영역을 도시한 우측면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 우측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 배면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)는 바디부(110), 격자망(120), 커버 부재(130) 및 필터(140)를 포함한다.
바디부(110)는 격자망(120), 커버 부재(130) 및 필터(140)가 부착되는 골격으로서, 제1 관통홀(111) 및 제2 관통홀(112)을 포함한다.
제1 관통홀(111)은 바디부(110)의 정면(110a) 및 배면(110b)을 관통하는 개구부이다. 바디부(110)의 정면(110a) 측에서 바라본 제1 관통홀(111)의 형상은 직사각형일 수 있다. 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)은 제1 관통홀(111)의 가로폭(W1) 보다 작을 수 있으며, 전체적으로 도면을 기준으로 좌우로 긴 직사각형의 형태로 형성될 수 있다. 제1 관통홀(111)의 가로폭(W1)은 제1 관통홀(111)을 제1 방향(D1)을 따라 측정한 폭을 나타낸다. 또한, 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)은 제1 관통홀(111)을 제2 방향(D2)을 따라 측정한 폭을 나타낸다.
여기서, 제1 방향(D1)이란 바디부(110)가 배치되는 평면상의 임의의 방향을 의미하며, 본 실시예에서는 바디부(110)가 배치되는 평면상에서 도면을 기준으로 좌측으로부터 우측을 향하는 방향을 나타내도록 도시하였다. 또한, 제2 방향(D2)이란 바디부(110)가 배치되는 평면상의 임의의 방향 중, 제1 방향(D1)과 수직한 방향을 의미하며, 본 실시예에서는 바디부(110)가 배치되는 평면상에서 도면을 기준으로 하측으로부터 상측을 향하는 방향을 나타내도록 도시하였다. 또한, 제1 방향(D1), 제2 방향(D2) 및 후술할 제3 방향(D3)은 각각 서로에 대하여 수직인 관계를 가질 수 있다.
또한, 제1 관통홀(111)은 도면을 기준으로 상하 방향을 따라 서로 이격되어 복수 개 배치될 수 있다. 즉, 제1 관통홀(111)은 제2 방향(D2) 또는 제2 방향(D2)의 역방향을 따라 서로 이격되어 복수 개 배치될 수 있다.
제1 관통홀(111)은 후술할 커버 부재(130) 및 격자망(120)에 의하여 커버될 수 있으며, 커버 부재(130) 및 격자망(120)의 상호작용에 의하여 바디부(110)의 정면(110a) 측에 위치하는 유체가 제1 관통홀(111)을 통과하여 바디부(110)의 배면(110b)의 측으로 이동하는 것을 방지함과 동시에, 바디부(110)의 배면(110b) 측에 위치하는 유체가 제1 관통홀(111)을 통과하여 바디부(110)의 정면(110a) 측으로 제3 방향(D3)의 역방향을 따라 이동하도록 할 수 있다.여기서, 바디부(110)의 정면(110a)은 바디부(110)를 구성하는 제3 방향(D3)에 수직한 두 평면 중, 제3 방향(D3)의 역방향 측에 배치되는 평면을 가리킨다. 반대로, 바디부(110)의 배면(110b)은 바디부(110)를 구성하는 제3 방향(D3)에 수직한 두 평면 중, 제3 방향(D1) 측에 배치되는 평면을 가리킨다.
제2 관통홀(112)은 바디부(110)의 정면(110a) 및 배면(110b)을 관통하는 개구부이다. 바디부(110)의 정면(110a) 측에서 바라본 제2 관통홀(112)의 형상은 직사각형일 수 있다. 제2 관통홀(112)은 후술할 필터(140)에 의하여 커버될 수 있다. 필터(140)는 바디부(110)의 정면(110a) 측에 위치하는 유체가 제2 관통홀(112)을 통과하여 바디부(110)의 배면(110b) 측으로 이동하는 경우, 해당 유체와 함께 이동하는 이물질 또는 파티클을 필터링할 수 있다.
제2 관통홀(112)의 세로폭(W3) 및 가로폭(W4)은 자유롭게 설계될 수 있으며, 이는 제2 관통홀(112)에 배치되는 필터(140)의 크기에 의하여 결정될 수 있다.
도면에는, 제1 관통홀(111)의 가로폭(W1)과 제2 관통홀(112)의 가로폭(W4)이 동일한 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한 도면에는, 제1 관통홀(111)들이 복수 개의 행 및 복수 개의 열을 형성하여 매트릭스 형태로 배치될 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는 제1 관통홀(111)들 사이에 제2 관통홀(112)이 배치된 것으로 도시되었으나, 필요에 따라 제1 관통홀(111)들이 모두 연속하도록 배치될 수도 있다.
바디부(110)는 알루미늄(Al) 합금 또는 철(Fe), 니켈(Ni) 등을 포함하는 금속 혼합 물질로 이루어질 수 있다. 특히, 알루미늄(Al) 합금은 종류에 따라, 1000번 계열은 99.00wt% 이상의 알루미늄을 함유한 순수 알루미늄, 2000번 계열은 Al-Cu계 합금, 3000번 계열은 Al-Mn계 합금, 4000번 계열은 Al-Si계 합금, 5000번 계열은 Al-Mg계 합금, 6000번 계열은 Al-Mg-Si계 합금, 7000번 계열은 Al-Zn-Mg계 합금 등으로 분류, 표시하는 방법이 널리 사용되고 있는바, 본 발명의 바디부(110)를 구성하는 알루미늄 합금의 경우, 강도가 부족한 1000번 계열을 제외하고는 모두 사용이 가능할 수 있다.
격자망(120)은 바디부(110)의 배면(110b)에 접하도록 고정되며, 제1 관통홀(111)을 커버하도록 배치될 수 있다. 격자망(120)은 격자 모양의 홈을 포함하며, 상기 홈을 통하여 유체가 자유롭게 이동할 수 있다.
격자망(120)은 커버 부재(130)가 바디부(110)의 배면(110b)을 향하여, 즉 제3 방향(D3)을 향하여 휘어지는 것을 방지하는 지지 부재의 역할을 수행할 수 있다. 격자망(120)은 금속 세선이 그물 형상으로 엮여 있는 그물망 구조를 갖는다.
격자망(120)은 바디부(110)의 배면(110b) 영역 중 제1 관통홀(111) 및 제2 관통홀(112)이 형성되지 않는 영역을 통하여 바디부(110)에 고정될 수 있다. 격자망(120)은 반드시 제1 관통홀(111)을 커버하도록 배치되나, 제2 관통홀(112)은 커버하지 않을 수 있다. 다만, 본 실시예에서는 필터(140)의 두께가 제2 관통홀(112)보다 두꺼워 바디부(110)의 배면(110b) 외측, 즉 제3 방향(D3)을 향하여 튀어나온 형태인 바, 격자망(120)이 제2 관통홀(112)을 커버하지 않도록 도시되었으나, 이에 제한되지 않을 수 있다. 즉, 필터(140)가 바디부(110)의 배면(110b) 외측이 아니라 바디부(110)의 정면(110b) 외측, 즉 제3 방향(D3)의 역방향을 향하여 튀어나온 형태, 또는 필터(140)의 두께가 제2 관통홀(112)의 두께보다 얇은 경우에는 격자망(120)이 제2 관통홀(112)을 커버하도록 배치될 수도 있다.
커버 부재(130)는 바디부(110)에 고정되어, 제1 관통홀(111)을 커버하도록 배치된다. 커버 부재(130)는 제1 관통홀(111)과 격자망(120)이 접하는 지점에서 제1 관통홀(111)의 일측변을 따라 고정될 수 있다. 특히, 커버 부재(130)는 제1 관통홀(111)의 내측 상면에 고정될 수 있다. 즉, 커버 부재(130)는 제1 관통홀(111)의 내측벽에 고정되되, 고정되는 접점을 연결한 선은 제1 방향(D1)을 따라 연장될 수 있다. 커버 부재(130)는 제1 관통홀(111)의 내측 상면을 따라 고정되는 부분을 제외한 부분에서는 바디부(110)에 고정되지 않을 수 있다. 이러한 고정 구조에 의하여, 커버 부재(130)는 바디부(110)를 따라 고정된 부분, 즉 제1 방향(D1)을 축으로 하여, 이동 또는 회전이 가능할 수 있다.
커버 부재(130)는 유연성을 가질 수 있다. 커버 부재(130)는 폴리염화비닐(PVC), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 나일론(nylon) 또는 폴리올레핀(polyolefin)등의 물질로 형성될 수 있다. 커버 부재(130)는 탄성을 가질 수 있으며, 0.01 GPa 이하의 영률(young's modulus)을 가질 수 있다. 커버 부재(130)가 0.01 GPa 이하의 영률을 갖는 경우, 바디부(110)의 배면(110b)측에 위치하는 유체가 바디부(110)의 정면(110a)측으로 이동하는 경우, 필터(140) 및 제2 관통홀(112)을 통과하여 이동하는 대신, 제1 관통홀(111)을 통과하여 이동할 수 있다.
커버 부재(130)의 가로폭(W6)의 길이는, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 관통홀(111)의 가로폭(W1)의 길이와 동일할 수 있다. 커버 부재(130)의 가로폭(W6)의 길이가 제1 관통홀(111)의 가로폭(W1)의 길이가 동일하다면, 바디부(110)의 정면(110a)의 유체가 제3 방향(D3)을 따라 바디부(110)의 배면(110b)으로 이동하려 하는 경우 이를 방지할 수 있으면서도, 바디부(110)의 배면(110b)의 유체가 제3 방향(D3)의 역방향을 따라 바디부(110)의 정면(110a)으로 이동하려 하는 경우 커버 부재(130)가 제1 관통홀(111)에 방해받지 않고 모양이 변화할 수 있다.
커버 부재(130)의 세로폭(W5)의 길이가 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)의 길이와 동일하거나 짧다면, 바디부(110)의 정면(110a) 외측의 유체가 제1 관통홀(111)을 통하여 제3 방향(D3)을 따라 바디부(110)의 배면(110b) 외측으로 이동하는 것을 방지할 수 없다. 따라서, 커버 부재(130)의 세로폭(W5)의 길이는 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)의 길이보다 길 수 있다. 특히, 커버 부재(130)의 세로폭(W5)의 길이는 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)의 길이의 1.4배보다 길고 1.5배보다 짧을 수 있다. 커버 부재(130)의 세로폭(W5)의 길이가 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)의 길이의 1.4배보다 짧다면, 커버 부재(130)에 주름이 지거나 의도하지 않은 접힘 등의 현상이 등이 발생하는 경우, 바디부(110)의 정면(110a) 외측의 유체가 제1 관통홀(111)을 통하여 제3 방향(D3)을 따라 바디부(110)의 배면(110b) 외측으로 이동하는 것을 제대로 방지할 수 없을 가능성이 있기 때문이다. 또한, 커버 부재(130)의 세로폭(W5)의 길이가 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)의 길이의 1.5배보다 길다면, 바디부(110)의 배면(110b) 외측의 유체가 제1 관통홀(111)을 통하여 바디부(110)의 정면(110a)으로 이동하는 데 제약이 될 수 있기 때문이다.
상술한 바와 같이, 커버 부재(130)의 세로폭(W5)의 길이가 제1 관통홀(111)의 세로폭(W2)의 길이보다 길기 때문에, 커버 부재(130)의 하단 일부 영역은 접힐 수 있다. 즉, 커버 부재(130)가 제1 관통홀(111)을 통하여 바디부(110)의 정면(110a)으로부터 배면(110b)으로 이동하려는 유체의 흐름을 차단하는 경우, 커버 부재(130)는 제1 관통홀(111)을 통하여 바디부(110)의 정면(110a)으로 노출되는 격자망(120)을 커버할 수 있다.
필터(140)는 제2 관통홀(112)에 삽입되어 고정되도록 배치된다. 필터(140)는 바디부(110)의 정면(110a)의 유체가 제2 관통홀(112)을 통하여 제3 방향(D3)을 따라 바디부(110)의 배면(110b)으로 이동하는 경우, 먼지 또는 불순물 입자 등을 제거하는 역할을 할 수 있다.
이 중에서도, 기체를 여과하는 필터(140)는 섬유의 입자직경이나 제진효율에 따라 조진용 필터, 중성능(medium) 필터, 헤파(high efficiency particulate air; HEPA) 필터, 울파(ultra low penetration air; ULPA) 필터 등으로 대별되는데, 본 발명에 의한 댐퍼 구조체(1000)는 상기 중성능 필터, 상기 헤파 필터 및 상기 울파 필터 중 어느 하나를 사용할 수 있다. 특히, 상기 헤파 필터는 입경이 0.3㎛ 이상의 미세먼지를 제거할 수 있는 필터로서, 직경이 1㎛ 보다 작은 초극세 단섬유로 형성되어 입경 0.3㎛ 이상의 미세먼지를 99.97% 이상 포집할 수 있는 성능 가질 수 있다. 또한, 상기 울파 필터는 0.1㎛ 이상의 미세먼지 도는 바이러스를 99.9995% 이상 포집할 수 있는 성능을 가질 수 있다.
상술한 필터(140)의 종류의 결정에 있어서, 댐퍼 구조체(1000)가 내부의 압력을 일정하게 유지하는 성능이 중요시된다면, 상기 중성능 필터를 선택할 수 있다. 반대로, 댐퍼 구조체(1000)가 외부의 유체를 필터(140)링하는 성능이 중요시된다면, 상기 울파 필터를 선택할 수 있다. 즉, 댐퍼 구조체(1000)가 설치되는 장비의 종류 및 주변 환경에 따라 필터(140)의 선택은 다양할 수 있다.
이하에서는, 댐퍼 구조체(1000)의 구체적인 동작에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체가 설치된 챔버의 사시도이며, 도 6은 챔버 내부에 양압이 형성되는 경우 스테이지 및 유체의 흐름을 나타낸 개략도이며, 도 7은 챔버 내부에 음압이 형성되는 경우 스테이지 및 유체의 흐름을 나타낸 개략도이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 챔버(2000)는 케이스(200) 및 댐퍼 구조체(1000)를 포함한다.
케이스(200)는 상기 제조 대상물을 가공하고자 하는 제조 설비가 배치되는 수납 부재로서, 일측면에 개구부를 포함한다. 다만, 개구부를 복수 개 포함할 수도 있음은 물론이다.
댐퍼 구조체(1000)는 챔버(2000)의 개구부를 커버하도록 챔버(2000)의 일측면에 설치된다. 챔버(2000) 내부에는 제조하고자 하는 상기 제조 대상물의 상하 이동을 위한 스테이지(210)가 배치되며, 스테이지(210)는 양 측면에 쌍으로 배치되는 레일(220)을 따라 상하로 이동할 수 있다. 이 때, 스테이지(210)가 상승하는 경우, 스테이지(210)의 하부 공간에는 음압이 형성되고, 스테이지(210)의 상부 공간에는 양압이 형성된다. 반대로, 스테이지(210)가 하강하는 경우, 스테이지(210)의 하부 공간에는 양압이 형성되고, 스테이지(210)의 상부 공간에는 음압이 형성된다.
댐퍼 구조체(1000)는 스테이지(210)의 하부 또는 상부에 설치될 수 있으며, 스테이지(210)의 하부와 상부 모두에 설치될 수도 있다. 본 실시예에서는 댐퍼 구조체(1000)가 스테이지(210)의 하부에 설치되는 것을 예시적으로 도시하였다.
본 실시예에서는 댐퍼 구조체(1000)가 스테이지(210)의 하부에 설치되므로, 스테이지(210) 하부의 압력이 양얍인지 또는 음압인지를 기준으로 유체의 이동을 설명하기로 한다.
챔버(2000) 내부의 스테이지(210)가 하강하는 경우, 양압이 발생하므로, 챔버(2000) 내부의 유체가 챔버(2000) 외부로 이동한다. 이 때, 챔버(2000) 내부의 유체는 댐퍼 구조체(1000)의 제2 관통홀(112)을 통과하기 보다는 댐퍼 구조체(1000)의 제1 관통홀(111)을 통과할 수 있다. 제1 관통홀(111)은 0.01GPa 이하의 영률을 갖는 커버 부재(130)에 의하여 덮여있어, 작은 압력으로도 커버 부재(130)를 격자망(120)으로부터 이격시켜, 제1 관통홀(111)이 개구되도록 할 수 있기 때문이다. 반면, 커버 부재(130)를 격자망(120)으로부터 이격시킬 정도의 압력이라 하더라도, 제2 관통홀(112)을 커버하는 필터(140)를 통과하는 데에는 부족한 압력이기 때문이다.
이 때, 커버 부재(130)의 구체적인 모양은 도 8 및 도 9을 참조하여 설명된다.
도 8은 챔버 내부에 양압이 형성된 경우에 도 1의 A영역에 대응되는 영역을 확대하여 도시한 사시도이고, 도 9는 챔버 내부에 양압이 형성된 경우에 도 3의 B 영역을 확대하여 도시한 우측면도이다.
챔버(2000) 내부에 양압이 형성되는 경우, 챔버(2000) 내부의 유체가 제1 관통홀(111)을 통하여 챔버(2000) 외부로 이동하므로, 제1 관통홀(111)을 통과하는 유체의 움직임에 의하여 커버 부재(130)는 격자망(120)으로부터 이격된다. 특히, 커버 부재(130)의 상측변이 바디부(110)에 고정되어 있으므로, 커버 부재(130)의 하측변으로 갈수록 격자망(120)으로부터 이격되는 거리가 증가한다. 또한, 커버 부재(130)는 탄성을 가지므로, 커버 부재(130)의 단면은 직선이 아닌 곡선을 형성할 수 있다.
다시 도 5 내지 도 7을 참조하면, 챔버(2000) 내부의 스테이지(210)가 상승하는 경우, 음압이 발생하므로, 챔버(2000) 외부의 유체가 챔버(2000) 내부로 이동한다. 이 때, 제1 관통홀(111)을 커버하는 커버 부재(130)가 0.01GPa 이하의 영률을 갖고 있다 하더라도, 격자망(120)에 의하여 지지되므로, 챔버(2000) 내부를 향하여 기울어지지 않는다. 따라서, 챔버(2000) 외부의 유체는 제1 관통홀(111)을 통하여 챔버(2000) 내부로 이동할 수 없다. 반면, 제2 관통홀(112)을 커버하는 필터(140)로는 챔버(2000) 외부의 유체가 챔버(2000) 내부로 이동할 수 있으므로, 챔버(2000) 외부의 유체는 댐퍼 구조체(1000)의 제1 관통홀(111)을 통과하기 보다는 제2 관통홀(112)을 통과하여 챔버(2000) 내부로 이동할 수 있다.
또한, 챔버(2000) 외부의 유체는 미세먼지 또는 불순물 입자 등으로 오염이 되어 있을 수 있는데, 제2 관통홀(112)을 커버하는 필터(140)를 통과하며, 미세먼지 또는 불순물 입자 등이 걸러질 수 있다. 따라서, 최종적으로 챔버(2000) 내부에 도달한 유체는 미세먼지 또는 불순물 입자 등이 제거되므로, 챔버(2000) 내부의 상기 제조 대상물이 오염되는 것을 방지할 수 있다.
이 때, 커버 부재(130)의 구체적인 모양은 도 10 및 도 11을 참조하여 설명된다.
도 10은 챔버 내부에 음압이 형성된 경우에 도 1의 A영역에 대응되는 영역을 확대하여 도시한 사시도이고, 도 11는 챔버 내부에 음압이 형성된 경우에 도 3의 B 영역을 확대하여 도시한 우측면도이다.
챔버(2000) 내부에 음압이 형성되는 경우, 챔버(2000) 외부의 유체가 제1 관통홀(111)을 통하여 챔버(2000) 내부로 이동하는 것을 방지하기 위하여, 커버 부재(130)는 격자망(120)과 밀착된다. 다만, 전술한 바와 같이 커버 부재(130)의 상하 폭의 길이가, 제1 관통홀(111)의 상하 폭의 길이보다 길기 때문에, 커버 부재(130)는 제1 관통홀(111)의 하측 끝단과 접하는 선을 따라 구부러질 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 챔버(2000) 내부에 상하 운동을 수행하는 스테이지(210)가 형성되어 챔버(2000) 내부에 부분적으로 양압, 음압이 형성되는 것을 예시하였으나, 이에 제한되지 아니한다. 즉, 챔버(2000) 내부에는 상기 제조 대상물 이동용 스테이지(210)가 배치될 뿐만 아니라, 챔버(2000) 내부의 압력에 영향을 미칠 수 있는 어떠한 장비라도 배치될 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체가 장착된 챔버 내부의 불순물의 직경별 분포율을 나타낸 그래프이다.
도 12의 x축은 불순물 입자의 직경을 나타내고, y축은 불순물 입자의 단위 부피별 개수를 나타낸다. 또한, 동일한 불순물 입자의 직경에 대하여 각각 두 개의 막대로 수치가 기재되어 있다. 여기서, 좌측의 막대 수치는 경성 댐퍼 구조체가 적용된 경우의 측정 결과이며, 우측의 막대 수치는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 경우의 측정 결과이다.
여기서, 상기 경성 댐퍼 구조체란, 챔버(2000)의 외부와 내부를 관통하는 개구부를 챔버(2000)의 외부를 향하여만 이격될 수 있는 경성 재질의 금속판이 설치된 구조를 의미한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)와는 달리, 격자망(120), 커버 부재(130) 및 필터(140)를 포함하지 않는다.
또한, 상기 단위 부피는 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 경우에 직경이 0.1㎛인 불순물 입자를 100개 포함하는 공간의 부피이다.
먼저, 0.1㎛의 직경을 갖는 불순물 입자에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버의 경우, 상기 단위 부피당 100개의 불순물 입자를 포함한다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)의 경우, 상기 단위 부피당 16개의 불순물 입자를 포함한다.
또한, 0.2㎛의 직경을 갖는 불순물 입자에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버의 경우, 상기 단위 부피당 58개의 불순물 입자를 포함한다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)의 경우, 상기 단위 부피당 15개의 불순물 입자를 포함한다.
또한, 0.3㎛의 직경을 갖는 불순물 입자에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버의 경우, 상기 단위 부피당 60개의 불순물 입자를 포함한다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)의 경우, 상기 단위 부피당 21개의 불순물 입자를 포함한다.
또한, 0.5㎛의 직경을 갖는 불순물 입자에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버의 경우, 상기 단위 부피당 55개의 불순물 입자를 포함한다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)의 경우, 상기 단위 부피당 17개의 불순물 입자를 포함한다.
또한, 1.0㎛의 직경을 갖는 불순물 입자에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버의 경우, 상기 단위 부피당 39개의 불순물 입자를 포함한다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)의 경우, 상기 단위 부피당 8개의 불순물 입자를 포함한다.
또한, 5.0㎛의 직경을 갖는 불순물 입자에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버의 경우, 상기 단위 부피당 15개의 불순물 입자를 포함한다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)의 경우, 5.0㎛의 직경을 갖는 불순물 입자는 검출되지 않는다.
이와 같이, 모든 크기의 불순물 입자에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버보다, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 경우에 챔버(2000) 내부의 불순물이 감소된 것을 확인할 수 있다. 이는, 챔버(2000) 외부의 유체는 제1 관통홀(111)을 통과하지 못하고, 필터(140)가 설치된 제2 관통홀(112)을 통과하여 챔버(2000) 내부로 주입됨에 따른 효과이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체가 장착된 챔버 내부 및 외부의 압력 차이를 나타낸 그래프이다.
도 13의 x축은 측정 당시 챔버(2000) 내부의 조건이 음압인지, 정압인지 또는 양압인지를 나타내고, y축은 챔버(2000) 내부와 챔버(2000) 외부의 압력차이의 최대값을 나타내며, 단위는 파스칼[Pa]이다.
또한, 측정 조건이 음압, 정압 및 양압인지에 따라 각각 두 개의 막대로 수치가 기재되어 있는데, 좌측의 막대 수치는 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 경우의 측정 결과이며, 우측의 막대 수치는 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 경우의 측정 결과이다.
도 13을 참조하면, 챔버 내부의 압력이 음압인 경우, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버에서는, 챔버 외부와 내부의 압력차이가 최대 20.1Pa까지 측정된다. 즉, 챔버 내부의 압력이 챔버 외부의 압력에 비하여 최대 20.1Pa만큼 낮을 수 있다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)에서는, 챔버(2000) 외부와 내부의 압력차이가 최대 11Pa까지 측정된다. 즉, 챔버(2000) 내부의 압력이 챔버(2000) 외부의 압력에 비하여 최대 11Pa만큼 낮을 수 있다.
한편, 챔버 내부의 압력이 정압인 경우, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버에서는, 챔버 외부와 내부의 압력차이가 최대 4.9Pa까지 측정된다. 즉, 챔버 내부의 압력이 챔버 외부의 압력에 비하여 최대 4.9Pa만큼 높을 수 있다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)에서는, 챔버(2000) 외부와 내부의 압력차이가 최대 4Pa까지 측정된다. 즉, 챔버(2000) 내부의 압력이 챔버(2000) 외부의 압력에 비하여 최대 4Pa만큼 높을 수 있다.
여기서, 정압이란, 스테이지(210) 등의 이동이 없어 내부의 압력이 더 이상 변화하지 않는 상태를 의미할 수 있다.
한편, 챔버 내부의 압력이 양압인 경우, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버에서는, 챔버 외부와 내부의 압력차이가 최대 27.5Pa까지 측정된다. 즉, 챔버 내부의 압력이 챔버 외부의 압력에 비하여 최대 27.5Pa만큼 높을 수 있다. 반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 챔버(2000)에서는, 챔버(2000) 외부와 내부의 압력차이가 최대 19.8Pa까지 측정된다. 즉, 챔버(2000) 내부의 압력이 챔버(2000) 외부의 압력에 비하여 최대 19.8Pa만큼 높을 수 있다.
이와 같이, 챔버(2000) 내부의 모든 압력 조건에 대하여, 상기 경성 댐퍼 구조체가 적용된 챔버보다, 본 발명의 일 실시예에 따른 댐퍼 구조체(1000)가 적용된 경우에 외부와의 압력 차이를 더욱 최소화할 수 있음을 확인할 수 있다. 이에 따라, 챔버(2000) 내부에 배치되는 상기 제조 대상물이 챔버(2000) 내부의 압력 변화에 의하여 받는 영향을 최소화할 수 있다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 댐퍼 구조체의 도 2의 B영역에 대응되는 영역을 도시한 우측면도이다.
본 실시예에 포함된 구성 중 전술한 실시예에서 이미 설명한 구성과 동일한 구성에 대하여는 동일한 참조 번호로서 지칭하며, 중복 설명은 생략하거나 간략화하기로 하고, 차별점을 갖는 구성을 위주로 설명하기로 한다.
도 14를 참조하면, 제1 관통홀(111)의 단면 형상이 직사각형인 도 9에 도시된 실시예와는 달리, 제1 관통홀(111)의 단면 형상이 사다리꼴 형상일 수 있다. 따라서, 인접하는 제1 관통홀(111)들 사이에 배치되는 바디부(310)의 단면은, 삼각형을 형성할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 아니하고, 바디부(310)의 단면 또한 사다리꼴 모양을 형성할 수도 있다. 또한, 제1 관통홀(111)의 하측 측벽에 한하여 댐퍼 구조체(1000)의 정면 및 배면에 대하여 비스듬하게 기울어지도록 형성될 수도 있다.
이러한 모양으로 형성된다면, 챔버(2000) 내부에 양압이 발생할 경우, 챔버(2000) 내부의 유체가 챔버(2000) 외부로 더욱 용이하게 배출될 수 있다. 따라서, 챔버(2000) 내부에 양압이 발생할 경우, 챔버(2000) 내부외 외부의 최대 압력 차가 더욱 감소될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1000: 댐퍼 구조체
110: 바디부
111: 제1 관통홀
112: 제2 관통홀
120: 격자망
130: 커버 부재
140: 필터
2000: 챔버

Claims (20)

  1. 정면 및 배면을 관통하는 관통홀을 포함하는 바디부;
    상기 바디부의 배면에 접하고 상기 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망;
    상기 관통홀을 통해 상기 바디부의 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 관통홀 내에 배치되는 커버 부재를 포함하되,
    상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측 면에 고정되는 댐퍼 구조체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하인 댐퍼 구조체.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 세로폭은 상기 관통홀의 세로폭보다 큰 댐퍼 구조체.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 세로폭은, 상기 관통홀의 세로폭의 1.4배 이상 1.5배이하인 댐퍼 구조체.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 가로폭은 상기 관통홀의 가로폭과 동일한 댐퍼 구조체.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 커버 부재는 상기 관통홀의 내측 상면에 고정되는 댐퍼 구조체.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 관통홀의 단면 형상은, 직사각형인 댐퍼 구조체.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 관통홀의 단면 형상은 사다리꼴 형상인 댐퍼 구조체.
  9. 정면 및 배면을 관통하는 제1 관통홀 및 제2 관통홀을 포함하는 바디부;
    상기 바디부의 상기 배면에 접하고 상기 제1 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망;
    상기 제1 관통홀을 통하여 상기 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 제1 관통홀 내에 배치되는 커버 부재;
    상기 제2 관통홀에 삽입되는 필터를 포함하되;
    상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측면에 고정되고,
    상기 제1 관통홀의 세로폭은 상기 제2 관통홀의 세로폭보다 작은 댐퍼 구조체.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 관통홀의 개수는 상기 제2 관통홀의 개수보다 많은 댐퍼 구조체.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하인 댐퍼 구조체.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 세로폭은 상기 제1 관통홀의 세로폭의 1.4배 이상 1.5배 이하인 댐퍼 구조체.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 커버 부재는 상기 제1 관통홀의 내측 상면에 고정되는 댐퍼 구조체.
  14. 제9 항에 있어서,
    상기 관통홀의 단면 형상은 직사각형인 댐퍼 구조체.
  15. 제9 항에 있어서,
    상기 필터는 중성능(medium) 필터, 헤파(HEPA) 필터 및 울파(ULPA) 필터 중 어느 하나인 댐퍼 구조체.
  16. 일면에 개구부를 포함하는 케이스;
    상기 개구부를 커버하는 댐퍼 구조체를 포함하되,
    상기 댐퍼 구조체는
    정면 및 배면을 관통하는 제1 관통홀 및 제2 관통홀을 포함하는 바디부,
    상기 바디부의 상기 배면에 접하고 상기 제1 관통홀을 커버하도록 배치된 격자망,
    상기 제1 관통홀을 통하여 상기 정면으로 노출되는 상기 격자망을 커버하도록 상기 제1 관통홀 내에 배치되는 커버 부재,
    상기 제2 관통홀에 삽입되는 필터를 포함하되,
    상기 커버 부재의 일측은 상기 관통홀의 내측면에 고정되고,
    상기 제1 관통홀의 세로폭은 상기 제2 관통홀의 세로폭보다 작은 수납 챔버.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 케이스 내부는 양압 상태, 음압 상태 및 정압 상태 중 어느 하나의 상태를 갖되,
    상기 케이스 내부가 상기 양압 상태인 경우 상기 제1 관통홀을 통하여 상기 케이스 내부의 유체가 상기 케이스 외부로 배출되고,
    상기 케이스 내부가 상기 음압 상태인 경우 상기 제2 관통홀을 통하여 상기 케이스 외부의 유체가 상기 케이스 내부로 유입되는 수납 챔버.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 케이스 내부가 상기 양압 상태인 경우 상기 커버 부재는 상기 격자망으로부터 이격되고,
    상기 케이스 내부가 상기 음압 상태인 경우 상기 커버 부재는 상기 격자망과 접촉하여 상기 격자망을 커버하는 수납 챔버.
  19. 제16 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 영률은 0.01GPa 이하인 수납 챔버.
  20. 제16 항에 있어서,
    상기 커버 부재의 가로폭은 상기 관통홀의 가로폭의 1.4배 이상 1.5배 이하인 수납 챔버.
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KR102331968B1 (ko) * 2020-06-08 2021-11-25 엄도윤 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷

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