KR102331968B1 - 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷 - Google Patents

내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷 Download PDF

Info

Publication number
KR102331968B1
KR102331968B1 KR1020200068912A KR20200068912A KR102331968B1 KR 102331968 B1 KR102331968 B1 KR 102331968B1 KR 1020200068912 A KR1020200068912 A KR 1020200068912A KR 20200068912 A KR20200068912 A KR 20200068912A KR 102331968 B1 KR102331968 B1 KR 102331968B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas
filter
purification filter
gas cylinder
circulation hole
Prior art date
Application number
KR1020200068912A
Other languages
English (en)
Inventor
엄도윤
김선호
Original Assignee
엄도윤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엄도윤 filed Critical 엄도윤
Priority to KR1020200068912A priority Critical patent/KR102331968B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102331968B1 publication Critical patent/KR102331968B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/12—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures
    • F17C13/123—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures for gas bottles, cylinders or reservoirs for tank vehicles or for railway tank wagons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
    • B01D46/12—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces in multiple arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/26—Drying gases or vapours
    • B01D53/263—Drying gases or vapours by absorption
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/08—Mounting arrangements for vessels
    • F17C13/084—Mounting arrangements for vessels for small-sized storage vessels, e.g. compressed gas cylinders or bottles, disposable gas vessels, vessels adapted for automotive use
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01—Shape
    • F17C2201/0104—Shape cylindrical
    • F17C2201/0109—Shape cylindrical with exteriorly curved end-piece
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/03—Orientation
    • F17C2201/032—Orientation with substantially vertical main axis
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/05—Size
    • F17C2201/056—Small (<1 m3)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/01—Mounting arrangements
    • F17C2205/0103—Exterior arrangements
    • F17C2205/0111—Boxes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/01—Mounting arrangements
    • F17C2205/0153—Details of mounting arrangements
    • F17C2205/0176—Details of mounting arrangements with ventilation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2260/00—Purposes of gas storage and gas handling
    • F17C2260/04—Reducing risks and environmental impact
    • F17C2260/042—Reducing risk of explosion

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Drying Of Gases (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

본 발명은 스크러버를 별도로 설치하지 않고, 가스 누출시, 가스 캐비넷 내부에 설치된 정화필터부를 활용하여 누출가스를 정화시킴으로써, 누출가스의 외부 유출을 원천적으로 차단할 수 있다.

Description

내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷{Gas cabinet with purification filter applied inside}
본 발명은 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷에 관한 것으로서, 내측에 가스실린더(10)가 설치되는 설치공간(111)이 형성되고, 전면에 도어(112)가 형성되는 본체부(110);와, 상기 본체부(110)의 내측 후면측에 형성되는 덕트부(120);와, 상기 본체부(110)의 내측 상부측에 형성되어 상기 설치공간(111)과 구획되는 별도의 구획공간(131)을 제공하고 상기 덕트부(120)와 연결되되, 제1 순환공(132)과 제2 순환공(133)이 각각 형성되고, 상기 제1, 2 순환공(132, 133)의 반대편에 배출공(134)이 형성되며, 조작여부에 따라 제1 순환공(132) 또는 제2 순환공(133) 중 어느 하나를 폐쇄하는 폐쇄도어(135)가 형성되는 구획플레이트(130);와, 상기 구획플레이트(130)의 상부측에 형성되는 정화필터부(140); 및 상기 정화필터부(140)의 전면측에 형성되는 브로워부(150);로 구성되는 것을 특징으로 하는 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체나 디스플레이를 제조하거나 연구하는 곳에서는 여러 가지 공정 및 연구과제들이 수행되며 각각 수행되는 목적에 따라 다양한 가스가 이용된다.
이러한 가스의 원활한 공급을 위하여 통상 가스 캐비넷(gas cabinet)으로 불리는 장비를 사용하고 있으며, 가스 캐비넷에는 적어도 하나 이상의 공정가스를 저장하고 공급하는 가스용기를 포함하고 있으며, 그 가스용기의 가스를 인출하여 공정실로 공급하는 공급배관과 가스 누출시 누출된 가스를 외부로 배기하는 배기배관을 포함하고 있다. 한편, 사용되는 가스종류에 따라 배기배관이 적용된 가스 캐비넷과 미적용된 가스 캐비넷이 제작된다. 특히, 배기배관이 적용되는 가스 캐비넷의 경우, 가스 캐비넷의 위치가 고정되고, 외부에 스크러버(scrubber)가 반드시 연결되어야 한다.
이와 같은 가스 캐비넷은 사용 목적과 가스 공급의 균일성 확보를 위하여 다양한 구조를 가지고 있다.
이중 하기 특허문헌 1의 “일체형 가스 캐비넷(대한민국 등록실용신안공보 제20-0240881호)”는 다수의 공정 장비에 각각 대응할 수 있는 분기 구조를 갖는 가스 배출관;과 상기 가스 배출관의 각 분기점의 소정 위치에 각각 설치된 다수의 분기 밸브;와, 상기 가스 배출관의 분기 구조에 대응하는 분기 구조를 가지며, 각 분기점이 상기 가스 배출관의 대응하는 각 분기점의 소정 위치에 각각 연결되는 세정관; 및 상기 세정관의 각 분기점의 소정 위치에 각각 설치된 다수의 세정 밸브로 이루어지는 것이 특징으로서, 이로 인하여, 가스에 대한 안전문제를 확보하면서도 설치비용과 점유 면적을 절감할 수 있으며, 설치 간소화를 통해 유지 관리의 효율화를 실현할 수 있다는 장점이 있었다.
그러나, 상기 특허문헌 1의 “일체형 가스 캐비넷”은 기존 가스 캐비넷을 이동하거나 변경하기 위해서 이동한 위치에 가스 배출관(스크러버)을 증설하여 연결해야 하는 시공이 반드시 필요하기 때문에 시간 및 비용 소요가 추가된다는 문제점이 있었다.
또한, 가스 캐비넷의 설치 위치에 따라 가스 캐비넷과 가스 배출관의 거리가 멀어져 흡입되는 압력이 낮아 배기효율이 떨어진다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1: 대한민국 등록실용신안공보 제20-0240881호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 스크러버를 별도로 설치하지 않고, 가스 누출시, 가스 캐비넷 내부에 설치된 정화필터부를 활용하여 누출가스를 정화시킴으로써, 누출가스의 외부 유출을 원천적으로 차단할 수 있는 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷을 제공하는 것이다.
또한, 가스 캐비넷 내부에 온도 변화에 따른 수분 발생시 수분을 제거하기 위한 에어히터부재를 형성하여 가스 실린더에 결로현상이 발생하는 것을 방지할 수 있는 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷을 제공하는 것이다.
또한, 이동안내윙을 설치함으로써, 에어히터부재를 통해 배출되는 가열된 공기가 가스 캐비넷 측으로 원활하게 이동되는 것을 가능하게 하고, 가스 실린더의 점검 또는 교체를 위해 작업자가 가스 캐비넷에 접근 시, 작업자에게 가열된 공기가 접촉되는 것을 방지하여 작업간 안전사고를 예방할 수 있는 가스 캐비넷을 제공하는 것이다.
또한, 가스 캐비넷의 내부 상황에 따라 브로워부의 구동효율을 조절하여 에너지 절감 및 정화필터부의 수명을 연장시킬 수 있는 가스 캐비넷을 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷는, 내측에 가스실린더(10)가 설치되는 설치공간(111)이 형성되고, 전면에 도어(112)가 형성되는 본체부(110);와. 상기 본체부(110)의 내측 후면측에 형성되는 덕트부(120);와, 상기 본체부(110)의 내측 상부측에 형성되어 상기 설치공간(111)과 구획되는 별도의 구획공간(131)을 제공하고 상기 덕트부(120)와 연결되되, 제1 순환공(132)과 제2 순환공(133)이 각각 형성되고, 상기 제1, 2 순환공(132, 133)의 반대편에 배출공(134)이 형성되며, 조작여부에 따라 제1 순환공(132) 또는 제2 순환공(133) 중 어느 하나를 폐쇄하는 폐쇄도어(135)가 형성되는 구획플레이트(130);와, 상기 구획플레이트(130)의 상부측에 형성되는 정화필터부(140); 및 상기 정화필터부(140)의 전면측에 형성되는 브로워부(150);로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 정화필터부(140)는, 상기 본체부(110)의 내측 후면측에서 전면측으로 흡습제필터(141), 케미컬필터(142), 헤파필터(143) 순으로 설치되고, 상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되지 않은 상태에서는, 상기 폐쇄도어(135)가 상기 제1 순환공(132)을 폐쇄한 상태에서 상기 브로워부(150)가 작동되어 상기 본체부(110) 내측의 공기가 상기 덕트부(120)를 지나 상기 제2 순환공(133)을 통해 상기 흡습제필터(141), 상기 케미컬필터(142) 및 상기 헤파필터(143) 순으로 통과한 후 상기 배출공(134)으로 배출되어 순환되고, 상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되면, 상기 폐쇄도어(135)가 상기 제2 순환공(133)을 폐쇄한 상태에서 상기 브로워부(150)가 작동되어 상기 본체부(110) 내측의 누출가스가 상기 덕트부(120)를 지나 상기 제1 순환공(132)을 통해 상기 케미컬필터(142) 및 상기 헤파필터(143)를 통과한 후 상기 배출공(134)으로 배출되어 순환되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배출공(134)의 상부에는 상기 가스실린더(10)에 결로현상이 발생하는 경우, 상기 본체부(110)의 내측에 순환하는 공기를 가열시키는 에어히터부재(160)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 배출공(134)의 하부에는 가열된 공기가 상기 가스실린더(10)측으로 이동되는 것을 가이드하도록 각도가 조절되는 이동안내윙(170)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가스실린더(10)에는 상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되는 경우, 상기 가스실린더(10)의 입구를 폐쇄시키는 폐쇄밸브(180)가 형성되는 것을 특징으로 한다.
이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 스크러버를 별도로 설치하지 않고, 가스 누출시, 가스 캐비넷 내부에 설치된 정화필터부를 활용하여 누출가스를 정화시킴으로써, 누출가스의 외부 유출을 원천적으로 차단할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 가스 캐비넷 내부에 온도 변화에 따른 수분 발생시 수분을 제거하기 위한 에어히터부재를 형성하여 가스 실린더에 결로현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 이동안내윙을 설치함으로써, 에어히터부재를 통해 배출되는 가열된 공기가 가스 캐비넷 측으로 원활하게 이동되는 것을 가능하게 하고, 가스 실린더의 점검 또는 교체를 위해 작업자가 가스 캐비넷에 접근 시, 작업자에게 가열된 공기가 접촉되는 것을 방지하여 작업간 안전사고를 예방할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 가스 캐비넷의 내부 상황에 따라 브로워부의 구동효율을 조절하여 에너지 절감 및 정화필터부의 수명을 연장시킬 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷의 내부 모습을 보인 내부도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷의 구성 중 정화필터부의 모습을 보인 단면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷의 구성 중 가스 누출여부에 따라 공기 또는 누출가스의 이동경로를 보인 실시예도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷의 구성 중 에어히터부재가 구동될 때의 모습을 보인 내부도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷의 작동과정을 보인 블럭도
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 1 또는 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100)은 크게, 본체부(110), 덕트부(120), 구획플레이트(130), 정화필터부(140) 및 브로워부(150)로 구성된다.
설명에 앞서, 본 발명의 일 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100)은 그 작동이 원활히 이루어질 수 있도록 구동모터, 센서, 제어부, 전원인가장치 및 연동되는 구동요소들을 포함한 것으로서, 상기 구동요소들을 구성하고 작동되는 원리는 본 발명이 속하는 분야에서 널리 알려진 수준의 기술수준에 해당하므로, 상세한 설명은 생략한다.
먼저, 본체부(110)에 대하여 설명한다. 상기 본체부(110)는 도 1 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 가스가 충진된 가스실린더(10)가 수용되는 구성요소로서, 내부에 음압이 형성될 수 있고, 상기 가스실린더(10)로부터 가스가 누출시 외부로 유출되는 것을 방지하기 위해 완전히 밀폐되는 구조로 이루어진 구성요소로서, 상기 본체부(110)의 내측에는 상기 가스실린더(10)가 설치되는 설치공간(111)이 형성된다.
또한, 상기 본체부(110)의 전면에는 사용자가 열고 닫을 수 있는 도어(112)가 형성된다.
한편, 상기 가스실린더(10)에는 폐쇄밸브(180)가 더 형성됨으로써, 상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되는 경우, 제어부(미도시)의 신호에 의해 상기 가스실린더(10)의 입구를 폐쇄시켜 가스가 지속적으로 누출되는 것을 방지해 준다.
다음으로, 덕트부(120)에 대하여 설명한다. 상기 덕트부(120)는 도 1 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 본체부(110)의 내측 후면측에 설치되어 상기 본체부(110) 내측의 공기 또는 상기 가스실린더(10)로부터 누출된 가스를 후술할 정화필터부(140)로 이동시키는 덕트로서, 상기 덕트부(120)의 선단은 후술할 구획플레이트(130)의 제1, 2 순환공(132, 133)과 연통되도록 연결되고, 말단은 상기 가스실린더(10) 측으로 꺾여 공기 또는 누출가스의 이동이 원활하도록 형성된다.
한편, 상기 덕트부(120)는 탈, 부착이 가능하게 형성되어 이동 및 설치가 용이하도록 하는 것이 가능하다.
한편, 상기 덕트부(120)의 내측에는 상기 가스실린터(10)로부터 가스가 누출되는 경우, 누출된 가스를 감지하는 가스감지센서(190)가 설치되는 것이 바람직하다.
다음으로, 구획플레이트(130)에 대하여 설명한다. 상기 구획플레이트(130)는 도 1 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 본체부(110)의 내측 상부측에 형성되어 설치공간(111)과 별개로 구획공간(131)을 제공하여 상기 정화필터부(140), 후술할 브로워부(150) 및 에어히터부재(160)가 설치되도록 하는 구성요소로서, 제1, 2 순환공(132, 133), 배출공(134) 및 폐쇄도어(135)로 이루어진다.
상기 제1 순환공(132)는 상기 구획플레이트(130)의 후면측에 통공형성되어 상기 덕트부(120)와 연통되는 구성요소로서, 상기 가스실린더(10)로부터 가스가 누출되는 경우, 상기 덕트부(120)를 통해 이동되는 누출가스가 상기 정화필터부(140)의 구성 중 케미컬필터(142)로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.
상기 제2 순환공(133)는 상기 제1 순환공(132)보다 후면측에 통공형성되어 상기 덕트부(120)와 연통되는 구성요소로서, 평상시 상기 본체부(110)의 내측 공기가 상기 덕트부(120)를 통해 상기 정화필터부(140)의 구성 중 흡습제필터(141)로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.
상기 폐쇄도어(135)는 상기 구획플레이트(130)의 후면측 하부에 슬라이딩 되도록 설치되는 구성요소로서, 제어부(미도시)의 제어 또는 작업자의 설정에 따라 상기 제1 순환공(132)을 폐쇄하거나 상기 제2 순환공(133)을 폐쇄하여 둘 중 하나만 개방된 상태를 유지시켜 주는 역할을 한다.
이와 같은 구성을 통해, 누출가스가 상기 흡습제필터(141)를 거치지 않게 됨으로써, 상기 흡습제필터(141)에 존재하는 수분과 누출가스가 서로 화학적으로 반응하는 것을 방지하여 이로 인한 안전사고를 예방할 수 있게 해 준다.
상기 배출공(134)은 상기 구획플레이트(130)의 전면측. 즉, 상기 제1, 2 순환공(132, 133)의 반대편에 통공형성되는 구성요소로서, 상기 정화필터부(140)를 통해 정화된 공기가 다시 상기 본체부(110)의 내측으로 공급되는 것을 가능하게 해 준다.
한편, 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 배출공(134)의 상부에는 히팅기능의 에어히터부재(160)가 형성됨으로써, 상기 본체부(110) 내측의 온도변화로 인해 습도감지센서(미도시)가 결로 또는 설정치 이상의 습도를 감지하면, 상기 에어히터부재(160)가 작동하여 공기를 가열시켜 결로방지 또는 습기가 제거되는 것을 가능하게 한다.
한편, 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 배출공(134)의 하부에는 제어부(미도시)의 제어 또는 작업자의 설정에 따라 각도가 조절되는 이동안내윙(170)이 형성됨으로써, 가열된 공기가 상기 가스실린더(10)측으로 이동되는 것을 가이드하고, 작업자가 상기 본체부(110)의 내부를 점검하거나 상기 가스실린더(10)를 교체하는 경우, 가열된 공기가 작업자에게 이동하는 것을 차단해 준다.
다음으로, 정화필터부(140)에 대하여 설명한다. 상기 정화필터부(140)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 구획공간(131)에 형성되어 누출가스를 정화시키는 구성요소로서, 상기 본체부(110)의 내측 후면측에서 전면측으로 흡습제필터(141), 케미컬필터(142), 헤파필터(143) 순으로 설치된다.
상기 흡습제필터(141)는 양측에 SAP Paper가 형성되고, 그 사이에 실리카 겔 등이 충진되는 필터로서, 상기 흡습제필터(141)는 상기 제2 순환공(133)을 통해 이동되는 공기는 통과되고, 상기 제1 순환공(132)을 통해 이동되는 누출가스는 적용되지 않는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 케미컬필터(142)는 사용되는 가스종류에 따라 그 종류 변경이 가능한 필터로서, 일 실시예로 화학점착식 활성탄 또는 이온수지를 기본으로 구성하는 것이 바람직하다.
한편, 케미컬필터(142)는 상기 제1 순환공(132)을 통해 이동되는 누출가스가 통과되는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 헤파필터(143)는 상기 케미컬필터(142)의 전면측에 위치하여 상기 본체부(110)의 내측에 존재하는 파티클 등의 이물질을 걸러주는 필터이다.
상기와 같은 구성을 통해, 상기 가스실린더(10)로부터 가스가 누출되지 않은 상태에서는 상기 폐쇄도어(135)가 상기 제1 순환공(132)을 폐쇄한 상태에서 상기 브로워부(150)가 작동되어 상기 본체부(110) 내측의 공기가 상기 덕트부(120)를 지나 상기 제2 순환공(133)을 통해 상기 흡습제필터(141), 상기 케미컬필터(142) 및 상기 헤파필터(143) 순으로 통과한 후 상기 배출공(134)으로 배출되어 순환되고, 상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되면, 상기 폐쇄도어(135)가 상기 제2 순환공(133)을 폐쇄한 상태에서 상기 브로워부(150)가 작동되어 상기 본체부(110) 내측의 누출가스가 상기 덕트부(120)를 지나 상기 제1 순환공(132)을 통해 상기 케미컬필터(142) 및 상기 헤파필터(143)를 통과한 후 상기 배출공(134)으로 배출되어 순환된다.
다음으로, 브로워부(150)에 대하여 설명한다. 상기 브로워부(150)는 도 1 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 정화필터부(140)의 전면측에 형성되어 정화된 공기 또는 가열된 공기를 상기 본체부(110)의 내부로 순환시키는 구성요소이다.
이하에서는 도 5를 참고하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100)의 작동과정을 설명하기로 한다.
작동과정은 총 3가지로 정상시, 가스실린더(10) 교체시, 가스 누출시로 구분한다.
먼저, 정상시에는 상기 본체부(110)의 내측에 상기 가스실린더(10)를 설치하고, 상기 도어(112)를 폐쇄한 후 제어부(미도시)를 통해 동작 S/W를 ON시킨다.
이후, 상기 본체부(110)의 내측에 누출되는 가스가 발생하지 않으면 10%∼20% 사이로 상기 브로워부(150)를 가동시켜 내부 공기를 순환시킨다.
다음으로, 상기 가스실린더(10) 교체시에는 상기 도어(112)를 개방하고, 상기 도어(112)의 개방을 제어부(미도시)에서 인식하면, 브로워부(150)를 70%로 가동시키고, 상기 가스실린더(10) 교체 후 상기 도어(112)를 폐쇄시키면 제어부(미도시)를 통해 상기 브로워부(150)를 다시 20%로 가동시킨다.
다음으로, 상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되는 경우에는 먼저, 가스 검출 알람을 출력하고 동시에 상기 도어(112)를 강제적으로 잠가 누출가스의 외부 유출을 막는다.
이후, 상기 가스실린더(10)에 설치된 폐쇄밸브(180)가 상기 가스실린더(10)의 입구를 폐쇄하고, 상기 브로워부(150)를 100% 가동시켜 상기 정화필터부(140)를 통해 누출가스를 빠르게 정화시킨다. 다음으로, 상기 본체부(110)의 내측에 누출가스가 검출되지 않으면 상기 도어(112)의 강제잠금을 해제하고, 상기 브로워부(150)는 다시 20%로 가동시킨다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100: 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷
110: 본체부 111: 설치공간
112: 도어
120: 덕트부
130: 구획플레이트 131: 구획공간
132: 제1 순환공 133: 제2 순환공
134: 배출공 135: 폐쇄도어
140: 정화필터부 141: 흡습제필터
142: 케미컬필터 143: 헤파필터
150: 브로워부
160: 에어히터부재
170: 이동안내윙
180: 폐쇄밸브
190: 가스감지센서

Claims (5)

  1. 내측에 가스실린더(10)가 설치되는 설치공간(111)이 형성되고, 전면에 도어(112)가 형성되는 본체부(110);
    상기 본체부(110)의 내측 후면측에 형성되는 덕트부(120);
    상기 본체부(110)의 내측 상부측에 형성되어 상기 설치공간(111)과 구획되는 별도의 구획공간(131)을 제공하고 상기 덕트부(120)와 연결되되, 제1 순환공(132)과 제2 순환공(133)이 각각 형성되고, 상기 제1, 2 순환공(132, 133)의 반대편에 배출공(134)이 형성되며, 조작여부에 따라 제1 순환공(132) 또는 제2 순환공(133) 중 어느 하나를 폐쇄하는 폐쇄도어(135)가 형성되는 구획플레이트(130);
    상기 구획플레이트(130)의 상부측에 형성되는 정화필터부(140); 및
    상기 정화필터부(140)의 전면측에 형성되는 브로워부(150);로 구성되고,
    상기 정화필터부(140)는,
    상기 본체부(110)의 내측 후면측에서 전면측으로 흡습제필터(141), 케미컬필터(142), 헤파필터(143) 순으로 설치되고,
    상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되지 않은 상태에서는, 상기 폐쇄도어(135)가 상기 제1 순환공(132)을 폐쇄한 상태에서 상기 브로워부(150)가 작동되어 상기 본체부(110) 내측의 공기가 상기 덕트부(120)를 지나 상기 제2 순환공(133)을 통해 상기 흡습제필터(141), 상기 케미컬필터(142) 및 상기 헤파필터(143) 순으로 통과한 후 상기 배출공(134)으로 배출되어 순환되고,
    상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되면, 상기 폐쇄도어(135)가 상기 제2 순환공(133)을 폐쇄한 상태에서 상기 브로워부(150)가 작동되어 상기 본체부(110) 내측의 누출가스가 상기 덕트부(120)를 지나 상기 제1 순환공(132)을 통해 상기 케미컬필터(142) 및 상기 헤파필터(143)를 통과한 후 상기 배출공(134)으로 배출되어 순환되는 것을 특징으로 하는 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100).
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 배출공(134)의 상부에는 상기 가스실린더(10)에 결로현상이 발생하는 경우, 상기 본체부(110)의 내측에 순환하는 공기를 가열시키는 에어히터부재(160)가 형성되는 것을 특징으로 하는 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100).
  4. 제3항에 있어서,
    상기 배출공(134)의 하부에는 가열된 공기가 상기 가스실린더(10)측으로 이동되는 것을 가이드하도록 각도가 조절되는 이동안내윙(170)이 형성되는 것을 특징으로 하는 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100).
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가스실린더(10)에는 상기 가스실린더(10)에서 가스가 누출되는 경우, 상기 가스실린더(10)의 입구를 폐쇄시키는 폐쇄밸브(180)가 형성되는 것을 특징으로 하는 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷(100).

KR1020200068912A 2020-06-08 2020-06-08 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷 KR102331968B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200068912A KR102331968B1 (ko) 2020-06-08 2020-06-08 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200068912A KR102331968B1 (ko) 2020-06-08 2020-06-08 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102331968B1 true KR102331968B1 (ko) 2021-11-25

Family

ID=78745797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200068912A KR102331968B1 (ko) 2020-06-08 2020-06-08 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102331968B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200240881Y1 (ko) 2001-05-10 2001-10-15 동부전자 주식회사 일체형 가스 캐비넷
JP2005013867A (ja) * 2003-06-26 2005-01-20 Hitachi Hometec Ltd 厨芥処理機
JP3939101B2 (ja) * 2000-12-04 2007-07-04 株式会社荏原製作所 基板搬送方法および基板搬送容器
US20080012458A1 (en) * 2006-03-17 2008-01-17 Mzander Fe Gmbh Gas Cabinet
KR20170119017A (ko) * 2016-04-15 2017-10-26 삼성디스플레이 주식회사 댐퍼 구조체 및 이를 포함하는 수납 챔버

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3939101B2 (ja) * 2000-12-04 2007-07-04 株式会社荏原製作所 基板搬送方法および基板搬送容器
KR200240881Y1 (ko) 2001-05-10 2001-10-15 동부전자 주식회사 일체형 가스 캐비넷
JP2005013867A (ja) * 2003-06-26 2005-01-20 Hitachi Hometec Ltd 厨芥処理機
US20080012458A1 (en) * 2006-03-17 2008-01-17 Mzander Fe Gmbh Gas Cabinet
KR20170119017A (ko) * 2016-04-15 2017-10-26 삼성디스플레이 주식회사 댐퍼 구조체 및 이를 포함하는 수납 챔버

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2287026B1 (en) Ventilating and air-conditioning apparatus for vehicle
KR101723460B1 (ko) 제습 시스템
KR101732351B1 (ko) 에너지 절감형 흄후드 시스템
US7900694B2 (en) Air conditioner for vehicle
KR101586123B1 (ko) 자동제어반 및 수배전반 부식방지 시스템
KR100776602B1 (ko) 공기 순환 시스템 및 그 제어방법
KR101344776B1 (ko) 시약장
KR102060950B1 (ko) 필터가 구비된 급배기챔버 및 이를 이용한 공기순환기
KR20140105143A (ko) 화물창 공기조화시스템
KR20200109528A (ko) 환기장치
JP6681995B2 (ja) 吸着材を交換できる浄化装置及びグローブボックス
KR101276193B1 (ko) 차량용 공기정화기
KR100623526B1 (ko) 폐열회수 환기장치 및 환기 제어 방법
KR102331968B1 (ko) 내부에 정화필터가 적용된 가스 캐비넷
KR101889003B1 (ko) 유해가스 정화가능한 면풍속 제어 흄후드 시스템
KR101929696B1 (ko) 통합형 환기 시스템을 포함하는 이온 주입기
KR102342941B1 (ko) 드라이룸의 부스 장치
KR20220003881A (ko) 환기 및 공기 청정 시스템
KR100866829B1 (ko) 크린벤치의 배기구에 설치된 자동 필터링 장치
KR101003556B1 (ko) 흄 배기장치
KR101483628B1 (ko) 흡착식 제습기 및 이의 제어방법
KR101543364B1 (ko) 유해가스 자동 제거장치
KR102602746B1 (ko) 스마트 공조장치
KR101500923B1 (ko) 필터식 겸용 환기식 시약장
CN113635949A (zh) 嵌套式动物转运隔离器

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant