CN1702391A - 清洁装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供不使用隔壁而能够保持清洁密封容器内的清洁环境、并且可以容易地取放物品的清洁装置。比清洁箱(11)的内部容积小地形成通道箱(32、33)的内部容积，并且将从副除尘装置(46、47)向通道箱(32、33)送出的空气的流速设定为比从主除尘装置(12)向清洁箱(11)送出的空气的流速快。

Description

清洁装置
技术领域
本发明涉及具有可将内部保持为除尘环境的清洁密封容器的清洁装置。
背景技术
在例如制造半导体等的绝对无尘室中，从通气口送出经过具备HEPA过滤器等的空气净化装置净化过的、含尘量极少的空气，由此将绝对无尘室内保持在高度清洁的环境下。这样的绝对无尘室的设置与在整个建筑物或隔开的楼面上设计、设置除尘装置或通风道这样的大规模的工程同时进行。而我们已经知道设置在室内的桌子上等、将分隔的一定的小区间保持在清洁环境下的被称为清洁密封容器等简易的绝对无尘室。
在使物品等从外部进出到这样的清洁密封容器内时，为了保持清洁密封容器内的清洁环境，需要尽量使大气不进入清洁密封容器内。因此，以往的清洁密封容器的结构为，与清洁密封容器相邻地设置通道箱等，在该通道箱的面向大气的开口上设置百叶窗或乙烯帘等隔壁，并且使清洁密封容器内为正压，在取放物品等时尽量使大气不进入清洁密封容器内。并且，还知道如专利文献1所示地、与绝对无尘室相邻形成连接腔、在该连接腔的开口处形成循环式气帘的装置。
[专利文献1]日本特开2000-297953号公报
但是，以往的在通道箱的面向大气的开口上设置百叶窗或乙烯帘等隔壁来保持清洁密封容器内的清洁环境的方法，依次打开隔壁等，从清洁密封容器中取放物品费事，存在误操作隔壁而污染清洁密封容器内的可能。并且，在小型的清洁密封容器中，由于开口面积相对于除尘清洁容器的容量来说比较大，因此存在隔壁打开时大气容易进入、污染清洁密封容器内的可能。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而被作出的，其目的是提供一种不使用隔壁而能够保持清洁密封容器内的清洁环境、并且可以容易地取放物品的清洁装置。
为了达到上述目的，本发明提供的清洁装置的特征在于，至少具有一个以上的清洁箱和通道箱，该清洁箱用于从对空气进行除尘的主除尘装置中送出的除尘后的空气流入，该通道箱与上述清洁箱相邻配置、用于从对空气进行除尘的副除尘装置中送出的除尘后的空气流入；形成上述通道箱，使上述通道箱的内部容积比上述清洁箱的内部容积小，并且将从上述副除尘装置向上述通道箱送出的空气的流速设定为比从上述主清洁装置向上述清洁箱送出的空气的流速快。
上述通道箱被形成为底面可以通气，至少在上述底面确保空气流通就可以。只要在上述通道箱的第1侧面形成向上述清洁箱开口的第1开口，在与上述第1侧面相对的第2侧面上形成向大气开口的第2开口就可以。
发明的效果
如果采用本发明的清洁装置，通过比清洁箱的内部容积小地形成通道箱的内部容积，并且将从副除尘装置向通道箱送出的空气的流速设定为比主除尘装置向清洁箱送出的空气的流速快，由此，即使清洁箱处于总是通过通道箱开放的状态下，也能够将清洁箱内的清洁度保持在预定的水平。
附图说明
图1是表示本发明的清洁装置的分解立体图。
图2是本发明的清洁装置的正面俯视图。
图3是表示本发明的清洁装置的作用的说明图。
图4是表示进行本发明的验证时的测定点的说明图。
图5是表示本发明的验证结果的说明图。
具体实施方式
下面结合附图说明本发明的实施例。图1为表示本发明的清洁装置的结构的一例的外观立体图。并且，图2为其正面俯视图。作为可设置在桌子上等的小型绝对无尘室的清洁装置10由主装置31、和通道箱32、33构成，该主装置31包括清洁箱11、主除尘装置12和循环部30，该通道箱32、33分别邻接清洁箱11两侧而被配置。
清洁箱11可以将例如实施了防带电处理的透明丙烯板固定在由例如铝制骨材等形成的矩形框体上形成。形成为在这样的清洁箱11的内部收容需要放置在清洁环境下的装置等、例如500mm3大小的小型立方体就可以。
在清洁箱11的前面一侧形成确保正压排气口18。该确保正压排气口18是由开闭自如的挡板19覆盖的结构就可以。
在清洁箱11的两侧分别形成有在后述的通道箱32、33之间打开的开口34、35。通过这样的开口34、35，清洁箱11与通道箱32、33之间总是处于打开状态。在清洁箱11的背面下部形成有通气口38。该通气口38起到使空气在与循环部30之间流动成为可能、在主装置31的空气循环的过程中使清洁箱11内的空气流入到循环部30的作用。
主除尘装置12被设置在清洁箱11和循环部30的上部，具备风扇36和过滤器装置37。风扇36通过旋转而对过滤器37一侧加压。过滤器装置37内装有以玻璃棉为主要材料的纸状过滤器，例如HEPA(High Efficiency Particulate Air，高效空气微粒)过滤器。为了提高集尘效果，HEPA过滤器可以使表面积大的物质弯曲收容到其中，通过惯性、扩散、冲击作用于过滤器3也能够捕捉1μm以下的微细尘埃。
从这样的过滤器装置37的下面供给例如1立方英尺中微细尘埃在10个以下的清洁的空气。另外，用于过滤器装置37的过滤材料除上述HEPA过滤器以外，还可以使用例如ULPA(Ultra Low ParticulateAir，超低透过率空气)过滤器等性能更高的过滤器。可以从这种结构的主除尘装置12以例如0.45m/s的流速向清洁箱11送出除尘后的空气。
在清洁箱11的后背部形成有循环部30。循环部30起连接清洁箱11的通气口38和主除尘装置12的风扇36的通风道的作用，使从主除尘装置12吹入到清洁箱11的空气再次回到主除尘装置12，形成主装置31的空气循环工序。
在这样的循环部30的一端还可以设置给气风扇39。给气风扇39将一定量的大气导入到主装置31内，保持清洁箱11内为加压环境。
在上述结构的主装置31中，从给气风扇39或通气口38流入到循环部30的空气由主除尘装置12的风扇36送至过滤器装置37，由构成过滤器装置37的HEPA过滤器等除尘到预定的清洁度(例如0.3μm基准的10级)。
这样一来，由过滤器装置37除尘到预定清洁度的清洁空气流入到清洁箱11。清洁箱11由除尘到预定清洁度的清洁空气充满。然后，清洁箱11内的空气通过通气口38再次回到循环部30。这样形成主装置31内的空气的循环工序(虚线箭头R)。
在清洁箱11的两侧面上分别连接的通道箱32、33可以由例如实施了防带电处理的透明丙烯板构成，形成例如200mm3大小的小型立方体。
这样的通道箱32、33的内部容积被形成为比清洁箱11的内部容积小。例如，当清洁箱11的内部容积被形成为500mm3时，通道箱32、33的内部容积被形成为200mm3。
在通道箱32、33的与清洁箱11相对的第1侧面32a、33a上分别形成有与清洁箱11的开口34、35分别对应的第1开口41、42。通过这样分别相对地形成第1开口41、42和清洁箱11的开口34、35，在通道箱32、33上分别形成与清洁箱11相对的一直打开的打开面。
在通道箱32、33的与第1侧面32a、33a相对的第2侧面32b、33b上分别形成向大气开口的第2开口43、44。通过这样面向大气的第2开口43、44和面向清洁箱11的第1开口41、42而形成从清洁箱11经过通道箱32、33到达大气的没有隔壁的连续的打开通道P。
通道箱32、33的底面32c、33c成为可以通气的打开面。这样的底面32c、33c可以由例如金属网或冲孔板等、可以通气且通过通道箱32、33从清洁箱11中取放的物品不会掉下的材料构成。
在通道箱32、33的上部分别设置有副除尘装置46、47。副除尘装置46、47分别具备风扇51、52和过滤器装置53、54。风扇51、52通过旋转而对过滤器装置53、54一侧加压。
过滤器53、54也可以与主除尘装置12的过滤器装置37一样内装有例如HEPA过滤器。从这样的过滤器装置53、54的下面供给例如1立方英尺中的微细尘埃在100个以下的洁净的空气。另外，过滤器装置37使用的过滤材料除上述HEPA过滤器外，还可以使用例如ULPA(Ultra Low Particulate Air，超低透过率空气)过滤器等性能更高的过滤器。
从这样的副除尘装置46、47以比主除尘装置12送给清洁箱11的空气快的流速向通道箱32、33送出除尘后的空气。当从主除尘装置12送出的空气的流速设定为0.45m/s时，可以从副除尘装置46、47以例如1.1m/s的流速向通道箱32、33送出除尘后的空气。并且，从副除尘装置46、47送出的洁净空气从通道箱32、33的可通气的底面32c、33c排出。由此，确保通道箱32、33的底面32c、33c总是空气流通。
如上所述，在清洁装置10中，通过比清洁箱11的内部容积小地形成通道箱32、33的内部容积，并且将从副除尘装置46、47向通道箱32、33送出的空气的流速设定为比主除尘装置12向清洁箱11送出的空气的流速大，即使清洁箱11处于总是通过通道箱32、33打开的状态，也能够将清洁箱11内的清洁度保持在预定的水平。
下面说明本发明的清洁装置的作用。清洁装置10通过清洁箱11在通道箱32、33之间形成打开面，该通道箱32、33通过第2开口43、44向大气打开。即，清洁箱11形成通过通道箱32、33的与大气之间不存在隔壁的打开通道P。
虽然通过百叶窗等隔壁保持清洁箱内的清洁度的方式只要提高清洁箱内的静压就可以，但是，在本发明的清洁装置10中，清洁箱11通过通道箱32、33一直向大气打开，通过清洁箱11的静压和主除尘装置12或副除尘装置46、47送出的空气的流速产生的动压来确保清洁箱11内的清洁度。
因此，通过将从副除尘装置46、47向通道箱32、33送出的空气的流速设定为比主除尘装置12送出清洁箱11中的空气的流速快，确保通道箱32、33的底面32c、33c总是空气流通，由此，能够使通道箱32、33的静压和动压形成的全压比清洁箱11的全压高，即使不设置隔壁也能够将清洁箱11内的清洁度保持在预定的水平。
如果像本发明的清洁装置10这样，不设置隔壁等而保持清洁箱11内的清洁度，则能够显著地使从清洁箱11内取放物品等时的操作变得容易，还能够消除因隔壁操作过程的失误引起的清洁箱内的污染。并且，通过形成从通道箱32经由清洁箱11到达通道箱33的直线状的打开的打开通道P，而能够使例如包括要求清洁度的制造工序的制造线连续动作并保持其清洁度。
例如，如图3a所示，在0.3μm粒子直径的基准中，本发明的清洁装置10在通道箱32、33的面向大气的第2开口43、44附近为30000级左右，但在通道箱32、33的静压和动压构成的全压的作用下，通道箱32、33的靠近清洁箱11的部分保持在200级的清洁度。并且，在这样的被通道箱32、33夹着的清洁箱11内能够达到10级的清洁度。
并且，例如，如图3b所示，在0.5μm粒子直径的基准中，在通道箱32、33的面向大气的第2开口43、44附近为10000级左右，但在通道箱32、33的静压和动压构成的全压的作用下，通道箱32、33的靠近清洁箱11的部分保持在100级的清洁度。清洁箱11内能够达到1级的清洁度。
(实施例)
本申请人验证了本发明的效果。在验证时，准备了图1、2所示的清洁装置10。清洁箱11使用了大小为350×350×430(mm)的丙烯制材料。2个通道箱32、33分别使用了大小为180×180×220(mm)的丙烯制材料。主除尘装置12使用0.3μm粒子直径基准的具有10级除尘能力的材料。并且，副除尘装置46、47使用0.3μm粒子直径基准的具有200级除尘能力的材料。
使用上述的清洁装置10，使主除尘装置12的空气的流速在0.15m/s、0.45m/s这2级中变化，使副除尘装置46、47的空气的流速在0m/s(OFF)、0.4m/s、1.1m/s这3级中变化。并且，在为清洁箱11和通道箱32、33设定的多个测定点上，用微粒计数器测量了0.3μm粒子直径基准和0.5μm粒子直径基准的1立方英尺中的微粒数(级)。图4中用带圈的数字表示了验证所使用的清洁装置10中的测定点的位置。这种带圈的表示测定点的数字与稍后表示的测定结果的各表中的测定点的项目相对应。
在表1中，表示在0.3μm粒子直径基准下、使主除尘装置12和副除尘装置46、47的流速变化、在主要的测定点测定了微粒数(级)的结果。同样，在表2中，表示在0.5μm粒子直径基准下、使主除尘装置12和副除尘装置46、47的流速变化、在主要的测定点测定了微粒数(级)的结果。
(表1)
0.3μm基准
[表2]
0.5μm基准
根据表1及表2的验证结果可以确认，通过增加主除尘装置12和副除尘装置46、47的流速，各测定点的微粒数(级)就减少。并且，通过使副除尘装置46、47的流速比主除尘装置12的流速快，即，通过通道箱32、33的空气的流速比清洁箱11的空气的流速快，清洁箱11内能够获得0.3μm粒子直径基准的10级左右的清洁度，0.5μm粒子直径基准的1级以下的清洁度。
对根据该表1、表2所示的结果进行各测定点的清洁度的相对评价的结果，将0.3μm粒子直径基准表示在表3中，将0.5μm粒子直径基准表示在表4中。并且，将该表3、表4所示的各测定点的清洁度的相对评价记录到清洁装置的测定点中的结果表示在图5中。
[表3]
0.3μm基准
AAA  0～9
AA   10～99
A    100～499
B    500～5,000
C    5001以上
Figure A20051007594700121
[表4]
0.5μm基准
AAA  仅为0
AA   1～49
A    50～500
B    501～2,000
C    2002以上
根据表3、表4及图5所示的相对评价结果可以知道，通过提高主除尘装置12及副除尘装置46、47的流速，清洁箱11内的清洁度显著提高，确认本发明的清洁装置的效果。

Claims (3)

1.一种清洁装置，其特征在于，至少具有一个以上的清洁箱和通道箱，该清洁箱用于从对空气进行除尘的主除尘装置送出的除尘后的空气的流入，该通道箱与上述清洁箱相邻配置、用于从对空气进行除尘的副除尘装置送出的除尘后的空气的流入，
形成上述通道箱，使上述通道箱的内部容积比上述清洁箱的内部容积小，并且将从上述副除尘装置向上述通道箱送出的空气的流速设定为比从上述主除尘装置向上述清洁箱送出的空气的流速快。
2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，上述通道箱形成为底面可以通气，至少在上述底面确保空气流通。
3.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，在上述通道箱的第1侧面形成向上述清洁箱开口的第1开口，在与上述第1侧面相对的第2侧面形成向大气开口的第2开口。
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