JP3067325B2 - クリーンルーム用気密ストッカー - Google Patents
クリーンルーム用気密ストッカーInfo
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- JP3067325B2 JP3067325B2 JP3269781A JP26978191A JP3067325B2 JP 3067325 B2 JP3067325 B2 JP 3067325B2 JP 3269781 A JP3269781 A JP 3269781A JP 26978191 A JP26978191 A JP 26978191A JP 3067325 B2 JP3067325 B2 JP 3067325B2
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内にお
いて、半導体ウエハカセット等を一時的に保管するクリ
ーンルーム用気密ストッカーに関する。
いて、半導体ウエハカセット等を一時的に保管するクリ
ーンルーム用気密ストッカーに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の処理は、従来は、ウエハのパー
ティクル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の
高密度化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面
の自然酸化膜の影響が問題となり始め、この自然酸化膜
の成長を防止するため、ウエハの移動、搬送等を不活性
ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2Ｏの濃度が１０
０ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要求されている。
ティクル汚染が問題になっていたが、半導体集積回路の
高密度化が進むに従い、空気中の酸素によるウエハ表面
の自然酸化膜の影響が問題となり始め、この自然酸化膜
の成長を防止するため、ウエハの移動、搬送等を不活性
ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気中で行なう必要が生じ、現在で
は、Ｏ2 の濃度が１０ｐｐｍ以下、Ｈ2Ｏの濃度が１０
０ｐｐｍ以下であるＮ2 ガス雰囲気が要求されている。
【０００３】このため、従来、特別に設計したクリーン
ルーム内で行なわれてきた半導体処理を、当該クリーン
ルーム内に、例えば特開昭６０−１４３６２３号公報に
開示されているような機械的インターフェース装置を設
置して、この機械的インターフェース装置内を上記Ｎ２
ガス雰囲気とし、当該装置内で行なうようになった。
ルーム内で行なわれてきた半導体処理を、当該クリーン
ルーム内に、例えば特開昭６０−１４３６２３号公報に
開示されているような機械的インターフェース装置を設
置して、この機械的インターフェース装置内を上記Ｎ２
ガス雰囲気とし、当該装置内で行なうようになった。
【０００４】これに伴い、半導体製造工程間で一時的に
半導体ウエハを保管するストッカーも、その内部を常時
Ｎ2 ガス雰囲気とする必要が生じてきた。
半導体ウエハを保管するストッカーも、その内部を常時
Ｎ2 ガス雰囲気とする必要が生じてきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のこの
種のストッカーは、周囲雰囲気に対して充分な気密性を
有しておらず、ドア開閉時には、ストッカー内部全体が
周囲雰囲気に連通してしまうので、その都度、大量のＮ
２ガスをストッカー内に送り込まなくてはならない。大
量のＮ２ガスをストッカー内に送り込むと、ストッカー
内に乱流が生じて、塵埃が浮遊したり、各カセット収納
室のＮ２ガス濃度が不均一になったりするという問題が
あり、また、ストッカーの構造が複雑で、大形化すると
いう問題があった。
種のストッカーは、周囲雰囲気に対して充分な気密性を
有しておらず、ドア開閉時には、ストッカー内部全体が
周囲雰囲気に連通してしまうので、その都度、大量のＮ
２ガスをストッカー内に送り込まなくてはならない。大
量のＮ２ガスをストッカー内に送り込むと、ストッカー
内に乱流が生じて、塵埃が浮遊したり、各カセット収納
室のＮ２ガス濃度が不均一になったりするという問題が
あり、また、ストッカーの構造が複雑で、大形化すると
いう問題があった。
【０００６】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、カセット出し入れ時に、出し入れするカセッ
ト収納室を除く他部を外部雰囲気に対して気密に遮断す
ることができ、カセット出し入れ時のＮ２ガス濃度の変
動や塵埃の舞い上がり等を防止して、従来に比し、半導
体製造歩留りを高めることができるクリーンルーム用気
密ストッカーを提供することを目的とする。
たもので、カセット出し入れ時に、出し入れするカセッ
ト収納室を除く他部を外部雰囲気に対して気密に遮断す
ることができ、カセット出し入れ時のＮ２ガス濃度の変
動や塵埃の舞い上がり等を防止して、従来に比し、半導
体製造歩留りを高めることができるクリーンルーム用気
密ストッカーを提供することを目的とする。
【０００７】本発明は上記目的を達成するため、請求項
１では、 上下部に開口を有し内部にＮ２ガスパージ空
間を有する筒体のストッカーケーシングと、このストッ
カーケーシングの上記Ｎ２ガスパージ空間を区画する壁
内面との間にガス流路を区画して収納された回転型のス
トッカー本体と、当該ストッカー本体を回転駆動する回
転機構と、このストッカー本体の回転位置を検知する位
置センサと、上記ストッカーケーシングの上部開口を覆
うフィルターを通して当該ストッカーケーシング内にＮ
２ガスを注入する給気チャンバーと、当該ストッカーケ
ーシングの下部開口を排気口とする排気装置を有し、上
記ストッカー本体は、下端が上記排気口側に向かって開
口した上端閉鎖の中空の支持筒の周りに円形に並び各々
が上記ガス流路に向かって開口するとともに上記中空の
支持筒に排気孔を通して連通するカセット収納室を複数
段にわたって有し、上記ストッカーケーシングは上記ス
トッカー本体の各段に対して１つづつ形成されたカセッ
ト出し入れ口と、当該カセット出し入れ口を密閉可能な
ドアユニットを有し、上記位置センサは、上記各カセッ
ト収納室が上記カセット出し入れ口と対向する所定位置
まで回転するとドア開許可信号を出力し、上記ドアユニ
ットは、カセット出し入れ口にケーシング半径方向スラ
イド可能に嵌合する可動枠と、１方側端が上記可動枠の
外面側端部に係合しストッカーケーシングに回動可能に
軸支されたレバー機能を有するドア本体と、上記カセッ
ト出し入れ口と上記可動枠との間をシールするベローズ
を有し、その開時、上記可動枠の内端部が上記カセット
収納室の開口端縁に形成されたシール部に気密に係合
し、上記所定位置にあるカセット収納室を上記ストッカ
ーケーシング内の他部と気密に遮断する構成とした。
１では、 上下部に開口を有し内部にＮ２ガスパージ空
間を有する筒体のストッカーケーシングと、このストッ
カーケーシングの上記Ｎ２ガスパージ空間を区画する壁
内面との間にガス流路を区画して収納された回転型のス
トッカー本体と、当該ストッカー本体を回転駆動する回
転機構と、このストッカー本体の回転位置を検知する位
置センサと、上記ストッカーケーシングの上部開口を覆
うフィルターを通して当該ストッカーケーシング内にＮ
２ガスを注入する給気チャンバーと、当該ストッカーケ
ーシングの下部開口を排気口とする排気装置を有し、上
記ストッカー本体は、下端が上記排気口側に向かって開
口した上端閉鎖の中空の支持筒の周りに円形に並び各々
が上記ガス流路に向かって開口するとともに上記中空の
支持筒に排気孔を通して連通するカセット収納室を複数
段にわたって有し、上記ストッカーケーシングは上記ス
トッカー本体の各段に対して１つづつ形成されたカセッ
ト出し入れ口と、当該カセット出し入れ口を密閉可能な
ドアユニットを有し、上記位置センサは、上記各カセッ
ト収納室が上記カセット出し入れ口と対向する所定位置
まで回転するとドア開許可信号を出力し、上記ドアユニ
ットは、カセット出し入れ口にケーシング半径方向スラ
イド可能に嵌合する可動枠と、１方側端が上記可動枠の
外面側端部に係合しストッカーケーシングに回動可能に
軸支されたレバー機能を有するドア本体と、上記カセッ
ト出し入れ口と上記可動枠との間をシールするベローズ
を有し、その開時、上記可動枠の内端部が上記カセット
収納室の開口端縁に形成されたシール部に気密に係合
し、上記所定位置にあるカセット収納室を上記ストッカ
ーケーシング内の他部と気密に遮断する構成とした。
【０００８】
【０００９】請求項２では、カセット収納室の排気孔の
面積が上段より下段にかけて大きくした。
面積が上段より下段にかけて大きくした。
【００１０】
【００１１】
【００１２】請求項３では、上記ベローズはばね作用を
有し、可動枠の復帰機構を兼ねる構成とした。
有し、可動枠の復帰機構を兼ねる構成とした。
【００１３】請求項４では、ストッカー本体の中空の支
持筒は中央孔を持つ回転台に同心に立設され、この回転
台は、ストッカーケーシングの底から排気装置を覆って
上記中空の支持筒内に伸びる中空の固定軸に軸受を介し
て支持され、この固定軸には中空の支持筒内に開口する
排気孔とＮ２ガスパージ空間内の上記回転台下方に開口
する排気孔とが形成されている構成とした。
持筒は中央孔を持つ回転台に同心に立設され、この回転
台は、ストッカーケーシングの底から排気装置を覆って
上記中空の支持筒内に伸びる中空の固定軸に軸受を介し
て支持され、この固定軸には中空の支持筒内に開口する
排気孔とＮ２ガスパージ空間内の上記回転台下方に開口
する排気孔とが形成されている構成とした。
【００１４】
【作用】本発明では、カセット出し入れ時、カセットを
出し入れするカセット収納室内は外部雰囲気と置換され
るが、他のカセット収納室等は外部雰囲気と気密に遮断
される。
出し入れするカセット収納室内は外部雰囲気と置換され
るが、他のカセット収納室等は外部雰囲気と気密に遮断
される。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１６】図１、図２および図３において、１０はス
トッカーケーシングであって、円筒体をなし、回転型ス
トッカー本体３０を収納している。ストッカーケーシン
グ１０の上壁１１にはガス給気口１２が、底壁１３には
ガス排気口１４がそれぞれ形成されており、内部は、底
壁１３近くに設けられた仕切り台１５で、上記回転型ス
トッカー本体３０を収納する上部空間（Ｎ2 ガスパージ
空間）Ａと、回転型ストッカー本体３０の駆動機構の一
部を収納する下部空間（機構部用空間）Ｂとに区画され
ている。また、ストッカーケーシング１０の周壁１６に
は、縦１列に並ぶセット出し入れ口１７が形成されてお
り、常時は、ドアユニット２０のドア本体２２で気密に
密閉されている。このドアユニット２０については、図
４〜図６を参照して詳述する。
トッカーケーシングであって、円筒体をなし、回転型ス
トッカー本体３０を収納している。ストッカーケーシン
グ１０の上壁１１にはガス給気口１２が、底壁１３には
ガス排気口１４がそれぞれ形成されており、内部は、底
壁１３近くに設けられた仕切り台１５で、上記回転型ス
トッカー本体３０を収納する上部空間（Ｎ2 ガスパージ
空間）Ａと、回転型ストッカー本体３０の駆動機構の一
部を収納する下部空間（機構部用空間）Ｂとに区画され
ている。また、ストッカーケーシング１０の周壁１６に
は、縦１列に並ぶセット出し入れ口１７が形成されてお
り、常時は、ドアユニット２０のドア本体２２で気密に
密閉されている。このドアユニット２０については、図
４〜図６を参照して詳述する。
【００１７】ストッカー本体３０は、中央孔３１Ａを持
つ回転台３１を有し、この回転台３１上に当該回転台３
１と同軸に立設された中空の支持筒３２が立設されてい
る。この支持筒３２の内部空間は排気用空間となる。こ
の回転台３１は、ストッカーケーシング１０の底壁１３
に立設され、仕切り台１５を気密に貫通した上、回転台
３１の中央孔３１Ａを遊貫して支持筒３２内に伸びる中
空の固定軸４１に軸受４２を介して支持されており、下
面には、回転力伝達機構を構成する環状の歯車４３が取
着されている。この歯車４３にはピニオン４４が係合し
ており、このピニオン４４は下部空間Ｂに配設されたモ
ータ４５の軸に減速機４６を介し取着されている。固定
軸４１は上端に案内板を兼ねるフランジ４１Ａを有する
とともに下端に取付けフランジ４１Ｂを有し、フランジ
４１Ａの直下に回転台３１上面側に向かって開口する複
数個の排気孔４１Ｃおよび仕切り台１５と回転台３１と
の間に向かって開口する複数個の排気孔４１Ｄが形成さ
れている。
つ回転台３１を有し、この回転台３１上に当該回転台３
１と同軸に立設された中空の支持筒３２が立設されてい
る。この支持筒３２の内部空間は排気用空間となる。こ
の回転台３１は、ストッカーケーシング１０の底壁１３
に立設され、仕切り台１５を気密に貫通した上、回転台
３１の中央孔３１Ａを遊貫して支持筒３２内に伸びる中
空の固定軸４１に軸受４２を介して支持されており、下
面には、回転力伝達機構を構成する環状の歯車４３が取
着されている。この歯車４３にはピニオン４４が係合し
ており、このピニオン４４は下部空間Ｂに配設されたモ
ータ４５の軸に減速機４６を介し取着されている。固定
軸４１は上端に案内板を兼ねるフランジ４１Ａを有する
とともに下端に取付けフランジ４１Ｂを有し、フランジ
４１Ａの直下に回転台３１上面側に向かって開口する複
数個の排気孔４１Ｃおよび仕切り台１５と回転台３１と
の間に向かって開口する複数個の排気孔４１Ｄが形成さ
れている。
【００１８】ストッカー本体３０の支持筒３２の上端に
は天板３４が嵌着されている。支持筒３２には、この天
板３４と回転台３１との間を一定間隔毎に段々に仕切る
円板の棚台３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃが嵌着されており、
天板３４と棚３５Ａ、棚３５Ａと棚３５Ｂ、棚３５Ｂと
棚３５Ｃおよび棚３５Ｃと回転台３１が、各々支持筒３
２との間に環状空間を区画し、これらの環状空間は支持
筒３２から周方向等間隔で放射状に伸びる仕切り壁３６
で複数個のカセット収納室Ｒに区分されている。この仕
切り壁３６の先端縁部の両面はＬ字切欠されたシール部
３６Ａとなっている。天板３４、棚台３５Ａ、３５Ｂ、
３５Ｃおよび回転台は同一外径の円板であって、周縁部
には、シール部３６Ａと連続するシール部３５ａが形成
されている。
は天板３４が嵌着されている。支持筒３２には、この天
板３４と回転台３１との間を一定間隔毎に段々に仕切る
円板の棚台３５Ａ、３５Ｂ、３５Ｃが嵌着されており、
天板３４と棚３５Ａ、棚３５Ａと棚３５Ｂ、棚３５Ｂと
棚３５Ｃおよび棚３５Ｃと回転台３１が、各々支持筒３
２との間に環状空間を区画し、これらの環状空間は支持
筒３２から周方向等間隔で放射状に伸びる仕切り壁３６
で複数個のカセット収納室Ｒに区分されている。この仕
切り壁３６の先端縁部の両面はＬ字切欠されたシール部
３６Ａとなっている。天板３４、棚台３５Ａ、３５Ｂ、
３５Ｃおよび回転台は同一外径の円板であって、周縁部
には、シール部３６Ａと連続するシール部３５ａが形成
されている。
【００１９】ストッカー本体３０はストッカーケーシン
グ１０の上壁１１、周壁１６および底壁１３との間に、
順次連通するガス通路３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃを区画
し、支持筒３２には、各カセット収納室Ｒに向かって開
口するガス排気孔３２Ａが形成されている。このガス通
路３２Ａの開口面積は上段のものから下段のものになる
程、所定の比率で大きくなっている。
グ１０の上壁１１、周壁１６および底壁１３との間に、
順次連通するガス通路３７Ａ、３７Ｂ、３７Ｃを区画
し、支持筒３２には、各カセット収納室Ｒに向かって開
口するガス排気孔３２Ａが形成されている。このガス通
路３２Ａの開口面積は上段のものから下段のものになる
程、所定の比率で大きくなっている。
【００２０】ドアユニット２０は、図４〜図６に示す如
く、カセット出し入れ口１７に嵌合する正面視方形の可
動枠（スライド枠）２１とドア本体２２を有している。
スライド枠２１はその外端面にフランジ２１ａを有する
とともに、このフランジ２１ａとの間にカセット出し入
れ口１７の端縁部が密に係合するガイド溝２１Ｂを区画
する鍔部２１ｂを有し、この端縁部外面とフランジ２１
ａ内面との間はベローズ２３でシールされている。この
ベローズ２３はばね機能を有している。スライド枠２１
の左右の側枠２１Ａ、２１Ａは、その内側端縁が仕切り
壁３６のシール部３６Ａに係合可能なように、相隣る仕
切り壁３６相互がなす角度とほぼ同じ角度をなしてケー
シグ半径方向に伸び、スライド枠２１の上記内側端縁全
周にはシール部材２４が取着されている。ドア本体２２
はストッカーケーシング１０に固着されたヒンジ軸２５
に支持され、ヒンジ軸２５側の側端部には、端縁がフラ
ンジ２１ａ外面に係合するレバー部２２Ａが延設されて
いる。２６はフランジ２１ａの外面に取着されたシール
部材、２２ａはドア本体２２の把手である。
く、カセット出し入れ口１７に嵌合する正面視方形の可
動枠（スライド枠）２１とドア本体２２を有している。
スライド枠２１はその外端面にフランジ２１ａを有する
とともに、このフランジ２１ａとの間にカセット出し入
れ口１７の端縁部が密に係合するガイド溝２１Ｂを区画
する鍔部２１ｂを有し、この端縁部外面とフランジ２１
ａ内面との間はベローズ２３でシールされている。この
ベローズ２３はばね機能を有している。スライド枠２１
の左右の側枠２１Ａ、２１Ａは、その内側端縁が仕切り
壁３６のシール部３６Ａに係合可能なように、相隣る仕
切り壁３６相互がなす角度とほぼ同じ角度をなしてケー
シグ半径方向に伸び、スライド枠２１の上記内側端縁全
周にはシール部材２４が取着されている。ドア本体２２
はストッカーケーシング１０に固着されたヒンジ軸２５
に支持され、ヒンジ軸２５側の側端部には、端縁がフラ
ンジ２１ａ外面に係合するレバー部２２Ａが延設されて
いる。２６はフランジ２１ａの外面に取着されたシール
部材、２２ａはドア本体２２の把手である。
【００２１】５０（図２）は位置センサ（本実施例では
近接スイッチ）であって、回転台３１の下面周部に周方
向所定間隔で設けられたドグ５１と、スイッチ５２から
なり、スイッチ５２は各カセット収納室Ｒが所定位置ま
で回動する毎にドグ５１を検知してドア開許可信号を出
力する。この所定位置は、スライド枠２１の左右の側枠
２１Ａ、２１Ａが、相隣る仕切り３６のシール部３６Ａ
にそれぞれケーシング半径方向に対向する図４のカセッ
ト出入れ可能位置である。
近接スイッチ）であって、回転台３１の下面周部に周方
向所定間隔で設けられたドグ５１と、スイッチ５２から
なり、スイッチ５２は各カセット収納室Ｒが所定位置ま
で回動する毎にドグ５１を検知してドア開許可信号を出
力する。この所定位置は、スライド枠２１の左右の側枠
２１Ａ、２１Ａが、相隣る仕切り３６のシール部３６Ａ
にそれぞれケーシング半径方向に対向する図４のカセッ
ト出入れ可能位置である。
【００２２】６０はストッカーケーシング１０の上壁１
１上に設けられたガス給気チャンバーであって、ガス給
気口１２を塞ぐフィルタ６１を有し、室６２は配管６３
により図示しないＮ2 ガスボンベに連絡されている。７
０は排気装置であって、ガス排気口１４に設けられ、固
定軸４１の下端部に形成された凹所に収納されている。
７１は排気管でる。
１上に設けられたガス給気チャンバーであって、ガス給
気口１２を塞ぐフィルタ６１を有し、室６２は配管６３
により図示しないＮ2 ガスボンベに連絡されている。７
０は排気装置であって、ガス排気口１４に設けられ、固
定軸４１の下端部に形成された凹所に収納されている。
７１は排気管でる。
【００２３】８０（図３）は半導体ウエハＷを収納した
ウエハカセットである。
ウエハカセットである。
【００２４】なお、モータ４５は図７に示すように制御
器１０１が上位の制御装置（ＣＰＵ）１００から指令を
受けて回転／停止する。１０２はエンコーダである。位
置センサ５０の上記ドア開許可信号はモータ制御装置よ
り上位の制御装置（ＣＰＵ）に取り込まれる。このＣＰ
Ｕは各カセット収納室Ｒの位置（アドレス）と収納の有
無や収納したウエハカセット８０の経歴等の情報を記憶
しており、位置センサ５０の上記ドア開許可信号を取込
む。本実施例においては、図示しないＮ２ガスボンベか
らＮ２ガス給気チャンバー６０へ圧送されてきたＮ２ガ
スはフィルタ６１を通してストッカーケーシング１０内
のガス流路３７Ａに供給され、注入されたＮ２ガスはガ
ス流路３７Ａからガス流路３７Ｂを流下しつつ各カセッ
ト収納室Ｒ内へ分流し、上部空間ＡをＮ２ガスで充満す
る。カセット収納室Ｒ内へ分流したＮ２ガスはガス排気
孔３２Ａから支持筒３２内へ流入して当該支持筒３２内
を流下し、固定軸４１内に引き込まれて当該固定軸４１
内を流下し、ガス排気口１４から排気管７１を通してク
リーンルーム外に流出する。
器１０１が上位の制御装置（ＣＰＵ）１００から指令を
受けて回転／停止する。１０２はエンコーダである。位
置センサ５０の上記ドア開許可信号はモータ制御装置よ
り上位の制御装置（ＣＰＵ）に取り込まれる。このＣＰ
Ｕは各カセット収納室Ｒの位置（アドレス）と収納の有
無や収納したウエハカセット８０の経歴等の情報を記憶
しており、位置センサ５０の上記ドア開許可信号を取込
む。本実施例においては、図示しないＮ２ガスボンベか
らＮ２ガス給気チャンバー６０へ圧送されてきたＮ２ガ
スはフィルタ６１を通してストッカーケーシング１０内
のガス流路３７Ａに供給され、注入されたＮ２ガスはガ
ス流路３７Ａからガス流路３７Ｂを流下しつつ各カセッ
ト収納室Ｒ内へ分流し、上部空間ＡをＮ２ガスで充満す
る。カセット収納室Ｒ内へ分流したＮ２ガスはガス排気
孔３２Ａから支持筒３２内へ流入して当該支持筒３２内
を流下し、固定軸４１内に引き込まれて当該固定軸４１
内を流下し、ガス排気口１４から排気管７１を通してク
リーンルーム外に流出する。
【００２５】ウエハカセット８０をウエハ収納室Ｒへ出
し入れする時は、指定したウエハ収納室Ｒが例えばカセ
ット出し入れ口１７Ａの前まで、即ち、前記したカセッ
ト出し入れ可能位置まで回動するのを待って、ドア本体
２２を開く。ドア本体２２を手前に引くと、そのレバー
部２２Ａがスライド枠２１を図８に示すようにケーシン
グ半径方向に押すので、スライド枠２１はカセット収納
室Ｒ側へ変位して、このカセット収納室Ｒの開口縁部に
形成されたシール係合部３６Ａ、３５ａに圧接し、この
カセット収納室Ｒをストッカーケーシング１０内から気
密に遮断し、他部から独立したカセット収納室Ｒにす
る。
し入れする時は、指定したウエハ収納室Ｒが例えばカセ
ット出し入れ口１７Ａの前まで、即ち、前記したカセッ
ト出し入れ可能位置まで回動するのを待って、ドア本体
２２を開く。ドア本体２２を手前に引くと、そのレバー
部２２Ａがスライド枠２１を図８に示すようにケーシン
グ半径方向に押すので、スライド枠２１はカセット収納
室Ｒ側へ変位して、このカセット収納室Ｒの開口縁部に
形成されたシール係合部３６Ａ、３５ａに圧接し、この
カセット収納室Ｒをストッカーケーシング１０内から気
密に遮断し、他部から独立したカセット収納室Ｒにす
る。
【００２６】従って、本実施例では、カセット出し入れ
時、カセットを出し入れするカセット収納室Ｒ内は外部
雰囲気と置換されるが、他のカセット収納室Ｒやガス流
路３７Ａ〜３７Ｃは外部雰囲気と気密に遮断されるの
で、これらは、ドア本体２０を開く前のＮ2 ガス濃度を
維持する。なお、可動枠２１の復帰動作は、本実施例で
は、ベローズ２３に持たせたばね作用により行なわせ
る。
時、カセットを出し入れするカセット収納室Ｒ内は外部
雰囲気と置換されるが、他のカセット収納室Ｒやガス流
路３７Ａ〜３７Ｃは外部雰囲気と気密に遮断されるの
で、これらは、ドア本体２０を開く前のＮ2 ガス濃度を
維持する。なお、可動枠２１の復帰動作は、本実施例で
は、ベローズ２３に持たせたばね作用により行なわせ
る。
【００２７】また、本実施例では、支持軸３２の排気孔
３２Ａが下段側になる程、大きくしてあるので、孔開口
面積の比率を適切にすることにより、各カセット収納室
Ｒに流れるＮ2 ガス量を同一にして、各カセット収納室
ＲのＮ2 ガス濃度を一定にすることができる。
３２Ａが下段側になる程、大きくしてあるので、孔開口
面積の比率を適切にすることにより、各カセット収納室
Ｒに流れるＮ2 ガス量を同一にして、各カセット収納室
ＲのＮ2 ガス濃度を一定にすることができる。
【００２８】また、本実施例の固定軸４１には、軸受４
２の近傍に開口する排気孔４１Ｃを設けてあるので、軸
受４２まわりから発生した塵埃はこの排気孔４１Ｃから
固定軸４１内に吸い込まれて、ガス排気口１４から排出
され、歯車４３とピニオン４４まわりから生じた塵埃
は、固定軸４１の排気孔４１Ｄを通して排出されること
になる。
２の近傍に開口する排気孔４１Ｃを設けてあるので、軸
受４２まわりから発生した塵埃はこの排気孔４１Ｃから
固定軸４１内に吸い込まれて、ガス排気口１４から排出
され、歯車４３とピニオン４４まわりから生じた塵埃
は、固定軸４１の排気孔４１Ｄを通して排出されること
になる。
【００２９】また、本実施例では、位置センサ５０を設
けてあるので、カセット収納室Ｒを確実に前記したカセ
ット出し入れ可能位置に位置決めるすることができる。
けてあるので、カセット収納室Ｒを確実に前記したカセ
ット出し入れ可能位置に位置決めるすることができる。
【００３０】また、上記実施例では、ドア本体２２を人
手で開閉するよな説明をしたが、実際には、製造工程間
を移動する移載もしくは搬送ロボットがドア本体２２を
開閉する場合が多い。
手で開閉するよな説明をしたが、実際には、製造工程間
を移動する移載もしくは搬送ロボットがドア本体２２を
開閉する場合が多い。
【００３１】また、前記クリーンルーム外へ排出したＮ
2 ガスは循環して使用することが望ましい。
2 ガスは循環して使用することが望ましい。
【００３２】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、ドアユニッ
トは、その開時、カセット出し入れ可能位置にあるカセ
ット収納室を除いた他部を外部雰囲気と気密に遮断する
ので、他のカセット収納室のＮ2 ガス濃度は変化せず、
ストッカーケーシング内に乱流が生じたりする恐れは無
いので、ストッカーに一時的に保管されている半導体ウ
エハの自然酸化膜の成長を防止し、塵埃等の付着を防止
して、従来に比し、製造歩留りを向上することができ
る。
トは、その開時、カセット出し入れ可能位置にあるカセ
ット収納室を除いた他部を外部雰囲気と気密に遮断する
ので、他のカセット収納室のＮ2 ガス濃度は変化せず、
ストッカーケーシング内に乱流が生じたりする恐れは無
いので、ストッカーに一時的に保管されている半導体ウ
エハの自然酸化膜の成長を防止し、塵埃等の付着を防止
して、従来に比し、製造歩留りを向上することができ
る。
【図１】本発明の実施例を示す正面図である。
【図２】上記実施例の縦断面図である。
【図３】上記実施例の横断面図である。
【図４】上記実施例のドアユニットまわりの構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】上記実施例のドアユニットまわりの構造を示す
断面図である。
断面図である。
【図６】上記実施例のドアユニットの可動枠を示す図で
ある。
ある。
【図７】上記実施例における信号経路を示す図である。
【図８】上記ドアの開時の状態を示す図である。
１０ ストッカーケーシング １２ ガス給気口 １４ ガス排気口 ２０ ドアユニット ２１ 可動枠 ２１Ａ 側枠 ２１Ｂ ガイド溝 ２１ａ フランジ ２１ｂ 鍔部 ２２ ドア本体 ２２Ａ レバー部 ２３ ベローズ ２４、２６ シール部材 ２５ ヒンジ軸 ３０ ストッカー本体 ３１ 回転台 ３２ 中空の支持筒 ３２Ａ ガス排気孔 ３４ 天板 ３５Ａ〜３５Ｃ 棚台 ３６ 仕切り壁 ３６Ａ シール部 ３７Ａ〜３７Ｃ ガス流路 ４１ 固定軸 ４１Ａ、４１Ｂ フランジ ４１Ｃ、４１Ｄ 排気孔 ４３ 歯車 ４４ ピニオン ４５ モータ ５０ 位置センサ ５１ ドグ ５２ スイッチ ６０ ガス給気チャンバー ６１ フィルタ ７０ 排気装置 ８０ ウエハカセット Ｒ カセット収納室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 奥野 敦 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 津田 正徳 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社伊勢製作所内 審査官 氏原 康宏 (56)参考文献 特開 昭63−134180（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−229278（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−203253（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−63940（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 F24F 7/06 H01L 21/02
Claims (4)
- 【請求項１】 上下部に開口を有し内部にＮ２ガスパー
ジ空間を有する筒体のストッカーケーシングと、このス
トッカーケーシングの上記Ｎ２ガスパージ空間を区画す
る壁内面との間にガス流路を区画して収納された回転型
のストッカー本体と、当該ストッカー本体を回転駆動す
る回転機構と、このストッカー本体の回転位置を検知す
る位置センサと、上記ストッカーケーシングの上部開口
を覆うフィルターを通して当該ストッカーケーシング内
にＮ２ガスを注入する給気チャンバーと、当該ストッカ
ーケーシングの下部開口を排気口とする排気装置を有
し、 上記ストッカー本体は、下端が上記排気口側に向かって
開口した上端閉鎖の中空の支持筒の周りに円形に並び各
々が上記ガス流路に向かって開口するとともに上記中空
の支持筒に排気孔を通して連通するカセット収納室を複
数段にわたって有し、 上記ストッカーケーシングは上記ストッカー本体の各段
に対して１つづつ形成されたカセット出し入れ口と、当
該カセット出し入れ口を密閉可能なドアユニットを有
し、 上記位置センサは、上記各カセット収納室が上記カセッ
ト出し入れ口と対向する所定位置まで回転するとドア開
許可信号を出力し、上記ドアユニットは、カセット出し入れ口にケーシング
半径方向スライド可能に嵌合する可動枠と、１方側端が
上記可動枠の外面側端部に係合しストッカーケーシング
に回動可能に軸支されたレバー機能を有するドア本体
と、上記カセット出し入れ口と上記可動枠との間をシー
ルするベローズを有し、その開時、上記可動枠の内端部
が上記カセット収納室の開口端縁に形成されたシール部
に気密に係合し、 上記所定位置にあるカセット収納室を
上記ストッカーケーシング内の他部と気密に遮断するこ
とを特徴とするクリーンルーム用気密ストッカー。 - 【請求項２】 カセット収納室の排気孔の面積が上段よ
り下段にかけて大きくしたことを特徴とする請求項１記
載のクリーンルーム用気密ストッカー。 - 【請求項３】 ベローズはばね作用を有し、可動枠の復
帰機構を兼ねていることを特徴とする請求項１記載のク
リーンルーム用気密ストッカー。 - 【請求項４】 ストッカー本体の中空の支持筒は中央孔
を持つ回転台に同心に立設され、この回転台は、ストッ
カーケーシングの底から排気装置を覆って上記中空の支
持筒内に伸びる中空の固定軸に軸受を介して支持され、
この固定軸には中空の支持筒内に開口する排気孔と、Ｎ
２ガスパージ空間内の上記回転台下方に開口する排気孔
が形成されていることを特徴とする請求項１〜３記載の
クリーンルーム用気密ストッカー。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269781A JP3067325B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | クリーンルーム用気密ストッカー |
| TW081100062A TW217439B (ja) | 1991-10-17 | 1992-01-07 | |
| US07/826,954 US5303482A (en) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof |
| DE69228014T DE69228014T2 (de) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Einheit zum luftdichten Aufbewahren von Halbleiterscheiben |
| EP92101358A EP0497281B1 (en) | 1991-01-29 | 1992-01-28 | Wafer airtight keeping unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3269781A JP3067325B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | クリーンルーム用気密ストッカー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05105206A JPH05105206A (ja) | 1993-04-27 |
| JP3067325B2 true JP3067325B2 (ja) | 2000-07-17 |
Family
ID=17477072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3269781A Expired - Fee Related JP3067325B2 (ja) | 1991-01-29 | 1991-10-17 | クリーンルーム用気密ストッカー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3067325B2 (ja) |
| TW (1) | TW217439B (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2817605B2 (ja) * | 1993-12-22 | 1998-10-30 | 村田機械株式会社 | クリーンルーム用自動倉庫 |
| WO1999013495A2 (en) * | 1997-09-12 | 1999-03-18 | Novus Corporation | Sealed cabinet for storage of semiconductor wafers |
| TWI813430B (zh) * | 2017-08-09 | 2023-08-21 | 荷蘭商Ａｓｍ智慧財產控股公司 | 用於儲存基板用之卡匣的儲存設備及備有其之處理設備 |
| US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
| TWI779134B (zh) | 2017-11-27 | 2022-10-01 | 荷蘭商Ａｓｍ智慧財產控股私人有限公司 | 用於儲存晶圓匣的儲存裝置及批爐總成 |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP3269781A patent/JP3067325B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-01-07 TW TW081100062A patent/TW217439B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05105206A (ja) | 1993-04-27 |
| TW217439B (ja) | 1993-12-11 |
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