JPH08261532A - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルームInfo
- Publication number
- JPH08261532A JPH08261532A JP8738695A JP8738695A JPH08261532A JP H08261532 A JPH08261532 A JP H08261532A JP 8738695 A JP8738695 A JP 8738695A JP 8738695 A JP8738695 A JP 8738695A JP H08261532 A JPH08261532 A JP H08261532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- ceiling
- clean room
- clean
- floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】送風動力を小なるものにすることができてメン
テナンスコスト及びランニングコストをともに低減させ
ることができ、それでいて塵埃の舞い上がりが殆どなく
清浄度の高いクリーンルームを提供する。 【構成】天井２に塵埃除去用のエアフィルタ４を備える
清浄空気の吹出口５が設けられ、床７には床下の排気風
路８へ室内の空気を吸い込む吸入孔７ａが形成されてな
るクリーンルーム１において、前記吹出口５を天井の前
後左右方向に所定の間隔をあけて配設し、吹出口間の天
井下面に、左右辺部から下方に向かって内側に傾斜する
傾斜面を備える製流体９を突設する。
テナンスコスト及びランニングコストをともに低減させ
ることができ、それでいて塵埃の舞い上がりが殆どなく
清浄度の高いクリーンルームを提供する。 【構成】天井２に塵埃除去用のエアフィルタ４を備える
清浄空気の吹出口５が設けられ、床７には床下の排気風
路８へ室内の空気を吸い込む吸入孔７ａが形成されてな
るクリーンルーム１において、前記吹出口５を天井の前
後左右方向に所定の間隔をあけて配設し、吹出口間の天
井下面に、左右辺部から下方に向かって内側に傾斜する
傾斜面を備える製流体９を突設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は層流型のクリーンルーム
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】塵埃除去用のエアフィルタを備える清浄
空気の吹出口を天井に設け、床には吸入孔を多数あけて
天井の吹出口から床へ垂直に清浄空気を吹き出す層流型
のクリーンルームでは、清浄空気の吹出口を次のように
配設している。 (a) 天井全面に吹出口を設ける（図８） (b) 天井全域に亘り、一定間隔をおいて吹出口を設ける
（図９） (c) プロセスエリア等の高清浄度を要求される区域には
吹出口を密に設け、通路エリア等の清浄度をあまり要し
ない区域には吹出口を疎に設ける（図１０）
空気の吹出口を天井に設け、床には吸入孔を多数あけて
天井の吹出口から床へ垂直に清浄空気を吹き出す層流型
のクリーンルームでは、清浄空気の吹出口を次のように
配設している。 (a) 天井全面に吹出口を設ける（図８） (b) 天井全域に亘り、一定間隔をおいて吹出口を設ける
（図９） (c) プロセスエリア等の高清浄度を要求される区域には
吹出口を密に設け、通路エリア等の清浄度をあまり要し
ない区域には吹出口を疎に設ける（図１０）
【０００３】
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した(a) のように
吹出口を天井の全面に設ける構造のものは、清浄空気の
層流度が高く、塵埃の舞い上がりが殆どないので、室内
の清浄度は高いが、エアフィルタが多数必要となるの
で、フィルタ交換等のメンテナンスコストが掛かり、ま
た送風動力が大でなければならないので、ランニングコ
ストも掛かる。
吹出口を天井の全面に設ける構造のものは、清浄空気の
層流度が高く、塵埃の舞い上がりが殆どないので、室内
の清浄度は高いが、エアフィルタが多数必要となるの
で、フィルタ交換等のメンテナンスコストが掛かり、ま
た送風動力が大でなければならないので、ランニングコ
ストも掛かる。
【０００５】また、(b) のように吹出口を間引いて設け
る構造のものは、(a) で述べた天井全面にエアフィルタ
を設ける構造のものよりもエアフィルタの数が少なくて
済むので、メンテナンスコストやランニングコスト等の
面では(a) の構造のものよりも勝るが、吹出口間の天井
下部には空気流の澱みが生じて渦流や上昇気流が起こ
り、渦流や上昇気流が塵埃を舞い上げて室内の清浄度が
低下する。
る構造のものは、(a) で述べた天井全面にエアフィルタ
を設ける構造のものよりもエアフィルタの数が少なくて
済むので、メンテナンスコストやランニングコスト等の
面では(a) の構造のものよりも勝るが、吹出口間の天井
下部には空気流の澱みが生じて渦流や上昇気流が起こ
り、渦流や上昇気流が塵埃を舞い上げて室内の清浄度が
低下する。
【０００６】(c) で述べた構造のものは(a) と(b) の構
造のものを折衷したタイプのものであるが、吹出口を疎
に設けた区域では前述した(b) 構造のものと同じなの
で、塵埃の舞い上がりが生じて清浄度が低く、この吹出
口を疎に設けた区域から密に設けた区域に塵埃が侵入し
て、吹出口を密に設けた区域の清浄度を低下させるとい
う問題がある。
造のものを折衷したタイプのものであるが、吹出口を疎
に設けた区域では前述した(b) 構造のものと同じなの
で、塵埃の舞い上がりが生じて清浄度が低く、この吹出
口を疎に設けた区域から密に設けた区域に塵埃が侵入し
て、吹出口を密に設けた区域の清浄度を低下させるとい
う問題がある。
【０００７】
【本発明の構成】上述した問題点を解決するために、本
発明に係るクリーンルームは天井に塵埃除去用のエアフ
ィルタを備える清浄空気の吹出口が設けられ、床には床
下の排気風路へ室内の空気を吸い込む吸入孔が形成され
てなるクリーンルームにおいて、前記吹出口を天井の前
後左右方向に所定の間隔をあけて配設し、吹出口間の天
井下面に、左右辺部から下方に向かって内側に傾斜する
傾斜面を備える製流体を突設したものとしてある。
発明に係るクリーンルームは天井に塵埃除去用のエアフ
ィルタを備える清浄空気の吹出口が設けられ、床には床
下の排気風路へ室内の空気を吸い込む吸入孔が形成され
てなるクリーンルームにおいて、前記吹出口を天井の前
後左右方向に所定の間隔をあけて配設し、吹出口間の天
井下面に、左右辺部から下方に向かって内側に傾斜する
傾斜面を備える製流体を突設したものとしてある。
【０００８】なお、本発明における製流体の実施態様
は、製流体の傾斜板を透光材製のものとし、製流体の内
側に照明装置を設けたものとする。
は、製流体の傾斜板を透光材製のものとし、製流体の内
側に照明装置を設けたものとする。
【０００９】
【実施例】以下、本発明に係るクリーンルームの具体例
を図１〜４に基づいて詳細に説明する。図１、２におい
て、クリーンルーム１の天井は矩形の通孔３を多数あけ
た格子状に構成されていて、この通孔３の上側に塵埃除
去用のエアフィルタ４を、通孔３の前後左右方向ともに
一つおきに設け、このエアフィルタ４が設けられた通孔
を清浄空気の吹出口５となし、一方、エアフィルタが設
けられない通孔は遮風板６で塞いでエアフィルタと遮風
板を天井の前後左右方向ともに交互に並ぶように配設さ
れている。
を図１〜４に基づいて詳細に説明する。図１、２におい
て、クリーンルーム１の天井は矩形の通孔３を多数あけ
た格子状に構成されていて、この通孔３の上側に塵埃除
去用のエアフィルタ４を、通孔３の前後左右方向ともに
一つおきに設け、このエアフィルタ４が設けられた通孔
を清浄空気の吹出口５となし、一方、エアフィルタが設
けられない通孔は遮風板６で塞いでエアフィルタと遮風
板を天井の前後左右方向ともに交互に並ぶように配設さ
れている。
【００１０】クリーンルーム１の床には室内の空気を床
下の排気風路８に流すための吸入孔７ａを多数あけてあ
り、天井２の吹出口５から吐出された清浄空気は室内を
通って吸入孔７ａから床下の排気風路８に吸い込まれて
適宜排気あるいは循環されるようになっている。
下の排気風路８に流すための吸入孔７ａを多数あけてあ
り、天井２の吹出口５から吐出された清浄空気は室内を
通って吸入孔７ａから床下の排気風路８に吸い込まれて
適宜排気あるいは循環されるようになっている。
【００１１】しかして、本発明のクリーンルームにおい
ては天井２の通孔を塞ぐ各遮風板６の下面に、下方へ突
出する整流体９を設けてある。
ては天井２の通孔を塞ぐ各遮風板６の下面に、下方へ突
出する整流体９を設けてある。
【００１２】この整流体９は図３、４に示すように正面
投影形状が下向き二等辺三角形状を呈する中空な三角柱
状のものとしてあって、左右の傾斜面１０ａ、１０ｂの
上縁が矩形に形成されている遮風板６の長辺（図３では
左右辺）に沿ってビス等で固定され、整流体９の前後面
１１ａ、１１ｂは垂直となるよう設けられている。
投影形状が下向き二等辺三角形状を呈する中空な三角柱
状のものとしてあって、左右の傾斜面１０ａ、１０ｂの
上縁が矩形に形成されている遮風板６の長辺（図３では
左右辺）に沿ってビス等で固定され、整流体９の前後面
１１ａ、１１ｂは垂直となるよう設けられている。
【００１３】整流体９は透光性の板材、例えば透明ある
いは半透明のアクリル板等で構成されており、整流体の
内側には蛍光灯等よりなる照明装置１２を設けてあっ
て、クリーンルーム天井２の装備を簡略化できるように
してある。
いは半透明のアクリル板等で構成されており、整流体の
内側には蛍光灯等よりなる照明装置１２を設けてあっ
て、クリーンルーム天井２の装備を簡略化できるように
してある。
【００１４】上述のように構成した本発明のクリーンル
ームにおいては、エアフィルタ４で塵埃を除去された清
浄空気は吹出口５から床７に向かって垂直下向きに吐出
される。
ームにおいては、エアフィルタ４で塵埃を除去された清
浄空気は吹出口５から床７に向かって垂直下向きに吐出
される。
【００１５】この際、吹出口５の長辺（図３では左右
辺）付近から吐出された清浄空気は真下には流れず、隣
接する整流体９の傾斜面に沿って斜め下向きに流れ、隣
の吹出口から吐出され、反対側の傾斜面に沿って流れて
くる空気と整流体の下縁で合流して垂直下向きに流れ
る。したがって、遮風板６の下方に澱みが生じにくく、
渦流や上昇流の発生による塵埃の舞い上がりが防止され
て室内の清浄度が向上する。
辺）付近から吐出された清浄空気は真下には流れず、隣
接する整流体９の傾斜面に沿って斜め下向きに流れ、隣
の吹出口から吐出され、反対側の傾斜面に沿って流れて
くる空気と整流体の下縁で合流して垂直下向きに流れ
る。したがって、遮風板６の下方に澱みが生じにくく、
渦流や上昇流の発生による塵埃の舞い上がりが防止され
て室内の清浄度が向上する。
【００１６】上述した実施例においては整流体の形状を
正面投影形状が下向き二等辺三角形状を呈する中空三角
柱状のものとしてあるが、この整流体は、左右の吹出口
から吐出される空気を整流体の下方へ導く傾斜面を備え
ていればよいので、図５に示すように左右の傾斜面１３
ａ、１３ｂの下端が開口する形状のものや、図６に示す
ように傾斜面１４ａ、１４ｂが整流体９の内側に凹む曲
面を形成するようにしてもよい。
正面投影形状が下向き二等辺三角形状を呈する中空三角
柱状のものとしてあるが、この整流体は、左右の吹出口
から吐出される空気を整流体の下方へ導く傾斜面を備え
ていればよいので、図５に示すように左右の傾斜面１３
ａ、１３ｂの下端が開口する形状のものや、図６に示す
ように傾斜面１４ａ、１４ｂが整流体９の内側に凹む曲
面を形成するようにしてもよい。
【００１７】また、上述した実施例では整流体の前後面
１１ａ、１１ｂを垂直に設けてあるが、図７に示すよう
に整流体の前後面１５ａ、１５ｂを下方に向かって内側
に傾斜するように設けてもよい。
１１ａ、１１ｂを垂直に設けてあるが、図７に示すよう
に整流体の前後面１５ａ、１５ｂを下方に向かって内側
に傾斜するように設けてもよい。
【００１８】なお、上述した実施例では整流体の内側に
照明装置１２を設けてあるが、照明装置を設けない場合
もあるし、この場合には整流体を透光性の板材で構成し
なくてもよい。
照明装置１２を設けてあるが、照明装置を設けない場合
もあるし、この場合には整流体を透光性の板材で構成し
なくてもよい。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係るクリーンルームは上述した
構成のものとしてあるので、次の効果を奏し得る。清浄
空気の吹出口間に傾斜面が形成された整流体を設けてあ
るので、吹出口間に空気流の澱みを生じることがなく、
清浄空気がスムースに下向きに流がれ、塵埃の舞上りが
殆どなくなり、クリーンルーム内の清浄度が向上する。
構成のものとしてあるので、次の効果を奏し得る。清浄
空気の吹出口間に傾斜面が形成された整流体を設けてあ
るので、吹出口間に空気流の澱みを生じることがなく、
清浄空気がスムースに下向きに流がれ、塵埃の舞上りが
殆どなくなり、クリーンルーム内の清浄度が向上する。
【００２０】したがって、天井全面にエアフィルタを設
けて天井全面を清浄空気の吹出口とする場合に比べてエ
アフィルタの数が少なくて済み、しかも送風動力を小な
るものにすることができてメンテナンスコスト及びラン
ニングコストをともに低減させることができ、それでい
て塵埃の舞い上がりが殆どなく清浄度の高いクリーンル
ームを実現できる。
けて天井全面を清浄空気の吹出口とする場合に比べてエ
アフィルタの数が少なくて済み、しかも送風動力を小な
るものにすることができてメンテナンスコスト及びラン
ニングコストをともに低減させることができ、それでい
て塵埃の舞い上がりが殆どなく清浄度の高いクリーンル
ームを実現できる。
【図１】本発明に係るクリーンルームの実施例を示す縦
断正面図。
断正面図。
【図２】同上の平面図。
【図３】整流体の縦断正面図。
【図４】同上の縦断側面図。
【図５】整流体の他の例を示す縦断正面図。
【図６】整流体のさらに他の例を示す縦断正面図。
【図７】整流体のさらに他の例を示す縦断側面図。
【図８】従来のクリーンルームにおけるエアフィルタの
配置例を示す平面図。
配置例を示す平面図。
【図９】同上の他の例を示す平面図。
【図１０】同上のさらに他の例を示す平面図。
１ クリーンルーム ２ 天井 ３ 通孔 ４ エアフィルタ ５ 吹出口 ６ 遮風板 ７ 床 ７ａ 吸入孔 ８ 排気風路 ９ 整流体 １０ａ、１０ｂ 傾斜面 １１ａ、１１ｂ 前後面 １２ 照明装置 １３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂ 傾斜面 １４ａ、１４ｂ 前後面
Claims (1)
- 【請求項１】天井に塵埃除去用のエアフィルタを備える
清浄空気の吹出口が設けられ、床には床下の排気風路へ
室内の空気を吸い込む吸入孔が形成されてなるクリーン
ルームにおいて、前記吹出口を天井の前後左右方向に所
定の間隔をあけて配設し、吹出口間の天井下面に、左右
辺部から下方に向かって内側に傾斜する傾斜面を備える
製流体を突設してなるクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8738695A JPH08261532A (ja) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8738695A JPH08261532A (ja) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | クリーンルーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08261532A true JPH08261532A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=13913461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8738695A Pending JPH08261532A (ja) | 1995-03-20 | 1995-03-20 | クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08261532A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004518525A (ja) * | 2001-02-01 | 2004-06-24 | ジョセフ エイ マッギル | 底部装填式クリーンルーム・エアフィルタ支持システム |
| JP2014031974A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 情報処理機器室の空調システム |
| CN106705335A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-05-24 | 大连理工大学 | 工作区壁面贴附射流空调通风系统 |
-
1995
- 1995-03-20 JP JP8738695A patent/JPH08261532A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004518525A (ja) * | 2001-02-01 | 2004-06-24 | ジョセフ エイ マッギル | 底部装填式クリーンルーム・エアフィルタ支持システム |
| JP2014031974A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 情報処理機器室の空調システム |
| CN106705335A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-05-24 | 大连理工大学 | 工作区壁面贴附射流空调通风系统 |
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