KR101881057B1 - 클린룸 천정용 모듈식 조립패널 - Google Patents

클린룸 천정용 모듈식 조립패널 Download PDF

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Abstract

클린룸 천정용 모듈식 조립패널은 공급덕트와 연결되어 주변으로 공기를 공급하는 제1 조립패널과, 제1 조립패널로부터 공기를 공급받아 클린룸 내부로 공기를 주입하는 제2 조립패널과, 클린룸 내부를 순환한 공기를 흡입하여 배기덕트로 배출하는 제3 조립패널을 포함한다.

Description

클린룸 천정용 모듈식 조립패널{MODULE TYPE ASSEMBLY PANNER FOR CLEAN ROOM CEILING}
본 발명은 클린룸 천정용 모듈식 조립패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸 천정의 공조환경을 위해 설치되는 천정용 패널을 모듈형으로 조립할 수 있도록 구성되는 클린룸 천정용 모듈식 조립패널에 관한 것이다.
일반적으로 클린룸이란 공기중의 입상 물질을 온도, 습도, 압력, 기류를 그 목적하는 기준치 내에서 제어할 수 있는 특수 공간으로 정의할 수 있다. 대기 중에는 육안으로 확인할 수 있는 먼지나 분진부터 육안으로 확인되지 않는 미세먼지가 부유하고 있다.
이러한 분진이나 이물질들은 반도체 공정과 같은 초정밀 공정에서 치명적인 문제점을 발생시키기 때문에 이를 제거하기 위하여 클린룸을 설치하고 있다.
클린룸은 CLASS(청정도)에 의해 등급을 분류하며 1ft³ 당 0.5㎛의 먼지기준으로 CLASS의 등급을 결정하는데, 구체적으로 CLASS 100, CLASS 1,000, CLASS 10,000, CLASS 100,000으로 구분할 수 있다.
이와 같이 구성되는 클린룸은 외기와의 직접적인 접촉을 차단하고, 공조장치에 의해 필터링된 공기만을 공급하고 배출하도록 구성되기 때문에 공간 내부의 기밀성을 유지하는 것이 매우 중요하다.
따라서, 클린룸 내부에 정화된 공기를 충분히 공급하기 위해서는 공기 공급을 위한 별도의 덕트시설이 필요함에도 불구하고 종래의 덕트시설에 의존하여 클린룸을 시공하는 한계가 있다.
한국공개특허 제10-2012-0083299호 한국공개실용신안 제20-2013-7000006호
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 클린룸에 정화된 공기를 충분히 공급할 수 있음과 동시에 시공이 용이한 천정용 패널을 제공하는 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명의 클린룸 천정용 모듈식 조립패널은 클린룸 천정에 설치되는 조립패널에 있어서, 공급덕트와 연결되도록 설치되는 제1 조립패널; 상기 제1 조립패널과 연결되어 설치되고, 클린룸 내부로 공기를 공급하는 제2 조립패널;및 상기 제1 조립패널 또는 상기 제2 조립패널과 연결되어 설치되고, 클린룸 내부의 공기를 흡입하여 배출덕트로 배출하는 제3 조립패널을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 조립패널은 상판; 하판;및 상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 지지브라켓을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제2 조립패널은 상판; 하판; 상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 지지브라켓;및 상기 하판에 형성되는 관통창에 설치되는 필터부를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제3 조립패널은 상판; 하판; 상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 지지브라켓;및 상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 흡기팬을 포함하고, 상기 하판에는 클린룸 내부 공기를 흡입하기 위한 흡입구가 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 클린룸은 상기 제3 조립패널이 설치된 천장 하부로 이중벽이 설치되고, 상기 이중벽에는 배기창이 형성되도록 구성되는 것이 바람직하다.
이와 같은 본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널에 의하면, 클린룸 내부가 밀폐된 상태임을 이용하여 공급덕트로부터 유입되는 공기가 클린룸 내부를 자연순환한 후, 다시 배출덕트로 원활하게 배출되도록 함으로써 클린룸 내부의 공기 순환을 원활하게 함과 동시에 조립패널의 설치가 용이한 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널이 설치된 클린룸을 보인 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널의 제1 조립패널을 보인 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널의 제2 조립패널을 보인 사시도.
도 4는 본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널의 제3 조립패널을 보인 사시도.
도 5는 본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널의 조립패널의 연결부 상세를 보인 부분단면도.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린룸 천정용 모듈식 조립패널이 설치된 상태가 도시되어 있다.
본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널은 클린룸(10)의 천장에 설치되는데, 클린룸(10)의 천장에는 외부로부터 정화된 공기가 유입되는 공급 덕트(20)와, 클린룸(10) 내부를 순환한 공기가 유출되는 배출덕트(30)가 연결된다.
그리고, 도 1에 도시된 바와 같이 클린룸(10) 천장의 중앙부에 공급덕트(20)가 연결되고, 클린룸(10) 천장의 사이드부에 배출덕트(30)가 연결됨으로써, 클린룸(10) 천장의 중앙부의 공급덕트(20)로 공급되는 공기가 내부를 순환한 뒤, 클린룸(10) 천장의 사이드부에 연결되는 배출덕트(30)로 배출되도록 하는 것이 바람직하다.
특히, 클린룸(10)에서 배출덕트(30)가 구비되는 양 사이드면에는 이중벽(11)이 구비되고 상기 이중벽(11)의 하단에는 배출창(12)이 형성됨으로써, 클린룸(10) 내부로 공급되는 공기가 이중벽(11)의 배출창(12)으로 배출되어 다시 천장의 배출덕트(30)로 배출되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 클린룸 천정용 모듈식 조립패널은 공급덕트(20)와 인접하게 설치되는 제1 조립패널(100)과; 상기 제1 조립패널(100)과 연결되어 설치되고, 클린룸(10) 내부로 공기를 공급하기 위한 제2 조립패널(200)과; 상기 제1 조립패널(100) 또는 상기 제2 조립패널(200)과 연결되어 설치되고, 클린룸(10) 내부의 공기를 배출하기 위한 제3 조립패널(300)을 포함한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 조립패널(100)은 상판(110), 하판(120), 및 상판(110)과 하판(120)을 연결하는 지지브라켓(130)을 포함한다. 즉, 다수의 지지브라켓(130)에 의해 상판(110)과 하판(120)이 일정간격을 가지도록 지지되고, 그 사이공간으로 공급덕트(20)로부터 유입되는 공기가 통과한다.
제1 조립패널(100)은 기본적으로 상판(110), 하판(120), 및 지지브라켓(130)으로 구성될 수 있으나, 벽면이나 코너에 설치되는 경우에는 별도의 측판(140)을 포함할 수도 있다.
제1 조립패널(100)은 공급덕트(20)로부터 유입되는 공기를 주변으로 전달하는 통로 역할을 하는 것이기 때문에 하방으로 공기를 공급하도록 구성되지 않는다.
제1 조립패널(100)은 지지브라켓(130)의 상단과 상판(110)을 관통하여 연결되는 볼트 부재로 인해 행거 브라켓(150)에 의해 천장에 지지된다.
한편, 하판(120)에는 조명부재(160)나 전선부재(170) 등이 삽입되기 위한 유틸리티 채널(121)이 형성될 수 있다.
도 3에는 제1 조립패널(100)과 인접하여 설치되는 제2 조립패널(200)이 도시되어 있다. 제2 조립패널(200)은 제1 조립패널(100)로부터 유입되는 공기를 클린룸(10) 내부로 공급하기 위한 역할을 한다.
제2 조립패널(200)은 상판(210), 하판(220), 및 상판(210)과 하판(220)을 연결하는 지지브라켓(230)을 포함하고, 벽면이나 모서리에 설치되는 경우에 따라 측판(240)을 더 포함할 수 있다.
제2 조립패널(200)의 하판(220)에는 관통창(221)이 형성되고, 상기 관통창(221)에 필터부(240)가 설치된다. 따라서, 제2 조립패널(200)로 유입되는 공기는 필터부(240)를 통해 클린룸(10) 내부로 공급된다.
제2 조립패널(200)의 하판(220)에도 조명부재(160) 및 전선부재(170)가 설치되기 위한 유틸리티 채널(222)이 형성될 수 있다.
도 4에는 클린룸(10)의 사이드에 설치되는 제3 조립패널(300)이 도시되어 있다. 제3 조립패널(300)은 클린룸(10) 내부를 순환한 공기를 흡입하여 배출덕트(30)로 배출하기 위한 것이다.
제3 조립패널(300)은 상판(310), 하판(320), 및 상판과 하판(320)을 지지하는 지지브라켓(330)을 포함하고, 벽면이나 코너에 설치될 경우에 선택적으로 측판(340)을 더 포함할 수 있다. 그리고, 제3 조리패널(300)의 하판(320)에도 유틸리티 채널(321)이 형성될 수 있다.
제3 조립패널(300)의 하판(320)에는 흡입구(321)가 형성될 수 있다. 흡입구(321)는 클린룸(10) 사이드에 설치되는 이중벽(11)과 클린룸(10)의 내벽 사이의 천장부에 위치하도록 설치되는 것이 바람직하다. 즉, 이중벽(11)의 배출창(12)을 통해 배출된 공기는 상부 천장의 흡입구(321)로 유입되어 제3 조립패널(300)을 통해 배출덕트(30)로 배출될 수 있다.
그리고, 제3 조립패널(300) 내부로 공기가 원활하게 유입되도록 하기 위하여 선택적으로 흡기팬(350)을 더 포함할 수 있다. 상기 흡기팬(350)은 제3 조립패널(300) 내부에 설치되어 흡입구(321)를 통해 외부공기를 보다 원활하게 흡입하도록 할 수도 있다.
한편, 도 5에는 본 발명에 의한 제1 조립패널(100), 제2 조립패널(200), 및 제3 조립패널(300)의 연결부에 대한 추가 실시예가 도시되어 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 조립패널(100)을 일 예로 설명하면, 상판(110)과 상판(110)이 연결되는 지점 및 하판(120)과 하판(120)이 연결되는 지점에 별도의 자력부재(180)가 더 구비될 수 있다.
상기 자력부재(180)는 상판(110)의 하면 또는 한판(120)의 상면에 부착되고, 외측방향으로 일부 돌출되도록 설치된다. 따라서, 상판(110)의 측방에서 연결되는 다른 패널의 상판(110)의 일부가 자력부재(180)와 자력에 의해 부착되도록 함으로써 시공을 용이하게 하고, 연결부가 벌어지는 현상을 방지할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 자력부재(180)가 제1 조립패널(100) 이외에도 제2 조립패널(200) 및 제3 조립패널(300)에도 구비될 수 있음은 물론이다.
이하에서는 상기와 같이 구성되는 클린룸 천정용 모듈식 조립패널이 설치된 클린룸의 공기 순환 상태에 대해 자세하게 설명한다.
먼저, 공급덕트(20)를 통해 유입된 공기는 클린룸(10)의 중앙에 설치되는 제1 조립패널(100)을 통과하여 주변의 제2 조립패널(200)로 유입된다. 제2 조립패널(200)로 유입된 공기는 필터부(240)를 통해 클린룸(10) 내부로 공급된다.
클린룸(10) 내부로 공급되는 공기는 클린룸(10) 내부를 순환한 뒤, 다시 이중벽(11)에 형성된 배출창(12)을 통해 이중벽(11)과 클린룸(10)의 내벽 사이로 유입되고, 다시 천장에 설치된 제3 조립패널(300)의 흡입구(321)를 통해 배출덕트(30)로 배출된다.
이러한 일련의 공기 순환 과정은 클린룸(10) 자체가 외부와 밀폐된 공간이기 때문에 공급덕트(20)에서 유입되는 공기와 배출덕트(30)에서 배출되는 공기의 유량조절만으로 수행될 수 있다.
상기에서는 본 출원의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 출원을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
20 : 공급덕트 30 : 배출덕트
100 : 제1 조립패널 200 : 제2 조립패널
300 : 제3 조립패널

Claims (5)

  1. 클린룸 천정에 설치되는 조립패널에 있어서,
    공급덕트와 연결되며 상기 클린룸의 천정 중앙에 설치되는 제1 조립패널;
    상기 제1 조립패널 양일측 각각에 서로 인접하게 평행 연결되어 설치되고, 상기 클린룸 내부로 공기를 공급하는 제2 조립패널;
    상기 제2 조립 패널 타측으로 서로 인접하게 평행 연결되어 설치되고, 배출덕트와 연결되는 제3 조립패널; 및
    상기 클린룸 내부의 공기를 흡입하기 위한 배기창이 하부에 형성되고, 상기 제3 조립패널이 설치된 천정 하부에 상기 클린룸의 벽면을 형성하는 이중벽을 포함하되,
    상기 제1 내지 제3 조립패널의 각 하판이 서로 평행 조립되어 상기 클린룸 천정을 형성하며,
    상기 공급덕트와 상기 제1 조립패널과 상기 제2 조립패널을 순차적으로 통과하여 상기 클린룸 내부로 유입된 공기는 상기 배기창을 통해 상기 이중벽과 상기 제3 조립패널을 순차적으로 통과하여 상기 배출덕트로 배출되는 것을 특징으로 하는
    클린룸 천정용 모듈식 조립패널.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 조립패널은
    상판;
    하판;및
    상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 지지브라켓을 포함하는
    클린룸 천정용 모듈식 조립패널.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 조립패널은
    상판;
    하판;
    상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 지지브라켓;및
    상기 하판에 형성되는 관통창에 설치되는 필터부를 포함하는
    클린룸 천정용 모듈식 조립패널.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제3 조립패널은
    상판;
    하판;
    상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 지지브라켓;및
    상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되는 흡기팬을 포함하고,
    상기 하판에는 클린룸 내부 공기를 흡입하기 위한 흡입구가 형성되는
    클린룸 천정용 모듈식 조립패널.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 조립패널이 연결되는 지점에 부착되는 자력부재를 더 포함하는
    클린룸 천정용 모듈식 조립패널.
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