JPH05141730A - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルームInfo
- Publication number
- JPH05141730A JPH05141730A JP33420791A JP33420791A JPH05141730A JP H05141730 A JPH05141730 A JP H05141730A JP 33420791 A JP33420791 A JP 33420791A JP 33420791 A JP33420791 A JP 33420791A JP H05141730 A JPH05141730 A JP H05141730A
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- JP
- Japan
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- air
- room
- chamber
- air conditioning
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームに付設される空調機の設置場
所の減少及び室内循環気流の均一化を計る。 【構成】 クリーンルーム１の室の一側を下方に通気孔
３を備えた仕切り壁２により作業室４と空調室５とに区
分し、該空調室５内に空調機６を配置し、かつ該空調室
５には排気ファン１０を備え、該排気ファン１０の吸引
作用により前記作業室内からの空気を吸引し、上記作業
室４の天板８に設けられるフィルタ９に供給し、該フィ
ルタを介して該作業室内に循環供給する。 【効果】 作業室内の空気は仕切り壁を介して空調室内
に吸引される。したがって作業室内の空気は死角を生ず
ることなく循環する。
所の減少及び室内循環気流の均一化を計る。 【構成】 クリーンルーム１の室の一側を下方に通気孔
３を備えた仕切り壁２により作業室４と空調室５とに区
分し、該空調室５内に空調機６を配置し、かつ該空調室
５には排気ファン１０を備え、該排気ファン１０の吸引
作用により前記作業室内からの空気を吸引し、上記作業
室４の天板８に設けられるフィルタ９に供給し、該フィ
ルタを介して該作業室内に循環供給する。 【効果】 作業室内の空気は仕切り壁を介して空調室内
に吸引される。したがって作業室内の空気は死角を生ず
ることなく循環する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体組立工程その他
精密部品の組立等において必要とする無塵を保持するク
リーンルームに関するものである。
精密部品の組立等において必要とする無塵を保持するク
リーンルームに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記クリーンルームは発生する塵埃及び
温湿度を調整するため、このクリーンルームには空調機
が付設されている。その要領を図４に示す。このクリー
ンルーム５０は天板５１にフィルタ５２を取り付け、空
調機５３を室外に設け、該空調機５３によって温湿度を
調整した空気をダクト５４を介して上記フィルタ５２に
導き、このフィルタ５２を通じて室内に浄化空気を送り
込み、室内空気は上記空調機５３により吸引されて循環
する方式が採られている。
温湿度を調整するため、このクリーンルームには空調機
が付設されている。その要領を図４に示す。このクリー
ンルーム５０は天板５１にフィルタ５２を取り付け、空
調機５３を室外に設け、該空調機５３によって温湿度を
調整した空気をダクト５４を介して上記フィルタ５２に
導き、このフィルタ５２を通じて室内に浄化空気を送り
込み、室内空気は上記空調機５３により吸引されて循環
する方式が採られている。
【０００３】この場合、室内空気の清浄度は循環する空
気量により決定される。しかし室内空気の清浄度は作業
内容等により変化する。このため空調機の処理風量は最
大循環風量に設定する必要があるが装置が大型となり不
経済である。このため例えば図４に示す如く空調機５３
に並列にバイパス管５５を設け、室内空気の一部を直接
吸引ファン５６により空調機５３からの送り出し空気と
ともに吸引して送り出す方式が採られている。５７，５
８はそれぞれバイパス管５５及び空調機５３に対する空
気流量調整弁、また５９は空調機５３に設けられる外気
採り入れ空気量調整弁である。
気量により決定される。しかし室内空気の清浄度は作業
内容等により変化する。このため空調機の処理風量は最
大循環風量に設定する必要があるが装置が大型となり不
経済である。このため例えば図４に示す如く空調機５３
に並列にバイパス管５５を設け、室内空気の一部を直接
吸引ファン５６により空調機５３からの送り出し空気と
ともに吸引して送り出す方式が採られている。５７，５
８はそれぞれバイパス管５５及び空調機５３に対する空
気流量調整弁、また５９は空調機５３に設けられる外気
採り入れ空気量調整弁である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし何れにしてもこ
れらは室外に設置されるもので、これらの設置場所及び
ダクト工事を必要とするとともに、室内空気はダクト吸
引口付近は良好に循環されるも、その他の場所は死角を
生ずる等の問題がある。
れらは室外に設置されるもので、これらの設置場所及び
ダクト工事を必要とするとともに、室内空気はダクト吸
引口付近は良好に循環されるも、その他の場所は死角を
生ずる等の問題がある。
【０００５】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、設置面積の減少と、ダクトの省略を計ることを目的
とする。
で、設置面積の減少と、ダクトの省略を計ることを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の第１の発明は、クリーンルーム室の一側を通気性仕切
り壁により作業室と空調室とに区分し、該空調室内に空
調機を配置し、かつ該空調室には循環ファンを備え、該
循環ファンにより前記作業室内からの空気を直接に、及
び空調機を介して排出される温湿度を調整した空気を吸
引し、上記作業室の天板に設けられるフィルタに供給し
該フィルタを介して前記作業室内に循環供給することを
特徴とするものである。
の第１の発明は、クリーンルーム室の一側を通気性仕切
り壁により作業室と空調室とに区分し、該空調室内に空
調機を配置し、かつ該空調室には循環ファンを備え、該
循環ファンにより前記作業室内からの空気を直接に、及
び空調機を介して排出される温湿度を調整した空気を吸
引し、上記作業室の天板に設けられるフィルタに供給し
該フィルタを介して前記作業室内に循環供給することを
特徴とするものである。
【０００７】また第２の発明は、上記クリーンルームの
天板上方に形成される天井室は気密構造とし、浄化室の
循環ファンからの排気は天井室内に吹き込み、天板に取
り付けられるフィルタを介して作業室内に噴出させるこ
とを特徴とするものである。
天板上方に形成される天井室は気密構造とし、浄化室の
循環ファンからの排気は天井室内に吹き込み、天板に取
り付けられるフィルタを介して作業室内に噴出させるこ
とを特徴とするものである。
【０００８】また第３の発明は、上記浄化室に設けられ
る循環ファンと天板に取り付けられるフィルタとはダク
トにより連結されていることを特徴とするものである。
る循環ファンと天板に取り付けられるフィルタとはダク
トにより連結されていることを特徴とするものである。
【０００９】さらにまた第４の発明は、クリーンルーム
の一側を仕切り壁により区画して作業室と空調室とに区
分し、該空調室に空調機を配置し、かつ該空調室には循
環ファンを備え、クリーンルームの床面には床下通路に
通じる排気孔を設け、床下通路と前記空調室とを連通す
るとともに、上記循環ファンにより床下通路からの空気
を直接に及び空調機を介して排出される温湿度を調整し
た空気を吸引し、上記作業室の天板に設けられるフィル
タを介して該作業室内に循環供給することを特徴とする
ものである。
の一側を仕切り壁により区画して作業室と空調室とに区
分し、該空調室に空調機を配置し、かつ該空調室には循
環ファンを備え、クリーンルームの床面には床下通路に
通じる排気孔を設け、床下通路と前記空調室とを連通す
るとともに、上記循環ファンにより床下通路からの空気
を直接に及び空調機を介して排出される温湿度を調整し
た空気を吸引し、上記作業室の天板に設けられるフィル
タを介して該作業室内に循環供給することを特徴とする
ものである。
【００１０】
【作用】作業室内の空気は全面にわたり直接隣接する空
調室内に吸引される。
調室内に吸引される。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の第１実施例を示す。このクリ
ーンルーム１は室内の一側を下方に通気孔３を穿孔した
仕切り壁２により区切って、一方を作業に充分な広さを
有する作業室４とし、他方を空調機６を収納する空調室
５とする。７は天井室を示し、作業室４、空調室５とは
天板８により仕切られており、かつ気密構造としたもの
である。この天板８には作業室４に対し、複数箇所にフ
ィルタ９を、また空調室５に対し該空調室内の空気を天
井室７内に導く循環ファン１０を取り付ける。
ーンルーム１は室内の一側を下方に通気孔３を穿孔した
仕切り壁２により区切って、一方を作業に充分な広さを
有する作業室４とし、他方を空調機６を収納する空調室
５とする。７は天井室を示し、作業室４、空調室５とは
天板８により仕切られており、かつ気密構造としたもの
である。この天板８には作業室４に対し、複数箇所にフ
ィルタ９を、また空調室５に対し該空調室内の空気を天
井室７内に導く循環ファン１０を取り付ける。
【００１２】上記構成において、循環ファン１０の作動
により空調室５は負圧となり、作業室内の空気は仕切り
壁２の通気孔３から空調室５内に吸引される。この場
合、通気孔３を仕切り壁２の下部全面に設けることによ
り作業室内の空気は死角を生ずることなく空調室内に吸
引される。
により空調室５は負圧となり、作業室内の空気は仕切り
壁２の通気孔３から空調室５内に吸引される。この場
合、通気孔３を仕切り壁２の下部全面に設けることによ
り作業室内の空気は死角を生ずることなく空調室内に吸
引される。
【００１３】空調室５内には空調機６を備えており、一
部の空気は該空調機６に吸引されて、温湿度を調整され
て放出し、循環ファン１０はこの空調機６からの空気と
ともに大部分の該空調機を通過しない空気とを吸引し、
これを混合して天井室７内に圧入する。即ち本実施例は
循環ファン１０からフィルタ９に対する空気供給回路手
段として気密構造とした天井室を利用したものである。
この天井室７に圧入された空気はフィルタ９を介して作
業室４内に放出し、これにより作業室内の空気は循環す
る。
部の空気は該空調機６に吸引されて、温湿度を調整され
て放出し、循環ファン１０はこの空調機６からの空気と
ともに大部分の該空調機を通過しない空気とを吸引し、
これを混合して天井室７内に圧入する。即ち本実施例は
循環ファン１０からフィルタ９に対する空気供給回路手
段として気密構造とした天井室を利用したものである。
この天井室７に圧入された空気はフィルタ９を介して作
業室４内に放出し、これにより作業室内の空気は循環す
る。
【００１４】この際、循環ファン１０は例えばインバー
タ等の回転速度調整手段１１を設けることにより、天井
室への送り出し空気量、即ち循環する空気量を可変と
し、これにより作業室内の清浄度を調節することができ
る。図中、１２は空調機６の外部空気の採り入れ管、１
３は該採り入れ管に設けられる流量調整弁、１４は作業
室内を所定プラス圧に保持するための排気管１５に取り
付けられる圧力調整弁である。
タ等の回転速度調整手段１１を設けることにより、天井
室への送り出し空気量、即ち循環する空気量を可変と
し、これにより作業室内の清浄度を調節することができ
る。図中、１２は空調機６の外部空気の採り入れ管、１
３は該採り入れ管に設けられる流量調整弁、１４は作業
室内を所定プラス圧に保持するための排気管１５に取り
付けられる圧力調整弁である。
【００１５】次に図２は第２実施例を示す。この実施例
のクリーンルーム２０は、前記空気供給回路手段として
気密とした天井室７の代わりにダクト２１を用いて循環
ファン１０から送り出される圧力空気をダクト２１を介
して各フィルタ部材２２に供給するようにしたもので、
該フィルタ部材２２はフィルタ２３の上部に空気拡散の
ための空隙２４を備えている。その他の構造ならびに作
用効果は前例と同様であり同一部品に対しては同一符号
を付して説明を省略する。
のクリーンルーム２０は、前記空気供給回路手段として
気密とした天井室７の代わりにダクト２１を用いて循環
ファン１０から送り出される圧力空気をダクト２１を介
して各フィルタ部材２２に供給するようにしたもので、
該フィルタ部材２２はフィルタ２３の上部に空気拡散の
ための空隙２４を備えている。その他の構造ならびに作
用効果は前例と同様であり同一部品に対しては同一符号
を付して説明を省略する。
【００１６】次に図３は第３実施例を示す。本実施例の
クリーンルーム３０は、室の一側を仕切り壁３１により
区分し、一方を作業に充分な広さを有する作業室３２と
し、他方を空調機６を収納する空調室３３とする点にお
いては同一であるが、仕切り壁３１は盲板とし、作業室
３２の床板３４は多孔板として床下室３５を形成し、こ
の床下室３５と空調室３３とを連通したものである。即
ち空気供給回路手段として床下室３５を利用したもので
ある。
クリーンルーム３０は、室の一側を仕切り壁３１により
区分し、一方を作業に充分な広さを有する作業室３２と
し、他方を空調機６を収納する空調室３３とする点にお
いては同一であるが、仕切り壁３１は盲板とし、作業室
３２の床板３４は多孔板として床下室３５を形成し、こ
の床下室３５と空調室３３とを連通したものである。即
ち空気供給回路手段として床下室３５を利用したもので
ある。
【００１７】なおこの場合、第１実施例と同様に天板８
の上部に気密構造の天井室７を形成し、天板全面にフィ
ルタ９を取り付けることが好ましい。その他の構造は前
記第１実施例と同様であり、同一部品は同一符号を付し
て説明を省略する。
の上部に気密構造の天井室７を形成し、天板全面にフィ
ルタ９を取り付けることが好ましい。その他の構造は前
記第１実施例と同様であり、同一部品は同一符号を付し
て説明を省略する。
【００１８】本実施例によるときは、作業室３２は全体
に上部から下方に向けての空気流を生じ、床下室３５を
通じて空調室３３に至り、該空調室において一部の空気
は空調機６により温湿度が調整され、この調整した空気
と非調整空気とは混合して循環ファン１０により天井室
７内に圧入され、フィルタ９から作業室内に排出され、
これを繰り返す。
に上部から下方に向けての空気流を生じ、床下室３５を
通じて空調室３３に至り、該空調室において一部の空気
は空調機６により温湿度が調整され、この調整した空気
と非調整空気とは混合して循環ファン１０により天井室
７内に圧入され、フィルタ９から作業室内に排出され、
これを繰り返す。
【００１９】本実施例においても作業室３２内の空気は
床下室３５を通じて直接空調室３３に導かれる故、従来
のダクトによる輸送と異なり、床下室全面均一に吸引作
用を及ぼすことができる。
床下室３５を通じて直接空調室３３に導かれる故、従来
のダクトによる輸送と異なり、床下室全面均一に吸引作
用を及ぼすことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上の如く本発明によるときは、クリー
ンルームの室の一側を仕切り壁により作業に充分な広さ
を有する作業室と空調室とに区分し、該空調室に空調機
を収納するようにしたから、従来の空調機を室外に配置
しダクトにより連結する方式に比し空調機の設置場所及
びダクト工事を必要とせず、コンパクトに纏めることが
できる。さらにまた本発明によるときは、作業室内の空
気はダクトを介せず空調室内に流入するようにしたか
ら、作業室内の空気は空調室に流入し循環される故、作
業室内の空気は均一な清浄度を保持することができる。
ンルームの室の一側を仕切り壁により作業に充分な広さ
を有する作業室と空調室とに区分し、該空調室に空調機
を収納するようにしたから、従来の空調機を室外に配置
しダクトにより連結する方式に比し空調機の設置場所及
びダクト工事を必要とせず、コンパクトに纏めることが
できる。さらにまた本発明によるときは、作業室内の空
気はダクトを介せず空調室内に流入するようにしたか
ら、作業室内の空気は空調室に流入し循環される故、作
業室内の空気は均一な清浄度を保持することができる。
【図１】本発明の第１実施例の全体概略図である。
【図２】本発明の第２実施例の全体概略説明図である。
【図３】本発明の第３実施例の全体概略説明図である。
【図４】従来例のクリーンルームの全体概略説明図であ
る。
る。
１ クリーンルーム ２ 仕切り壁 ３ 通気孔 ４ 作業室 ５ 空調室 ６ 空調機 ７ 天井室 ８ 天板 ９ フィルタ １０ 循環ファン ２０ クリーンルーム ２１ ダクト ２２ フィルタ部材 ３０ クリーンルーム ３１ 仕切り壁 ３２ 作業室 ３３ 空調室 ３４ 床板 ３５ 床下室
Claims (4)
- 【請求項１】 クリーンルーム室の一側を通気性仕切り
壁により作業室と空調室とに区分し、該空調室内に空調
機を配置し、かつ該空調室には循環ファンを備え、該循
環ファンにより前記作業室内からの空気を直接、及び空
調機を介して循環される温湿度を調整した空気を吸引
し、上記作業室の天板に設けられるフィルタに供給し該
フィルタを介して前記作業室内に循環供給することを特
徴とするクリーンルーム。 - 【請求項２】 クリーンルームの天板上方に形成される
天井室は気密構造とし、浄化室の循環ファンからの排気
は天井室内に吹き込み、天板に取り付けられるフィルタ
を介して作業室内に噴出させることを特徴とする請求項
１記載のクリーンルーム。 - 【請求項３】 浄化室に設けられる循環ファンと天板に
取り付けられるフィルタとはダクトにより連結されてい
ることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム。 - 【請求項４】 クリーンルームの一側を仕切り壁により
区画して作業室と空調室とに区分し、該空調室に空調機
を配置し、かつ該空調室には循環ファンを備え、クリー
ンルームの床面には床下通路に通じる排気孔を設け、床
下通路と前記空調室とを連通するとともに、上記循環フ
ァンにより床下通路からの空気を直接及び空調機を介し
て排出される温湿度を調整した空気を吸引し、上記作業
室の天板に設けられるフィルタを介して該作業室内に循
環供給することを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33420791A JPH05141730A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33420791A JPH05141730A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | クリーンルーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05141730A true JPH05141730A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=18274744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33420791A Pending JPH05141730A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05141730A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152259A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
| JP2021156488A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム及びクリーンルームの使用方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62268949A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-21 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空調装置 |
| JPS63135737A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Shimizu Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPH0255036B2 (ja) * | 1983-01-24 | 1990-11-26 | Yakult Honsha Kk |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP33420791A patent/JPH05141730A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0255036B2 (ja) * | 1983-01-24 | 1990-11-26 | Yakult Honsha Kk | |
| JPS62268949A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-21 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 空調装置 |
| JPS63135737A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Shimizu Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007152259A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |
| JP2021156488A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | 三機工業株式会社 | クリーンルーム及びクリーンルームの使用方法 |
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