CN1362600A - 清洁工作舱和清洁通道 - Google Patents

Abstract

一种清洁工作舱,其具有一个向着一个清洁空间的内侧突出的工作单元,从而形成一个位于所述工作单元正下方的呈空间状态的部分。穿过工作单元的向下流动的清洁空气令人满意地均匀地向下流动,随后通过一个安置在清洁空间下侧的排气部而向着工作舱的外部平稳地排出。另外,一个室被形成以便与所述工作舱的外部从空间上分隔开。操作室内的压力被设置得比工作舱外部的压力要高,并被保持在低于清洁空间内的压力的水平。

Description

清洁工作舱和清洁通道

发明领域

本发明涉及一种清洁工作舱，其具有一种结构，该结构使得可以相对于位于一个清洁空间内的工件进行各种操作，其中向下流动的清洁空气被供应给该清洁空间，本发明还涉及一种清洁通道，其包括若干上述清洁工作舱。

本发明基于日本专利申请号396762/2000以及396763/2000，这两个专利申请的全部内容被本文所引用。

背景技术

一般来说，当需要在一间清洁房间内对工件进行加工、装配、检查以及类似的操作时，通常使用的是一个紊乱式的舞厅型房间(大房间型)，使清洁空气从天花板向下吹，并被抽吸到房间的地板、天花板和墙壁的表面。但是最近，逐渐采用了一种工作台，其中只有围绕着支承工件用的工作单元的区域被局部安置在清洁环境中。

如图4所示，清洁台被如此地设计，即清洁空气3仅向下流动到围绕着一个放置在支承台1上的工作单元2的区域中。如果通过将若干如此构造的清洁台并置并连接在一起，从而形成清洁通道，则当工件在清洁通道中被输送时，能够连续并顺序地进行加工等各种操作。

在通过采用舞厅型(大房间型)的清洁房间或者局部清洁台而充分地获得均匀向下流动的清洁空气的场合，天花板的整个表面由一个高效粒子空气(HEPA)过滤器而组成，地板由格栅而分隔，空气沿着向下的方向而被均匀地抽吸到地板中。

但是，这种传统结构的清洁台存在以下问题：

(1)因为尺寸的限制，要通过一个输送器非常困难，并且安装工作单元也存在大的限制。

(2)因为仪器被放置在清洁台上，因此仪器所产生的热量使得温度升高。

(3)因为所采用的结构是工作单元从底部连续地被堆叠上去，因此较低的部分一侧被堵塞，又由于向下流动的空气停滞在那里，所以悬浮的粒子容易附着在工件上。

(4)当要修理工作单元时，清洁通道(工作台站)中的所有工作单元必须停止操作。

(5)当需要达到高水平的清洁度时，因为清洁台和管道必须安装在高清洁度的清洁房间内，所以安装成本变得非常高。

如果HEPA过滤器被安装在清洁房间的天花板的整个表面上，则在HEPA过滤器的边缘部分和连接部分上形成有空气不流动的部分。结果，就产生清洁空气向下流动的流率的不同，使得很难得到一个均匀的向下流动。而且，为了提高清洁度水平，必须增加循环换气装置的数目，结果气流量增加了，从而造成运行成本增加的问题。

另外，在气流量增加的场合，在HEPA过滤器出口附近的气流和在HEPA过滤器出口下方区域的气流之间的速度差增加，从而清洁空气的向下流动经常变得不稳定。因此，即使气流量增加，并且循环换气装置的数目增加了，但是清洁度和清洁度恢复特征并不象预期的那样高，而且整个系统变得很大，非常不利。另外，当在具有特殊形状的清洁通道的整个范围上采用HEPA过滤器时，过滤器就需要定制，因此交付周期非常长，并且系统的成本变得非常高。

因此，本发明的目的是提供具有一种结构的清洁工作舱，所述结构使得可以相对于工件而有效地进行各种操作，并且提供了一种清洁通道，其包括若干以上清洁工作舱。

发明概述

为了实现上述目的，根据本发明的清洁工作舱，一个工作单元被如此地安装以便从确定了一个清洁空间的深度方向后侧的本体壁部向着清洁空间的内侧突出，从而形成了位于工作单元正下方的空间状态的一个部分。因此，穿过工作单元的向下流动的清洁空气令人满意地以均匀层状流动的形式向下流动，随后通过一个安置在清洁空间下侧的排气部而向着工作舱外部平稳地排出。另外，操作室被如此地形成以便通过一个覆盖操作室的板件而与工作舱外部从空间上分隔开。由于板件的空间遮断作用，操作室内的压力被设置得比工作舱外部的压力要高，并被保持在低于清洁空间内的压力的水平。

因此，向下流动的清洁空气被设置得沿着一个方向，在该方向清洁空气从清洁空间并通过操作室而向着工作舱外部持续地流动。因此，清洁空间内的清洁度达到高的水平，并且成功地保持着这个清洁状态。

在本发明的清洁工作舱中，如果用于抽吸操作室内部的空气的吸气部被设置在操作室的上部，则操作室上侧容易滞流的空气通过吸气部而被排出操作室。因此，就有可能成功地防止操作室内的污浊空气进入清洁空间的内部。

在本发明的清洁工作舱中，如果吸气部所抽吸的空气量被调节，以便将操作室内的压力保持在高于工作舱外部的压力的水平，则就可能防止工作舱外侧的污浊空气流入操作室中。

在本发明的清洁工作舱中，如果用于使操作者观察清洁空间内的工件的工作孔被设置在位于清洁空间和操作室之间的深度方向前侧的本体壁部，同时如果具有弯曲表面的、并向着清洁空间内侧伸出的窗板被安装在工作孔上，那么操作者的视野通过具有弯曲表面的窗板而被扩大了，使得有可能有效地提高操作效率。另外，借助于窗板的空间遮断作用，可以防止操作者所带来的灰尘进入清洁空间的内部。

在本发明的清洁工作舱中，如果用于将部分向下流动的清洁空气导入操作室内的空气通孔被设置在位于具有弯曲表面的窗板的正下方的位置处，同时如果窗板的下侧弯曲表面被如此地构造形状，以使得它从窗板的弯曲表面的突出顶点向着空气通孔弯曲，那么位于清洁空间内部的工作单元附近的部分空气被沿着窗板下半部分的弯曲表面而导入空气通孔一侧，并通过空气通孔而流入操作室中。因此，就有可能可靠地防止悬浮的颗粒附着在工件上。

在本发明的清洁工作舱中，如果仪器和操作者不处在同一位置，并且具有弯曲表面的窗板位于仪器和操作者之间，同时仪器位于清洁空间的外侧，使仪器处在与窗板大致相同的高度，那么向下流动的清洁空气就不会因仪器而成为紊流，并且清洁空间的内部不会由于仪器所产生的热量而发生温度上升，同时可以避免仪器所产生的灰尘进入清洁空间的内部。

在本发明的清洁工作舱中，如果用来提供向下流动的清洁空气的空气输送部被是设置在清洁空间的天花板上的本体壁部，并且如果一个具有向下凸出曲面的弯曲过滤器被安置在空气输送部，从而由空气输送部提供的并通过弯曲过滤器而向下流动的清洁空气向着垂直于深度方向的至少一个宽度方向大致放射状地扩大，然后向下流动的清洁空气令人满意地被提供到沿着清洁空间的宽度方向的至少整个宽度上。

在本发明的清洁工作舱中，如果排气孔被分别设置在确定清洁空间的本体壁部的下端以及分隔操作室的板件的下端，那么就有可能成功地形成清洁空气的向下流动。

根据本发明的清洁通道，因为清洁通道是通过将以上所描述的清洁工作舱并置以及连接成一排而形成的，所以上述操作也可以在清洁通道中类似地获得。

另外，在本发明的清洁工作舱中，设有一种构造，使得出口表面过滤器的空气输送表面被如此地形成以便至少沿着垂直于深度方向的宽度方向而大致放射状地弯曲，从而当空气输送部所提供的向下流动的清洁空气在至少沿着宽度方向被大致放射状地扩大的同时被输送。因此，从出口表面过滤器的空气输送表面所供应的向下流动的清洁空气至少沿着清洁空间的宽度方向而被成功地供应到整个宽度上，从而有可能获得均匀的向下流动。

在本发明的清洁工作舱中，如果设有一种构造，使得出口表面过滤器的空气输送表面被如此地形成以便沿着深度方向大致放射状地弯曲，并且由空气输送部所提供的向下流动的清洁空气在沿着深度方向大致放射状地扩大的同时被输送，那么从出口表面过滤器的空气输送表面所供应的向下流动的清洁空气不仅沿着清洁空间的宽度方向而且沿着清洁空间的深度方向而被成功地供应到整个宽度上，从而使得有可能获得更加均匀的向下流动。

在本发明的清洁工作舱中，内部主过滤器可以通过尺寸小于清洁空间的天花板部分的尺寸的高效粒子空气过滤器而构成。

在本发明的清洁工作舱中，如果出口表面过滤器通过由尼龙布制成的网状过滤器构成，并且由尼龙制造的网状过滤器在松弛的状态下被安装并因此而沿着深度方向和相垂直的宽度方向大致放射状地弯曲，从而由空气输送部提供的向下流动的清洁空气在沿着深度方向和宽度方向大致放射状地扩大的同时被输送，因此借助于采用不昂贵过滤器元件的系统，就有可能在清洁空间的宽度和深度两个方向上获得均匀的向下流动。

在本发明的清洁工作舱中，如果用于使操作者观察清洁空间内的工件的工作孔被设置在清洁空间的深度方向的前侧，而一个向着清洁空间内侧突出的并具有曲面的透明窗板与工作孔相连，并且如果内部主过滤器以及出口表面过滤器被安置在透明窗板的深度方向后侧的上部，那么操作者的视野就通过具有曲面的透明窗板而被扩大了，使得有可能获得令人满意的操作效率。另外，借助于透明窗板的空间遮断作用，就能够防止操作者所带来的灰尘进入清洁空间的内部。

在根据本发明的清洁工作舱中，如果用于将部分向下流动的清洁空气向着操作者引导的空气通孔被设置在位于具有弯曲表面的透明窗板的正下方的位置处，同时透明窗板的下侧弯曲表面被如此地构造形状，即它从透明窗板的弯曲表面的突出顶点向着空气通孔弯曲，那么位于清洁空间内部的工作单元附近的部分空气就被沿着窗板下半部分的弯曲表面而导入空气通孔一侧，并通过空气通孔而流入操作室中。因此，就有可能有效地防止悬浮的颗粒附着在工件上。

在本发明的清洁工作舱中，如果一个工作单元被如此地安装以便从一个确定了清洁空间的深度方向后侧的本体壁部向着清洁空间的内侧突出，从而形成了一个位于工作单元正下方的空间状态的部分。因此，穿过工作单元的向下流动的清洁空气令人满意地以均匀层状流动的形式向下流动，并随后通过一个安置在清洁空间下侧的排气部而向着工作舱外部平稳地排出。

另外，可以设有一种构造，以便用于将向下流动的清洁空气排出工作舱的排气部被设置在清洁空间的下侧，并且操作者所位于的操作室被如此地形成以便通过一个覆盖操作室的板件而与工作舱的外部从空间上分隔，这样，由于板件的空间遮断作用，所以操作室内的压力被设置得比工作舱外部的压力要高，并被保持在低于清洁空间内的压力的水平。如果设有这种构造，则向下流动的清洁空气被沿着一个方向定向，在该方向清洁空气从清洁空间内通过操作室而向着工作舱的外部持续地流出。因此，清洁空间内的清洁度达到高的水平，并且成功地维持着这种清洁状态。

在根据本发明的清洁通道中，因为清洁通道是通过将若干清洁工作舱并置并连接成一排而形成的，所以上述操作在清洁通道中也能够类似地获得。

附图的简单描述

图1为示意性的剖视图，其示出了根据本发明的一个实施例的清洁工作舱的结构；

图2为示意性的前视图，其示出了图1中的清洁工作舱的操作室；

图3为示意性的前视图，其示出了图1中的清洁工作舱的清洁空间的内部；

图4为示意性的侧视图，其示出了通常所应用的清洁台的结构。

优选实施例的详细描述

下面，将参考附图而对一个实施例进行详细的描述。

在图1和图2所示出的根据本发明实施例的清洁工作舱10中，确定出一个供应有向下流动的清洁空气11的清洁空间12，以便被框架状的本体部13的壁部从空间上分隔。操作者P所位于的操作室14被设置以便通过位于前侧(图1中的左侧)的本体前壁部13a而与清洁空间12相邻，如沿着清洁空间12的深度方向(图1中的左右方向)所示。当位于操作室14中的操作者P向着放置在清洁空间12中的工作单元15并朝着内侧伸展他的手时，操作者可以相对于支撑在工作单元15上的工件W而执行各种操作。

具体地说，本体部13被构造以使得本体壁部被适当地安装在由方管等形成的机架的必要的部分上。清洁空间12通过安置在深度方向前侧的本体前壁部13a而与操作室14隔离。通过一个远离本体前壁部13a并位于深度方向后侧的本体后壁部13b，使得清洁空间12与工作舱外部空间S分隔开。

如图3所示，过滤器单元16被安装在对应于本体部13的天花板部的壁部的上部。由于位于过滤器单元16中的风扇电机16a的驱动力，工作舱外部空间S中的空气通过一个位于过滤器单元16的上表面上的预过滤器16b而被吸入工作舱内部。另外，已经由位于过滤器单元16下部的空气输送部16c中的高效粒子空气(HEPA)过滤器16d净化过的空气被作为向下流动的清洁空气11而被从清洁空间12的上侧向着下侧供应。

由HEPA过滤器所构成的内部主过滤器16d被设置在空气输送部16c内部的上游侧(图中的上侧)，同时一个出口表面过滤器(弯曲过滤器)16e被设置在内部主过滤器16d的下游侧(下侧)，它由尼龙布制造的网状过滤器构成。内部主过滤器16d的平面视图具有矩形的外部形状，并基本小于清洁空间12的天花板部的尺寸，并且出口表面过滤器16e被安置以便从下侧覆盖住内部主过滤器16d。

通过具有向下凸出的曲面的弯曲过滤器而形成位于空气输送部16c中的HEPA过滤器16d。通过由弯曲过滤器而形成的HEPA过滤器16d，向下流动的清洁空气在向着垂直于深度方向的宽度方向(图2中的左右方向)大致放射状地扩大的同时而被供应。

由尼龙布制造的网状过滤器所构成的出口表面过滤器16e在松弛的状态下被安装，以便向着下侧弯曲地下垂，因此出口表面过滤器16e所具有的表面形状大致沿着深度方向(图1中的左右方向)以及相垂直的宽度方向(图2中的左右方向)而大致放射状地弯曲。这种结构使得从出口表面过滤器16e中供应的向下流动的清洁空气11在沿着深度方向和宽度方向通过该出口表面过滤器16e的大致放射形的弯曲而被大致放射状地扩大的同时被输送。

另外，工作单元15被支撑在一个可移动的单元15a上，可移动单元15a可沿着清洁空间12的深度方向移动。这种构造使得在可移动单元15a与位于本体部13的本体后壁部13b上的开口连接时形成上述清洁空间12。也就是说，工作单元15以壁安装形式被支撑，即具有一种从确定清洁空间12的本体后壁部13b而向着清洁空间12的内侧突出的结构。安置在工作单元15上的工件W通过一个未示出的进给输送器或者适当的部件而被进给。

另外，操作室14被如此地形成以便能够通过用于覆盖操作室14四周的透明尼龙板件14a而与工作舱外部空间S从空间上分隔开。由于这种尼龙板件14a的空间分隔作用，所以操作室14内部的压力BP被设置得比工作舱外部空间S中的压力OP略微大一些(BP＞OP)，并被保持得比清洁空间12内的压力CP略微低一些，从而清洁空间12内的空气将流入操作室14中(BP＜CP)。

因此，向下流动的清洁空气11被设置在一个方向上，在该方向清洁空气11从清洁空间12的内部通过操作室14而向着工作舱外部空间S持续地流出。因此，清洁空间12内部的清洁度具有一个高的水平，并且这种清洁状态被成功地保持着。

同时，用于抽吸操作室14内部空气的吸气部14b被设置在操作室14的上部，因此操作室14上侧的容易滞留的空气通过吸气部14b而被排出操作室。因此，就有可能成功地防止操作室14内部的污浊空气进入清洁空间12中。

多个未示出的抽吸孔被贯穿地形成在吸气部14b的前表面上，并通过管子而与过滤器单元16相连以便与它连通，这种构造使得操作室14上侧的滞留空气通过抽吸孔而被抽吸。也就是说，操作室14上侧的滞留空气通过抽吸孔部14b而被吸入过滤器单元16中，在空气通过HEPA过滤器16d，即过滤器单元16中的内部主过滤器和出口表面过滤器16e而被净化后，空气被作为向下流动的清洁空气11而被输送到清洁空间12中。应当注意到吸气部14b所抽吸的空气量被调节以便将操作室14内的压力BP保持在比工作舱外部的压力OP高的水平，从而防止工作舱外面的污浊空气流入操作室14中。

另外，用于使操作者P在观察清洁空间12内的工件W时执行操作的工作孔13c被贯穿地形成在清洁空间12和操作室14之间的深度方向前侧的本体前壁部13a上。一个透明的窗板14c具有大致半圆形的截面并向着清洁空间12突出，该窗板14c与工作孔13c相连。并且，由于内部主过滤器16d和出口表面过滤器16e被安置在透明窗板14c的深度方向的后侧的上部，所以就提供了一种结构，使得操作者P的视野通过具有曲面的窗板14c而被扩大了，因此就可能获得令人满意的操作效率，并且通过透明窗板14c的空间遮断作用，由操作者P所带来的灰尘不能进入清洁空间12的内部。

另外，工作孔13c被贯穿地形成，从而对应于位于透明窗板14c的正下方位置处的工作孔13c作为一个空气通孔14d，其通过清洁空间12和操作室14之间的压力差而引导向下流动的清洁空气11进入操作室14中。同时，具有半圆形表面的透明窗板14c的下弯曲表面被如此地成形，即从透明窗板14c的弯曲表面的突出顶点A向着空气通孔14d弯曲。

另外，在一个远离操作者P的位置，其中透明窗板14c位于该位置和操作者P之间并且该位置处在清洁空间12的外面，在该位置各种用于测量和显示的仪器17被设置得大致和透明窗板14c的高度相同。这些仪器17不是被安置在清洁空间12中，而是被安置在本体部13的框架上，从而操作者P能够通过透明窗板14c而观察到仪器17。

因此，向下流动的清洁空气11不会因仪器17而形成紊流，清洁空间12的内部不会由于仪器17所产生的热量而发生温度上升的现象，并且由仪器17所产生的灰尘不会进入清洁空间12内。

另外，排气孔12a和14e分别被设置在确定清洁空间12的相应的本体壁部的下端以及分隔操作室14的尼龙板件14a的一个下端部分，从而向下流动的清洁空气11最终通过这些排气孔12a和14e而被排到工作舱外部空间S中。因此，就有可能成功地形成清洁空气11的向下流动。

若干具有上述结构的清洁工作舱10沿着宽度方向并置，当若干清洁工作舱10彼此相连时，就可能形成一个清洁通道，其中清洁工作舱10为管型。通过这种清洁通道，也有可能以类似的方式获得上述操作以及优点。

根据本发明的清洁工作舱10，工作单元15被如此地安装，以便从确定清洁空间12的深度方向后侧的本体壁部13b向着清洁空间12的内侧突出，从而形成正好位于工作单元15下方的空间形式的部分。因此向下流动的穿过工作单元15的清洁空气11令人满意地以均匀的层状流动而向下流动，并且通过位于清洁空间12下侧的排气孔12a而向着工作舱外部空间S顺序平稳地排出。

另外，用于将部分向下流动的清洁空气11导入操作室14中的空气通孔14d被形成在具有曲面的窗板14c的正下方的位置处。而且，具有曲面的透明窗板14c的下部曲面被如此地成形，即从透明窗板14c的曲面的突出顶点A向着空气通孔14d弯曲。因此，清洁空间12内的工作单元15附近的部分空气被沿着窗板14c的下半部分而导入空气通孔14d，并被允许通过空气通孔14d而流入操作室14中。因此，就有可能有效地防止悬浮粒子附着在工件W上。

另外，根据本实施例的清洁工作舱10，用于提供向下流动的清洁空气11的空气输送部16c被设置在位于清洁空间12的天花板上的本体壁部，具有向下凸出的曲面的出口表面过滤器16e被设置在空气输送部16c中。该出口表面过滤器16e的空气输送表面被如此地形成以便沿着深度方向以及相垂直的宽度方向而大致放射状地弯曲。结果，这种构造使得由出口表面过滤器16e的空气输送表面所提供的向下流动的清洁空气11在沿着深度方向和宽度方向大致放射状地扩大的同时而被输送。因此，由出口表面过滤器16e的空气输送表面所提供的向下流动的清洁空气11就会沿着清洁空间12的深度方向和宽度方向整体地令人满意地被输送，从而就可能获得一个均匀的向下的流动。

出口表面过滤器16e通过由尼龙布制造的网状过滤器而构成，并且这种尼龙布制造的网状过滤器以松弛的状态被安装，从而沿着深度和宽度方向大致放射状地弯曲。这种构造使得由空气输送部16c所提供的向下流动的清洁空气11在沿着深度方向和宽度方向大致放射状地扩大的同时而被输送。因此借助于这种采用不昂贵过滤件的系统，就有可能获得沿清洁空间的宽度方向和深度方向的均匀的向下流动。

另外，由于上述内部主过滤器16d由HEPA过滤器构成，HEPA过滤器具有比清洁空间12的天花板的尺寸小很多的平面形状，所以就有可能通过一种简单并小巧的HEPA过滤器而获得一个均匀的向下的流动。

虽然以上对由本申请的发明人所设计的实施例进行了描述，但是本发明不仅仅限于上述实施例，毋庸置疑可以在不脱离本发明主旨的范围内进行各种改变。

综上所述，根据本发明的清洁工作舱被构造，从而工作单元被如此地安装以便从确定清洁空间的深度方向后侧的本体壁部向着清洁空间的内侧突出，藉此位于工作单元正下方的部分被形成为空间，而且使得穿过工作单元的向下流动的清洁空气以均匀层状的流动而向下流动并且通过位于清洁空间下侧的排气部而向着工作舱外部平稳地排出。另外，提供一种构造，从而使得操作室通过覆盖操作室的板件而与工作舱外部从空间上隔离，因此由于板件的空间分隔作用，操作室内的压力被设置得比工作舱外部的压力要高，并被保持在低于清洁空间内部的压力水平。因此，清洁空间内的清洁度达到高的水平，并且成功地保持这个清洁状态，从而清洁空间内部的清洁度能够以低成本而轻松地得到改善。

另外，根据本发明的清洁工作舱，因为用于抽吸操作室内部空气的吸气部位于操作室的上部，所以操作室上侧的容易滞流的空气通过吸气部而被排出操作室。因此，就有可能成功地防止操作室内的污浊空气进入清洁空间的内部。

另外，根据本发明的清洁工作舱，因为吸气部所抽吸的空气量被调节以便将操作室内的压力保持在高于工作舱外部的压力的水平，所以就有可能防止工作舱外部的污浊空气流入操作室中。

另外，在本发明的清洁工作舱中，因为用于使操作者观察清洁空间内的工件的工作孔被设置在位于清洁空间和操作室之间的深度方向前侧的本体壁部，同时因为具有弯曲表面的、并向着清洁空间内侧伸出的窗板被安装在工作孔上，所以操作者的视野通过具有弯曲表面的窗板而被扩大了，使得有可能有效地提高操作效率。另外，借助于窗板的空间遮断作用，可以防止由操作者所带来的灰尘进入清洁空间的内部。

另外，在本发明的清洁工作舱中，因为用于将部分向下流动的清洁空气导入操作室内的空气通孔被设置在具有弯曲表面的窗板的正下方的位置处，同时因为窗板的下侧弯曲表面被如此地构造形状，即它从窗板的弯曲表面的突出顶点向着空气通孔弯曲，所以位于清洁空间内部的工作单元附近的部分空气被沿着窗板下半部分的弯曲表面而导入空气通孔一侧，并通过空气通孔而流入操作室中。因此，就可能有效地防止悬浮的颗粒附着在工件上。

另外，根据本发明的清洁工作舱，因为仪器和操作者不处在同一位置，具有弯曲表面的窗板位于仪器和操作者之间并且仪器位于清洁空间的外部，同时仪器处在与窗板大致相同的高度，所以向下流动的清洁空气不会因仪器而成为紊流，并且清洁空间的内部不会由于仪器所产生的热量而发生温度上升，同时可以避免仪器所产生的灰尘进入清洁空间的内部。

另外，根据本发明的清洁工作舱，因为用来提供向下流动的清洁空气的空气输送部位于清洁空间的天花板上的本体壁部，并且具有向下凸出曲面的弯曲过滤器被安置在空气输送部，从而由空气输送部提供并通过弯曲过滤器的向下流动的清洁空气至少向着垂直于深度方向的宽度方向而大致放射状地扩大。因此，向下流动的清洁空气令人满意地被供应到清洁空间宽度方向的至少整个宽度上。

另外，根据本发明的清洁工作舱，因为排气孔被分别设置在确定清洁空间的本体壁部的下端以及分隔操作室的板件的下端，所以就有可能成功地形成清洁空气的向下流动。

另外，根据本发明的清洁通道，因为清洁通道是通过将以上所描述的清洁工作舱并置以及连接成一排而形成的，所以上述操作也可以在清洁通道中类似地获得。

另外，根据本发明的清洁工作舱被构造，使得出口表面过滤器的空气输送表面被如此地形成以便沿着垂直于深度方向的至少一个宽度方向而大致放射状地弯曲，并且当空气输送部所提供的向下流动的清洁空气在至少沿着宽度方向而被大致放射状地扩大的同时被输送，因此由出口表面过滤器的空气输送表面所提供的向下流动的清洁空气能够至少沿着清洁空间的宽度方向而被成功地供应到整个宽度上，从而使得有可能获得均匀的向下流动。

另外，根据本发明的清洁工作舱，因为设有一种构造，使得出口表面过滤器的空气输送表面被如此地形成以便沿着深度方向大致放射状地弯曲，同时由空气输送部所提供的向下流动的清洁空气在沿着深度方向大致放射状地扩大的同时被输送，所以由出口表面过滤器的空气输送表面所提供的向下流动的清洁空气不仅沿着清洁空间的宽度方向而且沿着清洁空间的深度方向而被成功地供应到整个宽度上，从而使得有可能获得更加均匀的向下流动。

另外，因为本发明的清洁工作舱被构造而使得内部主过滤器可以通过尺寸小于清洁空间的天花板部分的尺寸的高效粒子空气过滤器而构成，所以就有可能通过一个简单并小巧的HEPA过滤器而获得均匀的向下流动。

另外，本发明的清洁工作舱被构造以使得出口表面过滤器通过由尼龙布制成的网状过滤器而构成，并且由尼龙布制造的网状过滤器在松弛的状态下被安装，因此它沿着深度方向和相垂直的宽度方向大致放射状地弯曲，从而由空气输送部提供的向下流动的清洁空气在沿着深度方向和宽度方向大致放射状地扩大的同时被输送。因此借助于采用便宜过滤器元件的系统，就有可能在清洁空间的宽度和深度两个方向上获得均匀的向下流动。

另外，本发明的清洁工作舱被构造以使得用于使操作者观察清洁空间内的工件的工作孔被设置在清洁空间的深度方向的前侧，并且一个向着清洁空间内侧突出的具有曲面的透明窗板与工作孔相连，同时内部主过滤器以及出口表面过滤器被安置在透明窗板的深度方向后侧的上部。因此，操作者的视野通过具有曲面的透明窗板而被扩大了，使得有可能获得令人满意的操作效率。另外，借助于透明窗板的空间遮断作用，就能够防止操作者所带来的灰尘进入清洁空间的内部。

还有，本发明的清洁工作舱被构造以使得用于将部分向下流动的清洁空气向着操作者导入的空气通孔被设置在具有弯曲表面的透明窗板的正下方的位置处，同时透明窗板的下侧弯曲表面被如此地构造形状，使得它从透明窗板的弯曲表面的突出顶点向着空气通孔弯曲。因此，清洁空间内部的工作单元附近的部分空气被沿着窗板下半部分的弯曲表面而导入空气通孔一侧，并通过空气通孔而流入操作室中。因此，就有可能防止悬浮的颗粒附着在工件上。

还有，因为本发明的清洁工作舱被构造以使得一个工作单元被如此地安装，即从一个确定清洁空间的深度方向后侧的本体壁部向着清洁空间的内侧突出，从而形成了一个位于工作单元正下方的空间状态的部分，因此穿过工作单元的向下流动的清洁空气令人满意地以均匀层状流动的形式向下流动，并且通过一个安置在清洁空间下侧的排气部而向着工作舱的外部平稳地排出。另外，因为操作者所位于的操作室被如此地形成以便通过一个覆盖操作室的板件而与工作舱的外部从空间上分隔，这样，由于板件的空间分隔作用，操作室内的压力被设置得比工作舱外部的压力要高，并被保持在低于清洁空间内的压力的水平。因此，清洁空间内的清洁度能够达到高的水平。

另外，根据本发明的清洁通道，因为清洁通道是通过将若干清洁工作舱并置并连接成一排而形成的，所以上述优点在清洁通道中也能够类似地获得。

Claims (17)

1、一个清洁工作舱，包括：

清洁空间，其通过一个本体部的壁部形成，并且向下流动的清洁空气被供应到所述清洁空间中；

工作单元，其用于支撑安置在所述清洁空间内的一个工件；以及

室，其通过一个位于所述清洁空间前侧的本体壁部而毗邻所述清洁空间，以便使得位于所述室内的操作者在将手伸展到所述清洁空间中的时候，可相对于安置在所述工作单元上的工件执行操作，

其中，所述工作单元从形成所述清洁空间的一个后侧的所述本体壁部向着所述清洁空间的内侧突出，

用于将向下流动的清洁空气排出所述工作舱的排气部被设置在所述清洁空间的下侧，

所述室被构造以便将所述室通过一个覆盖所述室的板件而与所述工作舱的外部从空间上进行分隔，以及

由于所述板件的分隔作用，所述室内部的压力被设置得比所述工作舱外部的压力要高，并且所述室内部的所述压力被设置得比所述清洁空间内部的压力要低。

2、如权利要求1所述的清洁工作舱，其特征在于，一个用于抽吸所述室内部空气的吸气部被安置在所述室的下部。

3、如权利要求2所述的清洁工作舱，其特征在于，所述吸气部所抽吸的空气量被调节，以便将所述室内部的压力保持得比所述工作舱外部的压力要高。

4、如权利要求1所述的清洁工作舱，其特征在于，进一步包括一个位于所述本体壁部的工作孔，用于使操作者能够观察所述清洁空间内部的工件，以及

一个窗板，其具有向着所述清洁空间的内侧突出的曲面，并被连接在所述工作孔上。

5、如权利要求4所述的清洁工作舱，其特征在于，一个用于将部分向下流动的清洁空气导入所述室中的空气通孔被形成在所述弯曲窗板正下方的位置，并且所述具有曲面的窗板的下侧曲面被成形以便从所述窗板的曲面的突出顶点向着所述空气通孔弯曲。

6、如权利要5所述的清洁工作舱，其特征在于，仪器被设置在远离操作者的位置，并且具有弯曲表面的窗板位于仪器和操作者之间，同时仪器位于清洁空间的外部，所述仪器处在与所述窗板大致相同的高度。

7、如权利要1所述的清洁工作舱，其特征在于，用来提供向下流动的清洁空气的空气输送部被设置在所述清洁空间的天花板上的所述本体壁部，并且具有向下凸出的曲面的弯曲过滤器被安置在所述空气输送部，并且由所述空气输送部供应的、通过所述弯曲过滤器的向下流动的清洁空气向着垂直于深度方向的至少一个宽度方向大致放射状地扩大。

8、如权利要1所述的清洁工作舱，其特征在于，所述排气孔被分别设置在确定所述清洁空间的本体壁部的下端以及分隔所述室的板件的下端。

9、一个清洁通道，其包括若干根据前面权利要求1-8中任一权利要求所述的清洁工作舱，所述清洁工作舱被并置以及连接成一排。

10、一个清洁工作舱，其中，清洁空气通过设置在清洁空间中的空气输送部上的一个内部过滤器而被净化，并通过位于所述内部过滤器的下游端的一个出口表面过滤器而作为向下流动的清洁空气被从所述空气输送部向下供应到所述清洁空间中，以及

所述出口表面过滤器的一个空气输送表面被形成以便沿着垂直于深度方向的至少一个宽度方向而大致放射状地弯曲，以及

由所述空气输送部所供应的向下流动的清洁空气沿着宽度方向被大致放射状地扩大的同时被输送。

11、如权利要求10所述的清洁工作舱，其特征在于，所述出口表面过滤器的空气输送表面被形成以便沿着深度方向大致放射状地弯曲，并且由所述空气输送部所提供的向下流动的清洁空气沿着深度方向被大致放射状地扩大的同时被输送。

12、如权利要求10所述的清洁工作舱，其特征在于，所述内部过滤器由尺寸小于所述清洁空间的天花板部的尺寸的一个高效粒子空气过滤器而构成。

13、如权利要求10所述的清洁工作舱，其特征在于，所述出口表面过滤器通过由尼龙布制成的网状过滤器而构成，并且所述网状过滤器在松弛的状态下被安装，并因此而沿着深度方向和相垂直的宽度方向大致放射状地弯曲，从而由所述空气输送部所供应的向下流动的清洁空气在沿着深度方向和宽度方向大致放射状地扩大的同时被输送。

14、如权利要求10所述的清洁工作舱，其特征在于，一个操作者相对于安置在所述清洁空间内的一个工作单元上的工件而执行操作，并且一个用于使所述操作者观察所述清洁空间内的工件的工作孔被设置在所述清洁空间的深度方向的前侧，

具有向着所述清洁空间内侧突出的曲面的一个透明窗板与所述工作孔相连，以及

所述内部过滤器和所述出口表面过滤器被设置在所述透明窗板的深度方向后侧的上部。

15、如权利要求14所述的清洁工作舱，其特征在于，用于将部分向下流动的清洁空气向着操作者引导的空气通孔被设置在具有弯曲表面的窗板的正下方，同时具有弯曲表面的所述透明窗板的下侧弯曲表面被如此地构造形状，即它从所述透明窗板的弯曲表面的突出顶点向着所述空气通孔弯曲。

16、如权利要求10所述的清洁工作舱，其特征在于，所述工作单元从确定所述清洁空间的深度方向后侧的本体壁部向着所述清洁空间的内侧突出，

用于将向下流动的清洁空气排出所述工作舱的一个排气部被设置在所述清洁空间的下侧，

所述室被如此地形成以便通过一个覆盖所述室的板件而与所述工作舱的外部从空间上分隔开，

由于所述板件的分隔作用，所述室内的压力被设置得比所述工作舱外部的压力要高，并被设置得低于所述清洁空间内部的压力。

17、一种清洁通道，其包括若干根据前面权利要求10-16中任一权利要求所述的清洁工作舱，所述清洁工作舱被并置以及连接成一排。

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