JPS6399433A - 送風装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、清浄空気を必要とする分野、例えば半導体製
造、精密機械工業、食品工業、薬品工業などで用いられ
る清浄空気を供給する送風装置に係り、特に小形化、軽
量化に好適な送風装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の装置は、第１６図、第１７図に示すように、プレ
フィルタ１０４と送風機１０１とフィルタ１１６を空気
清浄装置本体ケース１１７に、取付ける構造のものであ
り、小形化、軽量化については配慮されていなかった。

このため装置全体が重く、大形となり、かつ第１６図の
送風機１０１をフィルタ１１６の水平方向に配置した空
気清浄装置１１８を用い、第１８図のようなりリーンル
ームを形成した場合には清浄空気の吹呂面が不連続とな
り、乱流方式となるため、高清浄度クリーンルームには
不適当であった。

なお、この種の装置として関連するものには例えば特開
昭６０−８１６号公報等が挙げられる。

〔発明が解決しようとする間屈点〕

上記従来技術は装置の小形化、軽量化の点にっいては配
慮がされておらず、装置が大形化し、重量が大きいとい
う問題があった。

また最近の半導体製造工程の大形でかつ高清浄度を必要
とするクリーンルームにおいては、軽量化、小形化する
とともに高清浄度を実現するために、清浄空気の吹出面
を連続的に配置し１巻上げ気流の発生を極ノに守る必要
性が高まってきているが、従来の装置では一側面に送風
機が設けられているため、吹出面を連続的に配置する場
合でも方向的な制限があり、生産ラインの形状に合せて
の任意な配置が困難であった。

本発明の目的は、空気清浄装置を小形、軽量化するとと
もに、清浄空気吹出面を連続的な任意形状に形成可能な
構造とすることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、送風装置に気流に対して所定面積を有する
よう折曲部が形成された濾材と、該濾材を保持するとと
もに該濾材の折曲部の高さより長い寸法に形成されて気
流の上流側に延びる枠体と。

該枠体内に格納された送風機とを設け、該送風機が前記
枠体の外部の空気を吸入し加圧して前記枠体内に供給す
るよう構成することにより達成される。

好ましい実施態様によれば、前記枠体は中空部材により
形成される。

他の実施態様によれば、前記枠体は中空部材により形成
されるとともに、該中空部材の内部は前記送風機の上流
側の空間と連通ずるよう構成される。

〔作用〕

濾材に形成された折曲部は気流に対して所定面積を確保
し、通過風速を濾過に適切な風速とする。

濾材は気流中からじんあいを除去する。

枠体は濾材を保持するとともに、気流の上流側に延びて
濾材の上流側に送風機を格納する空間を形成するととも
に、該空間は送風機の吹出口に連通して圧力室を形成す
る。

送風機は枠体の外部の空気を吸入して加圧し、枠体によ
り形成された圧力室に供給する。これによって枠体内に
濾材と送風機とを一体に組込むことができ、ケースを不
要にできる。

〔実施例〕

以下１本発明の実施例を第１図〜第１３図により説明す
る。

第１図および第２図は本発明の第１実施例における送風
装置を示す。

枠体であるフレーム３は箱状に形成されてその一面に枠
体外の空気吸込口となるベルマウス３ａが形成され、こ
の面と対向する面には清浄空気の吹出口となる開口部３
ｂが形成される。フレーム３のベルマウス３ａが設けら
れた面の内側にはねじ部を有するスタッド５が溶接され
、このスタッド５を介して送風機１がフレーム３に固定
される。

本実施例では送風機１は多翼ファンでファンケース１ｃ
と、ファンケースＩＣにステー１ｄを介して固定された
ファンモーター１ａ、ファンモータ１ａの回転軸に固定
された羽根車１ｂとより成る。

ファンケース１ｃには吹出口１ｅが形成され、空気をフ
レーム３内の圧力室部分に供給する。フレーム３のベル
マウス３ａの外側には粗しん除去用のプレフィルタ４が
取付けられる。フレーム３の開口部３ｂには、折曲部２
ａが形成された濾材２が開口部３ｂの全面に設けられ、
送風機１により送風された空気からじんあいを除去する
。濾材２とフレーム３との接合部分は互いに接着剤で接
着され、接合部分におけるリークのないようシール剤が
充てんされる。フレーム３の気流の上流側に向って延び
る寸法をＨとすると、濾材２の折曲部２ａの高さｈに対
し、Ｈ＞ｈとなるよう寸法が設定される。濾材２は送風
装置の使用目的に応じて種々のものが用いられ、高い清
浄度が必要な場合にはＨＥＰＡフィルタ用の濾材が用い
られ、清浄度がそれほど必要でない場合にはガラス繊維
フィルタ等が用いられる。

本実施例の変形例を第３図〜第５図により説明する。

本実施例の第１の変形例を第３図に示す。本変形例は、
枠体３の開口部３ｂと対向する面にファンケース１ｃを
嵌挿し得る孔３ｃを設けるとともにこの面の外面にスタ
ッド５を溶接し、ファンモータｌａ、羽根車１ｂが組込
まれたファン１をマウスリング６とともに締着するよう
構成したものである。本変形例によれば、送風機１をあ
とから取付けできるのでフレーム３に濾材２を取付ける
ときに濾材２の両面から作業でき１作業効率を上げるこ
とができる。また、ファン１を取外すことのない場合に
はファン１のフレームへの固定はリベットを用いてもよ
い。

本実施例の第２の変形例を第４図に示す０本変形例は枠
体であるフレーム８の一面に開口部８ａを設け、この開
口部８ａにベルマウス７ａを備えてファン１が取付けら
れた仕切板７を固定するとともに、開口部８ａと対向す
る面に開口部８ｂを設け、この開口部８ｂに濾材２を設
けたものである。仕切板７はフレーム８に対し着脱自在
に固定され、かつ、固定時はフレーム８と濾材２、仕切
板７とで囲まれた空間の空気がリークしないようパツキ
ン等（図示せず）を介して気密に固定される。

本実施例の第３の変形例を第５図に示す６本変形例は送
風機ａとしてプロペラファンを用いた例である。枠体で
あるフレーム３の開口部３ｂと対向する面にはベルマウ
ス３ａが形成され、フレーム３の内側で濾材２の上方に
はファンモータ９ａの回転軸に固定された羽根９ｂを備
えた送風機ａがステー９ｂを介してベルマウス３ａに臨
んで取付けられる０本変形例は濾材２の圧力損失が低い
場合に主として用いられる０本変形例によれば、ファン
ケースを用いなくてもよいのでその分だけ装置の軽量化
を図ることができる。

本発明の第２実施例を第６図、第７図により説明する。

本実施例は枠体を中空部材で構成したものである。

本実施例において枠体であるフレーム１０は中空部材１
１ａ、ｌｌｂを口字状に組み、ねじ１３で締着すること
により形成される。本実施例では中空部材１１ａにねじ
の挿通孔が設けられ、この挿通孔にねじ１３を挿通して
中空部材１１ａを中空部材１１ｂに締着する。これによ
り中空部材１１ｂはその端面が中空部材１１ａにより塞
が九る。

中空部材１１ａの端面ば、この状態では開放されたまま
となるので、本実施例では当板１２をねじ１３により締
着して中空部材１１ａ内に異物やじんあいが侵入するの
を防止する。本実施例では中空部材としてアルミの押出
材を用いた例を第７図に図示しているが、これに限るこ
となく、鋼板をプレス成形したものであってもよく、さ
らには樹脂の成形品であってもよい。

本実施例によれば、枠体が中空であるため、枠体内を配
線、配管等のスペースとして利用することができる。第
６図は枠体内を照明灯１４のための配線スペースとして
利用した例を示す、フレーム１０の一面の開口部１０ａ
には送風機１およびプレフィルタ４が取付けた仕切板７
が固定さ九、送風機１の下側でフレーム１０の内面の中
程には濾材２が固定され、その下流側の清浄空気吹出口
となる開口部１０ｂには照明灯１４が取付けられる。

本実施例においては照明灯１４は直管形の蛍光ランプで
、ランプ１４ａはフレーム１０の開口部１０ｂ側の内面
の両側壁に固定されたソケット１４ｂに保持される。フ
レーム１０のソケット１４ｂが取付けられる位置および
仕切板７が固定される面にはそれぞｔＬ電線貫通孔１０
ｃおよび１０ｂが穿設され、これらの電線貫通孔を介し
て一電線１４ｃが引出される。なお、フレームが第７図
に示すようなアルミの押出材で内部に仕切がある場合は
、これらの仕切にも電線貫通孔を設けて電線を挿通させ
る。

枠体内を貫通するのは電気配線に限る二となく。

清浄エリア内で使用するガスや水等の配管等であっても
よい。本実施例によれば、配線、配管等を枠体内を通し
て清浄エリア内に導くことができるため、余分な配線、
配管スペースが不用となり、装置を小形化することがで
きる。

本発明の第３実施例を第８図〜第１１図により説明する
。

本実施例は、枠体を中空部材で形成するとともに、中空
部材の内部を送風機の上流側の空間と連通ずるよう構成
したものである。

本実施例は、第８図に示すように中空部材で形成された
仕切枠１８の上面および下面にそれぞれ開口部１８ａお
よび１８ｂを設け、開口部１８ａにはプレフィルタ４を
取付け、開口部１．８　ｂにはベルマウス６と送風機１
とを取付け、さらに、この仕切枠１８をフレーム１０の
上面の開口部］Ｏａに冠着するとともに、仕切枠１８の
フレーム１０の上面の電線貫通孔１０ｄに対応する位置
に孔１８ｃをｇ設し、フレーム１０の枠体内部を孔１０
ｄ、１８ｃを介して送風機１の上流側の空間と連通ずる
よう構成したものである。なお、枠体１０には１本発明
の第２実施例と同様に、照明灯１４、濾材２が取付けら
れる。照明灯１４のソケット１４ｂに接続された電線１
４ｃは孔１０ｃ、１０ｄ、１８ｃを介して仕切枠１８の
内部へ導かれ、仕切枠１８内に設置された安定器（図示
せず）等に接続される。不実施例によれば、フレーム１
０の中空部材の内容が負圧となるため、＠線貫通孔１０
ｃを介して清浄空間へじんあいが流入するのを防止でき
る。さらには、第９図に示すように。

フレーム１０の下側の内面に設けた孔１０ｅにツメ１４
ｄを挿入して弾性的に係止するよう構成されたソケット
１４ｂを用いても、孔１０ｃ、１０ｅによる汚染の発生
を防止できるため、ソケット１４ｂの取付作業を簡略化
することができ、大幅な工数低減を図ることができる。

また、フレーム１０の下面に透光性の散光板１６をねじ
１３で固定する場合においても、ねじ孔部分から侵入し
たてじんあいはすべて送風機１の吸込側に吸引されるの
で、清浄空間へのじんあいの流入を防止できる。

第１０図は本実施例の一変形例を示す。

本変形例はフレーム１０の側面にも開口部１０ｆを設け
、開口部１０ｆにもプレフィルタ４を取付は可能なよう
構成したものである。本変形例によれば、据付状態およ
び周囲の状況に応じて上面および側面の少くともいずれ
か一面から外気を吸引できるので装置本体の標準化を図
ることができる。なお、開口部１０ｆ、開口部１８ａの
うちプレフィルタ４を設ける必要がない開口部がある場
合は、その開口部には盲板（図示せず）を取付けておけ
ばよい。

第１１図は本発明の第３実施例を示す。

本実施例はマウスリング２０ｂが形成されて、送風機１
が取付けられた仕切板２０をフレーム１０の内部に落し
込んで固定するとともに、落し込みのために形成した仕
切板２０の立上り部に孔２０ａを穿設し、フレーム１０
のこの孔２０ａに対応する位置に孔Ｌｏｇを穿設してフ
レーム１０の中空部材の内部が送風機１の吸入側に連通
ずるよう構成したものである。本変形例では孔２０ａと
孔Ｌｏｇとの間を中空のリベット２３でかしめて仕切板
２０とフレーム１０との固定およびフレーム１０の中空
部材と送風機１の吸込側の空間との連通とを兼ねている
。照明灯１４への配線１４ｃは孔Ｌｏｇ、２０ａを貫通
させてもよく、これらの孔とは別に配線専用に穿設した
孔（図示せず）を貫通させてもよい。本変形例ではプレ
フィルタ２２は仕切板２０の落し込み部分の寸法より一
回り小さい寸法に形成されて、落し込み部分内に落し込
まれる。

プレフィルタ２２の端部にはストッパ２２ａが取付けら
れ、ストッパ２２ａは落し込み時にプレフィルタ２２と
仕切板２０との間に負圧の空間を形成するよう所定位置
にプレフィルタ２２を保持する。

第１２図は本実施例の一変形例を示す。

本変形例はフレーム１ｏの上方の内側に突条を設け、こ
れら突条１０ｈ、１０ｉでそれぞれ仕切板２０プレフイ
ルタ２２を保持するとともに、突条１０ｈと１０ｉとの
間に孔ｌｏｇを穿設したものである。突条１０ｈの立上
り寸法は突条１０この立上り寸法より大きく形成される
。仕切板２゜はその幅が縦横ともそれぞれフレーム１ｏ
の突条１０ｉ間の開口寸法より小さく、かつ、突条１゜
６間の間の開口寸法より大きくなるよう設定され、突条
１０ｈにねじ又はリベット等により固定される。プレフ
ィルタ２２はその幅が縦横ともそれぞれフレーム１０の
開口寸法より小さく、かつ、フレー′！Ａ１０突条１０
１間の開口寸法より大きく設定され、フレーム１ｏの上
面の開口部に落し込まれて突条１０ｉにより保持される
。これによりフレーム１０の中空部材の内部は孔１０ｇ
を介してプレフィルタ２２と仕切板２０の間の負圧の空
間に連通ずる。本変形例では孔Ｌｏｇと突条１０ｈとの
間に突条１０ｊが設けられている。突条１０ｊの立上り
寸法は突条１０ｈの立上り寸法より小さく、仕切板２０
の着脱に支障のない寸法に設定される。このように突条
１０ｊを設けることにより、万一仕切板２０と突条１０
ｈとの間隙から送風機１により加圧された空気がリーク
しても、突条１０ｊによりリークした気流の向きがベル
マウス２０ｂに向う方向となり、加圧空気がフレーム１
０の内壁面を伝って孔１０ｇ内に侵入するのを防止でき
る。

照明灯１４の配線１４ｃは孔Ｌｏｇを介して仕切板２０
とプレフィルタ２２との間の空間に導かれ、安定器（図
示せず）等に接続される。本実施例によれば送風装置の
構成を簡略化することができる。

第１３図は本発明の第４実施例を示す。

本実施例はフレーム１ｏの中空部材の内側と、送風機１
の吸込側のマウスリング７ａの内側とをチューブ２５で
連通し、中空部材の内側を負圧にするよう構成したもの
である。チューブ２５のマウスリング７ａ内の端部は、
吸込時の動圧がかからないよう羽根車側に向けて設けら
れる。

第１４図は本発明の第２実施例の送風装置に脚２８、側
板２６、背板２４を取り付はクリーンベンチとした例を
示す。本実施例によれば、フィルタ内に送風機と照明灯
があらかじめ組込まれているので同図のようにクリーン
ベンチなどを容易に得ることができる。

第１５図は本発明の第３実施例の技術的思想を空気清浄
装置に適用した例を示す。

本適用例において、送風機１と濾材２と照明灯１４とを
格納したフレーム３ｏは４辺が中空部材により形成され
て該中空部材の内側が送風機１の吸込側に連通するよう
構成されるとともに、４辺のうちの１辺の中空部材が他
辺の中空部材より幅広となるよう形成されている。

フレーム３０は支持枠３２ａ、３２ｂとにより床面から
所定の高さに保持される。支持枠３２ａはフレーム３０
と当接する面に連通孔が設けられ、この連通孔と対応し
てフレーム３０にあけられた連通孔を介して送風機１の
吸込側に連通する。支持枠３２ｂはフレーム３０の幅広
の一辺を支持するよう設けられるとともに、フレーム３
０に当接する面（上面）に開口部が設けられ、この開口
部に対応してフレーム３ｏに設けられた開口部を介して
送風機１の吸込側と連通する。さらに支持枠３２ｂは上
面の開口部に対応してその下面にも開口部が設けられる
。

支持枠３２ａの外側および３２ｂの内側と外側にはそれ
ぞれ隔壁３６が取付けられ、これらの隔壁により、送風
装置の吹出口下部に位置する清浄作業空間と、開口部の
下部に位置するリターン空気通路とが形成される。作業
者４０が作業を行うときは、リターン空気通路内に入り
、リターン空気通路と清浄空間の間の隔壁３６を介して
作業を行う、清浄作業空間に設けられた照明灯１４の下
方には整流板を兼ねて散光板３４が設けられ、照明灯１
４の光が直接作業者の眼に入らないようにしである。本
適用例においては、支持枠３２ａ、３２ｂの内部が負圧
になるので、支持枠３２ａ、３２ｂに隔壁３６清浄空間
内に設置される装置への配線または配管、およびその他
の機器類等をねじ止めしても、ねじ止め部分から侵入し
たじんあいが清浄空間に流入するのを防止することがで
きる。

〔発明の結果〕

本発明によれば、送風器とフィルタを枠体内に一体に格
納できるため、小形軽量な送風装置を得ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例における送風装置の一部を
断面とした斜視図、第２図は本発明の第１実施例におけ
る送風装置の構造を示す側断面図、第３図、第４図はそ
れぞれ本発明の第１実施例における送風装置の変形例の
構成を示す側断面図、第５図は本発明の第１実施例にお
ける送風装置で送風器をプロペラファンとした変形例を
示す側断面図、第６図は本発明の第２実施例における送
風装置の構成を示す。側断面図、第７図は本発明の第２
実施例における送風装置の中空部材の連結部分を示す斜
視図、第８図は本発明の第３実施例における送風装置の
構成を示す側断面図、第９図は本発明の第３実施例にお
ける送風装置の照明灯取付部を示す側断面図、第１０図
は本発明の第３実施例における送風装置の一変形例を示
す側断面図。 第１１図は本発明の第４実施例における送風装置の構成
を示す側断面図、第１２図は本発明の第４実施例におけ
る送風装置の一変形例を示す側断面図。第１３図は本発
明の第５実施例における送風装置の構成を示す側断面図
、第１４図は本発明の第２実施例の送風装置を利用して
クリーンベンチを構成した例を示す側断面図、第１５図
は本発明の第３実施例における送風装置の技術的思想を
利用して空気清浄装置を構成した例を示す側断面図、第
１６図、第１７図はそれぞれ従来の送風装置を示す側断
面図、第１８図は第１６図の装置をクリーンルームに取
付けた例を示す側面図である、１．９：送風機、２：濾
材、２ａ：折曲部３．８，１０，３０：枠体、ｌｌａ、
ｌｌｂ：中空部材。 第　２　図　　　　　２′Ｌ ＄　３　図 第　４　凹 ８：粋　体 殆　５　　図 ２：慣　Ｍ２ユニ祢曲郡　　３：抑　体ｑ：　迭虱機゛ 第　６Ｉ２Ｉ ＄　７　口 に　粋　　ネ　／ムｔｔｂ　：中空郁材第　８　図 ＄　９　目 Ｊ、送Ｘ炭　　２：別封　　２ａ：拷曲郡１０；＃　体 ＄１０　　図 ＄ｌｌ　　凹 ｌり：　ｆｒ　　　　（イ（ ＳＳ　） 茅　７４　　面 第　１５　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、気流に対して所定面積を有するよう折曲部が形成さ
   れた濾材と、該濾材保持するとともに該濾材の折曲部の
   高さより長い寸法に形成されて気流の上流側に延びる枠
   体と、該枠体内に格納された送風機とを備え、該送風機
   は前記枠体の外部の空気を吸入し加圧して前記枠体内に
   供給するよう構成されたことを特徴とする送風装置。 ２、前記枠体は中空部材により形成されたことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の送風装置。 ３、前記枠体は中空部材により形成されるとともに、該
   中空部材の内部は前記送風機の上流側の空間と連通する
   よう構成されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の送風装置。