JPS63247543A - 空調機 - Google Patents
空調機Info
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- JPS63247543A JPS63247543A JP62081958A JP8195887A JPS63247543A JP S63247543 A JPS63247543 A JP S63247543A JP 62081958 A JP62081958 A JP 62081958A JP 8195887 A JP8195887 A JP 8195887A JP S63247543 A JPS63247543 A JP S63247543A
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- Japan
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- filter
- gas
- air conditioner
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims abstract description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/70866—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature of mask or workpiece
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は半導体製造装置に使用される空調機において、
より清浄度の高い周囲環境を提供する空調技術に関する
ものである。
より清浄度の高い周囲環境を提供する空調技術に関する
ものである。
（従来の技術）
従来この種の空調機としては、例えばその内部吹出口に
気体清浄用フィルタを有するものがある。
気体清浄用フィルタを有するものがある。
この空調機においては、空調機外部から内部へと流入す
る空気の汚れを前記フィルタによって除去することによ
って、空調機内部の空気の清浄度を維持するということ
が為されていた。
る空気の汚れを前記フィルタによって除去することによ
って、空調機内部の空気の清浄度を維持するということ
が為されていた。
（発明の解決しようとする問題点）
このような従来の空調機では、気体清浄用のフィルタが
前記空調機の内部空気吹出口にしか設けられていない為
に、事故等によって空調機外部の空気が汚染されると、
上記−個のフィルタでは対処できず、空調機内部の清浄
度を著しく低下させてしまうといった問題点を生じてい
た。また、空調機内部の空気に対して高い空気′清浄度
が要求された場合にもやはり上記フィルタでは対応しき
れない。さらに、従来のフィルタは大型であり、かつ交
換が容易でない位置に配設せざるを得なかった為に、フ
ィルタの交換が難しくメインテナンスの点で不都合を生
じていた。
前記空調機の内部空気吹出口にしか設けられていない為
に、事故等によって空調機外部の空気が汚染されると、
上記−個のフィルタでは対処できず、空調機内部の清浄
度を著しく低下させてしまうといった問題点を生じてい
た。また、空調機内部の空気に対して高い空気′清浄度
が要求された場合にもやはり上記フィルタでは対応しき
れない。さらに、従来のフィルタは大型であり、かつ交
換が容易でない位置に配設せざるを得なかった為に、フ
ィルタの交換が難しくメインテナンスの点で不都合を生
じていた。
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた
もので、上記問題点を解決し、恒常的に高い空気清浄度
を得ることのできる空ｉＩ１機を提供することを目的と
する。
もので、上記問題点を解決し、恒常的に高い空気清浄度
を得ることのできる空ｉＩ１機を提供することを目的と
する。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上述のような問題点を解決する為に、半導体
製造袋？！（１２）を内部に収納し、該内部に清浄な気
体を送出する為の第１の気体清浄用フィルタ（８）を有
する空調機において、前記第１の気体清浄用フィルタ（
８）に付加して、第２の気体７〃浄用フィルタ手段（６
，９）を気体循環経路中の外部から操作可能な位置に配
設し、内部を循環する気体の清浄度を高く維持するよう
にした。
製造袋？！（１２）を内部に収納し、該内部に清浄な気
体を送出する為の第１の気体清浄用フィルタ（８）を有
する空調機において、前記第１の気体清浄用フィルタ（
８）に付加して、第２の気体７〃浄用フィルタ手段（６
，９）を気体循環経路中の外部から操作可能な位置に配
設し、内部を循環する気体の清浄度を高く維持するよう
にした。
（作用）
本発明は上述のように空ｓ１１機を構成したので、空調
機（１）内部の気体循環経路中の気体清浄度を向上させ
ることができ、より高度な気体清浄度の維持に対応する
ことができる。また、フィルタ（６，９）の交換は空調
機（１）外部から容易に行なうことができる。さらに、
前記フィルタ （８）に付加して別フィルタ（６，９）
を空調機（１）内部に配設し、その交換を適度に行なう
ことにより内部空気吹出口（１１）に配設されたフィル
タ（８）は、はとんど汚されることがない。
機（１）内部の気体循環経路中の気体清浄度を向上させ
ることができ、より高度な気体清浄度の維持に対応する
ことができる。また、フィルタ（６，９）の交換は空調
機（１）外部から容易に行なうことができる。さらに、
前記フィルタ （８）に付加して別フィルタ（６，９）
を空調機（１）内部に配設し、その交換を適度に行なう
ことにより内部空気吹出口（１１）に配設されたフィル
タ（８）は、はとんど汚されることがない。
したがって、フィルタ（８）の交換の必要性も全くなく
なるので、メインテナンスの点で有利となる。
（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を基に説明する。
なるので、メインテナンスの点で有利となる。
（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を基に説明する。
第１図は本発明の実施例を示す空調機の正面図である。
第１図において、空調機１は第１空気循環室２と第２空
気循環室３とから構成されている。
気循環室３とから構成されている。
第１空気循環室２は外壁部４によって囲まれ略コ字状に
構成され、この第１空気循環室２と内壁部１０とに囲ま
れるように第２空気循環室３が長方形状に構成されてい
る。 − 第１空気循環室２には第１の気体清浄用フィルタ手段と
しての外部空気取入口用フィルタ６、送風機７、第１の
気体清浄用フィルタとしての内部空気吹出用フィルタ８
、さらに内部空気吹出用フィルタ８より断面積が小さく
小型である、第２の気体清浄用フィルタ手段としての内
部空気循環用フィルタ９がそれぞれ配設されている。
構成され、この第１空気循環室２と内壁部１０とに囲ま
れるように第２空気循環室３が長方形状に構成されてい
る。 − 第１空気循環室２には第１の気体清浄用フィルタ手段と
しての外部空気取入口用フィルタ６、送風機７、第１の
気体清浄用フィルタとしての内部空気吹出用フィルタ８
、さらに内部空気吹出用フィルタ８より断面積が小さく
小型である、第２の気体清浄用フィルタ手段としての内
部空気循環用フィルタ９がそれぞれ配設されている。
第１空気循環室２の外壁部４の上壁４ａには、外部空気
取入口５が形成されている。外部空気取入口５には外部
空気取入口５を覆うように、内部空気循環用フィルタ９
と同様な外部空気取入口用フィルタ６が第１空気循環室
２内部から設けられている。外部空気取入口用フィルタ
６の右方には送風４１！７が配設されている。また、外
部空気取入口用フィルタ６の左方には、内部空気循環用
フィルタ９が第１空気循環室２の循環路を塞ぐような状
態で配設されている。この第１空気循環室２の循環路は
、内部空気吹出口１１及び内部空気取入口１３付近の循
環路よりも狭く形成されている。
取入口５が形成されている。外部空気取入口５には外部
空気取入口５を覆うように、内部空気循環用フィルタ９
と同様な外部空気取入口用フィルタ６が第１空気循環室
２内部から設けられている。外部空気取入口用フィルタ
６の右方には送風４１！７が配設されている。また、外
部空気取入口用フィルタ６の左方には、内部空気循環用
フィルタ９が第１空気循環室２の循環路を塞ぐような状
態で配設されている。この第１空気循環室２の循環路は
、内部空気吹出口１１及び内部空気取入口１３付近の循
環路よりも狭く形成されている。
このように、第１空気循環室２の循環路を狭く形成した
ことによって、ここに配設される内部空気循環用フィル
タ９は小型のもので済む。これと共に、第１空気循環室
２を循環する空気の流れが速くなることによって、フィ
ルタとしての効果が発揮される。
ことによって、ここに配設される内部空気循環用フィル
タ９は小型のもので済む。これと共に、第１空気循環室
２を循環する空気の流れが速くなることによって、フィ
ルタとしての効果が発揮される。
第２空気循環室３には投影露光装置等の半導体製造装置
１２が配設されている。第２空気循環室３の内壁部１０
の垂直な側壁１０ａには内部空気吹出口１１が形成され
ている。内部空気吹出口１１に対向した垂直な側壁１０
ｂには内部空気取入口筒３が形成されている。内部空気
吹出口１１は側壁１０ａの略全面にわたって形成されて
いる。
１２が配設されている。第２空気循環室３の内壁部１０
の垂直な側壁１０ａには内部空気吹出口１１が形成され
ている。内部空気吹出口１１に対向した垂直な側壁１０
ｂには内部空気取入口筒３が形成されている。内部空気
吹出口１１は側壁１０ａの略全面にわたって形成されて
いる。
この内部空気吹出口１１には内部空気吹出用フィルタ８
が、内部空気吹出口１１を覆うように第２空気循環室３
の外部、すなわち第１空気循環室２側から設けられてい
る。
が、内部空気吹出口１１を覆うように第２空気循環室３
の外部、すなわち第１空気循環室２側から設けられてい
る。
尚、第１空気循環室２内の内部空気吹出用フィルタ８と
対面する位置には、温調用のヒータや冷却器が設けられ
、第２空気！環室３への送風気体が一定の温度になるよ
うに調整される。
対面する位置には、温調用のヒータや冷却器が設けられ
、第２空気！環室３への送風気体が一定の温度になるよ
うに調整される。
次に空調機１の動作を説明する。第１図の矢印に示すよ
うに、空ｌｉｔ内部の空気は送風機７によって絶えずそ
の内部を循環し、その循環経路は第２空気循環室３を中
心として右廻りとなっている。
うに、空ｌｉｔ内部の空気は送風機７によって絶えずそ
の内部を循環し、その循環経路は第２空気循環室３を中
心として右廻りとなっている。
第１図において、空３１１ｉ１外部の空気は送風機７に
よって生じた外部空気取入口５前後の圧力差に応じて、
外部空気取入口５がら空調機１の内部、詳しくは第１空
気循環室２へと流入される。第１空気循環室２に流入さ
れる空気は、外部空気取入口用フィルタ６によって清浄
され、第１空気ｉ環室２内を流れる。そして、第１空気
循環室２内の空気は内部空気吹出用フィルタ８を介して
さらに清浄され、内部空気吹出口１１を通過して第２空
気循環室３へ送られる。第２空気循環室ａ内に送られた
空気は、半導体製造装置１２の周辺を流れ、内部空気取
入口１３を通過して再び第１空気循環室２へと送られる
。この第１空気循環室２内に送られた空気は、内部空気
循環用フィルタ９を介して清浄される。その清浄された
空気は送風機７によって空調ｉｉ内部を循環する。
よって生じた外部空気取入口５前後の圧力差に応じて、
外部空気取入口５がら空調機１の内部、詳しくは第１空
気循環室２へと流入される。第１空気循環室２に流入さ
れる空気は、外部空気取入口用フィルタ６によって清浄
され、第１空気ｉ環室２内を流れる。そして、第１空気
循環室２内の空気は内部空気吹出用フィルタ８を介して
さらに清浄され、内部空気吹出口１１を通過して第２空
気循環室３へ送られる。第２空気循環室ａ内に送られた
空気は、半導体製造装置１２の周辺を流れ、内部空気取
入口１３を通過して再び第１空気循環室２へと送られる
。この第１空気循環室２内に送られた空気は、内部空気
循環用フィルタ９を介して清浄される。その清浄された
空気は送風機７によって空調ｉｉ内部を循環する。
このように、内部空気吹出口１１に配設された内部空気
吹出用フィルタ８に付加して、外部空気取入口用フィル
タ６、内部空気循環用フィルタ９のそれぞれを空調機１
の内部に配設することによって、空調機１の気体Ｗ４環
経路、すなわち空気循環経路中の空気ＹＮ浄度を向上さ
せることができ、より高度な空気清浄度の維持に対応す
ることができる。また、外部空気取入口用フィルタ６及
び内部空気循環用フィルタ９の交換は空調機外部から容
易に行°なうことができる。さらに、第１空気循環室３
で発生する塵埃は先ず内部空気循環用フィルタ９を通過
する為、内部空気吹出用フィルタ８はほとんど汚される
ことがない。したがって、内部空気吹出用フィルタ８の
交換の必要性は全くなくなるので、メインテナンスの点
で有利となる。
吹出用フィルタ８に付加して、外部空気取入口用フィル
タ６、内部空気循環用フィルタ９のそれぞれを空調機１
の内部に配設することによって、空調機１の気体Ｗ４環
経路、すなわち空気循環経路中の空気ＹＮ浄度を向上さ
せることができ、より高度な空気清浄度の維持に対応す
ることができる。また、外部空気取入口用フィルタ６及
び内部空気循環用フィルタ９の交換は空調機外部から容
易に行°なうことができる。さらに、第１空気循環室３
で発生する塵埃は先ず内部空気循環用フィルタ９を通過
する為、内部空気吹出用フィルタ８はほとんど汚される
ことがない。したがって、内部空気吹出用フィルタ８の
交換の必要性は全くなくなるので、メインテナンスの点
で有利となる。
尚、フィルタの補集サイズは３カ所とも同等であること
が望ましいが、外部空気取入口用フィルタ６の補集サイ
ズ及び細かさが、内部空気吹出用フィルタ８、内部空気
循環用フィルタＳより補集サイズが小さく、細かさが粗
いものでも良い。本実施例において、外部空気取出口用
フィルタ６及び内部空気循環用フィルタ９は小型である
ので、その交換は空調器外部からより容易に行なうこと
ができる。
が望ましいが、外部空気取入口用フィルタ６の補集サイ
ズ及び細かさが、内部空気吹出用フィルタ８、内部空気
循環用フィルタＳより補集サイズが小さく、細かさが粗
いものでも良い。本実施例において、外部空気取出口用
フィルタ６及び内部空気循環用フィルタ９は小型である
ので、その交換は空調器外部からより容易に行なうこと
ができる。
また、本実施例において、外部空気取入口５は第１空気
循環室２の外壁部４の上壁４ａに形成されているが、上
壁４ａに限らず側壁４ｂに形成しても良い。
循環室２の外壁部４の上壁４ａに形成されているが、上
壁４ａに限らず側壁４ｂに形成しても良い。
（発明の効果）
以上のように本発明によれば、空調機内部の気体循環経
路中の気体清浄度を向上させることができ、より高度な
気体清浄度の維持に対応することができる。また、フィ
ルタの交換は空調機外部から容易に行なうことができる
。さらに、前記フィルタに付加して別フィルタを空調機
内部に配設し、その交換を適度に行なうことにより内部
空気吹出口に配設されたフィルタは、はとんど汚される
ことがない。したがって、内部空気吹出口に配設された
フィルタ交換の必要性も全くなくなるので、メインテナ
ンスの点で有利となる。
路中の気体清浄度を向上させることができ、より高度な
気体清浄度の維持に対応することができる。また、フィ
ルタの交換は空調機外部から容易に行なうことができる
。さらに、前記フィルタに付加して別フィルタを空調機
内部に配設し、その交換を適度に行なうことにより内部
空気吹出口に配設されたフィルタは、はとんど汚される
ことがない。したがって、内部空気吹出口に配設された
フィルタ交換の必要性も全くなくなるので、メインテナ
ンスの点で有利となる。
第１図は本発明の実施例を示す空調機の正面図である。
（主要部分の符号の説明）
ｌ・・・空調機、２・・・第１空気循環室３・・・第２
空気循環室 ６・・・外部空気取入口用フィルタ ７・・・送風機、８・・・内部空気吹出用フィルタ９・
・・内部空気循環用フィルタ １２・・・半導体製造装置
空気循環室 ６・・・外部空気取入口用フィルタ ７・・・送風機、８・・・内部空気吹出用フィルタ９・
・・内部空気循環用フィルタ １２・・・半導体製造装置
Claims (2)
- （１）半導体製造装置を内部に収納し、該内部に清浄な
気体を送出する為の第１の気体清浄用フィルタを有する
空調機において、 前記第１の気体清浄用フィルタに付加して、第２の気体
清浄用フィルタ手段を気体循環経路中の外部から操作可
能な位置に配設し、内部を循環する気体の清浄度を高く
維持することを特徴とする空調機。 - （２）前記第１気体清浄用フィルタは半導体製造装置に
隣接した位置に配設されており、前記第２気体清浄用フ
ィルタ手段は外部空気取入口もしくは該外部空気取入口
近傍の気体循環経路中に配設されており、前記気体循環
経路中には前記第２気体清浄用フィルタ手段から第１気
体清浄用フィルタに向けて気体を流す為の送風機が配設
されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載の空調機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62081958A JPS63247543A (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 | 空調機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62081958A JPS63247543A (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 | 空調機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63247543A true JPS63247543A (ja) | 1988-10-14 |
Family
ID=13761007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62081958A Pending JPS63247543A (ja) | 1987-04-02 | 1987-04-02 | 空調機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63247543A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5827118A (en) * | 1996-08-28 | 1998-10-27 | Seh America, Inc. | Clean storage unit air flow system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61262537A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-20 | Toshiba Corp | 空気清浄装置 |
-
1987
- 1987-04-02 JP JP62081958A patent/JPS63247543A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61262537A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-20 | Toshiba Corp | 空気清浄装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5827118A (en) * | 1996-08-28 | 1998-10-27 | Seh America, Inc. | Clean storage unit air flow system |
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