JPH07158919A - 局所クリーン化装置 - Google Patents
局所クリーン化装置Info
- Publication number
- JPH07158919A JPH07158919A JP30262193A JP30262193A JPH07158919A JP H07158919 A JPH07158919 A JP H07158919A JP 30262193 A JP30262193 A JP 30262193A JP 30262193 A JP30262193 A JP 30262193A JP H07158919 A JPH07158919 A JP H07158919A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- clean air
- closed container
- clean
- cleaning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームを用いないクリーンを生産し
実現し、コストダウンする。 【構成】 ワークを収納する密閉容器１と、通常はワー
キングエリアより低い位置まであってかつ密閉容器を外
部から持ち込む際には、その一部を開放することのでき
る仕切り部分３と、送風量を変えることのできるクリー
ンエアー供給部４とから成る局所クリーン化装置。
実現し、コストダウンする。 【構成】 ワークを収納する密閉容器１と、通常はワー
キングエリアより低い位置まであってかつ密閉容器を外
部から持ち込む際には、その一部を開放することのでき
る仕切り部分３と、送風量を変えることのできるクリー
ンエアー供給部４とから成る局所クリーン化装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、局所クリーン化装置に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の薄膜デバイスの製造を行う
場合のクリーンルームの図である。クリーンルーム４１
は、ＨＥＰＡフィルター４２から送られるクリーンエア
ーにより作業者４３も含む部屋全体をクリーンに保ち、
ワーク４４へのダストの付着を防ぎ製造を行う。
場合のクリーンルームの図である。クリーンルーム４１
は、ＨＥＰＡフィルター４２から送られるクリーンエア
ーにより作業者４３も含む部屋全体をクリーンに保ち、
ワーク４４へのダストの付着を防ぎ製造を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構造では次の様な問題点を有する。すなわちクリー
ンルーム４１を建設するための初期投資と、それを維持
する費用が大きく、製造コストを引き上げる結果になる
のである。
うな構造では次の様な問題点を有する。すなわちクリー
ンルーム４１を建設するための初期投資と、それを維持
する費用が大きく、製造コストを引き上げる結果になる
のである。
【０００４】本発明はクリーン環境を必要とする製造に
おいて、コストダウンを実現する装置を提供する。
おいて、コストダウンを実現する装置を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明は、
ワークを収納する密閉容器と、通常はワーキングエリア
よりも低い位置まであってかつ密閉容器を外部から持ち
込む際にその一部を開放することのできる仕切り部と、
送風量を考えることのできるクリーンエアー供給材とか
らなることを特徴とする。
ワークを収納する密閉容器と、通常はワーキングエリア
よりも低い位置まであってかつ密閉容器を外部から持ち
込む際にその一部を開放することのできる仕切り部と、
送風量を考えることのできるクリーンエアー供給材とか
らなることを特徴とする。
【０００６】本発明の第２の発明は、第１の発明におい
て、密閉容器を持ち込む作業者が作業する空間に送風量
を変えてクリーンエアーを供給することのできるクリー
ンエアー供給機を有することを特徴とする。
て、密閉容器を持ち込む作業者が作業する空間に送風量
を変えてクリーンエアーを供給することのできるクリー
ンエアー供給機を有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明の第１の発明では、仕切り部分によって
最小限必要なワーキングエリアのみをクリーン化するこ
とによって初期投資及び維持費をおさえコストダウンを
実現する。
最小限必要なワーキングエリアのみをクリーン化するこ
とによって初期投資及び維持費をおさえコストダウンを
実現する。
【０００８】本発明の第２の発明では、ワーキングエリ
アに加えて作業者が作業を行うスペースを追加してクリ
ーン化することにより、同じくコストダウンを実現す
る。
アに加えて作業者が作業を行うスペースを追加してクリ
ーン化することにより、同じくコストダウンを実現す
る。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の第１の発明の実施例の概略図
である。図１の設置環境は、一般の温調雰囲気でありク
リーンルームではない。ワーク２は密閉容器１に収納さ
れた状態で工程間を移動し、この間ダストが付着するこ
とはない。製造設備８のうちワーク２が密閉容器１から
出た状態で設置する部分は仕切り３で一般雰囲気と仕切
ってあり、その内部にクリーンエアー供給部４でクリー
ンエアーを供給する。通常はクリーンエアーの供給は
０．１ｍ／ｓ以下の風速で行う。仕切り３がワーキング
エリアより低い位置まで仕切っているので、この風速で
十分クリーン度は得られる。本実施例では、０．０３ｍ
／ｓで０．３μクラス１０が得られた。密閉容器１を出
し入れする時には風速を０．５ｍ／ｓ程度として、出し
入れのためのシャッター５を開けた状態でワーキングエ
リアへのダストの導入を防止する。この状態で作業者
が、密閉容器１を持ち込み中のワーク２を所定の位置に
セットする。仕切り部分の面積は小さいためクリーンエ
アー供給部の風量がそのまま維持されるので、シャッタ
ー５の開いた部分へクリーンエアーが抜け出しワーキン
グエリアへのダストの侵入はない。
である。図１の設置環境は、一般の温調雰囲気でありク
リーンルームではない。ワーク２は密閉容器１に収納さ
れた状態で工程間を移動し、この間ダストが付着するこ
とはない。製造設備８のうちワーク２が密閉容器１から
出た状態で設置する部分は仕切り３で一般雰囲気と仕切
ってあり、その内部にクリーンエアー供給部４でクリー
ンエアーを供給する。通常はクリーンエアーの供給は
０．１ｍ／ｓ以下の風速で行う。仕切り３がワーキング
エリアより低い位置まで仕切っているので、この風速で
十分クリーン度は得られる。本実施例では、０．０３ｍ
／ｓで０．３μクラス１０が得られた。密閉容器１を出
し入れする時には風速を０．５ｍ／ｓ程度として、出し
入れのためのシャッター５を開けた状態でワーキングエ
リアへのダストの導入を防止する。この状態で作業者
が、密閉容器１を持ち込み中のワーク２を所定の位置に
セットする。仕切り部分の面積は小さいためクリーンエ
アー供給部の風量がそのまま維持されるので、シャッタ
ー５の開いた部分へクリーンエアーが抜け出しワーキン
グエリアへのダストの侵入はない。
【００１０】シャッター５を閉じた後、製造が終了する
まで風量を０．１ｍ／ｓ以下に落とす。製造終了後、ワ
ーク２を回収するには風量を０．５ｍ／ｓにした後シャ
ッター５を開けてワーク２を密閉容器１に収納し、作業
は完了する。
まで風量を０．１ｍ／ｓ以下に落とす。製造終了後、ワ
ーク２を回収するには風量を０．５ｍ／ｓにした後シャ
ッター５を開けてワーク２を密閉容器１に収納し、作業
は完了する。
【００１１】図２は本発明の第１の発明に第２の実施例
である。真空容器７のメンテナンス作業がダストを嫌う
場合には通常のワーキングに加えて真空容器７の部分に
も仕切り９を設ける構造とする。
である。真空容器７のメンテナンス作業がダストを嫌う
場合には通常のワーキングに加えて真空容器７の部分に
も仕切り９を設ける構造とする。
【００１２】図３は本発明の第２の発明の実施例であ
る。図３の設備環境も一般の温調環境でありクリーンル
ームではない。本実施例の製造装置１８の場合は、真空
容器１７にワーク１２を直接作業者が取りつけなければ
ならず、図１の例のようにワーキングエリアにワークを
セットするだけではない。従ってシャッタ１５の開孔面
積は大きくなり、ダストの巻き戻りを防止すべく作業者
の立つエリアをもクリーンエアー供給している。図１の
例と同様に２台のクリーンエアー供給機１１は通常は
０．１ｍ／ｓ以下の風量で動作しており、作業者が出入
りする直前に０．５ｍ／ｓ以上の風量にする。作業者は
この時防じん用帽子１９と上着２０を着用しており、所
定の位置に立った後数十秒の間防じん防止１９と防じん
上着２０をクリーンエアーで設備化した後シャッター１
５を開き作業を始める。シャッター１５を開いた状態で
密閉容器１１を開きワーク１２を取り出し 空容器１７
内の治具２１にセットする。このときエアーはシャッタ
ー１５を介して作業者側に流れ出るようにするか、作業
の都合上腕等作業者の上半身部分がシャッター１５より
装置側に入れることがある。この場合でも、作業者側が
クリーンであることを防じん上着２０と帽子１９を着用
していることにりワーク１２へのダストの付着は防止で
きる。以下搬送装置の運転後には同様の手順でワーク１
２を回収し、作業を終える。
る。図３の設備環境も一般の温調環境でありクリーンル
ームではない。本実施例の製造装置１８の場合は、真空
容器１７にワーク１２を直接作業者が取りつけなければ
ならず、図１の例のようにワーキングエリアにワークを
セットするだけではない。従ってシャッタ１５の開孔面
積は大きくなり、ダストの巻き戻りを防止すべく作業者
の立つエリアをもクリーンエアー供給している。図１の
例と同様に２台のクリーンエアー供給機１１は通常は
０．１ｍ／ｓ以下の風量で動作しており、作業者が出入
りする直前に０．５ｍ／ｓ以上の風量にする。作業者は
この時防じん用帽子１９と上着２０を着用しており、所
定の位置に立った後数十秒の間防じん防止１９と防じん
上着２０をクリーンエアーで設備化した後シャッター１
５を開き作業を始める。シャッター１５を開いた状態で
密閉容器１１を開きワーク１２を取り出し 空容器１７
内の治具２１にセットする。このときエアーはシャッタ
ー１５を介して作業者側に流れ出るようにするか、作業
の都合上腕等作業者の上半身部分がシャッター１５より
装置側に入れることがある。この場合でも、作業者側が
クリーンであることを防じん上着２０と帽子１９を着用
していることにりワーク１２へのダストの付着は防止で
きる。以下搬送装置の運転後には同様の手順でワーク１
２を回収し、作業を終える。
【００１３】なお、今回の例ではシャッターを用いたが
ビニール製のカーテン状のものであっても気流を仕切る
ことができればそれで代用できる。
ビニール製のカーテン状のものであっても気流を仕切る
ことができればそれで代用できる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明ではワーク
を収納する密閉容器と、通常はワーキングエリアより低
く位置まであってかつ密閉容器を外部から持ち込む際に
はその一部を開放することのできる仕切り部分と送風量
を変えるこのとできクリーンエアー供給機とからなる構
成によって、クリーンルームに比べて初期投資及び維持
費を小さくしコストダウンを実現する。なお、通常０．
１ｍ／ｓ以下の風速でクリーン度を保持しているため一
般環境下（クラス百万）に本発明を設置してもＨＥＰＡ
フィルターの寿命は一年以上持ち、この点でのコスト部
分は全く問題にならない。
を収納する密閉容器と、通常はワーキングエリアより低
く位置まであってかつ密閉容器を外部から持ち込む際に
はその一部を開放することのできる仕切り部分と送風量
を変えるこのとできクリーンエアー供給機とからなる構
成によって、クリーンルームに比べて初期投資及び維持
費を小さくしコストダウンを実現する。なお、通常０．
１ｍ／ｓ以下の風速でクリーン度を保持しているため一
般環境下（クラス百万）に本発明を設置してもＨＥＰＡ
フィルターの寿命は一年以上持ち、この点でのコスト部
分は全く問題にならない。
【図１】本発明の第１の発明の第１の実施例を示す概略
図
図
【図２】本発明の第１の発明の第２の実施例を示す概略
図
図
【図３】本発明の第２の発明の実施例を示す概略図
【図４】従来の薄膜デバイスを製造する場合の概略図
１ 密閉容器 ２ ワーク ３ 仕切り ４ クリーンエアー供給器 ５ シャッター ６ 真空予備室 ７ 真空容器 ８ 製造設備 １１ 密閉容器 １２ ワーク １３ 仕切り １４ クリーンエアー供給器 １５ シャッター １７ 真空容器 １８ 製造設備 １９ 防じん帽子 ２０ 防じん上着 ２１ 治具 ４１ クリーンルーム ４２ ＨＥＰＡフィルター ４５ 製造設備
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンエアーの供給によって生産環境
を局所クリーン化する装置において、ワークを収納する
密閉容器と、通常はワーキングエリアより低い位置まで
あってかつ密閉容器を外部から持ち込む際にはその一部
を開放することのできる仕切り部分と、送風量を変える
ことのできるクリーンエアー供給機とからなる局所クリ
ーン化装置。 - 【請求項２】 ワークを収納した密閉容器を開放してワ
ークを取り出す空間に送風量をかえてクリーンエアーを
供給することのできるクリーンエアーの供給器を設ける
ことを特徴とする請求項１記載の局所クリーン化装置。 - 【請求項３】 密閉容器を持ち込む作業者が作業する空
間に送風量をかえてクリーンエアーを供給することので
きるクリーンエアー供給機を有することを特徴とする請
求項１記載の局所クリーン化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30262193A JPH07158919A (ja) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | 局所クリーン化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30262193A JPH07158919A (ja) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | 局所クリーン化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07158919A true JPH07158919A (ja) | 1995-06-20 |
Family
ID=17911194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30262193A Pending JPH07158919A (ja) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | 局所クリーン化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07158919A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310474A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | アイソレータからの物品排出装置 |
| WO2008088379A2 (en) * | 2006-07-14 | 2008-07-24 | Xcellerex, Inc. | Environmental containment systems |
| WO2014088007A1 (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-12 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
-
1993
- 1993-12-02 JP JP30262193A patent/JPH07158919A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310474A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | アイソレータからの物品排出装置 |
| JP4660954B2 (ja) * | 2001-04-05 | 2011-03-30 | 澁谷工業株式会社 | アイソレータからの物品排出装置 |
| WO2008088379A2 (en) * | 2006-07-14 | 2008-07-24 | Xcellerex, Inc. | Environmental containment systems |
| WO2008088379A3 (en) * | 2006-07-14 | 2008-10-09 | Xcellerex Inc | Environmental containment systems |
| JP2009543553A (ja) * | 2006-07-14 | 2009-12-10 | エクセレレックス インク． | 環境保護用収容システム |
| US7819934B2 (en) | 2006-07-14 | 2010-10-26 | Xcellerex, Inc. | Environmental containment systems |
| WO2014088007A1 (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-12 | 興研株式会社 | 局所空気清浄化装置 |
| RU2633256C2 (ru) * | 2012-12-07 | 2017-10-11 | Кокен Лтд. | Локальный воздухоочиститель |
| US10478874B2 (en) | 2012-12-07 | 2019-11-19 | Koken Ltd. | Local air cleaner |
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