JPWO2020170671A1 - 蓋開閉装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】複数の昇降駆動部を用いつつも装置の大型化を抑制し、容器周辺のクリーンな環境を容易に維持する。【解決手段】第１蓋開閉機構１０２は、第１容器３Ａの上蓋２を保持する第１保持部２０Ａと、第１保持部２０Ａから、第１保持部２０Ａの一方の側方へ突出して設けられ、筐体１０１の外側まで延在する第１突出部３０Ａと、第１突出部３０Ａを介して第１保持部２０Ａを片持ちして昇降させる第１昇降駆動部４０Ａと、を有し、第２蓋開閉機構１０３は、第２容器３Ｂの上蓋２を保持する第２保持部２０Ｂと、第２保持部２０Ｂから一方の側へ突出して設けられ、筐体１０１の外側まで延在する第２突出部３０Ｂと、第２突出部３０Ｂを介して第２保持部２０Ｂを片持ちして昇降させる第２昇降駆動部４０Ｂと、を有し、第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂは、筐体１０１の外側であって筐体１０１に対して一方の側に配置されている。

Description

本発明は、蓋開閉装置に関する。
半導体製造工場等では、レチクル等の物品がレチクルポッド等の容器に収容されて保管装置又は半導体製造装置等に搬送され、保管装置等において容器からレチクル等が取り出される。この容器は、例えば物品を載置する容器本体と上蓋とを有する。上記した保管装置等は、容器の上蓋を開閉する蓋開閉装置を備えている。この蓋開閉装置としては、上蓋を保持する保持部と、保持部を昇降させる昇降駆動部とを有し、昇降駆動部により保持部を昇降させることで上蓋を開閉する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許第３０８９５９０号公報
特許文献１に記載の蓋開閉装置では、上下に配置された複数の容器に対して、それぞれ容器の上蓋を保持して昇降する保持部が上下方向に複数並べて配置され、これらの保持部をモータ及びボールねじからなる１つの昇降駆動部により昇降させている。この構成では、１つの昇降駆動部が用いられるので、各容器の蓋を開閉するのに効率が悪い。また、複数の昇降駆動部を単に用いる構成では蓋開閉装置が大型化するといった課題がある。さらに、昇降駆動部はパーティクルの発生源となるので、複数の昇降駆動部が容器の周囲に点在すると、容器周辺のクリーンな環境を維持することが難しくなる。
本発明は、複数の昇降駆動部を用いつつも装置の大型化を抑制し、容器周辺のクリーンな環境を容易に維持することが可能な蓋開閉装置を提供することを目的とする。
本発明の態様に係る蓋開閉装置は、筐体と、筐体内に配置される第１容器の上蓋を開閉する第１蓋開閉機構と、筐体内において第１容器の下方に並んで配置される第２容器の上蓋を開閉する第２蓋開閉機構と、を備え、第１蓋開閉機構は、第１容器の上蓋を保持する第１保持部と、第１保持部から、第１保持部の一方の側方へ突出して設けられ、筐体の外側まで延在する第１突出部と、第１突出部を介して第１保持部を片持ちして昇降させる第１昇降駆動部と、を有し、第２蓋開閉機構は、第２容器の上蓋を保持する第２保持部と、第２保持部から一方の側へ突出して設けられ、筐体の外側まで延在する第２突出部と、第２突出部を介して第２保持部を片持ちして昇降させる第２昇降駆動部と、を有し、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部は、筐体の外側であって筐体に対して一方の側に配置されている。
また、第１昇降駆動部と第２昇降駆動部とは、隣り合って配置されていてもよい。
また、筐体は、エアの流れのある環境に配置され、一方の側は、筐体に対してエアの流れの下流側であってもよい。また、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部は、それぞれシリンダ本体とシリンダロッドとを有する流体圧シリンダであり、第１昇降駆動部は、シリンダロッドを上方に向けて突出させるように配置され、第２昇降駆動部は、シリンダロッドを下方に向けて突出させるように配置され、第１昇降駆動部のシリンダ本体と、第２昇降駆動部のシリンダ本体とは、水平方向に視て少なくとも一部が重なるように配置されていてもよい。
また、筐体から一方の側に突出して被取付部が設けられ、第１昇降駆動部は、被取付部の一方の面側に取り付けられ、第２昇降駆動部は、被取付部の一方の面側と反対側である他方の面側に取り付けられてもよい。
上記した蓋開閉装置によれば、第１保持部及び第２保持部をそれぞれ第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部により容器の上蓋を昇降させるので、容器に対する物品の出し入れを効率よく行うことができる。また、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部は、第１保持部及び第２保持部をそれぞれ片持ちして保持し、かつ筐体の外側であって筐体に対して一方の側にまとめて配置されるので、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部をコンパクトに配置することができ、装置の大型化を抑制することができる。さらに、パーティクルの発生源となる第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部がまとめて配置されるので、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部が配置される領域のガスを排気することで、容器周辺のクリーンな環境を容易に維持できる。
また、第１昇降駆動部と第２昇降駆動部とが隣り合って配置されている構成では、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部をより一層コンパクトに配置することができる。また、筐体が、エアの流れのある環境に配置され、一方の側が、筐体に対してエアの流れの下流側である構成では、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部で発生するパーティクルが筐体内に入り込むことを防止でき、筐体内部の容器周辺の汚損を回避できる。また、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部が、それぞれシリンダ本体とシリンダロッドとを有する流体圧シリンダであり、第１昇降駆動部が、シリンダロッドを上方に向けて突出させるように配置され、第２昇降駆動部が、シリンダロッドを下方に向けて突出させるように配置され、第１昇降駆動部のシリンダ本体と、第２昇降駆動部のシリンダ本体とが、水平方向に視て少なくとも一部が重なるように配置されている構成では、流体圧シリンダを用いることで第１保持部及び第２保持部の昇降を確実に行いつつ、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部を上下方向に関してコンパクトに配置することができる。また、筐体から一方の側に突出して被取付部が設けられ、第１昇降駆動部が、被取付部の一方の面側に取り付けられ、第２昇降駆動部が、被取付部の一方の面側と反対側である他方の面側に取り付けられる構成では、被取付部を介して、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部を一か所にまとめて配置できる。
実施形態に係る蓋開閉装置の一例を示す斜視図である。 図１の蓋開閉装置を斜め後方かつ上方から視た斜視図である。 蓋開閉装置を−Ｘ側から視た図である。 容器の一例を示す分解斜視図である。 （Ａ）は、容器の係止機構による係止を解除した図、（Ｂ）は、上蓋を容器本体に対して上方に移動させた図である。 容器を載置台に配置する前の状態を示す図である。 容器を載置台の規定位置に配置した状態を示す図である。 （Ａ）は、図７における要部を拡大して示す図、（Ｂ）は、図７に示す状態において係止機構が解除された状態を示す図である。 上蓋を上方に移動させる動作の一例を示す図である。 蓋開閉装置が搭載されるレチクルポートの一例を示す斜視図である。 図１０における平面Ａによる断面図である。 図１０における平面Ｂによる断面図である。
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載する等、適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図においては、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系では、上下方向（鉛直方向）をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｙ方向は、水平方向内における一方向であって、後述する容器の挿入方向である。Ｘ方向は、Ｙ方向と直交する方向である。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印が指す向きを＋方向（例えば、＋Ｘ方向）と表現し、矢印が指す向きの反対方向を−方向（例えば、−Ｘ方向）と表現する。
図１は、実施形態に係る蓋開閉装置１００の一例を示す斜視図である。図２は、蓋開閉装置１００を斜め後方かつ上方から視た斜視図である。図３は、蓋開閉装置１００を−Ｘ側から視た図である。なお、図３において、後述する筐体１０１を省略している。図１から図３に示す蓋開閉装置１００は、容器本体１及び上蓋２を有しかつレチクルＲ等の物品が収容される第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂにおいてそれぞれの上蓋２を開閉する。
第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂは、容器本体１に上蓋２が装着された状態において容器本体１に対して上蓋２を係止する係止機構４を備えている（図４参照）。第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂは、物品であるレチクルＲを収容するレチクルポッドである。係止機構４は、上蓋２に設けられた水平方向の片部５ａを容器本体１に対して所定値を超えて上方へ回動させると係止を解除する構成が適用されている。なお、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂの詳細については後述する。本実施形態の蓋開閉装置１００は、このような係止機構４を有する第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂから、収容したレチクルＲを取り出すために、上記した係止機構４を解除して上蓋２を容器本体１に対して開閉させる。
蓋開閉装置１００は、筐体１０１と、第１蓋開閉機構１０２と、第２蓋開閉機構１０３とを備える。筐体１０１は、対向する２つの側壁部１２と、背面部１５とを有する。２つの側壁部１２の間には、上記した第１蓋開閉機構１０２と、第２蓋開閉機構１０３と、載置台１０とが設けられている。図１から図３に示す蓋開閉装置１００は、上下２段に設けられた載置台１０により、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂを上下２段に配置する。載置台１０は、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂをそれぞれ載置する規定位置Ｐ（図３参照）が定められている。載置台１０のそれぞれは、Ｙ方向に延在する２本の棒状部材であって、Ｘ方向に複数並んで平行して配置されている。載置台１０は、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂの＋Ｘ側の鍔部１ｄ、及び−Ｘ側の鍔部１ｄを支持し、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂをそれぞれ水平面に平行に載置する。
載置台１０の−Ｙ側端部は、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂを挿入するための入り口部分に相当する。第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂは、この入り口部分から＋Ｙ方向に挿入されて載置台１０上に配置される。載置台１０の−Ｙ側の端部（入り口部分）には、傾斜部１１が設けられる。傾斜部１１は、−Ｙ側の端部から＋Ｙ側に向けて、上側（＋Ｚ側）に傾くように形成される。傾斜部１１が設けられることにより、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂを挿入する際に鍔部１ｄが傾斜部１１から載置台１０に案内され、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂをそれぞれ適正な高さに配置することができる。また、各載置台１０の内側の面（−Ｘ側の載置台１０の＋Ｘ側の面、＋Ｘ側の載置台１０の−Ｘ側の面）には、それぞれ第２傾斜部１１ａが設けられている。第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂが挿入される際、第２傾斜部１１ａは、容器本体１において鍔部１ｄを形成するために底部から立設された側部（図４参照）と接触して、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂ（容器本体１）をＸ方向の適正な位置に案内して位置決めする。なお、第２傾斜部１１ａは、各載置台１０において、−Ｙ側の端部から設けられてもよい。
また、筐体１０１には、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂを挿入するための入り口部分において、２本の載置台１０の間の部分を下方側に凹ませた凹部１０ａが設けられている。この凹部１０ａが設けられることにより、例えば、作業者等により第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを載置台１０上に挿入する際、又は載置台１０上の第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを取り出す際に、作業者の手が邪魔されず、その結果、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを持ちやすくして、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの出し入れにおける利便性を向上させている。載置台１０の＋Ｙ側の上方には押え部１０ｂが設けられている。押え部１０ｂは、載置台１０の上面から、容器本体１の鍔部１ｄの厚さの分だけ上方に配置されている。押え部１０ｂは、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂがそれぞれ規定位置Ｐに配置された場合、載置台１０上の鍔部１ｄの上面側に配置され、容器本体１が上方に移動するのを規制する。
なお、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが規定位置Ｐに配置された場合に、容器本体１の＋Ｙ側に当たる不図示のストッパが設けられてもよい。このストッパは、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが規定位置Ｐに配置された際に、その位置から＋Ｙ方向への容器本体１の移動を規制し、容器本体１をＹ方向において位置決めしてもよい。また、蓋開閉装置１００は、規定位置Ｐに配置された第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの抜け（−Ｙ方向への移動）を規制するための保持部材１７を備えている。保持部材１７は、先端側を蓋開閉装置１００の内側に向けた状態で設けられる。保持部材１７は、例えば、図示しない弾性部材により内側に向けて弾性的に支持された、図示しない突起部を備える。この突起部は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが規定位置Ｐに配置された際に、鍔部１ｄに設けられた段部１ｆ（図４参照）の−Ｙ側に弾性部材により突出し、規定位置Ｐに配置された第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの−Ｙ方向への移動を規制する。なお、保持部材１７は、図６、図７、及び図９において省略している。
側壁部１２は、載置台１０の＋Ｘ側及び−Ｘ側に配置される。側壁部１２は、各載置台１０と一体的に設けられている。本実施形態において、筐体１０１には、載置台１０ごとに、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの入り口部分を開閉可能なシャッタ５０と、シャッタ５０を開閉するシャッタ駆動機構６０とが設けられる。シャッタ５０は、対向する２つの側壁部１２に挟まれて配置され、シャッタ駆動機構６０との連結部分から吊り下げられて（連結部分に片持ちされた状態で）設けられる。シャッタ５０のそれぞれには、筐体１０１内を視認可能な窓部５０ａが設けられている。２つの側壁部１２は、それぞれシャッタ５０とシャッタ駆動機構６０との連結部分が移動する軌跡に対応する溝部１３が設けられる。溝部１３は、上向きに凸となる円弧状に設けられている。シャッタ５０は、溝部１３に沿って移動することにより、開放位置と閉塞位置との間を移動可能である。シャッタ駆動機構６０は、側壁部１２の外側（筐体１０１の外側）に配置され、シャッタ５０を開放位置と閉塞位置との間で移動させる。また、シャッタ駆動機構６０は、後述する第１蓋開閉機構１０２及び第２蓋開閉機構１０３と同様に、筐体１０１の一方の（−Ｘ側の）外側に配置される。
−Ｘ側の側壁部１２には、−Ｘ方向に突出する被取付部１４が設けられる。被取付部１４は、例えば板状であり、上下方向（Ｚ方向）に沿って延在する。被取付部１４には、後述する昇降駆動部４０（第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂ）の一部が取り付けられる。筐体１０１のうち、＋Ｙ側の背面部１５には、開口部１６が設けられる（図２参照）。開口部１６は、載置台１０に載置された第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂのそれぞれに対応して設けられ、上下方向において２カ所に設けられる。
また、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂに収容されたレチクルＲの取り出し、又は、第１容器３Ａ及び第２容器３ＢへのレチクルＲの載置は、開口部１６を介して行われる。開口部１６は、レチクルＲ及びレチクルＲを搬送するレチクル搬送部２０４（図１１参照）の一部が通過可能な大きさに設けられる。また、開口部１６は、筐体１０１内からのエア（ガス）を通過させる。なお、開口部１６のそれぞれは、後述する第１蓋開閉機構１０２及び第２蓋開閉機構１０３に備えるスリット状のカバー部３２が配置される。このカバー部３２は、開口部１６から退避可能である。
第１蓋開閉機構１０２は、載置台１０上の規定位置Ｐに載置された第１容器３Ａの上蓋２を開閉する。また、第２蓋開閉機構１０３は、載置台１０上の規定位置Ｐに載置された第２容器３Ｂの上蓋２を開閉する。第１蓋開閉機構１０２及び第２蓋開閉機構１０３は、それぞれ保持部２０と、突出部３０と、昇降駆動部４０とを有する。保持部２０、突出部３０及び昇降駆動部４０は、上下の載置台１０ごとに配置される。本実施形態では、上側の載置台１０に対応して設けられる第１保持部２０Ａ、第１突出部３０Ａ及び第１昇降駆動部４０Ａにより第１蓋開閉機構１０２が構成される。また、下側の載置台１０に対応して設けられる第２保持部２０Ｂ、第２突出部３０Ｂ及び第２昇降駆動部４０Ｂにより第２蓋開閉機構１０３が構成される。以下の説明において、第１蓋開閉機構１０２と第２蓋開閉機構１０３とで各部の構成を区別しない場合、それぞれを単に保持部２０、突出部３０、昇降駆動部４０と表記する。
保持部２０（第１保持部２０Ａ及び第２保持部２０Ｂ）は、下側案内部２１と、上側案内部２４と、昇降部材３１とを有する。下側案内部２１は、＋Ｘ側及び−Ｘ側の各載置台１０に対して上方に設けられる。下側案内部２１は、載置台１０が延在する方向に沿って配置される。下側案内部２１は、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂが載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入された際に、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂに設けられている係止機構４の片部５ａの下面に当接して、この片部５ａを容器本体１に対して所定値を超えて上方に回動させる。片部５ａの下面には、下側案内部２１の上面が当接する。
下側案内部２１は、入り口側（−Ｙ側）の先端部分に、傾斜面又は曲面が設けられる。本実施形態では、下側案内部２１の−Ｙ側の先端部分に曲面２２が設けられる。曲面２２が設けられることにより、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂを挿入する際に片部５ａが曲面２２に当たることで、片部５ａを下側案内部２１上に適切に案内することができる。
下側案内部２１は、奥側（＋Ｙ側）の端部が上方に屈曲され、後述する上側案内部２４に取り付けられている。下側案内部２１上面の＋Ｙ側は上方に向かい屈曲しており、ストッパ２３を形成する。ストッパ２３は、規定位置Ｐに配置された第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂの突出片２ｃの＋Ｙ側の端部が当たることで、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂが規定位置Ｐからさらに＋Ｙ方向に移動しないように規制する。
上側案内部２４は、２つの下側案内部２１それぞれの上方に、下側案内部２１に沿ってＹ方向に延在して設けられる。上側案内部２４と下側案内部２１とは平行に設けられている。また、上側案内部２４は、下側案内部２１よりもＹ方向の長さが長い。上側案内部２４は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが載置台１０の規定位置Ｐまで水平方向に挿入された際に、片部５ａの上方において対向する上蓋２の側部２ａの上面に当接する。上側案内部２４が設けられることにより、下側案内部２１により片部５ａを上方に回動させる際に、上蓋２を上方から押さえることができる。すなわち、側部２ａと片部５ａとを上側案内部２４と下側案内部２１とで挟み込むことにより、上側案内部２４で側部２ａ（上蓋２）の上方への移動を規制しつつ、下側案内部２１で片部５ａを上方に回動させている。
上側案内部２４は、下側案内部２１に対して上下方向（Ｚ方向）に所定の距離Ｌを隔てて配置される（図８参照）。この所定の距離Ｌは、例えば、下側案内部２１と上側案内部２４との間で上蓋２の側部２ａと片部５ａとを挟み、上蓋２の上昇を抑えつつ、片部５ａを容器本体１に対して所定値を超えて上方に回動させ（片部５ａの端部を上方に移動させ）、係止機構４による係止を解除することが可能な距離である。また、上側案内部２４の下面で上蓋２の側部２ａの上面を押さえるので、下側案内部２１により片部５ａを上方に回動させる際に、上蓋２の上方への移動を規制し、係止機構４による係止を確実に解除させることができる。また、下側案内部２１と上側案内部２４との間で上蓋２の側部２ａと片部５ａとを挟むことにより上蓋２を保持する。すなわち、第１保持部２０Ａ及び第２保持部２０Ｂは、それぞれ下側案内部２１及び上側案内部２４を備えることで、上蓋２の保持部として機能する。また、下側案内部２１の先端部分と、上側案内部２４とは、例えばブラケットを介して連結されてもよい。下側案内部２１は、ストッパ２３の近傍から−Ｙ方向に延在して片持ちで設けられている。例えばブラケットにより下側案内部２１の先端部分と、上側案内部２４とが連結されることで下側案内部２１の剛性を向上させ、下側案内部２１の先端部分が垂れ下がるのを防止できる。
上側案内部２４は、例えば板状の昇降部材３１に取り付けられ、昇降部材３１の昇降により昇降する。また、上側案内部２４に取り付けられている下側案内部２１は、上側案内部２４及び昇降部材３１の昇降により昇降する。すなわち、下側案内部２１及び上側案内部２４は、昇降部材３１と一体的に昇降する。昇降部材３１は、後述する昇降駆動部４０により昇降させられる。昇降駆動部４０の駆動は、例えば、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが規定位置Ｐに配置されたことをセンサ等により検知して不図示の制御装置等により自動で行われる構成であってもよいし、作業者が図示しない操作盤を操作する（マニュアル操作）により行われる構成であってもよい。
また、昇降部材３１の＋Ｙ側の端部には、スリット状のカバー部３２が設けられる。カバー部３２は、昇降部材３１の＋Ｙ側の端部から下方に向けて屈曲して設けられ、昇降部材３１の端部から垂下して配置される。カバー部３２は、筐体１０１内からガスの流通（例えば、流入又は流出）を確保しつつ、作業者が筐体１０１内に手を突っ込んだ際に、さらにレチクル搬送部２０４（図１１等参照）が作動する領域まで手を入れないように規制する。なお、カバー部３２は、昇降部材３１と一体的に昇降し、昇降部材３１の下降時には筐体１０１の開口部１６を塞ぐ位置に配置され、昇降部材３１の上昇時には昇降部材３１とともに上昇して、開口部１６を塞ぐ位置から退避する（開口部１６が開放される）。従って、昇降部材３１とともに上蓋２を上昇させた際に、容器本体１に対して開口部１６からレチクルＲを出し入れすることが可能となる。
第１突出部３０Ａは、第１保持部２０Ａの昇降部材３１に設けられる。この第１突出部３０Ａは、ＸＹ平面に沿った板状であり、昇降部材３１の−Ｘ側端部から−Ｘ方向（第１保持部２０Ａの一方の側方）に突出して設けられる。第１突出部３０Ａは、側壁部１２を−Ｘ方向に貫通し、筐体１０１の外側まで延在する。第２突出部３０Ｂは、第２保持部２０Ｂの昇降部材３１に設けられる。この第２突出部３０Ｂは、ＸＹ平面に沿った板状であり、昇降部材３１の−Ｘ側端部から−Ｘ方向すなわち第１突出部３０Ａの突出方向と同じ方向（第２保持部２０Ｂの一方の側方）に突出して設けられる。第２突出部３０Ｂは、側壁部１２を−Ｘ方向に貫通し、筐体１０１の外側まで延在する。第１突出部３０Ａ及び第２突出部３０Ｂは、Ｙ方向及びＸ方向の寸法が同一であってもよいし、互いに異なってもよい。第１突出部３０Ａと第２突出部３０Ｂとは、平面視において、Ｙ方向にずれて配置されている。また、第１突出部３０Ａと第２突出部３０Ｂとは、Ｚ方向にずれて配置されている。
また、−Ｘ側の側壁部１２には、第１突出部３０Ａを貫通させる第１切り欠き部１２Ａと、第２突出部３０Ｂを貫通させる第２切り欠き部１２Ｂとが設けられている。第１切り欠き部１２Ａは、側壁部１２の上辺の＋Ｙ側の領域から側壁部１２を切り欠いて下方に向けて形成され、Ｙ方向の寸法（幅）が上下方向において一定となっている。第１切り欠き部１２Ａの上下方向の寸法は、第１突出部３０Ａの昇降範囲を含むように設定される。この第１切り欠き部１２Ａにより、第１突出部３０Ａは、第１切り欠き部１２Ａに沿って昇降可能となっている。
また、第２切り欠き部１２Ｂは、側壁部１２の上下方向及びＹ方向の略中央部から下方に向けて側壁部１２を切り欠いて形成されており、Ｙ方向の寸法（幅）が上下方向において一定となっている。なお、第２切り欠き部１２Ｂは、例えば、シャッタ５０を開閉させるための溝部１３と連続するように形成されてもよい。第２切り欠き部１２Ｂの上下方向の寸法は、第２突出部３０Ｂの昇降範囲を含むように設定される。この第２切り欠き部１２Ｂにより、第２突出部３０Ｂは、第２切り欠き部１２Ｂに沿って昇降可能となっている。
昇降駆動部４０は、突出部３０を介して保持部２０を片持ちして昇降させる。昇降駆動部４０は、上蓋２を保持した保持部２０（下側案内部２１及び上側案内部２４）を、容器本体１に対して昇降させる。昇降駆動部４０としては、例えば、エアシリンダ装置又は油圧シリンダ装置等の流体圧シリンダが用いられる。昇降駆動部４０において、第１昇降駆動部４０Ａは、第１保持部２０Ａを昇降させる。また、第２昇降駆動部４０Ｂは、第２保持部２０Ｂを昇降させる。
第１昇降駆動部４０Ａは、シリンダ本体４１Ａと、シリンダロッド４２Ａと、移動部材４３Ａとを有する。シリンダ本体４１Ａは、側壁部１２から−Ｘ方向すなわち第１突出部３０Ａ及び第２突出部３０Ｂの突出方向と同じ方向に突出する被取付部１４における＋Ｙ側の第１面１４Ａ（図２参照）に取り付けられる。シリンダロッド４２Ａは、シリンダ本体４１Ａから上方（＋Ｚ方向）に向けて突出する。シリンダロッド４２Ａは、シリンダ本体４１Ａに対して流入又は流出する流体の圧力に応じて上下方向に移動する。移動部材４３Ａは、シリンダロッド４２Ａの上端（＋Ｚ側端部）に固定される。移動部材４３Ａは、第１保持部２０Ａの第１突出部３０Ａに固定される。
移動部材４３Ａ（シリンダロッド４２Ａ）が上下方向に移動することで、第１突出部３０Ａを介して第１保持部２０Ａを昇降させる。この第１昇降駆動部４０Ａは、シリンダ本体４１Ａに対してシリンダロッド４２Ａを上方に移動させる（突出させる）ことにより第１保持部２０Ａを上昇させ、シリンダ本体４１Ａに対してシリンダロッド４２Ａを下方に移動させる（引き込ませる）ことにより第１保持部２０Ａを下降させる。
第２昇降駆動部４０Ｂは、第１昇降駆動部４０ＡとＹ方向に互いに隣り合って配置されている。第２昇降駆動部４０Ｂは、シリンダ本体４１Ｂと、シリンダロッド４２Ｂと、移動部材４３Ｂとを有する。シリンダ本体４１Ｂは、被取付部１４における−Ｙ側の第２面１４Ｂ（図１参照）に取り付けられる。シリンダロッド４２Ｂは、シリンダ本体４１Ｂから下方（−Ｚ方向）に向けて突出する。シリンダロッド４２Ｂは、シリンダ本体４１Ｂに対して流入又は流出する流体の圧力に応じて上下方向に移動する。移動部材４３Ｂは、シリンダロッド４２Ｂの下端（−Ｚ側端部）に固定される。移動部材４３Ｂは、第２保持部２０Ｂの第２突出部３０Ｂに固定される。
移動部材４３Ｂ（シリンダロッド４２Ｂ）が上下方向に移動することで、第２突出部３０Ｂを介して第２保持部２０Ｂを昇降させる。この第２昇降駆動部４０Ｂは、シリンダ本体４１Ｂに対してシリンダロッド４２Ｂを収縮させることにより第２保持部２０Ｂを上昇させ、シリンダ本体４１Ｂに対してシリンダロッド４２Ｂを伸長させることにより第２保持部２０Ｂを下降させる。
なお、第１昇降駆動部４０Ａのシリンダ本体４１Ａの上部と、第２昇降駆動部４０Ｂのシリンダ本体４１Ｂの下部とは、水平方向（Ｙ方向）に視て重なるように配置される。すなわち、第１昇降駆動部４０Ａのシリンダ本体４１Ａと、第２昇降駆動部４０Ｂのシリンダ本体４１Ｂとは、水平方向（Ｙ方向）に視て少なくとも一部が重なっている。このため、第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂを上下方向に関してコンパクトに配置することができる。
図４は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの一例を示す分解斜視図である。図５（Ａ）は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの係止機構４による係止を解除した図、（Ｂ）は、上蓋２を容器本体１に対して上方に移動させた図である。第１容器３Ａと第２容器３Ｂとは、同じ構成である。図４及び図５に示すように、容器本体１は、例えば矩形の板状である。容器本体１は、矩形板状のレチクルＲを支持する複数の支持部１ａを有する。複数の支持部１ａは、レチクルＲの角部に対応する４カ所にそれぞれ配置される。各支持部１ａには、位置決め部１ｂが設けられる。位置決め部１ｂは、レチクルＲの＋Ｙ側及び−Ｙ側を支持し、レチクルＲのＹ方向の位置ずれを防止する。また、容器本体１には、位置決め部１ｃが設けられる。位置決め部１ｃは、レチクルＲの＋Ｘ側及び−Ｘ側を支持し、レチクルＲのＸ方向の位置ずれを防止する。なお、容器本体１におけるレチクルＲの支持方法は任意であり、上記した構成に限定されない。
容器本体１の＋Ｘ側と−Ｘ側には、それぞれ鍔部１ｄを有する。鍔部１ｄは、容器本体１の対向する２辺に沿って形成される。鍔部１ｄは、Ｙ方向に沿って延在し、容器本体１の底部と平行である。鍔部１ｄは、底部に対してＺ方向に立設された側部があり、その側部からＸ方向に鍔状に設けられている。この鍔部１ｄは、容器本体１の底部に対して上方に配置される。鍔部１ｄの一部には、係止部１ｅを有する。係止部１ｅは、鍔部１ｄにおいて長手方向であるＹ方向のほぼ中央部に設けられる。また、鍔部１ｄの縁部において＋Ｙ側及び−Ｙ側には段部１ｆが設けられる。この段部１ｆ（＋Ｙ側の段部１ｆ）は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが規定位置Ｐに配置された際に、上記した保持部材１７（図３参照）の図示しない突出部に係止され、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの−Ｙ方向への移動を規制する。
上蓋２は、側部２ａと、側壁部２ｂと、突出片２ｃとを有する。側部２ａは、例えば平面視で矩形状の天板部の＋Ｘ側及び−Ｘ側にそれぞれ突出して設けられている。側壁部２ｂは、平面視において矩形枠状であり、天板部の外周に沿って設けられている。側壁部２ｂは、容器本体１において２つの鍔部１ｄ（底部に立設された一対の側部）の間に挿入可能な大きさに設けられる。突出片２ｃは、側部２ａの＋Ｙ側にそれぞれ側壁部２ｂから外側に突出するように設けられる。突出片２ｃの厚み寸法は、突出片２ｃが上記した下側案内部２１と上側案内部２４との間に挿入可能となるように設定されている。突出片２ｃは、＋Ｙ側端部が下側案内部２１のストッパ２３に当たることで、載置台１０上における第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂの挿入方向の位置を規定する。
また、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂは、係止機構４を有する。係止機構４は、係止部材５と、軸６と、弾性部材７とを有する。これら係止部材５、軸６、及び弾性部材７は、上蓋２に設けられる。係止部材５は、側部２ａの下方に配置される。係止部材５は、片部５ａと、垂下部５ｂと、爪部５ｃとを有する。片部５ａは、側部２ａに沿って水平方向に延在し、側部２ａに対して下方に所定の間隔をあけて配置される。垂下部５ｂは、片部５ａの側壁部２ｂ側から下方に屈曲された部分である。爪部５ｃは、垂下部５ｂの下端に設けられ、容器本体１の係止部１ｅに係止される。
軸６は、片部５ａの側壁部２ｂ側に配置され、軸心方向がＹ軸方向となるように上蓋２（側部２ａ）に設けられる。軸６は、係止部材５を回転可能に支持する。つまり、係止部材５は、軸６を中心として回転可能である。換言すれば、片部５ａは、軸６まわりに回動可能に設けられており、片部５ａの回動に伴って垂下部５ｂ及び爪部５ｃの容器本体１（係止部１ｅ）に対する位置が変化する。片部５ａが軸６まわりに上方（＋Ｚ軸方向）に回動すると、垂下部５ｂ及び爪部５ｃは容器本体１から離間する。片部５ａが軸６まわりに下方（-Ｚ軸方向）に回動すると、垂下部５ｂ及び爪部５ｃは容器本体１に接近する。弾性部材７は、片部５ａと側部２ａとの間に配置される。弾性部材７は、例えばコイルスプリング等が用いられ、片部５ａに対して下向きの弾性力を付与する。
図５（Ａ）に示すように、片部５ａに対して弾性部材７の弾性力よりも大きな力が上向きに加えられた場合、片部５ａの端部が側部２ａに近づく方向に回動し、その結果、係止部材５が軸６を中心として回動する。片部５ａが容器本体１に対して所定値を超えて上方に回動した場合、又は側部２ａの上面と片部５ａの端部の下面との間の距離が所定の距離Ｌ（図８参照）よりも小さくなった場合には、爪部５ｃが容器本体１から離間し、係止部１ｅから外れた状態となる。爪部５ｃが係止部１ｅから外れることにより、係止機構４による上蓋２の係止が解除される。係止機構４による上蓋２の係止が解除された状態では、平面視において爪部５ｃと係止部１ｅとが重なっていない。
図５（Ｂ）に示すように、係止機構４による係止が解除された状態で、上蓋２を上方に移動させることにより、上蓋２が容器本体１から離れる。この結果、上蓋２が容器本体１から取り外され、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂが開いた状態（レチクルＲを取り出し又は載置可能な状態）となる。なお、係止機構４による係止が解除された状態で、容器本体１を下降させても、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂが開いた状態となる。なお、上蓋２が容器本体１に装着され、この第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂが載置台１０から取り出されることで（すなわち片部５ａが下側案内部２１から離れることで）、弾性部材７により片部５ａが押されて下方に回動し、係止部材５を回動させて爪部５ｃを容器本体１に接近させることにより、爪部５ｃが係止部１ｅに係止された状態に戻る。
次に、上記した蓋開閉装置１００に第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを配置し、上蓋２を開く動作の一例について図６から図９を用いて説明する。なお、図６から図９では、１つの第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを例に挙げて説明している。図６は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを載置台１０に配置する前の状態を示す図である。図６に示すように、１つの載置台１０の入り口部分の手前側（−Ｙ側）に第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが配置される。この第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂは、例えば、作業者が手で持った状態であってもよいし、ロボットハンド等により保持された状態であってもよい。
第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂは、例えば、鍔部１ｄが載置台１０の高さとなるように配置される。この状態から、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを＋Ｙ方向に挿入して規定位置Ｐに配置させる。なお、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを挿入する際に、鍔部１ｄの高さが載置台１０より低い場合であっても、鍔部１ｄが傾斜部１１に当たって案内されることにより、鍔部１ｄを載置台１０に載置された状態で第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを挿入することができる。第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが挿入されると、係止機構４の片部５ａが下側案内部２１の曲面２２に到達する。この片部５ａは、曲面２２に当たることで、下側案内部２１上に適切に案内される。片部５ａが下側案内部２１上に案内されると、片部５ａは、下側案内部２１により上方に回動させられた状態となる。すなわち、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを規定位置Ｐまで挿入する途中で、片部５ａは、下側案内部２１により上方に回動させられた状態となる。
また、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが挿入されると、上蓋２の側部２ａは、上側案内部２４に当たって案内される。なお、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを挿入する際、側部２ａが上側案内部２４に当たり始めるタイミングは、片部５ａが下側案内部２１に案内され始めるタイミングよりも前である。第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂは、挿入の途中から、側部２ａが上側案内部２４に案内され、かつ、片部５ａが下側案内部２１に案内された状態で規定位置Ｐまで挿入される。なお、片部５ａが下側案内部２１により上方に回動させられた状態では、係止機構４は係止を解除している。また、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂは、突出片２ｃがストッパ２３に当たるまで挿入される。作業者は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが止まる（それ以上押し込めない状態となる）まで挿入することにより、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを規定位置Ｐに容易に配置させることができる。
図７は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂを規定位置Ｐに配置した状態を示す図である。図８（Ａ）は、図７における要部を拡大して示す図である。図８（Ｂ）は、図７に示す状態において上蓋２の係止機構４の一例を模式的に示す図である。図７に示すように、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂが載置台１０の規定位置Ｐに配置された状態では、側部２ａと片部５ａとが下側案内部２１と上側案内部２４とで挟まれており、上蓋２は、下側案内部２１と上側案内部２４とを備える保持部２０（第１保持部２０Ａ又は第２保持部２０Ｂ）により保持されている。
図８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、上蓋２の両側の片部５ａが下側案内部２１により案内され、片部５ａが弾性部材７の弾性力に抗して、容器本体１（第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂ）に対して上方に回動させられた状態となる。また、上蓋２の側部２ａは、上面が上側案内部２４の下面に当接している。なお、片部５ａが上方に回動させられた際、上蓋２には上方に向けた力が作用する。この力は上側案内部２４により受け止められるので、上蓋２は、上下方向の位置が維持される。図８（Ｂ）に示すように、下側案内部２１の上面と、上側案内部２４の下面との間は所定の距離Ｌに設定されている。この所定の距離Ｌは、片部５ａを上方に回動させて係止機構４による係止を解除させるのに必要な距離である。すなわち、片部５ａは、所定の距離Ｌとなるまで下側案内部２１により上方に回動させられることで、係止機構４による係止を確実に解除させることができる。
また、側部２ａは上側案内部２４により上方への移動が押さえられている。このため、片部５ａが上方に回動させられるときに上蓋２が上方に移動することを防止し、容器本体１に対して片部５ａを確実に上方に回動させることができる。この片部５ａの上方への回動により、係止部材５が軸６を中心として回動し、爪部５ｃが容器本体１の係止部１ｅから外れる。その結果、係止機構４による係止が解除され、上蓋２を容器本体１に対して上方に移動させることが可能となる。なお、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂは、規定位置Ｐに配置されている間、係止機構４による係止が解除された状態が維持される。
図９は、上蓋２を開く動作の一例を示す図である。昇降駆動部４０（第１昇降駆動部４０Ａ、第２昇降駆動部４０Ｂ）により保持部２０（第１保持部２０Ａ又は第２保持部２０Ｂ）を上昇させることで、図９に示すように、下側案内部２１及び上側案内部２４が上昇させられる。上蓋２の両側の側部２ａ及び片部５ａは、下側案内部２１と上側案内部２４との間に挟まれて保持されているので、下側案内部２１及び上側案内部２４の上昇により、上蓋２も容器本体１に対して上昇する。上蓋２が上昇することで、容器本体１の上面側が開放された状態となり、容器本体１に対してのレチクルＲの取り出し又は載置が可能となる。
なお、第１容器３Ａにおいては、上記したように、第１昇降駆動部４０Ａのシリンダロッド４２Ａをシリンダ本体４１Ａに対して伸長させることにより第１保持部２０Ａを上昇させる。一方、第２容器３Ｂにおいては、第２昇降駆動部４０Ｂのシリンダロッド４２Ｂをシリンダ本体４１Ｂに対して収縮させることにより第２保持部２０Ｂを上昇させる。
図１０は、上記した蓋開閉装置１００が搭載されるレチクル入出庫装置２００の一例を示す斜視図である。図１１は、図１０における平面Ａによる断面図である。図１２は、図１０における平面Ｂによる断面図である。レチクル入出庫装置２００は、例えば、レチクル保管装置又は露光装置等に隣接して配置され、蓋開閉装置１００に配置された第１容器３Ａ等と、レチクルＲの保管領域又はレチクルＲを用いた処理領域との間でレチクルＲを搬送する。レチクル入出庫装置２００は、図１０及び図１１に示すように、ハウジング２０１と、ファンフィルタユニット２０２（以下、ＦＦＵ２０２と称す。）と、蓋開閉装置設置部２０３と、レチクル搬送部２０４とを有する。ハウジング２０１は、ＦＦＵ２０２、蓋開閉装置設置部２０３及びレチクル搬送部２０４を収容する。
ＦＦＵ２０２は、ハウジング２０１内の上部に配置される。ＦＦＵ２０２は、ファン２０２ａ及び不図示のフィルタを有する。ＦＦＵ２０２は、ファン２０２ａの回転によりハウジング２０１外のエアを取り込んで、不図示のフィルタによってパーティクル、水分等を除去してハウジング２０１内に送り込む。ＦＦＵ２０２から送り出されたエア（クリーンドライエア）ＡＲは、ハウジング２０１内においてダウンフローとなる。
蓋開閉装置設置部２０３は、ハウジング２０１内において、ＦＦＵ２０２の下部に設定される。蓋開閉装置設置部２０３には、上記した蓋開閉装置１００が設置される。本実施形態では、蓋開閉装置設置部２０３において、上下に２台の蓋開閉装置１００が設置されるが、この形態に限定されず、例えば、蓋開閉装置設置部２０３に１台の蓋開閉装置１００が設置されてもよいし、３台以上の蓋開閉装置１００が設置されてもよい。なお、蓋開閉装置設置部２０３に２台の蓋開閉装置１００が設置される形態では、合計４つの容器（第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂ）を挿入可能である。各蓋開閉装置１００は、第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの挿入側がハウジング２０１の−Ｙ側の壁部に面した状態で設置される。
レチクル搬送部２０４は、ハウジング２０１内において、蓋開閉装置１００の＋Ｙ側に設けられる。レチクル搬送部２０４は、蓋開閉装置１００に配置された第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂに対してレチクルＲの取り出し又は載置を行う。レチクル搬送部２０４は、レチクル入出庫装置２００に隣接するレチクル保管装置又は露光装置等との間でレチクルＲを搬送する。レチクル搬送部２０４は、レチクルＲを載置して支持するアーム２０４ａを有する。
アーム２０４ａは、不図示の昇降装置により昇降し、対象となる第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂの高さで停止した後、蓋開閉装置１００の筐体１０１の開口部１６（図２参照）を介してレチクルＲの下方まで−Ｙ方向に移動し、続いて上昇することでレチクルＲを第１容器３Ａ又は第２容器３Ｂから掬い取って別の場所に搬送できる。
ＦＦＵ２０２によってダウンフローとされたエアＡＲは、図１１に示すように、レチクル搬送部２０４において下方に向けて流れ、その一部が蓋開閉装置１００の筐体１０１の開口部１６から筐体１０１内に流れ込む。また、図１２に示すように、蓋開閉装置１００の内部に流れ込んだエアＡＲは、＋Ｘ方向及び−Ｘ方向に流れて筐体１０１外に排出される。すなわち、筐体１０１は、エアＡＲの流れのある環境に配置され、筐体１０１の一方の側（第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂが配置された側）は、筐体１０１に対してエアＡＲの流れの下流側である。
なお、筐体１０１内に流れ込んだエアＡＲは、筐体１０１の−Ｘ側の側壁部１２に設けられた第１切り欠き部１２Ａ及び第２切り欠き部１２Ｂ、並びに溝部１３（図１参照）から筐体１０１外に排出され、筐体１０１の＋Ｘ側の側壁部１２に設けられた溝部１３から筐体１０１外に排出されるエアＡＲの流量より多い。また、図示していないが、筐体１０１内のエアＡＲの一部は、筐体１０１とシャッタ５０との隙間等からも筐体１０１外に排出される。
このエアＡＲの流れにより、筐体１０１内における第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂの周辺がクリーンな環境に維持される。また、パーティクルの発生源となる第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂの設置領域（筐体１０１の一方の側の領域）のエアが筐体１０１内に入り込むことを防止できる。さらに、第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂが筐体１０１の一方の側にまとめて配置され、この一方の側の側壁部１２には第１切り欠き部１２Ａ及び第２切り欠き部１２Ｂが設けられているので、この一方の側にエアＡＲが筐体１０１外に排出され、第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂから発生したパーティクルが筐体１０１内に入り込むことを確実かつ効率よく防止できる。なお、筐体１０１外に排出されたエアＡＲは、ハウジング２０１に設けられた不図示の通気口等から外部に排出される。
以上のように、本実施形態に係る蓋開閉装置１００によれば、第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂが、第１保持部２０Ａ及び第２保持部２０Ｂをそれぞれ片持ちして保持し、かつ筐体１０１の外側であって筐体１０１に対して一方の側にまとめて配置されるので、第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂをコンパクトに配置することができ、装置の大型化を抑制することができる。さらに、パーティクルの発生源となる第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂが筐体１０１に対して一方の側にまとめて配置されるので、第１昇降駆動部４０Ａ及び第２昇降駆動部４０Ｂが配置される領域のガスが筐体１０１内に入り込むことを防止することで、第１容器３Ａ及び第２容器３Ｂ周辺のクリーンな環境を容易に維持できる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、シリンダ本体４１Ａ、４１Ｂが１つの被取付部１４に取り付けられた構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、シリンダ本体４１Ａ、４１Ｂは、側壁部１２に直接取り付けられてもよいし、筐体１０１に設けられた２つの被取付部１４にそれぞれ取り付けられてもよい。
また、上記した実施形態では、シリンダ本体４１Ａ、４１Ｂが水平方向に視て少なくとも一部が重なる状態で配置される構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、シリンダ本体４１Ａ、４１Ｂは、水平方向に視て上下方向に離れて配置されてもよい。
なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１９−０３０３９９、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
Ｒ・・・レチクル
ＡＲ・・・エア
１・・・容器本体
２・・・上蓋
３Ａ・・・第１容器
３Ｂ・・・第２容器
４・・・係止機構
１０・・・載置台
１４・・・被取付部
１４Ａ・・・第１面
１４Ｂ・・・第２面
２０・・・保持部
２０Ａ・・・第１保持部
２０Ｂ・・・第２保持部
２１・・・下側案内部
２４・・・上側案内部
３０・・・突出部
３０Ａ・・・第１突出部
３０Ｂ・・・第２突出部
４０・・・昇降駆動部
４０Ａ・・・第１昇降駆動部
４０Ｂ・・・第２昇降駆動部
４１Ａ、４１Ｂ・・・シリンダ本体
４２Ａ、４２Ｂ・・・シリンダロッド
４３Ａ、４３Ｂ・・・移動部材
５０・・・シャッタ
６０・・・シャッタ駆動機構
１００・・・蓋開閉装置
１０１・・・筐体
１０２・・・第１蓋開閉機構
１０３・・・第２蓋開閉機構
２００・・・レチクル入出庫装置
２０２・・・ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
２０４・・・レチクル搬送部
本発明の態様に係る蓋開閉装置は、筐体と、筐体内に配置される第１容器の上蓋を開閉する第１蓋開閉機構と、筐体内において第１容器の下方に並んで配置される第２容器の上蓋を開閉する第２蓋開閉機構と、を備え、第１蓋開閉機構は、第１容器の上蓋を保持する第１保持部と、第１保持部から、第１保持部の一方の側へ突出して設けられ、筐体の外側まで延在する第１突出部と、第１突出部を介して第１保持部を片持ちして昇降させる第１昇降駆動部と、を有し、第２蓋開閉機構は、第２容器の上蓋を保持する第２保持部と、第２保持部から第１保持部の一方の側へ突出して設けられ、筐体の外側まで延在する第２突出部と、第２突出部を介して第２保持部を片持ちして昇降させる第２昇降駆動部と、を有し、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部は、筐体の外側であって筐体に対して第１保持部の一方の側に配置されている。
また、第１昇降駆動部と第２昇降駆動部とは、隣り合って配置されていてもよい。また、筐体は、エアの流れのある環境に配置され、第１保持部の一方の側は、筐体に対してエアの流れの下流側であってもよい。また、第１昇降駆動部及び第２昇降駆動部は、それぞれシリンダ本体とシリンダロッドとを有する流体圧シリンダであり、第１昇降駆動部は、シリンダロッドを上方に向けて突出させるように配置され、第２昇降駆動部は、シリンダロッドを下方に向けて突出させるように配置され、第１昇降駆動部のシリンダ本体と、第２昇降駆動部のシリンダ本体とは、水平方向に視て少なくとも一部が重なるように配置されていてもよい。
また、筐体から第１保持部の一方の側に突出して被取付部が設けられ、第１昇降駆動部は、被取付部の一方の面側に取り付けられ、第２昇降駆動部は、被取付部の一方の面側と反対側である他方の面側に取り付けられてもよい。
実施形態に係る蓋開閉装置の一例を示す斜視図である。 図１の蓋開閉装置を斜め後方かつ上方から視た斜視図である。 蓋開閉装置を−Ｘ側から視た図である。 容器の一例を示す分解斜視図である。 （Ａ）は、容器の係止機構による係止を解除した図、（Ｂ）は、上蓋を容器本体に対して上方に移動させた図である。 容器を載置台に配置する前の状態を示す図である。 容器を載置台の規定位置に配置した状態を示す図である。 （Ａ）は、図７における要部を拡大して示す図、（Ｂ）は、図７に示す状態において係止機構が解除された状態を示す図である。 上蓋を上方に移動させる動作の一例を示す図である。 蓋開閉装置が搭載されるレチクルポッドの一例を示す斜視図である。 図１０における平面Ａによる断面図である。 図１０における平面Ｂによる断面図である。
第１突出部３０Ａは、第１保持部２０Ａの昇降部材３１に設けられる。この第１突出部３０Ａは、ＸＹ平面に沿った板状であり、昇降部材３１の−Ｘ側端部から−Ｘ方向（第１保持部２０Ａの一方の側）に突出して設けられる。第１突出部３０Ａは、側壁部１２を−Ｘ方向に貫通し、筐体１０１の外側まで延在する。第２突出部３０Ｂは、第２保持部２０Ｂの昇降部材３１に設けられる。この第２突出部３０Ｂは、ＸＹ平面に沿った板状であり、昇降部材３１の−Ｘ側端部から−Ｘ方向すなわち第１突出部３０Ａの突出方向と同じ方向（第２保持部２０Ｂの一方の側）に突出して設けられる。第２突出部３０Ｂは、側壁部１２を−Ｘ方向に貫通し、筐体１０１の外側まで延在する。第１突出部３０Ａ及び第２突出部３０Ｂは、Ｙ方向及びＸ方向の寸法が同一であってもよいし、互いに異なってもよい。第１突出部３０Ａと第２突出部３０Ｂとは、平面視において、Ｙ方向にずれて配置されている。また、第１突出部３０Ａと第２突出部３０Ｂとは、Ｚ方向にずれて配置されている。

Claims (5)

  1. 筐体と、
    筐体内に配置される第１容器の上蓋を開閉する第１蓋開閉機構と、
    前記筐体内において前記第１容器の下方に並んで配置される第２容器の上蓋を開閉する第２蓋開閉機構と、を備え、
    前記第１蓋開閉機構は、前記第１容器の上蓋を保持する第１保持部と、前記第１保持部から、前記第１保持部の一方の側方へ突出して設けられ、前記筐体の外側まで延在する第１突出部と、前記第１突出部を介して前記第１保持部を片持ちして昇降させる第１昇降駆動部と、を有し、
    前記第２蓋開閉機構は、前記第２容器の上蓋を保持する第２保持部と、前記第２保持部から前記一方の側へ突出して設けられ、前記筐体の外側まで延在する第２突出部と、前記第２突出部を介して前記第２保持部を片持ちして昇降させる第２昇降駆動部と、を有し、
    前記第１昇降駆動部及び前記第２昇降駆動部は、前記筐体の外側であって前記筐体に対して前記一方の側に配置されている、蓋開閉装置。
  2. 前記第１昇降駆動部と前記第２昇降駆動部とは、隣り合って配置されている、請求項１に記載の蓋開閉装置。
  3. 前記筐体は、エアの流れのある環境に配置され、
    前記一方の側は、前記筐体に対して前記エアの流れの下流側である、請求項１又は請求項２に記載の蓋開閉装置。
  4. 前記第１昇降駆動部及び前記第２昇降駆動部は、それぞれシリンダ本体とシリンダロッドとを有する流体圧シリンダであり、
    前記第１昇降駆動部は、前記シリンダロッドを上方に向けて突出させるように配置され、
    前記第２昇降駆動部は、前記シリンダロッドを下方に向けて突出させるように配置され、
    前記第１昇降駆動部の前記シリンダ本体と、前記第２昇降駆動部の前記シリンダ本体とは、水平方向に視て少なくとも一部が重なるように配置されている、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の蓋開閉装置。
  5. 前記筐体から前記一方の側に突出して被取付部が設けられ、
    前記第１昇降駆動部は、前記被取付部の一方の面側に取り付けられ、
    前記第２昇降駆動部は、前記被取付部の前記一方の面側と反対側である他方の面側に取り付けられる、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の蓋開閉装置。
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