KR102072928B1 - 반송장치 및 이를 구비하는 성막 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 반송장치는, 소정의 수납 공간을 갖는 수납부와, 적재면을 가지는 적재부와, 상기 적재부를, 상기 수납 공간에 수납되어 있는 제1 위치와 상기 수납 공간의 외측으로 인출되어 있는 제2 위치와의 사이에서 승강시킬 수 있으며, 상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 상기 적재부를 상기 적재면에 평행하게 선회시킬 수 있도록 구성되는 승강 선회 기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

반송장치 및 이를 구비하는 성막 시스템{TRANSFER APPARATUS AND FILM DEPOSITION SYSTEM INCLUDING THE SAME}
본 발명은 성막장치의 챔버에 부품 등을 반출입하기 위한 반송장치 및 이를 구비하는 성막 시스템에 관한 것이다.
증발원으로부터 증발한 증착재료를 기판에 증착시킴으로써, 유기물층이나 금속층을 형성하는 성막장치는, 필요에 따라 또는 주기적으로 유지보수가 행해진다. 성막장치의 유지보수는, 챔버 내에 설치 또는 배치되는 부품의 챔버로부터의 반출과 챔버로의 반입을 수반한다.
예를 들어, 챔버의 내벽에 증착재료가 기생증착하는 것을 방지하기 위하여 설치되는 방착판은, 주기적으로 챔버로부터 반출되어 새로운 것으로 교체되거나 또는 기생증착된 증착재료를 제거한 다음 챔버 내로 반입되어서 재설치된다. 그리고 일정 기간동안 증착 공정이 행해져 증착재료가 소모되면, 증착재료를 담고 있던 도가니를 챔버의 외부로 반출하여 새로운 것으로 교체하거나 또는 증착재료를 충진하여 다시 챔버 내로 반입한다. 도가니나 방착판 이외의 챔버 내의 다른 기기나 부품들도, 교환 또는 유지보수를 위하여 챔버로부터 반입 및 반출되는 경우가 있다.
특허문헌1(일본공개특허 특개2005-311032호)에는 진공챔버의 측면에 형성된 기기반입출용의 개구부를 통해 스테이지 구동기구 및 스테이지를 진공챔버에 반입하거나 진공챔버로부터 반출하는 것을 용이하게 할 수 있는 진공용 위치 결정 장치가 개시되어 있다. 상기 진공용 위치 결정 장치에서는, 가이드 레일과 이의 길이 방향으로 이동가능하게 설치된 슬라이드체를 갖는 리니어 가이드를 이용하여, 스테이지 구동기구 및 스테이지를 진공챔버에 반출입한다.
특허문헌2(한국등록특허 제10-1681091호)에는 도가니의 교체를 위하여 증발원 모듈을 챔버에 반출입하기 위한 이송장치가 개시되어 있다. 상기 이송장치는 증발원 모듈을 챔버로부터 반출입할 수 있도록 챔버의 내부에 설치되는 증발원 레일과 챔버의 외부에 설치되는 이송 레일 어셈블리를 포함한다.
일본공개특허 특개2005-311032호 한국등록특허 제10-1681091호
챔버로의 부품 등의 반출입을 위하여, 챔버의 적어도 일 측면에는, 챔버 개폐용 도어가 설치된다. 통상적으로, 부품의 챔버에의 반출입은 작업자가 부품을 손으로 들고서 상기 도어를 출입함으로써 이루어지는데, 방착판 등과 같은 무거운 부품의 반출입을 위해서는 복수의 작업자가 함께 들고 상기 도어를 출입해야 하므로 작업성이 나쁘다. 특히, 작업자가 무거운 물건을 든 채로 상기 도어의 높이까지 일 단을 오르거나 내려가거나 해야 하므로, 작업성이 매우 나쁘다.
특허문헌 1 및 특허문헌 2의 구성에 의하면, 스테이지 구동기구나 증발원 모듈을 챔버내외로 반출입하기 위해, 별도의 레일을 설치하여야 하므로, 챔버 내의 구성이 복잡해지며, 또한, 스테이지 구동장치나 증발원 모듈 이외의 다른 부품의 챔버로의 반출입에는 사용될 수 없다는 문제가 있다.
본 발명은, 성막장치의 유지보수시에, 무거운 부품은 물론 여러 가지 부품을 챔버로 안전하게 반출입할 수 있는 반송장치 및 이를 구비하는 성막 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 양태에 따른 반송장치는, 소정의 수납 공간을 갖는 수납부와, 적재면을 가지는 적재부와, 상기 적재부를, 상기 수납 공간에 수납되어 있는 제1 위치와 상기 수납 공간의 외측으로 인출되어 있는 제2 위치와의 사이에서 승강시킬 수 있으며, 상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 상기 적재부를 상기 적재면에 평행하게 선회시킬 수 있도록 구성되는 승강 선회 기구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2 양태에 따른 성막 시스템은, 개폐 가능한 개구부가 일 측면에 형성되어 있는 챔버를 구비하는 성막장치와, 적재면을 가지는 적재부와, 상기 적재부를 상기 개구부의 하변보다 낮은 제1 위치와 상기 개구부의 하변보다 높은 제2 위치와의 사이에서 승강시킬 수 있으며, 상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 상기 적재부를 상기 적재면에 평행하게 선회시킬 수 있도록 구성되는 승강 선회 기구를 구비하는 반송장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 성막장치의 유지보수시에 여러 가지 부품, 예컨대, 방착판 등과 같이 무거운 부품을 챔버에 안전하게 반출입할 수 있다. 이에 의해, 부품의 교환이나 유지보수시의 작업성을 개선할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치(수납상태)가 성막장치에 이웃하게 설치된 상태를 나타내는 모식도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치(인출상태)가 성막장치에 이웃하게 설치된 상태를 나타내는 모식도이다
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 수납부의 뚜껑이 닫혀 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 수납부의 뚜껑이 열려 있는 상태를 도시하는 도면이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 적재부가 수납부로부터 인출된 상태(수축상태)를 나타내는 도면이다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 적재부가 수납부로부터 인출된 상태(신장상태)를 나타내는 도면이다.
도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 적재부의 선회동작을 나타내는 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 승강 선회 기구가 접혀 있는 상태를 보여주는 사시도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 승강 선회 기구가 기립해 있는 상태를 보여주는 사시도이다.
도 3c는 도 3b의 승강 선회 기구의 선회부의 확대도이다.
도 3d는 도 3b의 승강 선회 기구의 선회부의 일부를 제거한 절취도이다.
도 3e는 승강 선회 기구의 선회부의 선회 고정구의 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태 및 실시예를 설명한다. 다만, 이하의 실시형태 및 실시예는 본 발명의 바람직한 구성을 예시적으로 나타내는 것일 뿐이며, 본 발명의 범위는 이들 구성에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 장치의 하드웨어 구성 및 소프트웨어 구성, 처리 흐름, 제조조건, 크기, 재질, 형상 등은, 특히 한정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 이것으로 한정하려는 취지인 것은 아니다.
<성막 시스템>
도 1a 및 도 1b는 각각 본 발명의 일 실시예와 관련되는 성막 시스템의 모식도로서, 도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 적재부가 수납부의 수납 공간(제1 위치에 있는 상태)에 수납되어 있는 상태를 나타내는 모식도이고, 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치의 적재부가 수납부로부터 인출되어 있는 상태(제2 위치에 있는 상태)를 나타내는 모식도이다.
도 1a 및 도 1b에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 성막 시스템(1)은 성막장치(10)와 반송장치(20)를 포함한다.
성막장치(10)는 기판의 표면에 각종 재료를 퇴적시켜 성막을 행하는 장치이다. 성막장치(10)는 증발원으로부터 증발한 증착재료를 기판에 증착시킴으로써, 유기물층이나 금속층을 형성하는 진공증착장치에 한정되지 않으며, 스퍼터 장치나 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치 등과 같은 진공 또는 저압의 증착장치일 수도 있다.
성막장치(10)는, 동작 중에 진공 분위기 또는 질소 가스 등의 불활성 가스 분위기로 유지되는 챔버(12)를 포함한다. 이를 위하여, 챔버(12)는 성막이 행해지는 동안 전면(全面)이 완전히 밀봉된다. 도시하지 않지만, 챔버(12)내에는 증착 공정을 행하기 위하여 기판 지지 유닛, 마스크 지지 유닛, 정전척, 증발원 등의 부품들이 설치되어 있을 수 있다. 또한, 챔버(12)의 내벽에 증착재료가 기생증착하는 것을 방지하기 위하여 방착판 등의 부품도 챔버(12)의 내벽에 부착되어 있을 수 있다.
챔버(12)는 복수의 지지대(14)에 의하여 플로어로부터 소정의 높이만큼 이격되어 설치된다. 여기서, 플로어는 성막 시스템(1)이 설치되는 건물의 플로어일 수 있으나, 여기에만 한정되는 것은 아니다. 챔버(12)와 플로어 사이의 공간에는, 도시하지 않았으나, 성막장치(10)의 작동에 필요한 각종 장치나 기기들이 배치될 수 있으며, 이 중에서 일부는 챔버(12)의 벽을 관통하여 챔버(12) 내의 부품들에 접속되어 있을 수 있다. 예를 들어, 상기 공간에는, 냉각액 순환 장치, 각종 배관, 펌프, 전원 및 이로부터 연장되는 복수의 전선 등이 배치될 수 있다.
챔버(12)의 일 측면에는 개구부(16)와, 이 개구부(16)를 개폐할 수 있는 도어(door, 18)가 설치된다. 개구부(16) 및 도어(18)는 기판이나 마스크의 챔버(12)로의 반출입을 위한 게이트 밸브(미도시)와 별도로 설치된다.
챔버(12)의 일 측면에 형성되는 개구부(16)는 성막장치(10)의 유지보수 작업을 위한 출입구로서 기능한다. 보다 구체적으로, 개구부(16)를 통해서 작업자가 챔버(12)로 들어가거나 챔버(12)로부터 나오거나 할 수 있으며, 또한 교환부품들도 이 개구부(16)를 통하여 챔버(12)로 반입되거나 챔버(12)로부터 반출되거나 할 수 있다. 개구부(16)는 그 하변이 플로어로부터 소정의 높이가 되도록 설치된다.
개구부(16)를 개폐하는 도어(18)의 구조나 동작 방식 등에는 특별한 제한이 없다. 예를 들어, 도어(18)는 개구부(16)의 일 측변(16b)에서 챔버(12)에 힌지 결합되어서, 이 측변(16b)을 축으로 하여 회전함으로써 개구부(16)를 개폐하도록 설치된다. 그리고 도어(18)에 의하여 개구부(16)가 닫힌 상태에서도 작업자가 챔버(12)의 내부를 관찰할 수 있도록, 하나 이상의 관찰창(18a)이 도어(18)에 설치되어도 된다. 도 1a에 도시된 본 발명의 실시예에 있어서 뚜껑(22a)이 닫혀 있는 상태의 반송장치(20)는, 작업자가 도어(18)에 설치된 관찰창(18a)을 통해 챔버(12)의 내부를 관찰할 때, 작업자가 딛고 올라갈 수 있는 발판으로서 기능한다.
도 1a 및 도 1b에는 개구부(16) 및 도어(18)가 성막장치(10)의 전방 측면에 설치된 것으로 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 성막장치(10)의 후방 측면이나 다른 측면에 설치될 수 있다.
반송장치(20)는, 개구부(16)를 통해, 부품 등과 같은 물품을 성막장치(10)의 챔버(12)로 반입하고 또한 챔버(12)로부터 반출하기 위한 장치이다. 이를 위하여, 반송장치(20)는 성막장치(10)의 개구부(16)의 근방에 설치된다. 예를 들어, 반송장치(20)는, 도 1a 및 1b에 도시된 바와 같이, 개구부(16)가 있는 챔버(12)의 측면에 인접하게 배치될 수 있다. 본 발명의 일 실시 양태에 의하면, 반송장치(20)는, 소정의 고정 수단(예컨대, 볼트와 너트)을 이용하여 챔버(12) 또는 그 하측의 지지부재 등에 분리가능하게 결합된다. 이를 통해 작업자가 반송장치(20)상에 올라선 경우에도, 반송장치(20)가 움직이는 것을 방지하여, 안정성을 높일 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 반송장치(20)는 성막장치(10)에 고정되지 않게 설치되어도 된다. 또한, 반송장치(20)는 사용하지 않을 때는 성막장치(10)로부터 떨어진 다른 장소에 배치하였다가, 사용시에 성막장치(10)의 개구부(16)나 도어(18)가 설치된 측면으로 이동하여도 된다.
반송장치(20)는 적재부(24)와 승강 선회 기구(26)를 포함한다. 적재부(24)는 부품을 적재하기 위한 수단으로서, 부품이 적재되는 적재면(24a)을 갖는다. 적재면(24a)은, 예컨대, 소정의 형상(예컨대, 직사각형)을 갖는 플레이트 또는 테이블의 상면에 해당한다. 본 실시예의 일 양태에 의하면, 적재면(24a)은, 적재된 부품이 적재면(24a)상에서 이동하거나 적재면(24a)으로부터 낙하하는 것을 방지할 수 있도록, 거친 표면을 갖거나 또는 적재면(24a)의 가장자리의 일부 또는 전부에, 이동 또는 낙하 방지용 부재가 더 설치되어 있을 수 있다. 적재부(24)의 구체적인 구성 및 동작에 대해서는 뒤에서 상세히 설명한다.
승강 선회 기구(26)는 적재부(24)를 성막장치(10)의 개구부(16)의 하변보다 낮은 제1 위치(예컨대, 도 1a에 도시된 바와 같이, 수납부(22)의 수납 공간에 수납되어 있는 상태)와 개구부(16)의 하변보다 높은 제2 위치(예컨대, 도 1b에 도시된 바와 같이, 수납부(22)의 상방으로 인출되어 있는 상태) 사이를 승강시키고 또한 제2 위치에 있는 적재부(24)를 적재면(24a)에 평행하게 선회시킬 수 있도록 구성되는 장치이다. 승강 선회 기구(26)의 구체적인 구성 및 동작에 대해서도 뒤에서 상세히 설명한다.
성막장치(10)의 개구부(16)의 근방에 배치된 반송장치(20)의 적재부(24)가 제2 위치에 있는 상태에서, 적재부(24)를 성막장치(10)를 향해 선회함으로써, 적재부(24)의 적재면(24a)이 성막장치(10)의 개구부(16)를 통해 챔버(12)의 안쪽으로 이동할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 성막 시스템(1)을 사용하면, 작업자가 무거운 부품을 들고서 성막장치(10)의 개구부(16)를 출입할 필요가 없어지며, 적재면(24a)에 적재될 수 있는 부품이라면 그 종류에 상관없이 여러 가지 종류의 부품을 챔버(12)로 반입하고 또한 챔버(12)로부터 반출할 수 있다.
또한, 도 1b에 도시한 바와 같이 반송장치(20)의 적재부(24)가 인출된 상태에서는, 성막장치(10)의 챔버(12)의 도어(18)를 닫을 수 없기 때문에, 부품교환 작업중에 성막장치(10)의 챔버(12)내에 작업자가 갇히는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치(20)는 수납부(22)를 더 포함한다. 수납부(22)는 적어도 적재부(24)를 수납할 수 있는 소정의 수납 공간을 갖는다. 그리고, 승강 선회 기구(26)가 수납부(22)의 저면 상에 설치되는 구성에 있어서는, 수납부(22)의 수납 공간에는 승강 선회 기구(26)도 적재부(24)와 함께 수납된다. 수납부(22)는 복수의 지지 부재(28)에 의하여 지지되어, 플로어로부터 소정의 간격만큼 이격되도록 설치될 수 있는데, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
수납부(22)의 수납 공간은, 예컨대 수납부(22)가 육면체 형상인 경우에는, 상면과, 저면과, 4개의 측면 모두가 닫힌 공간이어도 되고, 또는 이들 6개의 면 중에서 적어도 일부(예컨대, 상면 및 저면)는 닫힌 면이고, 나머지는 개방되어 있는 공간일 수 있다. 특히, 수납부(22)의 상면은 개폐 가능한 뚜껑(22a)으로 구성될 수 있다. 이 경우에, 도 1b에 도시된 바와 같이, 뚜껑(22a)은 수납부(22)의 상측의 일변에 힌지 결합되어서 수납부(22)의 길이 방향을 축으로 하여 회전하여 개폐되도록 설치되나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 이에 의하면, 수납시, 즉 적어도 적재부(24)가 수납 공간에 수납되고 또한 뚜껑(22a)이 닫혀 있는 경우에, 작업자는 뚜껑(22a)의 위에 올라가서 도어(18)에 설치되어 있는 관찰창(18a)으로부터 챔버(12)의 내부를 용이하게 확인할 수 있다.
<반송장치>
도 2a 내지 도 2e를 참조하여, 본 발명의 일 실시예와 관련되는 반송장치(20)에 대하여 상세히 설명한다.
도 2a 및 도 2b는 적재부(24)가 수납부(22)의 수납 공간에 수납되어 있는 상태(제1 위치에 있는 상태)를 나타내며, 도 2a는 도 1a에 도시되어 있는 반송장치(20)의 상태에 대응한다. 그리고 도 2c ~ 도 2e는 적재부(24)가 수납부(22)의 상방에 인출되어 있는 상태(제2 위치에 있는 상태)를 나타내며, 도 2d는 도 1b에 도시되어 있는 반송장치(20)의 상태에 대응한다. 반송장치(20)는 별도의 구동 기구를 사용하지 않고 수동으로 조작될 수 있다. 단, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 적재부(24)가 구동기구에 의해 제1 위치와 제2 위치 사이를 승강하도록 구성하여도 된다.
도 2a는 수납부(22)의 뚜껑(22a)이 닫혀 있는 상태의 반송장치(20)를 도시한다. 이 상태에서 반송장치(20)의 적재부(24)와 승강 선회 기구(26)는, 수납부(22)의 수납공간에 수납된다. 전술한 바와 같이, 이 상태의 반송장치(20)는 작업자가 도어(18)의 관찰창(18a)으로부터 챔버(10)의 내부를 확인하기 위하여, 밟고 올라갈 수 있는 발판의 기능을 행한다.
그리고 도 2b는 반송장치(20)의 수납부(22)의 뚜껑(22a)이 열려 있는 상태를 도시한다. 도 2b에 도시한 바와 같이, 수납부(22)의 뚜껑(22a)이 열린 상태에서도, 적재부(24)와 승강 선회 기구(26)는 수납 공간에 수납되어 있다.
본 실시예의 일 양태에 의하면, 도 2b와 같이 수납부(22)의 뚜껑(22a)이 열려 있고, 적재부(24)가 수납공간에 수납되어 있는 상태(즉, 제1 위치에 있는 상태)에서, 챔버(10) 내로 반입하고자 하는 부품을 적재부(24)의 적재면(24a) 상에 올려 놓을 수 있다. 이에 의하면, 작업자는 방착판 등과 같은 무거운 부품을 높은 위치(예컨대, 제2 위치)까지 들어올릴 필요가 없기 때문에, 부품의 교환 작업이 용이하고 또한 안전하게 된다. 또한, 후술하는 바와 같이, 승강 선회 기구(26)는 완충기(2624, 도 3a 및 도 3b 참조)를 구비할 수 있으며, 이 구성에 있어서는 무거운 부품이 적재면(24a) 상에 탑재되더라도 작은 힘으로 적재부(24)를 제1 위치로부터 제2 위치까지 상승시킬 수가 있다.
도 2c는 반송장치(20)의 적재부(24)가 제1 위치로부터 제2 위치까지 상승한 상태를 도시한다. 적재부(24)가 상승함에 따라, 승강 선회 기구(26)가 기립하여, 적재부(24)를 지지한다. 이를 위하여, 승강 선회 기구(26)의 일단은 적재부(24)에 결합되고, 승강 선회 기구(26)의 타단은 수납부(22)의 저면에 결합된다. 그리고, 승강 선회 기구(26)는, 적재부(24)가 제1 위치로부터 제2 위치로 상승하고 또한 제2 위치로부터 제1 위치로 하강할 때, 수평 상태를 유지하도록 구성되는 것이 바람직하다. 이를 위한 승강 선회 기구(26)의 구성 및 동작에 대해서는 뒤에서 상세히 설명한다.
적재부(24)는 신축가능한 구조를 가진다. 예컨대, 적재부(24)는, 승강선회기구(26)가 결합되는 고정대(242)와, 적재면(24a)에 평행한 방향으로 고정대(242)에 대해 슬라이딩 가능하게 설치되는 가동대(244)를 포함한다. 즉, 가동대(244)가 고정대(242)에 대하여 상대적으로 이동함으로써, 적재부(24)가 전체적으로 신장 또는 수축된다.
도 2c에 도시된 적재부(24)는, 가동대(244)가 고정대(242)에 가장 가까운 위치까지 수축된 상태에 해당된다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 적재부(24)가 수축된 상태에서, 가동대(244)가 고정대(242)에 대해 상대적으로 움직이지 않도록 하기 위한 슬라이딩 고정구(도시하지 않음)가 적재부(24)에 추가로 설치되어도 된다. 일례로, 슬라이딩 고정구는, 가동대(244)를 고정대(242)에 고정하기 위한 인덱스 플런저(Index Plunger)와 같은 수단일 수 있다.　이를 통해, 적재부(24)를 수납부(22)에 수납하는 과정에서, 적재부(24)가 신장하여 버리는 것을 방지할 수 있다.
도 2d는 적재부(24)의 가동대(244)가 고정대(242)로부터 가장 먼 위치로 슬라이딩되어 신장된 상태를 나타낸다. 즉, 도 2d에 도시된 적재부(24)는, 가동대(244)가 고정대(242)에 대하여 바깥쪽으로 슬라이딩되어서 고정대(242)로부터 최대한 이격된 상태(신장(伸張) 상태)에 해당한다. 본 발명의 실시예에 의하면, 전술한 인덱스 플런저와 같은 슬라이딩 고정구를 사용함으로써, 적재부(24)의 신장 상태에서, 가동대(244)가 고정대(242)를 향해 움직이지 않도록 할 수 있고, 교환부품을 실은 적재부(24)가 승강이나 선회중에 수축하여 버리는 것을 억제할 수 있다.
가동대(244)가 고정대(242)에 대하여 슬라이딩될 수 있도록, 고정대(242)와 가동대(244) 각각에는 소정의 슬라이드 부재가 설치 된다. 예를 들어, 고정대(242)는 승강 선회 기구(26)의 일단이 접속되는 고정판(242a)과, 이의 양쪽 측부 각각에서 적재부(24)의 길이 방향으로 연장되어 설치되는 슬라이드 레일(242b)을 포함하여 구성될 수 있다. 그리고 가동대(244)는 그 상면이 적재면(24a)으로서 기능하는 가동판(244a)과, 이의 양쪽 측부 각각에 설치되는 슬라이드 가이드(244b)를 포함하여 구성될 수 있다. 슬라이드 가이드(244b)는, 슬라이드 레일(242b)을 따라서 이동될 수 있도록, 슬라이드 레일(242b)에 결합 또는 접속된다. 본 실시예에서는, 슬라이드 부재가 슬라이드 레일(242b)과 슬라이드 가이드(244b)의 2단으로 구성되는 것을 전제로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 적재물의 길이에 따라 3단 이상의 구조를 가져도 된다.
이처럼, 적재부(24)를 신축가능한 구성으로 함으로써, 수납시의 길이를 짧게 하여 수납부(22)의 크기가 커지는 것을 억제할 수 있으며, 반송시의 길이를 길게 하여, 성막장치(10)의 챔버(12) 안쪽까지 부품을 반송할 수 있다.
가동대(244)를 고정대(242)에 가장 가까운 위치나 가장 먼 위치 또는 그 사이의 원하는 위치에 고정하기 위해 사용되는 고정구는 인덱스 플런저(Index Plunger)일 수 있다. 슬라이드 레일(242b)과 슬라이드 가이드(244b)에 형성된 구멍에 인덱스 플런저를 삽입함으로써, 슬라이드 레일(242b)과 슬라이드 가이드(244b)의 슬라이딩을 방지하고 가동대(244)를 고정대(242)에 대하여 원하는 위치에 고정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 적재부(24)는, 가동대(244)가 고정대(242) 방향으로 슬라이딩하여 적재부(24)가 수축되는 과정에서, 가동대(244)와 고정대(242) 사이에 작업자의 손가락이 끼는 것을 방지하는 하나 이상의 커버 부재(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 적재부(24)가 수축된 상태에서, 슬라이드 가이드(244b)가 더 이상 이동하지 않도록 슬라이드 레일(242b)에 설치된 스톱퍼와 슬라이드 가이드(244b)의 선단부와의 사이에 손가락이 끼이는 것을 방지하기 위해, 슬라이드 레일(242b)의 스톱퍼를 덮도록 커버 부재가 설치될 수 있다. 또한, 적재부(24)가 수축할 때, 당접하는 고정판(242a)의 일단과 가동판(244a)의 대향하는 단사이에 손가락이 끼이는 것을 방지하기 위해, 고정판(242a)의 해당 일단을 덮도록 커버 부재를 설치할 수도 있다.
도 2e는, 신장 상태의 적재부(24)가, 승강 선회 기구(26)가 접속되는 고정대(242)를 회전중심으로 하여, 적재면(24a)에 평행하게 선회하는 동작을 도시한다. 즉, 도 2e는 적재부(24)가 수납부(22)로부터 인출되어 완전히 신장된 상태와, 적재부(24)가 고정대(242)를 관통하는 회전축을 중심으로, 회전축 위에서 보았을 때 시계 방향(도 1b에 도시한 성막장치(10)의 개구부(16)로부터 멀어지는 방향)으로 90° 선회한 상태와, 적재부(24)가 해당 회전축을 중심으로 반시계방향(도 1b에 도시한 성막장치(10)의 개구부(16)를 통해 챔버(12)의 안쪽으로 향하는 방향)으로 90° 선회한 상태를 도시한다.
본 실시예에서는 적재부(24)가 가동대(244)의 슬라이딩에 의해 신축되는 구성을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 적재부(24)가 신축될 수 있는 한, 다른 구성을 가져도 된다. 예컨대, 가동대(244)가 고정대(242)에 대하여 적재면(24a)에 평행하게 선회함으로서 적재부(24)가 접혀지거나 펴지도록 구성할 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 승강 선회 기구(26)는, 적재부(24)가 고정대(242)를 중심으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 90°까지 선회하도록, 구성될 수 있다. 하지만, 본 실시예가 여기에만 한정되는 것은 아니며, 승강 선회 기구(26)는, 적재부(24)가 고정대(242)를 상하로 관통하는 회전축을 중심으로 하여, 시계 방향 및/또는 반시계 방향으로 360° 선회하도록, 구성될 수도 있다.
승강 선회 기구(26)는, 적재부(24)의 선회 위치를 고정하기 위한 선회 고정구(2646)를 구비할 수 있다. 예를 들어, 선회 고정구(2646)는, 도 2e에 도시된 바와 같은 3개의 선회 위치 중에서, 적어도 적재부(24)가 반시계 방향으로 90° 선회하여, 가동대(244)가 챔버(12)의 안쪽에 위치한 상태에서 적재부(24)의 선회 위치를 고정할 수 있도록, 구성되는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 선회 고정구(2646)는, 적재부(24)가 도 2e에 도시된 3개의 상태 모두에서 선회 위치를 고정할 수 있도록, 구성된다. 이를 위한 승강 선회 기구(26)의 구체적인 구성 및 동작에 대해서도 뒤에서 상세히 설명한다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치(20)를 이용하는 일 양태에 의하면, 도 2b의 상태(제1 위치)에서 적재면(24a) 상에 부품을 실은 후에, 도 2c 및 도 2d에 도시한 바와 같이, 적재부(24)를 상승 및 신장시키고, 반시계 방향으로 90° 선회시킨다. 그 결과, 적재부(24)의 적재면(24a)에 탑재되어 있는 부품은 챔버(10)로 반입된다. 그리고 부품이 탑재되어 있는 적재부(24)를 전술한 반입 과정의 역순으로 조작, 즉 먼저 시계 방향으로 90° 선회시킨 다음, 가동대(244)를 고정대(242) 방향으로 슬라이딩시켜 적재부(24)를 수축시키고, 적재부(24)가 수축된 상태에서 제2 위치에서 제1 위치(수납 공간에 수납되어 있는 상태)로 하강시키면, 챔버(10)로부터 제1 위치까지 부품을 반출할 수 있다.
따라서, 작업자는, 교환 부품, 특히 무거운 방착판 등을 손으로 들고서 챔버(10)를 출입할 필요가 없다. 또한, 전술한 바와 같이, 적재부(24)가 제1 위치에 있는 상태에서 부품을 적재면(24a) 상에 올리거나 또는 적재면(24a)으로부터 내릴 수 있기 때문에, 작업자는, 교환 부품, 특히 무거운 방착판 등을 제2 위치까지 들어올릴 필요도 없다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치(20)를 이용하는 다른 양태에 의하면, 도 2d의 상승 및 신장 상태의 적재부(24)를 시계 방향으로 90° 선회시켜, 적재면(24a)을 갖는 가동대(244)가 전방을 향해 있는 상태에서, 적재면(24a) 상에 부품을 탑재하여도 된다. 그리고 부품이 탑재된 적재부(24)를 반시계 방향 또는 시계 방향으로 180° 선회시킴으로써, 적재면(24a)에 탑재되어 있는 부품을 챔버(10)　안으로 반입하여도 된다. 또한, 부품이 탑재되어 있는 적재부(24)를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 180도 선회시킴으로써, 적재면(24a)에 탑재되어 있는 부품을 챔버(10)로부터 반출할 수 있다. 따라서, 작업자는, 교환 부품, 특히 무거운 방착판 등을 손으로 들고서 챔버(10)를 출입할 필요가 없어지고, 작업성이 개선된다.
<승강 선회 기구>
이하, 도 3a ~ 도 3e를 참조하여, 본 발명의 실시예와 관련되는 승강 선회 기구(26)에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치(20)의 승강 선회 기구(26)가 접혀 있는 상태를 보여주는 사시도로서, 도 1a, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 적재부(24)가 제1 위치(수납 공간)에 수납되어 있는 상태이다. 그리고 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치(20)의 승강 선회 기구(26)가 기립해 있는 상태를 보여주는 사시도로서, 도 1b 및 도 2d에 도시된 바와 같이, 적재부(24)가 제2 위치에 인출된 상태이다. 또한, 도 3c는 도 3b의 승강 선회 기구(26)의 선회부(264)를 포함하는 일부를 확대하여 보여주는 도면이고, 도 3d는 선회부(264)의 제2 플레이트(2644)의 상면을 제거한　절취도이고, 도 3e는 선회부(264)의 선회 고정구(2646)의 단면을 보여주는 도면이다.
도 3a 내지 도 3e에 도시한 바와 같이, 승강 선회 기구(26)는 승강부(262)와 선회부(264)를 포함하여 구성된다. 승강부(262)는, 적재부(24)를 제1 위치와 제2 위치 사이에서 승강시키기 위한 기구로서, 일단은 선회부(264)에 결합되어 있고, 타단은 수납부(22)의 저면(22b)에 결합되어 있다. 선회부(264)는, 적재부(24)를 적재면(24a)에 평행하게 선회시키기 위한 기구로서, 승강부(262)와 적재부(24)와의 사이에 설치된다.
선회부(264)는, 적재부(24)를 적재면(24a)에 평행하게 선회시킬 수 있도록, 2개의 플레이트가 수직 방향으로 적층된 구조를 가질 수 있다. 보다 구체적으로, 선회부(264)는 승강부(262)의 일단이 연결되는 하부 플레이트인 제1 플레이트(2642)와, 제1 플레이트(2642)와 적재부(24) 사이에 설치되는 상부 플레이트인 제2 플레이트(2644)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 선회부(264)가 적재부(24)를 적재면(24a)에 평행하게 선회시킬 수 있는 한 다른 구조를 가져도 된다.
제1 플레이트(2642)는, 예를 들어, 사각형 또는 팔각형과 같은 다각형의 판 형상의 부재일 수 있다. 제1 플레이트(2642)는, 승강부(262)에 대하여 상대적으로 회전하지 않도록, 그 하면이 승강부(262)의 일단에 고정된다.
그리고 제2 플레이트(2644)는, 예를 들어, 원판 형상의 부재로서, 제1 플레이트(2642)에 대하여 수직 회전축을 중심으로 상대적으로 회전이 가능하도록, 제1 플레이트(2642)에 결합되며, 적재부(24)에 대해서는 수직 회전축을 중심으로 상대적으로 회전하지 않도록, 적재부(24)에 고정된다. 이에 의하여, 적재부(24)는 제2 플레이트(2644)와 함께 적재면(24a)에 평행하게 선회할 수 있다.
이러한 제2 플레이트(2644)는 다양한 구조로 구현될 수 있다. 예를 들어, 도 3d에 도시된 바와 같이, 제2 플레이트(2644)는, 제1 플레이트(2642)에 결합되는, 원판 형상의 고정판(2644a)과, 고정판(2644a)과 소정의 간격으로 이격되어서 상기 고정판(2644a)을 둘러싸도록 배치되는 링 형상의 회전대(2644b)와, 회전대(2644b)가 고정판(2644a)에 대하여 원활하게 회전할 수 있도록, 상기 고정판(2644a)과 회전대(2644b) 사이에 개재되는 다수의 금속구(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우에, 고정판(2644a)은 제1 플레이트(262a)에 대하여 수직 중심축을 중심으로 상대적으로 회전되지 않도록 고정 결합된다. 그리고 회전대(2644b)는, 고정판(2644a)에 대해서는 수직 회전축을 중심으로 상대적으로 회전 가능하도록 설치되고, 적재부(24)의 고정대(242)에 대해서는 수직 회전축을 중심으로 상대적으로 회전되지 않도록 적재부(24)의 고정대(242)에 고정되어 설치된다.
이러한 선회부(264)는, 적재부(24)의 선회 위치를 고정할 수 있는 선회 고정구(2646, 도 2c 및 도 2d 참조)를 포함할 수 있다. 선회 고정구(2646)는, 예를 들어, 도 3e에 도시된 바와 같은, 인덱스 플런져(index plunger)를 포함하는 기기일 수 있다. 인덱스 플런져를 고정대(242)에 형성된 관통구멍에 삽입하면, 인덱스 플런져의 하단인 보스(2646a)가, 제2 플레이트(2644)의 고정판(2644a)의 상면에 형성되어 있는 구멍(h)에 삽입됨으로써, 적재부(24)가 회전하지 않도록 할 수 있다. 그리고, 인덱스 플런져를 상방으로 들어 올려서 보스(2646a)가 제2 플레이트(2644)에 형성되어 있는 구멍(h)으로부터 빠져 나오도록 함으로써, 적재부(24)를 선회시킬 수 있다.
구멍(h)은, 고정하고자 하는 선회 위치에 대응하여, 제2 플레이트(2644)의 고정판(2644a)의 상면에 하나 이상이 형성될 수 있다. 예를 들어, 구멍(h)은, 적어도, 적재부(24)가 챔버(12)쪽으로 90° 선회하여 적재면(24a)이 챔버(12) 내부에 놓여지는 선회 위치에 대응하는 고정판(2644a)의 위치에, 형성될 수 있다. 구멍(h)은, 도 2e에 도시한 적재부(24)의 3개의 선회 위치 각각에 대응하는 고정판(2644a)의 위치에 형성되는 것이 보다 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 선회부(264)는 적재부(24)의 일단측에 치우쳐서 설치된다. 보다 구체적으로, 선회부(264)는 적재부(24)의 고정대(242)에 연결되도록 설치될 수 있다. 이에 의하면, 선회부(264)가 적재부(24)의 중앙에 설치되는 구성에 비하여, 신장 상태에서의 가동대(244), 즉 적재면(24a)의 회전 반경이 커지게 되어서, 반송장치(20)에 의한 물품의 반송 거리가 증가된다(도 2e 참조). 그 결과, 챔버(10)를 향하여 선회한 적재부(24)의 적재면(24a)이 개구부(16)를 통해 챔버(10)의 안쪽까지 도달할 수 있고, 작업자는 챔버(10) 내에서 보다 안전하게 부품 등을 적재면(24a)으로부터 내리거나 적재면(24a)에 싣거나 할 수 있다.
적재부(24)를 제1 위치와 제2 위치 사이에서 승강시키기 위한 승강부(262)는, 도 3b에 도시한 바와 같이, 복수의 지지부재(2621, 2622, 2623)를 구비한다. 복수의 지지부재(2621, 2622, 2623)는, 적재부(24)가 제2 위치에 있는 상태에서, 적재부(24)를 적재면(24a)에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 지지하는 적어도 한 쌍의 지지부재, 즉 제1 지지부재(2621) 및 제2 지지부재(2622)와, 제1 및 제2 지지부재(2621,2622)에 대하여 경사지도록 설치되는 제3 지지부재(2623)를 포함한다.
복수의 지지부재(2621, 2622, 2623)는, 상단이 선회부(264), 보다 구체적으로는 제1 플레이트(2642)의 하면에 회전가능하게 결합되어 있고, 하단은 수납부(22)의 저면(22b)에 회전가능하게 결합된다. 예를 들어, 복수의 지지부재(2621, 2622, 2623)의 상단은, 제1 플레이트(2642)의 하면으로부터 연직 하방으로 돌출되도록 설치된 돌출 부재에 회전가능하게 결합되며, 복수의 지지부재(2621, 2622, 2623)의 하단은, 수납부(22)의 저면(22b)으로부터 연직 상방으로 돌출되도록 설치된 돌출 부재에 회전가능하게　결합될 수 있다.
이러한 구성에 있어서, 복수의 지지부재(2621, 2622, 2623)의 일단이 제1 플레이트(2642)에 대하여 회전하는 제1 회전축(Y1)과 복수의 지지부재(2621, 2622, 2623)의 타단이 수납부(22)의 저면(22b)에 대하여 회전하는 제2 회전축(Y2)은 서로 평행하다. 일례로, 제1 회전축(Y1)과 제2 회전축(Y2)은 모두 수납부(22)의 길이 방향(즉, 적재부(24)가 슬라이딩되는 방향)에 대하여 교차하는 방향일 수 있다.
제1 지지부재(2621)와 제2 지지부재(2622)는, 적재면(24a)에 무거운 물건이 적재되었을 때의 적재부(24)의 휨을 저감하기 위해, 동일위상에 배치하지 않고, 배치 가능한 범위에서 최대한 이격되도록 배치하는 것이 바람직하다.
즉, 제1 지지부재(2621)와 제2 지지부재(2622)는, 제1 플레이트(2642)의 하면에서, 가능한 멀리 이격되도록 배치되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 제1 지지부재(2621)와 제2 지지부재(2622)는, 적어도 상기 제1 회전축(Y1)과 교차하는 방향으로 서로 이격된 위치에서 제1 플레이트(2642)에 연결되도록 설치되되, 가능한 범위에서 최대한 이격되도록 설치되는 것이 더욱 바람직하다. 이에 의하면, 적재면(24a)에 무거운 물건이 적재되더라도, 신장 상태의 적재부(24)가 아래쪽으로 휘는 것을 저감할 수 있다.
또한, 제1 지지부재(2621)와 제2 지지부재(2622)는, 상기 제1 회전축(Y1) 방향으로도 서로 이격된 위치에서 제1 플레이트(2642)에 연결되도록 설치되며, 마찬가지로 가능한 범위에서 최대한 이격되도록 설치되는 것이 바람직하다. 이에 의하면, 적재면(24a)이 적재부(24)의 단변 방향으로 기울어지는 것을 저감할 수 있어, 적재된 물건이 측부쪽, 으로부터 떨어지는 것을 억제할 수 있다.
적재부(24)가 제2 위치에 있는 상태에서, 제1 및 제2 지지부재(2621, 2622)에 대하여 경사지도록 설치되는 제3 지지부재(2623)는, 제1 다리부(2623a) 및 제2 다리부(2623b)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1 다리부(2623a)는, 상단이 제1 플레이트(2642)에 회전가능하게 연결되고, 하단은 제2 다리부(2623b)의 상단에 회전가능하게 연결된다. 그리고 제2 다리부(2623b)의 하단은 수납부(22)의 저면(22b)에 회전가능하게 연결된다.
예를 들어, 제1 다리부(2623a)의 상단은, 제1 플레이트(2642)의 하면으로부터 연직 하방으로 돌출되도록 설치된 돌출 부재에 회전가능하게 결합되고, 제1 다리부(2623a)의 하단은 제2 다리부(2623b)의 상단에 회전가능하게 링크 결합되며, 제2 다리부(2623b)의 하단은, 수납부(22)의 저면(22b)으로부터 연직 상방으로 돌출되도록 설치된 돌출 부재에 회전가능하게 결합될 수 있다. 이러한 구성에 있어서, 제1 다리부(2623a)과 제2 다리부(2623b)가 상대적으로 회전하는 제3 회전축(Y3)은, 제1 회전축(Y1) 및 제2 회전축(Y2)과 평행하다.
이러한 구성에 의하면, 적재부(24)가 제1 위치에 있을 때(도 3a 참조), 제3 지지부재(2623)의 제1 다리부(2623a)와 제2 다리부(2623b)가 제3 회전축(Y3)을 중심으로 회전하여, 제3 지지부재(2623)는 접혀진다. 이 상태에서, 제2 회전축(Y2)과 제3 회전축(Y3)은, 제1 회전축(Y1)과 실질적으로 동일한 평면상에 위치한다.
그리고 적재부(24)가 제1 위치로부터 제2 위치로 상승함에 따라서, 제1 지지부재(2621)와 제2 지지부재(2622)는 각각 제2 회전축(Y2)을 중심으로 수납부(22)의 저면(22b)에 대하여 반시계 방향으로 회전하면서 기립한다. 동시에, 제3 지재부재(2623)의 제1 다리부(2623a)는 제1 회전축(Y1)을 중심으로 적재부(24)에 대해 시계 방향으로 회전하고 또한 제3 지지부재(2623)의 제2 다리부(2623b)는 제2 회전축(Y2)을 중심으로 수납부(22)의 저면(22b)에 대해 반시계 방향으로 회전한다. 이에 의해, 제3 지재부재(2623)가 펴진다. 그 결과, 제1 위치로부터 제2 위치로 상승하는 적재부(24)는, 상승하는 동안에 수평한 상태를 유지할 수 있다.
또한, 적재부(24)가 제2 위치로부터 제1 위치로 하강함에 따라서, 제1 지지부재(2621)와 제2 지지부재(2622)는 각각 제2 회전축(Y2)을 중심으로 수납부(22)의 저면(22b)에 대해 시계 방향으로 회전하고, 제3 지재부재(2623)의 제1 다리부(2623a)는 제1 회전축(Y1)를 중심으로 적재부(24)에 대해 반시계 방향으로 회전하고, 또한 제3 지지부재(2623)의 제2 다리부(2623b)는 제2 회전축(Y2)을 중심으로 수납부(22)의 저면(22b)에 대해 시계 방향으로 회전한다. 그 결과, 제2 위치로부터 제1 위치로 하강하는 적재부(24)는, 하강하는 동안에도 수평한 상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 제3 지지 부재(2623)의 제1 다리부(2623a)와 제2 다리부(2623b)의 연결부는, 적재부(24)가 제2 위치에 있는 상태에서, 제3 회전축(Y3)이 수납부(22)의 저면(22b)을 향해 이동하지 않도록, 구성되는 것이 바람직하다. 이를 위해, 제3 지지부재(2623)는 제3 지지부재(2623)가 완전히 펴진 상태를 고정하기 위한 고정구(예컨대, 인덱스 플런저)를 포함하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 다리부(2623a)와 제2 다리부(2623b)가 중첩되는 부분에 관통공을 형성하고 인덱스 플런저를 삽입함으로써, 제1 다리부(2623a)와 제2 다리부(2623b)가 상대적으로 회전하지 않도록 고정할 수 있다. 이에 의하면, 적재면(24a)에 무거운 물건이 적재되더라도, 적재부(24), 특히 신장 상태의 적재부(24)가 아래쪽으로 휘는 것을 저감할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 제1 다리부(2623a)와 제2 다리부(2623b) 중에서 하나(도 3a 및 도 3b에서는 제2 다리부(2623b))는 쌍으로 구성될 수 있다. 이에 의하면, 제1 다리부(2623a)의 하단이 한 쌍의 제2 다리부(2623b)의 상단 사이에 배치되어 회전 가능하게 결합됨으로써, 제1 다리부(2623a)와 제2 다리부(2623b) 사이의 연결이 보다 튼튼하게 된다.
승강부(262)는, 일단이 제1 및 제2 지지부재(2621, 2622)에 결합되는 완충기(2624)를 추가로 구비할 수 있다. 완충기(2624)는, 제1 및 제2 지지부재(2621, 2622)가 제2 회전축(Y2)을 중심으로 시계 방향(적재부(24)가 제2 위치에서 제1 위치로 하강하는 방향)으로 회전하는 것에 저항력을 부여함으로써, 적재부(24)가 제2 위치에서 제1 위치로 하강하는 속도를 감속시킨다. 완충기(2624)는, 또한 적재부(24)를 제1 위치에서 제2 위치로 상승시키기 위하여 가해져야 하는 힘을 줄여준다. 이에 의하면, 제1 위치에 있는 적재부(24)의 적재면(24a)에 무거운 물건이 적재되어 있더라도, 보다 작은 힘으로 적재부(24)를 제2 위치까지 상승시킬 수가 있다.
이를 위하여, 완충기(2624)는, 일단이 제1 및 제2 지지부재(2621, 2622)에 연결되고 타단은 수납부(22)의 저면(22b)에 연결되는, 복수의 댐퍼(2624a, 2624b)를 포함할 수 있다. 보다 구체적으로, 완충기(2624)는, 일단이 제1 지지부재(2621)에 연결되고, 타단은 수납부(22)의 저면(22b)에 연결되어 있는 적어도 하나의 제1 댐퍼(2624a)와, 일단은 제2 지지부재(2622)에 연결되고, 타단은 수납부(22)의 저면(22b)에 연결되어 있는 적어도 하나의 제2 댐퍼(2624b)를 포함할 수 있다. 이에 의하면, 적재부(24)가 제1 위치에서 제2 위치로 상승함에 따라서, 제1 댐퍼(2624a)와 제2 댐퍼(2624b)는 신장을 하며, 반대로 적재부(24)가 제2 위치에서 제1 위치로 하강함에 따라서, 제1 댐퍼(2624a)와 제2 댐퍼(2624b)는 수축을 한다.
도 3a 및 도 3b에 도시한 바와 같이, 제1 댐퍼(2624a)와 제2 댐퍼(2624b)의 일단은, 제1 지지부재(2621) 및 제2 지지부재(2622)의 하단에 설치된 돌출부(2625)에 연결된다. 이에 의하면, 적재부(24)가 제1 위치와 제2 위치 사이에 승강함에 따라서, 제1 댐퍼(2624a)와 제2 댐퍼(2624b)가 신축하도록 할 수 있다. 다만 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 적재부(24)의 승강에 따라 제1 댐퍼(2624a)와 제2 댐퍼(2624b)가 신축하여 저항력 또는 복원력을 부여할 수 있는 한 다른 연결구조를 가져도 된다.
상기 실시예는 본 발명의 일 예를 나타낸 것으로, 본 발명은 상기 실시예의 구성에 한정되지 않으며, 그 기술사상의 범위내에서 적절히 변형하여도 된다.
1 : 성막시스템
10 : 성막장치
20 : 반송장치
22 : 수납부
24 : 적재부
26 : 승강선회기구

Claims (39)

  1. 성막장치의 외부에 설치되어, 상기 성막장치의 내부로 피반송물을 반송하기 위한 반송장치로서,
    개구를 가지는 소정의 수납 공간 및 상기 수납 공간의 상기 개구를 개폐 가능한 뚜껑을 갖는 수납부와,
    상기 피반송물이 적재되는 적재면을 가지는 적재부와,
    상기 적재부를, 상기 수납 공간에 수납되어 있는 제1 위치와 상기 수납 공간의 외측으로 인출되어 있는 제2 위치와의 사이에서 상기 개구를 통해 승강시킬 수 있으며, 상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 상기 적재부를 상기 적재면에 평행하게 선회시킬 수 있도록 구성되는 승강 선회 기구
    를 포함하며,
    상기 승강 선회 기구는, 상기 적재부가 상기 제1 위치에 있는 상태에서, 상기 수납 공간에 수납되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 적재부는 상기 적재면에 평행한 방향으로 신축가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 승강 선회 기구의 일단이 결합되는 고정대와,
    상기 고정대에 대해 상기 적재면에 평행한 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되는 가동대
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 적재부는, 상기 고정대에 대한 상기 가동대의 상대적인 위치를 고정하기 위한 슬라이딩 고정구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 적재부는, 상기 가동대가 상기 고정대를 향하여 슬라이딩할 때, 상기 가동대와 상기 고정대 사이에 손가락이 끼는 것을 방지하는 하나 이상의 커버 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 승강 선회 기구는,
    상기 적재부를 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 승강시키기 위한 승강부와,
    상기 적재부를 상기 적재면에 평행하게 선회시키기 위한 선회부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 선회부는 상기 적재부의 일단측에 치우쳐서 설치되며, 상기 적재부는 상기 선회부를 중심으로 선회하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 선회부는, 상기 적재부의 선회 위치를 고정하기 위한 선회 고정구를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 선회부는,
    상기 승강부의 일단이 연결되는 제1 플레이트와,
    상기 제1 플레이트에 대하여 상대적으로 회전 가능하며, 상기 적재부에 대해서는 고정되도록, 상기 제1 플레이트와 상기 적재부 사이에 설치되는 제2 플레이트
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 승강부는, 일단이 상기 선회부에 회전가능하게 결합되며, 타단이 상기 수납부의 저면에 회전가능하게 결합된 복수의 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 지지부재의 상기 일단이 상기 선회부에 대해 회전하는 제1 회전축과, 상기 지지부재의 상기 타단이 상기 수납부의 저면에 대해 회전하는 제2 회전축은 서로 평행한 것을 특징으로 하는 반송장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 지지부재는, 상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 각각이 상기 적재부를 상기 적재면에 대해 실질적으로 수직인 방향으로 지지하도록 구성되는 제1 지지부재 및 제2 지지부재를 포함하며,
    상기 제1 지지부재와 상기 제2 지지부재는, 상기 제1 회전축과 교차하는 방향으로 이격된 위치에서 상기 선회부에 각각 연결되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1 지지부재와 상기 제2 지지부재는, 상기 제1 회전축 방향으로 이격된 위치에서 상기 선회부에 연결되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 복수의 지지부재는,
    상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재에 대해 경사지도록 설치되는 제3 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제3 지지부재는,
    일단이 상기 선회부에 회전가능하게 연결되는 제1 다리부와,
    일단이 상기 제1 다리부의 타단에 회전가능하게 연결되며 타단이 상기 수납부의 상기 저면에 회전가능하게 연결되는 제2 다리부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제3 지지부재는, 상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 상기 제1 다리부와 상기 제2 다리부의 연결부의 회전축이 상기 수납부의 상기 저면을 향해 이동하지 않도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  18. 제13항에 있어서, 상기 승강부는, 상기 적재부가 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 하강하는 속도를 감속시키는 완충기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 완충기는,
    일단은 상기 제1 지지부재에 연결되고, 타단은 상기 수납부의 저면에 연결된 적어도 하나의 제1 댐퍼와,
    일단이 상기 제2 지지부재에 연결되고, 타단이 상기 수납부의 저면에 연결된 적어도 하나의 제2 댐퍼
    를 포함하고,
    상기 제1 댐퍼 및 상기 제2 댐퍼는 상기 적재부가 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이를 승강함에 따라 신축하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  20. 삭제
  21. 개폐 가능한 개구부가 일 측면에 형성되어 있는 챔버를 구비하는 성막장치와,
    상기 성막장치의 외부에 설치되어 상기 성막장치의 내부로 피반송물을 반송하기 위한 반송장치를 포함하며,
    상기 반송장치는, 상기 피반송물이 적재되는 적재면을 가지는 적재부와, 상기 적재부를 상기 개구부의 하변보다 낮은 제1 위치와 상기 개구부의 하변보다 높은 제2 위치와의 사이에서 승강시킬 수 있으며, 상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 상기 적재부를 상기 적재면에 평행하게 선회시킬 수 있도록 구성되는 승강 선회 기구와, 개구를 가지는 수납 공간 및 상기 수납 공간의 상기 개구를 개폐 가능한 뚜껑을 갖는 수납부를 구비하며,
    상기 적재부 및 상기 승강 선회 기구는, 상기 적재부가 상기 제1 위치에 있는 상태에서, 상기 수납 공간에 수납되도록 구성되며,
    상기 승강 선회 기구는, 상기 적재부를 상기 개구를 통해 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 승강시키는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  22. 제21항에 있어서, 상기 반송장치는 상기 성막장치의 상기 일 측면에 분리가능하게 고정되는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  23. 제21항에 있어서, 상기 적재부는 상기 적재면에 평행한 방향으로 신축가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 적재부는,
    상기 승강 선회 기구의 일단이 결합되는 고정대와,
    상기 고정대에 대해 상기 적재면에 평행한 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되는 가동대
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  25. 제24항에 있어서, 상기 반송장치는, 상기 제2 위치에 있는 상태에서 상기 챔버를 향하는 방향으로 선회한 상기 적재부의 상기 가동대가, 상기 챔버의 안쪽에 오도록, 상기 개구부에 이웃하게 설치되는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  26. 제24항에 있어서, 상기 적재부는, 상기 고정대에 대한 상기 가동대의 상대적인 위치를 고정하기 위한 슬라이딩 고정구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  27. 제24항에 있어서, 상기 적재부는, 상기 가동대가 상기 고정대를 향하여 슬라이딩할 때에, 상기 가동대와 상기 고정대 사이에 손가락이 끼는 것을 방지하는 하나 이상의 커버 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  28. 삭제
  29. 삭제
  30. 삭제
  31. 제21항에 있어서, 상기 승강 선회 기구는,
    상기 적재부를 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 승강시키기 위한 승강부와,
    상기 적재부를 상기 적재면에 평행하게 선회시키기 위한 선회부를 포함하고,
    상기 선회부는 상기 적재부의 일단측에 치우쳐서 설치되며, 상기 적재부는 상기 선회부를 중심으로 회전하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  32. 제31항에 있어서, 상기 선회부는, 상기 적재부의 선회 위치를 고정하기 위한 선회 고정구를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  33. 제31항에 있어서, 상기 선회부는,
    상기 승강부의 일단이 연결되는 제1 플레이트와,
    상기 제1 플레이트에 대하여 상대적으로 회전 가능하면서도, 상기 적재부에 대해서는 고정되도록, 상기 제1 플레이트와 상기 적재부 사이에 설치되는 제2 플레이트
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  34. 제31항에 있어서,
    상기 승강부는, 일단이 상기 선회부에 회전가능하게 결합되며, 타단이 상기 수납부의 저면에 회전가능하게 결합된 복수의 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  35. 제34항에 있어서,
    상기 지지부재의 상기 일단이 상기 선회부에 대해 회전하는 제1 회전축과, 상기 지지부재의 상기 타단이 상기 수납부의 저면에 대해 회전하는 제2 회전축은 서로 평행한 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  36. 제35항에 있어서, 상기 복수의 지지부재는,
    상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서, 각각이 상기 적재부를 상기 적재면에 대해 실질적으로 수직인 방향으로 지지하며, 상기 제1 회전축과 교차하는 방향으로 이격된 위치에서 상기 선회부에 각각 연결되도록 설치되는, 제1 지지부재 및 제2 지지부재와,
    상기 적재부가 상기 제2 위치에 있는 상태에서 상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재에 대해 경사지도록 설치되는 제3 지지부재
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  37. 제36항에 있어서, 상기 제3 지지부재는,
    일단이 상기 선회부에 회전가능하게 연결되는 제1 다리부와,
    일단이 상기 제1 다리부의 타단에 회전가능하게 연결되며 타단이 상기 수납부의 상기 저면에 회전가능하게 연결되는 제2 다리부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  38. 제36항에 있어서, 상기 승강부는, 상기 적재부가 상기 제2 위치에서 상기 제1 위치로 하강하는 속도를 감속시키는 완충기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
  39. 제38항에 있어서, 상기 완충기는,
    일단은 상기 제1 지지부재에 연결되고, 타단은 상기 수납부의 저면에 연결된 적어도 하나의 제1 댐퍼와,
    일단이 상기 제2 지지부재에 연결되고, 타단이 상기 수납부의 저면에 연결된 적어도 하나의 제2 댐퍼
    를 포함하고,
    상기 제1 댐퍼 및 상기 제2 댐퍼는 상기 적재부가 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이를 승강함에 따라 신축하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 성막 시스템.
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