JP2007106528A - 階層入出庫式ストッカ装置 - Google Patents
階層入出庫式ストッカ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007106528A JP2007106528A JP2005297436A JP2005297436A JP2007106528A JP 2007106528 A JP2007106528 A JP 2007106528A JP 2005297436 A JP2005297436 A JP 2005297436A JP 2005297436 A JP2005297436 A JP 2005297436A JP 2007106528 A JP2007106528 A JP 2007106528A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lift
- stocker
- upper floor
- lower floor
- floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
Abstract
【解決手段】建屋の階下側に複数の保管棚を配置してなるストッカ及びスタッカークレーン2を、階上側に搬送物の入出庫を行う入出庫口7を、それぞれ独立した作業環境を有するように配設するとともに、この階下側と階上側とで搬送物の受け渡しを行うリフト装置Lを、階下側と階上側との間で振動が伝達されにくいように配設する。
【選択図】図1
Description
しかしながら、近年、生産物の大形化(搬送物の大形化)及び建設用地の有効利用等の観点から階層式の工場が脚光を浴びるようになっている。
これにより、階層分だけ必要な敷地面積を少なくすることができる階層式の工場の利点を享受しながら、階下側フロア及び階上側フロアのクリーン度を、それぞれ独立して保持するようにすることができ、生産品の品位及び生産性の向上を図ることができる。
そして、特に、本第1発明の階層入出庫式ストッカ装置のように、建屋の階下側にストッカ及びスタッカークレーンを、階上側に搬送物の入出庫を行う入出庫口を、それぞれ配設することにより、受け渡しを行う搬送物が大形化、大重量したり、スタッカークレーンの動作が高速になっても、階上側に振動が伝達されにくいようにすることができる。
この階層入出庫式ストッカ装置は、図1に示すように、階層式の工場において、階下側フロアF1(1階側)に多数の搬送物Gを区分して一時的に保管するようにしたストッカを、階上側フロアF2(2階側)にストッカに保管した搬送物Gを順次取り出し、加工、組立等の作業を行うようにした加工装置、組立装置、検査装置、塗装装置等の装置(本明細書において、「製造装置」という。)に対して搬送物Gの入出庫を行うための入出庫口7を配設して構成したものである。
そして、このスタッカークレーン2を用いて搬送物Gを各保管棚列T1、T2に形成した複数の保管棚tと、保管棚列T1に予め設定した受渡ポートP間を搬送するようにする。
そして、リフト装置Lは、階上側と階下側との間で振動が伝達されにくいようにする。具体的には、図1〜図2に示すように、階下側フロアF1と階上側フロアF2の外側に、エレベータと同じようにしたリフト空間Dを形成し、このリフト空間D内に階下側フロアF1と天井間にほぼ垂直になるようにリフトポスト4を配設し、このリフトポスト4に沿って昇降台5を昇降させるようにする。
リフト装置Lの昇降台5には、移載機6を搭載し、これにより保管棚列T1の指定箇所に設定した受渡ポートPと、階上側フロアF2に配設した製造装置3の受渡口との間を、搬送物Gを昇降搬送するようにする。
そして、階上側フロアF2をクリーンルームとする場合、このクリーンルーム内に設置した製造装置3内に微細な塵埃が侵入しないように、階下側フロアF1及び階上側フロアF2とリフト空間Dとの間に、仕切壁Wを配設するようにするとともに、階下側フロアF1の受渡ポートP及び階上側フロアF2の製造装置3の受渡口となる入出庫口7に、搬送物Gの受け渡し時に開放される開閉式のゲートDa、Dbを設けるようにする。
これにより、階下側フロアF1と階上側フロアF2とで、それぞれ独立した作業環境を形成するようにするとともに、搬送物Gの受け渡し時のみゲートDa、Dbを開放するようにして、階下側フロアF1及び階上側フロアF2のクリーン度を、それぞれ独立して保持するようにする。
この例では、階下側フロアF1の外側部に階下側フロアF1から階上側フロアF2に導通するようリフト空間Dを形成し、昇降台5に搭載した移載機6は、伸縮可能な移載アームを備え、これにより、搬送物Gを昇降台5に載置された状態でリフト空間D内を昇降するようにするとともに、移載機6によって、保管棚列T1の指定箇所に設定した受渡ポートPのゲートDaを介して、受渡ポートPと昇降台5との間で搬送物Gの移載を行うようにする。
なお、移載機6は、ゲートDa、Dbを設ける位置等に応じて、所定角度旋回可能に構成するようにすることもできる。
この場合、リフト空間Dは、1組の保管棚列T1、T2に対して、少なくとも1つ形成し、さらに、搬送効率を考慮して、複数(図3においては、保管棚列T1に対して3つ)形成することができる。
この実施例では、階下側フロアF1内の外側部にリフト用スタッカークレーンSの走行レールRを敷設し、保管棚列T1、T2の外側方に沿ってリフト用スタッカークレーンSが走行できるようにし、1台のリフト用スタッカークレーンSにて全保管棚列T1、T2の搬送物Gの昇降搬送を行えるようにしたものである。
この場合、保管棚列T1とリフト用スタッカークレーンSの走行用空間(リフト空間D)との間は、仕切壁Wで仕切るとともに、仕切壁Wの受渡ポートPの受渡口に搬送物Gの受け渡し時に開放される開閉式のゲートDaを設け、このゲートDaを介して、受渡ポートPとリフト用スタッカークレーンSとの間で搬送物Gの移載を行うようにする。
そして、階上側フロアF2とリフト用スタッカークレーンSの走行用空間(リフト空間D)との間も、仕切壁Wで仕切るとともに、製造装置3の受渡口となる入出庫口7に搬送物Gの受け渡し時に開放される開閉式のゲートDbを設けるようにする。
これにより、階下側フロアF1と階上側フロアF2とで、それぞれ独立した作業環境を形成するようにするとともに、搬送物Gの受け渡し時のみゲートDa、Dbを開放するようにして、階下側フロアF1及び階上側フロアF2のクリーン度を、それぞれ独立して保持するようにする。
この実施例では、保管棚列T1の一部にリフト空間Dを形成し、このリフト空間D内にそれぞれリフト装置Lを配設するようにする。
このリフト装置Lは、図1に示す、昇降台23にテレスコピック式等の移載アームが伸縮するようにした移載機24を搭載したものに、昇降台23を所定角度旋回できる機能を付加したものである。
この場合、保管棚列T1とリフト空間Dとの間は、仕切壁Wで仕切るとともに、仕切壁Wの受渡ポートPの受渡口に搬送物Gの受け渡し時に開放される開閉式のゲートDaを設け、このゲートDaを介して、受渡ポートPとリフト装置Lとの間で搬送物Gの移載を行うようにする。
そして、階上側フロアF2とリフト空間Dとの間も、仕切壁Wで仕切るとともに、製造装置3の受渡口に搬送物Gの受け渡し時に開放される開閉式のゲートDbを設けるようにする。
これにより、階下側フロアF1と階上側フロアF2とで、それぞれ独立した作業環境を形成するようにするとともに、搬送物Gの受け渡し時のみゲートDa、Dbを開放するようにして、階下側フロアF1及び階上側フロアF2のクリーン度を、それぞれ独立して保持するようにする。
この実施例では、階上側フロアF2(2階側)に多数の搬送物Gを区分して一時的に保管するようにしたストッカを、階下側フロアF1(1階側)にストッカに保管した搬送物Gを順次取り出し、加工、組立等の作業を行うようにした製造装置3に対して搬送物Gの入出庫を行うための入出庫口7を配置して構成したものである。
そして、階上側フロアF2に配置するストッカは、上下方向に複数段、横方向に隣接配列してなる複数の保管棚tを有する。本実施例においては、特に限定されるものではないが、例えば、2列の保管棚列T1、T2を互いに対向するように配設し、この対向する保管棚列T1、T2間に走行レール1を敷設し、この走行レール1上を走行するスタッカークレーン2を配設するようにしている。
なお、階下側フロアF1と階上側フロアF2には、階上側と階下側とで搬送物Gの受け渡しを行うリフト装置Lを設置するリフト空間Dを形成すること等は、図1〜図3に示す実施例と同様である。
これにより、階下側フロアF1と階上側フロアF2とで、それぞれ独立した作業環境を形成するようにするとともに、搬送物Gの受け渡し時のみゲートDa、Dbを開放するようにして、階下側フロアF1及び階上側フロアF2のクリーン度を、それぞれ独立して保持するようにする。
搬送物Gの外部からの受入は、ストッカ装置の適宜位置に配設した外部ポート(図示省略)から行い、階下側フロアF1の保管棚列T1、T2間に配設したスタッカークレーン2により、搬送物Gを受け取り、保管棚列T1、T2に沿って走行して所定の保管棚tへ搬送物Gを保管する。
一方、所定の保管棚tからの搬送物Gの払出時には、スタッカークレーン2により所定の保管棚tから搬送物Gを受け取り、受渡ポートPに払い出すようにする。
これらの搬送物Gの受け渡しには、スタッカークレーン2の昇降台23と、この昇降台23に備えた移載機24にて行うようにする。
そして、このストッカ装置での加工や処理が完了した搬送物Gの払い出しは、ストッカ装置の適宜位置に配設した外部ポート(図示省略)から行うようにする。
これらの搬送物Gの受け渡しには、スタッカークレーン2の昇降台23と、この昇降台23に備えた移載機24にて行うようにする。
以下、この動作を繰り返して行うようにする。
Da ゲート
Db ゲート
F1 階下側フロア
F2 階上側フロア
G 搬送物
L リフト装置
P 受渡ポート
R 走行レール
S リフト用スタッカークレーン
T1 保管棚列
T2 保管棚列
t 保管棚
W 仕切壁
1 走行レール
2 スタッカークレーン
21 走行台車
22 マスト
23 昇降台
24 移載機
3 製造装置
4 リフトポスト
5 昇降台
6 移載機
7 入出庫口
Claims (6)
- 建屋の階下側に複数の保管棚を設置してなるストッカ及びスタッカークレーンを、階上側に搬送物の入出庫を行う入出庫口を、それぞれ独立した作業環境を有するように配設するとともに、この階下側と階上側とで搬送物の受け渡しを行うリフト装置を、階下側と階上側との間で振動が伝達されにくいように配設したことを特徴とする階層入出庫式ストッカ装置。
- 建屋の階上側に複数の保管棚を設置してなるストッカ及びスタッカークレーンを、階下側に搬送物の入出庫を行う入出庫口を、それぞれ独立した作業環境を有するように配設するとともに、この階上側と階下側とで搬送物の受け渡しを行うリフト装置を、階上側と階下側との間で振動が伝達されにくいように配設したことを特徴とする階層入出庫式ストッカ装置。
- リフト装置を、階下側と階上側間を導通して形成したリフト空間内に配設したことを特徴とする請求項1又は2記載の階層入出庫式ストッカ装置。
- 保管棚列とリフト空間との間及び搬送物の入出庫を行う入出庫口とリフト空間との間に搬送物の受け渡し時に開放されるゲートを設けたことを特徴とする請求項3記載の階層入出庫式ストッカ装置。
- リフト空間を、保管棚列内に配設したことを特徴とする請求項3又は4記載の階層入出庫式ストッカ装置。
- リフト装置を、保管棚列の外側に沿って走行するスタッカークレーンで構成したことを特徴とする請求項1又は2記載の階層入出庫式ストッカ装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005297436A JP2007106528A (ja) | 2005-10-12 | 2005-10-12 | 階層入出庫式ストッカ装置 |
TW094140825A TW200714534A (en) | 2005-10-12 | 2005-11-21 | Hierarchical in/out stocker device |
KR1020050126661A KR20070040706A (ko) | 2005-10-12 | 2005-12-21 | 계층 입출고식 스토커 장치 |
CNA2005101341790A CN1948105A (zh) | 2005-10-12 | 2005-12-27 | 多层出入库式码垛装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005297436A JP2007106528A (ja) | 2005-10-12 | 2005-10-12 | 階層入出庫式ストッカ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007106528A true JP2007106528A (ja) | 2007-04-26 |
Family
ID=38017753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005297436A Pending JP2007106528A (ja) | 2005-10-12 | 2005-10-12 | 階層入出庫式ストッカ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007106528A (ja) |
KR (1) | KR20070040706A (ja) |
CN (1) | CN1948105A (ja) |
TW (1) | TW200714534A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012001973A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 日揮株式会社 | 処理設備 |
CN104925438A (zh) * | 2015-06-04 | 2015-09-23 | 邵一凡 | 智能货柜及基于该智能货柜的物流间接配送方法 |
JP2018127329A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5880693B2 (ja) * | 2012-04-05 | 2016-03-09 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
CN102874534B (zh) * | 2012-10-08 | 2017-03-01 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 自动化物料输送系统及其方法 |
CN107812649A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-20 | 江苏金陵智造研究院有限公司 | 一种全自动喷涂生产线及其运行方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06183663A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-05 | Sony Corp | クリーンルーム用昇降機 |
JPH0812011A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Jiyarotsuku:Kk | 倉庫における保管棚への搬送装置 |
JPH10331460A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-15 | Masaki Shinpo | トランクルーム建造物 |
JP2004100233A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Sugiyama Kensetsu Kogyo Kk | 自動倉庫付き共同住宅システム |
-
2005
- 2005-10-12 JP JP2005297436A patent/JP2007106528A/ja active Pending
- 2005-11-21 TW TW094140825A patent/TW200714534A/zh unknown
- 2005-12-21 KR KR1020050126661A patent/KR20070040706A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-12-27 CN CNA2005101341790A patent/CN1948105A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06183663A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-05 | Sony Corp | クリーンルーム用昇降機 |
JPH0812011A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Jiyarotsuku:Kk | 倉庫における保管棚への搬送装置 |
JPH10331460A (ja) * | 1997-06-03 | 1998-12-15 | Masaki Shinpo | トランクルーム建造物 |
JP2004100233A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Sugiyama Kensetsu Kogyo Kk | 自動倉庫付き共同住宅システム |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012001973A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 日揮株式会社 | 処理設備 |
CN104925438A (zh) * | 2015-06-04 | 2015-09-23 | 邵一凡 | 智能货柜及基于该智能货柜的物流间接配送方法 |
CN104925438B (zh) * | 2015-06-04 | 2017-05-10 | 邵一凡 | 智能货柜及基于该智能货柜的物流间接配送方法 |
JP2018127329A (ja) * | 2017-02-08 | 2018-08-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070040706A (ko) | 2007-04-17 |
CN1948105A (zh) | 2007-04-18 |
TW200714534A (en) | 2007-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6314713B2 (ja) | 階間搬送設備 | |
JP4615015B2 (ja) | コンテナ搬送システム | |
KR102572057B1 (ko) | 물품 반송 설비 | |
TW201036887A (en) | Automated warehouse | |
JP2007106528A (ja) | 階層入出庫式ストッカ装置 | |
JP5369560B2 (ja) | 搬送装置 | |
CN108290687B (zh) | 保管装置以及输送系统 | |
WO2011158308A1 (ja) | 処理設備 | |
KR101511963B1 (ko) | 카세트 공급시스템 | |
JP2008019017A (ja) | 物品収納装置 | |
JP4348520B2 (ja) | 搬送システム | |
JP5656053B2 (ja) | 装置搬入方法 | |
JP2010241547A (ja) | 走行車システム | |
JP5745786B2 (ja) | 処理設備 | |
JP2006111421A (ja) | 階間搬送装置 | |
WO2012001973A1 (ja) | 処理設備 | |
TWI731221B (zh) | 貯藏庫及作業用鷹架的形成方法 | |
KR100711005B1 (ko) | 버퍼 컨베이어가 구비된 물류의 상하 운반 시스템 | |
JP2009035414A (ja) | 別階層工程間搬送システム | |
JP2012001344A (ja) | 処理設備 | |
JP5286721B2 (ja) | 搬送システム | |
JP4630386B1 (ja) | 処理設備 | |
JP2007204186A (ja) | ライブラリ棚装置 | |
JP4708472B2 (ja) | 処理設備 | |
JP5019043B2 (ja) | 工程間搬送システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080312 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110411 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120111 |