JPH11340296A - 基板搬出搬入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 載置台への基板収容器の載置、回収の際に作
業者の手や基板収容器が搬送アームの移動領域に侵入す
るおそれがない基板搬出搬入装置を提供する。 【解決手段】 複数の基板Ｓを収容する基板収容器Ｃを
載置する載置台３と、前記載置台３に載置された基板収
容器Ｃに対して基板の搬出搬入を行う搬送アーム１５を
備え、該搬送アーム１５を進入開始位置から前記基板収
容器Ｃに対して進退させる基板搬送機構５とを有する。
前記載置台３に載置された基板収容器Ｃと前記進入開始
位置における搬送アーム１５との間に侵入防止部材７が
設けられている。該侵入防止部材７には前記搬送アーム
１５によって基板Ｓを搬出搬入する際に基板Ｓを保持し
た搬送アーム１５の進退を許容する開口部１７が開設さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、基板処理装置に付
設され、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板など
の基板を積層収納した基板収容器に対して基板を搬出、
搬入するとともに基板処理装置の本体側に搬送する基板
搬出搬入装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板の表面にレジスト膜を形成し、該レ
ジスト膜にパタンを形成するなどの各種基板処理を行う
基板処理装置には、複数の基板を収容する基板収容器を
載置する載置台、およびその載置台と基板処理装置本体
との間で１枚ごとに基板の受け渡しを行う受け渡し部と
を有する基板搬出搬入装置（「インデクサ」と呼ばれ
る）が設けられている。

【０００３】前記基板搬出搬入装置は、複数の基板を収
容する基板収容器を載置する載置台と、前記載置台に載
置された基板収容器に対して基板の搬出、搬入を行う搬
送アームを備え、基板の搬出、搬入の際に該搬送アーム
を前記載置台の一方側から載置台に載置された基板収容
器側に進退させる基板搬送機構を有している。

【０００４】前記基板搬送機構は、搬送アームを載置台
に載置された基板収容器の内に進出させて基板を保持し
た後、後退させることで、基板を基板収容器から搬出
し、搬送アームに保持された基板をインデクサに設けら
れた受け渡し部に搬送する。受け渡し部に搬送された基
板は基板処理装置本体内に取り込まれて所定の処理が行
われた後、再び受け渡し部に戻され、受け渡し部で搬送
アームに保持され、搬送アームの移動、進退により基板
収容器に搬送され、搬入される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】基板搬出搬入装置の載
置台には、通常、複数の基板収容器が配置されており、
搬送アームは各基板収容器内の基板に対してアクセスで
きるように、基板収容器に対する進退方向の位置が該基
板収容器と干渉しない進入開始位置において、複数の基
板収容器の配置方向に移動している。また、搬送アーム
が前記進入開始位置とインデクサに設けられた受け渡し
部の間で移動している場合もある。

【０００６】一方、未処理の基板を収容した基板収容器
を載置台に載置する作業や、処理後の基板を収容した基
板収容器を載置台から回収する作業は、通常、作業者が
搬送アームの反対側から手動で行っている。

【０００７】この際、作業者が誤って載置台より手や手
に持った基板収容器を、搬送アームの進入開始位置より
基板処理装置本体側の移動領域に侵入させると、移動中
の搬送アームと干渉する事故が発生するおそれがある。

【０００８】このような事故を回避するため、載置台に
載置された基板収容器と前記進入開始位置における搬送
アームとの間に、手や物の侵入を検知するエリアセンサ
等の検知装置を設け、搬送アームの移動中に検知装置が
それらの侵入を検知すると、搬送アームの移動を緊急停
止させるようにしている。

【０００９】しかしながら、かかる検知装置を設けるこ
とは、それによる制御を含めて装置構成が複雑となり、
コスト高を招来するばかりでなく、搬送アームを不用意
に停止させると、基板処理装置本体で処理中の基板が予
め定められた処理時間を超えて処理されることになり、
基板の処理に支障を来すことになる。

【００１０】本発明は、かかる問題に鑑みなされたもの
で、載置台への基板収容器の載置、回収の際に、作業者
の手や手に持った基板収容器が搬送アームの移動領域に
侵入し、搬送アームと干渉するおそれがなく、引いては
搬送アームの停止による基板処理の遅れが生じない基板
処理装置を提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明の基板搬
出搬入装置は、複数の基板を収容する基板収容器を載置
する載置台と、前記載置台に載置された基板収容器に対
して基板の搬出、搬入を行う搬送アームを備え、該搬送
アームを進入開始位置から前記基板収容器に対して進退
させる基板搬送機構とを有する基板搬出搬入装置であっ
て、前記載置台に載置された基板収容器と前記進入開始
位置における搬送アームとの間に設けられ、前記搬送ア
ームによって基板を搬出、搬入する際に基板を保持した
搬送アームの進退を許容する開口部が開設された侵入防
止部材を備えるものである。

【００１２】本発明の基板搬出搬入装置によると、載置
台に載置された基板収容器と該基板収容器に対する進入
開始位置における搬送アームとの間に侵入防止部材が設
けられており、該侵入防止部材に開設された開口部は搬
送アームが基板を保持した状態で進退可能であれば足り
るため、作業者の手や基板収容器に対して十分小さく形
成することができる。このため、基板収容器を載置台に
手動で載置、回収する際に、作業者の手や手に持った基
板収容器が誤って搬送アームの移動領域内に侵入しよう
としても、侵入防止部材によって阻止され、これらと搬
送アームとが移動領域において干渉するのを回避するこ
とができる。それ故、侵入防止部材を所定位置に設ける
という簡単な構成で、作業者に対する安全性を確保で
き、また搬送アームの移動停止に起因する基板処理の遅
れを防止することができる。もちろん、載置台に載置さ
れた基板収容器内の基板の搬出あるいは搬入の際には、
搬送アームは侵入防止部材に開設された開口部を通って
基板を保持した状態で進退自在であるので、基板の搬
出、搬入動作が妨げられることもない。

【００１３】また、請求項２の発明の基板搬出搬入装置
は、請求項１に記載された基板搬出搬入装置において、
前記侵入防止部材に開設された開口部を開閉自在に遮蔽
する遮蔽部材を備えるものである。本発明によると、前
記侵入防止部材に開設された開口部を開閉自在に遮蔽す
る遮蔽部材を設けることで、前記開口部から指などの小
さなものの侵入も防止され、安全性がより一層向上し、
搬送アームの移動領域における干渉がより確実に回避さ
れる。この場合、遮蔽部材による遮蔽は開口部を隙間な
く閉塞することが好ましいが、完全に閉塞されなくと
も、指程度の小さなものが該開口部に入らなければ十分
である。さらに、該開口部を隙間なく閉塞する遮蔽部材
を用いれば、搬送アームとの干渉が完全に防止され、ま
た例えば誤動作により、前記開口部から載置台側への搬
送アームの進入も阻止され、安全性がさらに向上する。

【００１４】また、請求項３の発明の基板搬出搬入装置
は、請求項１又は請求項２に記載された基板搬出搬入装
置において、基板載置台に載置された基板収容器と前記
進入開始位置における搬送アームとの間に載置台側から
前記搬送アーム側への空気の流入を防止する仕切り壁が
設けられ、該仕切り壁に前記侵入防止部材を備えるもの
である。本発明によると、前記載置台に載置された基板
収容器と前記進入開始位置における搬送アームとの間に
載置台側から前記搬送アーム側への空気の流入を防止す
る仕切り壁を設け、該仕切り壁に前記侵入防止部材を設
けることで、搬送アームの移動領域における干渉の防止
が図られ、さらに基板搬出搬入装置の外部から不純物
（例えば、アンモニア）を含む空気の基板処理装置内へ
の流入が抑制されるため、基板処理装置内の処理雰囲気
の清浄化に寄与することができ、もって基板の処理性が
向上し、生産性を向上させることができる。さらに、基
板処理装置内は処理雰囲気の清浄化のためにクリ−ンエ
アを装置の上部から吹き込み、装置の底部から処理室内
を清浄化した後、エアを排出することが行われる場合が
あるが、この場合、クリ−ンエアが基板搬出搬入装置の
載置台側から外部へ流出することが抑制され、クリーン
エアの吹き込み量を軽減することができる。このため、
エア吹き込み装置の小型化、引いては装置製作コストの
低減に寄与することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施形態に係る基
板搬出搬入装置１を備えた基板処理装置５０の概略構成
を示す斜視図であり、同図には説明の便宜上、装置設置
面に平行な水平面をＸ−Ｙ面とし、鉛直方向をＺ軸方向
とする３次元座標系が表示されている。

【００１６】まず、図１を参照して、基板処理装置５０
についてその概要を説明する。基板搬出搬入装置１を端
部に備えた基板処理装置５０の本体は、基板搬出搬入装
置１に対してＹ方向に沿って直線的に複数の処理部が隣
接配置された第１処理ユニット５１と、Ｙ，Ｚ方向に２
次元的に複数個の処理部を積層配置した第２処理ユニッ
ト５２と、第１，第２処理ユニット５１，５２の間に配
設された基板搬送ロボット５３とを備えている。

【００１７】前記基板搬出搬入装置１の載置台３に載置
された基板収容器Ｃから取り出された基板Ｓは、基板搬
出搬入装置１内に設けられた図示しない受け渡し部を介
して基板搬送ロボット５３に移載され、該基板搬送ロボ
ット５３により第１処理ユニット５１や第２処理ユニッ
ト５２に搬送、供給され、ここで各種の処理が施され
る。そして、処理が施された基板Ｓは、基板搬送ロボッ
ト５３によって再び基板搬出搬入装置１内に設けられた
図示しない受け渡し部に搬送され、ここから基板搬出搬
入装置１によって再び元の基板収容器Ｃに搬入される。

【００１８】前記基板処理装置５０は、基板搬出搬入装
置１の前端側（作業側）を除いて、２点鎖線で示すよう
に、その外周がカバーあるいは処理装置の筐体により囲
われており、作業者は作業側からのみ基板収容器Ｃを基
板搬出搬入装置１に載置、回収することができるように
なっている。また、基板処理装置５０の上部からクリー
ンエアが基板処理装置５０内に供給されており、装置内
部の処理雰囲気を清浄に維持している。

【００１９】なお、前記第１処理ユニット５１の処理部
としては、基板を回転させつつ塗布液を供給して被膜形
成処理を施すスピンコータや、露光済の基板に現像液な
どを供給して現像処理を施すデベロッパーなどがある。
また、第２処理ユニット５２には、基板を加熱処理する
加熱ユニットや、基板を冷却処理する冷却ユニットがあ
る。

【００２０】前記基板搬出搬入装置１は、複数の基板Ｓ
が収容された基板収容器Ｃを複数載置する載置台３と、
該載置台３に載置された基板収容器Ｃ内の基板Ｓの存在
位置（高さ位置）を検出する基板検出機構４と、前記載
置台３に載置された基板収容器Ｃに対して基板Ｓの搬出
搬入を行うとともに、基板搬出搬入装置１内に設けられ
た図示しない受け渡し部との間で、基板Ｓの搬送を行う
基板搬送機構５とを備えている。

【００２１】また、前記載置台３の基板搬送機構５側の
端部には基板収容器Ｃ側と基板搬送機構５側との空間を
仕切る仕切り壁６が立設され、また各基板収容器Ｃに対
向する対向部に開設された開口を塞ぐように侵入防止部
材７が載置台３の端部に立設されている。なお、前記基
板収容器Ｃには、基板Ｓの径方向周縁部を支持する左右
一対の支持段が複数形成され、これらに基板Ｓが載置収
容されている。また、図例では基板収容器Ｃは４個設け
られており、これらはＸ軸方向に直線状に配置されてい
る。

【００２２】前記基板検出機構４は、各基板収容器Ｃに
対して付設されており、並列配置された一対のアーム部
を有する、平面視コの字状の検出アーム１０と、前記ア
ーム部に対向して付設された投光部および受光部からな
る基板検出センサ（図示省略）と、該検出アーム１０を
片持ち支持するとともに昇降させる支持部材１２を備え
ている。該支持部材１２は図示省略したエアシリンダー
等の昇降手段により昇降され、これによって検出アーム
１０は基板収容器Ｃの最下位置から最上位置に渡って移
動可能とされている。

【００２３】前記基板搬送機構５は、基板Ｓを載置状態
で保持する搬送アーム１５を備え、該搬送アーム１５を
前記載置台３に載置された基板収容器Ｃに対して基板処
理装置５０の本体側から進退可能とし、かつ前記基板収
容器Ｃに対する進退方向の位置が該基板収容器Ｃと干渉
しない進入開始位置において基板収容器Ｃの配置方向
（Ｘ軸方向）に移動可能であり、かつ全ての基板収容器
Ｃ内の基板Ｓにアクセス可能なようにＺ軸方向に昇降可
能に構成されている。従って、図２（ａ）に示すよう
に、搬送アーム１５を進入開始位置Ｍから搬出搬入位置
Ｆへ移動させて搬出目標の基板Ｓの直下に進入させ、搬
送アーム１５をわずかに上昇させて基板Ｓを搬送アーム
１５に載置し、この状態で後退することで基板Ｓを載置
保持した状態で基板収容器Ｃから搬出することができ
る。基板収容器Ｃに搬入する場合は、搬出と逆の動作を
行う。なお、搬送アーム１５は受け渡し位置において搬
送アーム１５を下降、上昇させて、基板搬出搬入装置１
内に設けられた図示しない受け渡し部との間で基板の受
け渡しをおこなう。

【００２４】前記侵入防止部材７は、基板収容器Ｃの正
面寸法よりやや大きめの平面を有し、図２に示すよう
に、基板収容器Ｃに対して全ての基板Ｓの搬送アーム１
５による搬出、搬入が可能なように、複数の開口部１７
が鉛直方向に並設されている。また、前記開口部１７と
同形状の開口部１８を有する板状の遮蔽部材１９が、前
記開口部１７の各々に対応して侵入防止部材７の基板搬
送機構５側端面において上下方向に移動自在に配置され
ている。該遮蔽部材１９は左右一対のスライド部材２０
によりその両側部が遊動自在に支持され、上下方向に移
動可能とされている。また、前記侵入防止部材７の上端
縁部には、前記遮蔽部材１９を上下方向に駆動するエア
シリンダーからなる昇降手段２１が設けられており、こ
れにより遮蔽部材１９の開口部１８間のつなぎ部が侵入
防止部材７の開口部１７の中央部を塞ぐように遮蔽部材
１９が昇降される。なお、図１では遮蔽部材１９および
昇降手段２１は記載省略している。

【００２５】前記基板搬出搬入装置１には、前記基板検
出機構４、基板搬送機構５、遮蔽部材１９に後述の動作
を行わせる制御プログラムが格納されたコンピュータを
備えた制御部が設けられている。この制御部には制御動
作等を表示する表示部や、基板収容器Ｃの基板Ｓに対す
る処理開始を指示するスタートスイッチ８が接続されて
いる。なお、スタートスイッチ８は、図１に示すよう
に、載置台３の手前側に各基板収容器Ｃに対応して付設
されている。

【００２６】未処理の基板を積層収納した基板収容器Ｃ
を載置台３に載置する際には、図１に示すように、基板
検出機構４の検出アーム１０は最下位置に下降した状態
となっている。

【００２７】前記載置台３に載置された基板収容器Ｃと
進入開始位置Ｍにおける搬送アーム１５との間、すなわ
ち搬送アーム１５のＸ方向への移動領域との間には侵入
防止部材７が立設されているため、作業者が基板収容器
Ｃを手に持った状態で載置台３に載置する際に、手や基
板収容器Ｃが侵入防止部材７によって搬送アーム１５の
移動領域に侵入することができず、これらと移動領域内
を移動している搬送アーム１５との干渉が防止される。

【００２８】また、この際、遮蔽部材１９の昇降手段２
１は遮蔽部材１９を上昇させた状態にあり、侵入防止部
材７の開口部１７は遮蔽部材１９の開口部１８間のつな
ぎ部が前記開口部１７の中央部に位置している。このた
め、侵入防止部材７の開口部１７に作業者の指などの小
さなものの侵入も阻止され、安全性に優れ、また搬送ア
ーム１５との干渉が確実に防止される。

【００２９】さらに、載置台３に載置された基板収容器
Ｃと搬送アーム１５の移動領域の間には、仕切り壁６が
立設されているので、基板搬出搬入装置１の外部の汚れ
た空気が基板処理装置内へ侵入することも抑制され、装
置内の処理雰囲気の清浄性が向上する。特に、基板処理
装置５０にクリーンエアが吹き込まれて装置内が清浄化
されている場合、クリーンエアの基板搬出搬入装置１外
への流出をも抑制することができ、少量の吹き込み量で
所期の清浄化効果を得ることができる。

【００３０】基板Ｓを収納した基板収容器Ｃを載置台３
に載置した後、スタートスイッチ８を押下すると、基板
検出機構４が作動し、検出アーム１０が一定の速度で最
下位置から最上位置まで上昇し、基板収容器Ｃ内に収納
された各基板Ｓの存在位置を検出する。検出された基板
Ｓの位置はコンピュータに備えられた記憶装置に記憶さ
れ、搬送アーム１５の昇降制御に利用される。基板Ｓの
検出動作を行った後、検出アーム１０は元の最下位置に
下降し、そこで待機する。また、侵入防止部材７に付設
された昇降手段２１は遮蔽部材１９を下降させて、侵入
防止部材７の開口部１７と遮蔽部材１９の開口部１８と
を各々重ね合わせ、前記開口部１７の全てを開いた状態
にする。

【００３１】検出アーム１０が基板収容器Ｃ内の基板Ｓ
を検出後、基板搬送機構５は搬送アーム１５に搬出、搬
入動作を行わせる。基板Ｓを基板収容器Ｃから搬出する
場合、目標の基板Ｓを収容した基板収容器Ｃの前に搬送
アーム１５を移動させ、記憶装置に記憶された位置情報
に基づいて、搬送アーム１５を搬送目的の基板Ｓの直下
高さに昇降させた後、搬送アーム１５を進入開始位置Ｍ
から搬出搬入位置Ｆへ移動させることによって当該基板
収容器Ｃ内に進入させ、目標の基板Ｓを載置保持すべく
少し上昇させた後、進入開始位置Ｍまで後退させる。そ
して受け渡し位置において搬送アーム１５を下降させる
ことによって基板Ｓを受け渡し部に載置する。一方、基
板搬送ロボット５３により受け渡し部に搬送された処理
済の基板Ｓを受け取って元の基板収容器Ｃの支持段に搬
入する。このようにして、基板搬送機構５は搬送アーム
１５を昇降、移動動作させて、基板収容器Ｃと受け渡し
部との間で基板搬送を行う。

【００３２】基板収容器Ｃから搬出された全ての基板Ｓ
が処理を終えて再び搬入された後、昇降手段２１は遮蔽
部材１９を上昇させ、侵入防止部材７の開口部１７を遮
蔽する。その後、作業者はその基板収容器Ｃを載置台３
から取り出し、新たな基板収容器Ｃを載置し、再び同様
の操作が行われる。勿論、基板収容器Ｃを載置台３から
取り出す際も、侵入防止部材７により手や基板収容器Ｃ
が搬送アーム１５の移動領域内に侵入するおそれはな
い。また、基板収容器Ｃから搬出された基板Ｓが元の基
板収容器Ｃに戻ってこないように設定されている場合に
は、基板Ｓが全て搬出された後に昇降手段２１が遮蔽部
材１９を上昇させて、侵入防止部材７の開口部１７を遮
蔽する構成としてもよい。それによって搬送アーム１５
が誤動作によって載置台３上に進入して作業者の手と搬
送アーム１５とが干渉する危険を防止することができ
る。

【００３３】上記実施形態では、侵入防止部材７の開口
部１７を遮蔽する手段として遮蔽部材１９を昇降自在に
設けたが、該開口部１７の隙間はせいぜい１０mm程度で
あるので、遮蔽部材１９を設けなくても通常の作業状態
では手や基板収容器Ｃが搬送アーム１５の移動領域に侵
入することはない。なお、遮蔽部材１９の昇降手段２１
としては、エアシリンダーに限らず、モーターでもよ
く、適宜の昇降手段を用いることができる。

【００３４】また、基板収容器Ｃの基板Ｓの支持段の間
隔によっては、図例のように、遮蔽部材１９を設けても
開口部１７を完全に閉塞することができないが、この場
合でも、遮蔽部材１９のつなぎ部によって、開口部１７
を塞ぐことで、事実上開口している隙間を十分狭くする
ことでき、指などの小さなものでも開口部１７から侵入
するのを防止することができる。

【００３５】侵入防止部材７の開口部１７の間のつなぎ
部が開口部１７の隙間より小さい場合、開口部１７を水
平方向に隙間なく開閉自在に遮蔽するには、図３に示す
ように、開口部１７より大きめに形成され、各開口部１
７の上縁部に枢支された横軸３０に付設された複数の閉
塞板３１からなる遮蔽部材と、各閉塞板３１を水平位置
と鉛直位置との間で回動させる揺動リンク機構３２を設
けることで実現可能である。前記揺動リンク機構３２
は、各閉塞板３１に対して各横軸３０に設けられた揺動
アーム３３と、各揺動アーム３３の先端部に枢着された
昇降アーム３４とで構成されており、該昇降アーム３４
をエアシリンダー等により昇降させることで、各開口部
１７を各閉塞板３１によって完全に開閉することができ
る。

【００３６】また、開口部１７を水平方向に隙間なく開
閉する遮蔽部材の他例として、図４に示すように、侵入
防止部材７の全ての開口部１７を覆う大きさで、開口を
有しない一枚板状の閉塞板４１からなる遮蔽部材を設
け、該閉塞板４１を侵入防止部材７に隣接して昇降自在
に付設するようにしてもよい。図例では、検出アーム１
０の侵入防止部材７側のアーム部１０Ａに閉塞板４１を
付設する構成としたので、検出アーム１０の昇降により
閉塞板４１も昇降するため、閉塞板４１の昇降手段を別
個に設ける必要がない。この場合、検出アーム１０は載
置台３に載置された基板収容器Ｃ内の基板Ｓを検出後、
最上位置で待機するように制御する。なお、閉塞板４１
を検出アーム１０とは別の昇降手段で昇降させるように
してもよいことは勿論である。

【００３７】このように開口部１７を搬送アーム１５の
進退方向において隙間なく閉塞すると、搬送アーム１５
の移動領域への手指の侵入が完全に阻止され、安全性に
優れるとともに、基板収容器Ｃの取り替え中に基板搬送
機構５の誤動作によって、搬送アーム１５が基板収容器
Ｃ側に進出しようとしても、その進出が閉塞板３１，４
１によって確実に阻止されるため、安全性がより向上す
る。また、基板搬出搬入装置１の外部から基板処理装置
５０の内部への空気の流入や、基板処理装置５０の内部
から外部へのクリーンエアの流出もより一層抑制するこ
とができる。

【００３８】また、上記実施形態では、各基板収容器Ｃ
に対応させて侵入防止部材７を複数個設けたが、これら
を一部材として一体的に形成してもよい。また、搬送ア
ーム１５との干渉防止の観点からは仕切り壁６は必ずし
も必要ではない。仕切り壁６を設けない場合、前記のよ
うに各基板収容器Ｃに対向して一体的に形成された侵入
防止部材を設ければ、基板収容器Ｃ間においても、手な
どが搬送アーム１５の移動空間に侵入するのを防止する
ことができる。

【００３９】また、上記実施形態では、仕切り壁６と侵
入防止部材７とを別々に形成したが、仕切り壁６の基板
収容器Ｃの対向部に基板Ｓを保持した搬送アーム１５の
進退を許容する開口部を直接開設することで、当該対向
部を侵入防止部材としてもよい。

【００４０】また、上記実施形態では、基板収容器Ｃは
載置台３に載置されるだけであるが、基板収容器Ｃの載
置部を昇降可能に構成することで、搬入アーム１５によ
る基板収容器Ｃ内の全ての基板Ｓの搬入、搬出も一定の
Ｚ軸方向位置において行うことができ、侵入防止部材７
に開設すべき開口部１７も１箇所で済むようになる。こ
の場合、基板搬送機構５の昇降機能を省略することもで
きる。

【００４１】

【発明の効果】本発明の基板搬出搬入装置によると、載
置台に載置された基板収容器と進入開始位置における搬
送アームとの間に侵入防止部材が設けられているため、
基板収容器を載置台に手動で載置、回収する際に、作業
者の手や手に持った基板収容器が誤って搬送アームの移
動領域内に侵入しようとしても、侵入防止部材によって
阻止され、搬送アームの移動領域におけるこれらと搬送
アームとの干渉を回避することができる。従って、侵入
防止部材を所定位置に設けるという簡単な構成で、作業
者に対する安全性が確保され、また搬送アームの干渉に
よる作動停止に起因した基板処理時間の変動を防止する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板搬出搬入装置を備えた基板処
理装置の概略構成を示す部分斜視図である。

【図２】（ａ）載置台、侵入防止部材および搬送アーム
の関係を示す部分断面側面図および（ｂ）侵入防止部材
のＡ方向矢視図である。

【図３】侵入防止部材の各開口部に対して開閉自在に設
けられた閉塞板からなる遮蔽部材を示す部分斜視図であ
る。

【図４】侵入防止部材の全開口部を、検出アームに付設
されて昇降自在に閉塞する閉塞板からなる遮蔽部材を示
す要部断面側面図である。

【符号の説明】

Ｓ 基板 Ｃ 基板収容器 ３ 載置台 ５ 基板搬送機構 ６ 仕切り壁 ７ 侵入防止部材 １５ 搬送アーム １９ 遮蔽部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板を収容する基板収容器を載置
   する載置台と、前記載置台に載置された基板収容器に対
   して基板の搬出、搬入を行う搬送アームを備え、該搬送
   アームを進入開始位置から前記基板収容器に対して進退
   させる基板搬送機構とを有する基板搬出搬入装置であっ
   て、 前記載置台に載置された基板収容器と前記進入開始位置
   における搬送アームとの間に設けられ、前記搬送アーム
   によって基板を搬出、搬入する際に基板を保持した搬送
   アームの進退を許容する開口部が開設された侵入防止部
   材を備える基板搬出搬入装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された基板搬出搬入装置
   において、前記侵入防止部材に開設された開口部を開閉
   自在に遮蔽する遮蔽部材が設けられた基板搬出搬入装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載された基板搬出搬
   入装置において、前記載置台に載置された基板収容器と
   前記進入開始位置における搬送アームとの間に載置台側
   から前記搬送アーム側への空気の流入を防止する仕切り
   壁が設けられ、該仕切り壁に前記侵入防止部材が設けら
   れた基板搬出搬入装置。