JP2003326487A - ハイブリッド式真空吸着装置 - Google Patents
ハイブリッド式真空吸着装置Info
- Publication number
- JP2003326487A JP2003326487A JP2002130400A JP2002130400A JP2003326487A JP 2003326487 A JP2003326487 A JP 2003326487A JP 2002130400 A JP2002130400 A JP 2002130400A JP 2002130400 A JP2002130400 A JP 2002130400A JP 2003326487 A JP2003326487 A JP 2003326487A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- suction
- suction cup
- sources
- different
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空発生源の作動が停止しても、確実に物品
の落下を防止できる真空吸着装置を提供することであ
る。 【解決手段】 モータ１で作動される真空ポンプ２を真
空発生源として、配管経路３から真空を供給される第１
系統の吸盤４ａと、エア源５で作動される空気エジェク
タ６を真空発生源として、配管経路７から真空を供給さ
れる第２系統の吸盤４ｂを設け、各配管経路３、７に分
岐配管経路３ａ、７ａを設けて他方の系統の各配管経路
７、３に接続することにより、いずれか一方の真空発生
源の作動が停止しても、各吸盤４ａ、４ｂに真空を供給
して、真空吸着された物品の落下を確実に防止できるよ
うにした。
の落下を防止できる真空吸着装置を提供することであ
る。 【解決手段】 モータ１で作動される真空ポンプ２を真
空発生源として、配管経路３から真空を供給される第１
系統の吸盤４ａと、エア源５で作動される空気エジェク
タ６を真空発生源として、配管経路７から真空を供給さ
れる第２系統の吸盤４ｂを設け、各配管経路３、７に分
岐配管経路３ａ、７ａを設けて他方の系統の各配管経路
７、３に接続することにより、いずれか一方の真空発生
源の作動が停止しても、各吸盤４ａ、４ｂに真空を供給
して、真空吸着された物品の落下を確実に防止できるよ
うにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、物品を吸盤で真
空吸着する真空吸着装置に関するものである。
空吸着する真空吸着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】物品を吸盤で真空吸着する真空吸着装置
の真空発生源としては、真空ポンプや空気エジェクタが
一般的に用いられている。真空ポンプはモータで作動さ
れるものが多い。また、空気エジェクタはエア源からの
噴射一次流で吸引二次流を生じさせ、真空を発生させる
ものである。
の真空発生源としては、真空ポンプや空気エジェクタが
一般的に用いられている。真空ポンプはモータで作動さ
れるものが多い。また、空気エジェクタはエア源からの
噴射一次流で吸引二次流を生じさせ、真空を発生させる
ものである。
【０００３】しかしながら、従来の真空吸着装置は、一
つの真空発生源しか備えていないので、この真空発生源
を作動させるモータやエア源が何らかの理由で停止する
と、吸盤への真空の供給が止まり、真空吸着された物品
が落下する問題がある。
つの真空発生源しか備えていないので、この真空発生源
を作動させるモータやエア源が何らかの理由で停止する
と、吸盤への真空の供給が止まり、真空吸着された物品
が落下する問題がある。
【０００４】この真空発生源の作動停止による物品の落
下を防止する手段としては、吸盤への真空の供給経路に
開閉弁や逆止弁を設けて、吸盤への空気の逆流を防止す
る方法が考えられるが、通常、吸盤や真空の供給経路に
は僅かの空気漏れがあり、吸盤内の真空度が低下するの
で、確実に物品の落下を防止することはできない。特
に、真空吸着される物品が紙類で形成されている場合
は、紙類が通気性を有するので、吸盤内の真空度が短時
間で低下し、落下の危険性が高くなる。
下を防止する手段としては、吸盤への真空の供給経路に
開閉弁や逆止弁を設けて、吸盤への空気の逆流を防止す
る方法が考えられるが、通常、吸盤や真空の供給経路に
は僅かの空気漏れがあり、吸盤内の真空度が低下するの
で、確実に物品の落下を防止することはできない。特
に、真空吸着される物品が紙類で形成されている場合
は、紙類が通気性を有するので、吸盤内の真空度が短時
間で低下し、落下の危険性が高くなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明の課
題は、一つの真空発生源の作動が停止しても、確実に物
品の落下を防止することができる真空吸着装置を提供す
ることである。
題は、一つの真空発生源の作動が停止しても、確実に物
品の落下を防止することができる真空吸着装置を提供す
ることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明のハイブリッド式真空吸着装置は、物品
を真空吸着する吸盤に真空を供給する真空発生源とし
て、異なる複数の真空発生源を備え、これらの真空発生
源の少なくともいずれかから前記吸盤に真空を供給する
構成を採用したものである。
めに、この発明のハイブリッド式真空吸着装置は、物品
を真空吸着する吸盤に真空を供給する真空発生源とし
て、異なる複数の真空発生源を備え、これらの真空発生
源の少なくともいずれかから前記吸盤に真空を供給する
構成を採用したものである。
【０００７】すなわち、異なる複数の真空発生源を備え
ることにより、いずれか一つの真空発生源の作動が停止
しても、他方の真空発生源から吸盤に真空を供給可能と
して、真空吸着された物品の落下を確実に防止できるよ
うにした。なお、異なる真空発生源の数は一般的には２
つで十分であるが、貴重な物品や危険な物品を真空吸着
する場合は、３つ以上とすることもできる。
ることにより、いずれか一つの真空発生源の作動が停止
しても、他方の真空発生源から吸盤に真空を供給可能と
して、真空吸着された物品の落下を確実に防止できるよ
うにした。なお、異なる真空発生源の数は一般的には２
つで十分であるが、貴重な物品や危険な物品を真空吸着
する場合は、３つ以上とすることもできる。
【０００８】前記吸盤を複数系統に分け、これらの各系
統の吸盤に、前記異なる複数の真空発生源のうちの別々
の真空発生源から、それぞれ独立に真空を供給すること
もできる。
統の吸盤に、前記異なる複数の真空発生源のうちの別々
の真空発生源から、それぞれ独立に真空を供給すること
もできる。
【０００９】前記複数系統に分けた少なくとも一つの系
統の吸盤に、この系統とは別系統の吸盤に真空を供給す
る前記真空発生源からも真空を供給することにより、一
つの系統に真空を供給する真空発生源が作動を停止した
ときでも、この系統の吸盤を作用させることができる。
統の吸盤に、この系統とは別系統の吸盤に真空を供給す
る前記真空発生源からも真空を供給することにより、一
つの系統に真空を供給する真空発生源が作動を停止した
ときでも、この系統の吸盤を作用させることができる。
【００１０】前記異なる複数の真空発生源の一つをモー
タで作動される真空ポンプとし、もう一つをエア源で作
動される空気エジェクタとすることにより、真空発生源
を調達しやすいものとすることができる。また、停電等
により真空ポンプの作動が停止しても、工場エア等のエ
ア源で作動される空気エジェクタにより吸盤に真空を供
給して、真空吸着された物品の落下を確実に防止するこ
とができる。
タで作動される真空ポンプとし、もう一つをエア源で作
動される空気エジェクタとすることにより、真空発生源
を調達しやすいものとすることができる。また、停電等
により真空ポンプの作動が停止しても、工場エア等のエ
ア源で作動される空気エジェクタにより吸盤に真空を供
給して、真空吸着された物品の落下を確実に防止するこ
とができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図１乃至図５に基づき、こ
の発明の実施形態を説明する。このハイブリッド式真空
吸着装置は、図１に示すように、モータ１で作動される
真空ポンプ２を真空発生源として、配管経路３から真空
を供給される第１系統の８個の吸盤４ａと、エア源５で
作動される空気エジェクタ６を真空発生源として、配管
経路７から真空を供給される第２系統の２個の吸盤４ｂ
を備えている。
の発明の実施形態を説明する。このハイブリッド式真空
吸着装置は、図１に示すように、モータ１で作動される
真空ポンプ２を真空発生源として、配管経路３から真空
を供給される第１系統の８個の吸盤４ａと、エア源５で
作動される空気エジェクタ６を真空発生源として、配管
経路７から真空を供給される第２系統の２個の吸盤４ｂ
を備えている。
【００１２】前記各配管経路３、７には分岐配管経路３
ａ、７ａが設けられ、これらの分岐配管経路３ａ、７ａ
が、それぞれ他方の系統の各配管経路７、３の途中に接
続されて、各接続点に開閉弁と切換弁を兼ねる電磁弁８
が設けられている。通常の使用状態では、各電磁弁８は
それ自身の系統の配管経路３、７側に開けられ、これら
の配管経路３、７からの真空の供給が何らかの理由で止
まったときに、他方の系統の分岐配管経路７ａ、３ａ側
に開けられるように切り換えられる。なお、真空吸着装
置を使用しないときは、各電磁弁８は閉とされる。
ａ、７ａが設けられ、これらの分岐配管経路３ａ、７ａ
が、それぞれ他方の系統の各配管経路７、３の途中に接
続されて、各接続点に開閉弁と切換弁を兼ねる電磁弁８
が設けられている。通常の使用状態では、各電磁弁８は
それ自身の系統の配管経路３、７側に開けられ、これら
の配管経路３、７からの真空の供給が何らかの理由で止
まったときに、他方の系統の分岐配管経路７ａ、３ａ側
に開けられるように切り換えられる。なお、真空吸着装
置を使用しないときは、各電磁弁８は閉とされる。
【００１３】図２は、上述したハイブリッド式真空吸着
装置を、段ボールケース束１０のデパレタイジング装置
に組み込んだ状態を示す。このデパレタイジング装置
は、パレット１１上に積み付けられた紙類である段ボー
ルケース束１０を、ロボットハンド１２の先端部に取り
付けたハイブリッド式真空吸着装置の吸盤部４で１束ず
つ真空吸着して吊り上げ、所定の場所に積み卸すもので
ある。
装置を、段ボールケース束１０のデパレタイジング装置
に組み込んだ状態を示す。このデパレタイジング装置
は、パレット１１上に積み付けられた紙類である段ボー
ルケース束１０を、ロボットハンド１２の先端部に取り
付けたハイブリッド式真空吸着装置の吸盤部４で１束ず
つ真空吸着して吊り上げ、所定の場所に積み卸すもので
ある。
【００１４】前記ロボットハンド１２は、基台１３上で
水平面内に旋回する旋回部１４と、旋回部１４上で前後
に傾動する第１アーム部１５と、第１アーム部１５の先
端で上下に傾動する第２アーム部１６と、第２アーム部
１６の先端部で水平面内に回動する回動部１７とからな
り、回動部１７の下端に、取り付け板１８を介して吸盤
部４のベース板１９が垂下されている。したがって、ロ
ボットハンド１２を操作することにより、吸盤部４のベ
ース板１９が水平面内の直交２軸方向と垂直方向との３
軸方向に移動するとともに、水平面内で回動する。
水平面内に旋回する旋回部１４と、旋回部１４上で前後
に傾動する第１アーム部１５と、第１アーム部１５の先
端で上下に傾動する第２アーム部１６と、第２アーム部
１６の先端部で水平面内に回動する回動部１７とからな
り、回動部１７の下端に、取り付け板１８を介して吸盤
部４のベース板１９が垂下されている。したがって、ロ
ボットハンド１２を操作することにより、吸盤部４のベ
ース板１９が水平面内の直交２軸方向と垂直方向との３
軸方向に移動するとともに、水平面内で回動する。
【００１５】図３に示すように、前記ベース板１９は、
取り付け板１８の４隅からスライド自在なガイド棒２０
で垂下されており、万が一、ロボットハンド１２の操作
ミス等により、ベース板１９が異常に降下して下方の段
ボールケース束１０に当たったときは、垂下されたベー
ス板１９が上方に逃げ、吸盤部４や段ボールケース束１
０の損傷を防止できるようになっている。また、ベース
板１９の下面には一対の当て具２１が取り付けられ、そ
の中心部には、段ボールケース束１０等の積荷の上面を
検出する検出端子２２がスライド自在に垂下され、積荷
の上面と接触して上方に浮き上がる検出端子２２の上端
部２２ａを検出する２つの近接スイッチ２３ａ、２３ｂ
が、その上方の異なる高さ位置に取り付けられている。
取り付け板１８の４隅からスライド自在なガイド棒２０
で垂下されており、万が一、ロボットハンド１２の操作
ミス等により、ベース板１９が異常に降下して下方の段
ボールケース束１０に当たったときは、垂下されたベー
ス板１９が上方に逃げ、吸盤部４や段ボールケース束１
０の損傷を防止できるようになっている。また、ベース
板１９の下面には一対の当て具２１が取り付けられ、そ
の中心部には、段ボールケース束１０等の積荷の上面を
検出する検出端子２２がスライド自在に垂下され、積荷
の上面と接触して上方に浮き上がる検出端子２２の上端
部２２ａを検出する２つの近接スイッチ２３ａ、２３ｂ
が、その上方の異なる高さ位置に取り付けられている。
【００１６】図４に示すように、前記ベース板１９の下
面には、吸盤部４としての第１系統の８個の小さな吸盤
４ａと、第２系統の２個の大きな吸盤４ｂが、点対称に
配列されている。また、ベース板１９の下面には、真空
吸着される段ボールケース束１０の直交する２辺のエッ
ジを検出する各光学式センサ２４ａ、２４ｂも取り付け
られている。センサ２４ａは、検出される辺のエッジに
沿う方向で間隔を開けて２つ設けられており、段ボール
ケース束１０の水平面内での傾きも検出できるようにな
っている。
面には、吸盤部４としての第１系統の８個の小さな吸盤
４ａと、第２系統の２個の大きな吸盤４ｂが、点対称に
配列されている。また、ベース板１９の下面には、真空
吸着される段ボールケース束１０の直交する２辺のエッ
ジを検出する各光学式センサ２４ａ、２４ｂも取り付け
られている。センサ２４ａは、検出される辺のエッジに
沿う方向で間隔を開けて２つ設けられており、段ボール
ケース束１０の水平面内での傾きも検出できるようにな
っている。
【００１７】以下に、前記ロボットハンド１２の操作で
段ボールケース束１０を積み卸す手順を説明する。ま
ず、ロボットハンド１２は、吸盤部４のベース板１９を
所定の段ボールケース束１０の上方に移動させ、下側の
近接スイッチ２３ａで検出端子２２の上端部２２ａが検
出されるまでベース板１９を下降させて、段ボールケー
ス束１０の上面の高さ位置を検出する。こののち、ロボ
ットハンド１２は、ベース板１９を僅かに上昇させて段
ボールケース束１０の上面から浮かせ、水平面内の直交
する２軸方向に順次シフトさせて、各センサ２４ａ、２
４ｂで段ボールケース束１０の直交する２辺の各エッジ
位置を検出したのち、ベース板１９を段ボールケース束
１０の中心に位置決めする。
段ボールケース束１０を積み卸す手順を説明する。ま
ず、ロボットハンド１２は、吸盤部４のベース板１９を
所定の段ボールケース束１０の上方に移動させ、下側の
近接スイッチ２３ａで検出端子２２の上端部２２ａが検
出されるまでベース板１９を下降させて、段ボールケー
ス束１０の上面の高さ位置を検出する。こののち、ロボ
ットハンド１２は、ベース板１９を僅かに上昇させて段
ボールケース束１０の上面から浮かせ、水平面内の直交
する２軸方向に順次シフトさせて、各センサ２４ａ、２
４ｂで段ボールケース束１０の直交する２辺の各エッジ
位置を検出したのち、ベース板１９を段ボールケース束
１０の中心に位置決めする。
【００１８】つぎに、ロボットハンド１２はベース板１
９を下降させ、当て具２１が段ボールケース束１０の上
面に押し当てられて、上側の近接スイッチ２３ｂで検出
端子２２の上端部２２ａが検出されたときに、前記各電
磁弁８を開け、各吸盤４ａ、４ｂで段ボールケース束１
０を真空吸着する。このとき、各電磁弁８はそれ自身の
系統の配管経路３、７側に開けられており、何らかの理
由でこれらの配管経路３、７からの真空の供給が止まっ
たときは、他方の系統の分岐配管経路７ａ、３ａ側に開
けられるように切り換えられる。
９を下降させ、当て具２１が段ボールケース束１０の上
面に押し当てられて、上側の近接スイッチ２３ｂで検出
端子２２の上端部２２ａが検出されたときに、前記各電
磁弁８を開け、各吸盤４ａ、４ｂで段ボールケース束１
０を真空吸着する。このとき、各電磁弁８はそれ自身の
系統の配管経路３、７側に開けられており、何らかの理
由でこれらの配管経路３、７からの真空の供給が止まっ
たときは、他方の系統の分岐配管経路７ａ、３ａ側に開
けられるように切り換えられる。
【００１９】最後に、ロボットハンド１２は、吸盤部４
で真空吸着した段ボールケース束１０を吊り上げ、その
向きを揃えて所定の場所に積み卸す。前記センサ２４ａ
で段ボールケース束１０の水平面内での傾きが検出され
た場合は、この傾きを考慮してロボットハンド１２の回
動部１７が移動中に回動され、段ボールケース束１０の
向きが揃えられる。
で真空吸着した段ボールケース束１０を吊り上げ、その
向きを揃えて所定の場所に積み卸す。前記センサ２４ａ
で段ボールケース束１０の水平面内での傾きが検出され
た場合は、この傾きを考慮してロボットハンド１２の回
動部１７が移動中に回動され、段ボールケース束１０の
向きが揃えられる。
【００２０】図５は、図１に示した真空発生源である真
空ポンプ２と空気エジェクタ６から各系統の吸盤４ａ、
４ｂへの配管系統の変形例を示す。なお、この配管系統
図では、簡略化のために電磁弁の表示と各系統の吸盤４
ａ、４ｂの個別表示を省略し、真空の供給方向を矢印で
表示した。図５（ａ）は、真空ポンプ２と空気エジェク
タ６から、それぞれ各配管経路３、７で独立に各系統の
吸盤４ａ、４ｂへ真空を供給するようにした例、図５
（ｂ）は、配管経路７のみに分岐配管経路７ａを設け、
第１系統の吸盤４ａに空気エジェクタ６からも真空を供
給するようにした例、図５（ｃ）は、配管経路３のみに
分岐配管経路３ａを設け、第２系統の吸盤４ｂに真空ポ
ンプ２からも真空を供給するようにした例である。ま
た、図５（ｄ）は、吸盤４ａ、４ｂを一つの系統にまと
め、これに真空ポンプ２と空気エジェクタ６の両方から
真空を供給するようにした例である。
空ポンプ２と空気エジェクタ６から各系統の吸盤４ａ、
４ｂへの配管系統の変形例を示す。なお、この配管系統
図では、簡略化のために電磁弁の表示と各系統の吸盤４
ａ、４ｂの個別表示を省略し、真空の供給方向を矢印で
表示した。図５（ａ）は、真空ポンプ２と空気エジェク
タ６から、それぞれ各配管経路３、７で独立に各系統の
吸盤４ａ、４ｂへ真空を供給するようにした例、図５
（ｂ）は、配管経路７のみに分岐配管経路７ａを設け、
第１系統の吸盤４ａに空気エジェクタ６からも真空を供
給するようにした例、図５（ｃ）は、配管経路３のみに
分岐配管経路３ａを設け、第２系統の吸盤４ｂに真空ポ
ンプ２からも真空を供給するようにした例である。ま
た、図５（ｄ）は、吸盤４ａ、４ｂを一つの系統にまと
め、これに真空ポンプ２と空気エジェクタ６の両方から
真空を供給するようにした例である。
【００２１】上述した実施形態では、吸盤を２つの系統
に分け、各系統の吸盤に２つの異なる真空発生源から真
空を供給するようにしたが、吸盤を３系統以上に分け、
３つ以上の異なる真空発生源を設けてもよい。なお、異
なる真空発生源の組み合わせは、実施形態の真空ポンプ
と空気エジェクタの組み合わせに限定されることはな
く、任意の異なる真空発生源の組み合わせを採用するこ
とができる。
に分け、各系統の吸盤に２つの異なる真空発生源から真
空を供給するようにしたが、吸盤を３系統以上に分け、
３つ以上の異なる真空発生源を設けてもよい。なお、異
なる真空発生源の組み合わせは、実施形態の真空ポンプ
と空気エジェクタの組み合わせに限定されることはな
く、任意の異なる真空発生源の組み合わせを採用するこ
とができる。
【００２２】また、本発明のハイブリッド式真空吸着装
置は、吸盤で吸着される物品が通気性を有する紙類で形
成されたものに特に好適である。
置は、吸盤で吸着される物品が通気性を有する紙類で形
成されたものに特に好適である。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、この発明のハイブリッド
式真空吸着装置は、異なる複数の真空発生源を備え、い
ずれか一つの真空発生源の作動が停止しても、他方の真
空発生源から吸盤に真空を供給するようにしたので、吸
盤で真空吸着された物品の落下を確実に防止することが
できる。
式真空吸着装置は、異なる複数の真空発生源を備え、い
ずれか一つの真空発生源の作動が停止しても、他方の真
空発生源から吸盤に真空を供給するようにしたので、吸
盤で真空吸着された物品の落下を確実に防止することが
できる。
【図１】ハイブリッド式真空吸着装置の実施形態を示す
系統図
系統図
【図２】図１の真空吸着装置を組み込んだ段ボールケー
ス束のデパレタイジング装置を示す正面図
ス束のデパレタイジング装置を示す正面図
【図３】図２の真空吸着装置の吸盤部を拡大して示す正
面図
面図
【図４】図３の底面図
【図５】ａ、ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ図１の系統図の変
形例を示す概略配管系統図
形例を示す概略配管系統図
１ モータ
２ 真空ポンプ
３、３ａ 配管経路
４ 吸盤部
４ａ、４ｂ 吸盤
５ エア源
６ 空気エジェクタ
７、７ａ 配管経路
８ 電磁弁
１０ 段ボールケース束
１１ パレット
１２ ロボットハンド
１３ 基台
１４ 旋回部
１５、１６ アーム部
１７ 回動部
１８ 取り付け板
１９ ベース板
２０ ガイド棒
２１ 当て具
２２ 検出端子
２２ａ 上端部
２３ａ、２３ｂ 近接スイッチ
２４ａ、２４ｂ センサ
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3C007 AS02 BS10 BS22 CT05 CV08
CW08 DS02 FS03 FT02 FU05
KS05 KS36 KV11 KX07 LT12
LV07 MS30
3F004 FB00
Claims (4)
- 【請求項１】 物品を真空吸着する吸盤に真空を供給す
る真空発生源として、異なる複数の真空発生源を備え、
これらの真空発生源の少なくともいずれかから前記吸盤
に真空を供給するようにしたハイブリッド式真空吸着装
置。 - 【請求項２】 前記吸盤を複数系統に分け、これらの各
系統の吸盤に、前記異なる複数の真空発生源のうちの別
々の真空発生源から、それぞれ独立に真空を供給するよ
うにした請求項１に記載のハイブリッド式真空吸着装
置。 - 【請求項３】 前記複数系統に分けた少なくとも一つの
系統の吸盤に、この系統とは別系統の吸盤に真空を供給
する前記真空発生源からも真空を供給するようにした請
求項２に記載のハイブリッド式真空吸着装置。 - 【請求項４】 前記異なる複数の真空発生源の一つをモ
ータで作動される真空ポンプとし、もう一つをエア源で
作動される空気エジェクタとした請求項１乃至３のいず
れかに記載のハイブリッド式真空吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002130400A JP2003326487A (ja) | 2002-05-02 | 2002-05-02 | ハイブリッド式真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002130400A JP2003326487A (ja) | 2002-05-02 | 2002-05-02 | ハイブリッド式真空吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003326487A true JP2003326487A (ja) | 2003-11-18 |
Family
ID=29695802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002130400A Pending JP2003326487A (ja) | 2002-05-02 | 2002-05-02 | ハイブリッド式真空吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003326487A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021415A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Myotoku Ltd | 真空発生器及び真空発生システム |
| JP2012157935A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Ihi Corp | フィルム吸着装置 |
| JP2016163931A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-09-08 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | エンドエフェクタを構造体に結合させるための装置及び方法 |
| CN108482850A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-04 | 东莞新友智能科技有限公司 | Pcba防脱落搬运装置及使用该搬运装置的搬运方法 |
| JP2020006608A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | トヨタ紡織株式会社 | 成形品取出装置、および成形品取出方法、および成形品取出治具 |
| CN116277106A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-06-23 | 扬州棒杰新能源科技有限公司 | 一种提拉自吸紧式机械手 |
-
2002
- 2002-05-02 JP JP2002130400A patent/JP2003326487A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012021415A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Myotoku Ltd | 真空発生器及び真空発生システム |
| JP2012157935A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Ihi Corp | フィルム吸着装置 |
| JP2016163931A (ja) * | 2014-12-08 | 2016-09-08 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | エンドエフェクタを構造体に結合させるための装置及び方法 |
| CN108482850A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-04 | 东莞新友智能科技有限公司 | Pcba防脱落搬运装置及使用该搬运装置的搬运方法 |
| JP2020006608A (ja) * | 2018-07-10 | 2020-01-16 | トヨタ紡織株式会社 | 成形品取出装置、および成形品取出方法、および成形品取出治具 |
| JP7115085B2 (ja) | 2018-07-10 | 2022-08-09 | トヨタ紡織株式会社 | 成形品取出装置、および成形品取出方法、および成形品取出治具 |
| CN116277106A (zh) * | 2023-05-23 | 2023-06-23 | 扬州棒杰新能源科技有限公司 | 一种提拉自吸紧式机械手 |
| CN116277106B (zh) * | 2023-05-23 | 2023-08-04 | 扬州棒杰新能源科技有限公司 | 一种提拉自吸紧式机械手 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6451453B2 (ja) | ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法 | |
| US8167521B2 (en) | Substrate transfer apparatus and vertical heat processing apparatus | |
| JP4104099B2 (ja) | プローブカード搬送機構 | |
| US9929033B2 (en) | Gas purge apparatus, load port apparatus, installation stand for purging container, and gas purge method | |
| WO2011046129A1 (ja) | 薄板状物の把持装置、および薄板状物の把持方法 | |
| JP2003326487A (ja) | ハイブリッド式真空吸着装置 | |
| JP2006275595A (ja) | Ｉｃ搬送装置及びコンタクタ | |
| US20100280653A1 (en) | Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method | |
| JP5728770B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、ならびに、プログラム | |
| JP4805258B2 (ja) | カセット搬送システム | |
| JP5381865B2 (ja) | ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法 | |
| TW201015008A (en) | Gas filling socket, gas filling socket set, and gas filling apparatus | |
| JP4704365B2 (ja) | 物品載置装置 | |
| KR102512865B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법 | |
| JP2000012662A (ja) | 基板保持装置 | |
| JPH01127538A (ja) | 板状物受け渡し装置 | |
| US10157762B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate presence or absence checking method and program | |
| JPH10256348A (ja) | ウェーハの移送方法 | |
| KR102554039B1 (ko) | 호이스트 일체형 진공흡착 이송장치 | |
| KR20100046811A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
| WO1993006973A1 (en) | Vacuum suction device | |
| JP4226252B2 (ja) | 圧力異常検知装置及びそれを備えた無人搬送車 | |
| JPH09129710A (ja) | ウェーハ自動移載装置 | |
| JP2004237369A (ja) | ワーク搬送ツール | |
| JPH11198032A (ja) | プレッシャープレートのウェーハ真空吸着および離脱におけるエアー回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050217 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060509 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060707 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061017 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070227 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |