JPH09129710A - ウェーハ自動移載装置 - Google Patents
ウェーハ自動移載装置Info
- Publication number
- JPH09129710A JPH09129710A JP30387695A JP30387695A JPH09129710A JP H09129710 A JPH09129710 A JP H09129710A JP 30387695 A JP30387695 A JP 30387695A JP 30387695 A JP30387695 A JP 30387695A JP H09129710 A JPH09129710 A JP H09129710A
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- Japan
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- wafer
- suction
- vacuum
- suction pad
- vacuum pump
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェーハ１を吸着する真空発生源を複数系列
設け、一部の真空発生源が故障しても、ウェーハ１を吸
着し、かつ、ウェーハが移動中の落下防止機能をもち、
真空発生装置を簡易にするウェーハ自動移載装置を提供
する。 【解決手段】 １個の吸着パッド２がウェーハ１より外
れて吸着が継続できなくなった場合や、１個のエジェク
タ真空ポンプ３が故障し、ウェーハ１の吸着ができなく
なった場合でも、残りの吸着パッド２でウェーハ１を吸
着する。空気圧回路が故障してもウェーハ１の直下に爪
５が待機しているので、ウェーハ１の落下を防止するこ
とができる。エジェクタ真空ポンプ３で装置の設置スペ
ースが低減する。
設け、一部の真空発生源が故障しても、ウェーハ１を吸
着し、かつ、ウェーハが移動中の落下防止機能をもち、
真空発生装置を簡易にするウェーハ自動移載装置を提供
する。 【解決手段】 １個の吸着パッド２がウェーハ１より外
れて吸着が継続できなくなった場合や、１個のエジェク
タ真空ポンプ３が故障し、ウェーハ１の吸着ができなく
なった場合でも、残りの吸着パッド２でウェーハ１を吸
着する。空気圧回路が故障してもウェーハ１の直下に爪
５が待機しているので、ウェーハ１の落下を防止するこ
とができる。エジェクタ真空ポンプ３で装置の設置スペ
ースが低減する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ウェーハ自動移
載装置についてのものである。特に、複数のウェーハを
収納するキャリアから包装容器に、または、包装容器か
ら前記キャリアへウェーハを一枚ずつ自動的に移載する
ウェーハ自動移載装置についてのものである。
載装置についてのものである。特に、複数のウェーハを
収納するキャリアから包装容器に、または、包装容器か
ら前記キャリアへウェーハを一枚ずつ自動的に移載する
ウェーハ自動移載装置についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術によるウェーハ自動移載
装置の構成を図４により説明する。図４の１はウェー
ハ、２１は吸着ハンド、２２はアーム、２３は本体であ
る。図４において、吸着ハンド２１はウェーハ１の上面
を吸着する。図４のウェーハ自動移載装置はいわゆるロ
ボットであり、本体２３に接続された制御部（図示せ
ず）の指令により、ウェーハ１を前後進、または昇降、
あるいは回転させ、ウェーハ１を所定の場所から、他の
場所にウェーハ１を一枚ずつ自動的に移載する。
装置の構成を図４により説明する。図４の１はウェー
ハ、２１は吸着ハンド、２２はアーム、２３は本体であ
る。図４において、吸着ハンド２１はウェーハ１の上面
を吸着する。図４のウェーハ自動移載装置はいわゆるロ
ボットであり、本体２３に接続された制御部（図示せ
ず）の指令により、ウェーハ１を前後進、または昇降、
あるいは回転させ、ウェーハ１を所定の場所から、他の
場所にウェーハ１を一枚ずつ自動的に移載する。
【０００３】図５は、吸着ハンド２１の内部の部分構成
図である。図５において、吸着ブロック２１Ａのウェー
ハ接触面には、吸着穴が形成され、前記吸着穴は連結器
２１Ｂを介して、図示されない真空タンクに接続してい
る。前記真空ポンプと連結器２１Ｂの流路には電磁弁が
設けられ、前記電磁弁で流路を導通すれば、吸着ブロッ
ク２１Ａはウェーハ１を真空吸着する。前記電磁弁で流
路を遮断すれば、吸着ブロック２１Ａはウェーハ１を解
放する。
図である。図５において、吸着ブロック２１Ａのウェー
ハ接触面には、吸着穴が形成され、前記吸着穴は連結器
２１Ｂを介して、図示されない真空タンクに接続してい
る。前記真空ポンプと連結器２１Ｂの流路には電磁弁が
設けられ、前記電磁弁で流路を導通すれば、吸着ブロッ
ク２１Ａはウェーハ１を真空吸着する。前記電磁弁で流
路を遮断すれば、吸着ブロック２１Ａはウェーハ１を解
放する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図４に示される装置
は、真空圧を供給する真空タンクを用意する必要があ
る。また、図４では、ウェーハを移動中に、例えば流路
に空気漏れが発生すると、ウェーハを落下して破損して
しまう場合がある。一般に、真空タンクは高価であり、
また、真空タンクを設置するには広い場所を必要とす
る。一方、真空タンクをダイヤフラム形やベーン形等の
真空ポンプに置き換えることもあるが、これらはやは
り、設置スペースやコストまたは動力を要するなどの問
題もある。
は、真空圧を供給する真空タンクを用意する必要があ
る。また、図４では、ウェーハを移動中に、例えば流路
に空気漏れが発生すると、ウェーハを落下して破損して
しまう場合がある。一般に、真空タンクは高価であり、
また、真空タンクを設置するには広い場所を必要とす
る。一方、真空タンクをダイヤフラム形やベーン形等の
真空ポンプに置き換えることもあるが、これらはやは
り、設置スペースやコストまたは動力を要するなどの問
題もある。
【０００５】この発明は、前述の課題を解決するために
考えられたものであり、ウェーハを吸着するための真空
発生源を複数系列設け、一部の真空発生源が故障して
も、ウェーハを吸着し、かつ、ウェーハが移動中の落下
防止機能をもち、しかも、真空発生装置を簡易にするウ
ェーハ自動移載装置の提供を目的とする。
考えられたものであり、ウェーハを吸着するための真空
発生源を複数系列設け、一部の真空発生源が故障して
も、ウェーハを吸着し、かつ、ウェーハが移動中の落下
防止機能をもち、しかも、真空発生装置を簡易にするウ
ェーハ自動移載装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、第１の発明は、ウェーハ１を吸着する複数の吸着パ
ッド２と、吸着パッド２と接続し、空気を作動流体とす
る複数のエジェクタ真空ポンプ３とを備える。
め、第１の発明は、ウェーハ１を吸着する複数の吸着パ
ッド２と、吸着パッド２と接続し、空気を作動流体とす
る複数のエジェクタ真空ポンプ３とを備える。
【０００７】第２の発明は、ウェーハ１の回りに配置す
る複数の回転軸４と、回転軸４の終端に取り付け、複数
の回転軸４を回転するとウェーハ１の落下を防止する向
きに回転する複数の爪５とを備える。
る複数の回転軸４と、回転軸４の終端に取り付け、複数
の回転軸４を回転するとウェーハ１の落下を防止する向
きに回転する複数の爪５とを備える。
【０００８】第１の発明によれば、１個の吸着パッドが
ウェーハより外れて吸着が継続できなくなった場合や、
１個のエジェクタ真空ポンプが故障し、ウェーハの吸着
ができなくなった場合でも、残りの吸着パッドでウェー
ハを吸着する。
ウェーハより外れて吸着が継続できなくなった場合や、
１個のエジェクタ真空ポンプが故障し、ウェーハの吸着
ができなくなった場合でも、残りの吸着パッドでウェー
ハを吸着する。
【０００９】第２の発明は、全ての吸着パッド、また
は、全てのエジェクタ真空ポンプが故障しても、ウェー
ハの直下に爪が待機しているので、ウェーハの落下を防
止することができる。
は、全てのエジェクタ真空ポンプが故障しても、ウェー
ハの直下に爪が待機しているので、ウェーハの落下を防
止することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の一実施の形態について説明する。図１と図２はこの発
明の一実施の構成例を示す構成図であり、図１は正面
図、図２は図１の平面図である
の一実施の形態について説明する。図１と図２はこの発
明の一実施の構成例を示す構成図であり、図１は正面
図、図２は図１の平面図である
【００１１】図１において、２Ａ〜２Ｄは吸着パッド、
３Ａと３Ｂはエジェクタ真空ポンプ、４Ａ〜４Ｄは回転
軸、５Ａ〜５Ｄは爪である。また、６Ａ〜６Ｄはプー
リ、７Ａと７Ｂはベルト、８はモータ、８Ａと８Ｂはプ
ーリである。
３Ａと３Ｂはエジェクタ真空ポンプ、４Ａ〜４Ｄは回転
軸、５Ａ〜５Ｄは爪である。また、６Ａ〜６Ｄはプー
リ、７Ａと７Ｂはベルト、８はモータ、８Ａと８Ｂはプ
ーリである。
【００１２】図１に示されるように、４つの吸着パッド
２は接続金具を介して、下方基板ＤＢに取り付けられて
いる。エジェクタ真空ポンプ３Ａ・３Ｂは、上方基板Ｕ
Ｂに立設する垂直基板ＶＢに配置されている。上方基板
ＵＢは支柱で下方基板ＤＢを結合するとともに、回転軸
４Ａ〜４Ｄを軸受で支持する。
２は接続金具を介して、下方基板ＤＢに取り付けられて
いる。エジェクタ真空ポンプ３Ａ・３Ｂは、上方基板Ｕ
Ｂに立設する垂直基板ＶＢに配置されている。上方基板
ＵＢは支柱で下方基板ＤＢを結合するとともに、回転軸
４Ａ〜４Ｄを軸受で支持する。
【００１３】回転軸４のそれぞれの終端には、爪５がそ
れぞれに取り付けられる。回転軸４のそれぞれの始端に
はプーリ６が取り付けられる。モータ８は上方基板ＵＢ
の中心に取り付けられ、モータ８の駆動軸を上方基板Ｕ
Ｂから突出させる。
れぞれに取り付けられる。回転軸４のそれぞれの始端に
はプーリ６が取り付けられる。モータ８は上方基板ＵＢ
の中心に取り付けられ、モータ８の駆動軸を上方基板Ｕ
Ｂから突出させる。
【００１４】モータ８の駆動軸の下段にはプーリ８Ａが
固定され、上段にはプーリ８Ｂが固定される。プーリ８
Ａはベルト７Ａでプーリ６Ａ・６Ｂに巻き掛けされ、プ
ーリ８Ｂはベルト７Ｂでプーリ６Ｃ・６Ｄに巻き掛けさ
れる。モータ８を駆動すると、爪５Ａ〜５Ｄを開閉す
る。
固定され、上段にはプーリ８Ｂが固定される。プーリ８
Ａはベルト７Ａでプーリ６Ａ・６Ｂに巻き掛けされ、プ
ーリ８Ｂはベルト７Ｂでプーリ６Ｃ・６Ｄに巻き掛けさ
れる。モータ８を駆動すると、爪５Ａ〜５Ｄを開閉す
る。
【００１５】図２は図１の平面図であるが、特に、吸着
パッド２Ａ〜２Ｄと爪５Ａ〜５Ｄの配置を抽出してい
る。図２に示されるように、吸着パッド２Ａ〜２Ｄはウ
ェーハ１の中心から同じ距離であり、中心から４分割し
た位置に配置され、ウェーハ１の外周端でウェーハ１を
吸着する。
パッド２Ａ〜２Ｄと爪５Ａ〜５Ｄの配置を抽出してい
る。図２に示されるように、吸着パッド２Ａ〜２Ｄはウ
ェーハ１の中心から同じ距離であり、中心から４分割し
た位置に配置され、ウェーハ１の外周端でウェーハ１を
吸着する。
【００１６】また、爪５Ａ〜５Ｄはウェーハ１の回りに
配置され、モータ８が駆動すると爪５Ａ〜５Ｄの向きを
変える。図２は、爪５Ａ〜５Ｄがウェーハ１の中心に向
いている状態である。爪５Ａ〜５Ｄは、ウェーハ１の落
下を防止する向きに閉じている。図２の状態から、モー
タ８が駆動すると、爪５Ａ〜５Ｄは開くので、吸着パッ
ド２Ａ〜２Ｄでウェーハ１を着脱できる。
配置され、モータ８が駆動すると爪５Ａ〜５Ｄの向きを
変える。図２は、爪５Ａ〜５Ｄがウェーハ１の中心に向
いている状態である。爪５Ａ〜５Ｄは、ウェーハ１の落
下を防止する向きに閉じている。図２の状態から、モー
タ８が駆動すると、爪５Ａ〜５Ｄは開くので、吸着パッ
ド２Ａ〜２Ｄでウェーハ１を着脱できる。
【００１７】図１に示された移載装置は、実施例では、
複数のウェーハを収納するキャリアからウェーハを一枚
ずつ取り出し、ウェーハを吸着保持する。そして、図１
の装置全体が図示されない駆動機構により、昇降あるい
は水平移動して、包装容器にウェーハを移載する。複数
のウェーハを収納する包装容器から、キャリアにウェー
ハを移載するときも、前述と同様である。
複数のウェーハを収納するキャリアからウェーハを一枚
ずつ取り出し、ウェーハを吸着保持する。そして、図１
の装置全体が図示されない駆動機構により、昇降あるい
は水平移動して、包装容器にウェーハを移載する。複数
のウェーハを収納する包装容器から、キャリアにウェー
ハを移載するときも、前述と同様である。
【００１８】次に、この発明の空気圧回路を図３により
説明する。図３の１０は圧縮空気の発生源であり、電磁
開閉弁１１に接続する。空気源１０はエジェクタ真空ポ
ンプ３Ａ・３Ｂの供給ポートに接続されている。相対向
して配置される吸着パッド２Ａと吸着パッド２Ｃはエジ
ェクタ真空ポンプ３Ａの真空ポートに接続される。相対
向して配置される吸着パッド２Ｂと吸着パッド２Ｄはエ
ジェクタ真空ポンプ３Ｂの真空ポートに接続される。
説明する。図３の１０は圧縮空気の発生源であり、電磁
開閉弁１１に接続する。空気源１０はエジェクタ真空ポ
ンプ３Ａ・３Ｂの供給ポートに接続されている。相対向
して配置される吸着パッド２Ａと吸着パッド２Ｃはエジ
ェクタ真空ポンプ３Ａの真空ポートに接続される。相対
向して配置される吸着パッド２Ｂと吸着パッド２Ｄはエ
ジェクタ真空ポンプ３Ｂの真空ポートに接続される。
【００１９】図３に示されるように、この発明は、電磁
開閉弁１１を作動させることにより、吸着パッド２Ａ〜
２Ｄでウェーハ１を真空吸着または脱着する。そして、
真空発生源を２系列備えているので、一方のエジェクタ
真空ポンプが故障しても、他の組の吸着パッドでウェー
ハ１の落下を防止できる。さらに、空気源が停止した場
合でも、開閉爪が待機しているのでウェーハ１の落下を
防止できる。更に、真空発生源を小型のエジェクタ真空
ポンプとしたので、移載装置を容易に設置できる。
開閉弁１１を作動させることにより、吸着パッド２Ａ〜
２Ｄでウェーハ１を真空吸着または脱着する。そして、
真空発生源を２系列備えているので、一方のエジェクタ
真空ポンプが故障しても、他の組の吸着パッドでウェー
ハ１の落下を防止できる。さらに、空気源が停止した場
合でも、開閉爪が待機しているのでウェーハ１の落下を
防止できる。更に、真空発生源を小型のエジェクタ真空
ポンプとしたので、移載装置を容易に設置できる。
【００２０】この発明の実施の形態は、８インチのウェ
ーハを搬送対象としたが、他の外径のウェーハでも、こ
の発明の技術的思想を適用できる。また、実施形態にお
いて、真空発生源を２系列とし、吸着パッドを２組と
し、ウェーハ受けを４つとしたが、更に多系列あるは複
数構成としても、この発明の技術的思想を逸脱するもの
ではない。
ーハを搬送対象としたが、他の外径のウェーハでも、こ
の発明の技術的思想を適用できる。また、実施形態にお
いて、真空発生源を２系列とし、吸着パッドを２組と
し、ウェーハ受けを４つとしたが、更に多系列あるは複
数構成としても、この発明の技術的思想を逸脱するもの
ではない。
【００２１】
【発明の効果】この発明は、真空発生源を複数系列備
え、開閉爪が待機しているので、装置の空気回路に故障
が発生してもウェーハの落下を防止できる。更に、真空
発生源を小型にしたので、装置を容易に設置できる。
え、開閉爪が待機しているので、装置の空気回路に故障
が発生してもウェーハの落下を防止できる。更に、真空
発生源を小型にしたので、装置を容易に設置できる。
【図１】この発明によるウェーハ自動移載装置の構成を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】この発明によるウェーハ自動移載装置の構成を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図３】この発明の空気圧回路図である。
【図４】従来技術によるウェーハ自動移載装置の構成図
である。
である。
【図５】図４の部分構成図である。
１ ウェーハ ２Ａ 吸着パッド ２Ｂ 吸着パッド ２Ｃ 吸着パッド ２Ｄ 吸着パッド ３Ａ エジェクタ真空ポンプ ３Ｂ エジェクタ真空ポンプ ４Ａ 回転軸 ４Ｂ 回転軸 ４Ｃ 回転軸 ４Ｄ 回転軸 ５Ａ 爪 ５Ｂ 爪 ５Ｃ 爪 ５Ｄ 爪
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェーハ(1) を吸着する複数の吸着パッ
ド(2) と、 吸着パッド(2) と接続し、空気を作動流体とする複数の
エジェクタ真空ポンプ(3) とを備えることを特徴とする
ウェーハ自動移載装置。 - 【請求項２】 ウェーハ(1) の回りに配置する複数の回
転軸(4) と、 回転軸(4) の終端に取り付け、複数の回転軸(4) を回転
するとウェーハ(1) の落下を防止する向きに回転する複
数の爪(5) とを備えることを特徴とするウェーハ自動移
載装置。 - 【請求項３】 ウェーハ(1) の外周端でウェーハ(1) を
吸着する複数の吸着パッド(2A)・(2B)・(2C)・(2D)を配
置し、相対向する第１の吸着パッド(2A)と第３の吸着パ
ッド(2C)のそれぞれの流路を第１のエジェクタ真空ポン
プ(3A)の真空ポートに接続し、相対向する第２の吸着パ
ッド(2B)と第４の吸着パッド(2D)のそれぞれの流路を第
２のエジェクタ真空ポンプ(3B)の真空ポートに接続する
ことを特徴とする請求項１記載のウェーハ自動移載装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30387695A JPH09129710A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ウェーハ自動移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30387695A JPH09129710A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ウェーハ自動移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09129710A true JPH09129710A (ja) | 1997-05-16 |
Family
ID=17926343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30387695A Pending JPH09129710A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ウェーハ自動移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09129710A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001027992A1 (fr) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Nikon Corporation | Mecanisme empechant la chute d'un substrat, et testeur de substrats pourvus d'un tel mecanisme |
| CN101783309A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-07-21 | 无锡先导自动化设备有限公司 | 一种硅片并排输送机构 |
| CN101789385A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-07-28 | 无锡先导自动化设备有限公司 | 一种龙门式硅片转移机构 |
| WO2010103829A1 (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | パナソニック株式会社 | 基板搬送処理システムおよび基板搬送処理方法、ならびに部品実装装置および方法 |
| CN103042530A (zh) * | 2012-12-10 | 2013-04-17 | 上海通领汽车饰件有限公司 | 机械手夹具 |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP30387695A patent/JPH09129710A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001027992A1 (fr) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Nikon Corporation | Mecanisme empechant la chute d'un substrat, et testeur de substrats pourvus d'un tel mecanisme |
| JP2001110882A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Nikon Corp | 基板落下防止機構およびこれを備えた基板検査装置 |
| US6635516B1 (en) | 1999-10-08 | 2003-10-21 | Nikon Corporation | Substrate dropping prevention mechanism and substrate inspection device provided therewith |
| JP4517315B2 (ja) * | 1999-10-08 | 2010-08-04 | 株式会社ニコン | 基板落下防止機構およびこれを備えた基板検査装置 |
| WO2010103829A1 (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | パナソニック株式会社 | 基板搬送処理システムおよび基板搬送処理方法、ならびに部品実装装置および方法 |
| CN102348621A (zh) * | 2009-03-11 | 2012-02-08 | 松下电器产业株式会社 | 基板搬运处理系统及基板搬运处理方法、以及部件安装装置及方法 |
| CN101783309A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-07-21 | 无锡先导自动化设备有限公司 | 一种硅片并排输送机构 |
| CN101789385A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-07-28 | 无锡先导自动化设备有限公司 | 一种龙门式硅片转移机构 |
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