JP2019124279A - 切替弁および塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】気泡による不具合の発生を抑制することができる切替弁および塗布装置を提供することである。【解決手段】実施形態に係る切替弁は、弁室と、それぞれが前記弁室に接続された第１のポート、第２のポート、および第３のポートと、を有するケースと、前記弁室に回転可能に設けられ、外壁に凹部を有する弁体と、を備えている。【選択図】図４

Description

本発明の実施形態は、切替弁および塗布装置に関する。

ノズルから流動体を吐出し、基板などのワークの表面に流動体を塗布する塗布装置がある。また、ノズルと、流動体が収納されたタンクとの間には切替弁が設けられている。流動体をノズルに供給する際には、切替弁によりノズルとタンクとが接続されるようにする。流動体の供給を停止する際には、切替弁により流路を切り替えて、ノズルと回収タンクなどとが接続されるようにする。
ところが、切替弁により流路を切り替えた際に、配管の内部や切替弁の内部にある流動体に気泡が発生する場合がある。流動体に気泡が発生すると、気泡を含む流動体がワークの表面に供給されて、塗布ムラが生じたり、塗布膜の内部にボイドが発生したりするおそれがある。
そこで、気泡による不具合の発生を抑制することができる技術の開発が望まれていた。

特開２０１４−６３８０７号公報

本発明が解決しようとする課題は、気泡による不具合の発生を抑制することができる切替弁および塗布装置を提供することである。

実施形態に係る切替弁は、弁室と、それぞれが前記弁室に接続された第１のポート、第２のポート、および第３のポートと、を有するケースと、前記弁室に回転可能に設けられ、外壁に凹部を有する弁体と、を備えている。

本実施の形態に係る切替弁および塗布装置を例示するための模式図である。 （ａ）〜（ｃ）は、比較例に係る切替弁を例示するための模式断面図である。 本実施の形態に係る切替弁を例示するための模式斜視図である。 本実施の形態に係る切替弁を例示するための模式断面図である。 （ａ）は、比較例に係る切替弁のポートの配置を例示するための模式図である。（ｂ）、（ｃ）は、本実施の形態に係る切替弁のポートの配置を例示するための模式図である。 （ａ）〜（ｃ）は、孔による流路の切り替えを例示するための模式図である。 （ａ）〜（ｃ）は、凹部による流路の切り替えを例示するための模式図である。 （ａ）〜（ｃ）は、他の実施形態に係る凹部を例示するための模式図である。 他の実施形態に係る塗布装置を例示するための模式図である。 （ａ）は、切替弁の動作を例示するためのタイミングチャートである。（ｂ）は、流動体の圧力変化を例示するための模式グラフ図である。

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
以下においては、一例として、本実施の形態に係る塗布装置がスピンコーターである場合を説明する。なお、本実施の形態に係る塗布装置は、スピンコーターなどの回転するテーブルを有するものに限定されるわけではない。例えば、塗布装置は、固定されたテーブルを有するものであってもよいし、ＸＹテーブルなどの平面内を移動するテーブルを有するものであってもよいし、ドラム状などの曲面のテープルを有するものであってもよいし、ベルトコンベアなどの帯状のテーブルを有するものであってもよい。

図１は、本実施の形態に係る切替弁１および塗布装置１００を例示するための模式図である。
図２（ａ）〜（ｃ）は、比較例に係る切替弁２００を例示するための模式断面図である。
図３は、本実施の形態に係る切替弁１を例示するための模式斜視図である。
図４は、本実施の形態に係る切替弁１を例示するための模式断面図である。
図１に示すように、塗布装置１００には、切替弁１、供給部２、塗布部３、載置部４、回収タンク５（第２のタンクの一例に相当する）、および制御部６が設けられている。

図３および図４に示すように、切替弁１には、ケース１１、弁体１２、および駆動部１３が設けられている。
ケース１１には、ポート１ａ（第１のポートの一例に相当する）、ポート１ｂ（第２のポートの一例に相当する）、およびポート１ｃ（第３のポートの一例に相当する）が設けられている。ポート１ａは供給部２（タンク２１（第１のタンクに相当する））に接続され、ポート１ｂは塗布部３（ノズル３２）に接続され、ポート１ｃは回収タンク５に接続されている。また、ケース１１の内部には、弁室１１ａが設けられている。ポート１ａ、ポート１ｂ、およびポート１ｃのそれぞれは、弁室１１ａに接続されている。また、弁体１２の中心軸１２ａに平行な方向におけるポート１ｃの位置は、ポート１ｂの位置と異なっている。

弁体１２は、弁室１１ａの内部に設けられている。弁体１２は、中心軸１２ａを中心として回転可能に設けられている。弁体１２は、円柱状を呈するものとすることができる。ただし、弁体１２の形状は円柱状に限定されるわけではない。弁体１２の形状は、例えば、球状であってもよいし、円錐台状であってもよい。すなわち、弁体１２は、中心軸１２ａに直交する方向の断面が円となる形状を有していればよい。弁体１２の外壁には凹部１２ｂが設けられている。凹部１２ｂと弁室１１ａの内壁との間の空間は、流動体の流路となる。後述するように、凹部１２ｂは、ポート１ａと接続された際には、ポート１ｂまたはポート１ｃと接続される。すなわち、切替弁１は、三方弁とすることができる。

駆動部１３は、弁体１２を回転させる。駆動部１３は、例えば、エアシリンダなどの空圧機器、ソレノイドなどの電気機器、サーボモータやパルスモータなどの制御モータなどとすることができる。弁体１２の回転速度の制御や、弁体１２の回転位置の制御などを考慮すると、駆動部１３は、制御モータとすることが好ましい。

切替弁１は、凹部１２ｂにより流路の切り替えを行う。例えば、流動体を供給する際には、切替弁１は、凹部１２ｂを介してポート１ａとポート１ｂとの間を連通させる。この際、ポート１ａとポート１ｃとの間は閉鎖される。流動体の供給を停止する際には、切替弁１は、凹部１２ｂを介してポート１ｂとポート１ｃとの間を連通させる。この際、ポート１ａとポート１ｂとの間は閉鎖される。
なお、ポート１ａ、ポート１ｂ、およびポート１ｃの配置や、凹部１２ｂの形状などに関する詳細は後述する。

ここで、比較例に係る切替弁２００について説明する。
図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、切替弁２００も三方弁である。切替弁２００はケース２０１と弁体２０２を有する。ケース２０１の内部には、弁体２０２が設けられる弁室２０１ａが形成されている。ケース２０１には、ポート２００ａ、ポート２００ｂ、およびポート２００ｃが設けられている。ポート２００ａは、供給部２に接続し、ポート２００ｂは塗布部３に接続し、ポート２００ｃは回収タンク５に接続することができる。
弁体２０２は、球状を呈し、中心軸２０２ａを中心として回転する。弁体２０２の内部には、Ｌ字状の孔２０２ｂが設けられている。ポート２００ａ、ポート２００ｂ、ポート２００ｃ、および孔２０２ｂのそれぞれの中心は、中心軸２０２ａに直交する同じ平面内に設けられている。
流動体を供給する際には、流動体を供給するポンプを動作させ、図２（ａ）に示すように、孔２０２ｂの一方の開口とポート２００ａとを接続し、孔２０２ｂの他方の開口とポート２００ｂとを接続する。この際、ポート２００ｃは弁体２０２の外壁により閉鎖される。流動体の塗布を停止させる際には、流動体を供給するポンプを停止させ、弁体２０２を回転させて、図２（ｃ）に示すように、孔２０２ｂの一方の開口とポート２００ｃとを接続し、孔２０２ｂの他方の開口とポート２００ａとを接続する。この際、ポート２００ｂは弁体２０２の外壁により閉鎖される。その後、流動体の塗布を再度行う際には、弁体２０２を逆方向に回転させて、図２（ａ）に示す状態にする。

図２（ｂ）に示すように、流路の切り替えを行っている最中には、ポート２００ａ、ポート２００ｂ、およびポート２００ｃは、弁体２０２の外壁により閉鎖される。また、孔２０２ｂの２つの開口は、弁室２０１ａの内壁により閉鎖される。そのため、流路の切り替えを行っている最中には、供給部２の側にある流動体と、孔２０２ｂの内部にある流動体に圧力がかかったままとなる。すなわち、これらの部分にある流動体には残圧がある。この場合、流動体の圧力が高いと流路に混入したガスが流動体に溶け込み易くなる。そして、図２（ｃ）に示すように、ほぼ大気圧の回収タンク５の側と、孔２０２ｂおよび供給部２の側と、が接続されると、孔２０２ｂおよび供給部２の側にある流動体の圧力が急激に低下する。そのため、流動体に溶存していたガスが析出し易くなる。

ガスが析出すると、流動体に気泡が発生する。孔２０２ｂおよび供給部２の側にある流動体は、残圧により回収タンク５の内部に押し出されるが、全ての流動体が回収タンク５の内部に収納されるわけではない。すなわち、孔２０２ｂおよび供給部２の側に気泡を含む流動体が残留することになる。孔２０２ｂおよび供給部２の側に気泡を含む流動体が残留していると、流動体の塗布を再度行う際に気泡を含む流動体がワークの表面に供給されて、塗布ムラが生じたり、塗布膜の内部にボイドが発生したりするおそれがある。
また、後述するように、Ｌ字状の孔２０２ｂを用いて流路の切り替えを行うと、切り替え時間、すなわち流動体の圧力が高くなっている時間が長くなり、溶存ガスの量が多くなる。そのため、発生する気泡の数や体積が増加しやすくなる。

ここで、比較例に係る切替弁２００のポートの配置と、本実施の形態に係る切替弁１のポートの配置とについて説明する。
図５（ａ）は、比較例に係る切替弁２００のポートの配置を例示するための模式図である。
図５（ｂ）、（ｃ）は、本実施の形態に係る切替弁１のポートの配置を例示するための模式図である。
前述したように、比較例に係る切替弁２００においては、ポート２００ａ、ポート２００ｂ、ポート２００ｃ、および孔２０２ｂのそれぞれの中心は、中心軸２０２ａに直交する同じ平面内に設けられている。すなわち、ポート２００ａ、ポート２００ｂ、およびポート２００ｃのそれぞれの中心は、図５（ａ）に示すように、重力方向の同じ位置に設けられている。そのため、残留している流動体に含まれる気泡が移動し難くなる。この場合、ポート２００ｂの側は塗布部３の側（ワーク１１０側）となるので、気泡を含む流動体があると、気泡を含む流動体がワークの表面に供給され易くなる。

これに対して、本実施の形態に係る切替弁１においては、図５（ｂ）、（ｃ）に示すように、ポート１ｃは、ポート１ｂよりも重力方向の上方に設けられている。そのため、ワークの表面に供給され易い塗布部３の側にある気泡が凹部１２ｂの側に移動しやすくなる。気泡が凹部１２ｂの側に移動すれば、気泡とノズル３２の先端との間の距離が長くなるので、気泡がワークの表面に供給されるのを抑制することができる。また、ポート１ｃはポート１ｂよりも重力方向の上方に設けられているので、流路の切り替えが行われた際に、凹部１２ｂを介して気泡をポート１ｃの側に排出することができる。
すなわち、切替弁１とすれば、気泡がワークに供給されるのを抑制することができるので、気泡による不具合の発生を抑制することができる。

重力方向におけるポート１ｃの中心と、ポート１ｂの中心との間の距離Ｌ１は、０（ゼロ）よりも大きければよい。距離Ｌ１の適正値は、流動体の粘度や配管抵抗などの影響を受けるので、実験やシミュレーションを行うことで適宜決定することが好ましい。

凹部１２ｂおよび供給部２の側にある流動体は、残圧により回収タンク５の内部に押し出される。そのため、ポート１ａは、重力方向において、ポート１ｃと同じ位置に設けることもできる。しかしながら、気泡の排出を考慮すると、図５（ｂ）に示すようにポート１ａをポート１ｃとポート１ｂの間に設けたり、図５（ｃ）に示すようにポート１ａをポート１ｂと同じ位置に設けたりすることが好ましい。この場合、ポート１ａをポート１ｂの側に設けるほど気泡の排出が容易となる。

次に、比較例に係る切替弁２００の孔２０２ｂと、本実施の形態に係る切替弁１の凹部１２ｂとについて説明する。
図６（ａ）〜（ｃ）は、孔２０２ｂによる流路の切り替えを例示するための模式図である。
図７（ａ）〜（ｃ）は、凹部１２ｂによる流路の切り替えを例示するための模式図である。
前述したように、孔２０２ｂは、Ｌ字状を呈する流路となっている。そのため、流動体を供給する際には、図６（ａ）に示すように、孔２０２ｂの一方の開口とポート２００ａとを接続し、孔２０２ｂの他方の開口とポート２００ｂとを接続する。流動体の塗布を停止させる際には、図６（ｃ）に示すように、孔２０２ｂの一方の開口とポート２００ｃとを接続し、孔２０２ｂの他方の開口とポート２００ａとを接続する。流路の切り替えを行っている最中には、図６（ｂ）に示すように、孔２０２ｂの一方の開口は、ポート２００ａとポート２００ｃとの間に位置し、孔２０２ｂの他方の開口は、ポート２００ａとポート２００ｂとの間に位置している。

すなわち、比較例に係る切替弁２００の場合には、孔２０２ｂの２つの開口と、２つのポートとが重ならなければ流路の切り替えが行われない。ここで、ポート２００ａとポート２００ｂとの間の距離、およびポート２００ａとポート２００ｃとの間の距離を短くすれば、流路の切り替え時間を短くすることができる。しかしながら、これらの距離を短くするのには限界がある。そのため、Ｌ字状の孔２０２ｂを有する切替弁２００とすれば、流路の切り替え時間が長くなる。この場合、切替弁２００が切り替わる過程で密閉状態が発生して内圧が上昇し、切り替わりが完了して圧力が開放された瞬間に流動体に溶けていたガスが気泡として発生することがある。このため、内圧が上昇しないように切替弁を短時間で切り替える必要がある。

これに対して、本実施の形態に係る切替弁１には、凹部１２ｂが設けられている。そのため、流動体を供給する際には、図７（ａ）に示すように、凹部１２ｂの一方の端面１２ｂａの近傍とポート１ａとを接続し、凹部１２ｂの他方の端面１２ｂｂの近傍とポート１ｂとを接続する。流動体の塗布を停止させる際には、図７（ｃ）に示すように凹部１２ｂの端面１２ｂａの近傍とポート１ｃとを接続し、凹部１２ｂの端面１２ｂｂの近傍とポート１ａとを接続する。流路の切り替えを行っている最中には、図７（ｂ）に示すように、凹部１２ｂにはポート１ａのみが接続され、凹部１２ｂにはポート１ｂ、１ｃが接続されない。

すなわち、本実施の形態に係る切替弁１の場合には、凹部１２ｂの端面の近傍と、ポート１ｂまたはポート１ｃとが重なれば流路の切り替えを行うことができる。この場合、凹部１２ｂの端面の位置は、ポート１ａ〜１ｃの位置にかかわらず変更することができる。そのため、ポート１ａとポート１ｂとの間の距離、およびポート１ａとポート１ｃとの間の距離を短くすることができない場合であっても、凹部１２ｂの端面の位置を変更することで流路の切り替え時間を短くすることができる。

また、凹部１２ｂの端面１２ｂａと端面１２ｂｂとの間の距離をＬ１とし、ポート１ｂのポート１ｃ側の端部と、ポート１ｃのポート１ｂ側の端部との間の距離をＬ２とした場合に、「Ｌ１＞Ｌ２」とすることもできる。この様にすれば、流路の切り替え時間を短くすることができる。この場合、凹部１２ｂの端面１２ｂｂがポート１ｂの外側に移動し終えるまでの時間、すなわち、ポート１ｂが閉鎖されるまでの時間が長くなる。しかしながら、凹部１２ｂが、ポート１ｂの側よりも管路抵抗が少ないポート１ｃの側にも接続されれば、流動体はポート１ｃの側に流れ易くなり、ポート１ｂの側に流れ難くなる。そのため、ポート１ｂが閉鎖されるまでの時間が多少長くなったとしてもノズル３２からの流動体の漏れは僅かなものとなる。
一方、「Ｌ１≦Ｌ２」とすれば、ポート１ｂが閉鎖されるまでの時間を短くすることができる。そのため、流動体の粘度が低くノズル３２から流動体が漏れやすい場合であっても、流動体の漏れを抑制することができる。

図８（ａ）〜（ｃ）は、他の実施形態に係る凹部１２ｂを例示するための模式図である。
図８（ａ）に示すように、凹部１２ｂの端面１２ｂｂおよび端面１２ｂｃは、中心軸１２ａに対して傾斜させることができる。
また、図８（ｂ）、（ｃ）に示すように、凹部１２ｂのポート１ｂと重なる位置には、端面１２ｂｂから突出する接続部１２ｂｂ１を設けることができる。凹部１２ｂのポート１ｃと重なる位置には、端面１２ｂｃから突出する接続部１２ｂｃ１を設けることができる。接続部１２ｂｂ１の先端の寸法は、ポート１ｂの直径寸法よりも小さくすることができる。接続部１２ｂｃ１の先端の寸法は、ポート１ｃの直径寸法よりも小さくすることができる。端面１２ｂｂおよび端面１２ｂｃを傾斜させたり、接続部１２ｂｂ１および接続部１２ｂｃ１を設けたりすれば、ポート１ｂおよびポート１ｃの開閉を徐々に行うことができる。そのため、流動体の圧力を徐々に変化させることができるので気泡の発生を抑制することができる。

次に、図１に戻って、塗布装置１００についてさらに説明する。
供給部２には、タンク２１およびポンプ２２が設けられている。
タンク２１は、流動体を収納する。流動体は、例えば、フォトレジスト液などとすることができる。ただし、流動体は、フォトレジスト液に限定されるわけではない。流動体は、水よりも粘度の高いものであればよい。流動体は、例えば、樹脂を溶剤で溶解させたものや接着剤などであってもよい。
ポンプ２２の吸引口は、タンク２１の内部に設けられた配管に接続されている。ポンプ２２の排出口は、配管を介して切替弁１のポート１ａに接続されている。すなわち、ポート１ａがポンプ２２を介してタンク２１と接続されている。ポンプ２２は、タンク２１に収納されている流動体を切替弁１を介して塗布部３（ノズル３２）に供給する。また、ポンプ２２には、流量調整弁や開閉弁などを設けることができる。なお、流動体の供給手段としてポンプ２２を例示したが、流動体の供給手段はポンプ２２に限定されるわけではない。流動体の供給手段は、例えば、タンク２１に窒素ガスなどを供給し、タンク２１に収納されている流動体を圧送するものであってもよい。

塗布部３には、移動ユニット３１およびノズル３２が設けられている。
移動ユニット３１は、移動部３１ａおよび昇降部３１ｂを有する。
移動部３１ａは、昇降部３１ｂを介して、テーブル４１の面に平行な方向にノズル３２を移動させる。移動部３１ａは、テーブル４１の上方と、載置部４の外方との間においてノズル３２を移動させる。昇降部３１ｂは、移動部３１ａに設けられている。昇降部３１ｂはノズル３２を保持し、テーブル４１の面に垂直な方向にノズル３２を移動させる。移動ユニット３１は、例えば、２軸制御のロボットなどとすることができる。
ノズル３２は、ワーク１１０に流動体を供給可能となっている。ノズル３２の一方の端部は開口し、他方の端部は配管を介して切替弁１のポート１ｂと接続されている。

載置部４には、テーブル４１、駆動部４２、およびカップ４３が設けられている。
テーブル４１は、ワーク１１０を載置可能となっている。テーブル４１は、台座４１ａおよび駆動軸４１ｂを有する。台座４１ａは、カップ４３の内部に設けられている。台座４１ａは、例えば、円板状を呈している。台座４１ａの一方の面にはワーク１１０が載置される。台座４１ａには、真空チャックなどの保持手段を設け、載置されたワーク１１０を保持するようにしてもよい。台座４１ａの他方の面には駆動部４２の一方の端部が接続されている。駆動軸４１ｂの他方の端部はカップ４３の外側において駆動部４２に接続されている。

ワーク１１０は、例えば、半導体ウェーハやガラス基板などの板状体とすることができる。ただし、ワーク１１０は、例示をしたものに限定されるわけではない。
駆動部４２は、例えば、サーボモータなどの制御モータとすることができる。

カップ４３は、台座４１ａの周囲を囲むように設けられている。カップ４３の上端は開口している。カップ４３の上端は、台座４１ａに載置されたワーク１１０の上面よりも高い位置にある。そのため、ワーク１１０の上面に塗布された流動体が、塗布装置１００の外方に飛散するのを抑制することができる。また、カップ４３の底部には、排出口４３ａが設けられている。排出口４３ａには、回収装置を接続することができる。台座４１ａが回転することで、ワーク１１０の上面に供給された流動体がならされて塗布膜１１１が形成される。また、余剰の流動体がワーク１１０の外方に排出される。ワーク１１０から排出された流動体は、カップ４３の内側面で受け止められ、カップ４３の底面に導かれる。カップ４３の底面に導かれた流動体は、排出口４３ａ介して回収装置に送られる。

回収タンク５は、配管を介して切替弁１のポート１ｃに接続されている。前述したように、流動体の塗布を停止させる際には、ポンプ２２を停止し、凹部１２ｂを介してポート１ａとポート１ｃを接続する。すると、凹部１２ｂの内部、およびポート１ａとポンプ２２の排出口との間に残留している流動体が残圧により押し出される。押し出された流動体は回収タンク５に収納される。すなわち、回収タンク５は、残余の流動体を収納する。

制御部６は、例えば、コンピュータなどとすることができる。制御部６は、塗布装置１００に設けられている各要素の動作を制御する。例えば、制御部６は、駆動部１３を制御して弁体１２の位置、ひいては流路の切り替えを行う。制御部６は、ポンプ２２を制御して切替弁１を介して流動体をノズル３２に供給する。制御部６は、移動部３１ａおよび昇降部３１ｂを制御してノズル３２の位置を移動させる。制御部６は、駆動部４２を制御してワーク１１０の上面に供給された流動体から塗布膜１１１を形成する。

次に、塗布装置１００の作用について説明する。
まず、搬送装置などによりワーク１１０が台座４１ａの上に載置される。載置されたワーク１１０は真空チャックなどにより保持される。
次に、ワーク１１０の上面に流動体を供給し、塗布膜１１１を形成する。
まず、テーブル４１を所定の回転数で回転させる。
続いて、ワーク１１０の上面に渦巻き状に流動体を供給する。例えば、ポンプ２２を動作させるとともに、ワーク１１０の中心側から外周側に向けてノズル３２を移動させる。この際、切替弁１の弁体１２を回転させて、凹部１２ｂを介してポート１ａとポート１ｂとの間を連通させる。ノズル３２が回転するワーク１１０の上方を移動することで、流動体がワーク１１０の上面に渦巻き状に供給される。
続いて、流動体の供給を停止させる。例えば、ポンプ２２停止させる。続いて、切替弁１の弁体１２を逆回転させて、凹部１２ｂを介してポート１ｂとポート１ｃとの間を連通させる。凹部１２ｂおよび供給部２の側にある流動体が、残圧により回収タンク５の内部に押し出される。
続いて、テーブル４１を所定の回転数で回転させて、渦巻き状に塗布された流動体をならして塗布膜１１１を形成する。この際、余剰の流動体はワーク１１０の外方に排出され、カップ４３を介して回収される。
次に、搬送装置などにより塗布膜１１１が形成されたワーク１１０を塗布装置１００から取り出す。
以上の様にして、ワーク１１０の上面に塗布膜１１１を形成することができる。

次に、他の実施形態に係る塗布装置１０１について例示する。
図９は、他の実施形態に係る塗布装置１０１を例示するための模式図である。
図１０（ａ）は、切替弁１の動作を例示するためのタイミングチャートである。図１０（ｂ）は、流動体の圧力変化を例示するための模式グラフ図である。
図９に示すように、塗布装置１０１には、切替弁１、供給部２、塗布部３、載置部４、回収タンク５、検出部７、および制御部６が設けられている。すなわち、塗布装置１０１には、塗布装置１００に設けられた要素に加えて検出部７がさらに設けられている。

検出部７は、切替弁１のポート１ａとタンク２１との間に接続されている。検出部７は、流動体の圧力を検出する圧力センサとすることができる。

ここで、適切な量の流動体をワーク１１０の上面に供給するために、図１０（ａ）に示すようなタイミングで切替弁１を動作させて、流動体の供給と停止を行うものとする。
切替弁１を流動体の供給から停止に切り替えると、凹部１２ｂおよび供給部２の側にある流動体が、残圧により回収タンク５の内部に押し出される。そのため、切替弁１を供給の停止に切り替えた後には、図１０（ｂ）に示すように、流動体の圧力は徐々に低下する。この場合、流動体の供給時における圧力が高いと、図１０（ｂ）の点線に示すように、残留する流動体の排出が終了するまでの時間（残圧がなくなるまでの時間）が長くなる場合がある。残留する流動体の排出が終了しなければ、次の塗布を行うことができないので、この時間を短くすることが好ましい。

そこで、塗布装置１０１においては、検出部７により流動体の圧力を検出し、検出された圧力に基づいて切替弁１の制御を行う。例えば、圧力が高くなるほど弁体１２の回転速度を速くする。弁体１２の回転速度が速くなれば、流路の切り替え時間が短くなるので、次の塗布が行える様になるまでの時間を短縮することができる。また、ワーク１１０の上面に供給される流動体は、塗布膜１１１の形成に必要となる流動体の量よりも僅かに多い。そのため、塗布膜１１１の形成に必要となる流動体の量よりも少なくならない範囲で、流動体の供給の停止を行うタイミングを早めることもできる。
この場合、制御部６は、検出部７の検出値に基づいて、切替弁１に設けられた弁体１２回転速度を制御する。

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

１ 切替弁、１ａ〜１ｃ ポート、２ 供給部、３ 塗布部、４ 載置部、５ 回収タンク、６ 制御部、７ 検出部、１１ ケース、１１ａ 弁室、１２ 弁体、１２ａ 中心軸、１２ｂ 凹部、１３ 駆動部、２１ タンク、２２ ポンプ、３１ 移動ユニット、３２ ノズル、４１ テーブル、４１ａ 台座、４２ 駆動部、４３ カップ、１００ 塗布装置、１０１ 塗布装置

Claims (8)

1. 弁室と、それぞれが前記弁室に接続された第１のポート、第２のポート、および第３のポートと、を有するケースと、
   前記弁室に回転可能に設けられ、外壁に凹部を有する弁体と、
   を備えた切替弁。
2. 前記凹部は、前記第１のポートと接続された際には、前記第２のポートまたは前記第３のポートと接続される請求項１記載の切替弁。
3. 前記弁体の中心軸に平行な方向における前記第３のポートの位置は、前記第２のポートの位置と異なる請求項１または２に記載の切替弁。
4. 弁室と、それぞれが前記弁室に接続された第１のポート、第２のポート、および第３のポートと、を有するケースと、
   前記弁室に回転可能に設けられた弁体と、
   を備え、
   前記弁体の中心軸に平行な方向における前記第３のポートの位置は、前記第２のポートの位置と異なる切替弁。
5. 前記第３のポートは、前記第２のポートよりも重力方向の上方に設けられている請求項３または４に記載の切替弁。
6. ワークを載置可能なテーブルと、
   前記ワークに流動体を供給可能なノズルと、
   前記流動体を収納可能な第１のタンクと、
   残余の前記流動体を収納可能な第２のタンクと、
   第１のポートがポンプを介して前記第１のタンクと接続され、第２のポートが前記ノズルと接続され、第３のポートが前記第２のタンクと接続された請求項１〜５のいずれか１つに記載の切替弁と、
   を備えた塗布装置。
7. 前記第１のポートと、前記第１のタンクと、の間に接続された検出部をさらに備えた請求項６記載の塗布装置。
8. 前記検出部の検出値に基づいて、前記切替弁に設けられた弁体の回転速度を制御可能な制御部をさらに備えた請求項７記載の塗布装置。

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