CN101783309A - 一种硅片并排输送机构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种硅片并排输送机构,其包括机架、台面板,特征是:所述台面板固定在机架上,导杆通过螺母固定在升降台上,导套安装在台面板,导杆穿在导套中,在台面板上固定气缸,气缸的推杆与升降台固定,升降台通过导杆连接在台面板上,并通过气缸支撑,在台面板上安装列向输送装置和横向输送装置。本发明结构简单、紧凑,合理;能精确的将列向输送的硅片定位,并转为横向并排输送,平稳可靠,能提高工作效率,增加产能,克服了硅片输送的单向局限以及手工操作的局限,降低了劳动强度,减少了人力,有效保证硅片的合格率,减少浪费,间接地降低了生产成本。

Description

一种硅片并排输送机构
技术领域
本发明涉及一种硅片并排输送机构,主要是用于将列向输送的硅片定位,并转为横向并排输送,以配合硅片生产过程中的流转,属于太阳能硅片生产过程中的一种流转技术领域。
背景技术
在已有技术中,太阳能硅片在生产过程中的输送,主要靠手工放置硅片,具体是:手拿简易吸盘吸起硅片,然后将硅片排列放置在输送带上。手工操作无法将硅片精确定位输送,必须花一定时间将硅片排列整齐后才可输送,输送效率很低,而且不能够精确的将硅片应实际需求定位,由于手工放置有不稳定性,导致硅片报废率高,这样手工操作的劳动强度较高、无形中增加了生产成本。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足之处,从而提供一种硅片并排输送机构,能够精确的将硅片应实际需求定位、并排输送,能提高工作效率,增加产能,克服了硅片输送的单向局限,能够完全代替手工操作,在提高产能的同时也降低了损失,大大提高了硅片输送的稳定性。
按照本发明提供的技术方案,一种硅片并排输送机构包括机架、台面板,特征是:包括机架、台面板,所述台面板固定在机架上,升降台通过导杆连接在台面板上,导杆通过螺母固定在升降台上,导套安装在台面板,导杆穿在导套中,所述台面板上固定气缸,气缸的推杆固定在升降台上,升降台通过气缸支撑,列向输送装置通过支撑板固定在升降台上,所述台面板上安装横向输送装置。
所述的列向输送装置采用支撑板固定在升降台上,第一滚轮轴固定在支撑板上,第一滚轮通过第一轴承安装在第一滚轮轴上,第一伺服电机及第三伺服电机通过连接杆连接在支撑板上,第一伺服电机通过第一联轴器与传动轴连接,第三伺服电机通过第一联轴器与传动轴连接,传动轴通过第三轴承安装在支撑板上;第一传动轮通过第二平键连接在传动轴上,列向输送带将第一传动轮和第一滚轮连接传动。
所述的横向输送装置采用电机固定板、支撑块以及竖块固定在台面板上,在电机固定板上固定第二伺服电机,长轴通过第二联轴器与第二伺服电机连接,并通过第二轴承安装在支撑块上,第二传动轮通过第一平键连接在长轴上,第二滚轮通过第四轴承安装在第二滚轮轴上,第二滚轮轴安装固定在竖块上,横向输送带将第二滚轮与第二传动轮连接传动。
所述的支撑块上固定传感器。所述的列向输送装置设置二套;所述的横向输送装置设置三套。
本发明与已有技术相比具有以下优点:
本发明结构简单、紧凑,合理;能精确的将列向输送的硅片定位,并转为横向并排输送,平稳可靠,能提高工作效率,增加产能,克服了硅片输送的单向局限以及手工操作的局限,降低了劳动强度,减少了人力,有效保证硅片的合格率,减少浪费,间接地降低了生产成本。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明结构左视图。
图3为本发明列向输送装置结构示意图。
图4为本发明横向输送装置结构示意图。
图5为图4的A~A剖面图。
图6为升降台的示意图。
具体实施方式
下面,本发明将结合附图中的实施例作进一步描述:
图1~图5所示:包括机架1、台面板2、升降台3、第一伺服电机4、第一联轴器5、传动轴6、连接杆7、第一传动轮8、支撑板9、列向输送带10、第一滚轮11、硅片12、第一滚轮轴13、传感器14、螺母15、导套16、导杆17、气缸18、第一轴承19、电机固定板20、第二伺服电机21、第二联轴器22、支撑块23、竖块24、第二滚轮轴25、长轴26、第二轴承27、第一平键28、第二传动轮29、第二平键30、第三轴承31、第四轴承32、第二滚轮33、横向输送带34、第三伺服电机35。
本发明整个机构靠机架1支撑,台面板2固定在机架1上,导杆17通过螺母15固定在升降台3上,导套16安装在台面板2上,导杆17穿在导套16内,在台面板2上固定气缸18,气缸18的推杆穿过台面板2固定在升降台3上,升降台3通过导杆17连接在台面板2上,并靠气缸18支撑,升降台3靠气缸18推杆的伸缩作用,相对于台面板2可上下运动,在升降台3上安装二套列向输送装置,此二套列向输送装置通过支撑板9固定在升降台3上,在台面板2上安装三套横向输送装置,此三套横向输送装置通过电机固定板20、支撑块23及竖块24固定在台面板2上。上述所述的列向输送装置与横向输送装置可以根据实际生产需求增添,以增加并排输出的硅片数。
所述2套列向输送装置结构相同,列向输送装置采用支撑板9固定在升降台3上,第一滚轮轴13固定在支撑板9上,第一滚轮11通过第一轴承19安装在第一滚轮轴13上,第一伺服电机4通过连接杆7连接在支撑板9上,传动轴6通过第一联轴器5与第一伺服电机4连接,并通过第三轴承31安装在支撑板9上,第一传动轮8通过第二平键30连接在传动轴6上,列向输送带10将第一传动轮8和第一滚轮11连接传动。第三伺服电机35为第二套列向输送装置动力源,通过连接杆7连接固定在支撑板9上,与第一套列向输送装置的连接方式相同。
所述3套横向输送装置结构相同,唯一的不同之处是:仅一套位于列向输送装置中间的横向输送装置安装有传感器,其余两套无安装传感器。横向输送装置采用电机固定板20、支撑块23以及竖块24固定在台面板2上,在电机固定板20上固定第二伺服电机21,长轴26通过第二联轴器22与第二伺服电机21连接,并通过第二轴承27安装在支撑块23上,第二传动轮29通过第一平键28连接在长轴26上,第二滚轮33通过第四轴承32安装在第二滚轮轴25上,第二滚轮轴25两头安装固定在竖块24上,横向输送带34将第二滚轮33与第二传动轮29连接传动,传感器14固定在第一套横向输送装置的支撑块23上。
本发明工作原理
本发明由第一伺服电机4、第一联轴器5、传动轴6、连接杆7、第一传动轮8、支撑板9、列向输送带10、第一滚轮11、第一滚轮轴13、第一轴承19、第二平键30、第三轴承31、第三伺服电机35所组成的列向输送装置通过支撑板9安装固定在升降台3上,由于气缸18固定在台面板2上,气缸18的推杆与升降台3连接固定,此时升降台3完全靠气缸18支撑,在气缸18的伸缩作用下,升降台3通过导套16及导杆17的导向作用产生升降运动,即列向输送装置相对于固定在机架1上的台面板2,产生升降运动。此方案中,列向输送装置共设置有2处。
由电机固定板20、第二伺服电机21、第二联轴器22、支撑块23、竖块24、第二滚轮轴25、长轴26、第二轴承27、第一平键28、第二传动轮29、第四轴承32、第二滚轮33、横向输送带34组成的横向输送装置,通过电机固定板20、支撑块23、竖块24固定在台面板2上。此方案中,横向输送装置共布置有3排,其中第一套横向输送装置安装在列向输送装置的中间,并贯穿升降台3,在此套横向输送装置的支撑块23上安装有传感器14,用来感应列向输送的硅片,从而控制第一伺服电机4、第三伺服电机35的工作,以使列向输送的硅片定位准确,使每片硅片对准横向输送带34,这样,即可保证并排输送出的硅片排列整齐。第一套横向输送装置的另一个作用是:在与升降台3的配合下,将列向输送的硅片转为横向并排输送出。
开始工作时,第一伺服电机4、第三伺服电机35、第二伺服电机21开始工作,由各自的传动轮、轴、联轴器带动各输送带运转,同时,升降台3在气缸18的作用下上升,从而使安装在升降台上的列向输送装置也同时上升,上升到一定位置(即当列向输送带10的上表面高出横向输送带34的上表面)后停止,此时,硅片12开始输送到列向输送带10上,在列向输送带10的运动下,从B1向B2运动,在传感器14的作用下,控制第一伺服电机4、第三伺服电机35的工作与停止,从而将两片硅片12定位在列向输送带上,此时列向输送带10停止转动,气缸18开始工作,将升降台3下降,从而使安装在升降台3上的列向输送装置也同时下降,下降到一定位置(即当列向输送带10的上表面低于横向输送带34的上表面)后停止,此时两硅片落在横向输送带34上,由于横向输送带34的运转,两硅片即从左向右并排输出。

Claims (5)

1.一种硅片并排输送机构,包括机架(1)、台面板(2),其特征是:所述台面板(2)固定在机架(1)上,升降台(3)通过导杆(17)连接在台面板(2)上,导杆(17)通过螺母(15)固定在升降台(3)上,导套(16)安装在台面板(2),导杆(17)穿在导套(16)中,所述台面板(2)上固定气缸(18),气缸(18)的推杆固定在升降台(3)上,升降台(3)通过气缸(18)支撑,列向输送装置通过支撑板(9)固定在升降台(3)上,所述台面板(2)上安装横向输送装置。
2.如权利要求1所述的一种硅片并排输送机构,其特征在于所述的列向输送装置采用支撑板(9)固定在升降台(3)上,第一滚轮轴(13)固定在支撑板(9)上,第一滚轮(11)通过第一轴承(19)安装在第一滚轮轴(13)上,第一伺服电机(4)及第三伺服电机(35)通过连接杆(7)连接在支撑板(9)上,第一伺服电机(4)通过第一联轴器(5)与传动轴(6)连接,第三伺服电机(35)通过第一联轴器(5)与传动轴(6)连接,传动轴(6)通过第三轴承(31)安装在支撑板(9)上;第一传动轮(8)通过第二平键(30)连接在传动轴(6)上,列向输送带(10)将第一传动轮(8)和第一滚轮(11)连接传动。
3.如权利要求1所述的一种硅片并排输送机构,其特征在于所述的横向输送装置采用电机固定板(20)、支撑块(23)以及竖块(24)固定在台面板(2)上,在电机固定板(20)上固定第二伺服电机(21),长轴(26)通过第二联轴器(22)与第二伺服电机(21)连接,并通过第二轴承(27)安装在支撑块(23)上,第二传动轮(29)通过第一平键(28)连接在长轴(26)上,第二滚轮(33)通过第四轴承(32)安装在第二滚轮轴(25)上,第二滚轮轴(25)安装固定在竖块(24)上,横向输送带(34)将第二滚轮(33)与第二传动轮(29)连接传动。
4.如权利要求3所述的一种硅片并排输送机构,其特征在于所述的支撑块(23)上固定传感器(14)。
5.如权利要求1所述的一种硅片并排输送机构,其特征在于所述的列向输送装置设置二套;所述的横向输送装置设置三套。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102544190A (zh) * 2010-12-08 2012-07-04 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备
CN104647619A (zh) * 2013-11-22 2015-05-27 烟台力凯电子科技有限公司 一种四导柱工作台式多线切割机
CN115841975A (zh) * 2023-01-31 2023-03-24 中润新能源(滁州)有限公司 高稳定性轻量化硅片输送架设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09129710A (ja) * 1995-10-27 1997-05-16 Ando Electric Co Ltd ウェーハ自動移載装置
JP2006245221A (ja) * 2005-03-02 2006-09-14 Sharp Corp 基板の片面処理装置
CN201107644Y (zh) * 2007-10-19 2008-08-27 江苏远望仪器有限公司 基于软逻辑控制器的船舶辅机测控系统
CN101351897A (zh) * 2005-12-30 2009-01-21 帝目机械设备有限公司 太阳能电池连接装置及其带保持装置和输送装置
CN201610323U (zh) * 2010-02-10 2010-10-20 无锡先导自动化设备有限公司 一种盒装硅片的取出机构
CN201629302U (zh) * 2010-02-10 2010-11-10 无锡先导自动化设备有限公司 一种硅片并排输送机构

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09129710A (ja) * 1995-10-27 1997-05-16 Ando Electric Co Ltd ウェーハ自動移載装置
JP2006245221A (ja) * 2005-03-02 2006-09-14 Sharp Corp 基板の片面処理装置
CN101351897A (zh) * 2005-12-30 2009-01-21 帝目机械设备有限公司 太阳能电池连接装置及其带保持装置和输送装置
CN201107644Y (zh) * 2007-10-19 2008-08-27 江苏远望仪器有限公司 基于软逻辑控制器的船舶辅机测控系统
CN201610323U (zh) * 2010-02-10 2010-10-20 无锡先导自动化设备有限公司 一种盒装硅片的取出机构
CN201629302U (zh) * 2010-02-10 2010-11-10 无锡先导自动化设备有限公司 一种硅片并排输送机构

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102544190A (zh) * 2010-12-08 2012-07-04 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备
CN102544190B (zh) * 2010-12-08 2014-08-27 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备
CN104647619A (zh) * 2013-11-22 2015-05-27 烟台力凯电子科技有限公司 一种四导柱工作台式多线切割机
CN115841975A (zh) * 2023-01-31 2023-03-24 中润新能源(滁州)有限公司 高稳定性轻量化硅片输送架设备
CN115841975B (zh) * 2023-01-31 2023-09-29 中润新能源(滁州)有限公司 高稳定性轻量化硅片输送架设备

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