KR20090058260A - Ｓｍｉｆ 로더 장치 - Google Patents

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KR20090058260A
KR20090058260A KR1020070124954A KR20070124954A KR20090058260A KR 20090058260 A KR20090058260 A KR 20090058260A KR 1020070124954 A KR1020070124954 A KR 1020070124954A KR 20070124954 A KR20070124954 A KR 20070124954A KR 20090058260 A KR20090058260 A KR 20090058260A
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Abstract

본 발명은 SMIF 로더장치에 관한 것으로서, 상면에 파드가 장착되는 본체부와, 상기 본체부에 장착된 파드 커버를 상기 파드 본체로부터 착탈시키는 스테이지부 및 상기 스테이지부에 의해 탈거된 상기 파드 커버에 수납된 반도체 자재를 파지하는 그립부를 포함하는 SMIF 로더장치에 있어서, 상기 그립부는, 상기 본체부에 설치되는 그립부 본체와; 상기 그립부 본체에 수평이동가능하게 설치되는 그립암 본체와, 상기 그립암 본체의 일측에 설치되는 모터와 상기 모터에 풀리결합되어 회전하는 벨트와 상기 벨트에 일단이 취부되어 상기 파지된 반도체 자재를 반전하는 플립암을 포함하는 그립암을 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 반도체 자재를 반전할 수 있는 플립 기능이 구비되어 작업시간을 단축시키고, 작업 효율성을 향상시키는 효과가 있다.
파드, 착탈, 스테이지, 그립, 플립

Description

ＳＭＩＦ 로더 장치{The loader for SMIF}
본 발명은 SMIF 로더장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 자재를 반전할 수 있는 SMIF 로더장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 로더장치는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼(Wafer) 또는 레티클(Reticle)등의 자재의반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Meterials Interials International)에서 권고하는 표준안 중 SMIF(Standard Mechanical Interface)시스템을 구성하는 장비에 포함된다.
SMIF는 국부청정에 관한 것으로 웨이퍼 제조 공정 중 발생 가능한 공기 중의 미세 오염물질인 파티클의 차단을 위해 밀폐된 웨이퍼 저장 용기인 파드, 국부적인 공간만을 청정상태로 유지하는 ME(Mini-enviroment) 및 파드와 ME 혹은 공정장비간의 인터페이스를 위한 장치들에 대해 최소한의 공통규격을 제안하고 있다.
SMIF 시스템 중에서 본 발명의 로더장치는 파드에 수납된 웨이퍼, 레티클 등의 반도체 자재를 다음 공정으로 넘겨주는 인터페이스 장치이다.
본 출원인은 특허출원 제10-2003-17298호에서 파드의 자동개폐 및 반송용 SMIF 로더장치를 제안한 바 있다.
상기 SMIF 로더장치는 수직 이송 구조물이 부착된 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트와 수직으로 결합되고, 제어반, 팬, 청정기류 유입을 위한 커버가 안착되는 베이스, 상기 메인 플레이트의 수직 이송 구조물에 부착되며 상기 베이스에 고정 부착이 가능한 포트 플레이트, 상기 베이스에 고정 부착되며 상기 메인 플레이트의 수직 이송 구조물에 부착 가능한 스테이지 및 수평 이송 구조물에 고정되어 상기 메인 플레이트의 개구부를 통해 카세트를 연결 장비의 내부로 로딩하는 카세트 로딩장치를 포함한다.
그러나, 종래의 로더장치는 파드에 반도체 자재가 뒤집어 수납된 경우 또는 반도체 자재의 하면을 가공해야 하는 경우에 반도체 자재를 반전시킬 수 있는 기능이 없어 후단공정에서 반도체 자재를 반전하여 작업을 수행해야 함으로 작업시간이 길어져 작업 효율성이 낮아지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 자재를 반전할 수 있는 SMIF 로더장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기한 목적은 본 발명에 따라, 상면에 파드가 장착되는 본체부와, 상기 본체부에 장착된 파드 커버를 상기 파드 본체로부터 착탈시키는 스테이지부 및 상기 스테이지부에 의해 탈거된 상기 파드 커버에 수납된 반도체 자재를 파지하는 그립부를 포함하는 SMIF 로더장치에 있어서, 상기 그립부는, 상기 본체부에 설치되는 그립부 본체와; 상기 그립부 본체에 수평이동가능하게 설치되는 그립암 본체와, 상기 그립암 본체의 일측에 설치되는 모터와 상기 모터에 풀리결합되어 회전하는 벨트와 상기 벨트에 일단이 취부되어 상기 파지된 반도체 자재를 반전하는 플립암을 포함하는 그립암을 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치에 의해 달성된다.
그리고, 상기 벨트상에 서로 이격되도록 설치되는 한쌍의 센서플레이트와, 상기 벨트의 부근에 설치되어 상기 센서플레이트를 감지하는 플립감지센서를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 플립암은 관통공이 형성된 그립베이스와; 상기 그립베이스에 결합되고, 전면에 그립패드가 형성되며 후방으로 돌출되어 상기 그립베이스의 일측으로부터 상기 관통공으로 삽입되는 후방돌출부가 형성되는 그립플레이트와; 상기 그 립베이스와 상기 그립플레이트 사이에 개재되는 스프링부재 및 상기 후방돌출부와 대향되는 상기 그립베이스의 타측에 설치되어 상기 관통공을 통해 접근하는 상기 후방돌출부를 감지하는 그립감지센서를 포함하는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 그립부는 상기 벨트에 상기 플립암이 취부되는 부근에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제1흡입부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 그립부 본체는 내부 저면에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제2흡입부를 포함할 수 있다.
그리고 상기 제2흡입부는 상면에 복수개의 흡입공이 형성되고, 상기 흡입공을 통해 상기 그립부 본체의 내부에서 발생되는 파티클을 흡입하는 흡입관과; 상기 그립부 본체의 일측에 설치되어 상기 흡입관이 파티클을 흡입하도록 흡입력을 제공하는 펌프를 포함하는 것이 바람직하다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 반도체 자재를 반전할 수 있는 플립 기능이 구비되어 작업시간을 단축시키고, 작업 효율성을 향상시키는 효과가 있다.
또한, 센서플레이트와 플립감지센서를 구비하여, 반도체 자재의 회전각도를 제어할 수 있게 되는 효과가 있다.
아울러, 벨트와 플립암의 연결부위에서 발생되는 파티클을 흡입하는 제1흡입부와 그립암이 수평이동하면서 발생되는 파티클을 흡입하는 제2흡입부를 구비하여, 그립부의 내부를 청정상태로 유지할 수 있는 효과가 있다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.
설명에 앞서 본 발명의 일실시예에서 설명되는 마스크(M)는 반도체 자재의 한 일례로 할 뿐, 본 발명의 기술사상이 이에 한정되지 않으며, 웨이퍼 또는 레티클과 같은 반도체 자재를 포함 할 수 있음을 밝혀둔다. 또한, 본 발명의 설명되는 SMIF 로더장치는 포트플레이트가 상승하여 파드 본체와 파드 커버를 분리하는 업타입(uptype)방식을 설명하고 있으나, 스테이지부가 하강하여 파드 본체와 파드 커버를 분리하는 다운타입(downtype)의 방식에도 적용될 수 있음은 물론이다. 아울러, 본 발명의 반출기능이 없는 SMIF 로더장치로 설명되지만, 반출기능을 갖는 SMIF 로더장치에 적용이 가능함은 물론이다.
도1은 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치(1)의 전체사시도이다.
도1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치(1)는 본체부(1-1)와, 스테이지부(1-2)와, 그립부(1-3)를 포함하여 구성된다.
본체부(1-1)는 상부가 개방된 캐비넷형상으로 형성되는 메인플레이트(110)와, 메인플레이트(110)의 상부에 결합된 포트플레이트(120)를 포함하여 구성된다.
메인플레이트(110)의 내부에는 수직으로 설치되는 이동레일(111a)과, 메인플레이트(110)의 내부 일측에 설치되는 모터(미도시)를 포함하는 포트플레이트 이송부(111)가 설치되어 있다.
또한, 마스크(M)의 표면에는 포토마스크 패턴을 형성하기 위해 크롬이 입혀진 크롬면이 형성되는데, 본체부(1-1)의 내외부에 마스크(M)의 크롬면을 감지할 수 있는 장치가 설치되어 있다.
포트플레이트(120)는 수직이동되도록 포트플레이트 이송부(111)에 결합되어 상승하면서 스테이지(210)에 안착된 파드 커버와 파드 본체를 분리하는 것으로서, 상면에는 파드 본체와 파드 커버로 이루어진 파드(300)가 안착되는 상면 개구부(미도시)가 형성되고, 측면에는 마스크(M)를 반출하는 측면 개구부(122)가 형성되어 있다. 또한, 포트플레이트(120)의 내부에는 파드 커버에 적재된 마스크(M)를 파지하는 그립부(1-3)가 설치되어 있는데, 그립부(1-3)의 구조는 도3에서 상세히 설명하도록 한다.
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 스테이지부(1-2)의 구성을 도시한 도면이다.
스테이지부(1-2)는 상면 개구부(121)에 안착된 파드 본체로부터 파드 커버를 착탈시키는 것으로서, 도2에 도시된 바와 같이 스테이지(210)와, 구동부 및 스테이지 지지부(230)를 포함하여 구성된다.
스테이지(210)는 방향식별이 가능하도록 3개의 레지스트레이션 핀(211) 및 파드가 정상적으로 장착되었는지 여부를 감지하기 위한 3개의 센서(212)가 설치되어 있다. 스테이지(210)의 중앙측에는 파드 커버를 파드 본체로부터 탈거 또는 장착시키기 위한 2개의 래치키(211)가 위치한다. 2개의 래치키(211)는 파드 커버의 하면에 형성된 홈에 결합한 후 회전하면 파드 커버가 파드 본체로부터 탈거된다. 래치키(211)의 우측에는 파드의 장착 유무를 감지하기 위한 파드 감지 센서(212)가 설치되어 있다.
구동부(220)는 스테이지 지지부(230)를 회전시키기 위한 것으로서, 회전력을 제공하는 모터(221)를 설치하고, 벨트(222)를 스테이지 지지부(230)와 구동부(220)에 풀리결합하여 구성된다.
스테이지 지지부(230)는 원통형 지주로서, 상면이 스테이지(210)의 하면부에 결합되어 스테이지(210)를 지지한다.
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 그립부(1-3)의 분해사시도이다.
그립부(1-3)는 마스크(M)를 파지하여 다음 공정으로 마스크(M)를 반출하는 것으로서, 도3에 도시된 바와 같이 본체부(1-1)의 내부 측벽에 설치되는 그립부 본체(10)와 그립부 본체(10)에 수평이동가능하게 설치되는 한쌍의 그립암(20)을 포함하여 구성된다.
그립부 본체(10)는 그립부 본체(10)의 상면 일측에는 회전력을 제공하는 회전구동부(11)가 설치되고, 회전구동부(11)에 벨트(12)가 풀리결합되어 있다. 아울러, 그립부 본체(10)는 내부에서 발생되는 파티클을 흡입하여 외부로 배출하는 제2흡입부(13)가 설치되어 있다.
제2흡입부(13)는 그립부 본체(10)의 내부 저면에 설치되는 제2흡입관(13a)과 그립부 본체(10)의 외부 측벽에 배치되는 제2배출부(13b) 및 그립부 본체(10)의 일측에 설치되는 제2펌프(미도시)를 포함하여 구성된다.
제2펌프(미도시)로부터 흡입력을 제공받는 제2흡입관(13a)은 상면에 복수개의 흡입공(13aa)이 형성되어 후술되는 그립암(20)이 수평이동하면서 발생되는 파티 클을 흡입하는 역할을 한다. 여기서 제2펌프(미도시)는 제2흡입관(13a)에 흡입력을 제공할 수 있는 펌프면 어느 것이든 적용가능하다.
한쌍의 그립암(20)은 스테이지부(1-2)상의 파드 커버에 장착된 마스크(M)를 파지하기 위한 것으로서, 한쌍의 그립암 본체(21)와, 각각의 그립암 본체(21)에 설치되는 모터(22)와, 모터(22)와 풀리결합되는 벨트(23)와, 벨트(23)에 취부되는 플립암(24)과, 플립암(24)의 마스크(M) 파지여부를 감지하는 그립 감지 센서(25)와, 벨트(23)에 설치되는 센서플레이트(26)와 센서플레이트(26)를 감지하는 플립감지센서(27) 및 그립암 본체(21) 내부의 파티클을 흡입하는 제1흡입부(28)를 포함하여 구성된다.
한쌍의 그립암 본체(21)는 상부에 형성된 연결브라켓(21a)을 통해 그립부 본체(10)에 설치된 벨트(23)에 각각 취부되어 회전구동부(11)의 구동력에 의해 수평이동된다.
벨트(23)는 모터(22)로부터 회전력을 제공받아 회전되는 것으로서, 벨트(23)의 일측에는 텐션부(23a)가 설치되어 벨트(23)가 회전하는 동안 벨트(23)의 긴장을 유지하는 것이 바람직하다.
그리고, 플립암(24)은 벨트에 풀리결합에 의해 취부되어 벨트가 회전동작함에 따라 회전하여, 파지되는 마스크(M)를 반전한다. 플립암(24)과 그립 감지 센서(25)의 구체적인 구성은 도3에서 상세히 설명하도록 한다.
제1흡입부(28)는 마스크(M)를 반전할 경우 그립암 본체(21)에 설치되는 벨트(23)와 플립암(24)의 연결영역 부근에서 발생되는 파티클을 흡입하기 위한 제1흡 입관(28a)과 제1흡입부(28)로부터 유입된 파티클을 배출하기 위한 제1배출부(28b), 및 그립암(20)의 일측에 설치되는 제1펌프(미도시)를 갖고 있다.
그립암 본체(21)에 설치되는 벨트(23)와 플립암(24)의 연결영역 부근에 설치되어 발생되는 파티클을 제1흡입관(28a)에서 흡입하면, 제1배출부(28b)는 제1펌프(미도시)로부터 흡입력을 제공받아 제1흡입부(28)로부터 유입된 파티클을 그립부 본체(10)의 저부에서 집진하여 배출한다.
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 센서플레이트(26)와 플립감지센서(27)를 도시한 도면이다.
도4에 도시된 바와 같이 센서플레이트(26)는 블록형상으로 형성되고, 벨트(23)상에 설치되어 벨트(23) 회전시 벨트(23)의 회전방향으로 이송된다.
플립감지센서(27)는 센서플레이트(26)의 하방에 설치되어 벨트(23)에 의해 이송되는 센서플레이트(26)를 감지하고, 모터(22)의 회전을 제어한다. 즉, 센서플레이트(26)와 플립감지센서(27)의 이격거리에 상응하여 벨트(23)를 이송한 후 모터(22)를 제어함으로서, 벨트(23)에 체결된 플립암(24)의 회전각도를 제어하게 되는 것이다. 이때, 회전각도는 180°인 것이 바람직하나, 작업자의 필요에 따라 센서플레이트(26)의 위치를 변경하여 임의의 회전각도를 설정할 수 있다.
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암(24)의 분해사시도이다.
도5에 도시된 바와 같이, 플립암(24)은 그립베이스(24a), 그립베이스(24a)의 일측에 결합되는 그립플레이트(24b), 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b)을 결합하는 고정핀(24c) 및 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b) 사이에 개재되는 스프링부재(24d)를 포함하여 구성된다.
그립베이스(24a)는 전면에 한쌍의 관통공(24aa)이 형성되어 있고, 상부에는 고정핀(24c)이 결합되는 고정공(24ab)이 형성되어 있다.
그립플레이트(24b)는 전면에 실리콘 재질의 그립패드(24ba)가 부착되고, 그립플레이트(24b)의 후방으로 돌출형성된 후방돌출부(24bb)가 관통공(24aa)에 삽입되며, 후방돌출부(24bb)의 상면에는 고정공(24ab)과 상응하는 위치에 결합공(24bb')이 형성되어 있다.
고정핀(24c)은 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b)가 스프링 부재(24d)에 의해 분리되는 것을 방지하는 것으로서, 고정공(24ab)과 결합공(24bb')을 통해 삽입된다.
스프링부재(24d)는 마스크(M) 파지시 마스크의 압력을 가하여 마스크(M) 파지를 견고하게 하기 위한 것으로서, 코일스프링이 사용될 수 있다.
그립 감지 센서(25)는 근접감지센서를 사용하여 관통공(24aa)을 통해 접근하는 후방돌출부(24bb)를 감지하는 것으로서, 후방돌출부(24bb)와 대향하도록 설치된다.
도6a 및 도6b는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암(24)과 그립 감지 센서(25)의 동작상태를 도시한 도면이다.
도6a는 플립암(24)이 마스크(M) 파지하는 초기단계를 도시한 도면으로서, 도 5a에 도시된 바와 같이 플립암(24)의 초기상태는 그립플레이트(24b)가 그립베이스에서 이격된 상태로 그립패드(24ba)가 스테이지(210)상의 파드 커버에 장착된 마스크(M)의 측부에 밀착하게 된다. 이때, 그립패드(24ba)가 사용되는 이유는 마스크(M)를 파지하기 위해 압박을 가할 시 압력에 의해 마스크(M)가 손상되는 것을 방지하기 위함이다.
도6b는 플립암(24)의 마스크(M) 파지동작이 완료된 상태를 도시한 도면으로서, 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b) 사이에 개재되는 스프링부재(24d)가 수축하면서 그립베이스(24a)가 그립플레이트(24b)로 접근하게 됨과 동시에 후방돌출부(24bb)는 관통공(24aa)에 삽입된 상태로 그립 감지 센서(25)에 접근하게 되며, 그립 감지 센서(25)에서는 접근하는 후방돌출부(24bb)를 감지하고 마스크(M)가 안전하게 파지 되었는지 여부를 검사하게 되는 것이다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치(1)의 동작방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.
파드의 장착 단계
우선, 작업자 또는 자동화된 무인반송대차(AGV : Automatic Guided Vehicle)등에 의해 파드 커버가 결합된 파드 본체가 포트플레이트(120)의 상면 개구부(121)를 통해 스테이지(210)에 장착된다.
이때, 파드 커버에 형성된 결합홈(미도시)이 스테이지(210)에 형성된 래치키(211)와 결합되어 진다.
파드 커버 개방 단계 및 포트플레이트 상승 단계
스테이지부(1-2)는 파드 감지 센서(212), 레지스트레이션 핀(211) 및 위치 센서(212)에 의해 파드가 정상적으로 장착되었는지를 확인한 후 래치키(211)를 회전하여 파드 커버를 파드 본체로부터 결합을 해제시킨다.
다음, 포트플레이트(120)는 포트플레이트 이송부(111)의 이송레일(111a)을 따라 상면에 안착된 파드 본체와 함께 소정의 위치까지 상승되어 파드 본체와 파드 커버를 분리한다.
마스크 파지 및 마스크 파지 검사 단계
포트플레이트(120)이 소정의 위치까지 상승되면, 그립부(1-3)는 그립암(20)을 수평이동하여 플립암(24)으로 스테이지상의 파드 커버에 적재된 마스크(M)를 파지한다. 이때, 그립 감지 센서(25)에서 마스크(M)가 정상적으로 파지 되었는지 여부를 확인한다.
가공면 검사 단계
마스크(M) 파지 동작을 완료하면, 마스크(M)의 크롬면을 감지하는 장치에 의해 마스크(M)의 일면에 크롬면이 형성되어 있는지 여부를 검사하여 마스크(M)가 정상적으로 파지되어있는지 여부를 확인한다.
마스크 반전 및 반출 단계
크롬면 감지센서(112)에 의해 감지된 마스크(M)가 뒤집어서 적재되었을 경우 또는 마스크(M)의 후면가공이 필요할 경우에는 플립암(24)에 의해 마스크(M)가 반전되어 다음 공정으로 반출된다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
도1은 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치의 전체사시도,
도2는 본 발명의 일실시예에 따른 스테이지부의 구성을 도시한 도면,
도3은 본 발명의 일실시예에 따른 그립부의 분해사시도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암의 분해사시도,
도5a 및 도5b는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암의 동작상태를 도시한 도면,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 그립암의 제1흡입부를 도시한 도면,
도7는 본 발명의 일실시예에 따른 센서플레이트와 플립감지센서를 도시한 도면.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : SMIF 로더장치
1-1 : 본체부
1-2 : 스테이지부
1-3 : 그립부

Claims (6)

  1. 상면에 파드가 장착되는 본체부와, 상기 본체부에 장착된 파드 커버를 상기 파드 본체로부터 착탈시키는 스테이지부 및 상기 스테이지부에 의해 탈거된 상기 파드 커버에 수납된 반도체 자재를 파지하는 그립부를 포함하는 SMIF 로더장치에 있어서,
    상기 그립부는,
    상기 본체부에 설치되는 그립부 본체와;
    상기 그립부 본체에 수평이동가능하게 설치되는 그립암 본체와, 상기 그립암 본체의 일측에 설치되는 모터와 상기 모터에 풀리결합되어 회전하는 벨트와 상기 벨트에 일단이 취부되어 상기 파지된 반도체 자재를 반전하는 플립암을 포함하는 그립암을 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 벨트상에 서로 이격되도록 설치되는 한쌍의 센서플레이트와,
    상기 벨트의 부근에 설치되어 상기 센서플레이트를 감지하는 플립감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플립암은,
    관통공이 형성된 그립베이스와;
    상기 그립베이스에 결합되고, 전면에 그립패드가 형성되며 후방으로 돌출되어 상기 그립베이스의 일측으로부터 상기 관통공으로 삽입되는 후방돌출부가 형성되는 그립플레이트와;
    상기 그립베이스와 상기 그립플레이트 사이에 개재되는 스프링부재 및
    상기 후방돌출부와 대향되는 상기 그립베이스의 타측에 설치되어 상기 관통공을 통해 접근하는 상기 후방돌출부를 감지하는 그립감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 그립부는 상기 벨트에 상기 플립암이 취부되는 부근에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제1흡입부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 그립부 본체는 내부 저면에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제2흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.
  6. 제6항에 있어서,
    상기 제2흡입부는,
    상면에 복수개의 흡입공이 형성되고, 상기 흡입공을 통해 상기 그립부 본체의 내부에서 발생되는 파티클을 흡입하는 흡입관과;
    상기 그립부 본체의 일측에 설치되어 상기 흡입관이 파티클을 흡입하도록 흡입력을 제공하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.
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