JP2003309158A

JP2003309158A - 処理装置

Info

Publication number: JP2003309158A
Application number: JP2002111115A
Authority: JP
Inventors: Masahito Kadobe; 雅人門部; Yasushi Sakai; 裕史酒井
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-04-12
Filing date: 2002-04-12
Publication date: 2003-10-31
Anticipated expiration: 2022-04-12
Also published as: JP4048074B2

Abstract

(57)【要約】【課題】熱処理装置などの半導体製造装置は、全体が
筐体で囲まれているが、メンテナンス時にインターロッ
ク機能を解除する場合などにおいて、例えばウエハの搬
送容器（キャリア）を搬送する搬送機構と筐体の一部で
あるパネル部との間に作業者が挟まって事故につながる
おそれがある。【解決手段】パネル部の上縁側を当該上縁に沿った軸の
回りに回動自在に支持し、このパネル部が搬送機構の移
動領域側から押圧されたときに当該移動領域とは反対側
に回動してパネル部が開くように構成する。また搬送機
構の一部である昇降部例えば搬送アームをガイドするガ
イドレールを含む昇降部を、昇降機構側に設けられた基
端部分と、この基端部分により水平な軸の回りに回動自
在にかつ下方側への回動を阻止された状態で支持された
ガイドレールとに分け、ガイドレールが下方側から押圧
されたときに上側に向かって回動するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送機構を備える
と共に、搬送容器の中から例えば半導体ウエハなどの被
処理体を取り出して処理を行う処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置の一つとして、多数の半
導体ウエハ（以下ウエハという）に対してバッチで熱処
理を行う熱処理装置がある。この熱処理装置は、複数枚
のウエハを収納したキャリアが自動送ロボットまたはオ
ペレータにより搬入搬出される搬入搬出領域と、キャリ
ア内のウエハを基板保持具であるウエハボートに移載し
て熱処理炉への搬入搬出を行うローディングエリアとを
備えている。

【０００３】このような熱処理装置においては、ローデ
ィングエリアを搬入搬出領域よりもクリーン度の高い雰
囲気にすると共にウエハの自然酸化膜の発生などを防止
するために、大気側の搬入搬出領域とローディングエリ
アとを隔壁で仕切り、ローディングエリア内を不活性ガ
ス例えば窒素（Ｎ2）ガスで満たした不活性ガス雰囲気
とすることが好ましい。またこの場合、ウエハのパーテ
ィクル汚染を抑えるために、キャリア本体の前面のウエ
ハ取り出し口が蓋で密閉されている密閉型のキャリア
（クローズ型キャリアとも呼ばれている）を適用するこ
とが更に好ましい。

【０００４】本出願人は、密閉型のキャリアを用いた熱
処理装置を具体的に検討しており、既に特許出願した特
願2000-358600号にその一例を開示している。図９は前
記出願において開示している熱処理装置について、キャ
リアの搬入に関する部位を示す概略図である。１０１は
筐体１００の正面パネル部をなす隔壁であり、この隔壁
１０１の前面側に搬入搬出用の載置台１０２が設けられ
る。先ず図示しない自動搬送ロボットあるいはオペレー
タによりこの載置台１０２にキャリア２が載置され（ａ
の状態）、次いで載置台１０２が隔壁１０１側に移動
し、隔壁１０１に設けられた図示しない蓋開閉機構によ
りキャリア２の蓋が開けられウエハ状況を確認後キャリ
ア２の蓋が閉じられる。更に載置台１０２が筐体１００
内のキャリア搬送機構１０３の受け渡し位置（ｂの状
態）まで移動し、キャリア搬送機構１０３によりキャリ
ア２がキャリア保管棚１０６に移送される。その後キャ
リア保管棚１０６からウエハ移し替え位置（ｃの状態）
までキャリア搬送機構１０３によりキャリア２が移送さ
れ、図示しない蓋開閉機構によりキャリア２の蓋が開け
られ、キャリア２内のウエハをウエハ搬送機構１０５に
より図示しないウエハボートに移載される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ここで本出願人は、図
９の装置を一歩進め、載置台１０２に移動機構を設けず
固定状態とし、図示しない自動搬送ロボットあるいはオ
ペレータにより載置台１０２上に載置されたキャリア２
の上部を保持し、キャリア搬送機構１０３によりキャリ
ア保管棚１０６に移送させ、その後キャリア搬送機構１
０３によりウエハ移し替え位置に搬送することを検討し
ている。このような構成によれば、載置台１０２に移動
機構を設けなくて済み、スペースもより小さくなる利点
がある。

【０００６】ところで図９の装置では、載置台１０２上
に載置されたキャリア２が装置内に取り込まれた後、キ
ャリア搬送機構１０３により搬送されるため、載置台１
０２上のキャリア２の位置調整などのメンテナンス作業
を行う場合には、作業者に対する危険はほとんどない。
しかしながら載置台１０２上に載置されたキャリア２上
までキャリア搬送機構１０３が移動するため、キャリア
２の載置時、キャリア２の取り出し時及びメンテナンス
作業時において作業者がキャリア搬送機構１０３の移動
領域内に位置するため、作業者への危険性が生じる。

【０００７】本発明はこのような背景の下になされたも
のであり、その目的は作業者の安全を確保することので
きる処理装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、被処理体を収
納した搬送容器が搬入される搬入領域と、搬送容器の搬
送を行う搬送機構と、この搬送機構の移動領域に面し、
装置を囲む筐体の一部をなすパネル部とを備え、搬入領
域に搬入された搬送容器の中から被処理体を取り出して
処理を行う処理装置において、前記パネル部の一縁側を
当該一縁に沿った軸の回りに回動自在に支持し、このパ
ネル部が搬送機構の移動領域側から押圧されたときに当
該移動領域とは反対側に回動してパネル部が開くように
構成したことを特徴とする。

【０００９】具体的な構成例としては、例えば前記パネ
ル部はほぼ垂直に配置されると共に前記一縁部はパネル
部の上縁部であり、搬送機構は昇降自在に構成されてい
る。本発明ではパネル部の前記一縁側以外の箇所を前記
筐体に止着し、搬送機構の移動領域側からの押圧により
止着状態が解除される止着手段を備えるようにしてもよ
い。この発明によれば、搬送機構とパネル部との間に身
体の一部が挟まった場合にパネル部が例えば上に跳ね上
がって開くので、作業者の安全を確保できる。

【００１０】他の発明は、被処理体を収納した搬送容器
が搬入される搬入領域と、昇降機構により昇降する昇降
部を有する搬送機構とを備え、搬入領域に搬入された搬
送容器の中から被処理体を取り出して処理を行う処理装
置において、前記昇降部は、昇降機構側に設けられた支
持部と、この支持部により水平な軸の回りに回動自在に
かつ下方側への回動を阻止された状態で支持された可動
部とを備え、可動部は下方側から押圧されたときに上側
に向かって回動するように構成されたことを特徴とす
る。昇降部は、例えば容器を保持する搬送アームを横方
向に移動するための案内部材である。この発明によれ
ば、昇降部が下降して昇降部とその下の部材との間に作
業者の身体の一部が挟まったときに昇降部が跳ね上がる
ので、作業者の安全を確保できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に本発明に係る処理装置を縦
型熱処理装置に適用した実施の形態について説明する。
図１は縦型熱処理装置の概観を示す斜視図、図２及び図
３は夫々縦型熱処理装置の内部を示す縦断側面図及び概
略平面図である。図中の１は装置の外装体を構成する筐
体であり、この筐体１内には、被処理体である基板例え
ばウエハを収納した搬送容器であるキャリア２が装置に
対して搬入、搬出されるための搬入搬出領域Ｓ１と、キ
ャリア２内のウエハを搬送して後述の熱処理炉内に搬入
するための処理領域であるローディングエリアＳ２とが
形成されている。なお便宜上図１では領域Ｓ１、Ｓ２は
筐体１の外側で符号を示してある。搬入搬出領域Ｓ１と
ローディングエリアＳ２とは隔壁３により仕切られてお
り、搬入搬出領域Ｓ１は大気雰囲気とされ、ローディン
グエリアＳ２は不活性ガス雰囲気例えば窒素（Ｎ2）ガ
ス雰囲気とされている。

【００１２】搬入搬出領域Ｓ１は、装置の正面側から見
て手前側に位置する第１の領域４と奥側に位置する第２
の領域５とからなる。第１の領域４には２個のキャリア
２を夫々載置するために左右に配置された第１の載置台
４１、４２が設けられている。キャリア２は、被処理体
である例えば直径３００ｍｍのウエハＷ（図１参照）が
複数枚例えば１３枚棚状に配列されて収納され、蓋によ
り塞がれた例えば樹脂からなる密閉型のキャリアが用い
られる。またキャリア２は、図２に示すように上面に四
角形のフランジ部２１が当該上面と隙間を介して設けら
れ、後述のキャリア搬送機構によりこのフランジ部２１
が保持されて搬送されることになる。第１の載置台４
１、４２の載置面には、キャリア２の底部に設けられた
凹部に嵌合してキャリア２を位置決めする位置決め部で
あるピン４３（図１参照）が例えば３個所に設けられて
いる。

【００１３】また筐体１の前面側には、第１の領域４の
左右両側を仕切るように側板６１、６２が対向して垂直
に配置されると共に、一方の側板部６１の前縁部の上部
側と他方の側板部６２の前縁部の上部側との間に筐体１
の一部をなす正面パネル部６がほぼ垂直に架け渡されて
設けられている。従って筐体１の正面には、オペレータ
が第１の載置台４１、４２に対してキャリア２の受け渡
しを行ったり、メンテナンスを行ったりするための四角
形の開口部（正面開口部）３０が形成され、この開口部
３０の上に正面パネル部６が位置していることになる。
第１の領域４を上から見ると、側板部６１、６２及び正
面パネル部６によりコ字型形状になっており、これらで
囲まれた領域は、クリーンルーム内の図示しない天井部
に沿って移動する自動搬送ロボットがキャリア２を保持
して第１の載置台４１、４２との間で受け渡しをするた
めの昇降領域をなすものである。

【００１４】正面パネル部６及びその周辺の部位につい
て図４及び図５を参照しながら説明する。側板部６１、
６２の前縁頂部は前方に突出する突出部６１ａ、６２ａ
として構成され、これら突出部６１ａ、６２ａにてほぼ
水平で左右方向に伸びる回転軸６３により、正面パネル
部６の一縁側である上縁側を回動自在に支持している。
つまりこの例では、正面パネル部６は、その上縁部に沿
った軸（この例では水平な軸）の回りに回動自在に支持
されていることになる。なお回転軸６３よりも上側にお
いては、正面パネル部６と側板部６１、６２の前縁部と
の間に正面パネル部６が回動できるように隙間Ｇを設け
てある。

【００１５】そして正面パネル部６の下縁側及びこの側
板部６１、６２の前縁部には、両者を止着する止着手段
である例えばボールキャッチ方式の止め具６４が設けら
れている。この止め具６４は、図５に拡大して示すよう
に正面パネル部６の裏面側に設けられたボール６５と、
側板部６１、６２の前縁部に形成され、前記ボール６５
が収まる凹部６６と、この凹部６６の例えば上下からバ
ネ６７ａ、６８ａにより付勢されてボール６５の脱出を
阻止する押圧子６７、６８と、を備えている。このよう
に正面パネル部６はボールキャッチ方式の止め具６４に
より側板部６１、６２に止着されているが、例えば１５
ｋｇ程度で裏側（内側）から押圧されると、前記押圧子
６７、６８がバネ６７ａ、６８ａに抗して広がり、止着
状態が解除されて跳ね上がる。

【００１６】図１〜図３に戻って装置の説明を進める
と、搬入搬出領域Ｓ１における第２の領域５には、第１
の載置台４１、４２に対して夫々一列に前後に並ぶよう
に載置部である第２の載置台５１、５２が配置されてい
る。第２の載置台５１、５２の載置面にも第１の載置台
４１、４２と同様にキャリア２を位置決めする位置決め
部であるピン５３（図１参照）が３個所に設けられてい
る。これら載置台５１、５２は、後述のキャリア搬送機
構によりキャリア２が置かれる位置とキャリア２が隔壁
３に当接される位置との間で図示しない駆動部により前
後に移動可能に構成される。

【００１７】一方第２の領域５の上部側にはキャリア２
を保管するキャリア保管部５４が設けられ（図２参
照）、キャリア保管部５４はこの例では２段の棚により
構成されている。そして第２の領域５には、キャリア２
を第１の載置台４１、４２及び第２の載置台５１、５２
並びにキャリア保管部５４の間で搬送するキャリア搬送
機構７が設けられている。

【００１８】このキャリア搬送機構７について主に図
６、図７を参照しながら説明すると、例えば第２の領域
５の左端側にほぼ垂直に設けられた垂直レール７１と、
この垂直レール７１に沿って昇降自在に設けられ、左右
に伸びるガイド部材であるガイドレール８３を備えた昇
降部８と、ガイドレール８３にガイドされながら左右に
移動する移動部７２と、この移動部７２に設けられ、キ
ャリア２の上面のフランジ部２１を保持してキャリア２
を水平方向に搬送する２本のアーム７３ａ及び７３ｂか
らなる関節アームである搬送アーム７３と、アーム７３
ｂの下方側に設けられ、キャリア２の上面のフランジ部
２１を保持する保持部７４とを備えている。なお保持部
７４は互いに対向する一対のＬ字部分により前記フラン
ジ部２１の下面側を保持するものであり、このため常に
同じ方向に向くようにアーム７３ｂに対して回動可能に
構成されている。

【００１９】昇降部８は、図示しない昇降機構により垂
直レール７１にガイドされながら昇降する基端部分８１
と、この基端部分８１により水平な回転軸８２を介して
水平な軸の回りに回動自在に設けられたガイドレール
（案内部材）８３とを含む。なお搬送アーム７３及び保
持部７４も昇降部８の一部である。基端部分８１に対す
るガイドレール８３の取り付け構造については、図６に
示すようにガイドレール８３の一端側から水平に突出し
ている突出部８３ａを基端部分８１の凹部８１ａ内に嵌
入した状態で回転軸８２により当該突出部８３ａを支持
すると共に、図７に示すように基端部分８１における凹
部８１ａの前面側の面８１ｂとガイドレール８３におけ
る突出部８３ａの下部両側の面８３ｂとが当接してお
り、この当接によりガイドレール８３の下方側への回動
が阻止されている。この実施の形態では、基端部分８１
が特許請求の範囲に記載した支持部に相当し、ガイドレ
ール８３が特許請求の範囲に記載した可動部に相当す
る。なお図７中にて昇降部８の下面部及び保持部７４の
下面部に符号８０を用いて黒丸で示してある部位は、接
触を検知するセンサであり、このセンサ８０がオンした
ときに図示しない制御部を介して搬送機構７の動作が停
止するようになっている。

【００２０】基端部分８１を昇降する昇降機構として
は、例えば基端部分８１を上下に貫通しかつ基端部分８
１に対して螺合するネジ軸を設け、例えば垂直レール７
１の一端側に固定されたモータによりネジ軸を回転させ
て基端部分８１を昇降させるボールネジ機構を用いるこ
とができる。

【００２１】図２及び図３に説明を戻すと、隔壁３に
は、第２の載置台５１（５２）に載置されたキャリア２
が当該隔壁３に当接したときにキャリア２内とローディ
ングエリアＳ２とを連通する開口部３１が形成されてい
る。また隔壁３におけるローディングエリアＳ２側に
は、開口部３１を開閉する扉３２が設けられると共にこ
の扉３２を閉じたままでキャリア２の蓋を開閉する蓋開
閉機構３３が設けられている。この扉３２は、キャリア
２の蓋が開かれた後、図示しない扉開閉機構により蓋開
閉機構３３及び蓋と共にウエハＷの移載の邪魔にならな
いように例えば上方側に退避するように構成される。

【００２２】ローディングエリアＳ２の奥側には、下端
が炉口として開口された処理部である縦型の熱処理炉９
１が設けられ、この縦型の熱処理炉９１の下方側には、
多数枚のウエハＷを棚状に保持する保持具であるウエハ
ボート９２が断熱部９３を介してキャップ９４の上に載
置されている。キャップ９４はボートエレベータ９５の
上に支持されており、このボートエレベータ９５により
ウエハボート９２が熱処理炉９１に対して搬入あるいは
搬出される。またウエハボート９２と隔壁３の開口部３
１との間には、ウエハ搬送機構９６が設けられている。
このウエハ搬送機構９６は、左右に伸びるガイド機構９
７に沿って移動すると共に鉛直軸の回りに回動できる移
動体９８に複数例えば５枚の進退自在なアーム９９を設
けて構成され、ウエハボート９２と、第２の載置台５
１、５２上のキャリア２との間でウエハＷを搬送する役
割を持っている。

【００２３】次に上述実施の形態の作用について説明す
る。先ずクリーンルームの天井部に沿って移動する図示
しない自動搬送ロボットによりキャリア２が正面パネル
部６の裏側の空間を通って下降し、第１の載置台４１
（４２）に載置される。続いてキャリア搬送機構７によ
り前記キャリア２が第２の載置台５１（５２）に搬送さ
れる。キャリア２が第２の載置台５１（５２）に載置さ
れると、第２の載置台５１（５２）が隔壁３側に移動し
てキャリア２の取り出し口の口縁部が隔壁３の開口部３
１の口縁部に気密に当接する。しかる後、蓋開閉機構３
３によりキャリア２の蓋が取り外され、その後、扉３
２、蓋開閉機構３３及び蓋が例えば上昇して開口部３１
から退避し、キャリア２内とローディングエリアＳ２と
が連通した状態となる。

【００２４】その後、ウエハ搬送機構９６によりキャリ
ア２内のウエハＷが順次取り出されてウエハボート９２
に移載される。キャリア２内のウエハＷが空になると、
上述と逆の動作でキャリア２の蓋が閉じられ、第２の載
置台５１（５２）が後退してキャリア２が隔壁３から離
れ、キャリア搬送機構７によりキャリア保管部５４に搬
送されて一時的に保管される。一方ウエハボート９２に
所定枚数のウエハＷが搭載されると、熱処理炉９１内に
搬入されてウエハＷに対して熱処理例えばＣＶＤ、アニ
ール処理、酸化処理などが行われる。熱処理が終了する
と、上述と逆の動作でウエハＷがキャリア２内に戻され
る。

【００２５】そしてメンテナンス時には、作業者が正面
開口部３０から上体を筐体１の中に入れて載置台４１、
４２、５１、５２の点検、キャリア搬送機構７の動作確
認などを行い、このとき例えばハンディターミナルなど
によりマニュアルでキャリア搬送機構７を動作させる。
このような作業時に例えば誤った操作により搬送機構７
の昇降部８が上昇し、作業者の身体の一部が正面パネル
部６と例えばガイドレール８３との間に挟まると、挟ま
った身体の一部が正面パネル部６を押圧する。これによ
り正面パネル部６の止め具６４の止着状態が解除されて
正面パネル部６が跳ね上がり、挟まった身体の一部が圧
迫から開放される。なお図８は、キャリア２の載置時、
キャリア２の取り出し時またはメンテナンス作業時にお
いて、作業者がキャリア搬送機構１０３の移動領域内に
位置している状態を示している。また例えば誤った操作
によりキャリア搬送機構７の昇降部８が下降して、例え
ばガイドレール８３と載置台４１（４２）あるいはキャ
リア２との間に作業者の身体の一部が挟まれても、昇降
部８が下側から押圧される状態になるので、図７に示す
ように当該昇降部８が回転軸８２を中心として上側に回
転する。ここでガイドレール８３及び保持部７４には、
センサ８０が設けられているが、このセンサ８０が配置
されていない部位にて作業者が挟まれた場合でも、また
センサ８０の接触の検出により動作を停止するインター
ロック機能を解除していたとしても、同様に昇降部８が
跳ね上がる。

【００２６】このように上述の実施の形態によれば、作
業者の身体の一部がキャリア搬送機構７の昇降部８と正
面パネル部６との間、あるい昇降部８とその下方側の部
材との間に挟まっても、正面パネル部６あるい昇降部８
が跳ね上がるので、挟まった身体の一部が強い圧迫を受
ける前に開放され、従って作業者が怪我を免れるかある
いは仮に怪我をしたとしてもその程度は軽くて済み、作
業者の安全を確保できる。本発明では、パネル部との間
に作業者を挟むおそれのある搬送機構としては、キャリ
ア搬送機構に限らずその他の搬送機構例えばウエハ搬送
機構であってもよく、また搬送機構との間に作業者を挟
むおそれのあるパネル部としては、正面パネル部に限ら
ず側面、背面あるいは上面のパネル部であってもよい。
そしてパネル部は水平な軸の回りに回動することに限ら
ず、例えば側面パネル部が垂直な軸の回りに回動して開
く構造であってもよい。

【００２７】更にまた昇降部が跳ね上がる搬送機構とし
ては、キャリア搬送機構に限らずその他の搬送機構例え
ばウエハ搬送機構であってもよい。なお本発明は、縦型
熱処理装置に限らず例えば枚葉式の熱処理装置やレジス
トの塗布、現像を行う装置、イオン注入装置など、被処
理基板に対して所定の処理を行う処理装置に適用でき
る。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、パネル部が搬送機構の
移動領域側から押圧されたときに当該移動領域とは反対
側に回動してパネル部が開くように構成したので、パネ
ル部と搬送機構との間に作業者の身体の一部が挟まった
場合でも作業者の安全を確保できる。また他の発明によ
れば、搬送機構の昇降部が下方側から押圧されたときに
上側に向かって回動するように構成したので、昇降部に
より作業者の身体の一部が押しつけられそうになっても
作業者の安全を確保できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の処理装置の実施の形態である縦型熱処
理装置の概観を示す斜視図である。

【図２】上記の縦型熱処理装置の内部の概略構成を示す
縦断側面図である。

【図３】上記の縦型熱処理装置の内部の概略構成を示す
横断平面図である。

【図４】上記の縦型熱処理装置の正面パネル部及びその
周辺を示す上面図である。

【図５】上記の縦型熱処理装置の正面パネル部及びその
周辺を示す側面図及び正面パネル部の止め具を示す断面
図である。。

【図６】上記の縦型熱処理装置に用いられるキャリア搬
送機構を示す斜視図である。

【図７】上記の縦型熱処理装置に用いられるキャリア搬
送機構を示す側面図である。

【図８】上記の縦型熱処理装置においてキャリア搬送機
構の移動領域内に作業者が位置している状態を示す説明
図である。

【図９】縦型熱処理装置の構成の一例を示す概略側面図
である。

【符号の説明】

Ｓ１搬入搬出領域Ｓ２ローディングエリアＷ半導体ウエハ１筐体２キャリア３隔壁３１開口部３２扉４第１の領域４１、４２第１の載置台５第２の領域５１、５２第２の載置台６正面パネル部６１、６２側板６３回転軸６４止め具７キャリア搬送機構７１垂直レール７２移動部７３搬送アーム７４保持部８昇降部８１基端部分８２回転軸８３ガイドレール９１熱処理炉９６ウエハ搬送機構

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１４年４月１６日（２００２．４．１
６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【図１】

【図３】

【図４】

【図８】

【図５】

【図６】

【図９】

【図７】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/324 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６７Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA08 EA14 EA20 FA01 FA03 FA09 FA11 FA12 GA43 GA47 GA48 GA49 KA20 LA12 MA13 MA16 MA30 NA04 NA09 NA10 PA08 5F046 CD01 KA01 KA07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理体を収納した搬送容器が搬入され
る搬入領域と、搬送容器の搬送を行う搬送機構と、この
搬送機構の移動領域に面し、装置を囲む筐体の一部をな
すパネル部とを備え、搬入領域に搬入された搬送容器の
中から被処理体を取り出して処理を行う処理装置におい
て、前記パネル部の一縁側を当該一縁に沿った軸の回りに回
動自在に支持し、このパネル部が搬送機構の移動領域側
から押圧されたときに当該移動領域とは反対側に回動し
てパネル部が開くように構成したことを特徴とする処理
装置。
【請求項２】前記パネル部はほぼ垂直に配置されると
共に前記一縁部はパネル部の上縁部であり、搬送機構は
昇降自在に構成されていることを特徴とする請求項１記
載の処理装置。
【請求項３】パネル部の前記一縁側以外の箇所を前記
筐体に止着し、搬送機構の移動領域側からの押圧により
止着状態が解除される止着手段を備えたことを特徴とす
る請求項１または２記載の処理装置。
【請求項４】被処理体を収納した搬送容器が搬入され
る搬入領域と、昇降機構により昇降する昇降部を有する
搬送機構とを備え、搬入領域に搬入された搬送容器の中
から被処理体を取り出して処理を行う処理装置におい
て、前記昇降部は、昇降機構側に設けられた支持部と、この
支持部により水平な軸の回りに回動自在にかつ下方側へ
の回動を阻止された状態で支持された可動部とを備え、可動部は下方側から押圧されたときに上側に向かって回
動するように構成されたことを特徴とする処理装置。
【請求項５】昇降部は、容器を保持する搬送アームを
横方向に移動するための案内部材であることを特徴とす
る請求項４記載の処理装置。