WO2018135137A1 - 物品中継装置及びストッカ - Google Patents

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WO2018135137A1
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玄己 小合
後藤　史樹
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村田機械株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an article relay device and a stocker.
  • a container for storing a reticle or a semiconductor wafer is used to carry in or out various equipment such as a stocker (storage device) or an exposure apparatus. While carrying in or carrying out the container to / from these various facilities is performed by the transport system, it may be performed by an operator. It is known that various facilities include an article relay device (manual port) in order to carry in or out a container by an operator (see, for example, Patent Document 1).
  • Such an article relay device is provided, for example, on an outer wall that partitions the inside and outside of the stocker, and relays articles (containers) between the inside of the facility and the worker.
  • the article relay device is provided with an opening that opens toward the worker's passage on the outside of the outer wall, and a placing table on which articles are placed is arranged on the inner side in the depth direction than the opening. Is done.
  • a control panel or the like is arranged above the opening, and a cover for covering the control panel is provided as a part of the outer wall.
  • the article when the article is a container (reticle pod) for storing a reticle, when the container is relayed by the above-described article relay device, the height for placing the container is set according to a standard such as SEMI. Is considerably lower than the operator's perspective.
  • the reticle pod contains one or several reticles, there is no height in the vertical direction. Therefore, in the article relay device, the vertical direction of the opening is also set small.
  • the cover which covers a control board etc. as mentioned above is provided above the opening part, and this cover is in the state which protruded from the outer wall of the installation. Therefore, it is difficult to visually recognize the back side of the opening while the worker is standing, and there is a problem that the container placed on the article relay device is difficult to see and the workability is lowered.
  • the present invention provides an article relay apparatus and a stocker that can improve the workability by improving the visibility behind the opening and facilitating the confirmation of articles such as containers for the operator. With the goal.
  • An article relay device is an article relay device that is provided on an outer wall that divides the inside and outside of an equipment and relays an article between the inside of the equipment and an operator, and faces an operator's passage outside the outer wall.
  • An opening that opens in the depth direction
  • a mounting table that is provided in the depth direction with respect to the opening and on which an article is placed, and is provided at a position above the opening and on the near side in the depth direction from the opening.
  • a first cover that becomes a part of the outer wall, a second cover that is provided between the first cover and the opening, becomes a part of the outer wall, and goes to the depth side in the depth direction as it goes downward, Is provided.
  • the mounting table includes a first position on the near side in the depth direction and a second position that is a depth side in the depth direction with respect to the first position and that is a delivery position of the article with respect to the transfer device provided inside the facility. You may provide the moving mechanism moved between.
  • the first position is a position where at least a part of the article placed on the placing table is on the near side in the depth direction with respect to the virtual plane including the upper end of the opening and in contact with the second cover, The position may be a position closer to the back side in the depth direction than the first position.
  • the first position may be a position behind the first cover in the depth direction, and the moving mechanism may be able to move the mounting table to the first position in a direction toward the near side in the depth direction.
  • an outside air intake port in the outside air supply unit may be provided in a part of the second cover.
  • the stocker according to the present invention includes the above-described article relay device.
  • a plurality of shelves on which articles are placed may be provided inside, and at least one of the plurality of shelves may be disposed on the back side in the depth direction with respect to the first cover and above the placing table.
  • the second cover since the second cover has a shape toward the depth side in the depth direction as it goes downward from the first cover, the worker is standing from the diagonally upward direction to the depth side of the opening. A part can be visually recognized. As a result, the operator can easily confirm that the article is present behind the opening, and workability such as delivery of the article can be improved.
  • the mounting table includes a first position on the near side in the depth direction and a second position that is a depth side in the depth direction with respect to the first position and that is a delivery position of the article with respect to the transfer device provided inside the facility.
  • the operator can easily transfer the article to the mounting table by the first position mounting table, and the second position mounting table can transfer the article to the mounting table by the transfer device. Can be performed reliably.
  • the first position is a position where at least a part of the article placed on the placing table is on the near side in the depth direction with respect to the virtual plane including the upper end of the opening and in contact with the second cover,
  • the position is a position on the back side in the depth direction with respect to the first position, a part of the article placed on the placing table at the first position can be visually recognized from obliquely above the opening, and the presence of the article can be confirmed. Easy to confirm.
  • the mounting table at the first position protrudes from the first cover. Can be prevented.
  • the outside air supply part which supplies the outside air of an outer wall is provided in the back
  • the outside air intake port in the outside air supply unit is provided in a part of the second cover, the outside air intake port is provided in the second cover close to the opening, so that the duct and the like are shortened, and the cost can be reduced.
  • the stocker according to the present invention includes the above-described article relay device, workability when an operator delivers the article to the stocker is improved.
  • the stocker in the case where a plurality of shelves on which articles are placed are provided, and at least one of the plurality of shelves is disposed in the depth direction with respect to the first cover and above the placement table, the inside of the stocker The articles can be efficiently accommodated.
  • FIG. A) is a top view which shows the case where a mounting base is in a 1st position
  • B is a top view which shows the case where a mounting base is in a 2nd position
  • A) is a side view which shows the case where a mounting base is in a 1st position
  • B) is a side view which shows the case where a mounting base is in a 2nd position.
  • FIGS. 1 and 2 are diagrams illustrating an example of an article relay device according to the present embodiment.
  • 1 is a side view
  • FIG. 2 is a front view.
  • the article relay device 100 is provided on a part of an outer wall 111 that divides the inside and outside of a stocker 200 that is one of the facilities, and the inside of the stocker (inside the facility) K2 and an operator.
  • the article M is relayed between them.
  • the article relay device 100 is disposed facing the passage R through which the worker passes, for example, in the outer wall 111.
  • the article relay device 100 will be described on the assumption that the side facing the passage R is the front.
  • the stocker 200 is shown as the equipment, but it is not limited to this form, and for example, equipment having a processing apparatus such as an exposure apparatus may be used.
  • the article M is a reticle pod (container) that accommodates a reticle used in an exposure apparatus, but is not limited to a reticle pod, and may be, for example, a FOUP that accommodates a wafer.
  • the article M has one or several reticles to be accommodated, and has a vertical dimension that is high enough to accommodate one or several reticles.
  • the article relay device 100 includes an opening 10, a mounting table 20, a moving mechanism 50, and a shutter mechanism 60, as shown in FIGS.
  • the first cover 30, the second cover 40, and the outside air supply unit 70 are provided in a stocker 200 as equipment corresponding to the article relay device 100. Further, the first cover 30 and the second cover 40 form a part of the outer wall 111 of the stocker 200.
  • the opening 10 opens toward the worker's passage R outside the outer wall 111. That is, the opening 10 is provided in front of the article relay device 100.
  • the opening 10 is formed in a rectangular shape when viewed from the front side. Further, the opening 10 is set to have a vertical dimension that allows the article M to pass therethrough. In the present specification, the rectangle is used to include a rectangle and a square.
  • the opening 10 is provided through the outer wall 111 in the depth direction D.
  • the article relay device 100 has an inner opening 11 on the back side in the depth direction D.
  • the inner opening 11 has a rectangular shape like the opening 10 and is formed on the K2 side of the stocker.
  • the article relay device 100 includes a device interior K ⁇ b> 1 formed by a bottom surface 12, side surfaces 13 and 14, and a top surface 15 between the opening 10 and the inner opening 11.
  • the mounting table 20 is disposed inside the apparatus K ⁇ b> 1 and is provided on the back side in the depth direction D from the opening 10.
  • the mounting table 20 is movable along the depth direction D to the back side and the near side by a guide unit (not shown). Further, the mounting table 20 has a height H on which the article M is mounted set based on a standard such as SEMI.
  • the height H of the mounting table 20 is lower than the operator's line of sight.
  • the first cover 30 is provided as a part of the outer wall 111 by metal or resin, for example.
  • the first cover 30 is provided at a position above the opening 10 and on the nearer side in the depth direction D than the opening 10, and is disposed in a state of protruding outward from the outer wall 111.
  • the first cover 30 has a front surface portion 31, a side surface portion 32, and an upper surface portion 33.
  • the front surface portion 31, the side surface portion 32, and the upper surface portion 33 are each formed in a planar shape and are arranged orthogonal to each other.
  • the front portion 31 is arranged along the vertical direction and has a rectangular shape in front view.
  • the front part 31 is disposed at a height close to the operator's line of sight.
  • An operation panel 34 and a switch unit 35 are disposed on the front unit 31 (see FIG. 2).
  • the operation panel 34 includes, for example, an input unit that operates each unit of the article relay device 100 and a display unit that displays images, characters, and the like.
  • a touch panel, a lever, a button, or the like is used as the input unit.
  • a liquid crystal display or the like is used as the display unit.
  • the switch unit 35 switches driving or stopping of an outside air supply unit 70 described later.
  • the first cover 30 can accommodate a control base and the like, for example.
  • the switch unit 35 may be omitted.
  • the outside air supply unit 70 may be controlled to drive the fan 73 when shutters 61 and 62 described later are open.
  • the second cover 40 is provided as a part of the outer wall 111 by, for example, metal or resin, and is provided between the first cover 30 and the opening 10.
  • the second cover 40 may be formed integrally with the first cover 30 or may be formed separately and connected by a fastening member.
  • the first cover 30 and the second cover 40 are joined without a gap, and the inside and outside of the stocker 200 are partitioned similarly to the outer wall 111.
  • the second cover 40 has an inclined part 41 and a side part 42.
  • the inclined portion 41 has a shape toward the depth side in the depth direction D as it goes downward.
  • the inclined portion 41 is arranged to face the opening 10 at the lower end 31b of the front portion 31 of the first cover 30. Therefore, the inclined portion 41 is disposed to be inclined with respect to the front portion 31.
  • the inclined portion 41 is arranged at a height at which the lower end 41b coincides with the upper end 10a of the opening 10, but is not limited to this configuration. Since the second cover 40 includes the inclined portion 41, the opening 10 is suppressed from being hidden when viewed from above while securing a space inside the facility.
  • the inclined portion 41 is a planar shape using a rectangular plate-shaped member, but is not limited to this form, and may be, for example, a curved surface, or a shape in which a plurality of flat surfaces or curved surfaces are combined. Also good.
  • the inclined portion 41 has a shape in which the lower end 31b of the front portion 31 and the upper end 10a of the opening 10 are connected on a single plane.
  • the moving mechanism 50 moves the mounting table 20 between the first position P1 and the second position P2 in the depth direction D.
  • the first position P1 is a position in which at least a part of the article M placed on the placing table 20 includes the upper end of the opening 10 and is closer to the front side in the depth direction D than the virtual plane S that is in contact with the second cover 40. It is.
  • the virtual plane S is a plane including the inclined portion 41.
  • the first position P1 is a position on the back side with respect to the first cover 30 in the depth direction D.
  • the second position P2 is a position on the back side in the depth direction D from the first position P1.
  • the second position P2 is a delivery position of the article M with respect to the transport device (see FIG. 7) provided in the stocker interior K2.
  • the moving mechanism 50 a mechanism capable of moving the mounting table 20 in a linear direction along a guide portion (not shown) is used.
  • Examples of such a driving device include a ball screw mechanism, a linear motor mechanism, a rotating belt mechanism, and an air cylinder mechanism.
  • the moving mechanism 50 is controlled by the control device 63 in terms of moving direction, moving amount, moving timing, and the like.
  • the control device 63 is illustrated below the moving mechanism 50 in FIG. 1, for example, the control device 63 may be disposed inside the second cover 40 or may be disposed outside the article relay device 100.
  • the control device 63 may be electrically connected to the control device of the stocker 200.
  • the mounting table 20 When the moving mechanism 50 is driven and the mounting table 20 is arranged at the first position P1, the mounting table 20 is positioned close to the opening 10, and the operator can easily transfer the article M to the mounting table 20. Further, in this case, the worker can visually recognize a part of the article M placed on the placing table 20 from obliquely above on the near side of the virtual plane S, and can easily confirm the presence of the article M. That is, the operator does not need to confirm the presence of the article M by changing the posture such as squatting and looking in, and the workability can be improved.
  • the first position P1 is the movement limit position on the near side in the movement range of the mounting table 20.
  • the mounting table 20 (or the article M) is prevented from protruding outward from the first cover 30.
  • the second position P2 is a movement limit position on the far side in the movement range of the mounting table 20, and the article M can be transferred to and from an article conveyance device (not shown) installed in the inside K2 of the stocker. This is a possible position. Therefore, by placing the mounting table 20 at the second position P2, it is possible to reliably deliver the article to and from the article conveying device inside the stocker K2.
  • the shutter mechanism 60 is disposed on the back side in the depth direction D in the inside K1 of the apparatus.
  • the shutter mechanism 60 opens and closes between the inside K1 of the article relay device 100 and the inside K2 of the stocker 200.
  • the shutter mechanism 60 includes shutters 61 and 62.
  • the shutters 61 and 62 are each formed of a single curved metal plate or resin plate.
  • 3 and 4 are diagrams showing the operation of the article relay device according to the present embodiment.
  • 3A and 3B show a state seen from above.
  • 4A and 4B show a state seen from the side.
  • the shutters 61 and 62 can be moved in the direction around the central axis AX in the vertical direction by a driving mechanism (not shown).
  • the shutters 61 and 62 can move in conjunction with each other.
  • the control device 63 controls the opening and closing of the shutters 61 and 62 by driving the drive mechanism. For example, the control device 63 may control to close when the mounting table 20 is at the first position P1 and to open when the mounting table 20 moves to the second position P2.
  • the shutters 61 and 62 close the inner opening 11 in a state where the opposite sides 61a and 62a are in contact with each other in the closed state. Be placed.
  • elastic members may be disposed on the end sides 61a and 62a of the shutters 61 and 62, respectively.
  • the shutters 61 and 62 are moved in the directions around the central axis AX to open the inner opening 11.
  • the shutters 61 and 62 are retracted to a position sandwiching the second position P2.
  • the shutter 61 is retracted along the side surface 13
  • the shutter 62 is retracted along the side surface 14.
  • the shutters 61 and 62 are retracted with a distance allowing the article M to pass in the depth direction D.
  • the opening / closing path of the shutters 61 and 62 is set so as not to interfere with the path of the mounting table 20.
  • the timing at which the shutters 61 and 62 are opened may be after the mounting table 20 has reached the second position P2, or may be during the movement of the mounting table 20 to the second position P2.
  • a link mechanism that transmits the driving force of the moving mechanism 50 to the opening and closing of the shutters 61 and 62 may be used.
  • This link mechanism may open and close the shutters 61 and 62 in conjunction with the movement of the mounting table 20. That is, as the link mechanism, a mechanism that converts the movement of the mounting table 20 in the linear direction into the movement in the rotation direction around the central axis AX of the shutters 61 and 62 is used.
  • the link mechanism closes the shutters 61 and 62 when the mounting table 20 is disposed at the first position P1, and opens the shutters 61 and 62 when the mounting table 20 is disposed at the second position P2. You may be comprised so that it may be set as a state.
  • the shutters 61 and 62 can be opened in conjunction with the movement of the mounting table 20, and the mounting table 20 When moving from the second position P2 to the first position P1, the shutters 61 and 62 are closed in conjunction with the movement of the mounting table 20, so that no separate drive source is used to open and close the shutters 61 and 62, thereby reducing the apparatus cost. Furthermore, the control by the control device 63 can be simplified.
  • the outside air supply unit 70 is disposed near the opening 10 and above the apparatus interior K1.
  • the outside air supply unit 70 supplies outside air outside the outer wall 111 to the inside K1 of the article relay device 100.
  • the outside air supply unit 70 can bring the inside of the apparatus K1 into a state close to the outside air by supplying outside air to the inside K1 of the apparatus of the opening 10.
  • the shutters 61 and 62 are opened, the atmosphere inside the stocker K2 flows into the inside K1 of the apparatus.
  • the inside K1 can be brought close to the outside air. Even when the operator puts his head in the inside K1 of the apparatus, the work can be performed smoothly.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of the outside air supply unit 70.
  • the outside air supply unit 70 includes an outside air intake 71, a duct 72, and a fan 73.
  • the outside air intake port 71 is provided in a part of the second cover 40.
  • a plurality of outside air intake ports 71 are formed in the horizontal direction below the second cover 40 close to the opening 10 (see FIG. 2). For this reason, for example, compared with the case where the outside air intake port 71 is provided in the first cover 30 or the other outer wall 111, the duct 72 is shortened, and the apparatus cost can be reduced.
  • the duct 72 is disposed inside the second cover 40 and guides the outside air taken in from the outside air inlet 71 to the back side in the depth direction D.
  • the fan 73 is disposed downward and sends outside air guided by the duct 72 downward from the upper surface 15 into the apparatus interior K1.
  • the driving or stopping of the fan 73 may be manually operated by the switch unit 35 (see FIG. 2) or may be controlled by the control device 63.
  • the control may be such that the fan 73 is driven after the shutters 61 and 62 are opened and closed.
  • the relay operation of the article M using the article relay apparatus 100 will be described.
  • the operator When carrying in the article M, for example, the worker places the article M on a carriage or the like and transports the passage R to the front of the article relay apparatus 100. Subsequently, the operator operates the operation panel 34 to place the mounting table 20 at the first position P1.
  • the mounting table 20 In the article relay device 100, the mounting table 20 may be disposed at the first position P1 during standby (when not in use). When placing the mounting table 20 at the first position P1, the shutters 61 and 62 are closed as described above.
  • the worker confirms that the article M is not already placed on the placing table 20 while standing in front of the article relay apparatus 100.
  • the worker visually recognizes the device interior K1 of the opening 10 from an obliquely upward direction.
  • the 2nd cover 40 since the 2nd cover 40 has the inclination part 41, when an operator visually recognizes via the opening part 10, there is no object which obstructs a line of sight. Therefore, the worker can see the back side of the opening 10 in a standing state, and can easily confirm the presence or absence of the article M on the mounting table 20 at the first position P1.
  • the worker When the worker confirms that there is no article M on the placement table 20 at the first position P1, the worker lifts the article M from a carriage or the like and places it on the placement table 20.
  • the mounting table 20 is disposed at the first position P ⁇ b> 1 near the opening 10, the operator can easily mount the article M on the mounting table 20.
  • the outside air supply unit 70 may be driven by operating the switch unit 35.
  • the operator After placing the article M on the mounting table 20, the operator operates the operation panel 34 to move the mounting table 20 from the first position P1 to the second position P2.
  • the moving mechanism 50 moves the mounting table 20 on which the article M is mounted along the depth direction D, and arranges it at the second position P2.
  • the shutters 61 and 62 are opened in conjunction with the movement of the mounting table 20 by the control device 63 or by the link mechanism described above.
  • the article M can be transported using the transport device 130 of the stocker 200.
  • the shutters 61 and 62 are closed by the control device 63 or by the link mechanism described above.
  • the mounting table 20 is placed at the second position P2, and the shutters 61 and 62 are opened by the control device 63 or by the link mechanism described above.
  • the conveyance device 130 places the article M on the placement table 20 under the control of the stocker 200.
  • the shutters 61 and 62 are closed, and the mounting table 20 on which the article M is mounted is moved from the second position P2 to the first position P1.
  • the outside air supply unit 70 may be driven when the shutters 61 and 62 are closed.
  • the worker confirms that the mounting table 20 on which the article M is placed is placed at the first position P1 while standing in front of the article relay apparatus 100.
  • the worker visually recognizes the device interior K1 of the opening 10 from an obliquely upward direction.
  • the 2nd cover 40 since the 2nd cover 40 has the inclination part 41, when an operator visually recognizes the 1st position P1, the object which interrupts
  • the worker confirms that the article M is placed on the placing table 20 at the first position P1, and then lifts the article M from the placing table 20 and takes out the article M from the opening 10.
  • the mounting table 20 is disposed at the first position P1 close to the opening 10, the operator can easily take out the article M from the mounting table 20.
  • the worker places it on a cart prepared in the passage R in advance.
  • the second cover 40 is shaped to go to the back side in the depth direction D as it goes downward from the first cover 30, the worker is standing.
  • a part of the back side of the opening 10 can be visually recognized from obliquely above.
  • the operator can easily confirm that the article M or the mounting table 20 exists on the back side of the opening 10, and the workability of the delivery work of the article M can be improved.
  • FIG. 6 is a perspective view showing an example of the stocker 200 according to the present embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating an example of an internal configuration of the stocker 200.
  • the stocker 200 can store a plurality of articles M.
  • the stocker 200 includes a main body 110, a shelf 120, a transport device 130, and a traveling unit 140.
  • the stocker 200 includes a control device (not shown) that controls each part in an integrated manner.
  • the main body 110 is installed on the floor FL and has an outer wall 111.
  • the outer wall 111 is arranged so as to surround the space in the warehouse, and partitions the inside and outside of the stocker 200.
  • the main body 110 includes the article relay device 100 described above on one surface of the outer wall 111.
  • the shelf 120 places the article M.
  • the shelf 120 is supported by a support column (not shown) and is provided in a plurality of stages in the vertical direction (Z direction) in the cabinet.
  • a plurality of stages of shelves 120 are arranged in one or more rows in the plane direction.
  • at least one of the plurality of shelves 120 is disposed on the back side in the depth direction D with respect to the first cover 30 and above the mounting table 20. For this reason, the space above the article relay device 100 is effectively used as a storage space for the article M.
  • Each notch portion is formed in each shelf portion 120.
  • the cutout portion is used as a passage portion when the article M is transferred by the transport device 130 in the stocker 200.
  • the mounting table 20 of the article relay device 100 is cut in a shape that does not interfere with the article holding unit 133 like the shelf 120.
  • a notch is provided.
  • each shelf 120 includes, for example, three pins on the upper surface, and these pins enter the three grooves provided on the bottom surface of the item M, thereby positioning the item M placed on the shelf 120. Also good.
  • the transport device 130 travels in a direction orthogonal to the depth direction D by the travel unit 140, and transfers the article M between the plurality of shelves 120.
  • the conveyance device 130 includes a base 131, an expansion / contraction part 132, and an article holding part 133.
  • the base 131 is fixed to a lifting platform 143 described later.
  • the stretchable part 132 is provided so as to be stretchable toward the shelf 120 with respect to the base 131.
  • the article holding unit 133 is provided at the tip of the expansion / contraction part 132 and places the article M thereon.
  • the article holding part 133 is movable in the depth direction D by the expansion and contraction of the expansion / contraction part 132.
  • the article holding unit 133 may include, for example, three pins on the upper surface, and the pins placed in the groove part provided on the bottom surface of the article M may position the article M placed on the article holding unit 133.
  • the conveyance apparatus 130 is not limited to the structure which mounts the article
  • the traveling unit 140 travels along a rail 150 disposed along a direction orthogonal to the depth direction D.
  • the traveling unit 140 includes a main body unit 141, a mast 142, and a lifting platform 143.
  • Rail 150 is arranged in parallel with floor part FL and ceiling part CL in a warehouse.
  • the main body 141 includes a travel drive device (not shown).
  • the mast 142 is disposed along the vertical direction between the upper and lower body portions 141.
  • the mast 142 moves as the main body 141 moves.
  • the lifting platform 143 is disposed so as to be vertically movable along the mast 142.
  • the conveyance device 130 can deliver the article M to either the mounting table 20 or the shelf 120 by setting the stop position by the traveling unit 140 and the lifting position by the lifting platform 143, respectively.
  • the control device of the stocker 200 notifies the article relay apparatus 100 that the placement table 20 on which the article M is placed is placed at the second position P2. Subsequently, the traveling unit 140 and the lifting platform 143 are driven to arrange the article holding unit 133 of the transport device 130 on the back side in the depth direction D of the article relay device 100.
  • the control device of the stocker 200 confirms that the shutters 61 and 62 are opened, extends the telescopic part 132 to the near side in the depth direction D, and receives and holds the article M on the mounting table 20 by the article holding part 133. Since the article M is arranged at the second position P2, the article M can be easily and reliably held by the article holding unit 133 of the transport device 130.
  • the conveying device 130 contracts the expansion / contraction part 132 to take the article holding part 133 and the article M into the stocker inside K2.
  • the traveling unit 140 and the lifting platform 143 are driven to move the article holding unit 133 to a position corresponding to the shelf 120 as the transport destination.
  • the conveying device 130 extends the expansion / contraction part 132 and places the article M of the article holding part 133 on the shelf 120. By this operation, the article M is carried into the shelf 120 as the transport destination.
  • the control device of the stocker 200 moves the traveling unit 140 and the lifting platform 143 so as to correspond to the shelf 120 on which the article M to be carried is placed.
  • the article holding part 133 is moved to the position.
  • the conveying device 130 extends the expansion / contraction part 132 and receives and holds the article M from the shelf 120 by the article holding part 133.
  • the traveling unit 140 and the lifting platform 143 are driven to place the article holding unit 133 on the back side in the depth direction D of the article relay apparatus 100.
  • the control device of the stocker 200 confirms that the shutters 61 and 62 are opened, and that the placing table 20 on which the article M is not placed is placed at the second position P ⁇ b> 2, and then the expansion and contracting unit 132 is moved.
  • the article M is mounted on the mounting table 20 at the second position P2 while extending to the near side in the depth direction D.
  • the conveying apparatus 130 can mount the article M on the mounting table 20 easily and reliably.
  • the conveyance device 130 contracts the expansion / contraction part 132 and pulls the article holding part 133 into the stocker inside K2.
  • the control device of the stocker 200 notifies the article relay apparatus 100 that the article M has been placed on the placing table 20.
  • the article relay device 100 closes the shutters 61 and 62 and drives the moving mechanism 50 to move the mounting table 20 from the second position P2 to the first position P1.
  • the carry-out of the article M is completed.
  • the operator can visually recognize the article M on the mounting table 20 at the first position P1 from obliquely above, the presence or absence of the article M can be easily confirmed.
  • the stocker 200 since the above-described article relay device 100 is provided, the visibility of the back side of the opening 10 is improved when the worker carries the article M in and out.
  • the operator can easily confirm the presence or absence of the article M. As a result, it is possible to improve the workability when the worker carries the article M in and out.
  • the configuration in which at least one of the plurality of shelves 120 is disposed on the back side in the depth direction D with respect to the first cover 30 and above the mounting table 20 is described as an example.
  • the configuration is not limited to this.
  • a configuration in which the shelf 120 is not provided in a space on the back side in the depth direction D with respect to the first cover 30 and above the mounting table 20 may be employed.
  • the configuration in which the outside air inlet 71 is provided on the front side of the second cover 40 has been described as an example, but the configuration is not limited thereto.
  • the outside air intake port 71 may be provided in the side surface portion 42 of the second cover 40.
  • the outside air intake 71 may be provided in the first cover 30, for example.
  • the configuration in which the fan 73 is disposed on the back side in the depth direction D with respect to the opening 10 has been described as an example.
  • the fan 73 may be disposed on the near side in the depth direction D with respect to the opening 10.
  • the outside air supply unit 70 may be disposed on the side or the lower side of the apparatus interior K1 instead of being disposed above the apparatus interior K1.
  • the structure which is not provided with the external air supply part 70 may be sufficient.
  • the first position P1 is a position on the back side with respect to the first cover 30 in the depth direction D is described as an example, but the present invention is not limited to this configuration.
  • the first position P ⁇ b> 1 may be disposed closer to the front side in the depth direction D than the first cover 30.
  • the configuration in which the moving mechanism 50 can move the mounting table 20 to the first position P1 in the direction toward the near side in the depth direction D has been described as an example.
  • the configuration is not limited thereto.
  • the moving mechanism 50 may be configured to move the mounting table 20 to the near side exceeding the first position P1 in the direction toward the near side in the depth direction D.
  • the first position P ⁇ b> 1 may be set to a position where all of the articles M placed on the placement table 20 are closer to the front side in the depth direction D than the virtual plane S, or placed on the placement table 20.
  • the entire article M may be set at a position on the back side in the depth direction D with respect to the virtual plane S.

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Abstract

【課題】開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させる。 【解決手段】ストッカ２００内外を区画する外壁１１１に設けられ、設備内部と作業者との間で物品Ｍを中継する物品中継装置１００であって、外壁の外側における作業者の通路Ｒに面して開口する開口部１０と、開口部よりも奥行方向Ｄの奥側に設けられて物品が載置される載置台２０と、開口部に対して上方かつ開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて外壁の一部となる第１カバー３１と、第１カバーと開口部との間に設けられて外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第２カバー４１と、を備える。

Description

物品中継装置及びストッカ
　本発明は、物品中継装置及びストッカに関する。
　半導体製造工場などでは、レチクルまたは半導体ウエハ等を収容する容器を用いて、ストッカ（保管装置）あるいは露光装置などの各種設備に搬入または搬出を行っている。この各種設備への容器の搬入または搬出は、搬送システムによって行う一方、作業者によって行う場合がある。各種設備には、作業者による容器の搬入または搬出を行うために、物品中継装置（マニュアルポート）を備えることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
　このような物品中継装置は、例えば、ストッカ内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品（容器）を中継する。物品中継装置には、外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部が設けられており、この開口部よりも奥行方向の奥側には物品が載置される載置台が配置される。また、開口部の上方には、制御盤等が配置されており、この制御盤を覆うためのカバーが外壁の一部として設けられる。
特許第５３３２９３０号公報
　例えば、物品がレチクルを収容する容器（レチクルポッド）の場合、この容器を上記した物品中継装置で中継する場合、ＳＥＭＩ等の規格により容器を載置する高さが設定されており、この高さは作業者の目線よりかなり低くなっている。また、レチクルポッドは、収容するレチクルが１枚または数枚であるため、上下方向の高さがない。したがって、物品中継装置において、開口部の上下方向も小さく設定されている。また、開口部の上方には、上記したように制御盤等を覆うカバーが設けられており、このカバーが設備の外壁から突出した状態となっている。そのため、作業者が立ったまま開口部の奥側を視認することが難しく、物品中継装置に載置された容器が見えにくくなって作業性を低下させるといった問題がある。
　本発明は、開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させることが可能な物品中継装置及びストッカを提供することを目的とする。
　本発明に係る物品中継装置は、設備内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品を中継する物品中継装置であって、外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部と、開口部よりも奥行方向の奥側に設けられて物品が載置される載置台と、開口部に対して上方かつ開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて外壁の一部となる第１カバーと、第１カバーと開口部との間に設けられて外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第２カバーと、を備える。
　また、載置台を、奥行方向の手前側の第１位置と、第１位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第２位置との間で移動させる移動機構を備えてもよい。また、第１位置は、載置台に載置された物品の少なくとも一部が、開口部の上端を含みかつ第２カバーに接する仮想平面よりも奥行方向の手前側となる位置であり、第２位置は、第１位置よりも奥行方向の奥側となる位置であってもよい。また、第１位置は、奥行方向において第１カバーよりも奥側の位置であり、移動機構は、奥行方向の手前側に向かう方向に第１位置まで載置台を移動可能であってもよい。また、開口部に対して奥行方向の奥側に、外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備えてもよい。また、第２カバーの一部に、外気供給部における外気取込口が設けられてもよい。
　本発明に係るストッカは、上記した物品中継装置を備える。また、物品が載置される複数の棚を内部に備え、複数の棚の少なくとも１つは、第１カバーに対して奥行方向の奥側かつ載置台に対して上方に配置されてもよい。
　本発明に係る物品中継装置は、第２カバーが第１カバーから下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状であるため、作業者が立った状態で、斜め上方から開口部の奥側の一部を視認することができる。その結果、作業者が開口部の奥側に物品が存在することを容易に確認することができ、物品の受け渡し作業などの作業性を向上させることができる。
　また、載置台を、奥行方向の手前側の第１位置と、第１位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第２位置との間で移動させる移動機構を備える場合、第１位置の載置台により、作業者によって載置台に対する物品の受け渡しが容易となり、また、第２位置の載置台により、搬送装置によって載置台に対する物品の受け渡しを確実に行うことができる。また、第１位置は、載置台に載置された物品の少なくとも一部が、開口部の上端を含みかつ第２カバーに接する仮想平面よりも奥行方向の手前側となる位置であり、第２位置は、第１位置よりも奥行方向の奥側となる位置である場合、第１位置の載置台に載置された物品の一部を開口部の斜め上方から視認可能となり、物品の存在を容易に確認できる。
　また、第１位置が、奥行方向において第１カバーよりも奥側の位置であり、移動機構の奥行方向の手前側限界位置である場合、第１位置の載置台が第１カバーから突出して配置されることを防止できる。また、開口部に対して奥行方向の奥側に、外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備える場合、開口部の内部の雰囲気を外気に近い状態に設定することができる。また、第２カバーの一部に、外気供給部における外気取込口が設けられる場合、外気取込口を開口部に近い第２カバーに設けられるので、ダクト等が短くなりコストを低減できる。
　また、本発明に係るストッカは、上記した物品中継装置を備えるので、作業者がこのストッカに対して物品の受け渡しを行う際の作業性が向上する。また、物品が載置される複数の棚を内部に備え、複数の棚の少なくとも１つが、第１カバーに対して奥行方向の奥側かつ載置台に対して上方に配置される場合、ストッカ内に物品を効率よく収容することができる。
本実施形態に係る物品中継装置の一例を示す側面図である。 図１に示す物品中継装置の正面図である。 （Ａ）は載置台が第１位置にある場合を示す平面図、（Ｂ）は載置台が第２位置にある場合を示す平面図である。 （Ａ）は載置台が第１位置にある場合を示す側面図、（Ｂ）は載置台が第２位置にある場合を示す側面図である。 外気供給部の一例を示す断面図である。 本実施形態に係るストッカの一例を示す斜視図である。 ストッカの内部構成の一例を示す図である。
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表している。
　図１及び図２は、本実施形態に係る物品中継装置の一例を示す図である。図１は側方から見た場合、図２は正面から見た図をそれぞれ示している。図１及び図２に示すように、物品中継装置１００は、設備の１つであるストッカ２００の内外を区画する外壁１１１の一部に設けられ、ストッカ内部（設備内部）Ｋ２と作業者との間で物品Ｍを中継する。物品中継装置１００は、外壁１１１のうち、例えば作業者が通行する通路Ｒに面して配置される。以下、物品中継装置１００は、通路Ｒに面する側が正面であるとして説明する。
　本実施形態では、設備としてストッカ２００を示しているが、この形態に限定されず、例えば、露光装置などの処理装置を有する設備であってもよい。また、本実施形態において、物品Ｍは、露光装置で使用されるレチクルを収容するレチクルポッド（容器）であるが、レチクルポッドに限定されず、例えば、ウエハを収容するＦＯＵＰであってもよい。物品Ｍは、収容するレチクルが１枚または数枚であり、上下方向の寸法が１枚又は数枚のレチクルを収容可能な高さに形成されている。
　物品中継装置１００は、図１及び図２に示すように、開口部１０と、載置台２０と、移動機構５０と、シャッタ機構６０と、を備える。第１カバー３０、第２カバー４０、及び外気供給部７０は、物品中継装置１００に対応して、設備としてのストッカ２００に設けられている。また、第１カバー３０及び第２カバー４０は、ストッカ２００の外壁１１１の一部を形成している。開口部１０は、外壁１１１の外側における作業者の通路Ｒに面して開口する。つまり、開口部１０は、物品中継装置１００の正面に設けられる。この開口部１０は、正面側から見て、矩形状に形成されている。また、開口部１０は、上下方向の寸法が物品Ｍを通過可能な寸法に設定されている。本明細書において、矩形は、長方形及び正方形を含む意味で用いている。
　開口部１０は、奥行方向Ｄに外壁１１１を貫通して設けられる。物品中継装置１００は、奥行方向Ｄの奥側に内側開口部１１を有している。内側開口部１１は、開口部１０と同様に矩形状であり、ストッカ内部Ｋ２側に形成される。物品中継装置１００は、開口部１０と内側開口部１１との間に、底面１２と、側面１３、１４と、上面１５とで形成された装置内部Ｋ１を備える。
　載置台２０は、物品Ｍが載置される。載置台２０は、装置内部Ｋ１に配置され、開口部１０よりも奥行方向Ｄの奥側に設けられる。載置台２０は、不図示のガイド部により奥行方向Ｄに沿って奥側及び手前側に移動可能である。また、載置台２０は、物品Ｍを載置する高さＨがＳＥＭＩ等の規格に基づいて設定されている。載置台２０の高さＨは、作業者の目線よりも低い高さとなっている。
　第１カバー３０は、例えば金属または樹脂などによって外壁１１１の一部として設けられる。第１カバー３０は、開口部１０に対して上方かつ開口部１０よりも奥行方向Ｄの手前側の位置に設けられ、外壁１１１から外側に突出した状態で配置されている。第１カバー３０は、正面部３１と、側面部３２と、上面部３３とを有する。正面部３１、側面部３２及び上面部３３は、それぞれ平面状に形成され、互いに直交して配置される。
　正面部３１は、上下方向に沿って配置され、正面視において矩形状である。正面部３１は、作業者の目線に近い高さに配置される。正面部３１には、操作盤３４及びスイッチ部３５が配置されている（図２参照）。操作盤３４は、例えば、物品中継装置１００の各部を操作する入力部と、画像及び文字等を表示する表示部とを有する。入力部としては、例えばタッチパネル、レバー、ボタン等が用いられる。表示部としては、例えば液晶ディスプレイ等が用いられる。スイッチ部３５は、後述の外気供給部７０の駆動または停止を切り替える。操作盤３４又はスイッチ部３５が作業者の目線に近い正面部３１に配置されることにより、作業者の操作性及び利便性が高くなる。第１カバー３０は、例えば内部に制御基盤等を収容可能である。なお、スイッチ部３５は、なくてもよい。例えば、外気供給部７０は、後述するシャッタ６１、６２が開いているときにファン７３を駆動させるように制御されてもよい。
　第２カバー４０は、第１カバー３０と同様に、例えば金属または樹脂などによって外壁１１１の一部として設けられ、第１カバー３０と開口部１０との間に設けられる。第２カバー４０は、例えば、第１カバー３０と一体に形成されてもよいし、別体に形成されて締結部材によって連結されてもよい。第１カバー３０と第２カバー４０との間は、隙間なく接合されており、外壁１１１と同様にストッカ２００の内外を区画する。
　第２カバー４０は、傾斜部４１と、側面部４２とを有する。傾斜部４１は、下方に向かうにつれて奥行方向Ｄの奥側へ向かう形状である。傾斜部４１は、第１カバー３０の正面部３１の下端３１ｂにおいて開口部１０側に向かうように配置される。したがって、傾斜部４１は、正面部３１に対して傾斜して配置される。傾斜部４１は、下端４１ｂが開口部１０の上端１０ａに一致する高さに配置されるが、この構成に限定されない。第２カバー４０は、傾斜部４１を備えることにより、設備内部のスペースを確保しつつ、開口部１０が上方から見て隠れることを抑制している。
　傾斜部４１は、矩形の板状の部材を用いられて平面状であるが、この形態に限定されず、例えば曲面状であってもよいし、複数の平面又は曲面が組み合わせた形状であってもよい。本実施形態において、傾斜部４１は、正面部３１の下端３１ｂと開口部１０の上端１０ａとを一平面で接続した形状である。
　移動機構５０は、載置台２０を奥行方向Ｄの第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動させる。第１位置Ｐ１は、載置台２０に載置された物品Ｍの少なくとも一部が、開口部１０の上端を含みかつ第２カバー４０に接する仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの手前側となる位置である。本実施形態において、仮想平面Ｓは、傾斜部４１を含む平面である。また、第１位置Ｐ１は、奥行方向Ｄにおいて第１カバー３０よりも奥側の位置である。第２位置Ｐ２は、第１位置Ｐ１よりも奥行方向Ｄの奥側の位置である。第２位置Ｐ２は、ストッカ内部Ｋ２に備えられた搬送装置（図７参照）に対する物品Ｍの受け渡し位置である。
　移動機構５０としては、載置台２０を不図示のガイド部に沿って直線方向に移動させることが可能な機構が用いられる。このような駆動装置としては、例えば、ボールネジ機構、リニアモータ機構、回転ベルト機構、又はエアシリンダ機構などが挙げられる。移動機構５０は、制御装置６３によって移動方向、移動量及び移動のタイミング等が制御される。制御装置６３は、図１では移動機構５０の下方に記載しているが、例えば、第２カバー４０の内側に配置されてもよいし、物品中継装置１００の外側に配置されてもよい。また、制御装置６３は、ストッカ２００の制御装置と電気的に接続されてもよい。
　移動機構５０を駆動して載置台２０を第１位置Ｐ１に配置した場合には、載置台２０が開口部１０に近い位置となり、作業者によって載置台２０に対する物品Ｍの受け渡しが容易となる。また、この場合、作業者は、仮想平面Ｓよりも手前側において、載置台２０に載置された物品Ｍの一部が斜め上方から視認可能となり、物品Ｍの存在を容易に確認できる。すなわち、作業者は、しゃがんで覗き込むなどの姿勢を変えて物品Ｍの存在を確認する必要がなく、作業性を向上させることができる。
　また、第１位置Ｐ１が載置台２０の移動範囲において手前側の移動限界位置である。この構成により、載置台２０（または物品Ｍ）が第１カバー３０から外側に突出することを防止する。また、第２位置Ｐ２は、載置台２０の移動範囲において奥側の移動限界位置であり、ストッカ内部Ｋ２に設置されている不図示の物品搬送装置との間で物品Ｍの受け渡しを行うことが可能な位置である。したがって、載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されることにより、ストッカ内部Ｋ２の物品搬送装置との間で物品の受け渡しを確実に行うことが可能となる。
　シャッタ機構６０は、装置内部Ｋ１において奥行方向Ｄの奥側に配置される。シャッタ機構６０は、物品中継装置１００の装置内部Ｋ１と、ストッカ２００のストッカ内部Ｋ２との間を開閉する。シャッタ機構６０は、シャッタ６１、６２を有する。シャッタ６１、６２は、それぞれ１枚の湾曲した金属板または樹脂板で形成されている。
　図３及び図４は、本実施形態に係る物品中継装置の動作を示す図である。図３（Ａ）及び（Ｂ）は、上方から見た状態を示す。図４（Ａ）及び（Ｂ）は、側方から見た状態を示す。シャッタ６１、６２は、不図示の駆動機構によって上下方向の中心軸ＡＸの軸周り方向にそれぞれ移動可能である。なお、シャッタ６１、６２は、互いに連動して移動可能である。制御装置６３は、駆動機構を駆動してシャッタ６１、６２の開閉を制御する。例えば、制御装置６３は、載置台２０が第１位置Ｐ１にある場合に閉じ、載置台２０が第２位置Ｐ２に移動した際に開くように制御してもよい。
　図３（Ａ）及び図４（Ａ）に示すように、シャッタ６１、６２は、閉じた状態では互いに対向する端辺６１ａ、６２ａ同士が当接した状態で、内側開口部１１を塞ぐように配置される。なお、シャッタ６１、６２の端辺６１ａ、６２ａにそれぞれ弾性部材が配置されてもよい。シャッタ６１、６２が閉じることにより、物品中継装置１００の装置内部Ｋ１とストッカ２００のストッカ内部Ｋ２との間をシールして、ストッカ内部Ｋ２の雰囲気が装置内部Ｋ１に流入するのを抑制する。
　次に、図３（Ｂ）及び図４（Ｂ）に示すように、シャッタ６１、６２が開くことにより、中心軸ＡＸの軸周り方向にそれぞれ移動し、内側開口部１１を開放する。なお、シャッタ６１、６２が開いた際は、第２位置Ｐ２を挟む位置に退避している。シャッタ６１は、側面１３に沿って退避し、シャッタ６２は、側面１４に沿って退避する。シャッタ６１、６２は、物品Ｍを奥行方向Ｄに通過可能な距離を空けて退避している。なお、シャッタ６１、６２の開閉の軌道は、載置台２０の軌道と干渉しないように設定される。また、シャッタ６１、６２が開くタイミングは、載置台２０が第２位置Ｐ２に達した後であってもよいし、載置台２０が第２位置Ｐ２に移動する途中であってもよい。
　また、シャッタ６１、６２を開閉する駆動機構として、移動機構５０の駆動力をシャッタ６１、６２の開閉に伝達するリンク機構が用いられてもよい。このリンク機構は、載置台２０の移動と連動してシャッタ６１、６２を開閉させてもよい。すなわち、リンク機構は、載置台２０の直線方向の運動を、シャッタ６１、６２の中心軸ＡＸを中心とする回転方向への運動に変換する機構が用いられる。また、リンク機構は、載置台２０が第１位置Ｐ１に配置される場合、シャッタ６１、６２を閉じた状態とし、載置台２０が第２位置Ｐ２に配置される場合、シャッタ６１、６２を開いた状態とするように構成されてもよい。
　このリンク機構を用いることにより、載置台２０が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動すると、載置台２０の移動に連動してシャッタ６１、６２を開くことができ、また、載置台２０が第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動すると、載置台２０の移動に連動してシャッタ６１、６２を閉じるので、シャッタ６１、６２の開閉に別の駆動源を用いないので装置コストを低減でき、さらに制御装置６３による制御を簡単にすることができる。
　外気供給部７０は、開口部１０の近傍であって装置内部Ｋ１の上方に配置される。外気供給部７０は、外壁１１１の外側の外気を物品中継装置１００の装置内部Ｋ１に供給する。外気供給部７０は、開口部１０の装置内部Ｋ１に外気を供給することにより、装置内部Ｋ１を外気に近い状態にすることが可能である。シャッタ６１、６２を開いた際に、ストッカ内部Ｋ２の雰囲気が装置内部Ｋ１に流入するので、装置内部Ｋ１に外気を供給することで装置内部Ｋ１を外気に近づけることができ、装置のメンテナンス等で作業者が装置内部Ｋ１内に頭部を入れたときでも円滑に作業を行うことができる。
　図５は、外気供給部７０の一例を示す断面図である。図５に示すように、外気供給部７０は、外気取込口７１と、ダクト７２と、ファン７３とを有する。外気取込口７１は、第２カバー４０の一部に設けられる。外気取込口７１は、開口部１０に近い第２カバー４０の下方において水平方向に複数並んで形成される（図２参照）。このため、例えば、第１カバー３０あるいは他の外壁１１１などに外気取込口７１を設ける場合に比べて、ダクト７２が短くなり、装置コストの低減が可能となる。
　ダクト７２は、第２カバー４０の内部に配置され、外気取込口７１から取り込まれた外気を奥行方向Ｄの奥側に案内する。ファン７３は、下方に向けて配置され、ダクト７２によって案内された外気を上面１５から下方に向けて装置内部Ｋ１に送り込む。ファン７３の駆動または停止は、スイッチ部３５（図２参照）によりマニュアルで操作してもよいし、制御装置６３により制御されてもよい。ファン７３の駆動を制御装置６３で制御する場合、シャッタ６１、６２が開いて閉じた後に駆動するといった制御でもよい。
　次に、上記した物品中継装置１００を用いた物品Ｍの中継動作を説明する。まず、作業者により物品Ｍをストッカ２００内に搬入する場合を説明する。物品Ｍの搬入を行う場合、作業者は、例えば、物品Ｍを台車等に載置して通路Ｒを物品中継装置１００の正面まで運搬する。続いて、作業者は、操作盤３４を操作して、載置台２０を第１位置Ｐ１に配置させる。なお、この物品中継装置１００は、待機時（不使用時）において載置台２０を第１位置Ｐ１に配置させておいてもよい。載置台２０を第１位置Ｐ１に配置する場合、上記したようにシャッタ６１、６２は、閉じた状態となっている。
　作業者は、物品中継装置１００の正面に立った状態で載置台２０に既に物品Ｍが載置されていないことを確認する。この場合、作業者は、開口部１０の装置内部Ｋ１を斜め上方から見下ろして視認する。本実施形態では、第２カバー４０が傾斜部４１を有するため、作業者が開口部１０を介して視認する場合、視線を遮る物体がない。したがって、作業者は、立った状態で開口部１０の奥側を見ることができ、第１位置Ｐ１の載置台２０において物品Ｍの有無を容易に確認できる。
　作業者は、第１位置Ｐ１の載置台２０に物品Ｍがないことを確認した場合、台車等から物品Ｍを持ち上げて載置台２０に載置する。この場合、載置台２０が開口部１０に近い第１位置Ｐ１に配置されているため、作業者は容易に物品Ｍを載置台２０に載置することができる。また、作業者が物品Ｍを載置台２０に載置する際、スイッチ部３５を操作して外気供給部７０を駆動させてもよい。
　作業者は、載置台２０に物品Ｍを載置した後、操作盤３４を操作して、載置台２０を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動させる。この操作により、移動機構５０は、物品Ｍを載置した載置台２０を奥行方向Ｄに沿って移動させ、第２位置Ｐ２に配置する。制御装置６３により、あるいは上記したリンク機構により、載置台２０の移動に連動してシャッタ６１、６２が開く。この動作により、例えば図４（Ｂ）に示すように、物品Ｍは、ストッカ２００の搬送装置１３０を用いて搬送可能な状態となる。搬送装置１３０が物品Ｍを受け取った後、制御装置６３により、あるいは上記したリンク機構によりシャッタ６１、６２を閉じる。
　次に、作業者により物品Ｍの搬出を行う場合を説明する。物品Ｍの搬出を行う場合、載置台２０を第２位置Ｐ２に配置させ、制御装置６３により、あるいは上記したリンク機構によりシャッタ６１、６２を開く。シャッタ６１、６２が開いたことを確認して、ストッカ２００の制御により、搬送装置１３０が物品Ｍを載置台２０に載置する。搬送装置１３０が装置内部Ｋ１から退避した後、シャッタ６１、６２を閉じ、物品Ｍが載置された載置台２０を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動させる。なお、シャッタ６１、６２を閉じたタイミングで外気供給部７０を駆動させてもよい。
　作業者は、物品中継装置１００の正面に立った状態で、物品Ｍを載置した載置台２０が第１位置Ｐ１に配置されていることを確認する。この場合、作業者は、開口部１０の装置内部Ｋ１を斜め上方から見下ろして視認する。本実施形態では、第２カバー４０が傾斜部４１を有するため、作業者が第１位置Ｐ１を視認する場合、視線を遮る物体が配置されない。したがって、作業者は、第１位置Ｐ１の載置台２０に物品Ｍが載置されていることを容易に確認できる。
　作業者は、第１位置Ｐ１の載置台２０に物品Ｍが載置されていることを確認した後、載置台２０から物品Ｍを持ち上げて開口部１０から物品Ｍを取り出す。この場合、載置台２０が開口部１０に近い第１位置Ｐ１に配置されているため、作業者は容易に物品Ｍを載置台２０から取り出すことができる。作業者は、載置台２０から物品Ｍを取り出した後、あらかじめ通路Ｒに準備しておいた台車等に載置する。
　このように、本実施形態に係る物品中継装置１００によれば、第２カバー４０が第１カバー３０から下方に向かうにつれて奥行方向Ｄの奥側へ向かう形状であるため、作業者が立った状態で、斜め上方から開口部１０の奥側の一部を視認することができる。この構成により、作業者が開口部１０の奥側に物品Ｍ又は載置台２０が存在することを容易に確認することができ、物品Ｍの受け渡し作業の作業性を向上させることができる。
　図６は、本実施形態に係るストッカ２００の一例を示す斜視図である。図７は、ストッカ２００の内部構成の一例を示す図である。図６及び図７に示すように、ストッカ２００は、複数の物品Ｍを保管することが可能である。ストッカ２００は、本体部１１０と、棚部１２０と、搬送装置１３０と、走行部１４０とを有している。ストッカ２００は、各部を統括的に制御する不図示の制御装置を備えている。
　本体部１１０は、床部ＦＬに設置されており、外壁１１１を有する。外壁１１１は、庫内の空間を囲むように配置され、ストッカ２００の内外を区画する。本体部１１０は、外壁１１１の一の面に、上記した物品中継装置１００を備えている。
　棚部１２０は、物品Ｍを載置する。棚部１２０は、不図示の支柱等に支持され、庫内の上下方向（Ｚ方向）に複数段設けられる。本実施形態では、このような複数段の棚部１２０が、平面方向に１列又は複数列に配置される。また、複数の棚部１２０のうち少なくとも１つは、第１カバー３０に対して奥行方向Ｄの奥側かつ載置台２０に対して上方に配置されている。このため、物品中継装置１００の上方のスペースが物品Ｍの保管スペースとして有効に利用されている。
　各棚部１２０には、それぞれ切り欠き部が形成される。切り欠き部は、ストッカ２００の庫内で搬送装置１３０により物品Ｍを移載する際の通過部分として用いられる。なお、搬送装置１３０の物品保持部１３３が物品Ｍをすくって載置する構成である場合、物品中継装置１００の載置台２０は、棚部１２０と同様に物品保持部１３３と干渉しない形状の切り欠き部が設けられる。また、各棚部１２０は、例えば、上面に３本のピンを備え、このピンが物品Ｍの底面に備える３つの溝部にそれぞれ入り込むことにより、棚部１２０に載置した物品Ｍを位置決めしてもよい。
　搬送装置１３０は、走行部１４０によって奥行方向Ｄと直交する方向に走行し、複数の棚部１２０の間で物品Ｍを移載する。搬送装置１３０は、基部１３１と、伸縮部１３２と、物品保持部１３３とを有する。基部１３１は、後述の昇降台１４３に固定される。伸縮部１３２は、基部１３１に対して棚部１２０に向けて伸縮可能に設けられる。物品保持部１３３は、伸縮部１３２の先端に設けられ、物品Ｍを載置する。物品保持部１３３は、伸縮部１３２の伸縮により奥行方向Ｄに移動可能である。物品保持部１３３は、例えば上面に３本のピンを備え、このピンが物品Ｍの底面に備える溝部に入り込むことにより、物品保持部１３３に載置した物品Ｍを位置決めしてもよい。なお、搬送装置１３０は、物品Ｍを載置する構成に限定されず、例えば、物品Ｍのフランジ部を把持する構成、または物品Ｍの側面を把持する構成であってもよい。
　走行部１４０は、奥行方向Ｄと直交する方向に沿って配置されたレール１５０に沿って走行する。走行部１４０は、本体部１４１と、マスト１４２と、昇降台１４３とを有する。レール１５０は、庫内の床部ＦＬ及び天井部ＣＬに平行に配置される。本体部１４１は、不図示の走行駆動装置を備える。マスト１４２は、上下の本体部１４１との間に鉛直方向に沿って配置される。マスト１４２は、本体部１４１の移動に伴って移動する。昇降台１４３は、マスト１４２に沿って鉛直方向に昇降可能に配置される。搬送装置１３０は、走行部１４０による停止位置、及び昇降台１４３による昇降位置をそれぞれ設定することにより、載置台２０又は棚部１２０のいずれかに対して物品Ｍの受け渡しを行うことが可能である
　次に、上記したストッカ２００の動作について説明する。まず、作業者により物品Ｍの搬入を行う場合、ストッカ２００の制御装置は、物品中継装置１００から、物品Ｍを載置した載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されたことが通知される。続いて、走行部１４０及び昇降台１４３を駆動して搬送装置１３０の物品保持部１３３を物品中継装置１００の奥行方向Ｄの奥側に配置させる。ストッカ２００の制御装置は、シャッタ６１、６２が開いたことを確認して、伸縮部１３２を奥行方向Ｄの手前側に伸ばして物品保持部１３３により載置台２０の物品Ｍを受け取って保持する。なお、物品Ｍが第２位置Ｐ２に配置されているので、搬送装置１３０の物品保持部１３３により容易かつ確実に物品Ｍを保持することができる。
　物品Ｍを保持した後、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を収縮させて物品保持部１３３及び物品Ｍをストッカ内部Ｋ２に取り込む。物品Ｍを取り込んだ後、走行部１４０及び昇降台１４３を駆動して搬送先の棚部１２０に対応する位置に物品保持部１３３を移動させる。その後、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を伸ばして物品保持部１３３の物品Ｍを棚部１２０に載置する。この動作により、物品Ｍが搬送先の棚部１２０に搬入される。
　また、作業者により物品Ｍの搬出を行う場合、ストッカ２００の制御装置は、走行部１４０及び昇降台１４３を移動させて、搬出対象となる物品Ｍが載置された棚部１２０に対応する位置に物品保持部１３３を移動させる。その後、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を伸ばして物品保持部１３３により棚部１２０から物品Ｍを受け取って保持する。続いて、走行部１４０及び昇降台１４３を駆動して物品保持部１３３を物品中継装置１００の奥行方向Ｄの奥側に配置させる。
　続いて、ストッカ２００の制御装置は、シャッタ６１、６２が開いたこと、及び物品Ｍが載置されていない載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されたことを確認した後、伸縮部１３２を奥行方向Ｄの手前側に伸ばして、第２位置Ｐ２の載置台２０に物品Ｍを載置する。なお、載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されているので、搬送装置１３０は、容易かつ確実に物品Ｍを載置台２０に載置することができる。
　続いて、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を収縮させて物品保持部１３３をストッカ内部Ｋ２に引き込む。ストッカ２００の制御装置は、載置台２０に物品Ｍを載置したことを物品中継装置１００に通知する。物品中継装置１００は、この通知を受けてシャッタ６１、６２が閉じ、移動機構５０を駆動して載置台２０を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動させる。その後、作業者が第１位置Ｐ１に配置された物品Ｍを取り出すことにより、物品Ｍの搬出が完了する。こととき、作業者は、斜め上方から第１位置Ｐ１の載置台２０上の物品Ｍを視認できるので、物品Ｍの有無を容易に確認できる。
　このように、本実施形態に係るストッカ２００によれば、上記した物品中継装置１００を備えるため、作業者による物品Ｍの搬入及び搬出を行う場合、開口部１０の奥側の視認性を向上させ、作業者にとって物品Ｍの有無の確認が容易となる。その結果、作業者による物品Ｍの搬入及び搬出を行う際の作業性を向上させることができる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。上記したストッカ２００では、複数の棚部１２０のうち少なくとも１つが第１カバー３０に対して奥行方向Ｄの奥側かつ載置台２０に対して上方に配置された構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第１カバー３０に対して奥行方向Ｄの奥側かつ載置台２０に対して上方のスペースに棚部１２０を設けない構成であってもよい。
　また、上記した実施形態では、外気取込口７１が第２カバー４０の正面側に設けられた構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、外気取込口７１は、第２カバー４０のうち側面部４２に設けられてもよい。また、外気取込口７１は、例えば、第１カバー３０に設けられてもよい。
　また、上記した実施形態では、ファン７３が開口部１０に対して奥行方向Ｄの奥側に配置された構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。ファン７３は、開口部１０に対して奥行方向Ｄの手前側に配置されてもよい。また、外気供給部７０は、装置内部Ｋ１の上方に配置されることに代えて、装置内部Ｋ１の側方または下方に配置されてもよい。また、外気供給部７０を備えない構成であってもよい。
　また、上記した実施形態では、第１位置Ｐ１が奥行方向Ｄにおいて第１カバー３０よりも奥側の位置である場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第１位置Ｐ１が第１カバー３０よりも奥行方向Ｄの手前側に配置されてもよい。また、上記した実施形態では、移動機構５０が奥行方向Ｄの手前側に向かう方向に第１位置Ｐ１まで載置台２０を移動可能な構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、移動機構５０は、奥行方向Ｄの手前側に向かう方向に第１位置Ｐ１を超える手前側まで載置台２０を移動可能な構成であってもよい。
　また、上記した実施形態では、載置台２０に載置された物品Ｍの少なくとも一部が、仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの手前側となる位置を第１位置Ｐ１に設定した場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第１位置Ｐ１は、載置台２０に載置された物品Ｍの全部が仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの手前側となる位置に設定されてもよいし、載置台２０に載置された物品Ｍの全部が仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの奥側となる位置に設定されてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７－００９４４５、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
Ｄ・・・奥行方向
Ｋ２・・・ストッカ内部（設備内部）
Ｍ・・・物品
Ｐ１・・・第１位置
Ｐ２・・・第２位置
Ｒ・・・通路
Ｓ・・・仮想平面
１０・・・開口部
１０ａ・・・上端
２０・・・載置台
３０・・・第１カバー
４０・・・第２カバー
４１・・・傾斜部
５０・・・移動機構
６０・・・シャッタ機構
６１、６２・・・シャッタ
６３・・・制御装置
７０・・・外気供給部
７１・・・外気取込口
７２・・・ダクト
１００・・・物品中継装置
１１１・・・外壁
１２０・・・棚部
１３０・・・搬送装置
２００・・・ストッカ（設備）

Claims (8)

  1. 　設備内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品を中継する物品中継装置であって、
    　前記外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部と、
    　前記開口部よりも奥行方向の奥側に設けられて物品が載置される載置台と、
    　前記開口部に対して上方かつ前記開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて前記外壁の一部となる第１カバーと、
    　前記第１カバーと前記開口部との間に設けられて前記外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第２カバーと、を備える、物品中継装置。
  2. 　前記載置台を、奥行方向の手前側の第１位置と、前記第１位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第２位置との間で移動させる移動機構を備える、請求項１に記載の物品中継装置。
  3. 　前記第１位置は、前記載置台に載置された物品の少なくとも一部が、前記開口部の上端を含みかつ前記第２カバーに接する仮想平面よりも前記奥行方向の手前側となる位置であり、
    　前記第２位置は、前記第１位置よりも奥行方向の奥側となる位置である、請求項２に記載の物品中継装置。
  4. 　前記第１位置は、奥行方向において前記第１カバーよりも奥側の位置であり、前記移動機構の奥行方向の手前側限界位置である、請求項２または請求項３に記載の物品中継装置。
  5. 　前記開口部に対して奥行方向の奥側に、前記外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の物品中継装置。
  6. 　前記第２カバーの一部に、前記外気供給部における外気取込口が設けられる、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の物品中継装置。
  7. 　請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の物品中継装置を備える、ストッカ。
  8. 　物品が載置される複数の棚を内部に備え、
    　前記複数の棚の少なくとも１つは、前記第１カバーに対して奥行方向の奥側かつ前記載置台に対して上方に配置される、請求項７に記載のストッカ。
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