JPWO2018135137A1 - 物品中継装置及びストッカ - Google Patents

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Abstract

【課題】開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させる。【解決手段】ストッカ２００内外を区画する外壁１１１に設けられ、設備内部と作業者との間で物品Ｍを中継する物品中継装置１００であって、外壁の外側における作業者の通路Ｒに面して開口する開口部１０と、開口部よりも奥行方向Ｄの奥側に設けられて物品が載置される載置台２０と、開口部に対して上方かつ開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて外壁の一部となる第１カバー３１と、第１カバーと開口部との間に設けられて外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第２カバー４１と、を備える。

Description

本発明は、物品中継装置及びストッカに関する。
半導体製造工場などでは、レチクルまたは半導体ウエハ等を収容する容器を用いて、ストッカ（保管装置）あるいは露光装置などの各種設備に搬入または搬出を行っている。この各種設備への容器の搬入または搬出は、搬送システムによって行う一方、作業者によって行う場合がある。各種設備には、作業者による容器の搬入または搬出を行うために、物品中継装置（マニュアルポート）を備えることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
このような物品中継装置は、例えば、ストッカ内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品（容器）を中継する。物品中継装置には、外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部が設けられており、この開口部よりも奥行方向の奥側には物品が載置される載置台が配置される。また、開口部の上方には、制御盤等が配置されており、この制御盤を覆うためのカバーが外壁の一部として設けられる。
特許第５３３２９３０号公報
例えば、物品がレチクルを収容する容器（レチクルポッド）の場合、この容器を上記した物品中継装置で中継する場合、ＳＥＭＩ等の規格により容器を載置する高さが設定されており、この高さは作業者の目線よりかなり低くなっている。また、レチクルポッドは、収容するレチクルが１枚または数枚であるため、上下方向の高さがない。したがって、物品中継装置において、開口部の上下方向も小さく設定されている。また、開口部の上方には、上記したように制御盤等を覆うカバーが設けられており、このカバーが設備の外壁から突出した状態となっている。そのため、作業者が立ったまま開口部の奥側を視認することが難しく、物品中継装置に載置された容器が見えにくくなって作業性を低下させるといった問題がある。
本発明は、開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させることが可能な物品中継装置及びストッカを提供することを目的とする。
本発明に係る物品中継装置は、設備内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品を中継する物品中継装置であって、外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部と、開口部よりも奥行方向の奥側に設けられて物品が載置される載置台と、開口部に対して上方かつ開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて外壁の一部となる第１カバーと、第１カバーと開口部との間に設けられて外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第２カバーと、を備える。
また、載置台を、奥行方向の手前側の第１位置と、第１位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第２位置との間で移動させる移動機構を備えてもよい。また、第１位置は、載置台に載置された物品の少なくとも一部が、開口部の上端を含みかつ第２カバーに接する仮想平面よりも奥行方向の手前側となる位置であり、第２位置は、第１位置よりも奥行方向の奥側となる位置であってもよい。また、第１位置は、奥行方向において第１カバーよりも奥側の位置であり、移動機構は、奥行方向の手前側に向かう方向に第１位置まで載置台を移動可能であってもよい。また、開口部に対して奥行方向の奥側に、外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備えてもよい。また、第２カバーの一部に、外気供給部における外気取込口が設けられてもよい。
本発明に係るストッカは、上記した物品中継装置を備える。また、物品が載置される複数の棚を内部に備え、複数の棚の少なくとも１つは、第１カバーに対して奥行方向の奥側かつ載置台に対して上方に配置されてもよい。
本発明に係る物品中継装置は、第２カバーが第１カバーから下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状であるため、作業者が立った状態で、斜め上方から開口部の奥側の一部を視認することができる。その結果、作業者が開口部の奥側に物品が存在することを容易に確認することができ、物品の受け渡し作業などの作業性を向上させることができる。
また、載置台を、奥行方向の手前側の第１位置と、第１位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第２位置との間で移動させる移動機構を備える場合、第１位置の載置台により、作業者によって載置台に対する物品の受け渡しが容易となり、また、第２位置の載置台により、搬送装置によって載置台に対する物品の受け渡しを確実に行うことができる。また、第１位置は、載置台に載置された物品の少なくとも一部が、開口部の上端を含みかつ第２カバーに接する仮想平面よりも奥行方向の手前側となる位置であり、第２位置は、第１位置よりも奥行方向の奥側となる位置である場合、第１位置の載置台に載置された物品の一部を開口部の斜め上方から視認可能となり、物品の存在を容易に確認できる。
また、第１位置が、奥行方向において第１カバーよりも奥側の位置であり、移動機構の奥行方向の手前側限界位置である場合、第１位置の載置台が第１カバーから突出して配置されることを防止できる。また、開口部に対して奥行方向の奥側に、外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備える場合、開口部の内部の雰囲気を外気に近い状態に設定することができる。また、第２カバーの一部に、外気供給部における外気取込口が設けられる場合、外気取込口を開口部に近い第２カバーに設けられるので、ダクト等が短くなりコストを低減できる。
また、本発明に係るストッカは、上記した物品中継装置を備えるので、作業者がこのストッカに対して物品の受け渡しを行う際の作業性が向上する。また、物品が載置される複数の棚を内部に備え、複数の棚の少なくとも１つが、第１カバーに対して奥行方向の奥側かつ載置台に対して上方に配置される場合、ストッカ内に物品を効率よく収容することができる。
本実施形態に係る物品中継装置の一例を示す側面図である。 図１に示す物品中継装置の正面図である。 （Ａ）は載置台が第１位置にある場合を示す平面図、（Ｂ）は載置台が第２位置にある場合を示す平面図である。 （Ａ）は載置台が第１位置にある場合を示す側面図、（Ｂ）は載置台が第２位置にある場合を示す側面図である。 外気供給部の一例を示す断面図である。 本実施形態に係るストッカの一例を示す斜視図である。 ストッカの内部構成の一例を示す図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表している。
図１及び図２は、本実施形態に係る物品中継装置の一例を示す図である。図１は側方から見た場合、図２は正面から見た図をそれぞれ示している。図１及び図２に示すように、物品中継装置１００は、設備の１つであるストッカ２００の内外を区画する外壁１１１の一部に設けられ、ストッカ内部（設備内部）Ｋ２と作業者との間で物品Ｍを中継する。物品中継装置１００は、外壁１１１のうち、例えば作業者が通行する通路Ｒに面して配置される。以下、物品中継装置１００は、通路Ｒに面する側が正面であるとして説明する。
本実施形態では、設備としてストッカ２００を示しているが、この形態に限定されず、例えば、露光装置などの処理装置を有する設備であってもよい。また、本実施形態において、物品Ｍは、露光装置で使用されるレチクルを収容するレチクルポッド（容器）であるが、レチクルポッドに限定されず、例えば、ウエハを収容するＦＯＵＰであってもよい。物品Ｍは、収容するレチクルが１枚または数枚であり、上下方向の寸法が１枚又は数枚のレチクルを収容可能な高さに形成されている。
物品中継装置１００は、図１及び図２に示すように、開口部１０と、載置台２０と、移動機構５０と、シャッタ機構６０と、を備える。第１カバー３０、第２カバー４０、及び外気供給部７０は、物品中継装置１００に対応して、設備としてのストッカ２００に設けられている。また、第１カバー３０及び第２カバー４０は、ストッカ２００の外壁１１１の一部を形成している。開口部１０は、外壁１１１の外側における作業者の通路Ｒに面して開口する。つまり、開口部１０は、物品中継装置１００の正面に設けられる。この開口部１０は、正面側から見て、矩形状に形成されている。また、開口部１０は、上下方向の寸法が物品Ｍを通過可能な寸法に設定されている。本明細書において、矩形は、長方形及び正方形を含む意味で用いている。
開口部１０は、奥行方向Ｄに外壁１１１を貫通して設けられる。物品中継装置１００は、奥行方向Ｄの奥側に内側開口部１１を有している。内側開口部１１は、開口部１０と同様に矩形状であり、ストッカ内部Ｋ２側に形成される。物品中継装置１００は、開口部１０と内側開口部１１との間に、底面１２と、側面１３、１４と、上面１５とで形成された装置内部Ｋ１を備える。
載置台２０は、物品Ｍが載置される。載置台２０は、装置内部Ｋ１に配置され、開口部１０よりも奥行方向Ｄの奥側に設けられる。載置台２０は、不図示のガイド部により奥行方向Ｄに沿って奥側及び手前側に移動可能である。また、載置台２０は、物品Ｍを載置する高さＨがＳＥＭＩ等の規格に基づいて設定されている。載置台２０の高さＨは、作業者の目線よりも低い高さとなっている。
第１カバー３０は、例えば金属または樹脂などによって外壁１１１の一部として設けられる。第１カバー３０は、開口部１０に対して上方かつ開口部１０よりも奥行方向Ｄの手前側の位置に設けられ、外壁１１１から外側に突出した状態で配置されている。第１カバー３０は、正面部３１と、側面部３２と、上面部３３とを有する。正面部３１、側面部３２及び上面部３３は、それぞれ平面状に形成され、互いに直交して配置される。
正面部３１は、上下方向に沿って配置され、正面視において矩形状である。正面部３１は、作業者の目線に近い高さに配置される。正面部３１には、操作盤３４及びスイッチ部３５が配置されている（図２参照）。操作盤３４は、例えば、物品中継装置１００の各部を操作する入力部と、画像及び文字等を表示する表示部とを有する。入力部としては、例えばタッチパネル、レバー、ボタン等が用いられる。表示部としては、例えば液晶ディスプレイ等が用いられる。スイッチ部３５は、後述の外気供給部７０の駆動または停止を切り替える。操作盤３４又はスイッチ部３５が作業者の目線に近い正面部３１に配置されることにより、作業者の操作性及び利便性が高くなる。第１カバー３０は、例えば内部に制御基盤等を収容可能である。なお、スイッチ部３５は、なくてもよい。例えば、外気供給部７０は、後述するシャッタ６１、６２が開いているときにファン７３を駆動させるように制御されてもよい。
第２カバー４０は、第１カバー３０と同様に、例えば金属または樹脂などによって外壁１１１の一部として設けられ、第１カバー３０と開口部１０との間に設けられる。第２カバー４０は、例えば、第１カバー３０と一体に形成されてもよいし、別体に形成されて締結部材によって連結されてもよい。第１カバー３０と第２カバー４０との間は、隙間なく接合されており、外壁１１１と同様にストッカ２００の内外を区画する。
第２カバー４０は、傾斜部４１と、側面部４２とを有する。傾斜部４１は、下方に向かうにつれて奥行方向Ｄの奥側へ向かう形状である。傾斜部４１は、第１カバー３０の正面部３１の下端３１ｂにおいて開口部１０側に向かうように配置される。したがって、傾斜部４１は、正面部３１に対して傾斜して配置される。傾斜部４１は、下端４１ｂが開口部１０の上端１０ａに一致する高さに配置されるが、この構成に限定されない。第２カバー４０は、傾斜部４１を備えることにより、設備内部のスペースを確保しつつ、開口部１０が上方から見て隠れることを抑制している。
傾斜部４１は、矩形の板状の部材を用いられて平面状であるが、この形態に限定されず、例えば曲面状であってもよいし、複数の平面又は曲面が組み合わせた形状であってもよい。本実施形態において、傾斜部４１は、正面部３１の下端３１ｂと開口部１０の上端１０ａとを一平面で接続した形状である。
移動機構５０は、載置台２０を奥行方向Ｄの第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動させる。第１位置Ｐ１は、載置台２０に載置された物品Ｍの少なくとも一部が、開口部１０の上端を含みかつ第２カバー４０に接する仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの手前側となる位置である。本実施形態において、仮想平面Ｓは、傾斜部４１を含む平面である。また、第１位置Ｐ１は、奥行方向Ｄにおいて第１カバー３０よりも奥側の位置である。第２位置Ｐ２は、第１位置Ｐ１よりも奥行方向Ｄの奥側の位置である。第２位置Ｐ２は、ストッカ内部Ｋ２に備えられた搬送装置（図７参照）に対する物品Ｍの受け渡し位置である。
移動機構５０としては、載置台２０を不図示のガイド部に沿って直線方向に移動させることが可能な機構が用いられる。このような駆動装置としては、例えば、ボールネジ機構、リニアモータ機構、回転ベルト機構、又はエアシリンダ機構などが挙げられる。移動機構５０は、制御装置６３によって移動方向、移動量及び移動のタイミング等が制御される。制御装置６３は、図１では移動機構５０の下方に記載しているが、例えば、第２カバー４０の内側に配置されてもよいし、物品中継装置１００の外側に配置されてもよい。また、制御装置６３は、ストッカ２００の制御装置と電気的に接続されてもよい。
移動機構５０を駆動して載置台２０を第１位置Ｐ１に配置した場合には、載置台２０が開口部１０に近い位置となり、作業者によって載置台２０に対する物品Ｍの受け渡しが容易となる。また、この場合、作業者は、仮想平面Ｓよりも手前側において、載置台２０に載置された物品Ｍの一部が斜め上方から視認可能となり、物品Ｍの存在を容易に確認できる。すなわち、作業者は、しゃがんで覗き込むなどの姿勢を変えて物品Ｍの存在を確認する必要がなく、作業性を向上させることができる。
また、第１位置Ｐ１が載置台２０の移動範囲において手前側の移動限界位置である。この構成により、載置台２０（または物品Ｍ）が第１カバー３０から外側に突出することを防止する。また、第２位置Ｐ２は、載置台２０の移動範囲において奥側の移動限界位置であり、ストッカ内部Ｋ２に設置されている不図示の物品搬送装置との間で物品Ｍの受け渡しを行うことが可能な位置である。したがって、載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されることにより、ストッカ内部Ｋ２の物品搬送装置との間で物品の受け渡しを確実に行うことが可能となる。
シャッタ機構６０は、装置内部Ｋ１において奥行方向Ｄの奥側に配置される。シャッタ機構６０は、物品中継装置１００の装置内部Ｋ１と、ストッカ２００のストッカ内部Ｋ２との間を開閉する。シャッタ機構６０は、シャッタ６１、６２を有する。シャッタ６１、６２は、それぞれ１枚の湾曲した金属板または樹脂板で形成されている。
図３及び図４は、本実施形態に係る物品中継装置の動作を示す図である。図３（Ａ）及び（Ｂ）は、上方から見た状態を示す。図４（Ａ）及び（Ｂ）は、側方から見た状態を示す。シャッタ６１、６２は、不図示の駆動機構によって上下方向の中心軸ＡＸの軸周り方向にそれぞれ移動可能である。なお、シャッタ６１、６２は、互いに連動して移動可能である。制御装置６３は、駆動機構を駆動してシャッタ６１、６２の開閉を制御する。例えば、制御装置６３は、載置台２０が第１位置Ｐ１にある場合に閉じ、載置台２０が第２位置Ｐ２に移動した際に開くように制御してもよい。
図３（Ａ）及び図４（Ａ）に示すように、シャッタ６１、６２は、閉じた状態では互いに対向する端辺６１ａ、６２ａ同士が当接した状態で、内側開口部１１を塞ぐように配置される。なお、シャッタ６１、６２の端辺６１ａ、６２ａにそれぞれ弾性部材が配置されてもよい。シャッタ６１、６２が閉じることにより、物品中継装置１００の装置内部Ｋ１とストッカ２００のストッカ内部Ｋ２との間をシールして、ストッカ内部Ｋ２の雰囲気が装置内部Ｋ１に流入するのを抑制する。
次に、図３（Ｂ）及び図４（Ｂ）に示すように、シャッタ６１、６２が開くことにより、中心軸ＡＸの軸周り方向にそれぞれ移動し、内側開口部１１を開放する。なお、シャッタ６１、６２が開いた際は、第２位置Ｐ２を挟む位置に退避している。シャッタ６１は、側面１３に沿って退避し、シャッタ６２は、側面１４に沿って退避する。シャッタ６１、６２は、物品Ｍを奥行方向Ｄに通過可能な距離を空けて退避している。なお、シャッタ６１、６２の開閉の軌道は、載置台２０の軌道と干渉しないように設定される。また、シャッタ６１、６２が開くタイミングは、載置台２０が第２位置Ｐ２に達した後であってもよいし、載置台２０が第２位置Ｐ２に移動する途中であってもよい。
また、シャッタ６１、６２を開閉する駆動機構として、移動機構５０の駆動力をシャッタ６１、６２の開閉に伝達するリンク機構が用いられてもよい。このリンク機構は、載置台２０の移動と連動してシャッタ６１、６２を開閉させてもよい。すなわち、リンク機構は、載置台２０の直線方向の運動を、シャッタ６１、６２の中心軸ＡＸを中心とする回転方向への運動に変換する機構が用いられる。また、リンク機構は、載置台２０が第１位置Ｐ１に配置される場合、シャッタ６１、６２を閉じた状態とし、載置台２０が第２位置Ｐ２に配置される場合、シャッタ６１、６２を開いた状態とするように構成されてもよい。
このリンク機構を用いることにより、載置台２０が第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動すると、載置台２０の移動に連動してシャッタ６１、６２を開くことができ、また、載置台２０が第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動すると、載置台２０の移動に連動してシャッタ６１、６２を閉じるので、シャッタ６１、６２の開閉に別の駆動源を用いないので装置コストを低減でき、さらに制御装置６３による制御を簡単にすることができる。
外気供給部７０は、開口部１０の近傍であって装置内部Ｋ１の上方に配置される。外気供給部７０は、外壁１１１の外側の外気を物品中継装置１００の装置内部Ｋ１に供給する。外気供給部７０は、開口部１０の装置内部Ｋ１に外気を供給することにより、装置内部Ｋ１を外気に近い状態にすることが可能である。シャッタ６１、６２を開いた際に、ストッカ内部Ｋ２の雰囲気が装置内部Ｋ１に流入するので、装置内部Ｋ１に外気を供給することで装置内部Ｋ１を外気に近づけることができ、装置のメンテナンス等で作業者が装置内部Ｋ１内に頭部を入れたときでも円滑に作業を行うことができる。
図５は、外気供給部７０の一例を示す断面図である。図５に示すように、外気供給部７０は、外気取込口７１と、ダクト７２と、ファン７３とを有する。外気取込口７１は、第２カバー４０の一部に設けられる。外気取込口７１は、開口部１０に近い第２カバー４０の下方において水平方向に複数並んで形成される（図２参照）。このため、例えば、第１カバー３０あるいは他の外壁１１１などに外気取込口７１を設ける場合に比べて、ダクト７２が短くなり、装置コストの低減が可能となる。
ダクト７２は、第２カバー４０の内部に配置され、外気取込口７１から取り込まれた外気を奥行方向Ｄの奥側に案内する。ファン７３は、下方に向けて配置され、ダクト７２によって案内された外気を上面１５から下方に向けて装置内部Ｋ１に送り込む。ファン７３の駆動または停止は、スイッチ部３５（図２参照）によりマニュアルで操作してもよいし、制御装置６３により制御されてもよい。ファン７３の駆動を制御装置６３で制御する場合、シャッタ６１、６２が開いて閉じた後に駆動するといった制御でもよい。
次に、上記した物品中継装置１００を用いた物品Ｍの中継動作を説明する。まず、作業者により物品Ｍをストッカ２００内に搬入する場合を説明する。物品Ｍの搬入を行う場合、作業者は、例えば、物品Ｍを台車等に載置して通路Ｒを物品中継装置１００の正面まで運搬する。続いて、作業者は、操作盤３４を操作して、載置台２０を第１位置Ｐ１に配置させる。なお、この物品中継装置１００は、待機時（不使用時）において載置台２０を第１位置Ｐ１に配置させておいてもよい。載置台２０を第１位置Ｐ１に配置する場合、上記したようにシャッタ６１、６２は、閉じた状態となっている。
作業者は、物品中継装置１００の正面に立った状態で載置台２０に既に物品Ｍが載置されていないことを確認する。この場合、作業者は、開口部１０の装置内部Ｋ１を斜め上方から見下ろして視認する。本実施形態では、第２カバー４０が傾斜部４１を有するため、作業者が開口部１０を介して視認する場合、視線を遮る物体がない。したがって、作業者は、立った状態で開口部１０の奥側を見ることができ、第１位置Ｐ１の載置台２０において物品Ｍの有無を容易に確認できる。
作業者は、第１位置Ｐ１の載置台２０に物品Ｍがないことを確認した場合、台車等から物品Ｍを持ち上げて載置台２０に載置する。この場合、載置台２０が開口部１０に近い第１位置Ｐ１に配置されているため、作業者は容易に物品Ｍを載置台２０に載置することができる。また、作業者が物品Ｍを載置台２０に載置する際、スイッチ部３５を操作して外気供給部７０を駆動させてもよい。
作業者は、載置台２０に物品Ｍを載置した後、操作盤３４を操作して、載置台２０を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に移動させる。この操作により、移動機構５０は、物品Ｍを載置した載置台２０を奥行方向Ｄに沿って移動させ、第２位置Ｐ２に配置する。制御装置６３により、あるいは上記したリンク機構により、載置台２０の移動に連動してシャッタ６１、６２が開く。この動作により、例えば図４（Ｂ）に示すように、物品Ｍは、ストッカ２００の搬送装置１３０を用いて搬送可能な状態となる。搬送装置１３０が物品Ｍを受け取った後、制御装置６３により、あるいは上記したリンク機構によりシャッタ６１、６２を閉じる。
次に、作業者により物品Ｍの搬出を行う場合を説明する。物品Ｍの搬出を行う場合、載置台２０を第２位置Ｐ２に配置させ、制御装置６３により、あるいは上記したリンク機構によりシャッタ６１、６２を開く。シャッタ６１、６２が開いたことを確認して、ストッカ２００の制御により、搬送装置１３０が物品Ｍを載置台２０に載置する。搬送装置１３０が装置内部Ｋ１から退避した後、シャッタ６１、６２を閉じ、物品Ｍが載置された載置台２０を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動させる。なお、シャッタ６１、６２を閉じたタイミングで外気供給部７０を駆動させてもよい。
作業者は、物品中継装置１００の正面に立った状態で、物品Ｍを載置した載置台２０が第１位置Ｐ１に配置されていることを確認する。この場合、作業者は、開口部１０の装置内部Ｋ１を斜め上方から見下ろして視認する。本実施形態では、第２カバー４０が傾斜部４１を有するため、作業者が第１位置Ｐ１を視認する場合、視線を遮る物体が配置されない。したがって、作業者は、第１位置Ｐ１の載置台２０に物品Ｍが載置されていることを容易に確認できる。
作業者は、第１位置Ｐ１の載置台２０に物品Ｍが載置されていることを確認した後、載置台２０から物品Ｍを持ち上げて開口部１０から物品Ｍを取り出す。この場合、載置台２０が開口部１０に近い第１位置Ｐ１に配置されているため、作業者は容易に物品Ｍを載置台２０から取り出すことができる。作業者は、載置台２０から物品Ｍを取り出した後、あらかじめ通路Ｒに準備しておいた台車等に載置する。
このように、本実施形態に係る物品中継装置１００によれば、第２カバー４０が第１カバー３０から下方に向かうにつれて奥行方向Ｄの奥側へ向かう形状であるため、作業者が立った状態で、斜め上方から開口部１０の奥側の一部を視認することができる。この構成により、作業者が開口部１０の奥側に物品Ｍ又は載置台２０が存在することを容易に確認することができ、物品Ｍの受け渡し作業の作業性を向上させることができる。
図６は、本実施形態に係るストッカ２００の一例を示す斜視図である。図７は、ストッカ２００の内部構成の一例を示す図である。図６及び図７に示すように、ストッカ２００は、複数の物品Ｍを保管することが可能である。ストッカ２００は、本体部１１０と、棚部１２０と、搬送装置１３０と、走行部１４０とを有している。ストッカ２００は、各部を統括的に制御する不図示の制御装置を備えている。
本体部１１０は、床部ＦＬに設置されており、外壁１１１を有する。外壁１１１は、庫内の空間を囲むように配置され、ストッカ２００の内外を区画する。本体部１１０は、外壁１１１の一の面に、上記した物品中継装置１００を備えている。
棚部１２０は、物品Ｍを載置する。棚部１２０は、不図示の支柱等に支持され、庫内の上下方向（Ｚ方向）に複数段設けられる。本実施形態では、このような複数段の棚部１２０が、平面方向に１列又は複数列に配置される。また、複数の棚部１２０のうち少なくとも１つは、第１カバー３０に対して奥行方向Ｄの奥側かつ載置台２０に対して上方に配置されている。このため、物品中継装置１００の上方のスペースが物品Ｍの保管スペースとして有効に利用されている。
各棚部１２０には、それぞれ切り欠き部が形成される。切り欠き部は、ストッカ２００の庫内で搬送装置１３０により物品Ｍを移載する際の通過部分として用いられる。なお、搬送装置１３０の物品保持部１３３が物品Ｍをすくって載置する構成である場合、物品中継装置１００の載置台２０は、棚部１２０と同様に物品保持部１３３と干渉しない形状の切り欠き部が設けられる。また、各棚部１２０は、例えば、上面に３本のピンを備え、このピンが物品Ｍの底面に備える３つの溝部にそれぞれ入り込むことにより、棚部１２０に載置した物品Ｍを位置決めしてもよい。
搬送装置１３０は、走行部１４０によって奥行方向Ｄと直交する方向に走行し、複数の棚部１２０の間で物品Ｍを移載する。搬送装置１３０は、基部１３１と、伸縮部１３２と、物品保持部１３３とを有する。基部１３１は、後述の昇降台１４３に固定される。伸縮部１３２は、基部１３１に対して棚部１２０に向けて伸縮可能に設けられる。物品保持部１３３は、伸縮部１３２の先端に設けられ、物品Ｍを載置する。物品保持部１３３は、伸縮部１３２の伸縮により奥行方向Ｄに移動可能である。物品保持部１３３は、例えば上面に３本のピンを備え、このピンが物品Ｍの底面に備える溝部に入り込むことにより、物品保持部１３３に載置した物品Ｍを位置決めしてもよい。なお、搬送装置１３０は、物品Ｍを載置する構成に限定されず、例えば、物品Ｍのフランジ部を把持する構成、または物品Ｍの側面を把持する構成であってもよい。
走行部１４０は、奥行方向Ｄと直交する方向に沿って配置されたレール１５０に沿って走行する。走行部１４０は、本体部１４１と、マスト１４２と、昇降台１４３とを有する。レール１５０は、庫内の床部ＦＬ及び天井部ＣＬに平行に配置される。本体部１４１は、不図示の走行駆動装置を備える。マスト１４２は、上下の本体部１４１との間に鉛直方向に沿って配置される。マスト１４２は、本体部１４１の移動に伴って移動する。昇降台１４３は、マスト１４２に沿って鉛直方向に昇降可能に配置される。搬送装置１３０は、走行部１４０による停止位置、及び昇降台１４３による昇降位置をそれぞれ設定することにより、載置台２０又は棚部１２０のいずれかに対して物品Ｍの受け渡しを行うことが可能である
次に、上記したストッカ２００の動作について説明する。まず、作業者により物品Ｍの搬入を行う場合、ストッカ２００の制御装置は、物品中継装置１００から、物品Ｍを載置した載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されたことが通知される。続いて、走行部１４０及び昇降台１４３を駆動して搬送装置１３０の物品保持部１３３を物品中継装置１００の奥行方向Ｄの奥側に配置させる。ストッカ２００の制御装置は、シャッタ６１、６２が開いたことを確認して、伸縮部１３２を奥行方向Ｄの手前側に伸ばして物品保持部１３３により載置台２０の物品Ｍを受け取って保持する。なお、物品Ｍが第２位置Ｐ２に配置されているので、搬送装置１３０の物品保持部１３３により容易かつ確実に物品Ｍを保持することができる。
物品Ｍを保持した後、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を収縮させて物品保持部１３３及び物品Ｍをストッカ内部Ｋ２に取り込む。物品Ｍを取り込んだ後、走行部１４０及び昇降台１４３を駆動して搬送先の棚部１２０に対応する位置に物品保持部１３３を移動させる。その後、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を伸ばして物品保持部１３３の物品Ｍを棚部１２０に載置する。この動作により、物品Ｍが搬送先の棚部１２０に搬入される。
また、作業者により物品Ｍの搬出を行う場合、ストッカ２００の制御装置は、走行部１４０及び昇降台１４３を移動させて、搬出対象となる物品Ｍが載置された棚部１２０に対応する位置に物品保持部１３３を移動させる。その後、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を伸ばして物品保持部１３３により棚部１２０から物品Ｍを受け取って保持する。続いて、走行部１４０及び昇降台１４３を駆動して物品保持部１３３を物品中継装置１００の奥行方向Ｄの奥側に配置させる。
続いて、ストッカ２００の制御装置は、シャッタ６１、６２が開いたこと、及び物品Ｍが載置されていない載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されたことを確認した後、伸縮部１３２を奥行方向Ｄの手前側に伸ばして、第２位置Ｐ２の載置台２０に物品Ｍを載置する。なお、載置台２０が第２位置Ｐ２に配置されているので、搬送装置１３０は、容易かつ確実に物品Ｍを載置台２０に載置することができる。
続いて、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を収縮させて物品保持部１３３をストッカ内部Ｋ２に引き込む。ストッカ２００の制御装置は、載置台２０に物品Ｍを載置したことを物品中継装置１００に通知する。物品中継装置１００は、この通知を受けてシャッタ６１、６２が閉じ、移動機構５０を駆動して載置台２０を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動させる。その後、作業者が第１位置Ｐ１に配置された物品Ｍを取り出すことにより、物品Ｍの搬出が完了する。こととき、作業者は、斜め上方から第１位置Ｐ１の載置台２０上の物品Ｍを視認できるので、物品Ｍの有無を容易に確認できる。
このように、本実施形態に係るストッカ２００によれば、上記した物品中継装置１００を備えるため、作業者による物品Ｍの搬入及び搬出を行う場合、開口部１０の奥側の視認性を向上させ、作業者にとって物品Ｍの有無の確認が容易となる。その結果、作業者による物品Ｍの搬入及び搬出を行う際の作業性を向上させることができる。
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。上記したストッカ２００では、複数の棚部１２０のうち少なくとも１つが第１カバー３０に対して奥行方向Ｄの奥側かつ載置台２０に対して上方に配置された構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第１カバー３０に対して奥行方向Ｄの奥側かつ載置台２０に対して上方のスペースに棚部１２０を設けない構成であってもよい。
また、上記した実施形態では、外気取込口７１が第２カバー４０の正面側に設けられた構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、外気取込口７１は、第２カバー４０のうち側面部４２に設けられてもよい。また、外気取込口７１は、例えば、第１カバー３０に設けられてもよい。
また、上記した実施形態では、ファン７３が開口部１０に対して奥行方向Ｄの奥側に配置された構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。ファン７３は、開口部１０に対して奥行方向Ｄの手前側に配置されてもよい。また、外気供給部７０は、装置内部Ｋ１の上方に配置されることに代えて、装置内部Ｋ１の側方または下方に配置されてもよい。また、外気供給部７０を備えない構成であってもよい。
また、上記した実施形態では、第１位置Ｐ１が奥行方向Ｄにおいて第１カバー３０よりも奥側の位置である場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第１位置Ｐ１が第１カバー３０よりも奥行方向Ｄの手前側に配置されてもよい。また、上記した実施形態では、移動機構５０が奥行方向Ｄの手前側に向かう方向に第１位置Ｐ１まで載置台２０を移動可能な構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、移動機構５０は、奥行方向Ｄの手前側に向かう方向に第１位置Ｐ１を超える手前側まで載置台２０を移動可能な構成であってもよい。
また、上記した実施形態では、載置台２０に載置された物品Ｍの少なくとも一部が、仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの手前側となる位置を第１位置Ｐ１に設定した場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第１位置Ｐ１は、載置台２０に載置された物品Ｍの全部が仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの手前側となる位置に設定されてもよいし、載置台２０に載置された物品Ｍの全部が仮想平面Ｓよりも奥行方向Ｄの奥側となる位置に設定されてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７−００９４４５、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
Ｄ・・・奥行方向
Ｋ２・・・ストッカ内部（設備内部）
Ｍ・・・物品
Ｐ１・・・第１位置
Ｐ２・・・第２位置
Ｒ・・・通路
Ｓ・・・仮想平面
１０・・・開口部
１０ａ・・・上端
２０・・・載置台
３０・・・第１カバー
４０・・・第２カバー
４１・・・傾斜部
５０・・・移動機構
６０・・・シャッタ機構
６１、６２・・・シャッタ
６３・・・制御装置
７０・・・外気供給部
７１・・・外気取込口
７２・・・ダクト
１００・・・物品中継装置
１１１・・・外壁
１２０・・・棚部
１３０・・・搬送装置
２００・・・ストッカ（設備）
第２カバー４０は、傾斜部４１と、側面部４２とを有する。傾斜部４１は、下方に向かうにつれて奥行方向Ｄの奥側へ向かう形状である。傾斜部４１は、第１カバー３０の正面部３１の下端において開口部１０側に向かうように配置される。したがって、傾斜部４１は、正面部３１に対して傾斜して配置される。傾斜部４１は、下端が開口部１０の上端１０ａに一致する高さに配置されるが、この構成に限定されない。第２カバー４０は、傾斜部４１を備えることにより、設備内部のスペースを確保しつつ、開口部１０が上方から見て隠れることを抑制している。
傾斜部４１は、矩形の板状の部材を用いられて平面状であるが、この形態に限定されず、例えば曲面状であってもよいし、複数の平面又は曲面が組み合わせた形状であってもよい。本実施形態において、傾斜部４１は、正面部３１の下端と開口部１０の上端１０ａとを一平面で接続した形状である。
図３（Ａ）及び図４（Ａ）に示すように、シャッタ６１、６２は、閉じた状態では互いに対向する端辺同士が当接した状態で、内側開口部１１を塞ぐように配置される。なお、シャッタ６１、６２の端辺にそれぞれ弾性部材が配置されてもよい。シャッタ６１、６２が閉じることにより、物品中継装置１００の装置内部Ｋ１とストッカ２００のストッカ内部Ｋ２との間をシールして、ストッカ内部Ｋ２の雰囲気が装置内部Ｋ１に流入するのを抑制する。
次に、上記した物品中継装置１００を用いた物品Ｍの中継動作を説明する。まず、作業者により物品Ｍをストッカ２００内に搬入する場合を説明する。物品Ｍの搬入を行う場合、作業者は、例えば、物品Ｍを台車等に載置して物品中継装置１００の正面まで運搬する。続いて、作業者は、操作盤３４を操作して、載置台２０を第１位置Ｐ１に配置させる。なお、この物品中継装置１００は、待機時（不使用時）において載置台２０を第１位置Ｐ１に配置させておいてもよい。載置台２０を第１位置Ｐ１に配置する場合、上記したようにシャッタ６１、６２は、閉じた状態となっている。
続いて、搬送装置１３０は、伸縮部１３２を収縮させて物品保持部１３３をストッカ内部Ｋ２に引き込む。ストッカ２００の制御装置は、載置台２０に物品Ｍを載置したことを物品中継装置１００に通知する。物品中継装置１００は、この通知を受けてシャッタ６１、６２が閉じ、移動機構５０を駆動して載置台２０を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に移動させる。その後、作業者が第１位置Ｐ１に配置された物品Ｍを取り出すことにより、物品Ｍの搬出が完了する。このとき、作業者は、斜め上方から第１位置Ｐ１の載置台２０上の物品Ｍを視認できるので、物品Ｍの有無を容易に確認できる。

Claims (8)

  1. 設備内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品を中継する物品中継装置であって、
    前記外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部と、
    前記開口部よりも奥行方向の奥側に設けられて物品が載置される載置台と、
    前記開口部に対して上方かつ前記開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて前記外壁の一部となる第１カバーと、
    前記第１カバーと前記開口部との間に設けられて前記外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第２カバーと、を備える、物品中継装置。
  2. 前記載置台を、奥行方向の手前側の第１位置と、前記第１位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第２位置との間で移動させる移動機構を備える、請求項１に記載の物品中継装置。
  3. 前記第１位置は、前記載置台に載置された物品の少なくとも一部が、前記開口部の上端を含みかつ前記第２カバーに接する仮想平面よりも前記奥行方向の手前側となる位置であり、
    前記第２位置は、前記第１位置よりも奥行方向の奥側となる位置である、請求項２に記載の物品中継装置。
  4. 前記第１位置は、奥行方向において前記第１カバーよりも奥側の位置であり、前記移動機構の奥行方向の手前側限界位置である、請求項２または請求項３に記載の物品中継装置。
  5. 前記開口部に対して奥行方向の奥側に、前記外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の物品中継装置。
  6. 前記第２カバーの一部に、前記外気供給部における外気取込口が設けられる、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の物品中継装置。
  7. 請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の物品中継装置を備える、ストッカ。
  8. 物品が載置される複数の棚を内部に備え、
    前記複数の棚の少なくとも１つは、前記第１カバーに対して奥行方向の奥側かつ前記載置台に対して上方に配置される、請求項７に記載のストッカ。
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