JP2009059775A - 容器交換システム及び容器交換方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】容器交換システム24は、フープ載置台14を有するローダーモジュール15の上方に配置されるフープ搬送装置19を備え、フープ搬送装置19は、レール13に沿って走行する走行体20と、該走行体20の下方に設けられるホルダ21と、ホルダ21を走行体20及びフープ載置台14の間において昇降させるベルト22とを有し、ホルダ21が保持するフープ11の昇降経路に進退出自在である載置板27と、載置板27の上方に配されるホイスト26とを備え、ホイスト26は、昇降経路に進退出自在であるアーム29と、該アーム29の下方に設けられるホルダ30と、ホルダ30をアーム29及びフープ載置台14の間において昇降させるベルト31とを有する。
【選択図】図1
Description
11 フープ
11a 処理前ウエハフープ
11b 処理済みウエハフープ
13 レール
14 フープ載置台
15,35 ローダーモジュール
19 フープ搬送装置
20 走行体
21,30 ホルダ
22,31 ベルト
24,32 容器交換システム
25 バッファ
26 ホイスト
27 載置板
29 アーム
36 BOP搬送装置
Claims (4)
- 基板を収容する容器を載置可能な第1の載置部を有する基板処理装置と、該基板処理装置の上方に配置されて前記容器を搬送する容器搬送装置とを備える容器交換システムであって、前記容器搬送装置は、前記第1の載置部の上方に敷設されたレールに沿って走行する走行体と、該走行体の下方に設けられ且つ前記容器を保持可能な第1の保持体と、前記走行体及び前記第1の保持体の間に配され、且つ前記第1の保持体が前記第1の載置部と対向するときに前記第1の保持体を前記走行体及び前記第1の載置部の間において昇降させる第1の昇降部とを有する容器交換システムにおいて、
前記第1の昇降部によって昇降される前記第1の保持体が保持する前記容器の昇降方向に関して前記走行体及び前記第1の載置部の間に配され且つ前記容器の昇降経路に進退出自在であって、前記容器を載置可能な第2の載置部と、前記昇降方向に関して前記走行体及び前記第2の載置部の間に配される容器昇降装置とを備え、
前記容器昇降装置は、前記昇降経路に進退出自在である基部と、該基部の下方に設けられ且つ前記容器を保持可能な第2の保持体と、前記基部及び前記第2の保持体の間に配され、且つ前記第2の保持体が前記第1の載置部と対向するときに前記第2の保持体を前記基部及び前記第1の載置部の間において昇降させる第2の昇降部とを有することを特徴とする容器交換システム。 - 前記昇降方向に関して前記第2の載置部及び前記容器昇降装置の間に配され且つ前記昇降経路に進退出自在であって、前記容器を載置可能な第3の載置部をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の容器交換システム。
- 請求項1記載の容器交換システムにおいて、前記第1の保持体が保持する第1の容器と前記第1の載置部に載置された第2の容器とを交換する容器交換方法であって、
前記第1の保持体が前記第1の載置部に対向するときに、前記第2の載置部が前記昇降経路に進出する第1の進出ステップと、
前記第1の昇降部が前記第1の保持体を下降させて前記昇降経路に進出した前記第2の載置部に前記第1の容器を載置させる第1の載置ステップと、
前記第1の容器が載置された前記第2の載置部が前記昇降経路から退出する第1の退出ステップと、
前記第1の昇降部が前記第1の保持体をさらに下降させ、該下降した第1の保持体が前記第1の載置部に載置された前記第2の容器を保持する第1の保持ステップと、
前記第1の昇降部が前記第1の保持体を前記走行体まで上昇させた後、前記第2の載置部が前記昇降経路に進出する第2の進出ステップと、
前記基部が前記昇降経路に進出し、前記第2の昇降部が前記第2の保持体を下降させ、該下降した第2の保持体が前記第2の載置部に載置された前記第1の容器を保持する第2の保持ステップと、
前記第2の昇降部が前記第2の保持体に保持された第1の容器を前記第2の載置部の進退経路と干渉しない位置まで上昇させた後、前記第2の載置部が前記昇降経路から退出する第2の退出ステップと、
前記第2の昇降部が前記第2の保持体を下降させ、該下降した第2の保持体が前記第1の載置部に前記第1の容器を載置させる第2の載置ステップとを有することを特徴とする容器交換方法。 - 請求項1記載の容器交換システムにおいて、前記第1の保持体が保持する第1の容器と前記第1の載置部に載置された第2の容器とを交換する容器交換方法であって、
前記基部が前記昇降経路に進出し、前記第2の昇降部が前記第2の保持体を下降させ、該下降した第2の保持体が前記第1の載置部に載置された前記第2の容器を保持する第1の保持ステップと、
前記第2の昇降部が前記第2の保持体に保持された第2の容器を前記第2の載置部の進退経路と干渉しない位置まで上昇させた後、前記第2の載置部が前記昇降経路に進出する第1の進出ステップと、
前記第2の昇降部が前記第2の保持体を下降させて前記昇降経路に進出した前記第2の載置部に前記第2の容器を載置させる第1の載置ステップと、
前記第2の容器が載置された前記第2の載置部が前記昇降経路から退出する第1の退出ステップと、
前記第1の保持体が前記第1の載置部に対向するときに、前記第1の昇降部が前記第1の保持体を下降させて前記第1の載置部に前記第1の容器を載置させる第2の載置ステップと、
前記第1の昇降部が前記第1の保持体を前記走行体まで上昇させた後、前記第2の載置部が前記昇降経路に進出する第2の進出ステップと、
前記第1の昇降部が前記第1の保持体を下降させ、該下降した第1の保持体が前記第2の載置部に載置された前記第2の容器を保持する第2の保持ステップと、
前記第1の昇降部が前記第1の保持体を前記走行体まで上昇させるとともに、前記第2の載置部が前記昇降経路から退出する第2の退出ステップとを有することを特徴とする容器交換方法。
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